CN105021938B

CN105021938B - 检查装置

Info

Publication number: CN105021938B
Application number: CN201410178716.0A
Authority: CN
Inventors: 金完洙; 郑相宪
Original assignee: BIOPTRO Co Ltd
Current assignee: BIOPTRO Co Ltd
Priority date: 2014-04-30
Filing date: 2014-04-30
Publication date: 2018-11-09
Anticipated expiration: 2034-04-30
Also published as: CN105021938A

Abstract

本发明的检查装置，包括：第一装载单元，用于装载基板；移动单元，将装载于上述第一装载单元的上述基板移动至初始位置；往复单元，沿上述基板的移送路径移送上述初始位置的上述基板；对齐单元，位于上述基板的移送路径上并确认上述基板的对齐状态；检查单元，位于上述基板的移送路径上的上述对齐单元的下游并检查上述基板的通电状态；及第二装载单元，用于装载经上述检查单元检查的上述基板。本发明的检查装置可自动完成对基板的通电检查。

Description

检查装置

技术领域

本发明涉及用于检查基板的通电状态的检查装置(APPARATUS FOR TESTING)。

背景技术

一般而言，印刷电路基板(PCB，Printed Circuit Board)是几乎所有所需的必须部件之一，不仅用于洗衣机或电视等家电产品，而且，还用于包括手机在内的生活用品或汽车、人造卫星等。

近来，随着构成印刷电路基板的各种电子部件的集成度的提高，其图案(pattern)变得相当精细，需要非常精巧的图案印刷工艺，因此，不良率也随之增加，需要非常仔细地检查印刷电路基板。

韩国注册专利公报第0176627号的公报公开一种用于印刷电路基板的通电情况的探头装置，其通过防止锡焊不良及探头的震动完成稳定的通电检查，提高对锡焊部的各种表面形状的适应性。但是，还没有可迅速、精确、可靠地检查印刷电路基板的通电状态的方法。

先行技术文献

专利文献

韩国注册专利公报第0176627号

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于可靠地检查基板的通电状态的检查装置。

本发明所要解决的技术问题不受上述技术课题的限制，而对于本领域技术人员而言，未被提及的其他技术课题可通过下面的内容将变得明了。

本发明的检查装置，包括：第一装载单元，用于装载基板；移动单元，将装载于上述第一装载单元的上述基板移动至初始位置；往复单元，沿上述基板的移送路径移送上述初始位置的上述基板；对齐单元，位于上述基板的移送路径上并确认上述基板的对齐状态；检查单元，位于上述基板的移送路径上的上述对齐单元的下游并检查上述基板的通电状态；及第二装载单元，用于装载经上述检查单元检查的上述基板。

本发明的检查装置包括第一装载单元、移动单元、往复单元、对齐单元、检查单元及第二装载单元，以此迅速可靠地检查基板的通电状态。

附图说明

图1为本发明的检查装置的概略示意图；

图2为构成本发明的检查装置的装载单元及移动单元的概略示意图；

图3为包含于构成本发明的检查装置的装载单元的对齐部概略示意图；

图4为用本发明的检查装置检查的基板200示意图；

图5为构成本发明的检查装置的检查单元概略示意图；

图6至图13为表示本发明的检查装置的运行的概略示意图；

图14为本发明的检查装置示意图。

附图标记

110－第一装载单元，111－装载部，113－第一对齐部，115－第二对齐部，117－固定部，120－第二装载单元，130－第一移动单元，131－臂，133－吸附部，140－第二移动单元，150－往复单元，151－握紧部，153－通孔，170－对齐单元，190－检查单元，191－夹具，192－第一检查部，193－探头，194－第二检查部，195－底盘，200－基板，210－电路图案，230－对准标记，180－清洁单元。

具体实施方式

下面，结合附图对本发明的实施例进行详细说明。在此过程中，为了说明的便利性和明了性，附图所示的构件的大小或形状等有可能夸张表示。另外，考虑到本发明的构成及作用特别定义的术语有可能根据使用者、运营者的意图或惯例变得不同。这些术语的定义需基于本说明书的整体内容而定。

