JPH1126520A - プローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセットＣからメインチャック１９へウエハ
Ｗを搬送するまでにピンセット１５が複数回の正逆回転
を繰り返す上に、ピンセット１５がカセットＣからその
反対側まで１８０°回転しなくてはならないため、ピン
セット１５の動作範囲が広くなり、しかもウエハＷのプ
リアライメント及び識別のために２箇所で光学機器が必
要であり、コスト的に高くなる。 【解決手段】 本発明のプローブ装置１０は、ローダ室
１１内でウエハＷを搬送するピンセット１５と、このピ
ンセット１５でウエハＷを搬送する間にウエハＷを光学
的に検出してウエハＷのプリアライメントを行うエッジ
検出手段１７と、このエッジ検出手段１７による検出の
前後いずれかにウエハＷを光学的に識別するウエハ識別
機器１８と、ローダ室１１に隣接するプローバ室１２内
でウエハＷを第１撮像手段２３により撮像してウエハＷ
のアライメントを行うアライメント手段２２とを備え、
第１撮像手段２３は、エッジ検出手段１７及びウエハ識
別機器１８を兼ねることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プローブ装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来のプローブ装置１０は、例えば図
５、図６に示すように、カセットＣ内に収納されたウエ
ハＷを１枚ずつ取り出して搬送するローダ室１１と、こ
のローダ室１１に隣接しローダ室１１から搬送されたウ
エハＷを検査するプローバ室１２と、このプローバ室１
２及びローダ室１１を制御するコントローラ１３と、こ
のコントローラ１３を操作する操作パネルを兼ねる表示
装置１４とを備えて構成されている。

【０００３】上記ローダ室１１には水平方向で進退動可
能で且つθ方向に正逆回転可能なピンセット１５が配設
され、このピンセット１５を介してカセットＣ内のウエ
ハＷを１枚ずつ取り出して搬送するようにしてある。ま
た、ピンセット１５の回転軸の近傍には昇降可能でθ方
向に正逆回転可能なサブチャック１６及びウエハＷのオ
リエンテーションフラット（以下、単に「オリフラ」と
称す。）を光学的に検出するエッジ検出センサ１７がそ
れぞれ配設され、ピンセット１５によってウエハＷを搬
送する間に、ウエハＷをサブチャック１６上に載置し、
サブチャック１６がθ方向で回転する間にエッジ検出セ
ンサ１７によりにウエハＷのオリフラを検出し、オリフ
ラを基準にしてウエハＷをプリアライメントするように
してある。更に、ローダ室１１内にはピンセット１５及
びサブチャック１６を挟んでカセットＣと反対側の位置
に光学的文字読取装置やバーコードリーダ等のウエハ識
別機器１８が配設され、このウエハ識別機器１８を介し
てウエハＷの表面に設けられた文字情報やバーコード等
の識別情報を読み取り、ウエハＷを管理するようにして
ある。

【０００４】上記ローダ室１１に隣接するプローバ室１
２にはウエハＷを載置するメインチャック１９が配設さ
れ、このメインチャック１９は内蔵の駆動機構を介して
Ｚ及びθ方向に移動するようになっている。また、メイ
ンチャック１９はＸ、Ｙステージ２０、２１を介して
Ｘ、Ｙ方向に移動するようになっている。また、プロー
バ室１２内にはアライメント手段２２が配設され、この
アライメント手段２２を介してウエハＷのアライメント
を行った後、ウエハＷに形成された被検査素子（チッ
プ）とプローブカード（図示せず）のプローブ針とを接
触させて各チップの電気的特性検査を順次行うようにし
てある。尚、検査時のテスト信号は、テスタからテスト
ヘッドを介してプローブカード及びウエハＷの各チップ
へ送信され、各チップについて検査を行うようにしてあ
る。

【０００５】ところで、ウエハＷの検査を行う時には上
述したように予めアライメント手段２２を用いてメイン
チャック１９上のウエハＷをアライメントした後、ウエ
ハＷの各チップを１個ずつ正確に検査するようにしてい
る。このアライメント手段２２は、図５、図６に示すよ
うに、ウエハＷ等を撮像する例えばＣＣＤカメラからな
る撮像手段２３と、この撮像手段２３が搭載されたアラ
イメントブリッジ２４と、このアライメントブリッジ２
４をＹ方向に移動可能に支持する左右一対のＹ方向のガ
イドレール２５、２５と、両ガイドレール２５、２５に
従って往復移動させる左右一対の駆動機構例えばエアシ
リンダ（図示せず）とを備え、プローブセンタにおいて
メインチャック１９に付設された例えばＣＣＤカメラか
らなる撮像手段（図示せず）と協働してメインチャック
１９上のウエハＷをアライメントするようにしてある。

