KR100676239B1 - 기판 검사장치 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

제1 및 제2 검사 스테이지가 회전 가능하도록 구성되고, 네 개의 A면 검사 흡착 테이블(22) 및 네 개의 B면 검사 흡착 테이블을 구비하고 있다. A면 및 B면 검사 흡착 테이블(22, 32)과 그것들이 대응하는 회전축 사이의 거리는 공기 실린더(23, 33)의 신축 동작에 의해 변경된다. 기판 공급부(7) 내의 기판(S)은 A면 검사 흡착 테이블(22)에 흡착 고정되어서, A면 검사 헤드(4)에 의해 A면이 촬상된 뒤에 제2 검사 스테이지(3)로 전달된다. 기판(S)은 B면 검사 흡착 테이블(32)에 흡착 고정되어서, B면 검사 헤드(5)에 의해 B면이 촬상된 뒤에 기판 수납부(8)에 배출된다. 기판 검사장치(1)는 상기 처리들을 병행 실시한다.

Description

기판 검사장치 및 그 방법{BOARD INSPECTION APPARATUS AND METHOD}

도 1은 본 발명의 실시형태에 따라서, 기판 검사장치(1)의 대략적인 구조를 도시한 정면도,

도 2는 도 1에 도시한 기판 검사장치의 개략적인 구조를 도시한 상면도,

도 3은 공기실린더(23, 24)가 신장한 상태에서의 기판 검사장치(1)의 개략적인 구조를 도시한 정면도,

도 4는 도 1에 도시한 기판 검사장치(1)에 있어서의 공기압기구의 대략적인 구조를 도시한 내측면도,

도 5는 도 1에 도시한 기판 검사장치(1)에 있어서의 회전부재를 회전 구동하는 기구의 대략적인 구조를 도시한 배면도,

도 6은 검사 기판(S)에 대하여, 도 1에 도시한 기판 검사장치(1)에 의해 실행되는 작동을 도시한 플로우차트,

도 7(a)~7(c)는 도 6에 도시된 플로우차트의 처리를 반복하는, 도 1에 도시된 기판 검사장치(1)의 동작의 제1 단계를 도시한 개략도,

도 8(a)~8(c)는 도 6에 도시된 플로우차트의 처리를 반복하는, 도 1에 도시된 기판 검사장치(1)의 동작의 제2 단계를 도시한 개략도,

도 9(a)~9(c)는 도 6에 도시된 플로우차트의 처리를 반복하는, 도 1에 도시 된 기판 검사장치(1)의 동작의 제3 단계를 도시한 개략도,

도 10(a)~10(c)는 도 6에 도시된 플로우차트의 처리를 반복하는, 도 1에 도시된 기판 검사장치(1)의 동작의 제4 단계를 도시한 개략도,

도 11(a)~11(c)는 도 6에 도시된 플로우차트의 처리를 반복하는, 도 1에 도시된 기판 검사장치(1)의 동작의 제5 단계를 도시한 개략도,

도 12(a)~12(c)는 도 6에 도시된 플로우차트의 처리를 반복하는, 도 1에 도시된 기판 검사장치(1)의 동작의 제6 단계를 도시한 개략도,

도 13(a)~13(c)는 도 6에 도시된 플로우차트의 처리를 반복하는, 도 1에 도시된 기판 검사장치(1)의 동작의 제7 단계를 도시한 개략도,

도 14(a) 및 14(b)는 제1 검사단계(200) 및 제2 검사단계(300) 각각이 여덟 개의 검사 흡착 테이블을 포함하는 예를 도시한 도면,

도 15(a)~15(d)는 제1 검사단계(200) 및 제2 검사단계(300) 각각이 두개의 검사 흡착 테이블을 포함하는 예를 도시한 도면,

본 발명은 기판 검사장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 검사되는 기판의 양면을 외관검사할 수 있는 기판 검사장치 및 방법에 관한 것이다.

종래, 기판 패턴을 촬상(撮像)하여 얻은 화상 데이터에 기초하여 기판에 형성된 패턴의 품질을 결정함으로써, 기판, 즉 반도체 소자 등의 전자 부품을 실장하 기 위한 인쇄된 회로 기판의 품질을 결정하기 위해 다양한 종류의 외관 검사장치가 개발되었다. 일본 공개 특허공보 제 2000-196223 호는 외관검사에 있어서 시간적인 효율을 증가시키고 컴팩트한 장치 크기를 획득하는 것을 목적으로 병행 처리를 실시하는 복수의 검사 단계를 포함하는 검사장치를 개시하고 있다.

또한, 몇몇 경우에는, 기판(이중면 기판)의 양면을 외관검사할 필요가 있으며, 따라서 외관검사를 효율적으로 실행하기 위한 외관 검사장치가 개발되어 왔다. 일본 공개 특허공보 제 2003-99758 호는 이중면 기판의 상면 및 하면의 개별적인 화상이 서로 다른 좌표 위치로부터 취득되고, 상면 및 하면이 개별적으로 외관검사됨으로써, 상면의 외관검사와 하면의 외관검사 사이에 상호 간섭을 방지하는 외관 검사장치가 개시하고 있다.

그러나, 일본 공개 특허공보 제 2000-196223 호에 개시된 외관 검사장치에서는, 이중면 기판의 각 면에 대하여 외관검사를 실행하는 것이 필요했다. 따라서, 이중면 기판의 상면을 검사한 후에 하면을 검사하는 경우에는, 예컨대, 하면을 검사하기 전에 기판을 뒤집어야며, 이는 외관검사에 있어서 시간적인 효율의 감소로 나타난다.

또한, 일본 공개 특허공보 제 2003-99758 호에 개시된 외관검사 장치에서는, 비교적 강고하고 자립(自立)가능한 부재가 검사대상이었고, 자립할 수 없는 연약한 부재는 검사할 수 없었다. 다른 부재에 의해 지지되면 연약한 부재도 검사할 수 있다고 생각할 수 있지만, 이 경우에, 부재의 적어도 일부분은 지지부재로 덮혀있기 때문에 검사대상 부재의 양면을 완전하게 검사할 수 없다.

따라서, 본 발명의 목적은 기판의 양면을 검사할 수 있어서, 검사의 시간적인 효율을 향상시키는 기판 검사장치 및 방법을 제공하는 것이다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 다음과 같은 특징을 가진다.

본 발명에서 제1 발명은 기판의 양면을, 화상으로서, 촬상 및 검사하는 기판 검사장치이다. 기판 검사장치는 제1 검사 스테이지, 제2 검사 스테이지, 회전구동부, 촬상부, 기판 공급부 및 기판 배출부를 포함한다. 제1 검사 스테이지는 제1 회전축 주위에 설치된 복수의 제1 기판유지면을 포함하며, 상기 복수의 기판유지면은 각각 기판의 제1 주면(主面)에 접하여 기판을 유지하게 된다. 제2 검사 스테이지는 제1 검사 스테이지와 나란히 설치되며, 제2 회전축 주위에 설치된 복수의 제2 기판유지면을 포함하고, 상기 복수의 제2 기판유지면은 각각 기판의 제2 주면과 접하여 기판을 유지한다. 회전구동부는, 제1 회전축 주위로 제1 검사 스테이지를 회전시키고 제2 회전축 주위로 제2 검사 스테이지를 회전시킴으로써 복수의 제1 기판유지면 및 복수의 제2 기판유지면의 방향을 변경한다. 촬상부는 제1 기판유지면 및 이것과 병렬 배치된 제2 기판유지면으로 구성된 병렬조합(parallel set)에 의해 유지되는 기판의 주면들을 동시에 촬상한다. 기판 공급부는 상기 병렬조합의 제1 기판유지면과는 상이한 제1 기판유지면에 기판을 공급한다. 기판 배출부는 상기 병열 조합의 제2 기판유지면과는 상이한 제2 기판유지면의 기판에 의해 유지되는 기판을 배출한다.

상기 제1 발명에 기초한 제2 발명에서, 기판 검사장치는 복수의 제1 기판유지면 또는 복수의 제2 기판유지면을 제어하여 기판을 착탈(着脫)하는 제어부를 더 포함한다. 제1 검사 스테이지는 복수의 제1 기판유지면을 이동하여 제1 회전축으로부터의 거리를 변경시키는 제1 기판유지면 구동부를 포함한다. 제2 검사 스테이지는 복수의 제2 기판유지면을 이동하여 제2 회전축으로부터의 거리를 변경시키는 제2 기판 구동부를 포함한다. 상기 제1 기판유지면 구동부 및 제2 기판유지면 구동부는 제1 기판유지면 및 이것에 상대(相對)하는(대향하는) 제2 기판유지면으로 구성된 상대조합(opposing set)을 제1 회전축 및 제2 회전축으로부터 각각 이동시켜서 상대조합의 제1 기판유지면에 의해 유지되는 기판의 제2 주면이 상대조합의 제2 기판유지면과 접하게 한다. 제어부는 제1 기판유지면 및 이것에 상대하는 제2 기판유지면의 상대조합을 제어하여, 상대조합의 제1 기판유지면에 의해 유지되는 기판이 그것으로부터 해제되어, 상대조합의 제2 기판유지면에 의해 유지되도록 한다.

제1 발명에 기초한 제3 발명에서, 촬상부는 제1 촬상장치, 제2 촬상장치, 지지부재 및 선형 구동부를 포함한다. 제1 촬상장치는 상기 병렬조합의 제1 기판유지면에 의해 유지되는 기판의 제2 주면을 촬상한다. 제2 촬상장치는 상기 병렬조합의 제2 기판유지면에 의해 유지되는 기판의 제1 주면을 촬상한다. 지지부재는 제1 촬상장치 및 제2 촬상장치를 지지한다. 선형 구동부는 지지부재를, 제1 기판유지면 및 이것과 병렬 배치된 제2 기판유지면으로 구성된 병렬조합에 평행한 방향으로 이동시킨다.

제1 발명에 기초한 제4 발명에서, 제1 검사 스테이지는 제1 회전축 주위의 네 방향에 설치된 네 개의 제1 기판유지면을 가진다. 제2 검사 스테이지는 제2 회전축 주위의 네 방향에 설치된 네 개의 제2 기판유지면을 가진다.

제4 발명에 기초한 제5 발명에서, 제1 회전축 및 제2 회전축은 서로 평행하게 수평으로 배치한다. 회전 구동부는 제1 검사 스테이지 및 제2 검사 스테이지를 회전시켜서 네 개의 제1 기판유지면 중에서 적어도 하나 및 네 개의 제2 기판유지면 중에서 적어도 하나는 서로 상대하게 한다. 촬상부는 제1 검사 스테이지 및 제2 검사 스테이지의 상면에 각각 서로 평행하게 배치된, 제1 기판유지면 및 제2 기판유지면으로 구성된 병렬조합에 의해 유지되는 기판의 주면들을 동시에 촬상한다. 기판 공급부는 제1 검사 스테이지의 하면에 배치한 제1 기판유지면에 기판을 공급한다. 기판 배출부는 제2 검사 스테이지의 하면에 위치한 제2 기판유지면에 의해 유지되는 기판을 배출한다. 기판은 서로 상대하는 제1 기판유지면으로부터 제2 기판유지면으로 전달된다.

제5 발명에 기초한 제6 발명에서, 기판 검사장치는 네 개의 제1 기판유지면 또는 네 개의 제2 기판유지면을 제어하여 기판을 착탈하는 제어부를 더 포함한다. 제1 검사 스테이지는 네 개의 제1 기판유지면을 이동시켜서 제1 회전축으로부터의 거리를 변경하는 제1 기판유지면 구동부를 포함한다. 제2 검사 스테이지는 네 개의 제2 기판유지면을 이동시켜서 제2 회전축으로부터의 거리를 변경하는 제2 기판유지면 구동부를 포함한다. 제1 기판유지면 구동부 및 제2 기판유지면 구동부는 제1 기판유지면 및 이것에 상대하는 제2 기판유지면으로 구성되는 상대조합으로 하 여금, 각각 제1 회전축 및 제2 회전축으로부터 멀리 이동하게 하여, 상대조합의 제 1 기판유지면에 의해 유지되는 기판의 제2 주면이 상대조합의 제2 기판유지면과 접하도록 한다. 제어부는 제1 기판유지면 및 이것에 상대하는 제2 기판유지면의 상대조합을 제어하여, 상대조합의 제1 기판유지면에 의해 유지되는 기판이 상대조합의 제1 기판유지면으로부터 해제되어서, 상대조합의 제2 기판유지면에 전달 및 유지되도록 한다.