图1为本发明的检查装置的概略示意图，而图14为本发明的检查装置示意图。

如图所示的检查装置包括第一装载单元110、第一移动单元130、第二移动单元140、往复单元150、对齐单元170、检查单元190及第二装载单元120。

在第一装载单元110上装载有基板200。装载于第一装载单元110上的基板可以是接受通电状态的检查，即通电检查的基板200。第一装载单元110上可以装载多个基板200。此时的基板200可以是设置各种部件之前的印刷电路基板。印刷电路基板通常是在由纸酚树脂(paper phnol resin)或玻璃环氧树脂(glass epoxy resin)等材料构成的基板200上覆上铜箔印刷各种电路而成的。印刷电路基板是将未印刷的其余部分通过蚀刻(etching)等技术去除并在电路上锡焊各种电子部件而成。通常而言，为对印刷电路基板上的各触点部进行通电检查，利用各种测试装置向印刷电路基板的各触点部施加电信号。此时，可通过确认电流的通电状态判定印刷电路基板的异常与否。

移动单元可将装载于第一装载单元110的基板200移动至初始位置

根据不同情况，可在装载单元和移动单元之间设置清洁单元180。此时的装载单元可以是装载检查前的基板的第一装载单元110。

清洁单元180可去除接受检查单元190的通电检查的基板200的检查面上的异物。例如，清洁单元180可包括擦拭基板200的表面的滚筒等。较佳地，通过移动单元完成清洁的部分至少包括基板200中受检查单元190检查的区域。若设置有清洁单元180，移动单元可将经过清洁单元180的基板200移动至初始位置可供参考的是，还可具备可将装载于装载单元的基板200移动至清洁单元180的上游的第三移动单元。

往复单元150可沿基板200的移送路径移送初始位置的基板200。通过第一装载单元110移动至初始位置的基板200在放置于往复单元150的状态下与往复单元150一起移动。另外，还可将基板200放置于另外具备的搁置台之后，利用往复单元150移送搁置台，以使放置于搁置台的基板200一并被移送。附图所示的是基板200放置于往复单元150的情况。

对齐单元170位于基板200的移送路径上，并利用摄像头等确认基板200的对齐状态。经确认对齐状态的基板200，可通过对齐单元170补正对齐状态或通过往复单元150补正对齐状态。另外，还可由从对齐单元170获取对齐状态信息的检查单元190补正位置，以相对补正基板200的对齐状态。

检查单元190位于基板200的移送路径上的对齐单元170的下游并利用探头等检查基板200的通电状态。对齐单元170通过确认基板200的对齐状态确保能再检查单元190上完成可靠的检查。因此，检查单元190位于对齐单元170的下游为宜。此时，在基板200被移送的方向上，与初始位置近的位置为上游，与初始位置远的位置为下游。因此，对齐单元170的下游是指较之从初始位置到对齐单元170的位置，从初始位置的距离远的位置。在图1的示例中，在检查过程中，从基板200的初始位置向x轴的正方向移动，因此，具有较之对齐单元170的x坐标值大的x坐标值的位置成为下游。

第二装载单元120上装载经检查单元检查的基板200。第二装载单元120可具备多个。例如，可包括装载检查单元190判定为正常的基板200的单元、装载判定为短路(short)的基板200的单元、装载判定为断路(open)的基板200的单元。此时，构成第二装载单元120的各单元可根据所装载的基板200的数量决定设置位置。例如，假设正常基板200的数量最多，短路基板200的数量其次，断路基板200的数量最少的情况。此时，装载正常基板200的单元位于离初始位置最近的位置。装载断路基板200的单元位于离初始位置最远的位置，而装载短路基板200的单元位于上述两个单元之间。如图1所示，可根据情况使两个单元位于离初始位置相同的位置。综上所述，第二装单元120由多个构成，而各第二装载单元120上装载不同检查结果的基板200。此时，较之装载相对少的数量的基板200的第二装载单元120，装载相对多的数量的基板200的第二装载单元120位于离初始位置近的位置。从而最大限度地减少移动单元的移动，节省移动单元的电力消耗。另外，减少通过移动单元完成检查的基板装载于第二装载单元120的时间。从而缩短整体检查时间。

