JP2001235507A - プリント配線板の導通検査装置及び導通検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 効率よくコスト安で正確に導通検査可能なプ
リント配線板の導通検査装置及び導通検査方法を提供す
ること。 【解決手段】 回転テーブル２００に設けられ検査すべ
きプリント配線板を入れる基板治具２０１〜２０６と，
上記回転テーブル２００に沿って環状に配置され，プリ
ント配線板を基板治具２０１〜２０６に搬入する搬入ス
テージ２１と，プリント配線板２０１〜２０６のズレ量
を求め，検査ステージ２３，２４に伝達する画像処理ス
テージ２２と，プリント配線板の配線回路の導通検査を
行なう検査ステージ２３，２４とを有し，かつ基板治具
２０１〜２０６は少なくとも搬入ステージ２１，画像処
理ステージ２２及び上記検査ステージ２３，２４の数に
応じた数配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は，プリント配線板の配線回路の導
通検査方法及び導通検査装置に関する。

【０００２】

【従来技術】後述する図５（ａ），（ｂ）に示すごと
き，電子部品１１搭載用のプリント配線板１が知られて
いる。プリント配線板１に電子部品１１を搭載する際，
該電子部品１１とプリント配線板１の配線回路１３とを
導通させるために，表面回路１３１と電子部品１１上に
形成されたバンプ１１０を介して接続するフリップチッ
プ方式で実装される。

【０００３】このようなプリント配線板１における配線
回路１３の導通検査方法として，次のような検査が知ら
れている。なお，以下の説明において各処理に付し
た（）つきの数字は，後述する図１４の線図と対応させ
た数字である。図１３に示すごとく，検査すべきプリン
ト配線板９９の表面回路に一対一で対向可能にレイアウ
トされたコンタクトピン９５を有するチェッカーヘッド
９４と，該チェッカーヘッド９４と対向し，該チェッカ
ーヘッド９４と共にプリント配線板９９をプレス可能に
構成したカメラ内蔵基台９１と，両者間に設けた検査す
べきプリント配線板９９を入れるための基板治具９３と
を備えた導通検査装置９を準備する。なお，同図におい
てプリント配線板９９が持つ検査すべき配線回路は記載
を省略した。

【０００４】上記導通検査装置９の基板治具９３に対し
検査すべきプリント配線板９９を（１）搬入し，基板治
具９３に対して（２）位置決めして，クランプ（図示
略）で固定する。次いで，基板治具９３の下方から基台
９１に搭載したカメラ９２を用いて，プリント配線板９
９のアライメントマーク９８を撮影する。得られたアラ
イメントマーク９８の画像を基準画像と比較して，両者
のズレ量データを求める（３）画像処理を行なう。

【０００５】次いで，このデータから基板治具９３の位
置やチェッカーヘッド９５の位置を補正する（４）補正
動作を行なう。この補正により，チェッカーヘッド９４
のコンタクトピン９５を検査すべきプリント配線板９９
の対応する表面回路に一対一で位置合わせできる。次い
で，チェッカーヘッド９４と基台９１とを用いてプリン
ト配線板９９をプレスして，基台９１とコンタクトピン
９５との間に電流を流す。

【０００６】あるコンタクトピン９５と基台９１との間
が導通状態となれば，そのコンタクトピン９５と接する
表面回路，内部回路，裏面端子は良品である。導通しな
かった場合は不良である。従って，全てのコンタクトピ
ン９５における導通の有無を測定することで，配線回路
の（６）導通検査を行なうことができる。導通検査終了
後，チェッカーヘッド９４と基台９１とをそれぞれ後退
させ，プリント配線板９９を（７）開放する。その後，
基板治具９３からプリント配線板９９を（８）搬出す
る。これらの各処理を時系列に記載したのが図１４であ
る。

【０００７】

【解決しようとする課題】図１４から知れるように，従
来方法にかかる導通検査は全ての処理が順序良く時系列
に行われる。そのため，検査時間が長くなり，大量生産
の際に導通検査により全体の生産工程が律速されるとい
う問題があった。更に，従来方法ではカメラを内蔵した
複雑な構造の基台を利用するため，導通検査装置の製造
及びメンテナンスが面倒で，コスト高であった。

【０００８】更に，上述の理由から少量多品種なプリン
ト配線板の検査時等は基台やチェッカーヘッド交換が面
倒で手間がかかっていた。更に，チェッカーヘッドと基
台とで囲まれた非常に狭い空間でアライメントマークの
撮影が行われるため，安定した画像照度を得ることが難
しく，その結果基板治具の位置やチェッカーヘッドの位
置補正が不充分となることも多かった。基板治具やチェ
ッカーヘッドの位置補正が不充分な際は導通検査結果も
不正確となる。

【０００９】本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので，効率よくコスト安で正確に導通検査可能
なプリント配線板の導通検査装置及び導通検査方法を提
供しようとするものである。

【００１０】

【課題の解決手段】請求項１に記載の発明は，配線回路
を設けたプリント配線板において，上記配線回路の導通
を検査する際に用いるプリント配線板の導通検査装置で
あって，回転テーブルと，該回転テーブルに設けられ検
査すべきプリント配線板を入れる基板治具と，上記回転
テーブルに沿って環状に配置され，上記プリント配線板
を上記基板治具に搬入する搬入ステージと，上記プリン
ト配線板のズレ量を求め，検査ステージに伝達する画像
処理ステージと，上記プリント配線板の配線回路の導通
検査を行なう検査ステージとを有し，かつ上記基板治具
は少なくとも上記搬入ステージ，上記画像処理ステージ
及び上記検査ステージの数に応じた数配置されているこ
とを特徴とするプリント配線板の導通検査装置にある。

【００１１】本発明において最も注目すべきことは，導
通検査装置が，回転テーブルに設けた基板治具，回転テ
ーブルに沿って配置された搬入，画像処理，検査ステー
ジより構成された点である。そして，基板治具に入れた
検査すべきプリント配線板は回転テーブルの回転と共に
各ステージを巡回し，各ステージで処理が施され，導通
検査が行なわれる。

【００１２】各ステージの詳細等は後述するが，搬入ス
テージではプリント配線板搬入に必要な構成を有し，画
像処理ステージでは画像処理を利用して，基板治具に入
れたプリント配線板が所定位置からどれだけズレたか，
そのズレ量を求める構成と，ズレ量に基づいて，配線回
路の導通検査を確実に行なうことができるように検査ス
テージを調整するために，ズレ量のデータを伝達できる
構成を有する。検査ステージは配線回路の導通検査を行
なうための構成を有する。