제5 발명에 기초한 제7 발명에서, 기판 검사장치는 촬상부의 촬상 공간에 고정 설치된 접촉부재(contact portion)를 더 포함한다. 제1 검사 스테이지는 네 개의 제1 기판유지면을 이동시켜서 제1 회전축으로부터의 거리를 변경하는 제1 기판유지면 구동부를 포함한다. 제2 검사 스테이지는 네 개의 제2 기판유지면을 이동시켜서 제2 회전축으로부터의 거리를 변경하는 제2 기판유지면 구동부를 포함한다. 제1 기판유지면 구동부 및 제2 기판유지면 구동부는 제1 기판유지면 및 이것과 병렬 배치된 제2 기판유지면으로 구성된 병렬조합으로 하여금 제1 회전축 및 제2 회전축으로부터 각각 멀리 이동하게 하여, 제1 기판유지면 및 이것과 병렬 배치된 제2 기판유지면의 병렬조합이 그들 각각의 접촉부제와 접하도록 한다.

제5 발명에 기초한 제8 발명에서, 기판 배출부는 복수의 기판 케이스 및 하나의 턴테이블을 포함한다. 복수의 기판 케이스는 배출된 기판을 수납한다. 턴테이블은 소정의 수직축 주위를 회전하는 회전평면을 가지며, 상기 회전평면은 그 위에 실장된 복수의 기판 케이스를 가지고 있다. 기판 배출부는, 제2 검사 스테이지의 하면에 배치된 제2 기판유지면에 의해 유지되는 기판에 따라서, 턴테이블을 회 전시켜서, 복수의 기판 케이스 중 하나가 제2 검사 스테이지의 하면에 위치한 제2 기판유지면의 바로 밑에 배치되도록 한다.

제9 발명은 기판의 양면을, 화상으로, 촬상 및 검사하는 기판 검사 방법이다. 상기 기판 검사 방법은 기판 공급 단계, 촬상 단계, 기판 배출 단계 및 회전 단계를 포함한다. 기판 공급 단계는 제1 회전축 주위에 설치된 복수의 제1 기판유지면을 포함하는 제1 검사 스테이지에 기판을 공급하며, 상기 복수의 제1 기판유지면 중의 적어도 하나는 기판의 제1 주면과 접하여 상기 기판을 유지한다. 촬상 단계는 제1 기판유지면 및 이것과 병렬 배치된 제2 기판유지면으로 구성된 병렬조합에 의해 유지되는 기판의 주면들을 동시에 촬상한다. 기판 배출 단계는 제2 회전축 주위에 설치된 복수의 제2 기판유지면을 포함하며 제1 검사 스테이지와 나란히 설치된 제2 검사 스테이지로부터 복수의 제2 기판유지면 중 적어도 하나에 의해 유지되는 기판을 배출한다. 회전 단계는, 제1 회전축 주위로 제1 검사 스테이지를 회전시키고 제2 회전축 주위로 제2 검사 스테이지를 회전시킴으로써 복수의 제1 기판유지면 및 복수의 제2 기판유지면의 방향을 변경한다.

제9 발명에 기초한 제10 발명에서, 기판 검사 방법은 기판 전달 단계를 더 포함한다. 기판 전달 단계는 제1 기판유지면에 의해 제1 기판유지면에 상대하는 제2 기판유지면에 기판을 전달하여, 제2 기판유지면을 기판의 제2 주면과 접하게 하고 따라서, 제2 기판유지면이 기판을 유지하도록 한다. 기판 공급 단계, 촬상 단계, 기판 배출 단계 및 기판 전달 단계는 동시에 실행된다.

본 발명의 다양한 목적, 특징, 측면 및 이점은 첨부한 도면과 함께한 이하 본 발명의 상세한 설명에 의해 보다 명확해진다.

도 1 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 실시형태에 따라서 기판 검사장치를 설명한다. 도 1은 기판 검사장치의 대략적인 구성을 도시한 정면도이다. 도 2는 도 1에 도시한 기판조사장치의 개략적인 구조를 도시한 상면도이다. 도 3은 공기실린더(23, 24)가 신장된 상태에서 기판 검사장치(1)의 개략적인 구조를 도시한 정면도이다. 도 4는 도 1에 도시한 기판 검사장치(1)에 있어서 공기압기구의 대략적인 구조를 도시한 내측면도이다. 도 5는 도 1에 도시한 기판 검사장치(1)에 있어서의 회전부재를 회전 구동하는 기구의 대략적인 구조를 도시한 배면도이다. 부재들간의 위치 관계를 명확히 하기 위해, 도 1 ~ 5는 기판 검사장치(1)의 모든 부재들을 도시하지는 않았다.

도 1에서, 기판 검사장치(1)는 제1 검사 스테이지(2), 제2 검사 스테이지(3), A면 검사 헤드(4), B면 검사 헤드(5), 프레임(6), 기판 공급부(7), 기판 수납부(8) 및 제어부(미도시)를 포함한다. 여기서, 기판 검사장치(1)는, 반도체 소자와 같은 전자 소자를 실장하기 위한 인쇄 회로 기판과 같은, 기판을 검사하며, 검사 대상 기판은 그 양면을 검사할 필요가 있는 이중면 기판이다. 이하의 기술에서, 검사 대상 기판의 두 주면 중에서 한 면은 "A면"이라 하고, 다른 면은 "B면"이라 한다.

제1 검사 스테이지(2)는 제1 회전부재(21), A면 검사 흡착 테이블(22a, 22b, 22c, 22d), 공기 실린더(23a, 23b, 23c, 23d) 및 제1 회전축(24)을 포함한다. 제1 회전부재(21)는 대체로 직육면체 형상을 가지고, 도 1의 "A"에 의해 표시되는 방향 으로, 제1 회전축(24)을 중심으로 회전할 수 있다. 제1 회전축(24)에 평행한 제1 회전부재(21)의 네 측면들은 각각 공기 실린더(23a~23d)를 가지는 네 개의 A면 검사 흡착 테이블(22a~22d) 중의 하나에 대응하여 설치되어 있다. 제1 회전축(24)은 도 1의 지면에 수직한 방향이다. A면 검사 흡착 테이블(22a)은 제1 회전축(24) 위에 놓인 세 개의 공기 실린더(23a) 상에 설치되어 있다(도 1에는 단지 두 개의 공기 실린더(23a)만 도시되어 있다). A면 검사 흡착 테이블(22b)은 제1 회전축의 좌측면에 놓인 세 개의 공기 실린더(23b) 상에 설치되어 있다(도 1에는 단지 두 개의 공기 실린더(23b)만 도시되어 있다). A면 검사 흡착 테이블(22c)은 제1 회전축(24)의 아래에 놓인 세 개의 공기 실린더(23c) 상에 설치되어 있어서(도 1에는 단지 두 개의 공기 실린더(23c)만 도시되어 있다), A면 검사 흡착 테이블(22a)과 평행하다. A면 검사 흡착 테이블(22d)은 제1 회전축(24)의 우측면에 놓인 세 개의 공기 실린더(23d) 상에 설치되어 있어서(도 1에는 단지 두 개의 공기 실린더(23d)만 도시되어 있다), A면 검사 흡착 테이블(22b)과 평행하다.

제2 검사 스테이지(3)는 제1 검사 스테이지(2)와 나란히 설치되어 있다. 제2 검사 스테이지(3)는 제2 회전부재(31), B면 검사 흡착 테이블(32a, 32b, 33c, 33d), 공기 실린더(33a 33b, 33c, 33d) 및 제2 회전축(34)를 포함한다. 제1 회전부재(21)와 유사하게, 제2 회전부재(31)는 대략 직육면체 형상을 가지며, 도 1의 "B"에 의해 표시된 방향으로, 제1 회전축(24)에 평행한, 제2 회전축(34)를 중심으로 회전할 수 있다. 제 2 회전축(34)에 평행한 제2 회전부재(31)의 네 면들은 각각 공기 실린더(33a~33d)를 가지는 네 개의 B면 검사 흡착 테이블(32a~32d) 중의 하나에 대응하여 설치되어 있다. 제2 회전축(34)은 도 1의 지면에 수직인 방향이다. B면 검사 흡착 테이블(32a)은 제2 회전축(34) 위에 놓인 세 개의 공기 실린더(33a) 상에 설치되어 있다(도 1에는 단지 두 개의 공기 실린더(33a)만 도시되어 있다). B면 검사 흡착 테이블(32b)은 제2 회전축(34) 좌측에 놓인 세 개의 공기 실린더(33b) 상에 설치되어 있어서(도 1에는 단지 두 개의 공기 실린더(33b)만 도시되어 있다), A면 검사 흡착 테이블(22d)과 상대한다. B면 검사 흡착 테이블(32c)은 제2 회전축(34) 아래에 놓인 세 개의 공기 실린더(33c) 상에 설치되어 있어서(도 1에는 단지 두 개의 공기 실린더(33c)만 도시되어 있다), B면 검사 흡착 테이블(32a)과 평행하다. B면 검사 흡착 테이블(32d)은 제2 회전축(34) 우측에 놓인 세 개의 공기 실린더(33d) 상에 설치되어 있어서(도 1에는 단지 두 개의 공기 실린더(33d)만 도시되어 있다), B면 검사 흡착 테이블(32b)과 평행하다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 프레임(6)은 대략적으로 검사 해드 지지체(61), 세 개의 선운동(linear motion) 베어링(62a 62b, 63c), 본체 베이스(63), 접촉부재(64) 및 볼 나사(65)로 구성되어 있다. 본체 베이스(63)는 지지 기둥에 의해서 제1 검사 스테이지(2) 및 제2 검사 스테이지(3)의 위에 있는 평면에 고정되어 있다. 선운동 베어링(62a~62c)는 각각 , 예컨대, 레일과 슬라이드 블록의 조합으로 구성되지만, 레일과 슬라이드 블록의 조합 외에도 축과 베어링 또는 슬리브, 가이드 레일과 가이드 등의 다양한 조합으로도 구성될 수 있다. 세 개의 선운동 베어링(62a~62c)은 각각의 레일(621a, 621b, 621c) 및 슬라이드 블록(622a, 622b1, 622b2, 622c)을 포함하며, 레일(621a~621c)은 본체 베이스(63)의 상면에 고정되어 있다(도 2에는 검사 헤드 지지체(61) 하부에 설치된 레일(621a~621c) 및 슬라이드 블록(622a~622c)을 파선으로 표시하고 있다). 레일(621a~621c)은 소정의 간격으로 고정되어, 서로 평행하게 되며, 레일(621b)은 레일(621a와 621c)의 사이에 배치된다. 제1 검사 스테이지(2)는 레일(621a와 621b) 사이의 하부 공간에 배치되며, 제2 검사 스테이지(3)는 레일(621b와 621c) 사이의 하부 공간에 배치된다. 또한, 본체 베이스(63)에는, 레일(621b) 위 공간에, 선형 모터(651)에 의해 회전 구동되는 볼 나사(65)가 레일(621b)에 평행하게 설치되어 있다. 여기서, 선형 모터(651)의 구동은 상기한 제어부에 의해 제어된다. 도 1 및 도 2에서, 다른 구성부재와의 관계를 명확히 하기 위하여, 레일(621a~621c)을 지지하는 본체 베이스(63)는 복수의 본체 베이스(63)가 따로 설치된 것처럼 도시되어 있고, 각각의 본체 베이스(63)은 고정되고 서로 연결되어서 적어도 제1 검사 스테이지(2) 및 제2 검사 스테이지(3)의 위 공간에 개구부를 형성하고 있다. 접촉부재(64)들은 동일한 평면 상에 배치된다(예컨대, 세 개의 접촉 부재들은 각 개구부에 대하여 설치된다). 접촉부재(64)는 개구부로 돌출해서 본체 베이스(63)에 고정된다.

검사 헤드 지지체(61)는 본체 베이스(63)의 상면에 고정된 레일(621a)로부터 레일(621c)까지 신장되어 있다. 슬라이드 블록(622a 622b1, 622b2, 622c)은 검사 헤드 지지체(61) 아래에 설치되어 있다. 슬라이드 블록(622a)은 미그러져 이동할 수 있게 레일(621a)과 맞물려 있고, 슬라이드 블록(622b1, 622b2)은 미그러져 이동할 수 있게 레일(621b)과 맞물려 있으며, 슬라이드 블록(622c)은 미그러져 이동할 수 있게 레일(621c)과 맞물려 있다. 또한, 검사 헤드 지지체(61)는 슬라이드 블록 (622b1, 622b2) 위의 볼 나사(65)로 죄어져서, 선형 모터(651)가 작동하면, 볼 나사(65)가 회전해서 검사 헤드 지지체(61)가 본체 베이스(63)를 따라 서로 평행하게 설치된 레일(621a~621c) 방향(도 2에서 "C"로 표시되어 있는 방향)으로 이동하게 한다.