本发明的检查装置包括第一装载单元110、第一移动单元130、第二移动单元140、往复单元150、对齐单元170、检查单元190及第二装载单元120，以此自动实施对基板200的通电检查。尤其是，将检查之前的基板200和结束检查的基板200分离装载于第一装载单元110和第二装载单元120，从而防止检查之前的基板200和检查之后的基板200相混淆的情况。

另外，往复单元150可将经检查单元190检查的基板200移送至初始位置。此时，移动单元可将经检查单元190检查并通过往复单元150移送至初始位置的基板200装载于第二装载单元120。因此，检查前的基板200和检查之后的基板200可装载于相互较近的位置。例如，如图1所示的实施例，相对于从初始位置到检查单元190的基板200的移送路径第一装载单元110和第二装载单元120可位于虚拟的垂直线上。根据这样的构成，可将用户可运送的第一装载单元110和第二装载单元120安排于相互较近的位置，从而增加作业便利性。另外，如图1所示，只在x轴的一侧设置装载单元，因此，较之在x轴上以检查单元190为中心在两侧设置各装载单元的情况，可提高空间利用率。另外，可最大限度地减少将第一装载单元110的基板200移动至初始位置并将初始位置的基板200移动至第二装载单元120的异动单元的移动路径。另外，在移动单元为多个的情况下，因各装载单元位于相互较近的位置，各移动单元也可以设置于相互较近的位置。因此，较之移动单元设置成相对分散的情况，可提高空间利用率。

xy平面中，本发明的检查装置检查从(x₁，y₁)坐标向x轴方向移送的基板200的通电状态，并将经检查的上述基板200装载于(x₁，y_a)坐标(在此，a为非1的自然数)。

移动单元可具备多个。例如，在图1中具备两个移动单元。第一移动单元130可将装载于第一装载单元110的基板200移动至初始位置。第二移动单元140可将经检查单元190检查并通过往复单元150移送至初始位置的基板200移动至第二装载单元120。另外，第一移动单元130至移动“检查前的基板200”，而第二移动单元140只移动“检查后的基板200”，从而提高移动基板200的速度。另外，可缩短各移动单元的移动路径，因此，容易控制，容易解决各移动单元间的冲突等干涉问题。

如上所述的第一装载单元110、移动单元、往复单元150、对齐单元170、检查单元190及第二装载单元120的移动，即自由度如下：为便于说明，在图1中表示沿x轴方向设置从初始位置到检查单元190的基板200的移送路径的空间坐标系。当然，空间坐标系还可以采用其它的各种形式。此时自由度定义为在为检查基板200而使各单元驱动的状态下的自由度，即作业自由度。另外，设置自由度是在进行对基板200的检查作业之前，以初始设置值设置各单元的过程中的各单元的自由度。可供参考的是，自由度(Degrees of Freedom，DOF或Mobility)是指最小单位表示某个物体的状态的独立参数的数量。一般而言，二维的物体具有3的DOF值。这包括基准点的二维坐标和物体倾斜的角度。同样，三维物体具有6的DOF值，这包括基准点的三维坐标和各轴的旋转角度。

根据如图1所示的空间坐标系，在xyz空间中，驱动时第一装载单元110及第二单元可具有z轴作业自由度。例如，各装载单元可以地面为准进行上升、下降运动。

在xyz空间中，驱动时移动单元可具有x轴、y轴、z轴作业自由度。例如，移动单元可以地面为准进行上升、下降、水平运动。

在xyz空间中，驱动时往复单元可具有x轴、y轴作业自由度。例如，往复单元150可以地面为准进行水平运动。

在xyz空间中，驱动时对齐单元170可固定。即，对齐单元170可以是固定单元。

在xyz空间中，驱动时检查单元190可具有z轴自由度。例如，检查单元190可以地面为准进行上升、下降运动。

在基板200的检查过程中，基板200有必要补正位置，也有必要流入对齐单元170及检查单元190。但是，在本发明的检查装置中，对齐单元170被固定，检查单元190具有z轴作业自由度。因此，基板200需移动至对齐单元170及检查单元190的位置以进行位置补正。基板200的移送意味着在zyz平面中向x轴或y轴的移动，而基板200的这种移送通过往复单元150来完成。因此，往复单元具有x轴、y轴作业自由度。为移送基板200，本发明的检查装置利用赋予往复单元150的x轴、y轴作业自由度完成基板200的位置补正。

