CN201508402U - 旋转式基板测试机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种旋转式基板测试机构，包含有一旋转桌，能进行圆周运动且经过一进、出料位置、一对位位置及一电测位置、一置板平台供一基板放置、一旋转式吸盘手臂具有一可依预定路径移动并能进行180度旋转的支撑架及分别设置于该支撑架两端的第一吸附组件及第二吸附组件；三组基板夹臂等距设于旋转桌上，使任一基板夹臂位于进、出料位置时，能将基板平台上的基板夹持或将所夹持的基板放置于置板平台上、一CCD对位检测装置用以对位于对位位置的基板进行取像以计算位置偏差值；一基板电测装置用以对位于电测位置的基板进行接触式测试，以判读该基板为正常基板或不正常基板；藉以增进测试基板的效率。

Description

旋转式基板测试机构

技术领域

本实用新型涉及一种与基板测试机构有关，尤其是指一种旋转式基板测试机构。

背景技术

按，如中国台湾专利公告第548413号「基板检查装置及基板检查方法」揭露于一旋转桌上依预定间隔设置四个基板保持装置，用以稳固地保持被检查基板，并由一旋转桌驱动装置驱动旋转桌旋转，使该旋转桌上的基板保持装置上的被检查基板能依序能带引至一搬入位置、一位置偏差检测位置、一检查位置及一搬出位置，以由设置于搬入位置上的一搬入装置，将被检查基板搬移至位在搬入位置的基板保持装置上，而由设置于位置偏差检测位置上的一位置偏差检测装置，对位于此一位置的被检查基板的位置进行位置偏差量的检测，再由设置于检查位置的一检查装置，对位于检查位置的被检查基板配线进行检查作业，再由位于搬出位置的一搬出装置将位于搬出位置的被检查基板进行搬离旋转点的作业，藉以由旋转桌于搬入位置、位置偏差检测位置、检查位置与搬出位置间的分段旋转，而能持续地进行基板的测试作业。

然而，上述的机构必须将搬入位置及搬出位置分别独立为一区域，即旋转桌除位置偏差位置及检查位置外，还必须停靠于搬入位置及搬出位置上，而越多位置的停靠则必然使机构上的设计更为复杂、制造成本更为高昂。况且，由于搬入位置及搬出位置分别位于独立的区域上，因此旋转桌旋转一圈(对单一基板进行搬入、偏差量量测、配线检查、搬出)的时间则相对较长，自然有着测试效率不长的问题。再者，必须于搬入位置及搬出位置分别设置不同作用的搬入装置及搬出装置也必须增加制造上的成本。因此如何更有效率地进行基板测试及减少机构的成本与复杂度，便为目前业界所需解决的课题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的是提供一种旋转式基板测试机构，能有效增进测试基板的效率。

本实用新型的另一主要目的是提供一种旋转式基板测试机构，能有效减少所需的构件，以减低制造成本支出。

缘此，本实用新型提供一种旋转式基板测试机构，包含进行圆周运动且经过一进、出料位置、一对位位置及一电测位置的旋转桌；一置板平台供一基板放置；一旋转式吸盘手臂具有一可依预定路径移动并能进行180度旋转的支撑架及分别设置于该支撑架两端的第一吸附组件及第二吸附组件，支撑架旋转180度时第一、二吸附组件能交互位于置板平台上，以由该第一吸附组件将一基板放置于置板平台上，由该第二吸附组件将置板平台上的基板取出；至少三组基板夹臂等距设于旋转桌上，使任一基板夹臂位于进、出料位置时，能将基板平台上的基板夹持或将所夹持的基板放置于置板平台上；一CCD对位检测装置用以对位于对位位置的基板进行取像以计算位置偏差值；一基板电测装置用以对位于电测位置的基板进行接触式测试，以判读该基板为正常基板或不正常基板；

其中，该旋转桌设置于一旋转轴上，该旋转轴受一旋转桌驱动装置所带动而进行圆周运动。

其中，该旋转式基板测试机构还包含有多个载料架，位于该旋转式吸盘手臂的移动路径上，可界定出供待测基板放置的载料架、供测试完成且为正常基板放置的载料架、供测试完成且为不正常基板放置的载料架。

其中，该第一、二吸附组件利用真空吸力加以吸取基板。

本实用新型中的旋转式基板测试机构能够有效增加测试基板的效率。

附图说明

图1为本实用新型一较佳实施例的构件配置示意图；

图2为图1所示实施例的局部构件作动示意图；

图3为图1所示实施例的局部构件作动示意图；

图4～图6为图1所示实施例的作动示意图；

图7为图1所示实施例的局部构件作动示意图。

主要组件符号说明

旋转式基板测试机构100

旋转桌10                旋转轴11

基板夹臂20              置板平台30

旋转式吸盘手臂40        支撑架41

第一吸附组件42          第二吸附组件43

载料架50CCD             对位检测装置60

基板电测装置90          基板91、92

具体实施方式

为使能对本实用新型的特征与特点有更进一步的了解与认同，列举以下较佳实施例并配合图式说明如下：

请参阅图1至图7，为本实用新型一较佳实施例所提供一种旋转式基板测试机构100，其主要包含有一旋转桌10、至少三组基板夹臂20、一旋转桌驱动装置(图中未示)、一置板平台30、一旋转式吸盘手臂40、多个载料架50、一CCD对位检测装置60及一基板电测装置90；其中：

请参阅图1，该旋转桌10设置于一旋转轴11上。

请参阅图1，该至少三组基板夹臂20依等间距、等角度设置于该旋转桌10的周边位置上，用以夹持一基板。

请参阅图1，该旋转桌驱动装置用以驱动该旋转轴11进行同一圆心的圆周运动，使该旋转桌10至少能于一进、出料位置、一对位位置及一电测位置进行预定时间的停靠，且于该进、出料位置、对位位置及电测位置进行预定时间停靠时，该旋转桌10上的至少三组基板夹臂20恰正位于该进、出料位置、对位位置及电测位置上。

