JPH06161372A - ディスプレイパネル検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ディスプレイパネル検査装置は、パネルアラ
イメント部１６と検査部７とを分割して有している。パ
ネルアライメント部１６は、上基板および下基板を有し
たディスプレイパネル１８の位置補正を第１光学系５ａ
・５ａと第２光学系５ｂにより検出された上基板および
下基板の補正値を基にして行う。検査部７は、フローテ
ィング構造を有したコンタクト装置８によってプローバ
ーユニット２３とディスプレイパネル１８の端子群とを
圧接させた後、検出用ユニット９によって検査する。 【効果】 パネルアライメント部１６と検査部７とが分
割されているため、パネルアライメント部１６と検査部
７とが互いに干渉し合うことがなく、改造時の自由度が
高いものになっている。また、上基板と下基板の補正値
が用いられるため、ディスプレイパネル１８を高精度に
位置補正できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フラットディスプレイ
に用いられるＬＣＤパネルやＥＬパネル等のディスプレ
イパネルを検査するディスプレイパネル検査装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば目視検査用のディスプレイ
パネル検査装置は、図７に示すように、ディスプレイパ
ネル７７を所定の状態に駆動させるプローバーユニット
７１と、ディスプレイパネル７７を位置補正するＸＹθ
ステージ７３および光学系ユニット７２・７２と、ディ
スプレイパネル７７を移動させるチャッキングプレート
７４およびシリンダー等の駆動部材７５と、ディスプレ
イパネル７７を検査するバックライト７６および監視カ
メラ７８とを一体的に有している。

【０００３】上記のプローバーユニット７１は、図８に
示すように、ディスプレイパネル７７の端子群に一方端
を接触可能なプローブピン７９…と、プローブピン７９
…の他方端に接続された配線ケーブル８０とを取付け板
８１を用いて取付けベース８２に固設したものであり、
配線ケーブル８０を介して接続された図示しないＬＣＤ
ドライブ用ＬＳＩによってディスプレイパネル７７を駆
動させるようになっている。

【０００４】そして、上記の構成を有するディスプレイ
パネル検査装置は、ディスプレイパネル７７が搬送装置
８３により外部から搬入され、チャッキングプレート７
４に載置されると、下記の手順〜により動作した
後、搬送装置８３により外部に搬出されるようになって
いる。

【０００５】 ディスプレイパネル７７の対角線上の
２か所に配設された光学系ユニット７２・７２と、ディ
スプレイパネル７７の例えば上基板に形成されたアライ
メントマークとによって、ディスプレイパネル７７のＸ
方向の位置および傾きが求められ、Ｘ方向および傾きの
位置補正が行われる（図２参照）。

【０００６】 駆動部材７５・７５によりチャッキン
グプレート７４が上昇されることによって、ディスプレ
イパネル７７がプローバーユニット７１に一様に圧接さ
れ、ディスプレイパネル７７の端子群とプローブピン７
９…とが接合される。

【０００７】 図示しないＬＣＤドライブ用ＬＳＩか
らの表示信号が配線ケーブル８０およびプローブピン７
９…を介してディスプレイパネル７７に入力され、ディ
スプレイパネル７７が所定の状態に駆動される。

【０００８】 ディスプレイパネル７７の背後からバ
ックライト７６の光が照射され、監視カメラ７８により
ディスプレイパネル７７が検査される。

【０００９】尚、目視検査用のディスプレイパネル検査
装置は、図９に示すように、駆動部材７５のシリンダー
がモーターに代わり、監視カメラ７８が作業者に代わっ
ている点を除いて、上述の自動検査用の装置と実質的に
同一の構成を有していると共に、同一の動作を行うよう
になっている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このように、上記従来
のディスプレイパネル検査装置は、ディスプレイパネル
７７のプローバーユニット７１への装着を自動で行い、
さらに、自動検査用の装置の場合には、ディスプレイパ
ネル７７の検査をも自動で行なえるようになっている。
ところが、従来のディスプレイパネル検査装置では、下
記の問題が存在している。

【００１１】即ち、ディスプレイパネル検査装置は、デ
ィスプレイパネル７７の位置補正と検査とが一体的に行
われる構造になっているため、位置補正を行う機構と検
査を行う機構とが互いに干渉し、各機構を改造する際の
制約になっているという問題がある。

【００１２】また、ディスプレイパネル７７の位置補正
は、２か所に配設された光学系ユニット７２・７２を用
いて上基板のＸ方向の位置と傾きを求めることにより行
われている。従って、例えば上基板側に全ての端子群が
存在するＴＦＴアクティブマトリクスＬＣＤ等のディス
プレイパネル７７の場合には、基板上の配線パターンの
形成精度のみが位置補正の誤差要因となる。ところが、
端子群がそれぞれ別の上基板および下基板に存在する単
純マトリクスＬＣＤ等のディスプレイパネル７７の場合
には、基板上の配線パターンの形成精度に加えて、上基
板および下基板の重ね合わせ精度が位置補正の誤差要因
となり、位置補正が不十分になるという問題がある。