根据上述构成，可最大限度地减少相对于往复单元150较重的对齐单元170及检查单元190的移动。因此，可在改善作业速度的同时，完成精密的检查。另外，还可减少电力消耗。

为改善作业速度，利用往复单元150的基板200的移送路径可设置如下：

将从初始位置到检查单元190的基板200的移送路径定义为第一路径，且将从检查单元190到初始位置的基板200的移送路径定义为第二路径时，第一路径的长度比第二路径短。单个往复单元时，第一路径和第二路径有可能相同。但是，在具有多个往复单元的情况下，若第一路径和第二路径相同，则将发生各往复单元冲突的干涉问题。因此，在具有至少两个往复单元时，第一路径和第二路径需不同，而如何构成相互不同的路径，可影响作业的效率。

一般而言，在进行通电检查时，较之往复单元150的移送时间，对齐单元170对基板200的对齐状态确认和检查单元190的检查消耗较长时间。因此，为缩短整体的基板200通电检查时间，需最大限度地减少从初始位置到对齐单元170的移送距离和从对齐单元170到检查单元190的移送距离。而这可通过使第一路径的长度短于第二路径的长度实现。

具体而言，初始位置、对齐单元170及检查单元190可位于虚拟的一条直线上。

为改善作业速度，往复单元150可具备多个。例如，如图6至图13所示，具备第一往复单元150a和第二往复单元150b。

第一往复单元150a和第二往复单元150b可利用第一路径和第二路径中相互不同的路径移送基板200。其一例为，第一往复单元150a在第一路径上运行时，第二往复单元150b在第二路径运行，而第一往复单元150a在第二路径上运行时，第二往复单元150b在第一路径运行。此时，第一往复单元150a的第一路径和第二往复单元150b的第一路径可相同。即，第一往复单元150a的第一路径和第二往复单元150b都可将路径当做第一路径。第二往复单元150b的第二路径和第二往复单元150b的第二路径可以第一路径为中心形成。根据这些实施例，在具备多个第二往复单元150b的情况下，也可使第一路径的长度短于第二路径。例如，不受第二往复单元150b的数量的影响，可将第一路径形成在一条直线上。

图2为构成本发明的检查装置的装载单元及移动单元的概略示意图。

在装载于装载单元的基板200中，将以地面为准位于最上层的基板(沿z轴的正方向最大值位置的基板)定义为最上层基板。

首先，说明适用于第一装载单元110的实施例。

至少在移动单元移动最上层基板的时间点上，从地面到最上层基板的高度，不受装载于装载单元的基板200的数量而固定。

位于从地面高度的最上层基板(第n基板)通过移动单元移动至上述检查单元190的上游，则从地面到下一个最上层基板(第n-1基板)的高度将减少第n基板的厚度。因此，为移动第n-1基板，移动单元需下降第n基板的厚度。这样的移动单元的动作因引起与装载单元的干涉问题，控制的复杂性等而不可取。为使移动单元移动基板200的位置固定不变，装载单元可将第n-1基板上升第n基板的厚度。

为此，装载单元可包括装载基板200并沿z轴方向或重力方向移动的装载部111。

当移动单元移动从地面第一高度的基板200，则装载部111将第二高度的基板200上升至第一高度。

但是，近来因高集成化、小型化的趋势，基板200的厚度变得很薄。因此，装载部111因间隙(back lash)等机械误差难以可靠地上升基板200的厚度。因此，为了减少这样的机械误差而延长控制距离。

因此，装载部111不直接将第二高度的基板200上升至第一高度，而是下降至第三高度之后在上升至第一高度。在图1中，第一高度为第二高度为而第三高度为此时，各高度的关系可以是根据这样的构成，装载单元按图2中的左侧图、中间图及右侧图的顺序被驱动。

接着，说明适用于第二装载单元120的实施例。

至少在移动单元从检查单元190的下游卸载被移动的基板的时间点上，从地面到最上层基板的高度，不受装载于装载单元的基板200的数量而固定。

与上例相反，是检查后的基板200装载于装载单元的情况。此时，有必要将最上层基板下降基板200的厚度。此时，装载部111也可下降基板200的厚度。另外，为改善精密度，也可在下降比基板200的厚度大的距离之后适当上升。

