JP4495473B2 - 検査システム - Google Patents
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Description
r3<r1<r2
r3<r1<r2
このような関係を持つヘッド8を使用することにより、製品として実際に使用されるレンズ領域を汚したり傷つけたりすることなく、レンズLを保持することができ、かつ暗視野照明を用いてレンズLを撮像した時に、撮像画像にヘッド8の当接面8aが無用に映り込むことを有効に回避することができる。
8 ヘッド
10 検査部
10A 保持・搬送部
10B 撮像部
51〜53 トレイ
100 検査システム
Claims (12)
- 供給トレイにある複数のレンズを順次検査部にて検査し、該検査部における検査結果に対応した収納トレイに該レンズを振り分ける検査システムであって、
前記検査部は、前記レンズを所定の検査位置で保持する保持手段と、前記レンズを撮像する撮像手段とを有し、
前記撮像手段は、
前記検査位置にある前記レンズを含む所定範囲を撮像する撮像部と、
前記撮像部と前記レンズが略共役な関係になる位置に配設される対物光学系と、
前記レンズと前記対物光学系との間に配設され、少なくとも前記所定範囲を照明する光を照射する発光部と、を有し、
前記保持手段における前記レンズとの当接面と、前記撮像手段とは、検査位置にある前記レンズを挟んで対峙しており、
前記保持手段は、該保持手段に着脱自在に構成され、前記当接面の直径が各々異なる複数のヘッドを有し、
前記発光部から前記光が前記対物光学系の光軸と略平行に照射されるか否かに対応して、所定の直径を有するヘッドが前記保持手段に装着され、
前記保持手段は、前記レンズを前記供給トレイから前記検査位置まで搬送し、かつ前記検査位置にある前記レンズを前記収納トレイに搬送し、
前記発光部は、前記対物光学系の光軸に対して斜めに前記光を照射し、
前記所定の直径r1、前記レンズの口径r2、前記レンズの有効径r3が、以下の関係、
r3<r1<r2
を満たす、
ことを特徴とする検査システム。 - 供給トレイにある複数のレンズを順次検査部にて検査し、該検査部における検査結果に対応した収納トレイに該レンズを振り分ける検査システムであって、
前記検査部は、前記レンズを所定の検査位置で保持する保持手段と、前記レンズを撮像する撮像手段とを有し、
前記撮像手段は、
前記検査位置にある前記レンズを含む所定範囲を撮像する撮像部と、
前記撮像部と前記レンズが略共役な関係になる位置に配設される対物光学系と、
前記レンズと前記対物光学系との間に配設され、少なくとも前記所定範囲を照明する光を照射する発光部と、を有し、
前記保持手段における前記レンズとの当接面と、前記撮像手段とは、検査位置にある前記レンズを挟んで対峙しており、
前記保持手段は、該保持手段に着脱自在に構成され、前記当接面の直径が各々異なる複数のヘッドを有し、
前記発光部から前記光が前記対物光学系の光軸と略平行に照射されるか否かに対応して、所定の直径を有するヘッドが前記保持手段に装着され、
前記保持手段は、前記レンズを前記供給トレイから前記検査位置まで搬送し、かつ前記検査位置にある前記レンズを前記収納トレイに搬送し、
前記発光部は、前記対物光学系の光軸に対して略平行に前記光を照射し、
前記所定の直径は、前記レンズの口径よりも長い、
ことを特徴とする検査システム。 - 請求項2に記載の検査システムにおいて、
前記当接面は、前記レンズよりも高い反射率を有することを特徴とする検査システム。 - 請求項3に記載の検査システムにおいて、
前記当接面は、鏡面加工がなされていることを特徴とする検査システム。 - 前記レンズが前記検査位置にある状態において、前記当接面の中心は前記対物光学系の光軸上にあり、かつ前記レンズの中心軸と前記対物光学系の光軸は略一致することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の検査システム。
- 請求項1から請求項5のいずれかに記載の検査システムにおいて、
前記対物光学系の光軸は、前記供給トレイの載置面および前記収納トレイの載置面と略直交することを特徴とする検査システム。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の検査システムにおいて、
前記保持手段は、前記レンズを吸引する吸引手段を有しており、該吸引手段が前記当接面から前記対物光学系の光軸に沿う方向に前記レンズを吸引することにより前記レンズを保持することを特徴とする検査システム。 - 請求項1から請求項7のいずれかに記載の検査システムにおいて、
前記レンズの形状を検査することを特徴とする検査システム。 - 請求項1から請求項8のいずれかに記載の検査システムにおいて、
前記保持手段は、前記対物光学系の光軸に平行な二つの軸を有し、該二つの軸と直交する面内で各軸に対して回動自在なアーム型ロボットであることを特徴とする検査システム。 - 請求項1から請求項9のいずれかに記載の検査システムにおいて、
前記保持手段は、前記対物光学系の光軸に直交する面内において、互いに直交する二つの方向に移動自在なアーム型ロボットであることを特徴とする検査システム。 - 請求項3から請求項10のいずれかに記載の検査システムにおいて、
前記保持手段が前記レンズを前記供給トレイから前記検査位置まで搬送するルート上に、前記検査位置において前記レンズの中心軸が前記対物光学系の光軸と略一致するように、前記レンズの位置ずれを補正する位置ずれ補正手段をさらに有することを特徴とする検査システム。 - 請求項11に記載の検査システムにおいて、
前記位置ずれ補正手段は、前記レンズが一時的に載置されるテーブルと、前記テーブルの中心を通る中心線を基準として、前記テーブルの載置面に沿って互いに同量だけ離反しあるいは接近する方向にスライドするレンズ挟持手段と、を有し、
前記保持手段は、前記当接面の中心が前記中心線上に位置するまで駆動すると、前記テーブルに前記レンズを載置し、前記レンズ挟持手段によって挟持された前記レンズを再び保持、搬送することを特徴とする検査システム。
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