【０００６】次に、動作について説明する。まず、ロー
ダ室１１内でピンセット１５が駆動してカセットＣ内へ
進出し、１枚のウエハＷをピンセット１５上に載せる
と、ピンセット１５がカセットＣから後退した後、時計
方向へ９０°回転する。次いで、サブチャック１６が駆
動してＺ方向に上昇すると、サブチャック１６がピンセ
ット１５の二股状の切欠部を通り抜けてピンセット１５
からウエハＷを受け取ってサブチャック１６上面に真空
吸着する。そして、サブチャック１６がθ方向に正逆回
転すると、エッジ検出センサ１７によりウエハＷのオリ
フラを光学的に検出し、このオリフラを基準にウエハＷ
のプリアライメントを行う。その後、サブチャック１６
がＺ方向に下降し、サブチャック１６からピンセット１
５へウエハＷを引き渡すと、ピンセット１５がウエハＷ
を受け取って真空吸着する。引き続いてピンセット１５
が更に時計方向へ９０°回転し、ウエハＷに設けられた
文字等の識別記号がウエハ識別機器１８の真下に達する
と、ウエハ識別機器１８が識別記号を読み取り、その読
取情報をコントローラへ送信し、コントローラでは読取
情報に基づいてウエハＷを識別する。その後、ピンセッ
ト１５が反時計方向へ９０°回転し、その先端をプロー
バ室１２に向ける。

【０００７】この時点で、プローバ室１２内ではメイン
チャック１９が移動し、ローダ室１１の近傍で待機して
いる。一方、ピンセット１５が駆動し、ローダ室１１か
らプローバ室１２へ進出すると、メインチャック１９が
ピンセット１５からウエハＷを受け取って真空吸着す
る。これと同時にピンセット１５がプローバ室１２から
ローダ室１１へ後退する。メインチャック１９によって
ウエハＷを受け取ると、アライメントブリッジ２４が駆
動してプローバ室１２の後端の待機位置からプローブセ
ンタまで移動して停止する。その後、メインチャック１
９がＸ、Ｙ及びθ方向に移動する間に、ウエハＷ及びプ
ローブ針等を撮像手段によって撮像してウエハＷのアラ
イメントを行う。ウエハＷのアライメント動作が終了す
ると、メインチャック１９がＸ、Ｙ及びＺ方向に移動
し、ウエハＷの複数のチップについて順次電気的特性検
査を行う。検査終了後にはメインチャック１９からピン
セット１５へウエハＷを引き渡し、ピンセット１５を介
してウエハＷをカセットＣ内の元の場所へ戻し、次い
で、次にウエハＷを同一手順を繰り返して検査する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブ装置の場合には、ウエハＷをカセットＣからプ
ローバ室１２内のメインチャック１９へ引き渡す間に、
ピンセット１５がカセットＣ側へ回転し、カセットＣか
らウエハＷを取り出した後、ピンセット１５が逆方向に
９０°回転し、この位置でウエハＷのプリアライメント
を行った後、ピンセット１５はウエハ識別機器１８まで
更に９０°回転し、この位置でウエハＷを識別した後、
今度はピンセット１５が逆方向に９０°回転し、ピンセ
ット１５の先端をプローバ室１２へ向けるようにしてい
るため、カセットＣからメインチャック１９へウエハＷ
を搬送するまでにピンセット１５が複数回の正逆回転を
繰り返す上に、ピンセット１５がカセットＣからその反
対側まで１８０°回転しなくてはならないため、ピンセ
ット１５の動作範囲が広くなり、しかもエッジ検出セン
サ１７及びウエハ識別機器１８の２箇所の光学機器が必
要であり、コスト的に高くなるという課題があった。

