JP2005337786A - 基板検査装置およびその方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 時間的な効率を上げて基板の両面を並列検査できる基板検査装置およびその方法を提供する。
【解決手段】 第１および第２検査ステージ２および３が回転可能に構成され、４つのＡ面およびＢ面検査吸着テーブル２２および３２が設けられている。Ａ面およびＢ面検査吸着テーブル２２および３２は、エアーシリンダ２３および３３の伸縮動作によって、回転軸からの距離が変化する。基板Ｓは、基板供給部７からＡ面検査吸着テーブル２２に吸着固定され、Ａ面検査ヘッド４でＡ面が撮像され、第２検査ステージ３に受け渡される。次に、基板Ｓは、Ｂ面検査吸着テーブル３２に吸着固定されてＢ面検査ヘッド５でＢ面が撮像され、基板収納部８に排出される。基板検査装置１は、これらの処理を並列的に行う。
【選択図】 図１

Description

本発明は、基板検査装置およびその方法に関し、より特定的には、被検査体である基板の両面を外観検査する基板検査装置およびその方法に関する。

従来、半導体装置などの電子部品を実装するためのプリント基板などの基板に対する良否を判断するとき、当該基板のパターンを撮像した画像データに基づいて、当該基板に形成されたパターンの良否を判断する外観検査装置が各種開発されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１で開示された検査装置は、検査ステージを複数設け、それぞれのステージを並列的に処理することによって、上記外観検査の時間的な効率の向上および装置の小型化を目的としている。

また、上記基板にはその両面の外観検査が必要なときがあり（両面基板）、この外観検査を効率的に行う外観検査装置も開発されている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２で開示された外観検査装置では、１つの両面基板の上面および下面を異なった座標位置から独立して撮像し、両面を別々に外観検査することによって、上面および下面の外観検査における相互干渉を防止している。
特開２０００−１９６２２３号公報 特開２００３−９９７５８号公報

しかしながら、上記特許文献１で開示された外観検査装置を用いて上記両面基板を検査する場合、片面ごとに外観検査を行う必要がある。したがって、両面基板を上面検査後に下面検査をするとき、その間に基板の反転などの処理が必要となり、外観検査に要する時間的な効率が低下する。

また、上記特許文献２で開示された外観検査装置では、特許文献２の図１に示されているように被検査体のみで自立可能な比較的強固な部材を検査対象にしており、被検査体のみで自立できない軟弱な部材を検査対象にできない。なお、他の部材が補助して支持することによって軟弱な部材も検査可能となることが考えられるが、その場合、被検査体の少なくとも一部を支持部材が覆うことになり、両面全ての領域を全面検査することができなくなる。

それ故に、本発明の目的は、時間的な効率を上げて基板の両面を並列検査できる基板検査装置およびその方法を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、基板の両面を撮像して検査する基板検査装置である。基板検査装置は、第１検査ステージ、第２検査ステージ、回転駆動部、撮像部、基板供給部、および基板排出部を備える。第１検査ステージは、基板の一方主面と当接してその基板を保持する複数の第１基板保持面が第１回転軸を中心に周設されている。第２検査ステージは、第１検査ステージと並設され、基板の他方主面と当接してその基板を保持する複数の第２基板保持面が第２回転軸を中心に周設されている。回転駆動部は、第１回転軸を中心に第１検査ステージを回転させ、第２回転軸を中心に第２検査ステージを回転させることによって、第１基板保持面および第２基板保持面の向きを切り替える。撮像部は、並列配置された第１基板保持面および第２基板保持面の組にそれぞれ保持された基板の主面を、それぞれ同時に撮像する。基板供給部は、並列配置された第１基板保持面とは別の第１基板保持面に基板を供給する。基板排出部は、並列配置された第２基板保持面とは別の第２基板保持面に保持された基板を排出する。

第２の発明は、上記第１の発明において、第１検査ステージは、第１基板保持面をそれぞれ移動させることによって第１回転軸からの距離を変化させる第１基板保持面駆動部を含む。第２検査ステージは、第２基板保持面をそれぞれ移動させることによって第２回転軸からの距離を変化させる第２基板保持面駆動部を含む。基板検査装置は、第１基板保持面または第２基板保持面に対する基板の着脱を制御する制御部を、さらに備える。相対している第１基板保持面および第２基板保持面の組に対して、第１基板保持面駆動部および第２基板保持面駆動部は、それぞれ第１基板保持面および第２基板保持面を第１回転軸および第２回転軸からの距離が長くなる方向に移動させることによって、その第１基板保持面に保持されている基板の他方主面とその第２基板保持面とを当接させる。そして、制御部は、相対している第１基板保持面による基板の保持を解除して、相対している第２基板保持面にその基板を保持させる。

第３の発明は、上記第１の発明において、撮像部は、第１撮像装置、第２撮像装置、支持部材、および直動駆動部を含む。第１撮像装置は、第１基板保持面に保持された基板の他方主面を撮像する。第２撮像装置は、第２基板保持面に保持された基板の一方主面を撮像する。支持部材は、第１撮像装置および第２撮像装置を支持する。直動駆動部は、支持部材を並列配置された第１基板保持面および第２基板保持面と平行に移動させる。

第４の発明は、上記第１の発明において、第１検査ステージは、第１回転軸の四方にそれぞれ周設された４つの第１基板保持面を有する。第２検査ステージは、第２回転軸の四方にそれぞれ周設された４つの第２基板保持面を有する。

第５の発明は、上記第４の発明において、第１回転軸および第２回転軸は、水平かつ互いに平行に配置される。回転駆動部は、少なくとも第１基板保持面の１つと第２基板保持面の１つとが相対するように第１検査ステージおよび第２検査ステージを回転させて停止させる。撮像部は、上面に並列配置された第１基板保持面および第２基板保持面の組にそれぞれ保持された基板の主面を、それぞれ同時に撮像する。基板供給部は、下面に配置された第１基板保持面に基板を供給する。基板排出部は、下面に配置された第２基板保持面に保持された基板を排出する。そして、相対して配置された第１基板保持面から第２基板保持面へ基板が受け渡される。

第６の発明は、上記第５の発明において、第１検査ステージは、第１基板保持面をそれぞれ移動させることによって第１回転軸からの距離を変化させる第１基板保持面駆動部を含む。第２検査ステージは、第２基板保持面をそれぞれ移動させることによって第２回転軸からの距離を変化させる第２基板保持面駆動部を含む。基板検査装置は、第１基板保持面または第２基板保持面に対する基板の着脱を制御する制御部を、さらに備える。相対して配置された第１基板保持面および第２基板保持面の組に対して、第１基板保持面駆動部および第２基板保持面駆動部が、それぞれ第１基板保持面および第２基板保持面を第１回転軸および第２回転軸からの距離が長くなる方向に移動させることによって、その第１基板保持面に保持されている基板の他方主面とその第２基板保持面とを当接させ、制御部が、相対している第１基板保持面による基板の保持を解除して、相対している第２基板保持面にその基板を保持させることによって、第１基板保持面から第２基板保持面へ基板が受け渡される。

第７の発明は、上記第５の発明において、撮像部の撮像空間に固設された当接部材を、さらに備える。第１検査ステージは、第１基板保持面をそれぞれ移動させることによって第１回転軸からの距離を変化させる第１基板保持面駆動部を含む。第２検査ステージは、第２基板保持面をそれぞれ移動させることによって第２回転軸からの距離を変化させる第２基板保持面駆動部を含む。並列配置された第１基板保持面および第２基板保持面の組に対して、第１基板保持面駆動部および第２基板保持面駆動部が、それぞれ第１基板保持面および第２基板保持面を第１回転軸および第２回転軸からの距離が長くなる方向に移動させることによって、その第１基板保持面および第２基板保持面と当接部材とを当接させて位置決めする。

第８の発明は、上記第５の発明において、基板排出部は、複数の基板ケースおよびターンテーブルを含む。基板ケースは、排出された基板を収納する。ターンテーブルは、所定の垂線を中心に回転する回転平面を有し、その回転平面上に複数の基板ケースが載置される。基板排出部は、下面に配置された第２基板保持面に保持された基板に応じた基板ケースが、その第２基板保持面の直下位置になるようにターンテーブルを回転させる。

第９の発明は、基板の両面を撮像して検査する基板検査方法である。基板検査方法は、複数の第１基板保持面が第１回転軸を中心に周設された第１検査ステージ、および第１検査ステージと並設され、複数の第２基板保持面が第２回転軸を中心に周設された第２検査ステージに対して、基板供給ステップ、撮像ステップ、基板排出ステップ、および回転ステップを行う。基板供給ステップは、少なくとも１つの第１基板保持面と基板の一方主面とを当接させてその基板を保持させ、第１検査ステージにその基板を供給する。撮像ステップと、並列配置された第１基板保持面および第２基板保持面の組にそれぞれ保持された基板の主面を、それぞれ同時に撮像する。基板排出ステップは、少なくとも１つの第２基板保持面に保持された基板を第２検査ステージから排出する。回転ステップは、第１回転軸を中心に第１検査ステージを回転させ、第２回転軸を中心に第２検査ステージを回転させることによって、第１基板保持面および第２基板保持面の向きを切り替える。そして、基板供給ステップ、撮像ステップ、および基板排出ステップは、同時に行われる。

第１０の発明は、上記第９の発明において、基板受渡ステップをさらに含む。基板受渡ステップは、相対して配置された第１基板保持面および第２基板保持面に対して、その第１基板保持面に保持された基板をその第２基板保持面に受け渡し、その第２基板保持面と基板の他方主面とを当接させてその基板を保持させる。そして、基板供給ステップ、撮像ステップ、基板排出ステップ、および基板受渡ステップは、同時に行われる。