또한 A면 검사 헤드(4) 및 B면 검사 헤드(5)는 검사 헤드 지지체(61)에 설치되어 있다. A면 검사 헤드(4) 및 B면 검사 헤드(5)는 아래쪽으로 개구된(도 2에서 파선으로 표시된 것처럼) 슬릿(41 또는 51)을 통해서 검사 헤드 지지체(61) 아래 공간을 촬상하는, 예를 들면 CCD 카메라 같은, 촬상 장치(미도시)를 각각 포함한다. A면 검사 헤드(4)는 슬라이드 블록(622a)과 슬라이드 블록(622b1 및 622b2) 사이의 영역에 있는 검사 헤드 지지체(61)에 배치되어 있다. 구체적으로는, 이하의 기술에서 명백해지듯이, 제1 검사 스테이지(2)의 A면 검사 흡착 테이블(22a~22d) 중의 하나가 접촉부재(64)와 접촉하는 경우에, 검사 헤드 지지체(61)는 도 2에 도시된 "C" 방향으로 이동해서, A면 검사 헤드(4)의 촬상 장치가 A면 검사 흡착 테이블에 의해 흡착된 기판(S)을 촬상할 수 있는 곳에 배치된다. 또한, B면 검사 헤드(5)는 슬라이드 블록(622b1 및 622b2)과 슬라이드 블록(622c) 사이의 영역에 있는 검사 헤드 지지체(61) 상에 배치되어 있다. 구체적으로는, 제2 검사 스테이지(3)의 B면 검사 흡착 테이블(32a~32d) 중의 하나가 접촉부재(64)와 접촉하는 경우에, 검사 헤드 지지체(61)는 도 2에 도시된 "C" 방향으로 이동해서, B면 검사 헤드(5)의 촬상 장치가 B면 검사 흡착 테이블에 의해 흡착된 기판(S)을 촬상할 수 있는 곳에 배치된다.

기판 공급부(7)는 제1 검사 스테이지(2)의 바로 밑 공간에 배치된다. 기판 공급부(7)는, 위쪽으로 향한 개구부를 가지는 기판 케이스(71) 및 승강 테이블을 포함한다. 승강 테이블(72)은 기판 케이스(71) 내에 설치되며, 기판 검사장치(1)에 의한 검사 전에, 기판들(S)은 기판 케이스(71) 내의 승강 테이블(72) 상에 적재된다. 승강 테이블(72)은 상하로 이동해서 기판들(S) 더미의 최상층에 적재된 기판(S)이 항상 수직 방향으로 같은 높이에 배치되도록 한다. 기판 공급부(7)에 공급되는 검사 전 기판(S)은, 하나의 주면, 즉 A면이 아래로 향하도록, 기판 케이스(71) 내에 적재된다. 또한, 이하의 기술로 명백해지듯이, 제1 검사 스테이지(2)의 A면 검사 흡착 테이블(22a~22d) 중 하나가 아래로 이동하면, A면 검사 흡착 테이블의 외주부가 기판 케이스(71)의 상단부와 접촉하고, A면 검사 흡착 테이블의 흡착면이 기판 케이스(71)의 개구부에 배치된다.

기판 수납부(8)는 세 개의 기판 케이스(81a 81b, 81c), 세 개의 승강 테이블(82a, 82b, 82c) 및 턴테이블(83)을 포함한다. 승강 테이블(82a~82c)은 각각 기판 케이스(81a~81c) 내에 설치되며, 기판 검사장치(1)에 의해 검사되는 기판들(S)은 기판 케이스(81a~81c) 내의 승강 테이블(82a~82c)에 적재된다. 승강 테이블(82a~82c)은 상하로 이동해서 기판(S) 더미의 최상층에 적재된 기판(S)이 수직 방향으로 항상 동일한 높이에 배치되도록 한다. 구체적으로, 기판 케이스(81a~81c) 내에는, 기판(S)이 기판 검사장치(1)에 의한 검사의 결과에 따라서 적재된다. 기판 케이스(81a)에는, A면과 B면 모두에 대하여, 기판 검사장치(1)에 의한 검사를 통과한 기판(Sok)이 적재된다. 기판 케이스(81b)에는, A면 및/또는 B면에 대하여, 기판 검사장치(1)에 의한 검사를 통과하지 못한 기판(Sng)이 적재된다. 기판 케이스(81c)에는, A면 및/또는 B면에 대하여, 기한 검사 장치(1)에 의한 재검사가 필요한 기판(Svf)이 적재된다. 이 기판 케이스들(81a~81c)은 턴테이블(83)의 회전 평면 상에 배치된다. 턴테이블(83)은 도 2에 표시된 "D" 방향으로 제어부에 의해 회전 및 정지하여, 기판 케이스(81a~81c) 중 어느 하나가 제2 검사 스테이지(3)의 바로 아래 공간에 배치되도록 한다. 기판 수납부(8)에, 검사된 기판(Sok, Sng, Svf)이 A면을 위로 해서 기판 케이스(81a~81c) 내에 적재된다. 또한, 이하의 기술에 의해 명백해지듯이, 제2 검사 스테이지(3)의 B면 검사 흡착 테이블(32a~32d) 중 하나가 아래로 이동하면, B면 검사 흡착 테이블의 외주면은 B면 검사 흡착 테이블 바로 아래에 배치된 기판 케이스(81a~81c) 중 어느 하나의 상단과 접하게 되고, B면 검사 흡착 테이블의 흡착면은 B면 검사 흡착 테이블 바로 아래에 위치한 기판 케이스의 개구부에 배치된다.

다음으로, 도 1~3을 참조하여, 제1 검사 스테이지(2) 및 제2 검사 스테이지(3)에 포함된 공기 실린더(23a~23d 및 33a~33d)의 신축 동작을 설명한다.

상기한 바와 같이, 제1 회전부재(21)에는 A면 검사 흡착 테이블(22a~22d)을 지지하는 공기 실린더(23a~23d)가 각각 설치되어 있다. 공기 실린더(23a~23d)는 제어부에 의해 제어되어서 신축 동작을 실행하며, 상기 신축 동작은 각각의 A면 검사 흡착 테이블(22a~22d)과 제1 회전축(24) 사이의 거리를 변경시킨다. 도 1에서, 공기 실린더(23a~23d)는 수축된 상태에 있고, A면 검사 흡착 테이블(22a~22d)는 각각 제1 회전부재(21)의 측면 부근에 배치되어 있다. 또한, 도 3에서, 공기 실린더 (23a~23d)는 신장된 상태에 있고, A면 검사 흡착 테이블(22a~22d)는 제1 회전부재로부터 떨어진 곳에 배치되어 있다.

도 2 및 3에 도시된 바와 같이, 공기 실린더(23a)가 신장되면, 제1 회전축(24) 위에 놓인 A면 검사 흡착 테이블(22a)은 A면 검사 흡착 테이블(22a)의 외주부의 상면(즉, 제1 회전축(24)에 대하여 외측면)이 접촉부재(64)와 접하는 곳에 배치된다. 이하, 접촉부재(64)와 접하도록 배치된 A면 검사 흡착 테이블의 위치를 "A면 검사 위치"라 한다. 본 실시형태에서는, 도2에 도시된 바와 같이 A면 검사 위치에 A면 검사 흡착 테이블(22a)을 안정적으로 배치하기 위하여, 접촉부재(64)가 고정되는 영역(세 곳)은 공기 실린더(23a)가 A면 검사 흡착 테이블(22a)을 지지하는 영역(세 곳)과 겹친다.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 공기 실린더(23c)가 신장되면, 제1 회전축(24)의 아래에 놓인 A면 검사 흡착 테이블(22c)의 외주부의 하면(즉 제1 회전축에 대하여 외측면)은 기판 공급부(7)의 기판 케이스(71)의 상단과 접하게 되고, A면 검사 흡착 테이블(22c)의 흡착면은 기판 케이스(71)의 개구부에 배치된다. 이하, 기판 케이스(71)의 개구부에 배치된 A면 검사 흡착 테이블의 위치를 "기판 공급 위치"라 한다.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 공기 실린더(23d)가 신장되면, 제1 회전축(24)의 우측에 놓인 A면 검사 흡착 테이블(22d)의 흡착면은 신장된 공기 실린더(33b)를 가지는 B면 검사 흡착 테이블(32b)의 흡착면과 접하게 된다. 이하, A면 검사 흡착 테이블의 흡착면이 B면 검사 흡착 테이블의 흡착면과 접하는 위치를 "기 판 전달 위치"라 한다.

또한, 제2 회전부재(31)에는 B면 검사 흡착 테이블(32a~32d)을 각각 지지하는 공기 실린더(33a~33d)가 설치되어 있다. 공기 실린더(32a~32d)는 제어부에 의해 제어되어서 신축 동작을 실행하며, 신축 동작은 각각의 B면 검사 흡착 테이블(32a~32d)과 제2 회전축(34) 사이의 거리를 변경시킨다. 도 1에서, 공기 실린더(33a~33d)는 수축된 상태에 있고, B면 검사 흡착 테이블(32a~32d)은 각각 제2 회전부재(31)의 측면 부근에 배치되어 있다. 또한, 도 3에서, 공기 실린더(33a~33d)는 신장된 상태에 있고, B면 검사 흡착 테이블(32a~32d)은 제2 회전 부재(31)로부터 먼 곳에 배치되어 있다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 공기 실린더(33a)가 신장되면, 제2 회전축(34) 위에 놓인 B면 검사 흡착 테이블(32a)은 B면 검사 흡착 테이블(32a)의 외주면 상단(즉, 제2 회전축에 대하여 외측면)이 접촉부재(64)와 접하는 곳에 배치된다. 이하, 접촉부재(64)와 접하게 배치된 B면 검사 흡착 테이블의 위치를 "B면 검사 위치"라 한다. 본 실시형태에서는, 도 2에 도시된 바와 같이 B면 검사 흡착 테이블(32a)을 B면 검사 위치에 안정적으로 배치하기 위하여, 접촉부재(64)가 고정되는 영역(세 곳)을 공기 실린더(33a)가 A면 검사 흡착 테이블(32a)를 지지하는 영역(세 곳)과 겹치도록 한다.

또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 공기 실린더(33c)가 신장되면, 제2 회전축(34) 아래에 놓인 B면 검사 흡착 테이블(32c)의 외주부 하면(즉, 제2 회전축에 대하여 외측면)이 기판 수납부(8)의 기판 케이스(81a~81c) 중 하나의 상단과 접하게 되며, B면 검사 흡착 테이블(32c)의 흡착면은 그 기판 케이스의 개구부에 배치된다. 이하, 기판 케이스의 개구부에 위치한 B면 검사 흡착 테이블의 위치를 "기판 배출 위치"라 한다.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 공기 실린더(33b)가 신장되면, 제2 회전축(34)의 좌측에 놓인 B면 검사 흡착 테이블(32b)의 흡착면은 공기 실린더(23d)가 신장된 A면 검사 흡착 테이블(22d)의 흡착면과 접하게 된다. 이하, B면 검사 흡착 테이블의 흡착면이 A면 검사 흡착 테이블의 흡착면과 접하는 위치를 "기판 전달 위치"라 한다.

다음으로, 도 4를 참조하여, 기판 검사장치(1)의 공기압기구를 설명한다. 도 4가 제1 검사 스테이지(2)의 공기압기구만을 도시하고 있지만, 제2 검사 스테이지(3)의 공기압기구도 유사하게 구성된다. 이하, 제1 검사 스테이지(2)의 공기압기구를 예로 설명한다. 제1 검사 스테이지(2)의 공기압기구의 단순화된 도시이기 때문에, 도 4는 오직 제1 검사 스테이지(2)의 부분들만을 도시하며, 또한 A면 검사 흡착 테이블(22a 및 22c)은 단면으로 도시한다.

도 4에서, 기판 검사장치(1)의 공기압기구는 블로어(blower)(90), 컴프레서(compressor)(95), 주(main)배관(91a), 주배관(91b), 공기압절환부(92), 흡착배관(93a 93c) 및 실린더 배관(94a, 94c)을 포함한다. 제1 회전축(24)은 제1 회전부재(21) 내부의 공기압절환부(92)를 지지한다. 공기압절환부(92)는 개폐동작에 관하여 제어부에 의해 제어되는 복수의 절환 밸브 및 제1 회전축을 포함하며, 제1 회전축은 축의 일 단부에서 각각의 절환 밸브까지 관통하는 중공경로(hollow path, 도 4에서 파선으로 표시)를 포함한다. 또한, 제1 회전축(24)의 타방 단부는 타이밍 풀리(25)가 고정되어 있다. 주배관(91a)은 제1 회전축(24) 내의 중공경로를 통과하여 블로어(90)를 공기압 절환부(92)와 연결해서, 블로어(90)에 의해 생성되는 공기압이 공기압제어부(92)를 통해서 A면 검사 흡착 테이블(22a~22d)에 공급되게 한다. 유사하게, 주배관(91b)은 제1 회전축(24) 내의 중공경로를 통과하여 컴프레서(95)를 공기압절환부(92)와 연결해서, 컴프레서(95)에 의해 생성된 공기압이 공기압 제어부(92)를 통해서 공기 실린더(23a~23d)에 공급되도록 한다.