【００１３】次に，本発明の作用につき説明する。回転
テーブルには各ステージに応じた数の基板治具があり，
回転テーブルを回転させることで，基板治具は各ステー
ジを次々経由して通過する。従って，搬入ステージにあ
る基板治具が存在する際，別の基板治具は画像処理ステ
ージにあり，更に別の基板治具は検査ステージにある。
このため，少なくとも基板治具に対するプリント配線板
の搬入，基板治具に入れたプリント配線板の画像処理，
プリント配線板の配線回路の導通検査を略同時に行なう
ことができる。このため，検査の所要時間を短くするこ
とができる。

【００１４】また，従来の検査装置では，前述の図１３
に示すごとく，同じ場所で基板治具にプリント配線板を
搬入し，画像処理を行い，導通検査を行っていた。本発
明の導通検査装置は，別々の場所でこれらの処理ができ
るように構成されているため，各ステージは比較的単機
能に構成され，構造が複雑となりにくい。このため，導
通検査装置の製造及びメンテナンスが容易で，コスト安
とすることができる。また，上述の理由から少量多品種
のプリント配線板検査時に，検査ステージの検査すべき
プリント配線板の形や構造に応じた状態への変更が容易
である。

【００１５】また，本発明の導通検査装置では，画像処
理を画像処理に特化したステージにおいて行うことがで
きる。よって従来の他の処理と兼用された場所等で行な
う場合と比較して，正確な画像処理が可能となる。その
ため，画像処理ステージで求めたズレ量を伝達して検査
ステージの調整を行なう際に，より正確な調整を行なう
ことができる。よって，より正確な検査を行なうことが
できる。

【００１６】以上，本発明によれば，効率よくコスト安
で正確に導通検査可能なプリント配線板の導通検査装置
を提供することができる。

【００１７】また，本発明にかかる導通検査装置は上記
以外の処理を行うことができるよう構成された別のステ
ージを持つこともある。例えば後述する不良品取出しス
テージ，検査で良品と判断されたプリント配線板を搬出
する良品搬出ステージ等を備えることができる。また，
複数の機能を一つのステージに持たせることもできる。
例えば搬入ステージに検査済みのプリント配線板を搬出
できるよう構成することもできる。

【００１８】次に，請求項２に記載の発明のように，上
記基板治具は等間隔で配置されていることが好ましい。
回転テーブルが回転することで，搬入ステージ，画像処
理ステージ，検査ステージに対し同時に各基板治具を位
置させることが確実にできるようになり，本発明の効果
を確実に得ることができる。

【００１９】次に，請求項３に記載の発明のように，上
記基板治具は複数のプリント配線板が配置可能であるこ
とが好ましい。これにより，複数枚のプリント配線板の
検査を同時に行なうことができ，より効率良い検査が可
能となる。

【００２０】次に，請求項４に記載の発明のように，上
記画像処理ステージは，上記プリント配線板に予め設け
てあるアラインメントマーク位置を撮影装置で撮影し，
得られたアライメントマーク位置の画像を基準画像と比
較してズレ量を検出し，そのズレ量データを検査ステー
ジに伝達し，検査ステージを調節する画像処理装置を有
することが好ましい。アライメントマークを利用するこ
とで，画像の比較が容易となり，素早く正確なズレ量の
検出が可能となる。また，上記アライメントマークの欠
損を判定するため，予めプリント配線板の良，不良の調
査を行なうことができる。

【００２１】ここにズレ量とは，検査ステージにおいて
配線回路が検査可能となるプリント配線板の位置と現実
のプリント配線板の位置との差である。また基準画像と
は配線回路が検査可能となる位置に正確にプリント配線
板が設置された場合に得られるアライメントマーク位置
の映像である。

【００２２】次に，請求項５記載の発明のように，上記
検査ステージは，上記プリント配線板の検査すべき配線
回路に対応するよう構成した導電性コンタクトピンを持
つチェッカーヘッドを有し，該チェッカーヘッドを上記
プリント配線板の配線回路にプレスして，上記導電性コ
ンタクトピンと上記配線回路とを一対一で当接させるこ
とで導通検査を行なう導通検査装置を有することが好ま
しい。これにより，チェッカーヘッドをプリント配線板
にプレスするという単純な動作で，全ての配線回路につ
いての確実な導通検査が可能となる。また，プレスして
行なうことで，コンタクトピンの良，不良を判定でき，
検査の信頼性を高めることができる。

【００２３】また，上記画像処理ステージにおいて，ズ
レ量データが検査ステージに伝達されるが，この伝達に
より上記チェッカーヘッドの位置が調整されるよう構成
されていることが好ましい。チェッカーヘッドにおける
各導電性コンタクトピンが配線回路に確実に一対一で対
応せねば，上記構成において導通検査を行なうことがで
きない。従って，チェッカーヘッドの位置を調整するこ
とで，コンタクトピンと配線回路とを確実に位置合わせ
することができる。また，上記チェッカーヘッドは例え
ば，回転テーブルの径方向，該径方向と直交する方向
（回転テーブルの接線方向），径方向と直交方向とによ
って構成される座標系に対する回転方向等，３次元的に
自在に移動可能に構成されている。これにより，上記調
整を容易に行なうことができる。

【００２４】また，チェッカーヘッドは検査したいプリ
ント配線板の配線回路のレイアウトに基づいたものをい
くつか準備し，同じ検査装置のヘッド固定部に交換可能
に固定することができる。これにより，一台で複数種類
の配線回路レイアウトの異なるプリント配線板の導通検
査が可能な導通検査装置を得ることができる。

【００２５】次に，請求項６記載の発明のように，上記
検査ステージは複数箇所設けてあり，該複数の検査ステ
ージ，上記搬入ステージ，上記画像処理ステージの合計
数と少なくとも同数の基板治具が上記回転テーブルに配
置されていることが好ましい。このような構成とするこ
とで，回転テーブルの回転により，搬入ステージ，画像
処理ステージ，検査ステージに対し同時に各基板治具を
位置させることができ，本発明の効果を確実に得ること
ができる。

【００２６】次に，請求項７記載の発明のように，上記
導通検査装置は更に不良品を取出す不良品取出し部を有
することが好ましい。これにより，不良品を確実に良品
と区別して取り出すことができる。なお不良品取出し部
を不良品取出しステージとして，ステージの形態で別途
設けることもできる。