【００１３】また、ディスプレイパネル７７のプローバ
ーユニット７１への装着は、ディスプレイパネル７７を
プローバーユニット７１方向へ押圧し、ディスプレイパ
ネル７７の端子群とプローブピン７９…とを圧接させる
ことにより行われている。従って、同一の基板側に端子
群が存在するＴＦＴアクティブマトリクスＬＣＤ等のデ
ィスプレイパネル７７の場合には、基板毎に厚みのバラ
ツキが生じていても、単一の基板をプローブピン７９…
に押圧するため、押圧力の分布が均一となりディスプレ
イパネル７７に歪み等を生じさせることがない。

【００１４】ところが、ＳＥＧ側端子群およびＣＯＭ側
端子群がそれぞれ別の基板に存在する単純マトリクスＬ
ＣＤ等のディスプレイパネル７７の場合には、２枚の基
板をプローブピン７９…に押圧させる必要があるため、
基板間の厚みのバラツキが押圧力の分布を不均一にし、
結果としてディスプレイパネル７７に歪みを生じさせる
ことになる。従って、この場合には、歪みによる色ムラ
が発生するため、表示品位を厳密に検査することができ
ないという問題がある。

【００１５】また、プローブピン７９…とＬＣＤドライ
ブ用ＬＳＩとは、長い引回しの配線ケーブル８０によっ
て接続されている。従って、配線ケーブル８０を介して
表示信号が入力されるディスプレイパネル７７は、隣接
する配線間で生じるインダクタンス成分により表示信号
の立ち上がり立ち下がり特性が低下し易いものになって
いると共に、表示信号にノイズが重畳し易いものになっ
ているため、表示諧調等の検査を充分にできないという
問題がある。

【００１６】従って、本発明においては、上記の問題を
解決することができるディスプレイパネル検査装置を提
供することを目的としている。

【００１７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明のディス
プレイパネル検査装置は、上記課題を解決するために、
ディスプレイパネルを位置補正した後に検査するもので
あり、下記の特徴を有している。

【００１８】即ち、ディスプレイパネル検査装置は、上
記ディスプレイパネルを位置補正するパネルアライメン
ト手段と、上記位置補正されたディスプレイパネルを検
査する検査手段とを分割して有していることを特徴とし
ている。

【００１９】請求項２の発明のディスプレイパネル検査
装置は、上記課題を解決するために、第１基板および第
２基板を有したディスプレイパネルの位置および傾きを
検出して補正値を求め、この補正値を基にして位置補正
するパネルアライメント手段を有したものであり、下記
の特徴を有している。

【００２０】即ち、上記パネルアライメント手段は、上
記ディスプレイパネルの第１基板の位置および傾きを検
出して補正値を求めると共に、第２基板の位置を検出し
て補正値を求める位置検出手段を有していることを特徴
としている。

【００２１】請求項３の発明のディスプレイパネル検査
装置は、上記課題を解決するために、ディスプレイパネ
ルの端子群が形成された面の他方面をバックアップ部材
により支持しながら、上記端子群と表示信号出力手段と
を圧接させることによって、ディスプレイパネルを検査
する検査手段を有したものであり、下記の特徴を有して
いる。

【００２２】即ち、上記検査手段は、バックアップ部材
と表示信号出力手段とでディスプレイパネルを挟持し、
ディスプレイパネルの端子群と表示信号出力手段とを圧
接させるクランプ手段と、このクランプ手段をディスプ
レイパネルの上下方向に移動させるフローティング手段
とを有していることを特徴としている。

【００２３】請求項４の発明のディスプレイパネル検査
装置は、上記課題を解決するために、信号出力部材から
の表示信号をディスプレイパネルの端子群に入力させる
表示信号出力手段によって、ディスプレイパネルを検査
する検査手段を有したものであり、下記の特徴を有して
いる。

【００２４】即ち、上記表示信号出力手段は、一端をデ
ィスプレイパネルの端子群に接触可能なプローブピン
と、このプローブピンの他端に接続された上記信号出力
部材と、この信号出力部材を実装したプリント基板と、
このプリント基板およびプローブピンを支持した取付け
ベースとを有していることを特徴としている。

【００２５】

【作用】請求項１の構成によれば、ディスプレイパネル
を位置補正するパネルアライメント手段と、位置補正さ
れたディスプレイパネルを検査する検査手段とが分割さ
れているため、アライメント手段と検査手段とが互いに
干渉し合うことがない。