上記第１の発明によれば、複数の基板保持面に保持された基板に対して、それぞれ異なった処理を行うことが可能であり、それらの処理を並列に同時に進行することができる。したがって、基板の両面を検査するための一連の動作を並列的に処理することによって、スループットよく基板の両面を並列検査することができる。また、軟弱な部材で構成される基板であっても、保持面と当接して主面が支持されるため、安定して基板を固定することができる。さらに、基板は、基板保持面と当接する主面以外の部位について、他の部材によって覆われることがないため、撮像部によって撮像できない領域が存在しない。

上記第２の発明によれば、第１基板保持面に一方主面を当接して保持された基板に対して、当該基板の他方主面を第２基板保持面に当接させて基板が受け渡されるため、基板の表裏を反転させる複雑な機構が不要となり、容易に基板の両面を撮像することができる。

上記第３の発明によれば、撮像部が並列配置された第１および第２基板保持面に対して平行に移動するため、撮像部による撮像範囲が広くなる。また、１つの支持部材に一方主面用の撮像装置と他方主面用の撮像装置とが搭載されているため、駆動源を１つに集約することができる。

上記第４の発明によれば、第１検査ステージおよび第２検査ステージに設けられる基板保持面が、それぞれ回転軸を中心とした直方体形状の側面位置に配置されるため、基板検査装置自体の設計や製造が容易になる。

上記第５の発明によれば、下面に配置された基板保持面が基板の給排位置となるため、検査前の基板を積載して最上位置の基板を順次供給し、検査後の基板を順次積載することができる。また、平行に並列配置された上面の基板保持面にそれぞれ保持された基板の主面を同時に撮像するため、撮像部の焦点調整や走査動作の制御が容易となる。さらに、相対する基板保持面の間で基板が受け渡されるため、当該基板を反転させることなく基板保持面と当接させる主面を変更することが可能となる。

上記第６の発明によれば、第１基板保持面に一方主面を当接して保持された基板に対して、当該基板の他方主面を第２基板保持面に当接させて基板が受け渡されるため、基板の表裏を反転させる複雑な機構が不要となり、容易に基板の両面を撮像することができる。

上記第７の発明によれば、撮像空間に固設された当接部材と当接して撮像対象の基板を保持した基板保持面が位置決めされるため、撮像部に対して安定した位置に被撮像体を位置決めすることができる。

上記第８の発明によれば、検査後の基板が排出される基板ケースが複数設けられ、基板に応じて排出先の基板ケースが変更できるため、例えば、検査結果に応じて基板を分類して排出先をそれぞれ別にすることができる。

また、本発明の基板検査方法によれば、上述した基板検査装置と同様の効果が得られる。

図１〜図５を参照して、本発明の一実施形態に係る基板検査装置について説明する。なお、図１は、当該基板検査装置の概略的な構造を示す正面図である。図２は、当該基板検査装置の概略的な構造を示す上面図である。図３は、エアーシリンダが伸びた状態における基板検査装置の概略的な構造を示す正面図である。図４は、当該基板検査装置の空圧機構の概略的な構造を示す内部側面図である。図５は、当該基板検査装置における回転部材を回転駆動する機構の構造を示す背面図である。なお、各構成部の位置関係を明確にするために、基板検査装置１の構成の全てが、図１〜図５に示されていないことを注釈しておく。

図１において、基板検査装置１は、第１検査ステージ２、第２検査ステージ３、Ａ面検査ヘッド４、Ｂ面検査ヘッド５、フレーム６、基板供給部７、基板収納部８、および制御部（図示せず）を備えている。ここで、基板検査装置１の被検査体の一例は、半導体装置などの電子部品を実装するためのプリント基板などの基板であり、当該基板がその両面の外観検査が必要な両面基板である。そして、被検査体である基板の一方の主面をＡ面とし、他方の主面をＢ面とする。

第１検査ステージ２は、第１回転部材２１、Ａ面検査吸着テーブル２２、エアーシリンダ２３、第１回転軸２４を有している。第１回転部材２１は、略直方体形状を有し、第１回転軸２４を中心に図示Ａ方向に回転可能である。第１回転軸２４に平行な第１回転部材２１の４つの側面には、それぞれエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄを介して４つのＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄが設けられる。図１では第１回転軸２４が紙面に対して垂直に配置され、３つのエアーシリンダ２３ａ（図１では、２つのエアーシリンダ２３ａのみ図示されている）を介して、第１回転軸２４に対して直上方向にＡ面検査吸着テーブル２２ａが設けられている。３つのエアーシリンダ２３ｂ（図１では、２つのエアーシリンダ２３ｂのみ図示されている）を介して、第１回転軸２４に対して左方向にＡ面検査吸着テーブル２２ｂが設けられている。３つのエアーシリンダ２３ｃ（図１では、２つのエアーシリンダ２３ｃのみ図示されている）を介して、第１回転軸２４に対して下方向にＡ面検査吸着テーブル２２ｃが設けられ、Ａ面検査吸着テーブル２２ａおよび２２ｃが互いに平行に配置される。そして、３つのエアーシリンダ２３ｄ（図１では、２つのエアーシリンダ２３ｄのみ図示されている）を介して、第１回転軸２４に対して右方向にＡ面検査吸着テーブル２２ｃが設けられ、Ａ面検査吸着テーブル２２ｂおよび２２ｄが互いに平行に配置される。

第２検査ステージ３は、第１検査ステージ２と並設される。第２検査ステージ３は、第２回転部材３１、Ｂ面検査吸着テーブル３２、エアーシリンダ３３、第２回転軸３４を有している。第２回転部材３１は、第１回転部材２１と同様の略直方体形状を有し、第１回転軸２４と平行な第２回転軸３４を中心に図示Ｂ方向に回転可能である。第２回転軸３４に平行な第２回転部材３１の４つの側面には、それぞれエアーシリンダ３３ａ〜３３ｄを介して４つのＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが設けられる。図１では第２回転軸３４が紙面に対して垂直に配置され、３つのエアーシリンダ３３ａ（図１では、２つのエアーシリンダ３３ａのみ図示されている）を介して、第２回転軸３４に対して直上方向にＢ面検査吸着テーブル３２ａが設けられている。３つのエアーシリンダ３３ｂ（図１では、２つのエアーシリンダ３３ｂのみ図示されている）を介して、第２回転軸３４に対して左方向にＢ面検査吸着テーブル３２ｂが設けられ、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｂとＡ面検査吸着テーブル２２ｄとが相対するように配置される。３つのエアーシリンダ３３ｃ（図１では、２つのエアーシリンダ３３ｃのみ図示されている）を介して、第２回転軸３４に対して下方向にＢ面検査吸着テーブル３２ｃが設けられ、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａおよび３２ｃが互いに平行に配置される。そして、３つのエアーシリンダ３３ｄ（図１では、２つのエアーシリンダ３３ｄのみ図示されている）を介して、第２回転軸３４に対して右方向にＢ面検査吸着テーブル３２ｃが設けられ、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｂおよび３２ｄが互いに平行に配置される。

図１および図２に示すように、大略的にフレーム６は、検査ヘッド梁６１、３つの直動軸受６２ａ〜６２ｃ、本体ベース６３、当接部材６４、およびボールネジ６５で構成されている。本体ベース６３は、所定の支持柱によって第１検査ステージ２および第２検査ステージ３の上部に位置する平面に固設されている。直動軸受６２ａ〜６２ｃは、レールとスライドブロック、軸と軸受やスリーブ、ガイドレールとガイドなど様々な組み合わせによって構成可能であるが、一例としてレールとスライドブロックとを用いる。３つの直動軸受６２ａ〜６２ｃは、それぞれレール６２１ａ〜６２１ｃとスライドブロック６２２ａ、６２２ｂ１、６２２ｂ２、および６２２ｃとを含んでおり、レール６２１ａ〜６２１ｃが本体ベース６３の上面に固設される（なお、図２においては、検査ヘッド梁６１下部に設けられたレール６２１およびスライドブロック６２２を破線で示している）。レール６２１ａ〜６２１ｃは、互いに所定の間隔を開けて平行に並設して固設され、レール６２１ｂを中心としてその両側にレール６２１ａおよび６２１ｃが配置されている。そして、レール６２１ａと６２１ｂとの間の下部空間に第１検査ステージ２が配置され、レール６２１ｂと６２１ｃとの間の下部空間に第２検査ステージ３が配置される。また、本体ベース６３には、レール６２１ｂの上部空間に、直動モータ６５１の駆動によって回転するボールネジ６５がレール６２１ｂと平行に設けられている。ここで、直動モータ６５１の駆動は、上記制御部によって制御される。なお、図１および図２においては、レール６２１ａ〜６２１ｃを支持する本体ベース６３がそれぞれ分離して記載されているが、これは他の構成部との関係を説明するためであり、それぞれの本体ベース６３は、少なくとも第１検査ステージ２および第２検査ステージ３の上部空間にそれぞれ開口部が形成されて互いに連結して固設されている。そして、複数の当接部材６４（例えば、上記開口部に対してそれぞれ３箇所）が、それぞれ同一平面上に配置され、上記開口部へ突出して本体ベース６３に固設される。

検査ヘッド梁６１は、本体ベース６３の上面に固設されたレール６２１ａ〜６２１ｃ間に架設される。検査ヘッド梁６１の下部には、スライドブロック６２２ａ、６２２ｂ１、６２２ｂ２、および６２２ｃが設けられている。そして、スライドブロック６２２ａがレール６２１ａに沿って移動可能に係合し、スライドブロック６２２ｂ１および６２２ｂ２がレール６２１ｂに沿って移動可能に係合し、スライドブロック６２２ｃがレール６２１ｃに沿って移動可能に係合している。また、検査ヘッド梁６１は、スライドブロック６２２ｂ１および６２２ｂ２の上部でボールネジ６５と螺合する。したがって、直動モータ６５１が駆動するとボールネジ６５が回転し、レール６２１ａ〜６２１ｃが並設された方向（図示Ｃ方向）に検査ヘッド梁６１が本体ベース６３上を移動する。

