KR20140031409A

KR20140031409A - 검사 방법, 검사 처리 시스템, 처리 장치, 검사 장치, 제조/검사 장치 및 제조/검사 방법

Info

Publication number: KR20140031409A
Application number: KR1020147005245A
Authority: KR
Inventors: 겐타 하야시
Original assignee: 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
Priority date: 2006-07-27
Filing date: 2007-07-25
Publication date: 2014-03-12
Also published as: TW201437629A; KR20090035660A; TWI437226B; US8358339B2; WO2008013188A1; KR101485471B1; TW200821573A; US20090309965A1; KR101446636B1

Abstract

반송(搬送) 라인 상을 흐르는 복수개의 시트에 대하여 소정의 처리를 소정 횟수(N회) 행하는 경우에 있어서, 많은 시간 연장되는 일 없이, N회의 처리가 모두 종료되기 전에, 도중의 처리(n회째의 처리)에 대한 검사 결과를 파악할 수 있는 검사 방법 등을 제공하는 것을 목적으로 한다.
소정의 처리가 행해진 대상물을 검사하는 검사 방법으로서, 복수개의 상기 대상물을 반송 라인 상에 반송하면서 각 상기 대상물에 대하여 차례로 상기 소정의 처리를 N회(N은 2이상의 자연수) 반복하여 행하는 처리 공정과, 상기 복수개의 대상물 중, n회째(n은 N 이하의 1이상의 자연수)의 처리가 종료된 선두의 상기 대상물에 대하여 검사를 행하고, 검사 후의 상기 대상물을 상기 복수개의 대상물 중 상기 n회째의 처리가 종료된 대상물의 뒤로 되돌리는 검사 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

검사 방법, 검사 처리 시스템, 처리 장치, 검사 장치, 제조/검사 장치 및 제조/검사 방법{INSPECTING METHOD, INSPECTION TREATING SYSTEM, TREATING DEVICE, INSPECTING DEVICE, MANUFACTURING/INSPECTING DEVICE, AND MANUFACTURING/INSPECTING METHOD}

본 발명은, 복수개의 검사 대상물을 반송(搬送) 라인 상에서 반송하면서 검사를 행하는 검사 방법 등에 관한 것이다.

최근, 고밀도 실장용의 프린트 배선판으로서 B²it(Buried Bump Interconnection Technology/비·스퀘어·잇) 방식 등에 의한 빌드업 프린트 배선판의 개발이 진행되고 있다. 예를 들면, B²it 방식의 빌드업 프린트 배선판은, 예를 들면, 시트라는 동박(銅箔) 기판 상에, 원추형 돌기의 "범프"를 다수 형성한 것을 적층하여 제조된다.

이와 같은, B²it 방식의 빌드업 프린트 배선판은, 범프의 형성 후에는, 시트 상에 사양대로의 위치에 범프가, 사양대로의 크기로 정확하게 형성되어 있는지 여부를 카메라에 의해 촬상하여 검사하는 것이 필요해진다. 이와 같은 범프의 검사 방법으로서는, 예를 들면, 하기 특허 문헌 1에 개시되어 있는 것과 같은, 공작물 표면에 대하여 형성한 돌기물의 높이를 측정하는 측정 방법에 관한 기술을 응용하여 행할 수 있다.

그런데, 전술한 시트에는 큰 사이즈 규격의 것도 있으므로, 그 중에는 카메라로 촬상 가능한 치수보다 큰 사이즈의 시트도 있다. 이와 같은 시트의 검사를 단시간에 고정밀도로 행하기 위해서는, 복수개의 카메라를 사용할 필요가 있다. 예를 들면, 시트의 검사 폭방향의 치수가 1000mm이며, 1대의 카메라로 촬상 가능한 촬상폭 치수가 20mm라고 하면, 1개의 시트를 검사하기 위해 50대의 카메라가 필요해진다.

그래서, 본원 특허 출원인에 의해, CCD 카메라의 수를 최소한으로 억제하여, 큰 검사 대상물의 검사를 행하는 방법이 특허 출원되었다(하기 특허 문헌 2).

다른 한편, 특히 상기한 빌드업 프린트 배선판 등의 검사 대상물에서는, 전술한 바와 같이 범프가 규정된 위치에 규정된 형상으로 정확하게 형성되어 있는지 여부를 검사하는 것이 극히 중요하다. 그러므로, 상기 검사 시에 있어서, 카메라의 위치와 필요한 범프가 형성된 시트의 위치 사이의 위치맞춤(이른바 얼라인먼트를 취하는 것)을 정밀하게 행할 필요가 있다.

특허 문헌 1: 일본 특허출원 공개번호 2005-61953호 공보

특허 문헌 2: 일본 특허출원 공개번호 2006-153605호 공보

그런데, 시트 상에 범프를 형성할 때는, 시트 상의 범프를 형성해야 할 위치에 은 페이스트를 복수회로 나누어 중첩하여 인쇄함으로써, 범프를 형성하고 있다. 즉, 복수회의 은 페이스트의 인쇄가 종료된 후에 시트를 인출하여, 범프의 검사를 행하므로, 1회째의 인쇄 시에, 범프의 위치어긋남 등의 문제가 이미 발생하고 있던 경우라도, 이 문제를 해소하지 못한 채, 2회째 이후의 인쇄를 행하게 되는 문제가 있다.

또한, 통상, 복수개의 시트가 반송 라인 상을 흐르면서 인쇄, 건조를 반복하여 행하게 되지만, 판의 눈막힘 등, 판의 기인에 의한 불량으로 선두의 시트에 대한 검사 결과가 NG였던 경우, 선두의 시트만아니라 반송 라인 상을 흐르는 다른 시트도 NG로 되어, 대량의 시트가 낭비(폐기)되는 문제가 있다.