【００２６】よって、上記両手段を改造する際の自由度
が高いものになっている。

【００２７】また、請求項２の構成によれば、端子群が
それぞれ別の第１基板および第２基板に存在する単純マ
トリクスＬＣＤのように、基板上の配線パターンの形成
精度に加えて、第１基板および第２基板の重ね合わせ精
度が位置補正の誤差要因となる場合でも、両基板につい
て位置補正が行われるため、高精度に位置補正を行うこ
とが可能になっている。

【００２８】また、請求項３の構成によれば、クランプ
手段のバックアップ部材がディスプレイパネルの他方面
を支持する際に、上下方向の支持位置においてバラツキ
がディスプレイパネル毎に生じていても、フローティン
グ手段がディスプレイパネルの上下方向に移動してクラ
ンプ手段の位置を調整することができるため、上下方向
の支持位置におけるバラツキを吸収することができるこ
とになる。よって、表示信号出力手段と端子群とを圧接
させる力以外の外力が付与されることがないため、色ム
ラの原因となるディスプレイパネルの歪みの発生を防止
することができることになり、結果として表示品位の厳
密な検査を行うことが可能になっている。

【００２９】また、請求項４の構成によれば、信号出力
部材からの表示信号をプローブピンを介してディスプレ
イパネルの端子群に入力させるようになっている。この
際、プローブピンの隣接する配線間で生じるインダクタ
ンス成分は、極めて小さなものである。従って、プロー
ブピンを伝達される表示信号は、立ち上がり立ち下がり
特性が低下することがないと共にノイズが重畳し難くい
ものになっており、結果としてディスプレイパネルの表
示諧調等の検査を充分に行わせることが可能になってい
る。

【００３０】

【実施例】本発明の一実施例を図１ないし図６に基づい
て説明すれば、以下の通りである。

【００３１】本実施例に係るディスプレイパネル検査装
置は、図１に示すように、前工程から搬入された検査前
のディスプレイパネル１８…を保管するローディング部
１と、ディスプレイパネル１８を位置補正するパネルア
ライメント部１６（パネルアライメント手段）と、ディ
スプレイパネル１８を検査する検査部７（検査手段）
と、ディスプレイパネル１８を検査結果に応じて処理す
る検査結果処理部１７と、後工程に搬出されるまで検査
後のディスプレイパネル１８を保管するアンローディン
グ部１４とを分割して有している。

【００３２】上記のローディング部１には、前工程のデ
ィスプレイパネル１８…がカセット２０単位に搬入され
るようになっている。このローディング部１には、カセ
ット２０の搬送機構および収納機構を有したローディン
グ装置１９が用いられており、ローディング装置１９
は、搬送機構および収納機構を上載置台および下載置台
に備えている。ローディング装置１９の上載置台には、
例えばディスプレイパネル１８…を収容したカセット２
０が載置されるようになっている。一方、下載置台に
は、例えばディスプレイパネル１８…が引き出された後
の空カセット２０が載置されるようになっている。

【００３３】ローディング装置１９のカセット２０に収
容されたディスプレイパネル１８…は、パネル取出し装
置２１によりカセット２０から抜脱されるようになって
いる。このパネル取出し装置２１は、回転動作および上
昇下降動作を行う円筒座標系ロボット２に、前進後退動
作を行う取出しアーム３を組み付けたものであり、取出
しアーム３は、ディスプレイパネル１８を真空吸着可能
になっている。

【００３４】上記のパネル取出し装置２１により抜脱さ
れたディスプレイパネル１８は、円筒座標系ロボット２
による取出しアーム３の旋回動作によってパネルアライ
メント部１６に搬送されるようになっている。パネルア
ライメント部１６は、ディスプレイパネル１８における
上基板（第１基板）のＸ方向の位置と傾きθ、下基板
（第２基板）のＹ方向の位置をそれぞれ検出して補正値
を算出する光学系５（位置検出手段）と、光学系５の補
正値を基にしてディスプレイパネル１８を各方向に位置
補正するＸＹθステージ４とを有している。

【００３５】上記の光学系５は、ディスプレイパネル１
８の端子上に形成されているアライメントマークを検出
することによって補正値を算出するようになっており、
Ｘ方向および傾きθの補正値を算出する第１光学系５ａ
・５ａと、Ｘ方向に直交するＹ方向の補正値を算出する
第２光学系５ｂとからなっている。即ち、第１光学系５
ａ・５ａは、図２に示すように、ディスプレイパネル１
８の３方向に取り出されている端子群１８ａ・１８ｂ・
１８ｃのうち、対向する一辺の端子群１８ａから２個の
アライメントマークＡ・Ｂを認識し、ディスプレイパネ
ル１８のＸ方向および傾きθの補正値を算出するように
なっている。一方、第２光学系５ｂは、対向する端子群
１８ａ・１８ｃ間に存在する端子群１８ｂから１個のア
ライメントマークＣを認識し、Ｙ方向の補正値を算出す
るようになっている。