【００２７】次に，請求項８記載の発明は，配線回路を
設けたプリント配線板において，上記配線回路の導通を
検査する際に用いるプリント配線板の導通検査方法であ
って，回転テーブルに検査すべきプリント配線板を入れ
る基板治具を複数個配置し，上記回転テーブルを回転さ
せて，上記プリント配線板を上記基板治具に搬入する搬
入処理と，上記プリント配線板のズレ量を求め，ズレ量
に基づいてプリント配線板が導通検査を受けることがで
きるような調整を行なう画像処理と，上記プリント配線
板の配線回路の導通検査を行なう検査とを順次行なうこ
とを特徴とするプリント配線板の導通検査方法にある。

【００２８】次に，本発明の作用につき説明する。本発
明によれば，回転テーブルを回転させて各処理を順次行
なうことができる。従って，検査すべきプリント配線板
の搬入，画像処理，検査を順次行なうことができると共
にこれらの処理を略同時に行なうことができる。このた
め，検査の所要時間を短くすることができる。更に検査
の速度を高めることができる。

【００２９】また，本発明では，別々の場所で各処理が
可能となるため，検査用の装置の構造が複雑となり難
い。このため，本例にかかる導通検査を行なうための導
通検査装置が製造及びメンテナンスが容易で，コスト安
とすることができる。また，上述の理由から少量多品種
のプリント配線板検査時に，プリント配線板の形や構造
に応じて導通検査装置を変更することが容易である。

【００３０】また，本発明にかかる画像処理は，画像処
理に特化した場所において行なうことが可能であるた
め，従来の他の処理と兼用された場所で行なう方法と異
なり一層正確な処理が可能となる。本発明にかかる方法
では，画像処理にてプリント配線板の正規の位置からの
ズレ量を求めて，これを利用して導通検査を行なってい
るため，ズレ量が正確であればより正確な導通検査を行
なうことができる。

【００３１】以上，本発明によれば，効率よくコスト安
で正確に導通検査可能なプリント配線板の導通検査方法
を提供することができる。

【００３２】次に，請求項９記載の発明のように，上記
画像処理は，上記プリント配線板に予め設けてあるアラ
インメントマーク位置を撮影装置で撮影し，得られたア
ライメントマーク位置の画像を基準画像と比較してズレ
量を検出し，そのズレ量データを検査を行なう装置に対
し伝達することが好ましい。

【００３３】アライメントマークを利用することで，画
像の比較が容易となり，素早く正確なズレ量の検出が可
能となる。また，上記アライメントマークの欠損を判定
するため，予めプリント配線板の良，不良の調査を行な
うことができる。

【００３４】次に，請求項１０記載の発明は，上記検査
は，上記プリント配線板の検査すべき配線回路に対応す
るよう構成した導電性コンタクトピンを持つチェッカー
ヘッドを用いて，該チェッカーヘッドを上記プリント配
線板の配線回路にプレスして，上記導電性コンタクトピ
ンと上記配線回路とを一対一で当接させることにより行
なうことが好ましい。

【００３５】これにより，チェッカーヘッドをプリント
配線板にプレスするという単純な動作で，全ての配線回
路についての確実な導通検査が可能となる。また，プレ
スして行なうことで，コンタクトピンの良，不良を判定
でき，検査の信頼性を高めることができる。

【００３６】次に，請求項１１記載の発明のように，上
記検査後，良品と不良品とを別々に搬出することが好ま
しい。これにより，不良品を確実に良品と区別して取り
出すことができる。

【００３７】次に，請求項１２記載の発明のように，上
記各処理に先立って，全ての配線回路が正常である基準
プリント配線板を用いて，下記の（ａ）〜（ｃ）に示す
工程からなるチェカーヘッドの位置合わせ処理を行なう
ことが好ましい。

【００３８】（ａ） チェッカーヘッドを一直線方向の
Ｘ方向に等間隔ｄＸで移動させて導通検査を行なう移動
工程。 （ｂ） 上記（ａ）の移動工程において，各点において
得られる導通信号と非道通信号の検出結果から，上記Ｘ
方向における非道通信号の検出個数が最小となる範囲の
始端をＳＸ，終端をＴＸとして，上記二点間の中点ＣＸ
を判定して，その位置ＣＸを演算する演算工程。 （ｃ） 上記中点ＣＸに基づいて上記チェッカーヘッ
ド，上記基板治具の少なくとも一方を位置補正する補正
工程。

【００３９】これにより，予め基準プリント配線板を用
いてチェッカーヘッドの位置合わせを行なうことがで
き，画像処理を利用した調整がより容易になる。このた
め，より正確な導通検査を行なうことができる。

【００４０】また，本請求項では，チェッカーヘッドを
Ｘ方向に等間隔ｄＸで移動させ，非導通信号の検出個数
が最小となる範囲ＳＸ−ＴＸの中点ＣＸを検出し，該中
点ＣＸに基づいてチェッカーヘッドの位置合わせを行な
う。

【００４１】よって，チェッカーヘッドの位置合わせに
要する時間は，チェッカーヘッドをＸ方向に移動して導
通信号や非導通信号を検出し，中点ＣＸを演算で求める
に必要な時間となる。これらは適当なハードウェアやソ
フトウェアを搭載した制御装置によって短時間かつ自動
的に人手を介することなく実現できる。よって，位置合
わせに要する時間を大幅に短縮することができると共
に，作業が自動化され作業員の熟練度や能力によらない
効率的で正確な位置合わせを行なうことができる。

【００４２】上記基準プリント配線板として，例えば検
査すべきプリント配線板の良品を使用することができ
る。ここに良品とは，全ての配線回路が確実に導通した
正常なプリント配線板である。また，基準プリント配線
板として，良品か否か判明していないプリント配線板を
用いることもできる。

【００４３】また，チェッカーヘッドの移動範囲は適当
に定めることができるが，最大でも後述する図２に示す
ごとく，チェッカーヘッドが，該チェッカーヘッドの左
端（または右端）が基準プリント配線板の右端（または
左端）と重なりあう位置から上記チェッカーヘッドの右
端（または左端）が基準プリント配線板の左端（または
右端）と重なりあう位置まで移動できる範囲とすればよ
い。

【００４４】また，移動範囲や中点の決定について一例
を次に示す。基準プリント配線板位置を固定し，チェッ
カーヘッドをＸ方向左右に動かした状態を考える。後述
する図８に示すごとく，Ｘ方向左方から右方へとチェッ
カーヘッドを移動させる場合，まずチェッカーヘッドを
基準プリント配線板と全く重ならない左方に配置する。
この時のチェッカーヘッドの位置が符号３１である。こ
こを移動範囲の始端Ｘ１とする。

【００４５】始端Ｘ１から，基準プリント配線板１００
の真上を経由して（この時のチェッカーヘッドの位置が
符号３２である。），チェッカーヘッドを該基準プリン
ト配線板１００と全く重ならない右方へと移動させる。
この時のチェッカーヘッドの位置が符号３３である。こ
こを移動範囲の終端Ｘ２とする。

