JP2758748B2 - 電子回路基板における布線検査装置 - Google Patents
電子回路基板における布線検査装置Info
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- JP2758748B2 JP2758748B2 JP3265803A JP26580391A JP2758748B2 JP 2758748 B2 JP2758748 B2 JP 2758748B2 JP 3265803 A JP3265803 A JP 3265803A JP 26580391 A JP26580391 A JP 26580391A JP 2758748 B2 JP2758748 B2 JP 2758748B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子回路基板(以下、
PWBと称す)における電気検査(布線検査)を行う布
線検査装置に関し、特にPWBの表裏両面を撮像し、そ
の撮像画像を画像処理を行い、PWBの供給から電気検
査、及び不良品、良品の振り分け並びに受取までを全自
動にて行うPWBにおける布線検査装置に関する。
PWBと称す)における電気検査(布線検査)を行う布
線検査装置に関し、特にPWBの表裏両面を撮像し、そ
の撮像画像を画像処理を行い、PWBの供給から電気検
査、及び不良品、良品の振り分け並びに受取までを全自
動にて行うPWBにおける布線検査装置に関する。
【0002】図2は従来のPWBにおける布線検査装置
の一例における全体の構成を示す図、図3は図2の検査
部を示すブロック図である。従来、この布線検査装置
は、図2に示すように、PWBを検査部29に自動的に
移載するローダ部28と、PWBを検査する検査部29
と、検査されたPWB1を良否に振分ける良品・不良品
種分部30とで構成されている。
の一例における全体の構成を示す図、図3は図2の検査
部を示すブロック図である。従来、この布線検査装置
は、図2に示すように、PWBを検査部29に自動的に
移載するローダ部28と、PWBを検査する検査部29
と、検査されたPWB1を良否に振分ける良品・不良品
種分部30とで構成されている。
【0003】また、ローダ部28は、モータ3a及び送
りねじ4aによって載置台2aを上下に寸動させるエレ
ベータ27aと、PWB1を吸着する吸着ユニット5を
移動させる供給キャリア6と、この供給キャリア6から
移載されたPWB1を移動させるコンベア7と、このコ
ンベア7の前進端に位置し、コンベア7のパスラインよ
り上方に突出あるいは下方に降下するストッパ8とで構
成されている。
りねじ4aによって載置台2aを上下に寸動させるエレ
ベータ27aと、PWB1を吸着する吸着ユニット5を
移動させる供給キャリア6と、この供給キャリア6から
移載されたPWB1を移動させるコンベア7と、このコ
ンベア7の前進端に位置し、コンベア7のパスラインよ
り上方に突出あるいは下方に降下するストッパ8とで構
成されている。
【0004】さらに、検査部29は、ローダ部28のコ
ンベア7からPWB1を移載し、移動させるコンベア9
と、このコンベア9のパスラインより上方に突出、及
び、下方に降下するストッパ10と、ストッパ10にて
停止したPWB1の下方に位置し、PWB1の下面の電
気検査及びPWB1の位置固定を行うための基準ピンを
有する検査治具15bと、検査治具15bを載置すると
ともにPWB1を加圧検査するための加圧シリンダ16
c,16dを備えるピンボードユニット13bと、スト
ッパ10にて停止したPWB1の上方に位置し、PWB
1の上面に電気検査及びPWB1を保持する治具14
と、この検査治具14で保持されるPWB1を加圧検査
するための加圧シリンダ16a,16bを備えるピンボ
ードユニット12と、ピンボードユニット12に接続さ
れ、ピンボードユニット12をPWB1上面に対して
X、Y、θ方向に微移動させる位置決め駆動部17aと
ピンボードユニット12とコンベア9の中間に位置しP
WB1の前方側及び後方側の2カ所にてPWB1の位置
決めマークと検査治具14の位置決めマークの相対位置
ずれを計測するCCDカメラ19a,19bと、計測後
は上検査治具14の昇降行程と干渉しない位置までCC
Dカメラ19a,19bを退避させ、CCDカメラ19
a,19bの計測画像をもとに画像処理を行い、位置決
め駆動部17aに処理結果を出力する画像処理部と、加
圧シリンダ16a,16bにて上ピンボードユニット1
2は加工し、PWB1を加圧状態にした際に、電気回路
間の導通・絶縁、短絡・断線の電気検査を行なうスキャ
ン検査部とで構成されている。
ンベア7からPWB1を移載し、移動させるコンベア9