A면 검사 흡착 테이블(22a~22d) 각각은 복수의 흡착구멍이 형성된 흡착면(AF)을 가진다(도 4에는, 단지 A면 검사 흡착 테이블(22a 및 22c)만이 도시되어 있다). 또한, A면 검사 흡착 테이블(22a~22d) 및 공기압절환부(92)의 절환밸브 사이에는, 각 공기 실린더(23a~23d)의 신축 동작에 따라서 신축 가능한 흡착 배관(93a~93d)이 연결되어 있다(도 4에는, 단지 흡착 배관(93a 및 93c)만 도시되어 있다). 여기서, 흡착 배관(93a~93d)은 각각의 절환 밸브에 연결되어 있다. 또한, 흡착 배관(93a~93d)으로부터 A면 검사 흡착 테이블(22a~22d)에 공급되는 공기압(부압)은 A면 검사 흡착 테이블(22a~22d)에 형성된 흡착 구멍으로부터 방출된다. 구체적으로, 제어부의 제어 하에 흡착배관(93a~93d)을 통해서 A면 검사 흡착 테이블(22a~22d)에 부압이 공급되면, 각각의 흡착구멍에 부압이 생성되어서, 진공흡착을 위해 흡착면(AF)을 이용할 수 있게 된다.

또한, 실리더 배관(94a~94d)은 공기실린더(23a~23d)와 공기압절환부(92)의 절환밸브 사이에 연결된다(도 4에는, 단지 실리더 배관(94a 및 94c)만 도시되어 있 다). 제어부의 제어 하에 컴프레서(95)로부터 실린더 배관(94a~94d)에 공기압(정압)이 공급되면, 공기 실린더(23a~23d)가 신축 동작을 할 수 있게 된다. 제2 검사 스테이지(3)의 공기압기구는 제1 검사 스테이지(2)의 그것과 동일한 방식으로 구성되므로, 상세한 설명은 생략한다. 타이밍 풀리(35)는 제2 검사 스테이지(3)의 제2 회전축(34)의 일 단부에 고정된다. 본 실시형태는 공기압 절환부(92)가 두 공기압 시스템, 즉 블로어(90) 및 컴프레서(95) 사이에서 절환하는 예를 설명했지만, 두 공기압 시스템의 각각이 개별적인 절환부를 가져도 된다.

다음으로, 도 5를 참조하여, 기판 검사장치(1)의 제1 회전부재(21) 및 제2 회전부재(31)를 회전 구동하는 기구를 설명한다. 도 5는 기판 검사장치의 일부를 도시한 배면도이다. 도 5에서는, 도 1 및 도 3에 도시한 제1 검사 스테이지(2)와 제2 검사 스테이지(3) 사이의 위치 관계가 수평방향으로 반전되어 있으며, 회전 방향 역시 도 1에 도시된 것에 대해서 반전되어 있다.

도 5에서, 제1 회전 부재(21) 및 제2 회전부재(31)를 회전 구동하는 기구는 회전 구동 모터(101), 타이밍 벨트(103) 및 텐션 풀리(104, 105)를 포함한다. 회전 구동 모터(101)는 풀리(102)가 고정된 회전축을 가지며, 회전 구동 모터(101)는 제어부의 제어 하에서 소정의 회전각으로 풀리(102)를 회전 구동한다. 타이밍 벨트(103)는 텐션 벨트(104, 105)를 통해서 풀리(102) 및 타이밍 풀리(25) 주위를 회전할 수 있다. 텐션 풀리(104, 105)는 타이밍 벨트(103)의 텐션을 제어한다. 회전 구동 모터(101)의 구동력은 타이밍 벨트(103)로 하여금 타이밍 풀리(25, 35)를 동일한 회전각으로 동기 회전시키도록 한다. 타이밍 풀리(25, 35)가 각각 고정된 제1 회전축(24) 및 제2 회전축(34)도 역시 회전하며, 제1 회전축(24) 및 제2 회전축(34)의 회전에 따라서 제1 회전부재(21) 및 제2 회전부재(31)는 도 5에 각각 "A" 및 "B"로 표시된 방향으로 회전한다. 본 실시형태에서는, 제1 회전부재(21) 및 제2 회전부재(31)가 제어부의 지시에 따라서, 90도 단위로, 각각 "A" 및 "B" 방향으로 회전한다.

다음으로, 도 6 내지 도 13(c)를 참조하여, 기판 검사장치(1)의 동작을 설명한다. 도 6은 기판(S)을 검사하기 위한 기판 검사장치(1)에 의해 실행되는 동작을 도시하는 플로우차트이다.

도 6에서, 기판 검사장치(1)의 제어부는 모든 A면 검사 흡착 테이블(22a~22d) 및 B면 검사 흡착 테이블(32a~32d)로 흡착을 시작한다(S1 단계). 구체적으로, 제어부는 각각의 제1 검사 스테이지(2) 및 제2 검사 스테이지(3)에 설치된 공기압 제어부(도 4 참조)의 절환 밸브의 개폐 동작을 제어하여, A면 검사 흡착 테이블(22a~22d) 및 B면 검사 흡착 테이블(32a~32d)에 부압을 공급한다.

다음으로, 기판 검사장치(1)의 제어부는 컴프레서(95)로부터 모든 공기 실린더(23a~23d 및 33a~33d)에 정압을 공급해서 그들이 신장되는 방향으로 이동하게 한다(S2 단계; 도 3에 도시된 상태). 이 동작으로, 네 개의 A면 검사 흡착 테이블(22a~22d) 중 임의의 세 개가 A면 검사 위치, 기판 공급 위치 및 기판 전달 위치에 각각 배치된다. 이때, 기판(S)이 기판 공급부(7) 내에 적재되면, 기판(S) 더미의 최상층 기판(S)의 주면(구체적으로, B면)은 기판 공급 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블의 흡착면에 진공흡착 고정된다. 도 3에 도시된 예에서, A면 검사 흡착 테이블(22a)은 A면 검사 위치에 배치되고, A면 검사 흡착 테이블(22c)은 기판 공급 위치에 배치되고, A면 검사 흡착 테이블(22d)은 기판 전달 위치에 배치된다. 또한, S2 단계에서의 동작으로, 네 개의 B면 검사 흡착 테이블(32a~32d) 중 임의의 세 개가 B면 검사 위치, 기판 배출 위치, 기판 전달 위치에 각각 배치된다. 도3의 예에서, B면 검사 흡착 테이블(32a)은 B면 검사 위치에 배치되고, B면 검사 흡착 테이블(32c)는 기판 배출 위치에 배치되며, B면 검사 흡착 테이블(32b)은 기판 전달 위치에 배치되어 A면 검사 흡착 테이블(22d)에 접하게 된다.

다음으로, 기판 검사장치(1)의 제어부는 어떤 기판(S)이 A면 검사 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블의 흡착면 또는 B면 검사 위치에 배치된 B면 검사 흡착 테이블의 흡착면 중의 하나에 흡착 고정될지를 결정한다(S3 단계). 이 결정에 있어서, 예컨대, 광센서(미도시)가 기판을 직접 탐지하거나, 공기압회로에 설치된 진공 센서(미도시)가 어떤 기판이 흡착되는지를 탐지할 수 있다. 만약 제어부가 어떤 기판(S)이 흡착면 중 하나에 흡착 및 고정된다고 결정하면, 제어는 S4 단계로 진행하고, 만약 기판(S)이 흡착면에 흡착 고정되지 않는다고 결정하면, 제어는 S5 단계로 진행한다.

S4 단계에서, 기판 검사장치(1)의 제어부는 A면 검사 헤드(4) 및 B면 검사 헤드(5)의 촬상장치를 제어해서 A면 검사 위치 및 B면 검사 위치에 각각 배치된 검사 흡착 테이블에 흡착 고정된 기판의 주면을 촬상하고, 제어는 S5 단계로 진행한다. 구체적으로, 제어부는 선형 모터(651)를 구동하여 소정의 속도로 검사 헤드 지지체(61)를 이동시키고, 따라서 검사 헤드 지지체(61)에 고정된 A면 검사 헤드 (4) 및 B면 검사 헤드(5)로 하여금 A면 검사 위치 및 B면 검사 위치에 각각 배치된 검사 흡착 테이블에 흡착 고정된 기판(S) 위를 통과하도록 한다(도 2 참조). A면 검사 헤드(4) 및 B면 검사 헤드(5)가 기판들(S)을 지나면, 제어부는 A면 검사 헤드(4)의 촬상장치를 제어해서, A면 검사 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블 상에 흡착 고정된 기판(S)의 A면 전체를 촬상하며, 동시에 B면 검사 헤드(5)의 촬상장치를 제어해서, B면 검사 위치에 배치된 B면 검사 흡착 테이블 상에 흡착 고정된 기판(S)의 B면 전체를 촬상한다. 즉, 기판 검사장치(1)는 기판(S)의 A면 및 다른 기판(S)의 B면 상에서 스캐닝 및 촬상 처리를 동시에 실행한다. 그리고 나서, 제어부는 촬상된 화상에 관한 화상 데이터에 기초해서 검사 결과를 취득한다. 예를 들면, 소정의 패턴에 관한 화상 데이터는 촬상된 화상에 관한 화상 데이터로 패턴 패치(patten-patch)되어, 외관검사 결과를 취득하게 된다. 본 실시형태에서, 제어부는 기판(S)의 각각을 세 등급, "합격", "불합격", "재검사" 중의 하나로 판정한다. 기판(S)이 A면 검사 위치나 B면 검사 위치 중 하나에 배치된 흡착면에 흡착 고정되면, 제어부는 기판(S)이 위치한 쪽의 촬상장치만을 제어해서 촬상 동작을 실행하고 검사 결과를 취득할 수 있다.

S5 단계에서, 기판 검사장치(1)의 제어부는 기판 전달 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블에 대한 흡착을 정지한다. 구체적으로는, 제어부가 제1 검사 스테이지(2)에 설치된 공기압 제어부의 절환 밸브의 개폐 동작을 제어해서, 기판 검사 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블에 부압을 공급하는 것을 정지시킨다. 도 3의 예에서, A면 검사 흡착 테이블(22d)는 기판 전달 위치에 배치되고, 제어부가 A면 검사 흡착 테이블(22d)로 하여금 흡착을 정지하게 한다.

여기서, 기판(S)의 2 개의 주면 중 하나가(구체적으로, B면) 기판 검사 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블의 흡착면 위에 진공흡착 고정되면,기판(S)의 나머지 주면(구체적으로,A면)이 기판 검사 위치에 배치된 B면 검사 흡착 테이블의 흡착면과 접한다. 제어부가 기판 검사 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블에 대한 흡착을 정지하면, 기판 검사 위치에 있는 기판(S)의 B면에서의 흡착은 해제된다. 제어부가 기판 검사 위치에 배치된 B면 검사 흡착 테이블과 흡착을 계속하기 때문에, 기판 검사 위치에 기판(S)의 A면은 기판 검사 위치에 배치된 B면 검사 흡착 테이블의 흡착면 위에 진공흡착 고정된다. 따라서, 기판 검사 위치에 있는 기판(S)은 A면 검사 흡착 테이블에서 B면 검사 흡착 테이블로 전달되고, 그리고 진공흡착 고정된 주면이 B면에서 A면으로 절환된다.

다음으로, 기판 검사장치(1)의 제어부는 기판 배출 위치(S6 단계)에 배치된 B면 검사 흡착 테이블과 흡착을 정지한다. 구체적으로 제어부가 제2 검사 스테이지(3)에 설치된 공기압 제어부의 절환 밸브의 개폐 동작을 제어해서, 기판 배출 위치에 배치된 B면 검사 흡착 테이블에 부압을 공급하는 것을 정지시킨다. 도 3의 예 에서, B면 검사 흡착 테이블(32c)은 기판 배출 위치에 배치되고, 그리고 제어부는 B면 검사 흡착 테이블(32c)이 흡착을 정지하게 한다.