【００４６】チェッカーヘッドの移動につれて，該チェ
ッカーヘッド右端が基準プリント配線板左端に重なり，
Ｘ方向において最も右端にあるチェッカーヘッド側のコ
ンタクトピンと基準プリント配線板のＸ方向において最
も左端にある配線回路とが導通可能となる。この時，非
道通信号の個数は最大値から一個減少する。なお非道通
信号の最大値とは，すべてのコンタクトピンから非道通
信号が検出されている状態であり，よって最大値はコン
タクトピンの個数に等しい。

【００４７】その後，チェッカーヘッドが右方に移動す
るにつれて，図９に示すごとく，非道通信号の数が減り
つづけ（Ｘ１−ＳＸ間），ついには最低値（ＳＸ）に達
する。この時，最も多くのコンタクトピンと配線回路と
が導通し，導通信号の個数が最大となる。続いて，チェ
ッカーヘッドは右方に移動するが，配線回路もコンタク
トピンもそれぞれ有限の径を持っているため，しばらく
の間，両者は後述する図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）に
示すごとき位置関係を保ち，よって，図９の線図に示す
ごとく，平らな状態が続く（ＳＸ−ＴＸ間）。

【００４８】更に，チェッカーヘッドの移動につれて再
び非道通信号の個数が増大し（ＴＸ−Ｘ２），最終的に
最高値に達する。これは図８における符号３３の位置ま
でチェッカーヘッドが移動し，全てのコンタクトピンが
完全に基準プリント配線板に対し位置ずれしたからであ
る。

【００４９】このように，非導通信号の数が減りつづ
け，最低値に達し，しばらくその状態が続いた後，再び
非道通信号の数が減りつづけるという現象が観察される
ようにチェッカーヘッドの移動範囲を定めることができ
る。そして，上記移動範囲において，非導通信号の検出
個数が最小となる範囲の始まりを導通信号検出始まり点
ＳＸ，非導通信号の検出個数が最小となる範囲の終わり
を導通信号検出終わり点をＴＸとして検出し，これらか
らＳＸ−ＴＸの中点ＣＸを判定することができる。な
お，Ｘ方向としては特に限定なく適当な方向を選択する
ことができる。

【００５０】また，上記中点ＣＸに基づいて上記チェッ
カーヘッド，上記基板治具の少なくとも一方を位置補正
するに当り，例えばチェッカーヘッドや基板治具のＸ方
向における中心位置を上記中点ＣＸに対し合わせること
ができる。なお，基板治具に対し基準プリント配線板は
動かないように固定されている。

【００５１】また，チェッカーヘッドを移動させる際の
間隔ｄＸは配線回路における表面回路の径よりも小さく
する必要がある。また，本発明にかかる検査方法では配
線回路の導通検査と共にコンタクトピンの導通不良の検
査を発見することができる。後述する実施形態例に示す
ごとく，本発明の検査方法によれば位置合わせの最中の
各コンタクトピンからは導通信号や非導通信号がチェッ
カーヘッドの位置に応じて検出される。

【００５２】仮にコンタクトピンに導通不良があった場
合は，そのコンタクトピンからは位置合わせの最中を通
して常に非道通信号が検出されることになる。従って，
本発明にかかる導通検査方法は配線回路の不良と共にコ
ンタクトピンの不良を容易に発見することができる。な
お，コンタクトピンの不良は例えばピン内部の断線，ピ
ンの傾きや破損等が原因となる。

【００５３】

【発明の実施の形態】実施形態例１ 本発明の実施形態例にかかるプリント配線板の導通検査
装置と導通検査方法につき，図１〜図６を用いて説明す
る。本例では，図５に示すごとく，配線回路１３を設け
たプリント配線板１において，上記配線回路１３の導通
を検査する際に用いる導通検査装置２について説明す
る。

【００５４】図１，図２に示すごとく，この導通検査装
置２は，回転テーブル２００と，該回転テーブル２００
に設けられ，検査すべきプリント配線板１を入れる６個
の基板治具２０１〜２０６と，上記回転テーブル２００
の外周に沿って環状に配置され，上記プリント配線板１
を上記基板治具２０１〜２０６に搬入する搬入ステージ
２１と，上記プリント配線板１のズレ量を求め，第１及
び第２検査ステージ２３，２４に伝達する画像処理ステ
ージ２２と，上記プリント配線板１の配線回路１３の導
通検査を行なう第１及び第２検査ステージ２３，２４と
を有する。また，その他に不良品排出ステージ２５，良
品搬出ステージ２６を有する。

【００５５】上記基板治具２０１〜２０６は上記搬入ス
テージ２１，画像処理ステージ２２，第１，第２検査ス
テージ２３，２４，不良品排出ステージ２５，良品搬出
ステージ２６の数に応じて６個，回転テーブル２００上
に設けてある。

【００５６】このような導通検査装置２を用い，上記回
転テーブル２００を回転させて，上記プリント配線板１
を上記基板治具２０１〜２０６に搬入する搬入処理と，
上記プリント配線板１のズレ量を求める画像処理と，上
記プリント配線板１の配線回路１３の導通検査を行なう
検査等とを順次行なう。

【００５７】以下，詳細に説明する。まず，本例で検査
の対象となるプリント配線板１について説明する。この
プリント配線板１は，図５（ａ），（ｂ）に示すごと
き，電子部品１１を搭載するためのプリント配線板１
で，電子部品１１の搭載部と該搭載部周辺の表面に設け
た図５（ｃ）に示すごとき，多数の表面回路１３１を有
する（（ａ）〜（ｃ）の図面では簡略化のために一部の
表面回路１３１のみを記載した。）。図５（ｃ）に示す
ごとく，表面にアライメントマーク１９が設けてある。

【００５８】表面回路１３１はプリント配線板１内部の
対応する内部回路１３２と導通し，該内部回路１３２は
図５（ｂ）に示すごとく，プリント配線板１の裏面の対
応する裏面端子１３３と導通するよう構成される。これ
ら表面回路１３１，内部回路１３２，裏面端子１３３よ
り配線回路１３が構成される。なお上記表面回路１３
１，裏面端子１３３は半田バンプより構成されている。

【００５９】プリント配線板１に電子部品１１を搭載す
る際は，該電子部品１１とプリント配線板１の配線回路
１３とを導通させるために，表面回路１３１と電子部品
１１上に形成されたバンプ１１０を介して接続されるフ
リップチップ方式で実装される。なお，同図にかかる符
号１２は封止用樹脂である。これにより，電子部品１１
からの出力をバンプ１１０，配線回路１３を経てプリン
ト配線板１の裏面側に引き出したり，裏面側からの入力
を電子部品１１に伝えることができる。