【０００９】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、アライメント手段の撮像手段をプリアライ
メント用及び被検査体認識用の光学機器として利用する
ことにより光学機器の設置個数を削減してコストの低減
を達成すると共に、装置を小型化して検査のスループッ
トを高めることができるプローブ装置を提供することを
目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のプローブ装置は、ローダ室内で被検査体を搬送する搬
送機構と、この搬送機構で上記被検査体を搬送する間に
上記被検査体を光学的に検出して上記被検査体のプリア
ライメントを行う光学的検出手段と、この光学的検出手
段による検出の前後いずれかに上記被検査体を光学的に
識別する識別手段と、上記ローダ室に隣接するプローバ
室内で上記被検査体を撮像手段により撮像して上記被検
査体のアライメントを行うアライメント手段とを備え、
上記被検査体に形成された複数の被検査素子の検査を行
うプローブ装置において、上記撮像手段は、上記光学的
検出手段及び上記識別手段を兼ねることを特徴とするも
のである。

【００１１】また、本発明の請求項２に記載のプローブ
装置は、請求項１に記載の発明において、上記アライメ
ント手段は、上記撮像手段を搭載したアライメントブリ
ッジを有し、上記アライメントブリッジが上記ローダ室
と上記プローバ室の境界に沿って配置され且つ上記ロー
ダ室寄りの待機位置とプローブセンタとの間を往復移動
可能に構成されていることを特徴とするものである。

【００１２】また、本発明の請求項３に記載のプローブ
装置は、請求項１または請求項２に記載の発明におい
て、検査後の上記被検査素子の良否を識別するマークを
付けるマーカーを上記アライメントブリッジに付設した
ことを特徴とするものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図４に示す実施形態
に基づいて従来と同一または相当部分には同一符号を附
して本発明を説明する。本実施形態のプローブ装置１０
は、図１に示すように、従来と同様に互いに隣接するロ
ーダ室１１及びプローバ室１２とを備えている。ローダ
室１１内の正面側（図１の手前側）にはカセットＣが配
置され、このカセットＣは図示しない昇降機構を介して
Ｚ方向に昇降するようになっている。カセットＣの奥に
は搬送機構３０が配設され、図１、図２に示すように回
転軸３１を介してθ方向に略９０°正逆回転するように
してある。そして、ローダ室１１とプローバ室１２は隔
壁（図示せず）により区画され、この隔壁に形成された
開閉可能な開口部を介してローダ室１１とプローバ室１
２との間でウエハＷを遣取りするようにしてある。

【００１４】また、上記プローバ室１２内には例えばＣ
ＣＤカメラからなる第１撮像手段２３を有するアライメ
ントブリッジ２４が隔壁に沿って配設され、この第１撮
像手段２３が従来のアライメント用のエッジ検出センサ
１７及びウエハ識別用のウエハ識別機器１８の役割を兼
ねている。これに伴ってアライメントブリッジ２４は、
ローダ室１１とプローバ室１２の隔壁に沿って配置さ
れ、隔壁近傍の待機位置とプローブセンタとの間をＸ方
向に往復移動するようにしてある。従って、アライメン
トブリッジ２４が待機している時に、ローダ室１１から
プローバ室１２へ引き渡されるウエハＷを第１撮像手段
２３を介してプリアライメントすると共にウエハＷの識
別記号を読み取るようにしてある。

【００１５】本実施形態で用いられる搬送機構３０は、
図１〜図３に示すように、ピンセット１５及びサブチャ
ック１６が一体化しており、これら両者１５、１６が支
持板３２によって支持されている。更に、支持板３２は
基台３３に内蔵された駆動機構を介して基台３３のガイ
ドレール（図示せず）に従って図１〜図３の矢印Ａで示
すように前後方向に移動するようにしてある。また、ピ
ンセット１５は、支持板３２の基端部に配設された駆動
機構１５Ａを介してサブチャック１６に対して相対的に
図１、図２の矢印Ｂで示すように前後方向に移動するよ
うにしてある。このサブチャック１６は支持板３２の先
端部に配設された駆動機構１６Ａを介して昇降すると共
にθ方向に正逆回転するようにしてある。尚、駆動機構
１５Ａ、１６Ａはいずれも従来公知のものを用いること
ができ。例えば、駆動機構１５Ａはベルト及びプーリ機
構あるいはナット部材及びボールネジ等によって構成さ
れている。