【００３６】尚、上記の補正値の算出方法は、ＳＥＧ側
端子群（端子群１８ａ・１８ｂ）およびＣＯＭ側端子群
（端子群１８ｃ）がそれぞれ上基板および下基板に存在
する単純マトリクスＬＣＤ等のディスプレイパネル１８
の場合に好適に用いられるものであり、例えば上基板に
全ての端子群１８ａ・１８ｂ・１８ｃが存在するＴＦＴ
アクティブマトリクスＬＣＤ等のディスプレイパネル７
７の場合には、第１光学系５ａ・５ａによる上基板の補
正値のみが求められるようになっていても良い。

【００３７】パネルアライメント部１６において位置補
正されたディスプレイパネル１８は、リニアパルスモー
タおよびエアーベアリング等を用いて形成された搬入ユ
ニット６により検査部７に搬入されるようになってい
る。検査部７は、検査チャンバー２２を有しており、こ
の検査チャンバー２２内には、ディスプレイパネル１８
の端子群１８ａ・１８ｂ・１８ｃに後述のプローバーユ
ニット２３…（表示信号出力手段）を圧接するコンタク
ト装置８と、コンタクト装置８の上方に配設された検出
用ユニット９と、コンタクト装置８の下方に配設され、
ディスプレイパネル１８の下方から検出用ユニット９方
向へ光を出射するバックライトユニット１０とが設けら
れている。

【００３８】上記の検出用ユニット９は、位置調整用の
Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向の３方向に移動可能な３
軸可動部と、この３軸可動部に設けられた検出用カメラ
とを有しており、ディスプレイパネル１８を透過したバ
ックライトユニット１０の光によって、ディスプレイパ
ネル１８に表示されるパターンを検出するようになって
いる。そして、検出用ユニット９は、検出したパターン
を画像処理し、ディスプレイパネル１８の性能（コント
ラストや応答速度等）および表示品位（表示欠陥や表示
濃度ムラ等の有無と程度）を数値化し、予め設定した閾
値と比較して良品と不良品の判定を行い、検査データ
（不良内容および不良箇所のアドレス等）を出力するよ
うになっている。

【００３９】上記の判定時には、ディスプレイパネル１
８とプローバーユニット２３とが圧接されるようになっ
ている。このプローバーユニット２３は、図３に示すよ
うに、一端をディスプレイパネル１８の端子群１８ａ・
１８ｂ・１８ｃに接触可能なプローブピン２４…と、プ
ローブピン２４…の他端に接続されたＬＣＤドライブ用
ＬＳＩ２５…（信号出力部材）と、これらのＬＣＤドラ
イブ用ＬＳＩ２５…を実装したプリント基板２６と、プ
リント基板２６およびプローブピン２４…を支持した取
付けベース２７とからなっている。

【００４０】上記のＬＣＤドライブ用ＬＳＩ２５…のプ
リント基板２６への実装は、ディスプレイパネル１８に
ＬＣＤドライブ用ＬＳＩ２５…を実装する場合と同一の
方法が採用されるようになっている。即ち、ＴＡＢ方式
の場合には、半田付けや異方性導電接着膜による実装方
法が採用され、フラットパッケージの場合には、半田付
けによる実装方法が採用されるようになっている。ま
た、ベアーチップの状態で実装する場合には、フェイス
ボンドやワイヤーボンドによる実装方法が採用されるよ
うになっている。

【００４１】尚、プリント基板２６は、フラットディス
プレイのＬＣＤモジュールに使用されるものと同一の形
態であることが望ましい。これは、ＬＣＤモジュールと
完全に同じ表示信号をディスプレイパネル１８に出力す
ることができると共に、ＬＣＤモジュールに使用される
部品を転用することにより、特別に部品を準備する必要
がなくなるからである。

【００４２】上記のプローバーユニット２３は、図４な
いし図６に示すように、コンタクト装置８に設けられて
いる。コンタクト装置８は、第１コンタクトユニット２
８と第２コンタクトユニット２９と第３コンタクトユニ
ット３０とからなっており、第１および第２コンタクト
ユニット２８・２９は、ディスプレイパネル１８の下基
板側のＳＥＧ端子からなる端子群１８ａ・１８ｂにプロ
ーブピン２４…を圧接させるようになっている。一方、
第３コンタクトユニット３０は、ディスプレイパネル１
８の上基板側のＣＯＭ端子からなる端子群１８ｃにプロ
ーブピン２４…を圧接させるようになっている。