여기서, 기판(S)의 두 개의 주면(구체적으로 A면) 중의 하나가 기판 배출 위치에 배치된 B면 검사 흡착 테이블의 흡착면에 진공흡착 고정되면, 기판 수납부(8)의 기판 케이스들(81a~81c)의 어느 하나의 개구부에 기판(S)이 배치된다. 제어부 가 기판 배출 위치에 배치된 B면 검사 흡착 테이블과 흡착을 정지하면, 기판배출 위치에 있는 기판(S)의 주면에서 진공흡착이 해제되고, 그리고 기판(S)는 기판 수납부(8)로 배출된다. 편리함을 위해서, 단계 S4, S5 및 S6에서 동작들이 연속적으로 실시되는 것을 기술하였지만, 동시에 병행 실시될 수도 있다.

다음으로, 기판 검사장치(1)의 제어부는 모든 공기 실린더들(23a~23d 및 33a~33d)이 수축방향으로 움직이도록 제어한다(S7 단계; 도1에서 도시된 상태). 이 동작으로, A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)은 모두 제1 회전 부재(21)나 제2 회전 부재(31) 중 하나의 측면 부근에 배치된다.

다음으로, 기판 검사장치(1)의 제어부는 기판(S)의 검사를 종결할지를 결정한다(S8 단계). 검사를 종결한다고 결정하면, 제어부는 도6의 플로우차트의 과정을 종결한다. 반면에, 검사를 계속하는 것으로 결정하면, 제어는 S9 단계로 진행한다.

S9 단계에서, 검사 결과에 따라서, 기판 검사장치(1)의 제어부는 제2 검사 스테이지(3) 바로 아래에 배치된 기판 케이스들(81a~81c) 중의 어느 하나를 선택하게 하고, 턴테이블(83)을 회전하도록 제어해서 제2 검사 스테이지(3) 바로 아래에 배치된 기판 케이스(81a~81c) 중의 하나를 선택하게 한다. 구체적으로, B면 검사 테이블(32a~ 32d) 상에 흡착 고정된 기판들(S) 중에서 선택한, 도1에 도시된 제2 회전축(34)의 우측에 배치된 B면 검사 흡착 테이블(도 1에서, B면 검사 흡착 테이블 32d) 상에 흡착 고정된 기판(S)에 대한 검사 결과에 기초하여, 제어부는 기판 케이스(81a~81c) 중의 하나를 선택한다. 예를 들어, 기판(S)의 A면 및 B면 양자에 대한 검사 결과들이 "합격"이면, 제어부는 기판(S)이 검사를 통과하는 것으로 결정하고, 기판들(Sok)을 수납하기 위해 기판 케이스(81a)를 선택한다. 대신에, 기판(S)의 A면 및 B면의 적어도 하나에 대한 검사 결과가 "불합격"이면, 제어부는 기판(S)을 검사 실패로 결정하고, 기판들(Sng)을 수납하기 위해 기판 케이스(81b)를 선택한다. 또한, 기판 (S)의 A면과 B면의 양자에 대한 검사 결과가 "재검사"이거나 A면과 B면의 어느 하나에 대한 검사 결과가 "통과"이고 나머지에 대한 검사 결과가 "재검사"이면, 제어부는 재검사가 필요하다고 결정하고, 기판들(Svf)을 수납하기 위해 기판 케이스 (81c)를 선택한다. S9 단계는 S6 단계를 실시하기 바로 직전에 실시할 수 있다.

다음으로, 기판 검사장치(1)의 제어부는 제1 회전 부재(21)와 제2 회전 부재(31)를 제어하여 각각 "A" 및 "B" 방향으로, 도1에 도시된 바와 같이, 90도 회전하게 한다(S10 단계). 구체적으로, 제어부는 회전 구동 모터(101)를 구동하여 제1 회전축(24)과 제2 회전축(34) 주위로 제1회전 부재(21)와 제2회전 부재(31)를 각각 회전하게 한다. 이 동작으로, A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)이 모두 90도로 회전하게 된다.

다음으로, 기판 검사장치(1)의 제어부는 단계(S5)에서 흡착을 정지한 A면 검사 흡착 테이블로 흡착을 다시 개시하고, 또한 단계 (S6)에서 흡착을 정지한 B면 검사 흡착 테이블로 흡착을 다시 개시한다(단계 S11). 이 동작으로 제어부는 A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)의 모두로 하여금 흡착 동작을 실시하게 한다. 그 결과, 제어는 단계(S2)로 회귀하고, 제어부는 상 기한 처리들을 반복한다.

다음으로, 도 7(a)~13(c)를 참조하여, 도 6에 도시된 플로우차트의 과정을 반복함으로써 이동하는 기판들(S)에 대하여 기판 검사장치(1)에 의해 실행되는 동작을 상세히 설명한다. 도 7(a)~13(c)는 어떻게 기판 검사장치(1)가 도 6에 도시된 플로우차트의 반복 과정에 의해 작동하는지를 단계별로 도시하는 개략도들이다. 도면에서 아웃라인 화살표들은 공기 실린더들(23a~23d 및 33a~33d)이 신축 동작을 실시할 때, A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)의 동작 방향을 표시하고, 실선 화살표들은 제1 회전 부재(21)와 제2 회전 부재(31)의 회전 이동을 표시한다.

도 7(a)는 검사 전의 기판들(S)이 기판 검사장치(1)에 공급될 때인 초기상태를 도시한다. 기판 공급부(7)에서, 복수의 기판들(S)은 B면을 위로 해서 수납되고 적재된다. 또한, 제1 검사 스테이지(2)의 4개의 A면 검사 흡착 테이블들(22a~ 22d) 중에서, A면 검사 흡착 테이블(22a)은 아래로 향하게 해서 배치된다. 또한, 제 2 검사 스테이지(3)의 4개의 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d) 중에서, B면 검사 흡착 테이블(32a)은 아래로 향하게 해서 배치된다. 기판 검사장치(1)의 제어부는 상기된 단계(S1)를 실시하여 모든 A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)로 흡착을 시작한다. 이하에서 구체적으로 설명하기 위해, 기판 공급부(7)에 적재된 복수의 기판들(S)은 위에서부터 아래의 순서로 "기판들 S1, S2, S3, ..."로 지칭된다.

다음으로, 제어부는 상기된 S2 단계를 실시하여(제1 회), A면 검사 흡착 테 이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)을 각각 제1 회전 부재(21)와 제2 회전 부재(31)로부터 멀리 이동 시킨다. 그리고 나서, 기판 공급부(7) 내에서 기판들(S) 더미의 최상부에 배치된 기판(S1)의 B면은 기판 공급 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블(22a)에 진공흡착 고정된다(도 7(b)에 도시된 상태).

다음으로, 제어부가 상기된 S7 단계를 실시하면(제1 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)은 각각 제1 회전부재(21)의 측면과 제2 회전부재(31)의 측면으로 이동한다. 그 결과, A면 검사 흡착 테이블 (22a)의 흡착면 상에 진공흡착 고정된 기판(S1)은 기판 공급부(7)로부터 픽업된다(도 7(c)에 도시된 상태).

다음으로, 제어부가 상기 S10 단계를 실시하면, 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)들은 90로 회전하게 된다. 결과적으로, A면 검사 흡착 테이블들 (22a~22d), B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d) 및 A면 검사 흡착 테이블(22a) 상에 흡착 고정된 기판(S1)은 모두 90도로 회전하게 된다(도 8에 도시된 상태). 도 8(a)에서 도시된 바와 같이, 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)는 시계방향 90도로 회전하게 된다.

다음으로, 제어부가 상기 S2 단계를 실시하게 되면(제2 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)은 각각 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)로부터 멀리 이동하게 된다. 그 결과, 기판 공급부(7) 내의 기판들(S) 더미의 최상부에 배치된 기판(S2)의 B면은 기판 공급 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블(22b)의 흡착면에 진공흡착 고정된다(도 8(b)에 도시된 상태).

다음으로, 제어부가 상기 S7 단계를 실시하게 되면(제2 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)은 각각 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)의 측면 부근으로 움직이게 된다. 그 결과, A면 검사 흡착 테이블(22b)의 흡착면 상에 진공흡착 고정된 기판(S2)은 기판 공급부(7)로부터 픽업된다(도 8(c)에 도시된 상태).

다음으로, 제어부가 상기 S10 단계를 실시하면(제2 회), 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)는 90도로 회전하게 된다. 결과적으로, A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d), B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d) 및 A면 검사 흡착 테이블들 (22a~22d) 상에 흡착 고정된 기판들(S1, S2)은, 각각 90도로 회전하게 된다(도 9(a)에 도시된 상태).

다음으로, 제어부가 상기 S2 단계를 실시하면(제3 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)은 각각 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)로부터 멀리 이동한다. 그 결과, 기판 공급부(7) 내의 기판들(S) 더미의 최상부에 배치된 기판(S3)의 B면은 기판 공급 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블(22c)의 흡착면에 진공흡착되고 고정된다. 또한, 제어부가 상기 S4 단계를 실시하면, A면 검사 위치에 있는 A면 검사 흡착 테이블(22a) 상에 흡착 고정된 기판(S1)의 A면이, A면 검사 헤드(4)의 촬상 장치에 의해 촬상되고 검사된다(도 9(b)에 도시된 상태).

다음으로, 제어부가 상기 S7 단계를 실시하면(제3 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)은 각각 제1 회전부재(21)의 측 면 부근과 제2 회전부재(31)의 측면 부근으로 이동한다. 그 결과 A면 검사 흡착 테이블(22c)의 흡착면에 진공흡착 고정된 기판(S3)이 기판 공급부(7)로부터 픽업된다(도 9(c)에 도시된 상태).

다음으로, 제어부가 상기 S10 단계를 실시하면(제3 회), 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)가 90도로 회전하게 된다. 결과적으로, A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d), B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d) 및 A면 검사 흡착 테이블들 (22a~22c) 상에 흡착 고정된 기판들(S1~S3)은, 각각 90도로 회전하게 된다(도 10(a)에 도시된 상태).

다음으로, 제어부가 상기 S2 단계를 실시하게 되면(제4 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)은 각각 제1 회전부재 (21)와 제2 회전부재(31)로부터 멀리 이동한다. 그 결과, 기판 공급부(7) 내의 기판들 (S) 더미의 최상부에 배치된 기판(S4)의 B면은 기판 공급 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블(22d)의 흡착면에 진공흡착 고정된다. 또한, 기판 전달 위치에 있는 A면 검사 흡착 테이블 상에 진공흡착 고정된 기판(S1)의 A면이 기판 전달 위치에 있는 B면 기판 흡착 테이블(32c)의 흡착면과 접하게 된다. 또한, 제어부가 상기 S4 단계를 실시하게 되면, A면 검사 흡착 위치에 있는 A면 검사 흡착 테이블(22b) 상에 흡착 고정된 기판(S2)의 A면이 A면 검사 헤드(4)의 촬상 장치에 의해 촬상되고 검사된다(도 10(b)에 도시된 상태). 다음으로, 제어부가 상기 S5 단계를 실시하게 되면, 기판 전달 위치의 A면 검사 흡착 테이블(22a)에서 기판(S1)의 진공흡착 및 고정이 해제되고, 기판(S1)의 A면은 B면 검사 흡착 테이블(32c)의 흡착면으로 진공 흡착 고정된다.

다음으로, 제어부가 상기 S7 단계를 실시하면(제4 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)이 각각 제1 회전부재(21)의 측면 부근과 제2 회전부재(31)의 측면 부근으로 이동하게 된다. 그 결과, A면 검사 흡착 테이블(22d)의 흡착면에 진공흡착 고정된 기판(S4)이 기판 공급부(7)로부터 픽업된다. 또한, 기판 전달 위치의 B면 검사 흡착 테이블(32c)의 흡착면에 진공흡착 고정된 기판(S1)이 제1 검사 스테이지(2)로부터 제2 검사 스테이지(3)에 전달되고, 기판(S1)의 진공흡착 고정된 주면이 B면에서 A면으로 절환된다(도 10(c)에 도시된 상태). 그것으로부터 기판(S1)이 전달된 후에 A면 검사 흡착 테이블(22a)의 흡착면 위에는 어떠한 기판(S)도 남아 있지 않게 된다.

다음으로, 제어부가 상기 S10 단계를 실시하게 되면(제4 회), 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)는 90도로 회전하게 된다. 결과적으로, A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d), B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d), A면 검사 흡착 테이블들(22b~22d)에 흡착 고정된 기판들(S2~S4) 및 B면 검사 흡착 테이블(32c)에 흡착 고정된 기판(S1)이 모두 90도로 회전하게 된다(도 11(a)에 도시된 상태). 그 결과, 제어부가 상기 S11 단계를 실시하게 되면, A면 검사 흡착 테이블(22a)이 흡착을 다시 시작하게 된다.