【００１６】そして、ウエハＷを搬送する時には搬送機
構３０は以下のように駆動する。ウエハＷをカセットＣ
から取り出す段階では、搬送機構３０が回転軸３１を介
して回転し、その先端をカセットＣに向けると、ピンセ
ット１５が駆動機構１５Ａを介して進退動してカセット
Ｃ内のウエハＷを１枚ずつ取り出す。また、ウエハＷを
プローバ室１２内のメインチャック１９へ引き渡す段階
では、搬送機構３０が回転軸３１を介して時計方向へ９
０°回転し、その先端をプローバ室１２に向ける。ウエ
ハＷをプローバ室１２へ引き渡す前に、図２に示すよう
に搬送機構３０ではサブチャック１６が上昇してピンセ
ット１５からウエハＷを受け取り、この状態で駆動機構
１６Ａを介してθ方向に正逆回転し、アライメント手段
２２の第１撮像手段２３を介してウエハＷのプリアライ
メントを行う。更にプリアライメント後のウエハＷをプ
ローバ室１２内のメインチャック１９へ引き渡す間に第
１撮像手段２３を介してウエハＷを識別するようにして
ある。尚、ピンセット１５及びサブチャック１６は真空
吸着機構を装備し、ウエハＷをそれぞれ真空吸着し、固
定するようになっている。

【００１７】上記アライメントブリッジ２４は、上述の
ようにローダ室１１とプローバ室１２を区画する隔壁に
沿って配置されている。そして、ローダ室１１側に最も
近づいた位置で待機するようにしてある。この待機位置
でアライメントブリッジ２４に搭載された第１撮像手段
２３を介して搬送機構３０によって搬送されて来たウエ
ハＷをプリアライメントし、ウエハＷを識別するように
してある。搬送機構３０のウエハＷが第１撮像手段２３
の下方に達すると、図２に示すように搬送機構３０のサ
ブチャック１６が上昇してピンセット１５からウエハＷ
を受け取り、θ方向に正逆回転し、この間に第１撮像手
段２３によってウエハを撮像するようにしてある。そし
て、その撮像された画像データに基づいてプリアライメ
ントを行うようにしてある。あるいは、第１撮像手段２
３の撮像画像のオリフラが表示装置１４の表示画面（図
５参照）に表示された基準マークと重なる位置で停止す
るようにしてある。この動作と前後して第１撮像手段２
３によってウエハＷに設けられた識別記号Ｌ（図４参
照）を撮像し、ウエハＷの種類を識別するようにしてあ
る。また、第１撮像手段２３は、低倍率から高倍率まで
撮像可能にしてあり、必要に応じて倍率を適宜変更する
ようにしてある。

【００１８】また、上記アライメントブリッジ２４のガ
イドレール２５、２５は、図１に一点鎖線で部分的に示
すように、待機位置からＸ方向に延設され、上記アライ
メントブリッジ２４が待機位置とプローブセンタの間で
Ｘ方向に往復移動するようにしてある。ガイドレール２
５にはストッパ（図示せず）が配設され、アライメント
ブリッジ２４をプローブセンタで止めてウエハＷのアラ
イメントを行うようにしてある。また、アライメントブ
リッジ２４にはマーカー４０が付設され、このマーカー
４０によって検査後のチップＴ（図４参照）のうち不良
品チップに所定のマークをマーキングし、良品チップか
ら不良品チップを識別するようにしてある。マーカー４
０としては従来公知のものを用いることができる。

【００１９】また、上記メインチャック１９は、従来と
同様に、Ｘステージ２０、Ｙステージ２１を介してＸ、
Ｙ方向に移動すると共に、メインチャック１９に内蔵さ
れた駆動機構によりＺ、θ方向に移動するようにしてあ
る。Ｘステージ２０は、Ｙステージ２１上でモータ（図
示せず）で駆動するボールネジ２０Ｂを介してガイドレ
ール２０Ｃ、２０Ｃに従ってＸ方向に往復移動し、Ｙス
テージ２１は、基台上でモータ２１Ａで駆動するボール
ネジ２１Ｂを介してガイドレール２１Ｃ、２１Ｃに従っ
てＹ方向に往復移動するようにしてある。

【００２０】また、図１に示すようにメインチャック１
９周面には固定板１９Ａが水平方向に延設され、この固
定板１９Ａ上に高倍率と低倍率に切換可能なＣＣＤカメ
ラからなる第２撮像手段１９Ｂが配設され、高倍率でプ
ローブカード５０の針先を拡大して撮り、低倍率でプロ
ーブカード５０を広い領域で撮ってその画像を図示しな
い表示装置の表示画面に表示するようにしてある。更
に、固定板１９Ａ上には第２撮像手段１９Ｂの光軸と直
交し、その焦点を合わせるターゲット１９Ｃが配設さ
れ、このターゲット１９Ｃは第２撮像手段１９Ｂの焦点
位置に対して進退動するようにしてある。このターゲッ
ト１９Ｃは、その金属薄膜を第２撮像手段１９Ｂにより
画像認識することにより、その位置が第２撮像手段１９
Ｂの合焦面となり、その金属薄膜を第１撮像手段２３に
より画像認識することにより、その位置が第１撮像手段
２３の合焦面となるようにしてある。