【００４３】上記の第１および第２コンタクトユニット
２８・２９は、図６に示すように、支持台２８ａ・２９
ａ上に設けられたシリンダー支持部材２８ｂ・２９ｂお
よびバックアップ部材２８ｄ・２９ｄと、シリンダー支
持部材２８ｂ・２９ｂに設けられた圧接用シリンダー２
８ｃ・２９ｃと、圧接用シリンダー２８ｃ・２９ｃによ
ってバックアップ部材２８ｄ・２９ｄ方向に進退移動可
能な昇降ガイド２８ｅ・２９ｅとを有している。そし
て、昇降ガイド２８ｅ・２９ｅには、プローバーユニッ
ト２３・２３が設けられており、このプローバーユニッ
ト２３・２３は、昇降ガイド２８ｅ・２９ｅが下降した
ときにディスプレイパネル１８の端子群１８ａ・１８ｂ
に圧接されるようになっている。

【００４４】一方、第３コンタクトユニット３０は、図
５に示すように、支持台３０ａ上に設けられたフローテ
ィング用シリンダー３０ｂ（フローティング手段）と、
フローティング用シリンダー３０ｂにより上下動可能に
された上側バックアップ３０ｃ（クランプ手段）と、上
側バックアップ３０ｃにクランプガイド３０ｄを介して
上下動自在に設けられた下側バックアップ３０ｅ（クラ
ンプ手段）と、上側バックアップ３０ｃと共に上下動す
ると共に下側バックアップ３０ｅを上下動させる圧接用
シリンダー３０ｆ（クランプ手段）とを有しており、デ
ィスプレイパネル１８に第３コンタクトユニット３０の
自重を付与しないフローティング構造にされている。

【００４５】上記の下側バックアップ３０ｅには、プロ
ーバーユニット２３が設けられている。このプローバー
ユニット２３は、フローティング用シリンダー３０ｂに
よって上側バックアップ３０ｃがディスプレイパネル１
８に当接するように、ディスプレイパネル１８の上方か
ら下降して位置決めされた後、圧接用シリンダー３０ｆ
により下側バックアップ３０ｅが上昇されることによっ
て、ディスプレイパネル１８の端子群１８ｃに圧接され
るようになっている。

【００４６】上記の第１ないし第３コンタクトユニット
２８・２９・３０等を有した検査部７において検査され
たディスプレイパネル１８は、図１に示すように、搬出
ユニット１１により検査結果処理部１７に搬送されるよ
うになっている。検査結果処理部１７は、３軸直交ロボ
ットを用いて形成されたマーキングロボット１２を有し
ており、マーキングロボット１２は、上述の検出用ユニ
ット９から入力される検査データを基にしてディスプレ
イパネル１８上に検査データを捺印するようになってい
る。そして、検査結果処理部１７において検査データが
捺印されたディスプレイパネル１８は、上述のパネル取
出し装置２１と同等の収納装置１３によって、良品がア
ンローディング部１４に搬送されるようになっている一
方、不良品が不良品保管部１５に搬送されるようになっ
ている。

【００４７】上記のアンローディング部１４には、上述
のローディング部１において用いられているローディン
グ装置１９が用いられている。また、不良品保管部１５
は、載置台３２と、載置台３２に載置されたカセット２
０とからなっており、不良品保管部１５に搬送されたデ
ィスプレイパネル１８は、カセット２０に収納されるよ
うになっている。

【００４８】尚、このアンローディング部１４は、後工
程の設備である例えば偏光膜貼付装置やＬＳＩ実装装置
等に連結し、ディスプレイパネル検査装置が一連の自動
化装置となるような構成にされていても良い。また、不
良品保管部１５には、ローディング装置１９が用いられ
るようになっていても良い。

【００４９】上記の構成において、ディスプレイパネル
検査装置の動作について説明する。

【００５０】前工程のディスプレイパネル１８…がカセ
ット２０単位にローディング部１に搬入されると、カセ
ット２０に収容されたディスプレイパネル１８…は、パ
ネル取出し装置２１によりカセット２０から抜脱され、
パネルアライメント部１６に搬送されることになる。パ
ネルアライメント部１６におけるディスプレイパネル１
８は、光学系５の第１光学系５ａ・５ａによって、図２
に示すように、上基板の一辺の端子群１８ａから２個の
アライメントマークＡ・Ｂが認識され、上基板における
Ｘ方向および傾きθの補正値が算出されることになると
共に、第２光学系５ｂによって下基板の端子群１８ｂか
ら１個のアライメントマークＣが認識され、下基板にお
けるＹ方向の補正値が算出されることになる。そして、
このディスプレイパネル１８は、Ｘ方向および傾きθの
補正値とＹ方向の補正値とを基にしてＸＹθステージ４
により位置補正されることになる。

【００５１】これにより、ディスプレイパネル１８は、
ＳＥＧ側端子群およびＣＯＭ側端子群がそれぞれ別の基
板に存在する単純マトリクスＬＣＤのように、基板上の
配線パターンの形成精度に加えて、２枚の基板の重ね合
わせ精度が位置補正の誤差要因となる場合でも、高精度
に位置補正が行われることになる。