【００６０】また，上記表面回路１３１は図５（ｄ）に
示すごとく，間隔Ｗで配列されている。間隔Ｗは等間隔
である部分とそうでないところとがあり，本例にかかる
プリント配線板１では，平均０．１００ｍｍである。ま
た，表面回路１３１の径Ｒは０．１ｍｍ程度である。

【００６１】図１に示すごとく，本例の導通検査装置２
は，円形の回転テーブル２００を有し，該回転テーブル
２００を回転駆動するための駆動系（図示略）や制御系
（図示略）より構成される。この回転テーブル２００に
対し各ステージ２１〜２６は外周に沿って環状，等間隔
で配置される。これらの各ステージ２１〜２６におい
て，導通検査に必要な各処理が時間的に並列に各プリン
ト配線板１に対し行われる（図４参照）。

【００６２】また，各ステージ２１〜２６と一対一で対
応する６つの基板治具２０１〜２０６が回転テーブル２
００に等間隔に配置されている。各基板治具２０１〜２
０２は２枚のプリント配線板を同時に搭載可能であり，
２つのプリント配線板搭載部２７１，２７２を有する。
また図示を略したが，プリント配線板を基板治具２１，
２２に固定するためのクランプを有する。

【００６３】各ステージ２１〜２６について説明する。
なお，各ステージ２１〜２６は，搬入ステージ２１と画
像処理ステージ２２，第１及び第２検査ステージ２３，
２４，不良品排出ステージ２５，良品搬出ステージ２６
である。

【００６４】搬入ステージ２１は，基板治具２０１に未
検査のプリント配線板を搬入する搬入装置（図示略）を
備えている。なお，以下の説明において搭載部２７１に
搭載されたプリント配線板をＡ，搭載部２７２に搭載さ
れるプリント配線板をＢとする。図１等において，斜線
のハッチを付した箇所が搭載部２７１である。

【００６５】画像処理ステージ２２は，図２に示すごと
く，２基の撮影装置２２１，２２２と画像処理装置２２
０とを有する。撮影装置２２１，２２２で，プリント配
線板Ａ，Ｂのアラインメントマーク１９の位置を撮影す
る。画像処理装置２２０では，得られたアライメントマ
ーク１９の位置の画像を，基準画像と比較してプリント
配線板Ａ，Ｂが所定の位置よりどれだけズレているか，
そのズレ量を検出する。そして，ズレ量データを検査ス
テージ２３に伝達する。

【００６６】これを受けて，第１及び第２検査ステージ
２３，２４では，画像処理ステージ２２に位置するプリ
ント配線板Ａ，Ｂが回転テーブル２００の回転と共に移
動して，第１及び第２検査ステージ２３，２４に到達す
る前にチェッカーヘッド２３２，２４２等の位置補正を
行なう。

【００６７】ここにプリント配線板Ａ，Ｂの所定の位置
とは，第１，第２検査ステージ２３，２４でプリント配
線板Ａ，Ｂをプレスすべきチェッカーヘッド２３２，２
４２のコンタクトピン２３３，２４３が確実に一対一の
対応で配線回路と導通可能となる位置で，例えば図３に
示すような状態が実現できる位置である。また，基準画
像とは，プリント配線板Ａ，Ｂが上記所定の位置にあっ
た際のアライメントマーク位置を表わす画像である。

【００６８】第１及び第２検査ステージ２３，２４は，
プリント配線板搭載部２７１，２７２にそれぞれ入った
プリント配線板Ａ，Ｂをそれぞれ検査可能に構成され，
第１検査ステージ２３ではプリント配線板Ｂを，第２検
査ステージ２４ではプリント配線板Ａの検査を行なう。
両検査ステージ２３，２４は，プリント配線板Ａ，Ｂに
おける配線回路と一対一で対応可能に構成された導電性
コンタクトピン２３３，２４３を有するチェッカーヘッ
ド２３２，２４２が設けてある。

【００６９】図３に示すごとく，上記チェッカーヘッド
２３２は，基板治具２０３に設けた搭載部２７２と共に
検査装置本体２３１にリード線２３８で接続されてい
る。また，搭載部２７２には裏面端子１３３と一対一で
対応し，検査の際に裏面端子１３３を当接させる検査端
子２７３が設けてある。そして，コンタクトピン２３３
が対応する表面回路１３１と接触した際，仮に配線回路
１３が正常であれば，コンタクトピン２３３−（表面回
路１３１）−配線回路１３−（裏面端子１３３）−（検
査端子２７３）−基板治具２０３との間が導通し，電流
を流すことができる。

【００７０】上記第１及び第２検査ステージ２３，２４
には，図示を略したチェッカーヘッド２３２，２４２を
固定するためのヘッド固定部，チェッカーヘッド２３
２，２４２をＸ，Ｙ及びθ方向に駆動するための駆動部
が設けてある（以上の各部品は図示略）。なお，Ｘ方向
とは回転テーブル２００の径方向，Ｙ方向は回転テーブ
ル２００の接線方向，θ方向はＸ方向とＹ方向とによっ
て張られた直交座標の原点に対する回転方向である。上
記駆動部はチェッカーヘッド２３２，２４２を回転テー
ブル２００に対し上下方向に駆動可能に構成され，また
プリント配線板Ａ，Ｂをプレス可能に構成される。

【００７１】検査装置本体２３１は，コンタクトピン２
３３に電流などの導通検査を行うに必要な信号や電流，
電圧等を与える送出部，コンタクトピン２３３が配線回
路を介して基板治具２０３，２０４に対し導通するか否
かを検出して，導通信号や非道通信号を検出する検出部
等を有している（以上の各部品は図示略）。

【００７２】上記不良品排出ステージ２５には不良品取
出し部が設けてあり（図示略），第１及び第２検査ステ
ージで不良と判断されたプリント配線板Ａ，Ｂを基板治
具２０１〜２０６より掃き出す機構が設けてある。上記
良品搬出ステージ２６は，良品と判断されたプリント配
線板Ａ，Ｂを基板治具２０１〜２０６より搬出する機構
が設けてある。

【００７３】次に，本例の導通検査装置２を用いた導通
検査方法について説明する。また，この導通検査で各処
理がどの時間範囲において行われたかについて，図４に
記載する。なお，以下の説明で（）付きの数字にかかる
処理は図４の線図と対応している。

【００７４】搬入ステージ２１にいる基板治具２０１に
検査すべきプリント配線板を搬入し，図示を略したクラ
ンプで固定する。これが図４にかかる『（１）搬入・
位置決め』の処理である。