と、このコンベア9のパスラインより上方に突出、及
び、下方に降下するストッパ10と、ストッパ10にて
停止したPWB1の下方に位置し、PWB1の下面の電
気検査及びPWB1の位置固定を行うための基準ピンを
有する検査治具15bと、検査治具15bを載置すると
ともにPWB1を加圧検査するための加圧シリンダ16
c,16dを備えるピンボードユニット13bと、スト
ッパ10にて停止したPWB1の上方に位置し、PWB
1の上面に電気検査及びPWB1を保持する治具14
と、この検査治具14で保持されるPWB1を加圧検査
するための加圧シリンダ16a,16bを備えるピンボ
ードユニット12と、ピンボードユニット12に接続さ
れ、ピンボードユニット12をPWB1上面に対して
X、Y、θ方向に微移動させる位置決め駆動部17aと
ピンボードユニット12とコンベア9の中間に位置しP
WB1の前方側及び後方側の2カ所にてPWB1の位置
決めマークと検査治具14の位置決めマークの相対位置
ずれを計測するCCDカメラ19a,19bと、計測後
は上検査治具14の昇降行程と干渉しない位置までCC
Dカメラ19a,19bを退避させ、CCDカメラ19
a,19bの計測画像をもとに画像処理を行い、位置決
め駆動部17aに処理結果を出力する画像処理部と、加
圧シリンダ16a,16bにて上ピンボードユニット1
2は加工し、PWB1を加圧状態にした際に、電気回路
間の導通・絶縁、短絡・断線の電気検査を行なうスキャ
ン検査部とで構成されている。
【0005】一方、良品・不良品種分部は、コンベア9
と同様に搬送幅が同値、且つ、同一直線上に位置するコ
ンベア21と、このコンベア21中間部及び前端パスラ
イン上に位置し、搬送されるPWB1にスキャン検査部
からの良否判定情報によりパスラインより下方に突出さ
せ、不良品をコンベア22より除外するストッパ22
と、ストッパ22及びストッパ23にて振り分けられた
各々のPWB1を積載し、モータ3,3c及び送りねじ
4b,4cの駆動により昇降する良品・不良品のそれぞ
れを積載するエレベータ27b,27cとで構成されて
いる。
と同様に搬送幅が同値、且つ、同一直線上に位置するコ
ンベア21と、このコンベア21中間部及び前端パスラ
イン上に位置し、搬送されるPWB1にスキャン検査部
からの良否判定情報によりパスラインより下方に突出さ
せ、不良品をコンベア22より除外するストッパ22
と、ストッパ22及びストッパ23にて振り分けられた
各々のPWB1を積載し、モータ3,3c及び送りねじ
4b,4cの駆動により昇降する良品・不良品のそれぞ
れを積載するエレベータ27b,27cとで構成されて
いる。
【0006】次に、この布線検査装置の動作を説明す
る。まず、図4に示すローダ部28におけるモータ3a
の駆動で送りねじ4aを回転させ、PWB1を積載した
載置台2aを上昇させ、PWB1上面が一定高さで停止
させる。次に、停止と同時に吸着ユニット5はPWB1
を1枚吸着し、キャリア6にてコンベア7までPWB1
を搬送する。次に、コンベア7上のPWB1は、検査部
のコンベア9上のPWB1有無によって、有りの場合
は、ストッパ8にてPWB1を止め、コンベア7上で待
機させる。また、無い場合は、コンベア7を通過して検
査部のコンベア9へ搬送される。
る。まず、図4に示すローダ部28におけるモータ3a
の駆動で送りねじ4aを回転させ、PWB1を積載した
載置台2aを上昇させ、PWB1上面が一定高さで停止
させる。次に、停止と同時に吸着ユニット5はPWB1
を1枚吸着し、キャリア6にてコンベア7までPWB1
を搬送する。次に、コンベア7上のPWB1は、検査部
のコンベア9上のPWB1有無によって、有りの場合
は、ストッパ8にてPWB1を止め、コンベア7上で待
機させる。また、無い場合は、コンベア7を通過して検
査部のコンベア9へ搬送される。
【0007】次に、検査部29のコンベア9上を搬送さ
れたPWB1は、ストッパ10にて停止され、搬送停止
と同時にピンボードユニット13bが加圧シリンダ16
c,16dによって上昇し、図5に示す検査治具15b
に設けられた基準ピン26a,26bにPWB1を固定
する。次に、ピンボードユニット12と、PWB1の中
間に位置しPWBの前方側、及び後方側の2カ所にてC
CDカメラ19a,19bを用いて撮像し、PWB1の
位置決めマークと上側の検査治具14の位置決めマーク
の相対位置ずれ量を画像処理部18c,18dにて演算
し、位置ずれ量を位置決め駆動部17aに出力する。次
に、位置決め駆動部17aでは、画像処理部18c,1
8dの演算結果入力を基に検査治具14をPWB1面に
対してX,Y,θ方向に微移動を行う。次に、微移動完
了後、CCDカメラ19a,19bは、検査治具14の
昇降行程と、干渉しない位置まで退避し、CCDカメラ