【００５２】次に、パネルアライメント部１６において
位置補正されたディスプレイパネル１８は、搬入ユニッ
ト６により検査部７に搬入され、コンタクト装置８に載
置されることになる。そして、ディスプレイパネル１８
は、図６に示すように、コンタクト装置８の第１および
第２コンタクトユニット２８・２９によりプローブピン
２４…が下基板の端子群１８ａ・１８ｂに圧接されるこ
とになる。

【００５３】次いで、図５に示すように、第３コンタク
トユニット３０の上側バックアップ３０ｃが、フローテ
ィング用シリンダー３０ｂによってディスプレイパネル
１８の上基板に当接するように、ディスプレイパネル１
８の上方から下降して位置決めされることになる。この
後、上側バックアップ３０ｃと共に移動した圧接用シリ
ンダー３０ｆが下側バックアップ３０ｅを上昇させ、プ
ローバーユニット２３をディスプレイパネル１８の下方
から上昇させてディスプレイパネル１８の端子群１８ｃ
に圧接させることによって、プローバーユニット２３の
プローブピン２４…とディスプレイパネル１８の端子群
１８ａｃとを圧接させることになる。

【００５４】これにより、ディスプレイパネル１８は、
上側バックアップ３０ｃおよび下側バックアップ３０ｅ
からなるクランプ構造にフローティング用シリンダー３
０ｂによるフローティング構造を付加しているため、た
とえディスプレイパネル１８の上基板および下基板の厚
みにバラツキが生じていても、第３コンタクトユニット
３０の荷重が付与されることがない。よって、色ムラの
原因となる歪みの発生が防止されることになり、結果と
して表示品位の厳密な検査が可能になっている。

【００５５】ディスプレイパネル１８の端子群１８ａ・
１８ｂ・１８ｃとプローブピン２４…との圧接が完了す
ると、ＬＣＤドライブ用ＬＳＩ２５…から表示信号がプ
ローブピン２４…を介してディスプレイパネル１８の端
子群１８ａ・１８ｂ・１８ｃに出力され、ディスプレイ
パネル１８が表示信号に基づいて動作することになる。
この際、ＬＣＤドライブ用ＬＳＩ２５…と端子群１８ａ
・１８ｂ・１８ｃとは、短いプローブピン２４…により
接続されている。従って、ディスプレイパネル１８は、
隣接する配線間で生じるインダクタンス成分により表示
信号の立ち上がり立ち下がり特性が低下することがない
と共に、表示信号にノイズが重畳し難いため、表示諧調
等の検査を充分に行うことができることになる。

【００５６】この後、ディスプレイパネル１８の下方か
らバックライトユニット１０によって光が照射されるこ
とになり、ディスプレイパネル１８を透過した光が検出
用ユニット９の検出用カメラによって検出されることに
なる。検出用カメラによって検出されたパターンは、検
出用ユニット９の図示しない演算装置により画像処理さ
れ、ディスプレイパネル１８の性能（コントラストや応
答速度等）および表示品位（表示欠陥や表示濃度ムラ等
の有無と程度）が数値化された後、これらの数値が予め
設定されていた閾値と比較されて良品と不良品との判定
に用いられることになる。

【００５７】検査部７におけるディスプレイパネル１８
の検査が終了すると、ディスプレイパネル１８は、搬出
ユニット１１により検査結果処理部１７に搬送されるこ
とになり、上述の検出用ユニット９の検査データがマー
キングロボット１２によって捺印されることになる。こ
の後、ディスプレイパネル１８は、収納装置１３によっ
て、良品がアンローディング部１４に搬送されることに
なる一方、不良品が不良品保管部１５に搬送されること
になる。

【００５８】以上のように、本実施例のディスプレイパ
ネル検査装置は、ローディング部１、パネルアライメン
ト部１６、検査部７、検査結果処理部１７、およびアン
ローディング部１４に分割され、各処理を行う装置を組
み合わせることにより構成されている。従って、このデ
ィスプレイパネル検査装置は、各部１・１７・７・１７
・１４が互いに干渉し合うことがないため、例えば前工
程や後工程の装置に応じてローディング部１およびアン
ローディング部１４に使用されるローディング装置１９
を変更するように、各部１・１７・７・１７・１４を改
造する際の自由度が高いものになっている。