即，在图2中，在具有第一高度>第二高度>第三高度的关系时，装载部111在将第一高度的最上层基板下降第三高度之后，上升至第二高度。根据这样的构成，装载部111按图2中的左侧图、中间图及右侧图的顺序被驱动。

如图2所示的移动单元包括具有x轴、y轴、z轴作业自由度的臂(arm)131及形成于臂131的端部并吸附基板200的吸附部133。.为最大限度地减少吸附基板200时对基板200的损坏，吸附部133具有较之臂131的z轴作业自由度短的距离的z轴作业自由度。

移动单元中的第一移动单元130可将检查前的基板200移动至初始位置。此时，作为移动对象的基板200可在第一装载单元110装载多个。在基板200较薄的情况下，在移动最上层基板时，其下的基板200有可能粘接于最上层基板移动。若多个基板200位于初始位置则在基板200的检查中有可能发生大的错误，因此，有必要可靠地只移动最上层基板。为此，移动单元在移动装载于装载单元的基板200之后，上升第一距离h₁之后，在比第一距离短的第二距离区间h₂中进行往复运动。这样的动作类似于抖掉某些东西的动作。通过移动单元的抖动动作可可靠地只将最上层基板200移动至移动单元。

另外，当第一装载单元110的基板200通过移动单元移动或基板200从第二装载单元120卸载时，基板200有可能在xy平面中散开。为提高检查前基板200的检查可靠性并提高检查后基板200的管理便利性，需对其散开的基板200。为此，各装载单元可包括对齐部。

图3为包含于构成本发明的检查装置的装载单元的对齐部概略示意图。

在xyz空间中沿z轴方向装载有多个基板200时，对齐部可将装载的基板200中的至少最上层的基板200沿x轴方向、y轴方向中的至少一个方向对齐。

为在平面上对齐基板200，需在四个方向导引基板200。因此，可具备沿x轴方向移动的两个第一对齐部113及沿y轴方向移动的两个第二对齐部115。如图3所示，为改善对齐的可靠性，简化构成，装载单元可将第一对齐部113中的一个和第二对齐部115中的一个用固定部117替代。

固定部117由壁等固定因素构成，可沿x轴方向或y轴方向中的一个方向与基板200接触。在图3中，沿x轴方向和y轴方向与基板200接触，因此，可利用一个第一对齐部113和一个第二对齐部115沿xy平面方向对齐基板200。

图4为用本发明的检查装置检查的基板200示意图。

如图4所示的基板200具备多个电路图案210和按不同电路图案形成的对准标记230。各电路图案210可以是搭载于产品的单位。例如，在图4中表示8个电路图案，而各电路图案可形成于移动通信终端的基板上。即，如图4所示的基板200在检查装置的下游完成的后续工艺中分离成8个电路图案设置在各移动通信终端。

当多个电路图案这样包含于一个基板200时，为了后续工艺的便利，按不同电路图案形成对准标记。

构成本发明的检查装置的对齐单元170可利用按不同电路图案形成的各对准标记确认各电路图案的对齐状态。即，本发明的对齐单元170不受检查单元190的检查单位的影响而确认所有对准标记的对齐状态。

检查单元190位于基板200的移送路径上的对齐单元170的下游并以一个以上的电路图案为检查单位检查各电路图案的通电状态。此时，检查单位可以是检查单元190的一次驱动，具体而言，可在xyz空间中一次z轴往复运动过程中检查的电路图案的数量。

检查单元190的检查对象是包含于基板200的所有电路图案。但是，检查单位可根据构成检查单元190的探头193的不同而不同。例如，设置有对如图4所示的基板200检查一个电路图案的探头193，则检查单位是一个电路图案。此时，检查单元190经过八次z轴往复运动过程，由往复单元150沿x轴方向或y轴方向移动基板200以检查适当的电路图案。设置有对如图4所示的基板200检查两个电路图案的探头193，则检查单位是两个电路图案。此时，检查单元190经过四次z轴往复运动过程。