19a,19bが退避した後、加圧シリンダ16a〜1
6dにて上下にある検査治具14,15bとPWB1は
加圧状態で挟まれる。
れたPWB1は、ストッパ10にて停止され、搬送停止
と同時にピンボードユニット13bが加圧シリンダ16
c,16dによって上昇し、図5に示す検査治具15b
に設けられた基準ピン26a,26bにPWB1を固定
する。次に、ピンボードユニット12と、PWB1の中
間に位置しPWBの前方側、及び後方側の2カ所にてC
CDカメラ19a,19bを用いて撮像し、PWB1の
位置決めマークと上側の検査治具14の位置決めマーク
の相対位置ずれ量を画像処理部18c,18dにて演算
し、位置ずれ量を位置決め駆動部17aに出力する。次
に、位置決め駆動部17aでは、画像処理部18c,1
8dの演算結果入力を基に検査治具14をPWB1面に
対してX,Y,θ方向に微移動を行う。次に、微移動完
了後、CCDカメラ19a,19bは、検査治具14の
昇降行程と、干渉しない位置まで退避し、CCDカメラ
19a,19bが退避した後、加圧シリンダ16a〜1
6dにて上下にある検査治具14,15bとPWB1は
加圧状態で挟まれる。
【0008】次に、スキャン検査部20にてPWB1の
電気回路間の導通・絶縁、短絡・断線の電気検査を行
う。次い、電気検査終了後のPWB1はコンペア21上
に搬送される。そして、スキャン検査部20からの不良
品判定あるいは良品判定上方に基づいて、ストッパ22
あるいはストッパ23にて載置台2b及び2cのいずれ
がに振り分け収納される。このように順次検査が終了し
たPWB1が積載されると、ボールネジ4b,4cいの
回転によりPWB1を収納した載置台2b,2cの高さ
が一定となるように、エレベータ27b,27cが動作
する。
電気回路間の導通・絶縁、短絡・断線の電気検査を行
う。次い、電気検査終了後のPWB1はコンペア21上
に搬送される。そして、スキャン検査部20からの不良
品判定あるいは良品判定上方に基づいて、ストッパ22
あるいはストッパ23にて載置台2b及び2cのいずれ
がに振り分け収納される。このように順次検査が終了し
たPWB1が積載されると、ボールネジ4b,4cいの
回転によりPWB1を収納した載置台2b,2cの高さ
が一定となるように、エレベータ27b,27cが動作
する。
【0009】このように、ローダ部28から一枚ずつP
WB1が送られ、検査部29で検査し、良品・不良品種
分部30で良否選列を行っていた。
WB1が送られ、検査部29で検査し、良品・不良品種
分部30で良否選列を行っていた。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】この従来の布線検査装
置では、検査治具に設けられた基準ピンにPWBを固定
し、PWB上面のみを撮像し、画像処理を行ってずれ量
を演算し、検査治具の微移動を行ってずれ補正を行って
いたため、PWBの上面は、上側の検査治具と、PWB
電気回路の位置決め用マークのずれ量を画像処理にて補
正可能であったが、PWB下面については、下側の検査
治具に設けられた基準ピンにてPWBを固定しているた
め、下側検査治具とPWBの位置決めマークのずれ量
(検査治具とPWB電気回路のずれ)を補正することが
出来なかった。また、製造上の理由から裏表の回路パタ
ーンとそれぞれの位置決めマークとのずれ量が同じにな
ることはない。さらに、PWBはそり易すく、測定時に
歪んだ状態で測定されることがある。従って上面の回路
パターンが正確に位置決めされても、下面の回路パター
ンは正確に位置決めされることにならない。加圧時によ
るずれを生ずることもある。このため、良品でも不良と
判定したり、あるいは逆の場合があるといった検査の不
確実性が問題となった。特に近年、回路の微細化、高密
度化になるにつれて、ますます問題となってくる。
置では、検査治具に設けられた基準ピンにPWBを固定
し、PWB上面のみを撮像し、画像処理を行ってずれ量
を演算し、検査治具の微移動を行ってずれ補正を行って
いたため、PWBの上面は、上側の検査治具と、PWB
電気回路の位置決め用マークのずれ量を画像処理にて補
正可能であったが、PWB下面については、下側の検査
治具に設けられた基準ピンにてPWBを固定しているた
め、下側検査治具とPWBの位置決めマークのずれ量
(検査治具とPWB電気回路のずれ)を補正することが
出来なかった。また、製造上の理由から裏表の回路パタ
ーンとそれぞれの位置決めマークとのずれ量が同じにな
ることはない。さらに、PWBはそり易すく、測定時に
歪んだ状態で測定されることがある。従って上面の回路
パターンが正確に位置決めされても、下面の回路パター
ンは正確に位置決めされることにならない。加圧時によ