また、検査ヘッド梁６１には、Ａ面検査ヘッド４およびＢ面検査ヘッド５が配置される。Ａ面検査ヘッド４およびＢ面検査ヘッド５は、それぞれＣＣＤカメラなどの撮像装置（図示せず）を備えており、撮像装置が下部に向けて開口したスリット４１および５１（図２の破線で示す）を介してそれぞれ検査ヘッド梁６１の下部空間を撮像する。Ａ面検査ヘッド４は、スライドブロック６２２ａとスライドブロック６２２ｂ１および６２２ｂ２との間となる検査ヘッド梁６１に配置される。具体的には、後述により明らかとなるが、第１検査ステージ２のＡ面検査吸着テーブル２２が当接部材６４と当接する位置に固定された場合、検査ヘッド梁６１が図示Ｃ方向に移動することによってＡ面検査ヘッド４の撮像装置が当該Ａ面検査吸着テーブル２２に吸着した基板Ｓの撮像が可能となる位置にＡ面検査ヘッド４が配置される。また、Ｂ面検査ヘッド５は、スライドブロック６２２ｂ１および６２２ｂ２とスライドブロック６２２ｃとの間となる検査ヘッド梁６１に配置される。具体的には、第２検査ステージ３のＢ面検査吸着テーブル３２が当接部材６４と当接する位置に固定された場合、検査ヘッド梁６１が図示Ｃ方向に移動することによってＢ面検査ヘッド５の撮像装置が当該Ｂ面検査吸着テーブル３２に吸着した基板Ｓの撮像が可能となる位置にＢ面検査ヘッド５が配置される。

基板供給部７は、第１検査ステージ２の直下となる空間に配置される。基板供給部７は、上部が開口した基板ケース７１および昇降テーブル７２を備えている。昇降テーブル７２は基板ケース７１の内部に設けられ、昇降テーブル７２上の基板ケース７１内に基板検査装置１による検査前の基板Ｓが積載される。そして、昇降テーブル７２は、最上部に載置された基板Ｓの上下方向の位置が一定となるように上下動する。なお、基板供給部７に供給される検査前の基板Ｓは、それぞれ一方の主面であるＡ面を下に向けて基板ケース７１内に積載される。また、後述により明らかとなるが、第１検査ステージ２のＡ面検査吸着テーブル２２が下方向に降下した場合、当該Ａ面検査吸着テーブル２２の外縁部と基板ケース７１の上端部とが当接し、当該Ａ面検査吸着テーブル２２の吸着面が基板ケース７１の開口部に配置される。

基板収納部８は、３つの基板ケース８１ａ〜８１ｃ、３つの昇降テーブル８２ａ〜８２ｃ、ターンテーブル８３を備えている。昇降テーブル８２ａ〜８２ｃはそれぞれ基板ケース８１ａ〜８１ｃの内部に設けられ、昇降テーブル８２ａ〜８２ｃ上の基板ケース８１ａ〜８１ｃ内に基板検査装置１による検査後の基板Ｓが積載される。そして、昇降テーブル８２ａ〜８２ｃは、それぞれ最上部に載置された基板Ｓの上下方向の位置が一定となるように上下動する。具体的には、基板ケース８１ａ〜８１ｃ内には、基板検査装置１による検査結果に応じた基板Ｓが積載され、基板ケース８１ａには基板検査装置１によるＡ面およびＢ面の検査が共に合格した基板Ｓｏｋが、基板ケース８１ｂには基板検査装置１によるＡ面および／またはＢ面の検査が不合格となった基板Ｓｎｇが、基板ケース８１ｃには基板検査装置１によるＡ面および／またはＢ面の検査が再検査要となった基板Ｓｖｆが積載される。これらの基板ケース８１ａ〜８１ｃは、ターンテーブル８３の回転平面上に配置される。ターンテーブル８３は、上記制御部によって図示Ｄ方向の回転および停止位置が制御され、基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つを第２検査ステージ３の直下となる空間に配置する。なお、基板収納部８に収納される検査後の基板Ｓｏｋ、Ｓｎｇ、およびＳｖｆは、それぞれＡ面を上に向けて基板ケース８１ａ〜８１ｃ内に積載される。また、後述により明らかとなるが、第２検査ステージ３のＢ面検査吸着テーブル３２が下方向に降下した場合、当該Ｂ面検査吸着テーブル３２の外縁部と直下に位置する基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つの上端部とが当接し、当該Ｂ面検査吸着テーブル３２の吸着面が基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つの開口部に配置される。

次に、図１〜図３を参照して、第１検査ステージ２および第２検査ステージ３にそれぞれ備えられているエアーシリンダ２３および３３の伸縮動作について説明する。

上述したように、第１回転部材２１には、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄをそれぞれ支持するエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄが設けられている。エアーシリンダ２３ａ〜２３ｄは上記制御部の制御によって伸縮可能に構成され、伸縮動作によってそれぞれ支持するＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄと第１回転軸２４との距離を変化させる。図１は、エアーシリンダ２３ａ〜２３ｄが縮んだ状態であり、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄがそれぞれ第１回転部材２１の側面近傍に配置される。また、図３は、エアーシリンダ２３ａ〜２３ｄが伸びた状態であり、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄがそれぞれ第１回転部材２１から離れた位置に配置される。

図２および図３に示すように、第１回転軸２４に対して直上方向に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ａは、エアーシリンダ２３ａが伸びたとき、その外縁部の上面（第１回転軸２４に対して外側の面）が当接部材６４と当接して位置決めされる。以下、当接部材６４と当接して位置決めされたＡ面検査吸着テーブル２２の位置をＡ面検査位置と記載する。なお、図２に示すように、本実施例では、Ａ面検査吸着テーブル２２ａをＡ面検査位置で安定して位置決めするために、当接部材６４が固設される箇所（３箇所）にエアーシリンダ２３ａがＡ面検査吸着テーブル２２ａを支持する箇所（３箇所）が含まれるように設定されている。

また、図３に示すように、第１回転軸２４に対して下方向に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ｃは、エアーシリンダ２３ｃが伸びたとき、その外縁部の下面（第１回転軸２４に対して外側の面）が基板供給部７の基板ケース７１の上端と当接し、Ａ面検査吸着テーブル２２ｃの吸着面が基板ケース７１の開口部に配置される。以下、基板ケース７１の開口部に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２の位置を基板供給位置と記載する。

さらに、図３に示すように、第１回転軸２４に対して右方向に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ｄの吸着面は、エアーシリンダ２３ｄが伸びたとき、同じくエアーシリンダ３３ｂが伸びたＢ面検査吸着テーブル３２ｂの吸着面と当接する。以下、Ａ面検査吸着テーブル２２の吸着面とＢ面検査吸着テーブル３２の吸着面とが当接する位置を基板受渡位置と記載する。

また、第２回転部材３１には、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄをそれぞれ支持するエアーシリンダ３３ａ〜３３ｄが設けられている。エアーシリンダ３３ａ〜３３ｄは上記制御部の制御によって伸縮可能に構成され、伸縮動作によってそれぞれ支持するＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄと第２回転軸３４との距離を変化させる。図１は、エアーシリンダ３３ａ〜３３ｄが縮んだ状態であり、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄがそれぞれ第２回転部材３１の側面近傍に配置される。また、図３は、エアーシリンダ３３ａ〜３３ｄが伸びた状態であり、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄがそれぞれ第２回転部材３１から離れた位置に配置される。

図２および図３に示すように、第２回転軸３４に対して直上方向に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２ａは、エアーシリンダ３３ａが伸びたとき、その外縁部の上面（第２回転軸３４に対して外側の面）が当接部材６４と当接して位置決めされる。以下、当接部材６４と当接して位置決めされたＢ面検査吸着テーブル３２の位置をＢ面検査位置と記載する。なお、図２に示すように、本実施例では、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａをＢ面検査位置で安定して位置決めするために、当接部材６４が固設される箇所（３箇所）にエアーシリンダ３３ａがＢ面検査吸着テーブル３２ａを支持する箇所（３箇所）が含まれるように設定されている。

また、図３に示すように、第２回転軸３４に対して下方向に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２ｃは、エアーシリンダ３３ｃが伸びたとき、その外縁部の下面（第２回転軸３４に対して外側の面）が基板収納部８の基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つの上端と当接し、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｃの吸着面が基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つの開口部に配置される。以下、基板ケース８１の開口部に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２の位置を基板排出位置と記載する。

さらに、図３に示すように、第２回転軸３４に対して左方向に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２ｂの吸着面は、エアーシリンダ３３ｂが伸びたとき、同じくエアーシリンダ２３ｄが伸びたＡ面検査吸着テーブル２２ｄの吸着面と当接する。以下、Ｂ面検査吸着テーブル３２の吸着面とＡ面検査吸着テーブル２２の吸着面とが当接する位置を基板受渡位置と記載する。

次に、図４を参照して、基板検査装置１の空圧機構について説明する。なお、図４は、第１検査ステージ２側の空圧機構のみを示しているが、第２検査ステージ３側も同様に構成され、以下、第１検査ステージ２側の空圧機構を代表的に説明する。また、図４は、第１検査ステージ２側の空圧機構を説明するために、第１検査ステージ２の構成の一部を省略し、Ａ面検査吸着テーブル２２を断面で示していることを注釈しておく。