다음으로, 제어부가 S2 단계를 실시하면(제5 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)이 각각 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)로부터 멀리 이동하게 된다. 그 결과, 기판 공급부(7) 내의 기판들(S) 더미의 최상부에 배치된 기판(S5)의 B면이 기판 공급 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블(22a)의 흡착면에 진공흡착 고정된다. 또한, 기판 전달 위치의 A면 검사 흡착 테이블(22b) 상에 진공흡착 고정된 기판(S2)의 A면이 기판 전달 위치의 B면 검사 흡착 테이블(32d)의 흡착면과 접촉하게 된다. 또한, 제어부가 상기 S4 단계를 실시하게 되면, B면 검사 위치의 B면 검사 흡착 테이블(32c) 상에 흡착 고정된 기판(S1)의 B면을 검사하고 촬상하기 위한 B면 검사 헤드(5)의 촬상 장치에 의해 실행되는 동작과 병행하여, A면 검사 위치의 A면 검사 흡착 테이블(22c) 상에 흡착 고정된 기판(S3)의 A면이 A면 검사 헤드(4)의 촬상 장치에 의해, 화상으로, 촬상되고 검사된다 (도 11(b)에 도시된 상태). 다음으로, 제어부가 상기 S5 단계를 실시하면, 기판 전달 위치의 A면 검사 흡착 테이블(22b)에 의한 기판(S2)의 진공흡착 및 고정이 해제되고, 기판(S2)의 A면이 B면 검사 흡착 테이블(32d)의 흡착면에 진공흡착 고정된다.

다음으로, 제어부가 상기 S7 단계를 실시하면(제5 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)이 각각 제1 회전부재(21)의 측면 부근과 제2 회전부재(31)의 측면 부근으로 이동한다. 그 결과, A면 검사 흡착 테이블(22a)의 흡착면에 진공흡착 고정된 기판(S5)이 기판 공급부(7)로부터 픽업된다. 또한, 기판 전달 위치의 B면 검사 흡착 테이블(32d)의 흡착면에 진공흡착 고정된 기판(S2)은 제1 검사 스테이지(2)로부터 제2 검사 스테이지(3)로 전달되게 되고, 기판(S2)의 진공흡착 고정된 주면은 B면에서 A면으로 절환된다(도 11(c)에 도시된 상태). 그것으로부터 기판(S2)이 전달된 후에는, A면 검사 흡착 테이블 (22b)의 흡착면 상에 어떠한 기판(S)도 남지 않는다.

다음으로, 제어부가 상기 S10 단계를 실시하면(제5 회), 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)는 90도로 회전하게 된다. 결과적으로, A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d), B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d), A면 검사 흡착 테이블들(22a, 22c 및 22d) 상에 흡착 고정된 기판들(S3~S5) 및 B면 검사 흡착 테이블들(32c, 32d) 상에 흡착 고정된 기판들(S1, S2)은 모두 90도로 회전하게 된다(도 12(a)에 도시된 상태). 결과적으로, 제어부가 상기 S11 단계를 실시하게 되면, A면 검사 흡착 테이블(22b)이 흡착을 다시 시작하게 된다.

다음으로, 제어부가 상기 S2 단계를 실시하면(제6 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)은 각각 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)로부터 멀리 이동하게 된다. 그 결과, 기판 공급부(7) 내의 기판들(S) 더미의 최상부에 배치된 기판(S6)의 B면은 기판 공급 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블(22a)의 흡착면에 진공흡착 고정된다. 또한, 기판 전달 위치의 A면 검사 흡착 테이블(22c) 상에 진공흡착 고정된 기판(S3)의 A면은 기판 전달 위치의 B면 검사 흡착 테이블(32a)의 흡착면과 접하게 된다. 또한, 제어부가 상기 S4 단계를 실시하면, B면 검사 위치의 B면 검사 흡착 테이블(32d) 상에 흡착 고정된 기판(S2)의 B면을 조사하고 촬상하기 위한 B면 검사 헤드 (5)의 촬상 장치에 의해 실행되는 동작과 병행하여, A면 검사 위치의 A면 검사 흡착 테이블(22d) 상에 흡착 고정된 기판(S4)의 A면이 A면 검사 헤드(4)의 촬상 장치에 의해, 화상으로, 촬상 및 검사된다(도 12(b)에 도시된 상태). 다음으로, 제어부가 상기 S5 단계를 실시하 면, 기판 전달 위치의 A면 검사 흡착 테이블(22c)에 의한 기판(S3)의 진공흡착 및 고정은 해제되고, 기판(S3)의 A면은 B면 검사 흡착 테이블(32a)의 흡착면에 진공흡착 고정된다.

다음으로, 제어부가 상기 S7 단계를 실시하면(제6 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)은 각각 제1 회전부재(21)의 측면 부근과 제2 회전부재(31)의 측면 부근으로 이동하게 된다. 그 결과, A면 검사 흡착 테이블(22b)의 흡착면에 진공흡착 고정된 기판(S6)은 기판 공급부(7)로부터 픽업된다. 또한, 기판 전달 위치의 B면 검사 흡착 테이블(32a)의 흡착면에 진공흡착 고정된 기판(S3)은 제1 검사 스테이지(2)로부터 제2 검사 스테이지(3)로 전달되고, 기판(S3)의 진공흡착 고정된 주면은 B면에서 A면으로 절환된다(도 12(c)에 도시된 상태). 그것으로부터 기판(S3)이 전달된 후에 A면 검사 흡착 테이블(22c)의 흡착면 상에는 어떠한 기판(S)도 남지 않는다. 결과적으로, 제어부가 상기 S9 단계를 실시하면, 기판(S1)에 대한 A면 검사 결과(도 9(b) 참고)와 B면 검사 결과(도 11(b) 참고)에 기초하여, 기판 수납부(8)의 기판 케이스들 중 하나가 선택되고, 턴테이블 (83)이 회전하게 된다.

다음으로, 제어부가 상기 S10 단계를 실시하면(제6 회), 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)가 90도로 회전하게 된다. 결과적으로, A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d), B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d), A면 검사 흡착 테이블들 (22a, 22b 및 22d)에 흡착 고정된 기판들(S4~S6) 및 B면 검사 흡착 테이블(32a, 32c 및 32d)에 흡착 고정된 기판들(S1~S3)은 모두 90도로 회전하게 된다(도 13(a)에 도시된 상 태). 그 결과, 제어부가 상기 S11 단계를 실시하면, A면 검사 흡착 테이블(22c)이 흡착을 다시 시작한다.

다음으로, 제어부가 상기 S2 단계를 실시하면(제7 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)은 각각 제1 회전부재(21)와 제2 회전부재(31)로부터 멀리 이동한다. 그러면, 기판 공급부(7) 내의 기판들(S) 더미의 최상부에 배치된 기판(S7)의 B면이, 기판 공급 위치에 배치된 A면 검사 흡착 테이블(22c)의 흡착면에 진공흡착 고정된다. 또한, 기판 전달 위치의 A면 검사 흡착 테이블(22d) 상에 진공흡착 고정된 기판(S4)의 A면이 기판 전달 위치의 B면 검사 흡착 테이블(32b)의 흡착면에 접하게 된다. 또한, 기판 배출 위치의 B면 검사 흡착 테이블(32c) 상에 진공흡착 고정된 기판(S1 )이 기판 수납부(8)의 기판 케이스들 중에서 선택된 하나의 개구부에 배치된다. 또한, 제어부가 상기 S4 단계를 실시하면, B면 검사 위치의 B면 검사 흡착 테이블(32a) 상에 흡착 고정된 기판(S3)의 B면을 촬상 및 조사하기 위한 B면 검사 헤드(5)의 촬상 장치에 의해 실행되는 동작과 병행하여, A면 검사 위치에 있는 A면 검사 흡착 테이블(22a) 상에 흡착 고정된 기판(S5)의 A면 검사 헤드(4)의 촬상 장치에 의해 화상으로 촬상 및 검사된다(도 13(b)에 도시된 상태). 다음으로, 제어부가 상기 S5 단계를 실행하면, 기판 전달 위치에 있는 A면 검사 흡착 테이블(22d)에 의한 기판(S4)의 진공흡착 고정이 해제되어서, 기판(S4)의 A면이 B면 검사 흡착 테이블(32b)에 진공흡착 고정된다. 그 뒤에, 제어부가 상기 S6 단계를 실행하면, 기판 배출 위치에 있는 B면 검사 흡착 테이블(32c)에 의한 기판(S1)의 진공흡착 고정이 해제된다.

다음으로, 제어부가 상기 S7 단계를 실시하면(제7 회), A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d)은 각각 제1 회전부재(21)의 측면 부근과 제2 회전부재(31)의 측면 부근으로 이동한다. 그 결과, A면 검사 흡착 테이블(22c)의 흡착면에 진공흡착 고정된 기판(S7)이 기판 공급부(7)로부터 선택된다. 또한, 기판 전달 위치의 B면 검사 흡착 테이블(32b)의 흡착면에 진공흡착 고정된 기판(S4)은 제1 검사 스테이지(2)로부터 제2 검사 스테이지(3)로 전달되고, 기판(S4)의 진공흡착 고정된 주면은 B면에서 A면으로 절환된다. 그 결과, B면 검사 흡착 테이블(32c)에 의한 진공흡착 및 고정으로부터 해제된 기판(S1)이 기판 수납부(8)의 기판 케이스들 중 하나에 배출된다(도 13(c)에 도시된 상태). 상기 기술된 작동들이 반복적으로 실시되면, 그 결과 기판 검사장치(1)의 기판 공급부(7) 내에 적재된 기판들(S)의 양면이 외관검사되어서, 연속적으로 기판 수납부(8)로 배출된다.

상기한 바와 같이, 기판 검사장치(1)에서, A면 검사 흡착 테이블들(22a~22d)과 B면 검사 흡착 테이블들(32a~32d) 상에 흡착 고정된 기판들에서 여러가지 처리가 실시되는 경우에, 이러한 처리들은 동시에 병행 실시된다. 구체적으로, 기판 검사장치(1)가 도(6)에 도시된 플로우차트의 과정을 반복하고, 그 결과, 테이블 위치에 따라서, A면 검사 흡착 테이블에 기판(S)을 흡착하기 위한 동작, 기판(S)의 A면을 촬상하기 위한 동작, 기판(S)을 제1 검사 스테이지(2)에서 제2 검사 스테이지(3)로 전달시켜서 기판(S)을 뒤집는 동작, 기판(S)의 B면을 촬상하기 위한 동작 및 B면 검사 흡착 테이블(32)에서 기판(S)을 배출하는 동작이 병행 실시된다. 따라 서, 효과적인 처리량을 확보하면서, 기판 검사장치(1)는 기판(S)의 양면을 검사하기 위한 일련의 처리들을 병행 실시하고, 그로써 기판(S)의 양면을 병행 검사하는 것이 가능하게 된다. 또한, 기판(S)이 연약한 물질로 구성된 인쇄 회로 기판이라해도, 각 기판(S)의 주면은 그것에 접한 테이블에 의해 지지되고, 그 결과 기판(S)은 안정적으로 고정된다. 또한, 테이블과 접한 부분을 제외하고는 임의의 부재에 의해서 기판(S)이 덮이지 않게 되고, 그 결과 기판(S)의 어떤 부분도 촬상 장치에 의해서 촬상될 수 있다.

전술한 것은 기판(S)이 A면 검사 흡착 테이블과 B면 검사 흡착 테이블 상에 진공흡착 고정된 예를 도시했지만, 기판(S)을 A면 검사 흡착 테이블과 B면 검사 흡착 테이블 상에 유지하는 다른 방법이 이용될 수 있다. 예를 들면, 기판(S)을 A면 검사 흡착 테이블과 B면 검사 흡착 테이블 상에 유지하는 방법으로 정전 흡착이 이용될 수 있다. 또한, A면 검사 흡착 테이블과 제1 회전부재(21) 사이의 거리를 변경시키거나, B면 검사 흡착 테이블과 제1 회전부재(31) 사이의 거리를 변경시키는 기구로 공기 실린더를 사용할 필요는 없다. 예를 들어, 전기 구동원을 이용하는 승강 기구를 이용할 수 있다. 상기 실시형태가 A면 검사 흡착 테이블과 B면 검사 흡착 테이블이 동시에 흡착 동작을 실시하게 되는 예를 도시하지만, 테이블은 필요한 경우, 예컨대 일련의 처리에 있어 개시 시에만 흡착 동작을 실시하게도 할 수 있다. 또한, 공기 실린더들은, 필요치 않으면 신축되지 않게 구성될 수도 있다(예를 들어, 도 3에 도시된 공기 실린더들(23a~23d 및 33a~33d)).