るずれを生ずることもある。このため、良品でも不良と
判定したり、あるいは逆の場合があるといった検査の不
確実性が問題となった。特に近年、回路の微細化、高密
度化になるにつれて、ますます問題となってくる。
【0011】本発明の目的は、かかる問題を解消すべ
く、両面の回路パターンの位置を正確に認識し、確実に
検査出来る布線検査装置を提供することである。
く、両面の回路パターンの位置を正確に認識し、確実に
検査出来る布線検査装置を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、表裏面
に回路パターンが形成される電子回路基板を検査する電
子回路基板における布線検査装置において、表裏面に形
成された前記回路パターン及び位置マークを完全に露呈
させる状態で前記電子回路基板を掴み保持するとともに
前記電子回路基板に引張り力を与えて歪みを矯正する保
持手段と、前記電子回路基板の表裏面の該位置マークに
対応する基準の位置マークが形成され前記電子回路基板
の表裏面側にそれぞれに配置される一対の検査治具と、
前記電子回路基板と前記検査治具との間に挿入され前記
電子回路基板の表裏面と前記検査治具の表面を撮像する
撮像手段と、この撮像手段の画像信号を処理して前記検
査治具の基準の該位置マークと前記電子回路基板の該位
置マークとのずれ量を算出する画像処理部と、この画像
処理部により算出されたずれ量に応じて前記検査治具を
移動させ前記位置マークと前記基準の位置マークと合せ
る位置決め駆動部と、前記検査治具を載置するとともに
前記検査治具により前記電子回路基板を挟み付け前記検
査治具表面と前記電子回路基板の表裏面とをそれぞれ接
触させ信号授受を行なう一対のピンボードユニットとを
備える電子回路基板における布線検査装置である。ま
た、前記保持手段は前記電子回路基板の四隅を掴み保持
するクランプを備えることが望ましい。
に回路パターンが形成される電子回路基板を検査する電
子回路基板における布線検査装置において、表裏面に形
成された前記回路パターン及び位置マークを完全に露呈
させる状態で前記電子回路基板を掴み保持するとともに
前記電子回路基板に引張り力を与えて歪みを矯正する保
持手段と、前記電子回路基板の表裏面の該位置マークに
対応する基準の位置マークが形成され前記電子回路基板
の表裏面側にそれぞれに配置される一対の検査治具と、
前記電子回路基板と前記検査治具との間に挿入され前記
電子回路基板の表裏面と前記検査治具の表面を撮像する
撮像手段と、この撮像手段の画像信号を処理して前記検
査治具の基準の該位置マークと前記電子回路基板の該位
置マークとのずれ量を算出する画像処理部と、この画像
処理部により算出されたずれ量に応じて前記検査治具を
移動させ前記位置マークと前記基準の位置マークと合せ
る位置決め駆動部と、前記検査治具を載置するとともに
前記検査治具により前記電子回路基板を挟み付け前記検
査治具表面と前記電子回路基板の表裏面とをそれぞれ接
触させ信号授受を行なう一対のピンボードユニットとを
備える電子回路基板における布線検査装置である。ま
た、前記保持手段は前記電子回路基板の四隅を掴み保持
するクランプを備えることが望ましい。
【0013】次に、本発明について図面を参照して説明
する。図1(a)及び(b)は本発明の布線検査装置の
一実施例を説明するための検査部を示すブロック図及び
PWBの周辺部を示す平面図である。この布線検査装置
ぱ、図1に示すように、検査部のコンベア9に載置され
るPWB1の各部を掴み保持するとともにPWB1に張
力を与えるクランプ11a、11b、11c及び11d
と、表面側と同じようにPWB1の裏面を撮像するCC
Dカメラ19c及び19dと、下側の検査治具15aを
X、Y及び回転方向に微動させる位置決め駆動部17b
を設けたことである。それ以外は従来例と同じである。
また、従来、検査治具に埋設された基準ピンは取去られ
ている。
する。図1(a)及び(b)は本発明の布線検査装置の
一実施例を説明するための検査部を示すブロック図及び
PWBの周辺部を示す平面図である。この布線検査装置
ぱ、図1に示すように、検査部のコンベア9に載置され
るPWB1の各部を掴み保持するとともにPWB1に張
力を与えるクランプ11a、11b、11c及び11d
と、表面側と同じようにPWB1の裏面を撮像するCC
Dカメラ19c及び19dと、下側の検査治具15aを
X、Y及び回転方向に微動させる位置決め駆動部17b
を設けたことである。それ以外は従来例と同じである。
また、従来、検査治具に埋設された基準ピンは取去られ
ている。
【0014】次に、この布線検査装置の動作を説明す
る。まず、ローダ部よりコンベア9に移載されたPWB
1は移動し、ストッパ10で所定の位置で停止する。次