図４において、基板検査装置１の空圧機構は、ブロア９０、コンプレッサ９５、主配管９１ａ、主配管９１ｂ、空圧切替部９２、吸着配管９３、シリンダ配管９４を備えている。第１回転軸２４は、第１回転部材２１の内部で空圧切替部９２を支持している。空圧切替部９２は上記制御部によって開閉が制御される複数の切替弁を有しており、第１回転軸２４にはその一方端部からそれぞれの切替弁まで貫通する中空経路（図４の破線で示す）が形成されている。また、第１回転軸２４の他方端部には、タイミングプーリ２５が固設されている。主配管９１ａは、第１回転軸２４の中空経路を通ってブロア９０と空圧切替部９２とを接続し、空圧制御部９２を介してブロア９０が生成する空圧をＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄに供給する。同様に、主配管９１ｂは、第１回転軸２４の中空経路を通ってコンプレッサ９５と空圧切替部９２とを接続し、空圧制御部９２を介してコンプレッサ９５が生成する空圧をエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄに供給する。

Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄの吸着面ＡＦには、それぞれ複数の吸着穴が形成されている（図４では、Ａ面検査吸着テーブル２２ａおよび２２ｃのみを示している）。また、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄと空圧切替部９２の切替弁との間には、それぞれエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄの伸縮動作に応じて伸縮可能な吸着配管９３ａ〜９３ｄ（図４では、吸着配管９３ａおよび９３ｃのみを示している）が接続されている。ここで、吸着配管９３ａ〜９３ｄは、それぞれ別の切替弁と接続される。また、吸着配管９３ａ〜９３ｄからＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄに供給される空圧（負圧）は、それぞれＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄに形成された吸着穴から外部に開放されている。つまり、上記制御部の制御に基づいて、吸着配管９３ａ〜９３ｄを介してＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄに負圧が供給された場合、それぞれの吸着穴に負圧が発生して吸着面ＡＦを用いた真空吸着が可能となる。

また、エアーシリンダ２３ａ〜２３ｄと空圧切替部９２の切替弁との間には、それぞれシリンダ配管９４ａ〜９４ｄ（図４では、シリンダ配管９４ａおよび９４ｃのみを示している）が接続されている。そして、上記制御部の制御に基づいてシリンダ配管９４ａ〜９４ｄへ上記コンプレッサ９５から空圧（正圧）が供給され、エアーシリンダ２３ａ〜２３ｄの伸縮動作が可能となる。なお、第２検査ステージ３側の空圧機構も第１検査ステージ２側と同様であるため、詳細な説明を省略する。なお、第２検査ステージ３の第２回転軸３４の他方端部には、タイミングプーリ３５が固設されている。なお、上記実施の形態では、空圧切替部９２がブロア９０およびコンプレッサ９５の２系統の空圧を切り替えるようにしているが、各々個別の切替部を備えていてもよい。

次に、図５を参照して、基板検査装置１における第１回転部材２１および第２回転部材３１を回転駆動する機構について説明する。なお、図５は、基板検査装置１の一部を示す背面図であり、図１および図３で示す第１検査ステージ２および第２検査ステージ３の位置関係や回転方向が左右逆になっていることを注釈しておく。

図５において、第１回転部材２１および第２回転部材３１を回転駆動する機構は、回転駆動モータ１０１と、タイミングベルト１０３と、テンションプーリ１０４および１０５とを有している。回転駆動モータ１０１の回転軸にはプーリ１０２が固設されており、回転駆動モータ１０１は、上記制御部の制御に基づいて所定の回転角度だけプーリ１０２を駆動する。タイミングベルト１０３は、テンションプーリ１０４および１０５を介して、プーリ１０２とタイミングプーリ２５および３５とによって回動可能に掛け渡される。テンションプーリ１０４および１０５は、掛け渡されたタイミングベルト１０３の張力を制御する。回転駆動モータ１０１の駆動力は、タイミングベルト１０３を介してタイミングプーリ２５および３５を同期して同じ回転角度で回転させる。そして、タイミングプーリ２５および３５がそれぞれ固設された第１回転軸２４および第２回転軸３４も回転し、第１回転軸２４および第２回転軸３４の回転に応じて、それぞれ第１回転部材２１および第２回転部材３１も図示Ａ方向およびＢ方向に回転する。なお、本実施例では、上記制御部による回転指示に応じて、第１回転部材２１および第２回転部材３１がそれぞれ図示Ａ方向およびＢ方向に９０°毎に回転する。

次に、図６〜図１４を参照して、基板検査装置１の動作について説明する。なお、図６は、基板検査装置１において基板Ｓを検査する動作を示すフローチャートである。

図６において、基板検査装置１の制御部は、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄの全てに対して吸引を開始する（ステップＳ１）。具体的には、制御部が第１検査ステージ２および第２検査ステージ３にそれぞれ設けられた空圧制御部（図４参照）の切替弁の開閉を制御して、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄに対して負圧を供給する。

次に、基板検査装置１の制御部は、コンプレッサ９５からの正圧を供給して全てのエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄおよび３３ａ〜３３ｄを伸ばす方向に動作させる（ステップＳ２；図３の状態）。この動作によって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄのいずれか３つが、それぞれＡ面検査位置、基板供給位置、および基板受渡位置に配置される。ここで、基板供給部７に基板Ｓが積載されている場合、基板供給位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２の吸着面に、最上位置に積載された基板Ｓの一方主面（具体的にはＢ面）が真空吸着固定される。図３の例では、Ａ面検査吸着テーブル２２ａがＡ面検査位置に配置され、Ａ面検査吸着テーブル２２ｃが基板供給位置に配置され、Ａ面検査吸着テーブル２２ｄが基板受渡位置に配置されている。また、ステップＳ２の動作によって、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄのいずれか３つが、それぞれＢ面検査位置、基板排出位置、および基板受渡位置に配置される。図３の例では、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａがＢ面検査位置に配置され、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｃが基板排出位置に配置され、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｂが基板受渡位置に配置されてＡ面検査吸着テーブル２２ｄと当接している。

次に、基板検査装置１の制御部は、Ａ面検査位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２およびＢ面検査位置に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２のいずれか一方の吸着面に、基板Ｓが吸着固定されているか否かを判断する（ステップＳ３）。この判断は、例えば図示しない光センサで直接基板を検知してもよいし、空圧回路中に設けた図示しない真空センサで基板吸着の有無を検知してもよい。そして、制御部は、いずれか一方の吸着面に基板Ｓが吸着固定されている場合に処理を次のステップＳ４に進め、いずれの吸着面にも基板Ｓが吸着固定されていない場合に処理を次のステップＳ５に進める。

ステップＳ４において、基板検査装置１の制御部は、Ａ面検査ヘッド４およびＢ面検査ヘッド５の撮像装置によって、Ａ面検査位置およびＢ面検査位置の検査吸着テーブルに吸着固定されたそれぞれの基板Ｓの主面を全面走査して撮像し、処理を次のステップＳ５に進める。具体的には、制御部は、直動モータ６５１を駆動することによって検査ヘッド梁６１を所定の速度で移動させ、検査ヘッド梁６１に固定されたＡ面検査ヘッド４およびＢ面検査ヘッド５をそれぞれＡ面検査位置およびＢ面検査位置の検査吸着テーブルに吸着固定された基板Ｓ上で通過させる（図２参照）。そして、制御部は、基板Ｓ上の通過の際、Ａ面検査ヘッド４の撮像装置によってＡ面検査位置のＡ面検査吸着テーブル２２に吸着固定された基板ＳのＡ面を全面撮像し、同時にＢ面検査ヘッド５の撮像装置によってＢ面検査位置のＢ面検査吸着テーブル３２に吸着固定された基板ＳのＢ面を全面撮像する。つまり、基板検査装置１は、基板ＳのＡ面および異なった基板ＳのＢ面に対して、それぞれ並列に走査撮像処理を行う。そして、制御部は、それぞれ撮像した画像データを用いて、それらの検査結果を導出する。例えば、予め設定したパターンの画像データと撮像した画像データとをパターンパッチング処理して、外観検査結果として判定する。本実施例では、制御部は、基板ＳのＡ面およびＢ面それぞれに対して、合格、不合格、および再検査要の３種いずれかの判定を行う。なお、制御部は、Ａ面検査位置およびＢ面検査位置のいずれか一方のみの吸着面に基板Ｓが吸着固定されている場合、基板Ｓが存在する側の撮像装置のみが撮像動作を行い、その検査結果を導出してもかまわない。

ステップＳ５において、基板検査装置１の制御部は、基板受渡位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２に対して吸引を停止する。具体的には、制御部が第１検査ステージ２に設けられた空圧制御部の切替弁の開閉を制御して、基板受渡位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２のみに対して負圧の供給を停止する。図３の例では、Ａ面検査吸着テーブル２２ｄが基板受渡位置に配置されており、制御部は、Ａ面検査吸着テーブル２２ｄに対する吸引を停止する。

ここで、基板受渡位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２の吸着面が基板Ｓの一方主面（具体的にはＢ面）を真空吸着固定している場合、当該基板Ｓの他方主面（具体的にはＡ面）が基板受渡位置に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２の吸着面と当接する。そして、制御部が基板受渡位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２に対して吸引を停止すると、基板受渡位置の基板Ｓの一方主面への吸着が解除される。また、制御部が基板受渡位置に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２に対する吸引を継続しているため、上記基板受渡位置の基板Ｓの他方主面が当該Ｂ面検査吸着テーブル３２の吸着面に真空吸着固定される。したがって、基板受渡位置の基板Ｓは、Ａ面検査吸着テーブル２２からＢ面検査吸着テーブル３２へ受け渡され、真空吸着固定される主面が一方主面（Ｂ面）から他方主面（Ａ面）に反転する。

次に、基板検査装置１の制御部は、基板排出位置に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２に対して吸引を停止する（ステップＳ６）。具体的には、制御部が第２検査ステージ３に設けられた空圧制御部の切替弁の開閉を制御して、基板排出位置に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２のみに対して負圧の供給を停止する。図３の例では、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｃが基板排出位置に配置されており、制御部は、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｃに対する吸引を停止する。