또한, 모든 공기 실린더들(23a~23d 및 33a~33d)이 신장된다면, 전술한 것은 A면 검사 흡착 테이블과 B면 검사 흡착 테이블(구체적으로, 도(3)에 도시된 A면 검사 흡착 테이블(22b) 및 B면 검사 흡착 테이블(32d))이 A면 검사 위치, B면 검사 위치, 기판 공급 위치, 기판 전달 위치 및 기판 배출 위치 중 어느 것에도 배치되는 않는 예를 도시한다. 상기 전술한 예에서는, 그런 A면 검사 흡착 테이블과 B면 검사 흡착 테이블 상에 흡착 고정된 기판들(S) 상에서 어떤 절차도 실행되지 않는다. 하지만, 그런 기판(S)들도 A면과 B면 상의 추가적인 처리의 대상이 될 수도 있다. 기판들(S)의 A면과 B면 상에서 추가적인 처리가 실행된다면, 기판 검사장치(1)는 기판들(S)의 양면 검사에 대한 일련의 처리를 병행 실시할 수 있고, 그 결과 처리시간을 증가시키지 않고 일련의 처리가 실시된다.

또한, 전술한 것은 A면 검사 헤드(4)와 B면 검사 헤드(5)가 검사 헤드 지지체(61)에 고정되는 예를 도시하였으며, 한 방향으로 검사 헤드 지지체(61)를 이동함으로써 한 스캔 방향(도 2에서 화살표 "C"에 의해 표시된 방향)으로 기판에 대한 스캐닝 및 촬상 처리가 실행된다. 이는 하나의 구동원(선형 모터 (651))이 모든 필요한 스캐닝과 촬상 처리들에 적용될 수 있게 한다. 하지만, A면 검사 헤드(4)와 B면 검사 헤드(5)는, 상기 이동 방향에 수직인 방향(즉,도(2)에 도시된 화살표 "C"에 의해 표시되는 방향에 수직인 방향인 수평방향)으로 검사 헤드 지지체(61)를 따라 이동하도록 구성될 수도 있다. 그런 경우에는, 스캐닝과 촬상 처리를 위해 A면 검사 헤드(4) 및 B면 검사 헤드(5)가 이용될 수 있는 영역을 증가시키는 것이 가능하다.

기판 검사장치(1)에서, 제1 검사 스테이지(2) 및 제2 검사 스테이지(3)의 각 각은 네 개의 검사 흡착 테이블을 가지고 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 본 발명은 두 개의 검사 스테이지 각각이 네 개 이상 또는 이하의 검사 흡착 스테이지를 갖는 경우에도 적용 가능하다.

도 14(a) 및 14(b)는 제1 검사 스테이지(200) 및 제2 검사 스테이지(300) 각각이 여덞 개의 검사 흡착 테이블를 포함하는 예를 도시한 것이다. 구체적으로, 도 14(a)에서, 검사 흡착 스테이지를 지지하는 공기 실린더들은 각각 수축된 상태에 있고, 도 14(b)에서, 검사 흡착 스테이지를 지지하는 공기 실린더들은 각각 신장된 상태에 있다. 또한, 도 14(a) 및14(b)에서, 검사 대상 기판(S)은 음영 처리되어 있다.

도 14(a) 및 14(b)에 도시된 바와 같이, 제1 검사 스테이지(200) 및 제2 검사 스테이지(300)의 각각은 직팔각기둥 모양의 회전부재를 포함한다. 제1 검사 스테이지(200) 및 제2 검사 스테이지(300)는 직팔각기둥의 두 베이스의 중심을 통과하는 회전축 주위를 도 14(a)에서 화살표가 지시하는 방향으로 45도 단위로 회전가능하도록 구성된다. 검사 흡착 테이블은 직팔각기둥 모양 회전부재 각각의 여덞 면 위에 있는 공기 실린더 상에 설치된다. 모든 공기 실린더가 수축된 상태에 있는 경우에는, 각각의 검사 흡착 테이블이 직팔각기둥 모양 회전부재 부근에 배치되고(도 14(a)에 도시된 상태), 모든 공기 실린더가 신장된 상태에 있는 경우에는, 각각의 검사 흡착 테이블이 직팔각기둥 모양 회전부재로부터 멀리 배치된다(도 14(b)에 도시된 상태).

모든 공기 실린더가 신장된 상태에 있는 경우에, 제1 검사 스테이지(200) 내 에 설치된 검사 흡착 테이블 중 하나(예컨대, 하측방향 테이블)는 기판 공급 위치에 배치되어 기판 공급부(7) 내에 있는 기판(S) 더미 최상층의 기판(S)을 흡착 고정한다. 또한, 제1 검사 스테이지(200) 내에 설치된 검사 흡착 테이블의 다른 하나(예컨대, 상측방향 테이블)는 A면 검사 위치에 배치되어 검사 흡착 테이블 상에 흡착 고정된 기판(S)의 A면을 스캐닝 및 촬상하는 동작을 실행한다. 또한, 제1 검사 스테이지(200) 내에 설치된 검사 흡착 테이블의 또다른 하나(예컨대. 우측방향 테이블)는 기판 전달 위치에 배치되고, 검사 흡착 테이블 상에 흡착 고정된 기판(S)의 A면은 제2 검사 스테이지(300)의 검사 흡착 테이블과 접하게 된다.

모든 공기 실린더가 신장된 상태에 있는 경우에는, 검사 스테이지(300)에 설치된 검사 흡착 테이블들 중의 하나(예컨대, 좌측방향 테이블)가 기판 전달 위치에 배치되고, 기판(S)이 제1 검사 스테이지(200)로부터 전달된다. 또한, 제2 검사 스테이지(300)에 설치된 검사 흡착 테이블들 중의 다른 하나(예컨대, 상측방향 테이블)가 B면 검사 위치에 배치되어 검사 흡착 테이블에 흡착 고정된 기판(S)을 스캐닝 및 촬상하는 동작을 실행한다. 또한, 제2 검사 스테이지(300)에 설치된 검사 흡착 테이블들 중의 또 다른 하나(예컨대, 하측방향 테이블)는 기판 배출 위치에 배치되어, 기판(S)이 기판 수납부(8)에 배출된다.

상기한 바와 같이, 각각 8 개의 검사 흡착 테이블를 포함하는 두 개의 검사 스테이지를 이용하는 경우에도, 검사 흡착 테이블들에 흡착 고정된 기판(S)들 상에 상이한 처리들이 실행되고, 이 처리들은 동시에 서로 병행 실시될 수 있다.

도 15(a)~15(d)는 제1 검사 스테이지(250) 및 제2 검사 스테이지(350)가 각 각 두개의 검사 흡착 테이블을 포함하는 예를 도시하고 있다. 구체적으로, 도 15(a)에서는, 수직방향으로 배치된 검사 흡착 스테이지를 지지하는 공기 실린더들이 신장된 상태에 있다. 도 15(b)에서는, 수직 방향으로 배치된 검사 흡착 스테이지를 지지하는 공기 실린더들이 수축된 상태에 있다. 도 15(c)에서는, 수평 방향으로 배치된 검사 흡착 스테이지를 지지하는 공기 실린더들이 수축된 상태에 있다. 도 15(d)에서는, 수평 방향으로 배치된 검사 흡착 스테이지를 지지하는 공기 실린더들이 신장된 상태에 있다. 또한, 도 15(a)~15(d)에서는, 검사 대상 기판(S)이 음영으로 표시되어 있다.

도 15(a)~15(d)에 도시된 바와 같이, 제1 검사 스테이지(250) 및 제2 검사 스테이지(350)의 각각은 대응하는 회전축 주위를 회전하는 회전부재를 포함한다. 제1 검사 스테이지(250) 및 제2 검사 스테이지(350) 각각은, 도 15(c)에서 화살표로 지시된 방향으로, 90도 단위로 회전 가능하도록 구성된다. 두 개의 검사 흡착 테이블은 회전부재의 양면에 배치된 공기 실린더 상에 병렬 설치된다. 모든 공기 실린더들이 수축 상태에 있는 경우에, 각 검사 흡입 테이블은 회전부재 근처에 배치되고(도 15(b) 및 15(c)에 도시된 상태), 모든 공기 실린더들이 신장된 상태에 있는 경우에, 각각의 검사 흡착 테이블은 회전부재로부터 멀리 배치된다(도 15(a) 및 15(d)에 도시된 상태).

수직 방향으로 배치된 검사 흡착 스테이지의 공기 실린더들 신장된 상태에 있는 경우에(도 15(a)에 도시된 상태), 제1 검사 스테이지(250)에 설치된 검사 흡착 테이블 중 하나(예컨대, 하측방향 테이블)는 기판 공급 위치에 배치되어 기판 공급부(7) 내의 기판들(S) 더미의 최상층에 있는 기판(S)을 흡착 고정한다. 또한, 제1 검사 스테이지(250) 내에 설치된 검사 흡착 테이블 중 다른 것(예컨대, 상측방향 테이블)은 A면 검사 위치에 배치되고, 검사 흡착 테이블 상에 흡착 고정된 기판(S)의 A면을 스캐닝 및 촬상하는 처리가 실행된다. 또한, 제2 검사 스테이지(350)에 설치된 검사 흡착 테이블 중 하나(예컨대, 상측방향 테이블)는 B면 검사 위치에 배치되고, 검사 흡착 테이블 상에 흡착 고정된 기판(S)의 B면을 스캐닝 및 촬상하는 처리가 실행된다. 또한, 제2 검사 스테이지(350)에 설치된 검사 흡착 테이블 중 다른 것(예컨대, 하측방향 테이블)은 기판 배출 위치에 배치되고, 기판(S)이 기판 수납부(8)에 배출된다.

수평방향으로 배치된 검사 흡착 스테이지의 공기 실린더들이 신장된 상태(도 15(d)에 도시된 상태)에 있는 경우에, 제1 검사 스테이지(250) 내에 설치된 검사 흡착 테이블 중 하나(예컨대, 우측방향 테이블)는 기판 전달 위치에 배치되고, 검사 흡착 테이블에 흡착 고정된 기판의 A면이 제2 검사 스테이지(350)의 검사 흡착 테이블에 접하게 된다. 또한, 제2 검사 스테이지(350) 내에 설치된 검사 흡착 테이블 중의 하나(예컨대, 좌측방향 테이블)는 기판 전달 위치에 배치되고, 기판(S)이 제1 검사 스테이지(250)로부터 전달된다 .

상기한 바와 같이, 각각 두개의 검사 흡착 테이블을 포함하는 두 개의 검사 스테이지를 이용하는 경우에도, 검사 흡착 테이블에 흡착 고정된 기판(S) 상에 상이한 처리들이 실행되며, 이 처리들은 동시에 서로 병행 실시될 수 있다.

또한, 제1 및 제2 검사 스테이지는 각각 직삼각기둥 형태의 회전부재를 가질 수도 있다. 이 경우에, 제1 및 제2 검사 스테이지는, 직삼각기둥의 두 베이스의 중심을 통과하는 회전축 주위를 120도 단위로 회전가능하도록 구성된다. 검사 흡착 테이블는 직삼각기둥 형태 회전부재의 각각의 세 면 위에 있는 공기 실린더 상에 설치된다. 제1 검사 스테이지의 어느 한 검사 흡착 테이블는 제2 검사 스테이지의 한 검사 흡착 테이블과 상대하도록 배치된다. 이러한 구성으로, 본 발명에 의해 성취되는 것과 유사한 효과를 거둘 수 있다.

발명을 상세히 설명하였으나, 상술한 내용은 예시적이며 그에 제한되지 않는다. 본 발명의 범위 내에서 다양한 변경 및 변형이 가능하다.

제1 발명에 따라서, 복수의 기판유지면에 의해 유지되는 기판들에 상이한 처리들을 실행할 수 있으며, 상기 처리들은 병행 실시될 수 있다. 따라서, 기판의 양면을 검사하는 일련의 처리가 병행 실시되며, 그에 의해서, 효율적인 처리량을 확보하면서, 기판의 양면을 병행 검사할 수 있다. 또한, 기판이 연약한 물질로 구성되는 경우에도, 각 기판의 주면은 접하는 기판유지면에 의해 지지되고, 따라서 기판은 안정적으로 고정된다. 또한, 기판유지면과 접촉하는 부분을 제외하고는 어떤 부재로도 기판이 덮히지 않기 때문에, 기판의 어떤 부분이라도 촬상 장치에 의해 화상으로 촬상할 수 있다.

제2 발명에 따라서, 기판의 제1 주면과 접하는 제1 기판유지면에 의해 유지되는 기판은 기판의 제2 주면을 제2 기판유지면에 접하게 함으로써 제2 기판유지면에 전달되고, 따라서, 기판의 양면을 쉽게 촬상하면서, 기판을 뒤집는 복잡한 기구 를 제거할 수 있다.