【００７５】『（１）搬入・位置決め』の処理が行われ
た時，既にプリント配線板が導入された基板治具２０２
は画像処理ステージ２２に位置している。ここにおい
て，撮影装置２２１，２２２で，プリント配線板Ａ，Ｂ
のアラインメントマーク位置を撮影する。画像処理装置
２２０では，得られたアライメントマーク位置の画像
を，基準画像と比較してプリント配線板Ａ，Ｂが所定の
位置よりどれだけズレているか，そのズレ量を検出す
る。得られたズレ量データを第１，第２検査ステージ２
３，２４に伝達する。これが『（３）画像処理』であ
る。

【００７６】上記『（１）搬入・位置決め』や『（２）
画像処理』と同時に，既にプリント配線板が導入された
基板治具２０３は，第１検査ステージ２３に位置してお
り，ここでプリント配線板Ａに対する検査が行われる。
この検査は主として３つの操作よりなる。チェッカーヘ
ッドによるプリント配線板の『（５）プレス』，コンタ
クトピンと基板治具との間を通電する『（６）導通検
査』，チェッカーヘッドの後退による，プリント配線板
の『（７）開放』がそれである。第２検査ステージ２４
での検査も同様に行われる。この３つの処理は図４に示
すごとく，時間的に重なることなく順序よく行われる。

【００７７】また，『（１）搬入・位置決め』，
『（２）画像処理』，『（５）〜（７）プレス，導通検
査，開放』と同時に，不良品排出ステージ２５におい
て，検査を終えて不良品と判定されたプリント配線板が
導通検査装置２の外部に掃き出される。また，良品搬出
ステージ２６において良品と判定されたプリント配線板
が導通検査装置２の外部に搬出される。

【００７８】そして，回転テーブルを６０度回転させる
『（２）テーブル回転』と共に，上記ズレ量データに基
づいて，第１検査ステージ２３，第２検査ステージ２４
の各チェッカーヘッドに『（４）補正』を施す。この
『（４）補正』により，チェッカーヘッドのコンタクト
ピンが対応する配線回路に対し，『（５）プレス』の際
に確実に当接するようになる。

【００７９】また，上記『（２）テーブル回転』により
基板治具２０１は画像処理ステージ２２に，基板治具２
０２，２０３は第１及び第２検査ステージ２３，２４
に，基板治具２０４は不良品排出ステージ２５，基板治
具２０５は良品搬出ステージ２６に，基板治具２０６は
搬入ステージ２１に移動する。その後は，上述した処理
を繰り返して検査を行なう。

【００８０】本例ではいくつかの処理が時間的に重複し
て行われているため，プリント配線板１枚当りの検査時
間が従来の半分近い３秒となる。前述した従来の検査で
は各処理が時間的に重複せず，シーケンシャルに行われ
るため，プリント配線板１枚当りの検査時間が６秒かか
った。また，本例は，回転テーブル２００が一回転する
間に，同時に２枚のプリント配線板の検査を行なうこと
ができるため，効率的である。

【００８１】このように，搬入ステージ２１に基板治具
２０１が存在する際，別の基板治具２０２は画像処理ス
テージ２２にあり，更に別の基板治具２０３，２０４は
検査ステージ２３，２４にある。このため，本例では
『（１）搬入・位置決め』，『（２）画像処理』，
『（５）〜（７）プレス，導通検査，開放』が同時に行
われて，検査の所要時間を短くすることができる。

【００８２】また，本例の導通検査装置２は，別々の場
所で各処理ができるように構成されているため，各ステ
ージ２１〜２６は比較的単機能に構成され，構造が複雑
となりにくい。このため，導通検査装置２の製造及びメ
ンテナンスが容易で，コスト安とすることができる。ま
た，上述の理由から少量多品種のプリント配線板検査時
に，検査ステージ２３，２４の検査すべきプリント配線
板の形や構造に応じた状態への変更が容易である。

【００８３】また，本例での画像処理は，画像処理に特
化した画像処理ステージ２２において行われる。従来の
ように他の処理と兼用された場合と異なり，一層正確な
画像処理を行なうことができる。特に，アライメントマ
ーク位置の撮影が正確にできるようになる。そのため，
画像処理ステージ２２で求めたズレ量を伝達して検査ス
テージ２３，２４の調整を行なう際に，より正確な調整
を行なうことができる。よって，より正確な検査を行な
うことができる。

【００８４】以上，本例によれば，効率よくコスト安で
正確に導通検査可能なプリント配線板の導通検査装置を
提供することができる。

【００８５】ところで本例にかかる導通検査方法によれ
ば，図６に示すごとき，フリップチップ式のプリント配
線板の導通検査を効率よく行なうことができる。このプ
リント配線板４は，図６（ａ）（ｂ）に示すごとく，表
面及び裏面に多数の半田バンプ４３，半田ボール４１が
設けてある。各半田バンプ４３間の間隔は非常に狭く
０．１５〜０．２０ｍｍ程度，半田バンプ４３の直径は
０．０８〜０．１３ｍｍ程度である。また，各半田ボー
ル４１間の間隔も非常に狭く０．１ｍｍ程度，直径も
０．２ｍｍ程度と小さい。

【００８６】このプリント配線板４は，図６（ｂ）に示
すごとく，表面に設けた半田バンプ４３によって，電子
部品４４を取付ることができるよう構成されている。ま
た，電子部品４４とプリント配線板４との間は樹脂４２
により封止される。

【００８７】また，本例にかかる導通検査方法によれ
ば，図７に示すごとき，タブ式のプリント配線板５につ
いても，フリップチップ式と同様に導通検査を効率よく
行なうことができる。同図において符号５０は絶縁テー
プ，符号５１はインナーリードである。

【００８８】実施形態例２ 本例は，基準プリント配線板を用いて予めチェッカーヘ
ッドの調整を導通検査前に済ませておく方法について説
明する。実施形態例１に記載した検査方法において，最
初の検査すべきプリント配線板を基板治具に搬入する
前，全ての基板治具が空である時に，基準プリント配線
板を基板治具に入れて，回転テーブルを回転し，基準プ
リント配線板を第１検査ステージに送り込む。

【００８９】次いで，基準プリント配線板を用いた第１
検査ステージにおけるチェッカーヘッドの位置調整を次
の要領で行なう。 （ａ） チェッカーヘッドを一直線方向のＸ方向に等間
隔ｄＸで移動させて導通検査を行なう移動工程。 （ｂ） 上記（ａ）の移動工程において，各点において
得られる導通信号と非道通信号の検出結果から，上記Ｘ
方向における非道通信号の検出個数が最小となる範囲の
始端をＳＸ，終端をＴＸとして，上記二点間の中点ＣＸ
を判定して，その位置ＣＸを演算する演算工程。 （ｃ） 上記中点ＣＸに基づいて上記チェッカーヘッ
ド，上記基板治具の少なくとも一方を位置補正する補正
工程。なお，本例はＸ方向として，回転テーブルの径方
向を採用する。