请参阅图2，该置板平台30，设置于该进、出料位置上，用以供一基板平放。

请参阅图1及图2，该旋转式吸盘手臂40，具有一可沿一预定路径移动的支撑架41，及分别设置于该支撑架41两端的第一吸附组件42及一第二吸附组件43，且该支撑架41能旋转180度，使第一吸附组件42与第二吸附组件43能于支撑架41旋转时，交互位于该置板平台30上方。

请参阅图1，该多个载料架50，设置于邻近该进、入料位置上，并位于该旋转式吸盘手臂40的移动路径上，可界定出供待测基板放置的载料架、供测试完成且为正常基板放置的载料架、供测试完成且为不正常基板放置的载料架及一预备载料架。

请参阅图1，该CCD对位检测装置60，设置于该对位位置上，用以对基板进行位置取像，以取得基板位置的偏差值。

请参阅图1，该基板电测装置90，设置于该电测位置上，用以对基板进行接触式的配线检查，以判读取得该基板为正常基板或不正常基板。

是以，上述即为本实用新型所提供较佳实施例旋转式基板测试机构100的各部构件及其组装方式介绍，接着再将本实用新型的使用特点介绍如下：

首先，旋转式吸盘手臂40由第一吸附组件42，将一位于待测试载料架中的基板91利用真空吸力加以吸取(如图2所示)，再进行180度的旋转，使该第一吸附组件42位于置板平台30上，而将该待测试基板91放置于该置板平台30上(如图3所示)，接着该旋转桌10便开始受该旋转桌驱动装置的带动而进行圆周运动，使其一基板夹臂20停靠于进、出料位置上，而能将位于置板平台30上的待测试基板91加以夹持，已完成进料作业，接着该旋转桌10再将已夹持待测试基板91的基板夹臂20旋转至对位位置上(如图4所示)，以由该CCD对位检测装置60对该待测试基板91进行位置的取像，并得出位置的偏差值，以由该基板夹臂20进行夹持位置的调整，接着该旋转桌10再将夹持已完成对位测试的待测试基板91的基板夹臂20旋转至电测位置上(如图5所示)，以由该基板电测装置90以接触式的方式对该待检测基板进行电路配线的探测，而判读出该基板为正常基板或为不正常基板，接着该旋转桌10再将夹持已完成测试基板91的基板夹臂20旋转至进、出料位置上(如图6所示)，并将此一基板91放置于置板平台30上而由该旋转吸盘手臂40的第一吸附组件42加以吸取(如图7所示)，已完成出料作业，当然在第一吸附组件42吸取此一完成测试的基板91前，该第二吸附组件43已于载料架50中另外吸取一待测试的基板92，而再进行支撑架41的180度旋转，使再将待测试的基板92放置于置板平台30上，而该旋转式吸盘手臂40则将第一吸附组件42上的已完测试基板91依测试结果放置于正常基板载料架或不正常基板载料架中，如此便能持续地由第一、二吸附组件42、43于同一进、入料位置分别进行将待测试基板放置于置板平台30上或将置板平台30上的已完成测试基板加以吸取放置于预定的载料架中，并由各个基板夹臂20依序地将自置板平板30上所夹持的基板进行对位检查、电测检查旋转至进、出料位置上，而能持续地进行基板测试。

是以，本实用新型通过旋转式吸盘手臂40具有第一、二吸附组件42、43并能进行180度的旋转，而能在进、出料位置上进行进料(放置基板于置板平台上)与出料(自置板平台上吸取基板)的作业，使旋转桌仅需进、出料位置、对位位置及电测位置，即三个位置间旋转即可持续地进行基板测试作业，不仅能有效增进测试基板的效率，更能减少机构的复杂度，并能有效降低制造所需的成本支出。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种旋转式基板测试机构，其特征在于，包含有：

一进行圆周运动，且该圆周运动能经过一进、出料位置、一对位位置及一电测位置的旋转桌；

一置板平台，设置于进、出料位置上，供一基板放置；

一旋转式吸盘手臂，具有一可依预定路径移动并能进行180度旋转的支撑架及分别设置于该支撑架两相对端的第一吸附组件及一第二吸附组件，使该支撑架旋转180度时该第一、二吸附组件能交互位于置板平台上，以由该第一吸附组件将一基板放置于置板平台上及由该第二吸附组件将置板平台上的基板取出；

至少三组基板夹臂，分别依等间距设置于该旋转桌上，使任一基板夹臂位于进、出料位置时，能将基板平台上的基板夹持或将所夹持的基板放置于置板平台上；

一CCD对位检测装置，设置于对位位置上，用以对位于对位位置的基板进行取像以计算位置偏差值；

一基板电测装置，设置于电测位置上，用以对位于电测位置的基板进行接触式测试，以判读该基板为正常基板或不正常基板。

2.根据权利要求1所述的旋转式基板测试机构，其特征在于，其中该旋转桌设置于一旋转轴上，该旋转轴受一旋转桌驱动装置所带动而进行圆周运动。

3.根据权利要求1所述的旋转式基板测试机构，其特征在于，还包含有多个载料架，位于该旋转式吸盘手臂的移动路径上，可界定出供待测基板放置的载料架、供测试完成且为正常基板放置的载料架、供测试完成且为不正常基板放置的载料架。

4.根据权利要求1所述的旋转式基板测试机构，其特征在于，其中该第一、二吸附组件利用真空吸力加以吸取基板。

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