に、図1(b)に示すように、クランプ11a〜11b
が前進し、PWB1の各部を掴み保持する。そして相対
するクランプ11aと11d及び11bと11cが引張
り合い、PWB1の歪みを矯正する。
る。まず、ローダ部よりコンベア9に移載されたPWB
1は移動し、ストッパ10で所定の位置で停止する。次
に、図1(b)に示すように、クランプ11a〜11b
が前進し、PWB1の各部を掴み保持する。そして相対
するクランプ11aと11d及び11bと11cが引張
り合い、PWB1の歪みを矯正する。
【0015】次に、PWB1のコンベア9の走行方向に
おける両側の表裏面をCCDカメラ19a〜19dで撮
像する。次に、画像処理部18a及び18bにより撮像
信号を演算処理し、PWB1の表裏面の位置マークと予
め設定された検査治具14及び15aの位置マークとの
相対的な位置ずれ量を算出する。次に、位置ずれ量を駆
動信号に変換し、その駆動信号をそれぞれの位置決め駆
動部17a、17bに送る。このことによって検査治具
14及び15aのそれぞれのいずれかが補正される。
おける両側の表裏面をCCDカメラ19a〜19dで撮
像する。次に、画像処理部18a及び18bにより撮像
信号を演算処理し、PWB1の表裏面の位置マークと予
め設定された検査治具14及び15aの位置マークとの
相対的な位置ずれ量を算出する。次に、位置ずれ量を駆
動信号に変換し、その駆動信号をそれぞれの位置決め駆
動部17a、17bに送る。このことによって検査治具
14及び15aのそれぞれのいずれかが補正される。
【0016】次に、従来と同様にCCDカメラ19a〜
19dが後退し、ピンボードユニット12が下降し、ピ
ンボードユニットが上昇してPWB1を挟み保持する。
そしてクランプ11a〜11dはPWB1を解放し、後
退する。次に、ピンボードユニット12及び13aによ
り信号の授受を行ない、スキャン検査部20で導通、絶
縁、短絡及び断線の有無を検査する。
19dが後退し、ピンボードユニット12が下降し、ピ
ンボードユニットが上昇してPWB1を挟み保持する。
そしてクランプ11a〜11dはPWB1を解放し、後
退する。次に、ピンボードユニット12及び13aによ
り信号の授受を行ない、スキャン検査部20で導通、絶
縁、短絡及び断線の有無を検査する。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、PWBの
表裏面に形成された回路パターン及び位置マークを完全
に露呈させて掴み保持し、かつ引張り力を与えて歪みを
矯正するクランプと、PWBの表裏面を撮像する撮像器
とを備え、歪みの無いPWBの位置マークとピンボード
ユニットとの位置ずれを測定し、相対的に微動すること
により位置ずれを補正し、ピンボードユニットとPWB
とを位置合せすることによって、正確な信号の授受が可
能となり、より確実な検査が出来るという効果がある。
表裏面に形成された回路パターン及び位置マークを完全
に露呈させて掴み保持し、かつ引張り力を与えて歪みを
矯正するクランプと、PWBの表裏面を撮像する撮像器
とを備え、歪みの無いPWBの位置マークとピンボード
ユニットとの位置ずれを測定し、相対的に微動すること
により位置ずれを補正し、ピンボードユニットとPWB
とを位置合せすることによって、正確な信号の授受が可
能となり、より確実な検査が出来るという効果がある。
【図1】本発明の布線検査装置の一実施例を説明するた
めの図であり、(a)は検査部を示すブロック図、
(b)はPWBの周辺部を示す平面図である。
めの図であり、(a)は検査部を示すブロック図、
(b)はPWBの周辺部を示す平面図である。
【図2】従来の一例を示す布線検査装置の全体の構成を
示す図である。
示す図である。
【図3】図2の検査部を示すブロック図である。
1 PWB 2a、2b、2c 載置台 3a、3b、3c モータ 4a、4b、4c 送りねじ 5 吸着ユニット 6 供給キャリア 7、9、21 コンベア 8、10、22、23c ストッパ 11a、11b、11c、11d クランプ 12、13a ピンボードユニット 14、15a、15b 検査治具 16a、16b、16c、16d 加圧シリンダ 17a、17b 位置決め駆動部 18a、18b、18c、18d 画像処理部 19a、19b、19c、19d CCDカメラ 20 スキャン検査部 26a、26b 基準ピン 27a、27b、27c エレベータ 28 ローダ部 29 検査部 30 良品・不良品種分部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−355379(JP,A) 特開 平3−17568(JP,A) 特開 昭62−240871(JP,A) 実開 平4−24076(JP,U) 実開 平1−180780(JP,U) 実開 昭62−203471(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01R 30/02 H05K 3/00