【００２１】次に、動作について説明する。ウエハＷの
検査に際し、ローダ室１１内のカセットＣからプローバ
室１２内のメインチャック１９へウエハＷを搬送する時
には、まず搬送機構３０が回転軸３１を介して回転し、
その先端がカセットＣの方向を向く。ピンセット１５が
駆動機構１５Ａを介して一点鎖線で示すようにカセット
Ｃ内へ進入する。この状態でウエハＷをピンセット表面
に真空吸着した後、ピンセット１５がカセットＣから後
退した後、時計方向へ９０°回転し、プローバ室１２の
方向を向く。次いで、搬送機構３０のピンセット１５、
サブチャック１６が基台３３内の駆動機構を介して基台
３３上で進出し、プローバ室１２内で待機中のアライメ
ントブリッジ２４の下方に達する。

【００２２】ウエハＷがアライメントブリッジ２４の下
方に達する過程でサブチャック１６が駆動機構１６Ａを
介して上昇し、図２に示すようにサブチャック１６がピ
ンセット１５上のウエハＷを受け取って真空吸着する。
尚、ウエハＷを授受する時にはピンセット１５はウエハ
Ｗの真空吸着を解除している。サブチャック１６により
ウエハＷを受け取ると、サブチャック１６がθ方向に正
逆回転すると共に、アライメントブリッジ２４の第１撮
像手段２３が作動して回転中のウエハＷを撮像する。第
１撮像手段２３によりウエハＷの識別記号Ｌを撮像し、
その文字情報等からウエハＷの種類を認識する。更に、
ウエハＷの回転中に、第１撮像手段２３によりウエハＷ
を撮像し、その画像のデータによりウエハＷのプリアラ
イメントを行う。引き続き、サブチャック１６が駆動機
構１６Ａを介して下降し、ウエハＷを再びピンセット１
５へ引き渡す。

【００２３】ピンセット１５がウエハＷを受け取ると、
図３に示すようにピンセット１５が駆動機構１５Ａを介
して更に進出してプローバ室１２内のメインチャック１
９上へウエハＷを引き渡す。メインチャック１９がスリ
ーピンを介してウエハＷを受け取った後真空吸着する
と、アライメントブリッジ２４がガイドレール２５、２
５に従って待機位置からプローブセンタまで進出して停
止する。これと並行してメインチャック１９がプローブ
センタへ移動し、プローブセンタを基準にメインチャッ
ク１９がＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動すると共に第１、
第２撮像手段２３、１９Ｂ及びターゲット１９Ｃが作動
し、ウエハＷのアライメントを行う。アライメント後、
アライメントブリッジ２４がプローブセンタから待機位
置へ戻る。その後、メインチャック１９が駆動してウエ
ハＷをインデックス送りしながらウエハＷの電気的特性
検査を実施する。そして、ウエハＷの良品チップと不良
品チップをそれぞれコントローラの記憶部（図示せず）
に記憶する。

【００２４】検査終了後、メインチャック１９がローダ
室１１側へ移動してウエハＷの受け渡し位置へ達する
と、これと並行して搬送機構３０がプローバ室１２を向
いた状態になる。そして、搬送機構３０のピンセット１
５がプローバ室１２内へ進出し、メインチャック１９か
ら検査後のウエハＷを受け取り、真空吸着する。次い
で、ピンセット１５とサブチャック１６が協働してウエ
ハＷを回転させると共にＸ方向に移動する間にアライメ
ントブリッジ２４に付設されたマーカー４０がコントロ
ーラの制御下で駆動し、ウエハＷの不良品チップをマー
キングする。マーキング後、搬送機構３０が図１に示す
位置まで後退すると、反時計方向に９０°回転した後、
ピンセット１５が駆動機構１５Ａを介してカセットＣ内
へ進出し、検査後のウエハＷを元の位置へ戻す。次い
で、ピンセット１５がカセットＣから後退し、再びカセ
ットＣ内へ進出し、次のウエハＷを受け取って次の検査
を行う。その後、上述した手順で動作を繰り返してカセ
ットＣ内の全てのウエハＷの検査を行う。