ここで、基板排出位置に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２の吸着面が基板Ｓの一方主面（具体的にはＡ面）を真空吸着固定している場合、当該基板Ｓは、基板収納部８の基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つの開口部に配置されている。そして、制御部が基板排出位置に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２に対して吸引を停止すると、基板排出位置の基板Ｓの一方主面への真空吸着が解除され、当該基板Ｓが基板収納部８へ排出される。なお、便宜上、ステップＳ４、Ｓ５、およびＳ６の動作を連続動作として記載したが、同時並行して実施してもかまわない。

次に、基板検査装置１の制御部は、全てのエアーシリンダ２３ａ〜２３ｄおよび３３ａ〜３３ｄを縮める方向に動作させる（ステップＳ７；図１の状態）。この動作によって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが全て第１回転部材２１および第２回転部材３１の側面近傍に配置される。

次に、基板検査装置１の制御部は、基板Ｓの検査を終了するか否かを判断する（ステップＳ８）。検査を終了する場合、制御部は、当該フローチャートに基づいた動作を終了する。一方、検査を継続する場合、制御部は、処理を次のステップＳ９に進める。

ステップＳ９において、基板検査装置１の制御部は、検査結果に応じて第２検査ステージ３の直下に配置する基板ケース８１ａ〜８１ｃを選択し、選択された基板ケース８１ａ〜８１ｃのいずれか１つが第２検査ステージ３の直下に配置されるようにターンテーブル８３を回転させる。具体的には、制御部は、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄに吸着固定された基板Ｓのうち、第２回転軸３４に対して図１に示す右方向に配置されたＢ面検査吸着テーブル３２（図１ではＢ面検査吸着テーブル３２ｄ）に吸着固定された基板Ｓの検査結果に基づいて基板ケース８１ａ〜８１ｃを選択する。例えば、制御部は、Ａ面およびＢ面共に検査結果が合格のとき、検査結果が合格したと判断して基板Ｓｏｋを収納する基板ケース８１ａを選択する。また、制御部は、Ａ面およびＢ面の少なくとも一方の検査結果が不合格のとき、検査結果が不合格と判断して基板Ｓｎｇを収納する基板ケース８１ｂを選択する。さらに、制御部は、Ａ面およびＢ面共に再検査要のとき、またはＡ面およびＢ面のいずれか一方が合格でいずれか他方が再検査要のとき、検査結果が再検査要と判断して基板Ｓｖｆを収納する基板ケース８１ｃを選択する。なお、上記ステップＳ６を実施する直前にステップＳ９を実施するようにしてもかまわない。

次に、基板検査装置１の制御部は、第１回転部材２１および第２回転部材３１をそれぞれ図示Ａ方向およびＢ方向（図１参照）に９０°回転させる（ステップＳ１０）。具体的には、制御部は、回転駆動モータ１０１を駆動させることによって、それぞれ第１回転軸２４および第２回転軸３４を中心に第１回転部材２１および第２回転部材３１を回転させる。この動作によって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄも、全て９０°回動する。

次に、基板検査装置１の制御部は、上記ステップＳ５で吸引を停止しているＡ面検査吸着テーブル２２および上記ステップＳ６で吸引を停止しているＢ面検査吸着テーブル３２に対して、それぞれ吸引を再開する（ステップＳ１１）。この動作によって、制御部は、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄの全てに対して吸引を行うことになる。そして、制御部は、上記ステップＳ２に戻って処理を繰り返す。

次に、図７〜図１３を参照して、図６で示すフローチャートの動作を繰り返すことによって、基板検査装置１が基板Ｓを移動させる動作を具体的に説明する。なお、図７〜図１３は、それぞれ図６で示すフローチャートの動作を繰り返すことによって、基板検査装置１が動作する状態を段階的に示した模式図である。なお、図中の白抜矢印はエアーシリンダ２３および３３の伸縮動作によるＡ面検査吸着テーブル２２およびＢ面検査吸着テーブル３２の動作方向を示し、実線矢印は第１回転部材２１および第２回転部材３１の回転動作を示している。

図７（ａ）は、基板検査装置１に検査前の基板Ｓが供給された初期状態を示している。基板供給部７には、Ｂ面を上面として複数の基板Ｓが積載されて収納されている。また、第１検査ステージ２は、４つのＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄのうち、Ａ面検査吸着テーブル２２ａが下方向に向けて配置されている。また、第２検査ステージ３は、４つのＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄのうち、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａが下方向に向けて配置されている。そして、基板検査装置１の制御部が上記ステップＳ１を実行することによって、全てのＡ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄに対する吸引が開始される。なお、以下の説明を具体的にするために、基板供給部７に積載された複数の基板Ｓをそれぞれ最上位置から順に基板Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３…とする。

次に、制御部が上記ステップＳ２（１回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１から離れた位置に移動する。そして、基板供給位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ａの吸着面に、基板供給部７の最上位置に積載された基板Ｓ１のＢ面が真空吸着固定される（図７（ｂ）の状態）。

次に、制御部が上記ステップＳ７（１回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１の側面近傍の位置に移動する。そして、Ａ面検査吸着テーブル２２ａの吸着面に真空吸着固定された基板Ｓ１が、基板供給部７からピックアップされる（図７（ｃ）の状態）。

次に、制御部が上記ステップＳ１０（１回目）を実行することによって、第１回転部材２１および第２回転部材３１が９０°回転する。それに伴って、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄと、Ａ面検査吸着テーブル２２ａに吸着固定された基板Ｓ１とが、全て９０°回動する（図８（ａ）の状態）。なお、図８（ａ）において、第１回転部材２１および第２回転部材３１は、それぞれ図示時計方向に９０°回転する。

次に、制御部が上記ステップＳ２（２回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１から離れた位置に移動する。そして、基板供給位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ｂの吸着面に、基板供給部７の最上位置に積載された基板Ｓ２のＢ面が真空吸着固定される（図８（ｂ）の状態）。

次に、制御部が上記ステップＳ７（２回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１の側面近傍の位置に移動する。そして、Ａ面検査吸着テーブル２２ｂの吸着面に真空吸着固定された基板Ｓ２が、基板供給部７からピックアップされる（図８（ｃ）の状態）。

次に、制御部が上記ステップＳ１０（２回目）を実行することによって、第１回転部材２１および第２回転部材３１が９０°回転する。それに伴って、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄと、Ａ面検査吸着テーブル２２ａおよび２２ｂに吸着固定された基板Ｓ１およびＳ２とが、全て９０°回動する（図９（ａ）の状態）。

次に、制御部が上記ステップＳ２（３回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１から離れた位置に移動する。そして、基板供給位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ｃの吸着面に、基板供給部７の最上位置に積載された基板Ｓ３のＢ面が真空吸着固定される。さらに、制御部が上記ステップＳ４を実行することによって、Ａ面検査位置のＡ面検査吸着テーブル２２ａに吸着固定された基板Ｓ１のＡ面が、Ａ面検査ヘッド４の撮像装置によって撮像されて検査される（図９（ｂ）の状態）。

次に、制御部が上記ステップＳ７（３回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１の側面近傍の位置に移動する。そして、Ａ面検査吸着テーブル２２ｃの吸着面に真空吸着固定された基板Ｓ３が、基板供給部７からピックアップされる（図９（ｃ）の状態）。

次に、制御部が上記ステップＳ１０（３回目）を実行することによって、第１回転部材２１および第２回転部材３１が９０°回転する。それに伴って、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄと、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｃに吸着固定された基板Ｓ１〜Ｓ３とが、全て９０°回動する（図１０（ａ）の状態）。

次に、制御部が上記ステップＳ２（４回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１から離れた位置に移動する。そして、基板供給位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ｄの吸着面に、基板供給部７の最上位置に積載された基板Ｓ４のＢ面が真空吸着固定される。また、基板受渡位置のＡ面検査吸着テーブル２２ａに真空吸着固定された基板Ｓ１のＡ面が、基板受渡位置のＢ面検査吸着テーブル３２ｃの吸着面と当接する。さらに、制御部が上記ステップＳ４を実行することによって、Ａ面検査位置のＡ面検査吸着テーブル２２ｂに吸着固定された基板Ｓ２のＡ面が、Ａ面検査ヘッド４の撮像装置によって撮像されて検査される（図１０（ｂ）の状態）。次に、制御部が上記ステップＳ５を実行することによって、基板Ｓ１に対する基板受渡位置のＡ面検査吸着テーブル２２ａによる真空吸着固定が解除され、基板Ｓ１のＡ面がＢ面検査吸着テーブル３２ｃの吸着面に真空吸着固定された状態となる。

次に、制御部が上記ステップＳ７（４回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１の側面近傍の位置に移動する。そして、Ａ面検査吸着テーブル２２ｄの吸着面に真空吸着固定された基板Ｓ４が、基板供給部７からピックアップされる。また、基板受渡位置のＢ面検査吸着テーブル３２ｃの吸着面に真空吸着固定された基板Ｓ１が、第１検査ステージ２から第２検査ステージ３へ受け渡され、基板Ｓ１の真空吸着固定される主面がＢ面からＡ面に変更される（図１０（ｃ）の状態）。なお、基板Ｓ１を受け渡したＡ面検査吸着テーブル２２ａの吸着面には、基板Ｓが存在しない状態となる。

次に、制御部が上記ステップＳ１０（４回目）を実行することによって、第１回転部材２１および第２回転部材３１が９０°回転する。それに伴って、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄと、Ａ面検査吸着テーブル２２ｂ〜２２ｄに吸着固定された基板Ｓ２〜Ｓ４と、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｃに吸着固定された基板Ｓ１とが、全て９０°回動する（図１１（ａ）の状態）。そして、制御部が上記ステップＳ１１を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａに対する吸引が再開される。