【００５９】また、本実施例のディスプレイパネル検査
装置は、ディスプレイパネル１８の上基板のＸ方向の位
置および傾きを検出し、Ｘ方向および傾きθの補正値を
求めると共に、下基板のＹ方向の位置を検出してＹ方向
の補正値を求める光学系５と、光学系５の補正値を基に
してディスプレイパネル１８を位置補正するＸＹθステ
ージ４とを備えたパネルアライメント部１６を有してい
る。これにより、ＳＥＧ側端子群およびＣＯＭ側端子群
がそれぞれ別の基板に存在する単純マトリクスＬＣＤの
ように、基板上の配線パターンの形成精度に加えて、上
基板および下基板の重ね合わせ精度が位置補正の誤差要
因となる場合でも、両基板について位置補正が行われる
ため、高精度に位置補正を行うことが可能になってい
る。

【００６０】また、本実施例のディスプレイパネル検査
装置は、プローバーユニット２３のプローブピン２４…
とディスプレイパネル１８の端子群１８ｃとを圧接させ
る上側バックアップ３０ｃおよび下側バックアップ３０
ｅからなるクランプ構造に、ディスプレイパネル１８の
上下方向に移動可能なフローティング構造を付加した構
成を備えたコンタクト装置８を有している。これによ
り、たとえディスプレイパネル１８の上基板および下基
板間の厚みにバラツキが生じていても、この厚みのバラ
ツキがフローティング構造によって吸収されるため、プ
ローブピン２４…と端子群１８ｃとを圧接させる力以外
の外力が付与されることがない。よって、色ムラの原因
となる歪みの発生が防止されることになり、結果として
表示品位の厳密な検査が可能になっている。

【００６１】また、本実施例のディスプレイパネル検査
装置は、ＬＣＤドライブ用ＬＳＩ２５…からの表示信号
をプローブピン２４…を介してディスプレイパネル１８
の端子群１８ａ・１８ｂ・１８ｃに入力させる構成を備
えたプローバーユニット２３を有している。これによ
り、表示信号を伝達するプローブピン２４…が従来のケ
ーブルを用いていた場合よりも極めて短いため、隣接す
る配線間で生じるインダクタンス成分により表示信号の
立ち上がり立ち下がり特性が低下することがないと共
に、表示信号にノイズが重畳し難くなり、結果として表
示諧調等の検査を充分に行うことが可能になっている。

【００６２】

【発明の効果】請求項１の発明のディスプレイパネル検
査装置は、以上のように、ディスプレイパネルを位置補
正した後に検査するものであり、上記ディスプレイパネ
ルを位置補正するパネルアライメント手段と、上記位置
補正されたディスプレイパネルを検査する検査手段とを
分割して有している構成である。

【００６３】これにより、ディスプレイパネルを位置補
正するパネルアライメント手段と、位置補正されたディ
スプレイパネルを検査する検査手段とが分割されている
ため、アライメント手段と検査手段とが互いに干渉し合
うことがなく、各手段を改造する際の自由度が高いもの
になるという効果を奏する。

【００６４】請求項２の発明のディスプレイパネル検査
装置は、以上のように、第１基板および第２基板を有し
たディスプレイパネルの位置および傾きを検出して補正
値を求め、この補正値を基にして位置補正するパネルア
ライメント手段を有したものである。そして、パネルア
ライメント手段は、上記ディスプレイパネルの第１基板
の位置および傾きを検出して補正値を求めると共に、第
２基板の位置を検出して補正値を求める位置検出手段を
有している構成である。

【００６５】これにより、基板上の配線パターンの形成
精度に加えて、第１基板および第２基板の重ね合わせ精
度が位置補正の誤差要因となる場合でも、両基板につい
て位置補正が行われるため、高精度に位置補正を行うこ
とが可能であるという効果を奏する。

【００６６】請求項３の発明のディスプレイパネル検査
装置は、以上のように、ディスプレイパネルの端子群が
形成された面の他方面をバックアップ部材により支持し
ながら、上記端子群と表示信号出力手段とを圧接させる
ことによって、ディスプレイパネルを検査する検査手段
を有したものである。そして、検査手段は、バックアッ
プ部材と表示信号出力手段とでディスプレイパネルを挟
持し、ディスプレイパネルの端子群と表示信号出力手段
とを圧接させるクランプ手段と、このクランプ手段をデ
ィスプレイパネルの上下方向に移動させるフローティン
グ手段とを有している構成である。

【００６７】これにより、クランプ手段のバックアップ
部材がディスプレイパネルの他方面を支持する際に、デ
ィスプレイパネル毎に上下方向の支持位置にバラツキが
生じていても、フローティング手段がディスプレイパネ
ルの上下方向に移動してクランプ手段の位置を調整する
ことができるため、上下方向の支持位置のバラツキを吸
収することができる。よって、表示信号出力手段と端子
群とを圧接させる力以外の外力がディスプレイパネルに
付与されることがないため、色ムラの原因となるディス
プレイパネルの歪みの発生を防止することができ、結果
として表示品位の厳密な検査を行うことが可能であると
いう効果を奏する。