【００２５】以上説明したように本実施形態によれば、
アライメントブリッジ２４に搭載された第１撮像手段２
３がウエハＷのプリアライメント用のエッジ検出センサ
及びウエハＷの識別機器の機能を兼ね備えているため、
エッジ検出センサ及びウエハ識別機器を省略することが
でき、しかも搬送機構３０の回転領域、即ちその駆動範
囲が狭くなり、カセットＣからメインチャック１９まで
のウエハＷの搬送時間を短縮して検査のスループットを
向上させることができる。また、アライメントブリッジ
２４をローダ室１１とプローバ室１２の境界に沿って配
置したため、光学機器の削減と相俟ってプローブ装置本
体の奥行き寸法を短くすることができ、装置本体のコン
パクト化を図ることができる。更に、本実施形態によれ
ば、アライメントブリッジ２４にマーカー４０を付設
し、待機位置において不良品チップをマーキングするよ
うにしたため、ウエハＷのマーキングのために固有のス
ペースを設ける必要がなく、更なる装置本体のコンパク
ト化を達成することができ、しかも不良品チップのマー
キングは次のウエハＷの検査中に行うことができる。

【００２６】尚、本発明は上記実施形態に何等制限され
るものではなく、例えば、ピンセット１５として上下２
段のピンセットを設け、一方のピンセットで検査後のウ
エハをメインチャックから受け取ると同時に他方のピン
セットでアライメント済みのウエハをメインチャックへ
引き渡すようにすることができる。勿論、搬送機構３
０、アライメントブリッジ２４は必要に応じて適宜設計
変更することができることは云うまでもない。

【００２７】

【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項３に記載の発
明によれば、アライメント手段の撮像手段をプリアライ
メント用及び被検査体認識用の光学機器として利用する
ことにより光学機器の設置個数を削減してコストの低減
を達成すると共に、装置を小型化して検査のスループッ
トを高めることができるプローブ装置を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプローブ装置の一実施形態を示す図
で、ローダ室及びプローバ室の内部を示す斜視図であ
る。

【図２】図１に示す搬送機構によってウエハをプリアラ
イメントする状態を示す側面図である。

【図３】図１に示す搬送機構によってウエハをメインチ
ャックに引き渡す直前の状態を示す側面図である。

【図４】ウエハを示す平面図である。

【図５】従来のプローブ装置のプローバ室を破断して示
す斜視図である。

【図６】図５に示すプローブ装置のローダ室及びプロー
バ室の内部を示す平面図である。

【符号の説明】

１１ ローダ室 １２ プローバ室 １５ ピンセット １６ サブチャック １７ エッジ検出センサ １８ ウエハ識別機器 １９ メインチャック ２３ 第１撮像手段（撮像手段） ２４ アライメントブリッジ ３０ 搬送機構 Ｗ ウエハ（被検査体）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ローダ室内で被検査体を搬送する搬送機
   構と、この搬送機構で上記被検査体を搬送する間に上記
   被検査体を光学的に検出して上記被検査体のプリアライ
   メントを行う光学的検出手段と、この光学的検出手段に
   よる検出の前後いずれかに上記被検査体を光学的に識別
   する識別手段と、上記ローダ室に隣接するプローバ室内
   で上記被検査体を撮像手段により撮像して上記被検査体
   のアライメントを行うアライメント手段とを備え、上記
   被検査体に形成された複数の被検査素子の検査を行うプ
   ローブ装置において、上記撮像手段は、上記光学的検出
   手段及び上記識別手段を兼ねることを特徴とするプロー
   ブ装置。
2. 【請求項２】 上記アライメント手段は、上記撮像手段
   を搭載したアライメントブリッジを有し、上記アライメ
   ントブリッジが上記ローダ室と上記プローバ室の境界に
   沿って配置され且つ上記ローダ室寄りの待機位置とプロ
   ーブセンタとの間を往復移動可能に構成されていること
   を特徴とする請求項１に記載のプローブ装置。
3. 【請求項３】 検査後の上記被検査素子の良否を識別す
   るマークを付けるマーカーを上記アライメントブリッジ
   に付設したことを特徴とする請求項１または請求項２に
   記載のプローブ装置。