次に、制御部が上記ステップＳ２（５回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１から離れた位置に移動する。そして、基板供給位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ａの吸着面に、基板供給部７の最上位置に積載された基板Ｓ５のＢ面が真空吸着固定される。また、基板受渡位置のＡ面検査吸着テーブル２２ｂに真空吸着固定された基板Ｓ２のＡ面が、基板受渡位置のＢ面検査吸着テーブル３２ｄの吸着面と当接する。さらに、制御部が上記ステップＳ４を実行することによって、Ａ面検査位置のＡ面検査吸着テーブル２２ｃに吸着固定された基板Ｓ３のＡ面がＡ面検査ヘッド４の撮像装置によって撮像されて検査される動作と並列して、Ｂ面検査位置のＢ面検査吸着テーブル３２ｃに吸着固定された基板Ｓ１のＢ面がＢ面検査ヘッド５の撮像装置によって撮像されて検査される（図１１（ｂ）の状態）。次に、制御部が上記ステップＳ５を実行することによって、基板Ｓ２に対する基板受渡位置のＡ面検査吸着テーブル２２ｂによる真空吸着固定が解除され、基板Ｓ２のＡ面がＢ面検査吸着テーブル３２ｄの吸着面に真空吸着固定された状態となる。

次に、制御部が上記ステップＳ７（５回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１の側面近傍の位置に移動する。そして、Ａ面検査吸着テーブル２２ａの吸着面に真空吸着固定された基板Ｓ５が、基板供給部７からピックアップされる。また、基板受渡位置のＢ面検査吸着テーブル３２ｄの吸着面に真空吸着固定された基板Ｓ２が、第１検査ステージ２から第２検査ステージ３へ受け渡され、基板Ｓ２の真空吸着固定される主面がＢ面からＡ面に変更される（図１１（ｃ）の状態）。なお、基板Ｓ２を受け渡したＡ面検査吸着テーブル２２ｂの吸着面には、基板Ｓが存在しない状態となる。

次に、制御部が上記ステップＳ１０（５回目）を実行することによって、第１回転部材２１および第２回転部材３１が９０°回転する。それに伴って、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄと、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ、２２ｃ、および２２ｄに吸着固定された基板Ｓ３〜Ｓ５と、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｃおよび３２ｄに吸着固定された基板Ｓ１およびＳ２とが、全て９０°回動する（図１２（ａ）の状態）。そして、制御部が上記ステップＳ１１を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ｂに対する吸引が再開される。

次に、制御部が上記ステップＳ２（６回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１から離れた位置に移動する。そして、基板供給位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ａの吸着面に、基板供給部７の最上位置に積載された基板Ｓ６のＢ面が真空吸着固定される。また、基板受渡位置のＡ面検査吸着テーブル２２ｃに真空吸着固定された基板Ｓ３のＡ面が、基板受渡位置のＢ面検査吸着テーブル３２ａの吸着面と当接する。さらに、制御部が上記ステップＳ４を実行することによって、Ａ面検査位置のＡ面検査吸着テーブル２２ｄに吸着固定された基板Ｓ４のＡ面がＡ面検査ヘッド４の撮像装置によって撮像されて検査される動作と並列して、Ｂ面検査位置のＢ面検査吸着テーブル３２ｄに吸着固定された基板Ｓ２のＢ面がＢ面検査ヘッド５の撮像装置によって撮像されて検査される（図１２（ｂ）の状態）。次に、制御部が上記ステップＳ５を実行することによって、基板Ｓ３に対する基板受渡位置のＡ面検査吸着テーブル２２ｃによる真空吸着固定が解除され、基板Ｓ３のＡ面がＢ面検査吸着テーブル３２ａの吸着面に真空吸着固定された状態となる。

次に、制御部が上記ステップＳ７（６回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１の側面近傍の位置に移動する。そして、Ａ面検査吸着テーブル２２ｂの吸着面に真空吸着固定された基板Ｓ６が、基板供給部７からピックアップされる。また、基板受渡位置のＢ面検査吸着テーブル３２ａの吸着面に真空吸着固定された基板Ｓ３が、第１検査ステージ２から第２検査ステージ３へ受け渡され、基板Ｓ３の真空吸着固定される主面がＢ面からＡ面に変更される（図１２（ｃ）の状態）。なお、基板Ｓ３を受け渡したＡ面検査吸着テーブル２２ｃの吸着面には、基板Ｓが存在しない状態となる。そして、制御部は、上記ステップＳ９を実行することによって、基板Ｓ１のＡ面検査結果（図９（ｂ）参照）およびＢ面検査結果（図１１（ｂ）参照）に基づいて、基板Ｓ１の検査結果に応じた基板収納部８の基板ケースを選択してターンテーブル８３を回転させる。

次に、制御部が上記ステップＳ１０（６回目）を実行することによって、第１回転部材２１および第２回転部材３１が９０°回転する。それに伴って、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄと、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ、２２ｂ、および２２ｄに吸着固定された基板Ｓ４〜Ｓ６と、Ｂ面検査吸着テーブル３２ａ、３２ｃおよび３２ｄに吸着固定された基板Ｓ１〜Ｓ３とが、全て９０°回動する（図１３（ａ）の状態）。そして、制御部が上記ステップＳ１１を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ｃに対する吸引が再開される。

次に、制御部が上記ステップＳ２（７回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１から離れた位置に移動する。そして、基板供給位置に配置されたＡ面検査吸着テーブル２２ｃの吸着面に、基板供給部７の最上位置に積載された基板Ｓ７のＢ面が真空吸着固定される。また、基板受渡位置のＡ面検査吸着テーブル２２ｄに真空吸着固定された基板Ｓ４のＡ面が、基板受渡位置のＢ面検査吸着テーブル３２ｂの吸着面と当接する。さらに、基板排出位置のＢ面検査吸着テーブル３２ｃに真空吸着固定された基板Ｓ１が、選択された基板収納部８の基板ケースの開口部に配置される。また、制御部が上記ステップＳ４を実行することによって、Ａ面検査位置のＡ面検査吸着テーブル２２ａに吸着固定された基板Ｓ５のＡ面がＡ面検査ヘッド４の撮像装置によって撮像されて検査される動作と並列して、Ｂ面検査位置のＢ面検査吸着テーブル３２ａに吸着固定された基板Ｓ３のＢ面がＢ面検査ヘッド５の撮像装置によって撮像されて検査される（図１３（ｂ）の状態）。次に、制御部が上記ステップＳ５を実行することによって、基板Ｓ４に対する基板受渡位置のＡ面検査吸着テーブル２２ｄによる真空吸着固定が解除され、基板Ｓ４のＡ面がＢ面検査吸着テーブル３２ｂの吸着面に真空吸着固定された状態となる。そして、制御部が上記ステップＳ６を実行することによって、基板Ｓ１に対する基板排出位置のＢ面検査吸着テーブル３２ｃによる真空吸着固定が解除される。

次に、制御部が上記ステップＳ７（７回目）を実行することによって、Ａ面検査吸着テーブル２２ａ〜２２ｄおよびＢ面検査吸着テーブル３２ａ〜３２ｄが第１回転部材２１および第２回転部材３１の側面近傍の位置に移動する。そして、Ａ面検査吸着テーブル２２ｃの吸着面に真空吸着固定された基板Ｓ７が、基板供給部７からピックアップされる。また、基板受渡位置のＢ面検査吸着テーブル３２ｂの吸着面に真空吸着固定された基板Ｓ４が、第１検査ステージ２から第２検査ステージ３へ受け渡され、基板Ｓ４の真空吸着固定される主面がＢ面からＡ面に変更される。そして、Ｂ面検査吸着テーブル３２ｃによる真空吸着固定が解除された基板Ｓ１が、基板収納部８の基板ケース内に排出される。（図１３（ｃ）の状態）。このような動作が繰り返されることによって、基板検査装置１の基板供給部７に積載された複数の基板Ｓは、それぞれ両面が外観検査されて、順次基板収納部８に排出される。

このように、基板検査装置１では、複数のＡ面検査吸着テーブル２２およびＢ面検査吸着テーブル３２に吸着固定された基板Ｓに対して、それぞれ異なった処理が行われ、それらの処理が並列で同時に進行する。具体的には、図６に示すフローチャートに基づいた動作を繰り返すことによって、基板検査装置１では、基板ＳをＡ面検査吸着テーブル２２に吸着する動作、基板ＳのＡ面を撮像する動作、基板を第１検査ステージ２から第２検査ステージ３に受け渡して表裏反転する動作、基板のＢ面を撮像する動作、基板ＳをＢ面検査吸着テーブル３２から排出する動作などが、各テーブル位置に応じてそれぞれ並列に行われる。したがって、基板検査装置１は、基板Ｓの両面を検査するための一連の動作を並列的に処理することによって、スループットよく基板の両面を並列検査することができる。また、基板Ｓが軟弱な部材で構成されるプリント基板などであっても、テーブルと当接して主面が支持されるため、安定して基板Ｓを固定することができる。さらに、基板Ｓは、テーブルと当接する主面以外の部位について、他の部材によって覆われることがないため、撮像装置によって撮像できない領域が存在しない。

なお、上述した説明では、基板ＳをＡ面検査吸着テーブル２２およびＢ面検査吸着テーブル３２に真空吸着によって固定したが、他の方式を用いて基板ＳをＡ面検査吸着テーブル２２およびＢ面検査吸着テーブル３２に保持してもかまわない。例えば、静電吸着を用いて、Ａ面検査吸着テーブル２２およびＢ面検査吸着テーブル３２が基板Ｓを保持してもかまわない。また、Ａ面検査吸着テーブル２２およびＢ面検査吸着テーブル３２と第１回転部材２１および第２回転部材３１との距離を変化させる機構もエアーシリンダ２３および３３でなくてもよく、例えば、電気的な駆動源を用いた昇降機構を用いてもかまわない。また、上記実施の形態では、Ａ面検査吸着テーブル２２とＢ面検査吸着テーブル３２とを全て吸着動作させているが、特に作業開始等では必要な面のみ吸着動作させるようにしてもよい。また、不要な箇所でのエアーシリンダ２３および３３の伸縮を行わないようにしてもよい（例えば、図３のエアーシリンダ２３ｂおよび３３ｄ）。