往复单元150沿移送路径移送基板200，而且，在从对齐单元170到检查单元190的区间，根据对齐单元170的确认结果和检查单位对齐基板200。

因本发明的对齐单元170固定于xyz空间中，因此，当确认结果为基板200的对齐状态存在异常，则需要对齐基板200的手段。这个手段可以是往复单元150。

往复单元150在从对齐单元170到检查单元190的区间，沿x轴方向或y轴方向移动基板200，以补正对齐单元170确认的基板200的对齐误差。换言之，往复单元150在xy平面上具有x轴自由度和y轴自由度，且可沿形成于xy平面上的基板200的移送路径移送基板200。另外，可利用x轴自由度和y轴自由度经对齐单元170确认的基板200的x轴对齐误差和y轴对齐误差。

当检查单元190以一个电路图案作为检查单位时，各电路图案中有可能存在对齐误差。此时，往复单元150在检查单元190对一个电路图案进行检查并沿z轴方向远离基板200时，对作为下一个检查对象的电路图案进行相对于检查单元的匹配/对齐。这样的情况在检查单位小于包含在基板200的电路图案的数量时也类似。对于如图4所示的基板200，若检查单位为四个电路图案，则往复单元150可对包含四个电路图案的区域的对齐状态的对准标记进行位置补正。例如，当下面四个的电路图案为检查单位时，往复单元150根据对齐单元170的确认结果，利用最左侧从下自上的第二个对准标记和左右侧第一个标记对齐基板200。

综上所述，本发明的对齐单元170不受检查单元190的检查单位的影响而确认所有对准标记的对齐状态。因此，检查单元190的检查单位可设置成各种形式。检查单位可取决于检查单元190的探头193，而探头193在初始设置时决定。因此，根据本发明的实施例，检查单位可以在初始设置时变更，并对各种检查单位对齐基板200。

图5为构成本发明的检查装置的检查单元概略示意图。

检查单元190可通过与基板200的接触检查基板200的通电状态。为可靠地进行通电检查，检查单元190可包括探头193。探头193可通过与形成于基板200的电路图案直接接触而进行通电检查。

检查单元190可包括多个探头193、支撑探头193的夹具191、供夹具191设置的底盘195。可在相对于在夹具191上接受检查的电路图案的区域具备探头193。探头193的一端突出于区域而另一端连接于电子电路。

电子电路向电路图案施加检查信号并接收应答信号，以利用接收到的应到信号进行通电检查。

在xyz空间，检查单元190的初始设置时的设置自由度数量和检查单元190的驱动时的自由度数量有可能不同。

为了在各种环境中可靠地完成通电检查，检查单元190具有各种自由度为宜。因此，检查单元190的作业自由度可设置成各种形式。但是，给检查单元190赋予各种作业自由度时，检查单元190的控制将变得复杂。在检查装置中，检查单元190有可能是最大和最重的，而向各种方向移动该检查单元190，将意味着作业速度的降低。另外，电力消耗的增加也是显而易见的。

因此，检查单元190的作业自由度越少越好。其一例为，检查单元190只具有z轴作业自由度。另外，可靠的通电检查所需的其余自由度可利用设置自由度解决。即，根据本发明，检查单元190的作业自由度的数量和设置自由度的数量有可能不同。具体而言，作业自由度数量可少于设置自由度。

在xyz空间，检查单元190的初始设置时的设置自由度集合可在包含检查单元190的驱动时的作业自由度的关系中。

例如，检查单元190的作业自由度集合可以是以z轴自由度为元素的{z}。设置自由度集合可以是包含作业自由度集合的所有元素的{x，y，z，r_z}。此时，y为y轴自由度，x为x轴自由度，z为z轴自由度，r_z为以z轴为旋转轴的旋转自由度。可供参考的是，包含于作业自由度集合的z轴作业自由度和包含于设置自由度集合的z轴设置自由度只表示自由度而未考虑其大小。即，在xyz空间，即使具有相同的自由度，作业自由度和设置自由度的大小有可能不同。例如，初始设置时的z轴设置自由度用于调整探头193和基板200之间的距离，而驱动时的z轴作业自由度用于使初始设置的探头193接触基板200，其大小有可能不同。