【００９０】また，上記基準プリント配線板を用いた位
置調整を行なうため，本例にかかる導通検査装置の検査
ステージに設けた検査装置本体は，コンタクトピンに電
流などの導通検査を行うに必要な信号や電流，電圧等を
与える送出部，コンタクトピンが配線回路を介して基板
治具に対し導通するか否かを検出して，導通信号や非道
通信号を検出する検出部等の他に，導通信号や非道通信
号の数やチェッカーヘッドの位置等から中点ＣＸ等を算
出する演算部等を有する。

【００９１】次に，上記基準プリント配線板を用いた第
１検査ステージ２３上での調整について説明する。な
お，第２検査ステージ２４でも同様の方法で調整でき
る。チェッカーヘッドを基準プリント配線板１００の上
方で，図８に示すごとく，基準プリント配線板１００と
全く重ならない左方に配置する。この時のチェッカーヘ
ッド２の位置が符号３１である。ここを移動範囲の始端
Ｘ１とする。始端Ｘ１から，基準プリント配線板１００
の真上を経由して（この時のチェッカーヘッドの位置が
符号３２である。），チェッカーヘッド２を該基準プリ
ント配線板１００と全く重ならない右方へと移動させ
る。この時のチェッカーヘッド２の位置が符号３３であ
る。ここを移動範囲の終端Ｘ２とする。この移動は等間
隔ｄ＝０．０２ｍｍで行われる。なお，同図において各
チェッカーヘッドに記した十字印はチェッカーヘッド２
の中心位置Ｇである。

【００９２】チェッカーヘッド２のＸ方向の移動位置を
横軸に，各位置における非道通信号の個数を縦軸にとっ
た線図を図９に記載する。始端Ｘ１からチェッカーヘッ
ドの移動につれて，該チェッカーヘッド右端が基準プリ
ント配線板１００左端に重なり，Ｘ方向において最も右
端にあるヘッド側のコンタクトピンと基準プリント配線
板１００のＸ方向において最も左端にある配線回路とが
導通，ここで導通信号が検出され，非道通信号の数が一
つ減る。

【００９３】その後，チェッカーヘッドが右方に移動す
るにつれて，図９に示すごとく，非道通信号の数が減り
つづけ（Ｘ１−ＳＸ間），ついに０に達する（ＳＸ）。
この時，全てのコンタクトピンと表面回路とがすべて導
通し，全コンタクトピンから導通信号が検出される。こ
の時のチェッカーヘッドの左端は図２におけるＳＸの位
置にある。

【００９４】そして，表面回路もコンタクトピンもそれ
ぞれ有限の径を持っているため，しばらくの間は図１２
（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すごとき位置関係を保ち，
よって，図９のＳＸ−ＴＸ間のように非導通信号０の状
態が続く。なお，図１１における符号Ａ１…Ａ５はコン
タクトピンを示しており，Ｂ１…Ｂ５は表面回路を示し
ている。そして，Ａ１とＢ１，Ａ２とＢ２…とが対応す
るコンタクトピンと表面回路との組み合わせである。

【００９５】その後，チェッカーヘッドの移動につれて
非道通信号の個数が増大し始める。この時のチェッカー
ヘッドの左端の位置は図８におけるＳＸの位置にある。
チェッカーヘッドが右方に移動するにつれて非道通信号
の数が順次増大し（ＳＸ−Ｘ２間），再び最高値に達す
る。これは図８における符号３３の位置までチェッカー
ヘッドが移動して，全てのコンタクトピンが完全に基準
プリント配線板１００と位置がずれてしまったためであ
る。これが（ｂ）の移動工程である。

【００９６】このようにして，非道通信号や導通信号の
個数の変化から上述した上記検査装置本体に設けた演算
部等において，ＳＸ−ＴＸの中点ＣＸを判定する。これ
が（ｃ）の演算工程である。

【００９７】得られた中点ＣＸを通る直線で，Ｘ方向に
垂直な直線ＬＸに対し，上記チェッカーヘッドの中心位
置Ｇが合致するよう上記チェッカーヘッド２を移動させ
る。これが（ｄ）の補正工程である。上記ＬＸは図８に
記載した。

【００９８】なお，チェッカーヘッドのＸ方向の移動位
置を横軸に，各位置における非道通信号の個数を縦軸に
とった線図としては，基準プリント配線板１００とチェ
ッカーヘッドの位置関係によっては，上記図９以外にも
図１０，図１１のような状態となることがある。図１０
は非道通信号の最小値が０とならない場合である。例え
ば基準プリント配線板１００にＸ方向に対し斜めにチェ
ッカーヘッドがある場合等にこのような線図が得られる
ことがある。この場合でも上記と同様にＳＸとＴＸを検
出して，これからＣＸを判定することができる。

【００９９】また，図１１のように非導通信号が一度最
小値まで低下した後，何度か導通信号が検出され，その
後は図９と同様に非道通信号の数が増えていくような状
態となることもある。この場合は，ＳＸ−ＴＸ間のピー
クは無視してＣＸを判定すればよい。そして，上記ＣＸ
に対しチェッカーヘッドの重心を揃えることで位置合わ
せを行なう。また，Ｘ方向以外にもこれと直交する，つ
まり接線方向のＹ方向についても同様に位置合わせを行
なうこともできるし，更にＸ及びＹ方向により形成され
た直交座標に対する回転方向についても同様に位置合わ
せすることができる。

【０１００】以上により，第１と第２の検査ステージに
おいて予めチェッカーヘッドを概略位置合わせすること
ができるため，これ以降の実際の検査の際に画像処理に
よって補正するチェッカーヘッドの調整量を少なくする
ことができる。よって，画像処理を利用した調整がより
短時間で実現でき，容易となる。このため，本例にかか
る基準プリント配線板１００を用いた調整を予め行なう
ことで，より正確かつ確実な導通検査を行なうことがで
きる。

【０１０１】

【発明の効果】上述のごとく，本発明によれば，効率よ
くコスト安で正確に導通検査可能なプリント配線板の導
通検査装置及び導通検査方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態例１における，導通検査装置の全体構
成を示す説明図。