また、上述した説明では、全てのエアーシリンダ２３および３３が伸びた際、Ａ面検査位置、Ｂ面検査位置、基板供給位置、基板受渡位置、および基板排出位置のいずれにも属さない位置に配置されるＡ面検査吸着テーブル２２およびＢ面検査吸着テーブル３２がある（具体的には、図３で示すＡ面検査吸着テーブル２２ｂおよびＢ面検査吸着テーブル３２ｄ）。上述した説明では、上記位置のＡ面検査吸着テーブル２２およびＢ面検査吸着テーブル３２に吸着固定された基板Ｓに対して何の処理も行っていないが、当該位置で基板ＳのＡ面およびＢ面にそれぞれ新たな処理を行うことができる。これらの位置で基板ＳのＡ面およびＢ面にそれぞれ新たな処理を施しても、基板検査装置１は、基板Ｓの両面を検査するための一連の動作を並列的に処理できるため、処理時間を増加させることなく一連の動作を行うことができる。

また、上述した説明では、１本の検査ヘッド梁６１にＡ面検査ヘッド４およびＢ面検査ヘッド５が固設され、１方向に検査ヘッド梁６１を移動させることによって走査方向を１方向（図２に示す矢印Ｃ方向）にして基板Ｓの走査撮像処理を行った。これによって、走査撮像に必要な駆動源（直動モータ６５１）を１つに集約することができる。しかしながら、検査ヘッド梁６１に対してＡ面検査ヘッド４およびＢ面検査ヘッド５がそれぞれ上記移動方向に対して垂直な方向（図２に示す矢印Ｃ方向に対して垂直な図示左右方向）に移動可能に構成してもかまわない。この場合、Ａ面検査ヘッド４およびＢ面検査ヘッド５を用いて走査撮像可能な領域を、さらに拡大することができる。

なお、上述した基板検査装置１では、第１検査ステージ２および第２検査ステージ３がそれぞれ４面の検査吸着テーブルを有していたが、本発明は、４面に限定されない。本発明は、２つの検査ステージがそれぞれ４面以上または４面未満の検査吸着ステージを有していても適用することができる。

図１４は、第１検査ステージ２００および第２検査ステージ３００が、それぞれ８面の検査吸着テーブルを備えた一例である。なお、図１４（ａ）は、各検査吸着ステージを支持するエアーシリンダが縮んだ状態を示している。図１４（ｂ）は、各検査吸着ステージを支持するエアーシリンダが伸びた状態を示している。また、図中の斜線領域は、被検査体となる基板Ｓを示している。

図１４（ａ）および図１４（ｂ）に示すように、第１検査ステージ２００および第２検査ステージ３００は、それぞれ正八角柱形状の回転部材を有している。そして、正八角柱が有する２つの底面の中心を結ぶ軸を回転軸として、第１検査ステージ２００および第２検査ステージ３００は、図示矢印方向に４５°ずつ回転可能に構成される。正八角柱形状の回転部材の８面には、それぞれエアーシリンダを介して検査吸着テーブルが設けられる。そして、全てのエアーシリンダが縮んだ場合に各検査吸着テーブルが正八角柱形状の回転部材の近傍に配置され（図１４（ａ）の状態）、全てのエアーシリンダが伸びた場合に各検査吸着テーブルが正八角柱形状の回転部材から離れて配置される（図１４（ｂ）の状態）。

全てのエアーシリンダが伸びた場合、第１検査ステージ２００に設けられた各検査吸着テーブルのうちの１つが基板供給位置に配置され（例えば、下方向のテーブル）、基板供給部７に積載された最上位置の基板Ｓを吸着固定する。また、第１検査ステージ２００に設けられた各検査吸着テーブルのうちの１つがＡ面検査位置に配置され（例えば、上方向のテーブル）、吸着固定された基板ＳのＡ面が走査撮像される。さらに、第１検査ステージ２００に設けられた各検査吸着テーブルのうちの１つが基板受渡位置に配置され（例えば、右方向のテーブル）、吸着固定された基板ＳのＡ面が第２検査ステージ３００の検査吸着テーブルの吸着面と当接する。

全てのエアーシリンダが伸びた場合、第２検査ステージ３００に設けられた各検査吸着テーブルのうちの１つが基板受渡位置に配置され（例えば、左方向のテーブル）、第１検査ステージ２００から基板Ｓが受け渡される。また、第２検査ステージ３００に設けられた各検査吸着テーブルのうちの１つがＢ面検査位置に配置され（例えば、上方向のテーブル）、吸着固定された基板ＳのＢ面が走査撮像される。さらに、第２検査ステージ３００に設けられた各検査吸着テーブルのうちの１つが基板排出位置に配置され（例えば、下方向のテーブル）、基板収納部８に基板Ｓを排出する。

このように、それぞれ８面の検査吸着テーブルを備えた２つの検査ステージであっても、複数の検査吸着テーブルに吸着固定された基板Ｓに対して、それぞれ異なった処理が行われ、それらの処理を並列で同時に進行することができる。

図１５は、第１検査ステージ２５０および第２検査ステージ３５０が、それぞれ２面の検査吸着テーブルを備えた一例である。なお、図１５（ａ）は、上下方向に配置された各検査吸着ステージに対して、それらを支持するエアーシリンダが伸びた状態を示している。図１５（ｂ）は、上下方向に配置された各検査吸着ステージに対して、各検査吸着ステージを支持するエアーシリンダが縮んだ状態を示している。図１５（ｃ）は、左右方向に配置された各検査吸着ステージに対して、それらを支持するエアーシリンダが縮んだ状態を示している。図１５（ｄ）は、左右方向に配置された各検査吸着ステージに対して、各検査吸着ステージを支持するエアーシリンダが伸びた状態を示している。また、図中の斜線領域は、被検査体となる基板Ｓを示している。

図１５（ａ）〜図１５（ｄ）に示すように、第１検査ステージ２５０および第２検査ステージ３５０は、それぞれ所定の回転軸を中心に回転する回転部材を有している。そして、第１検査ステージ２５０および第２検査ステージ３５０は、図示矢印方向に９０°ずつ回転可能に構成される。互いに平行で、かつ上記回転部材を挟む２面には、それぞれエアーシリンダを介しての検査吸着テーブルが設けられる。そして、全てのエアーシリンダが縮んだ場合に各検査吸着テーブルが回転部材の近傍に配置され（図１５（ｂ）および図１５（ｃ）の状態）、全てのエアーシリンダが伸びた場合に各検査吸着テーブルが回転部材から離れて配置される（図１５（ａ）および図１５（ｄ）の状態）。

上下方向に配置された各検査吸着ステージに対してエアーシリンダが伸びた場合（図１５（ａ）の状態）、第１検査ステージ２５０に設けられた検査吸着テーブルの一方が基板供給位置に配置され（例えば、下方向のテーブル）、基板供給部７に積載された最上位置の基板Ｓを吸着固定する。また、第１検査ステージ２５０に設けられた検査吸着テーブルの他方がＡ面検査位置に配置され（例えば、上方向のテーブル）、吸着固定された基板ＳのＡ面が走査撮像される。そして、第２検査ステージ３５０に設けられた検査吸着テーブルの一方がＢ面検査位置に配置され（例えば、上方向のテーブル）、吸着固定された基板ＳのＢ面が走査撮像される。また、第２検査ステージ３５０に設けられた検査吸着テーブルの他方が基板排出位置に配置され（例えば、下方向のテーブル）、基板収納部８に基板Ｓを排出する。

左右方向に配置された各検査吸着ステージに対してエアーシリンダが伸びた場合（図１５（ｄ）の状態）、第１検査ステージ２５０に設けられた検査吸着テーブルの一方が基板受渡位置に配置され（例えば、右方向のテーブル）、吸着固定された基板ＳのＡ面が第２検査ステージ３５０の検査吸着テーブルの吸着面と当接する。そして、第２検査ステージ３５０に設けられた検査吸着テーブルの一方が基板受渡位置に配置され（例えば、左方向のテーブル）、第１検査ステージ２５０から基板Ｓが受け渡される。

このように、それぞれ２面の検査吸着テーブルを備えた２つの検査ステージであっても、２面の検査吸着テーブルに吸着固定された基板Ｓに対して、それぞれ異なった処理が行われ、それらの処理を並列で同時に進行することができる。

また、それぞれ正三角柱形状の回転部材を有する第１および第２検査ステージを用いてもかまわない。この場合、正三角柱が有する２つの底面の中心を結ぶ軸を回転軸として、第１および第２検査ステージは、１２０°ずつ回転可能に構成される。正三角柱形状の回転部材の３面には、それぞれエアーシリンダを介して検査吸着テーブルが設けられ、第１検査ステージのいずれか１つの検査吸着テーブルが第２検査ステージのいずれか１つの検査吸着テーブルと対向するように配置される。このような構成であっても、本発明の効果を同様に得られることは言うまでもない。

本発明に係る基板検査装置およびその方法は、一連の動作を並列的に処理することによってスループットよく基板を検査することができ、両面の検査が必要なプリント基板などの基板に対する外観検査などの用途に適用することができる。