另外，检查单元190可对基板200的两面进行通电检查。近来，因电路图案的高集成化，可在基板200的两面形成多个电路图案。根据不同的情况，基板200一面的电路图案可连接于基板200另一面的电路图案。因此，为了进行迅速可靠的通电检查，检查单元190可利用与基板200的一面接触的第一检查部192和与基板200的另一面接触的第二检查部194对通电状态进行检查。此时，第一检查部192和第二检查部194可同时与基板200接触。

在图5中，表示在基板200的上部具备第一检查部192，而在基板200的下部具备第二检查部194的情况。此时，基板200放置于形成有通孔153的梭子上，而且，被梭子的握紧部151握紧。

初始设置时，在xyz空间，第一检查部192的自由度数量和第二检查部194的自由度数量有可能不同。第一检查部192的位置和第二检查部194的位置是相对的。例如，有必要将第二检查部194沿第一方向移动时，也可将第一检查部192沿作为第一方向的相反方向的第二方向移动。考虑到这一点，第一检查部192和第二检查部194无需赋予相同的自由度。相反，若给第一检查部192和第二检查部194赋予相同的自由度，则有可能给使用者带来混淆，并使构成变得复杂。但是，根据本发明，第一检查部192的自由度数量和第二检查部194的自由度数量相互不同，因此不存在上述问题。

检查单元190利用以重力方向为准接触于基板200的上面的第一检查部192及接触于基板200的下面的第二检查部194检查通电状态。初始设置时，在xyz空间，第一检查部192的自由度数量有可能比第二检查部194的自由度数量少。这是因为较之设置于空中的第一检查部192的操作，设置于地面的第二检查部194的操作更容易。例如，在初始设置时，在xyz空间，第一检查部192具有z轴自由度、r_z自由度，而第二检查部194具有x轴自由度、y轴自由度、z轴自由度及r_z自由度。若加上第一检查部192的设置自由度和第二检查部194的设置自由度，则检查单元190将具有x轴自由度、y轴自由度、z轴自由度及r_z自由度。

图6至图13为表示本发明的检查装置的运行的概略示意图。附图所示的是基板200直接放置于往复单元150的情况。

如图6所示，第一移动单元130在第一装载单元110移动基板200。此时，第一往复单元150a位于检查单元190，而通过第一往复单元150a移送至检查单元190的基板200正在接受检查单元190的通电检查。第二移动单元140将经检查单元190检查的基板200移送至初始位置，而第二移动单元140移动初始位置的基板200。

如图7所示，第二移动单元140将放置于第二往复单元150b并结束检查的基板200移动至第二装载单元120中装载正常基板200的单元。第一移动单元130在第二移动单元140离开初始位置之后，将要检查的基板200移动至第二梭子(初始位置)。第一往复单元150a还在检查单元190中，而相应的基板200还在接受检查。

如图8所示，在检查单元190完成检查的基板200通过第一往复单元150a移动至第二路径。放置有将要检查的基板200的第二往复单元150b向x轴方向移动并移动至对齐单元170。此时，确认放置于第二往复单元150b的基板200的对齐状态。若对齐单元170的拍摄范围小于电路图案，则第二往复单元150b适当地向x轴方向或y轴方向移动，以确保进行正确的拍摄。第一移动单元130正在向第一装载单元110移动，而第二移动单元140移动至容易移动至初始位置的位置。

如图9所示，确认放置于第二往复单元150b的基板200的对齐状态并通过第二往复单元150b移动至检查单元190。第一往复单元150a沿第二路径在x轴上移动至初始位置。第一移动单元130移动至第一装载单元110。第二移动单元140维持图8的位置。

如图10所示，第一往复单元130将结束检查的基板200完全移动至初始位置。第二移动单元140移动至初始位置移动经检查的基板200。第一移动单元130从第一装载单元110移动将要检查的基板200。放置于第二往复单元150b的基板200还在检查单元190接受检查。

如图11所示，第二移动单元140将初始位置的基板200根据检查结果移送至第二装载单元120中装载有断路基板200的单元。第一移动单元130在第二移动单元140离开初始位置之后，将第一装载单元110的基板200移动至初始位置。放置于第二往复单元150b的基板200还在检查单元190接受检查。