【００６８】請求項４の発明のディスプレイパネル検査
装置は、上記課題を解決するために、信号出力部材から
の表示信号をディスプレイパネルの端子群に入力させる
表示信号出力手段によって、ディスプレイパネルを検査
する検査手段を有したものである。そして、上記表示信
号出力手段は、一端をディスプレイパネルの端子群に接
触可能なプローブピンと、このプローブピンの他端に接
続された上記信号出力部材と、この信号出力部材を実装
したプリント基板と、このプリント基板およびプローブ
ピンを支持した取付けベースとを有している構成であ
る。

【００６９】これにより、プローブピンの隣接する配線
間で生じるインダクタンス成分が極めて小さなものであ
るため、このプローブピンを伝達される表示信号の立ち
上がり立ち下がり特性が低下することがないと共に、表
示信号にノイズが重畳し難くなり、結果としてディスプ
レイパネルの表示諧調等の検査を充分に行うことができ
るという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のディスプレイパネル検査装置の斜視図
である。

【図２】ディスプレイパネルの位置補正の状態を示す説
明図である。

【図３】プローバーユニットの斜視図である。

【図４】コンタクト装置の要部を示す斜視図である。

【図５】コンタクト装置の第３コンタクトユニットの概
略構造図である。

【図６】コンタクト装置の第１および第２コンタクトユ
ニットの概略構造図である。

【図７】従来例を示すものであり、自動検査用のディス
プレイパネル検査装置の概略構造図である。

【図８】従来例を示すものであり、プローバーユニット
の斜視図である。

【図９】従来例を示すものであり、目視検査用のディス
プレイパネル検査装置の概略構造図である。

【符号の説明】

１ ローディング部 ４ ＸＹθステージ ５ 光学系（位置検出手段） ５ａ 第１光学系 ５ｂ 第２光学系 ７ 検査部（検査手段） ８ コンタクト装置 ９ 検出用ユニット １２ マーキングロボット １４ アンローディング部 １５ 不良品保管部 １６ パネルアライメント部（パネルアライメン
ト手段） １７ 検査結果処理部 １８ ディスプレイパネル １９ ローディング装置 ２１ パネル取出し装置 ２２ 検査チャンバー ２３ プローバーユニット（表示信号出力手段） ２４ プローブピン ２５ ＬＣＤドライブ用ＬＳＩ（信号出力部材） ２６ プリント基板 ２７ 取付けベース ２８ 第１コンタクトユニット ２９ 第２コンタクトユニット ３０ 第３コンタクトユニット ３０ｂ フローティング用シリンダー（フローティ
ング手段） ３０ｃ 上側バックアップ（クランプ手段） ３０ｄ クランプガイド ３０ｅ 下側バックアップ（クランプ手段） ３０ｆ 圧接用シリンダー（クランプ手段）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ディスプレイパネルを位置補正した後に検
   査するディスプレイパネル検査装置において、 上記ディスプレイパネルを位置補正するパネルアライメ
   ント手段と、 上記位置補正されたディスプレイパネルを検査する検査
   手段とを分割して有していることを特徴とするディスプ
   レイパネル検査装置。
2. 【請求項２】第１基板および第２基板を有したディスプ
   レイパネルの位置および傾きを検出して補正値を求め、
   この補正値を基にして位置補正するパネルアライメント
   手段を有したディスプレイパネル検査装置において、 上記パネルアライメント手段は、上記ディスプレイパネ
   ルの第１基板の位置および傾きを検出して補正値を求め
   ると共に、第２基板の位置を検出して補正値を求める位
   置検出手段を有していることを特徴とするディスプレイ
   パネル検査装置。
3. 【請求項３】ディスプレイパネルの端子群が形成された
   面の他方面をバックアップ部材により支持しながら、上
   記端子群と表示信号出力手段とを圧接させることによっ
   て、ディスプレイパネルを検査する検査手段を有したデ
   ィスプレイパネル検査装置において、 上記検査手段は、バックアップ部材と表示信号出力手段
   とでディスプレイパネルを挟持し、ディスプレイパネル
   の端子群と表示信号出力手段とを圧接させるクランプ手
   段と、 上記クランプ手段をディスプレイパネルの上下方向に移
   動させるフローティング手段とを有していることを特徴
   とするディスプレイパネル検査装置。
4. 【請求項４】信号出力部材からの表示信号をディスプレ
   イパネルの端子群に入力させる表示信号出力手段によっ
   て、ディスプレイパネルを検査する検査手段を有したデ
   ィスプレイパネル検査装置において、 上記表示信号出力手段は、一端をディスプレイパネルの
   端子群に接触可能なプローブピンと、このプローブピン
   の他端に接続された上記信号出力部材と、この信号出力
   部材を実装したプリント基板と、このプリント基板およ
   びプローブピンを支持した取付けベースとを有している
   ことを特徴とするディスプレイパネル検査装置。