Claims (2)
- 【請求項1】 表裏面に回路パターンが形成される電子
回路基板を検査する電子回路基板における布線検査装置
において、表裏面に形成された前記回路パターン及び位
置マークを完全に露呈させる状態で前記電子回路基板を
掴み保持するとともに前記電子回路基板に引張り力を与
えて歪みを矯正する保持手段と、前記電子回路基板の表
裏面の該位置マークに対応する基準の位置マークが形成
され前記電子回路基板の表裏面側にそれぞれに配置され
る一対の検査治具と、前記電子回路基板と前記検査治具
との間に挿入され前記電子回路基板の表裏面と前記検査
治具の表面を撮像する撮像手段と、この撮像手段の画像
信号を処理して前記検査治具の基準の該位置マークと前
記電子回路基板の該位置マークとのずれ量を算出する画
像処理部と、この画像処理部により算出されたずれ量に
応じて前記検査治具を移動させ前記位置マークと前記基
準の位置マークと合せる位置決め駆動部と、前記検査治
具を載置するとともに前記検査治具により前記電子回路
基板を挟み付け前記検査治具表面と前記電子回路基板の
表裏面とをそれぞれ接触させ信号授受を行なう一対のピ
ンボードユニットとを備えることを特徴とする電子回路
基板における布線検査装置。 - 【請求項2】 前記保持手段は前記電子回路基板の四隅
を掴み保持するクランプを備えることを特徴とする請求
項1記載の電子回路基板における布線検査装置 。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3265803A JP2758748B2 (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 電子回路基板における布線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3265803A JP2758748B2 (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 電子回路基板における布線検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05107296A JPH05107296A (ja) | 1993-04-27 |
JP2758748B2 true JP2758748B2 (ja) | 1998-05-28 |
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ID=17422264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP3265803A Expired - Fee Related JP2758748B2 (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 電子回路基板における布線検査装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2758748B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
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KR100602450B1 (ko) * | 2004-03-12 | 2006-07-19 | 바이옵트로 주식회사 | 가요성 인쇄회로기판의 테스트 장치 |
KR102649083B1 (ko) | 2019-01-24 | 2024-03-20 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사 장치용 지그, 검사 장치, 검사 세트 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법 |
-
1991
- 1991-10-15 JP JP3265803A patent/JP2758748B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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JPH05107296A (ja) | 1993-04-27 |
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