제3 발명에 따라서, 촬상부는 서로 병렬 배치된 제1 및 제2 기판유지면과 평형하게 이동하고, 따라서 촬상부의 촬상 영역이 증가된다. 또한, 한 개의 지지부재가 그 위에 제1 주면에 촬상장치 및 제2 주면에 대한 촬상장치를 탑재하고 있으며, 따라서 집약된 구동원을 이용할 수 있다.

제4 발명에 따라서, 제1 검사 스테이지 및 제2 검사 스테이지에 구비된 기판유지면들은 그 중심을 회전축에 둔 직육면체(rectangular parallelepiped)형의 측면을 마주하도록 각각 배치되고, 따라서 기판 검사장치 자체를 설계 및 생산하는 것이 용이하다.

제5 발명에 따라서, 하면에 배치된 기판유지면들로부터 기판들이 공급/배출된다. 따라서, 검사 전 기판 더미의 제일 위에 적재된 검사 전 기판이 계속해서 공급될 수 있고, 검사한 기판들이 계속해서 적재될 수 있다. 또한, 상면에 있는, 서로 병렬 배치된 기판유지면들에 의해 유지되는 기판 주면의 화상들은 동시에 촬상되며, 따라서 촬상부의 포커싱 및 스캐닝 동작을 제어하는 것이 용이하다. 또한, 기판은, 하나의 기판유지면으로부터 이것에 상대하는 다른 기판유지면으로 전달되며, 따라서 기판을 뒤집지 않고 기판유지면에 접하는 주면을 변경할 수 있다.

제6 발명에 따라서, 기판의 제1 주면에 접하는 제1 기판유지면에 의해 유지되는 기판은 상기 기판의 제2 주면을 제2 기판유지면에 접하게 함으로써 제2 기판유지면에 전달되고, 따라서 기판의 양면의 촬상이 용이해지면서, 기판을 뒤집는 복잡한 기구를 제거할 수 있다.

제7 발명에 따라서, 촬상 대상 기판을 유지하는 기판유지면은, 기판유지면이 촬상 공간에 고정된 접촉부재와 접촉하는 위치로 이동되고, 따라서 촬상부가 촬상 대상 기판을 안정적으로 촬상할 수 있는 곳에, 촬상대상 기판을 배치시킬 수 있다.

제8 발명에 따라서, 검사한 기판을 격납하는 복수의 기판 케이스가 설치되고, 배출되는 기판의 종류에 따라 그들 사이에서 절환될 수 있다. 따라서, 검사 결과에 따라서 기판들을 종류별로 분류할 수 있고, 상이한 종류의 기판들은 다른 목적지로 배출할 수 있다.

또한, 본 발명의 기판 검사 방법은 본 발명의 기판 검사장치에 의해 취득되는 상기 효과들과 유사한 효과를 거둘 수 있다.

Claims (10)

1. 기판의 양면을 화상으로 촬상해서 검사하는 기판 검사장치로서, 상기 장치는,

   제1 회전축 주위에 설치된 복수의 제1 기판유지면을 포함하며, 상기 복수의 제1 기판유지면은 각각 상기 기판의 제1 주면과 접하여 상기 기판을 유지하는, 제1 검사 스테이지;

   상기 제1 검사 스테이지와 나란히 설치되고, 제2 회전축 주위에 설치된 복수의 제2 기판유지면을 포함하며, 상기 복수의 제2 기판유지면은 각각 상기 기판의 제2 주면에 접하여 상기 기판을 유지하는, 제2 검사 스테이지;

   상기 제1 회전축을 중심으로 상기 제1 검사 스테이지를 회전시키고 상기 제2 회전축을 중심으로 상기 제2 검사 스테이지를 회전시킴으로써, 상기 복수의 제1 기판유지면 및 상기 복수의 제2 기판유지면의 방향을 변경시키는 회전 구동부;

   제1 기판유지면 및 이것과 병렬 배치된 제2 기판유지면으로 구성된 병렬조합에 의해 유지되는 기판들의 주면들을 동시에 촬상하는 촬상부;

   상기 병렬조합 내의 상기 제1 기판유지면과는 상이한 제1기판유지면에 기판을 공급하는 기판 공급부; 및

   상기 병렬조합 내의 상기 제2 기판유지면과는 상이한 기판유지면에 의해 유지되는 기판을 배출하는 기판 배출부를 포함하는 기판 검사장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판 검사장치는 상기 복수의 제1 기판유지면 또는 상기 복수의 제2 기판유지면을 제어하여 상기 기판을 유지 및 해제하는 제어부를 더 포함하며,

   상기 제1 검사 스테이지는 상기 복수의 제1 기판유지면을 이동시켜서 상기 제1 회전축으로부터의 거리를 변경시키는 제1 기판유지면 구동부를 포함하고,

   상기 제2 검사 스테이지는 상기 복수의 제2 기판유지면을 이동시켜서 상기 제2 회전축으로부터의 거리를 변경시키는 제2 기판유지면 구동부를 포함하며,

   상기 제1 기판유지면 구동부 및 제2 기판유지면 구동부는 제1 기판유지면 및 이것에 상대하는 제2 기판유지면으로 구성된 상대조합을 상기 제1 회전축 및 상기 제2 회전축으로부터 각각 멀리 이동시켜서, 상기 상대조합의 상기 제1 기판유지면에 의해 유지되는 기판의 제2 주면이 상기 상대조합의 상기 제2 기판유지면과 접하도록 하고,

   상기 제어부는 상대하는 제1 기판유지면 및 제2 기판유지면의 상기 상대조합을 제어하여, 상기 상대조합의 상기 제1 기판유지면에 의해 유지되는 기판이 이로부터 해제되고, 상기 상대조합의 제2 기판유지면에 의해 유지되도록 하는, 기판 검사장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 촬상부는

   상기 병렬조합 내의 상기 제1 기판유지면에 의해 유지되는 기판의 제2 주면 을 촬상하는 제1 촬상 장치;

   상기 병렬조합 내의 상기 제2 기판유지면에 의해 유지되는 기판의 제1 주면을 촬상하는 제2 촬상 장치;

   상기 제1 촬상장치 및 제2 촬상장치를 지지하는 지지부재; 및

   제1 기판유지면 및 이것과 병렬 배치된 제2 기판유지면으로 구성된 병렬조합에 평행한 방향으로 상기 지지부재를 이동시키는 선형 구동부를 포함하는, 기판 검사장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 제1 검사 스테이지는 상기 제1 회전축 주위의 네 방향에 설치된 네 개의 제1 기판유지면을 가지고,

   상기 제2 검사 스테이지는 상기 제2 회전축 주위의 네 방향에 설치된 네 개의 제2 기판유지면을 가지는, 기판 검사장치.
5. 제4항에 있어서,

   상기 제1 회전축 및 상기 제2 회전축은 수평방향으로 서로 병렬 배치되고,

   상기 회전 구동부는 상기 제1 검사 스테이지 및 상기 제2 검사 스테이지를 회전시켜서 상기 네 개의 제1 기판유지면들 중 적어도 하나 및 상기 네 개의 제2 기판유지면들 중 적어도 하나를 서로 상대시키며,

   상기 촬상부는 상기 제1 검사 스테이지 및 상기 제2 검사 스테이지의 상면에 각각 서로 병렬 배치되는, 제1 기판유지면 및 제2 기판유지면으로 구성된 병렬조합에 의해 유지되는 기판들의 주면들을 동시에 촬상하고,

   상기 기판 공급부는 상기 제1 검사 스테이지의 하면에 위치한 제1 기판유지면에 기판을 공급하며,

   상기 기판 배출부는 상기 제2 검사 스테이지의 하면에 위치한 제2 기판유지면에 의해 유지되는 기판을 배출하고,

   기판은 제1 기판유지면으로부터 이것에 상대하는 제2 기판유지면으로 전달되는, 기판 검사장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 기판 검사장치는 상기 네 개의 제1 기판유지면 또는 상기 네 개의 제2 기판유지면을 제어하여 상기 기판을 유지 및 해제하는 제어부를 더 포함하며,

   상기 제1 검사 스테이지는 상기 네 개의 제1 기판유지면들을 이동시켜서 상기 제1 회전축으로부터의 거리를 변경시키는 제1 기판유지면 구동부를 포함하고,

   상기 제2 검사 스테이지는 상기 네 개의 제2 기판유지면들을 이동시켜서 상기 제2 회전축으로부터의 거리를 변경시키는 제2 기판유지면 구동부를 포함하며,

   상기 제1 기판유지면 구동부 및 상기 제2 기판유지면 구동부는 제1 기판유지면 및 이것에 상대하는 제2 기판유지면으로 구성된 상대조합을, 각각 상기 제1 회전축 및 상기 제2 회전축으로부터 이동시켜서, 상기 상대조합의 상기 제1 기판유지면에 의해 유지되는 기판의 제2 주면이 상기 상대조합의 상기 제2 기판유지면과 접 하도록 하고,

   상기 제어부는 상기 제1 기판유지면 및 이것에 상대하는 상기 제2 기판의 상기 상대조합을 제어하여, 상기 상대조합의 상기 제1 기판유지면에 의해 유지되는 기판이 상기 상대조합의 상기 제1 기판유지면으로부터 해제되어서, 상기 상대조합의 상기 제2 기판유지면에 전달되고 이것에 의해 유지되도록 하는, 기판 검사장치.
7. 제5항에 있어서, 상기 기판 검사장치는 상기 촬상부의 촬상 영역에 고정된 접촉부재를 더 포함하며,

   상기 제1 검사 스테이지는 상기 네 개의 제1 기판유지면들을 이동시켜서 상기 제1 회전축으로부터의 거리를 변경시키는 제1 기판유지면 구동부를 포함하고,

   상기 제2 검사 스테이지는 상기 네 개의 제2 기판유지면들을 이동시켜서 상기 제2 회전축으로부터의 거리를 변경시키는 제2 기판유지면 구동부를 포함하고,

   상기 제1 기판유지면 구동부 및 상기 제2 기판유지면 구동부는 제1 기판유지면 및 이것과 병렬 배치된 제2 기판유지면으로 구성된 병렬조합을, 각각 제1 회전축 및 제2 회전축으로부터 멀리 이동시켜서, 상기 제1 기판유지면 및 이것과 병렬 배치된 상기 제2 기판유지면의 상기 병렬조합을 그들의 각 접촉부재와 접하도록 배치하는, 기판 검사장치.
8. 제5항에서,

   상기 기판 배출부는,

   배출된 기판을 수납하는 복수의 기판 케이스; 및

   소정의 수직축을 중심으로 회전하는 회전평면을 구비한 턴테이블로서, 상기 회전평면은 그 위에 실장된 복수의 기판 케이스들을 가지는, 턴테이블을 포함하며,

   상기 기판 배출부는 상기 턴테이블을 회전시켜서, 상기 복수의 기판 케이스들 중의 하나가, 상기 제2 검사 스테이지의 하면에 배치된 상기 제2 기판유지면에 의해 유지되는 상기 기판에 따라서 상기 제2 검사 스테이지의 하면에 위치한 상기 제2 기판유지면 바로 아래에 배치되게 하는, 기판 검사장치
9. 기판의 양면을 화상으로 촬상해서 검사하는 기판 검사 방법으로서, 상기 방법은,

   제1 회전축 주위에 설치된 복수의 제1 기판유지면을 포함하는 제1 검사 스테이지에 상기 기판을 공급하는 기판 공급 단계로서, 상기 복수의 제1 기판유지면 중 적어도 하나는 상기 기판의 제1 주면에 접하여서 상기 기판을 유지하는, 기판 공급 단계;

   제1 기판유지면 및 이것과 병렬 배치된 제2 기판유지면으로 구성된 병렬조합에 의해 유지되는 기판들의 주면들을 동시에 촬상하는 촬상 단계;

   제1 검사 스테이지와 나란히 설치되고 제2 회전축 주위에 설치된 복수의 제2 기판유지면을 포함하는 제2 검사 스테이지로부터, 상기 복수의 제2 기판유지면에 의해 유지되는 기판을 배출하는 기판 배출 단계;

   제1 기판유지면에 의해, 상기 제1 기판유지면과 상대하는 제2 기판유지면에 기판을 전달하여 상기 제2 기판유지면이 상기 기판의 제2 주면과 접하도록 하고, 이로써, 상기 제2 기판유지면은 상기 기판을 유지하게 되는 기판 전달 단계; 및

   상기 제1 회전축을 중심으로 상기 제1 검사 스테이지를 회전시키고 상기 제2 회전축을 중심으로 상기 제2 검사 스테이지를 회전시킴으로써 상기 복수의 제1 기판유지면 및 상기 복수의 제2 기판유지면의 방향을 변경하는 회전 단계를 포함하며,

   상기 기판 공급 단계, 상기 촬상 단계, 상기 배출 단계 및 상기 기판 전달 단계를 동시에 실행하는 기판 검사 방법.
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