本発明の一実施形態に係る基板検査装置１の概略的な構造を示す正面図 図１の基板検査装置１の概略的な構造を示す上面図 図１のエアーシリンダ２３および３３が伸びた状態における基板検査装置１の概略的な構造を示す正面図 図１の基板検査装置１における空圧機構の概略的な構造を示す内部側面図 図１の基板検査装置１における回転部材を回転駆動する機構の構造を示す背面図 図１の基板検査装置１において基板Ｓを検査する動作を示すフローチャート 図６のフローチャートの動作を繰り返すことによって、基板検査装置１が動作する状態の第１段階を示した模式図 図６のフローチャートの動作を繰り返すことによって、基板検査装置１が動作する状態の第２段階を示した模式図 図６のフローチャートの動作を繰り返すことによって、基板検査装置１が動作する状態の第３段階を示した模式図 図６のフローチャートの動作を繰り返すことによって、基板検査装置１が動作する状態の第４段階を示した模式図 図６のフローチャートの動作を繰り返すことによって、基板検査装置１が動作する状態の第５段階を示した模式図 図６のフローチャートの動作を繰り返すことによって、基板検査装置１が動作する状態の第６段階を示した模式図 図６のフローチャートの動作を繰り返すことによって、基板検査装置１が動作する状態の第７段階を示した模式図 それぞれ８面の検査吸着テーブルを備えた第１検査ステージ２００および第２検査ステージ３００の一例を示す図 それぞれ２面の検査吸着テーブルを備えた第１検査ステージ２５０および第２検査ステージ３５０の一例を示す図

符号の説明

１…基板検査装置
２、２００、２５０…第１検査ステージ
２１…第１回転部材
２２…Ａ面検査吸着テーブル
２３、３３…エアーシリンダ
２４…第１回転軸
２５、３５…タイミングプーリ
３、３００、３５０…第２検査ステージ
３１…第２回転部材
３２…Ｂ面検査吸着テーブル
３４…第２回転軸
４…Ａ面検査ヘッド
４１、５１…スリット
５…Ｂ面検査ヘッド
６…フレーム
６１…検査ヘッド梁
６２…直動軸受
６２１…レール
６２２…スライドブロック
６３…本体ベース
６４…当接部材
６５…ボールネジ
６５１…直動モータ
７…基板供給部
７１、８１…基板ケース
７２、８２…昇降テーブル
８…基板収納部
８３…ターンテーブル
９０…ブロア
９１…主配管
９２…空圧切替部
９３…吸着配管
９４…シリンダ配管
９５…コンプレッサ
１０１…回転駆動モータ
１０２…プーリ
１０３…タイミングベルト
１０４、１０５…テンションプーリ

Claims (10)

1. 基板の両面を撮像して検査する基板検査装置であって、
   基板の一方主面と当接して当該基板を保持する複数の第１基板保持面が第１回転軸を中心に周設された第１検査ステージと、
   前記第１検査ステージと並設され、基板の他方主面と当接して当該基板を保持する複数の第２基板保持面が第２回転軸を中心に周設された第２検査ステージと、
   前記第１回転軸を中心に前記第１検査ステージを回転させ、前記第２回転軸を中心に前記第２検査ステージを回転させることによって、前記第１基板保持面および第２基板保持面の向きを切り替える回転駆動部と、
   並列配置された前記第１基板保持面および第２基板保持面の組にそれぞれ保持された基板の主面を、それぞれ同時に撮像する撮像部と、
   前記並列配置された第１基板保持面とは別の第１基板保持面に基板を供給する基板供給部と、
   前記並列配置された第２基板保持面とは別の第２基板保持面に保持された基板を排出する基板排出部とを備える、基板検査装置。
2. 前記第１検査ステージは、前記第１基板保持面をそれぞれ移動させることによって前記第１回転軸からの距離を変化させる第１基板保持面駆動部を含み、
   前記第２検査ステージは、前記第２基板保持面をそれぞれ移動させることによって前記第２回転軸からの距離を変化させる第２基板保持面駆動部を含み、
   前記基板検査装置は、前記第１基板保持面または前記第２基板保持面に対する基板の着脱を制御する制御部を、さらに備え、
   相対している前記第１基板保持面および第２基板保持面の組に対して、
   前記第１基板保持面駆動部および前記第２基板保持面駆動部は、それぞれ前記第１基板保持面および第２基板保持面を前記第１回転軸および第２回転軸からの距離が長くなる方向に移動させることによって、当該第１基板保持面に保持されている基板の他方主面と当該第２基板保持面とを当接させ、
   前記制御部は、相対している前記第１基板保持面による基板の保持を解除して、相対している前記第２基板保持面に当該基板を保持させることを特徴とする、請求項１に記載の基板検査装置。
3. 前記撮像部は、
   前記第１基板保持面に保持された基板の他方主面を撮像する第１撮像装置と、
   前記第２基板保持面に保持された基板の一方主面を撮像する第２撮像装置と、
   前記第１撮像装置および前記第２撮像装置を支持する支持部材と、
   前記支持部材を前記並列配置された第１基板保持面および第２基板保持面と平行に移動させる直動駆動部とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の基板検査装置。
4. 前記第１検査ステージは、前記第１回転軸の四方にそれぞれ周設された４つの前記第１基板保持面を有し、
   前記第２検査ステージは、前記第２回転軸の四方にそれぞれ周設された４つの前記第２基板保持面を有することを特徴とする、請求項１に記載の基板検査装置。
5. 前記第１回転軸および第２回転軸は、水平かつ互いに平行に配置され、
   前記回転駆動部は、少なくとも前記第１基板保持面の１つと前記第２基板保持面の１つとが相対するように前記第１検査ステージおよび第２検査ステージを回転させて停止させ、
   前記撮像部は、上面に並列配置された前記第１基板保持面および第２基板保持面の組にそれぞれ保持された基板の主面を、それぞれ同時に撮像し、
   前記基板供給部は、下面に配置された前記第１基板保持面に基板を供給し、
   前記基板排出部は、下面に配置された前記第２基板保持面に保持された基板を排出し、
   相対して配置された前記第１基板保持面から前記第２基板保持面へ基板が受け渡されることを特徴とする、請求項４に記載の基板検査装置。
6. 前記第１検査ステージは、前記第１基板保持面をそれぞれ移動させることによって前記第１回転軸からの距離を変化させる第１基板保持面駆動部を含み、
   前記第２検査ステージは、前記第２基板保持面をそれぞれ移動させることによって前記第２回転軸からの距離を変化させる第２基板保持面駆動部を含み、
   前記基板検査装置は、前記第１基板保持面または前記第２基板保持面に対する基板の着脱を制御する制御部を、さらに備え、
   相対して配置された前記第１基板保持面および第２基板保持面の組に対して、
   前記第１基板保持面駆動部および前記第２基板保持面駆動部が、それぞれ前記第１基板保持面および第２基板保持面を前記第１回転軸および第２回転軸からの距離が長くなる方向に移動させることによって、当該第１基板保持面に保持されている基板の他方主面と当該第２基板保持面とを当接させ、
   前記制御部が、相対している前記第１基板保持面による基板の保持を解除して、相対している前記第２基板保持面に当該基板を保持させることによって、前記第１基板保持面から前記第２基板保持面へ基板が受け渡されることを特徴とする、請求項５に記載の基板検査装置。
7. 前記撮像部の撮像空間に固設された当接部材を、さらに備え、
   前記第１検査ステージは、前記第１基板保持面をそれぞれ移動させることによって前記第１回転軸からの距離を変化させる第１基板保持面駆動部を含み、
   前記第２検査ステージは、前記第２基板保持面をそれぞれ移動させることによって前記第２回転軸からの距離を変化させる第２基板保持面駆動部を含み、
   並列配置された前記第１基板保持面および第２基板保持面の組に対して、
   前記第１基板保持面駆動部および前記第２基板保持面駆動部が、それぞれ前記第１基板保持面および第２基板保持面を前記第１回転軸および第２回転軸からの距離が長くなる方向に移動させることによって、当該第１基板保持面および第２基板保持面と前記当接部材とを当接させて位置決めすることを特徴とする、請求項５に記載の基板検査装置。
8. 前記基板排出部は、
   排出された基板を収納する複数の基板ケースと、
   所定の垂線を中心に回転する回転平面を有し、当該回転平面上に前記複数の基板ケースが載置されたターンテーブルとを含み、
   前記基板排出部は、下面に配置された前記第２基板保持面に保持された基板に応じた前記基板ケースが、当該第２基板保持面の直下位置になるように前記ターンテーブルを回転させることを特徴とする、請求項５に記載の基板検査装置。
9. 基板の両面を撮像して検査する基板検査方法であって、
   複数の第１基板保持面が第１回転軸を中心に周設された第１検査ステージ、および
   前記第１検査ステージと並設され、複数の第２基板保持面が第２回転軸を中心に周設された第２検査ステージに対して、
   少なくとも１つの前記第１基板保持面と基板の一方主面とを当接させて当該基板を保持させ、前記第１検査ステージに当該基板を供給する基板供給ステップと、
   並列配置された前記第１基板保持面および第２基板保持面の組にそれぞれ保持された基板の主面を、それぞれ同時に撮像する撮像ステップと、
   少なくとも１つの前記第２基板保持面に保持された基板を前記第２検査ステージから排出する基板排出ステップと、
   前記第１回転軸を中心に前記第１検査ステージを回転させ、前記第２回転軸を中心に前記第２検査ステージを回転させることによって、前記第１基板保持面および第２基板保持面の向きを切り替える回転ステップとを含み、
   前記基板供給ステップ、前記撮像ステップ、および前記基板排出ステップを同時に行うことを特徴とする、基板検査方法。
10. 相対して配置された前記第１基板保持面および前記第２基板保持面に対して、当該第１基板保持面に保持された基板を当該第２基板保持面に受け渡し、当該第２基板保持面と基板の他方主面とを当接させて当該基板を保持させる基板受渡ステップを、さらに含み、
    前記基板供給ステップ、前記撮像ステップ、前記基板排出ステップ、および前記基板受渡ステップを同時に行うことを特徴とする、請求項１に記載の基板検査方法。

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