【図２】実施形態例１における，導通検査装置の画像処
理ステージ，第１及び第２検査ステージを示す説明図。

【図３】実施形態例１における，検査ステージの詳細を
示す説明図。

【図４】実施形態例１における，導通検査における各処
理と経過時間との関係を示す線図。

【図５】実施形態例１における，プリント配線板の説明
図。

【図６】実施形態例１における，フリップチップ式のプ
リント配線板の説明図。

【図７】実施形態例１における，タブ式のプリント配線
板の説明図。

【図８】実施形態例２における，チェッカーヘッドをＸ
方向に移動させて中点ＣＸを判定する際の説明図。

【図９】実施形態例２における，チェッカーヘッドのＸ
方向の移動量と非道通信号の個数との関係を示す説明
図。

【図１０】実施形態例２における，チェッカーヘッドの
Ｘ方向の移動量と非道通信号の個数との関係を示す説明
図。

【図１１】実施形態例２における，チェッカーヘッドの
Ｘ方向の移動量と非道通信号の個数との関係を示す説明
図。

【図１２】実施形態例２における，チェッカーヘッドが
Ｘ方向に移動する際のコンタクトピンと表面回路との位
置関係を示す説明図。

【図１３】従来における，導通検査装置の説明図。

【図１４】従来における，導通検査における各処理と経
過時間との関係を示す線図。

【符号の説明】

１．．．プリント配線板， １００．．．基準プリント配線板， １３．．．配線回路， １９．．．アライメントマーク， ２．．．導通検査装置， ２１．．．搬入ステージ， ２２．．．画像処理ステージ， ２３，２４．．．検査ステージ， ２００．．．回転テーブル， ２０１〜２０６．．．基板治具，

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 配線回路を設けたプリント配線板におい
   て，上記配線回路の導通を検査する際に用いるプリント
   配線板の導通検査装置であって，回転テーブルと，該回
   転テーブルに設けられ検査すべきプリント配線板を入れ
   る基板治具と，上記回転テーブルに沿って環状に配置さ
   れ，上記プリント配線板を上記基板治具に搬入する搬入
   ステージと，上記プリント配線板のズレ量を求め，検査
   ステージに伝達する画像処理ステージと，上記プリント
   配線板の配線回路の導通検査を行なう検査ステージとを
   有し，かつ上記基板治具は少なくとも上記搬入ステー
   ジ，上記画像処理ステージ及び上記検査ステージの数に
   応じた数配置されていることを特徴とするプリント配線
   板の導通検査装置。
2. 【請求項２】 請求項１において，上記基板治具は等間
   隔で配置されていることを特徴とするプリント配線板の
   導通検査装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２において，上記基板治
   具は複数のプリント配線板が配置可能であることを特徴
   とするプリント配線板の導通検査装置。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか一項において，
   上記画像処理ステージは，上記プリント配線板に予め設
   けてあるアラインメントマーク位置を撮影装置で撮影
   し，得られたアライメントマーク位置の画像を基準画像
   と比較してズレ量を検出し，そのズレ量データを検査ス
   テージに伝達し，検査ステージを調節する画像処理装置
   を有することを特徴とするプリント配線板の導通検査装
   置。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか一項において，
   上記検査ステージは，上記プリント配線板の検査すべき
   配線回路に対応するよう構成した導電性コンタクトピン
   を持つチェッカーヘッドを有し，該チェッカーヘッドを
   上記プリント配線板の配線回路にプレスして，上記導電
   性コンタクトピンと上記配線回路とを一対一で当接させ
   ることで導通検査を行なう導通検査装置を有することを
   特徴とするプリント配線板の導通検査装置。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれか一項において，
   上記検査ステージは複数箇所設けてあり，該複数の検査
   ステージ，上記搬入ステージ，上記画像処理ステージの
   合計数と少なくとも同数の基板治具が上記回転テーブル
   に配置されていることを特徴とするプリント配線板の導
   通検査装置。
7. 【請求項７】 請求項１〜６のいずれか一項において，
   上記導通検査装置は更に不良品を取出す不良品取出し部
   を有することを特徴とするプリント配線板の導通検査装
   置。
8. 【請求項８】 配線回路を設けたプリント配線板におい
   て，上記配線回路の導通を検査する際に用いるプリント
   配線板の導通検査方法であって，回転テーブルに検査す
   べきプリント配線板を入れる基板治具を複数個配置し，
   上記回転テーブルを回転させて，上記プリント配線板を
   上記基板治具に搬入する搬入処理と，上記プリント配線
   板のズレ量を求め，ズレ量に基づいてプリント配線板が
   導通検査を受けることができるような調整を行なう画像
   処理と，上記プリント配線板の配線回路の導通検査を行
   なう検査とを順次行なうことを特徴とするプリント配線
   板の導通検査方法。
9. 【請求項９】 請求項８において，上記画像処理は，上
   記プリント配線板に予め設けてあるアラインメントマー
   ク位置を撮影装置で撮影し，得られたアライメントマー
   ク位置の画像を基準画像と比較してズレ量を検出し，そ
   のズレ量データを検査を行なう装置に対し伝達すること
   を特徴とするプリント配線板の導通検査方法。
10. 【請求項１０】 請求項８または９において，上記検査
    は，上記プリント配線板の検査すべき配線回路に対応す
    るよう構成した導電性コンタクトピンを持つチェッカー
    ヘッドを用いて，該チェッカーヘッドを上記プリント配
    線板の配線回路にプレスして，上記導電性コンタクトピ
    ンと上記配線回路とを一対一で当接させることにより行
    なうことを特徴とするプリント配線板の導通検査方法。
11. 【請求項１１】 請求項８〜１０のいずれか一項におい
    て，上記検査後，良品と不良品とを別々に搬出すること
    を特徴とするプリント配線板の導通検査方法。
12. 【請求項１２】 請求項１０または１１において，上記
    各処理に先立って，全ての配線回路が正常である基準プ
    リント配線板を用いて，下記の（ａ）〜（ｃ）に示す工
    程からなるチェカーヘッドの位置合わせ処理を行なうこ
    とを特徴とするプリント配線板の導通検査方法。 （ａ） チェッカーヘッドを一直線方向のＸ方向に等間
    隔ｄＸで移動させて導通検査を行なう移動工程。 （ｂ） 上記（ａ）の移動工程において，各点において
    得られる導通信号と非道通信号の検出結果から，上記Ｘ
    方向における非道通信号の検出個数が最小となる範囲の
    始端をＳＸ，終端をＴＸとして，上記二点間の中点ＣＸ
    を判定して，その位置ＣＸを演算する演算工程。 （ｃ） 上記中点ＣＸに基づいて上記チェッカーヘッ
    ド，上記基板治具の少なくとも一方を位置補正する補正
    工程。