如图12所示，在检查单元190完成检查的基板200通过第二往复单元150b移动至第二路径。放置有将要检查的基板200的第一往复单元150a沿第一路径进入对齐单元170以确认将要检查的基板200的对齐状态。

第一移动单元130从初始位置移动至第一装载单元110，而第二移动单元140从装载有断路基板200的单元移动至容易进入初始位置的位置。

如图13所示，第二往复单元150b沿第二路径移动至x轴上的初始位置。第一往复单元150a将在对齐单元170确认对齐状态的基板200沿第一路径移送至检查单元190。第一移动单元130结束向第一装载单元110的移动，而第二移动单元140维持图12的位置。

之后成为图7所示的状态。

本发明的检查装置按上述图6至图13的运行顺序重复，从而完成对基板200通电状态的检查。

根据上述检查装置的动作，两个往复单元150、第一路径、两个第二路径、只将检查前的基板200移动至初始位置的第一移动单元130、从初始位置只移动检查后的基板200的第二移动单元140、设置于从初始位置的直线上且无xy平面上运动的对齐单元170、检查单元190在相互无干涉的情况下，可迅速自动完成对基板200的通电检查。

上述实施例仅用以说明本发明而非限制，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明进行修改、变形或者等同替换。而在不脱离本发明的精神和范围内，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims

1.一种检查装置，其移送基板，对齐移送的基板并检查上述基板的通电状态，上述检查装置的特征在于：

包括：往复单元，沿上述基板的移送路径移送初始位置的上述基板；

对齐单元，位于上述基板的移送路径上并确认上述基板的对齐状态；及

检查单元，位于上述基板的移送路径上的上述对齐单元的下游并检查上述基板的通电状态；

其中，上述往复单元将经上述检查单元检查的上述基板移送至上述初始位置；

当将从上述初始位置到上述检查单元的上述基板的移送路径定义为第一路径并将从上述检查单元到上述初始位置上述基板的移送路径定义为第二路径时，

上述往复单元包括利用上述第一路径和上述第二路径中相互不同的路径移送上述基板的第一往复单元及第二往复单元；

上述第一往复单元的第一路径和上述第二往复单元的第一路径相同；

上述第一往复单元的第二路径和上述第二往复单元的第二路径能够以第一路径为中心形成。

2.一种检查装置，其移送基板，对齐移送的基板并检查上述基板的通电状态，上述检查装置的特征在于：

上述第一路径的长度短于上述第二路径的长度。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

包括：第一装载单元，用于装载上述基板；

移动单元，将装载于上述第一装载单元的上述基板移动至上述初始位置；

第二装载单元，用于装载经上述检查单元检查的上述基板；

其中，在xyz空间中，上述第一装载单元及上述第二装载单元在驱动时具有z轴作业自由度；

在xyz空间中，上述移动单元在驱动时具有x轴、y轴、z轴作业自由度；

在xyz空间中，上述往复单元在驱动时具有x轴、y轴作业自由度；

在xyz空间中，上述对齐单元在驱动时被固定；

在xyz空间中，上述检查单元在驱动时具有z轴自由度。

4.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

在xyz空间，上述检查单元的初始设置时的自由度数量和检查单元的驱动时的自由度数量不同。

5.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

在xyz空间，上述检查单元的初始设置时的自由度集合包括上述检查单元的驱动时的自由度集合。

6.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

上述检查单元包括利用与基板的一面接触的第一检查部和与上述基板的另一面接触的第二检查部；

初始设置时，在xyz空间，上述第一检查部的自由度数量和上述第二检查部的自由度数量不同。

7.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

其中，在初始设置时，在xyz空间，上述第一检查部具有z轴自由度、r_z自由度，而上述第二检查部具有x轴自由度、y轴自由度、z轴自由度及r_z自由度，

r_z为以z轴为旋转轴的旋转自由度。

8.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

上述检查单元包括利用以重力方向为准接触于上述基板的上面的第一检查部及接触于上述基板的下面的第二检查部；

初始设置时，在xyz空间，上述第一检查部的自由度数量少于上述第二检查部的自由度数量。

9.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

xy平面中，检查从(x₁，y₁)坐标向x轴方向移送的上述基板的通电状态，并将经检查的上述基板装载于(x₁，y_a)坐标，在此，a为非1的自然数。