한편, 상기 특허 문헌 2에 기재된 구성이라도, 아직도, 그리고, 복수대의 카메라를 필요로 하고 있고, 1대의 카메라로, 시트 전체의 검사를 행하는 과제는 해결할 수 없는 문제점도 있었다.

다른 한편, 상기 빌드업 프린트 배선판 등의 검사 대상물의 경우, 그 제조 공정(상기 검사 공정 전에 실행되는 제조 공정)에 있어서도, 검사 시와 같은 정밀한 위치맞춤을 행할 필요가 있는 것이며, 이 의미에서, 종래에는 제조 공정에서의 위치맞춤과 검사 공정에서의 위치맞춤이, 1개의 검사 대상물에 대하여 이중으로 행해지는 것으로 되어 있었다.

따라서, 상기 2회분의 위치맞춤에 필요한 시간만큼 제조 시간이 길어져, 효율 상, 제조 비용 상, 또는 인력 확보 상 등에 있어서 현저하게 불리해지는 문제점도 있었다.

그래서, 본 발명은 상기 각 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 반송 라인 상을 흐르는 복수개의 시트에 대하여 소정의 처리를 소정 횟수(N회) 행하는 경우에 있어서, 많은 시간 연장되는 일 없이, N회의 처리가 모두 종료되기 전에, 도중의 처리(n회째의 처리)에 대한 검사 결과를 파악할 수 있는 검사 방법 등을 제공하는 것을 제1 목적으로 한다.

또한, 카메라로 촬상 가능한 치수보다 큰 검사 영역을 가지는 복수개의 시트 기판 등의 검사 대상물을 반송하면서, 상기 검사 대상물의 검사를 행하는 경우에, 검사 대상물의 검사 영역 전체의 검사를, 1대의 카메라로 행할 수 있는 검사 방법 등을 제공하는 것을 제2 목적으로 한다.

또한, 동일한 구조물에 대하여 제조 공정과 검사 공정이 실행되는 경우에 있어서 위치맞춤의 횟수를 저감함으로써 제조 상의 문제점을 해소할 수 있는 제조/검사 장치 및 제조/검사 방법을 제3 목적으로 한다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 하나의 발명은, 소정의 처리가 행해진 대상물을 검사하는 검사 방법으로서, 복수개의 상기 대상물을 반송 라인 상에 반송하면서 각 상기 대상물에 대하여 차례로 상기 소정의 처리를 N회(N은 2이상의 자연수) 반복하여 행하는 처리 공정과, 상기 복수개의 대상물 중, n회째(N은 N 이하의 1이상의 자연수)의 처리가 종료된 선두의 상기 대상물에 대하여 검사를 행하고, 검사 후의 상기 대상물을 상기 복수개의 대상물 중 상기 n회째의 처리가 종료된 대상물의 뒤로 되돌리는 검사 공정을 포함하는, 검사 방법이다.

이에 따르면, 복수개의 대상물을 반송하면서, 각 대상물에 대하여 N회의 소정의 처리를 반복하여 행할 때, n회째의 처리가 종료된 선두의 대상물에 대하여 검사를 행하고, 상기 검사 후의 대상물을, n회째의 처리가 종료된 대상물의 뒤로 되돌리도록 구성하였으므로, 많은 시간 연장되는 일 없이, N회의 처리가 모두 종료되기 전에, 도중의 처리(n회째의 처리)에 대한 검사 결과를 파악할 수 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 하나의 발명은, 검사 방법으로서, 상기 검사 공정은, 검사 후의 상기 대상물을 상기 n회째의 처리가 종료된 최후미 대상물의 뒤로 되돌리는, 검사 방법이다.

이에 따르면, 검사 후의 대상물을 양호하게 반송 라인 상으로 되돌려, 상기 검사 후의 대상물에 대하여 계속 소정의 처리를 행할 수 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 하나의 발명은, 검사 방법으로서, 상기 검사 공정은, n회째의 처리가 종료된 상기 대상물의 검사 결과를 상기 처리 공정에 통지하는 검사 결과 통지 공정을 포함하고, 상기 처리 공정에서는, 상기 검사 공정으로부터 n회째의 처리에 대한 검사 결과의 통지를 받으면, 상기 검사 결과가 불량인 경우에는, 상기 복수개의 대상물에 대하여 처리를 중지하는, 검사 방법이다.

이에 따르면, 검사 결과가 NG인 경우에는, 처리를 중지하도록 구성하였으므로, 검사 결과를 다른 대상물에 대한 처리에 신속히 반영시킬 수 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 하나의 발명은, 검사 방법으로서, 상기 검사 공정은, n회째의 처리가 종료된 상기 대상물의 검사 결과를 상기 처리 공정에 통지하는 검사 결과 통지 공정을 포함하고, 상기 처리 공정에서는, 상기 검사 공정으로부터 n회째의 처리에 대한 검사 결과의 통지를 받으면, 상기 검사 결과가 양호한 경우에만, n+1회째의 처리를 상기 대상물에 대하여 행하는, 검사 방법이다.

이에 따르면, n회째의 처리에 대한 검사 결과를 받아, 다음 회(n+1회)의 검사를 행하도록 구성하였으므로, 다음 회(n+1회)의 처리까지, n회째의 처리에 대한 검사를 완료할 수 있고, n회째의 처리에 대한 검사 결과를 신속히 다음 회의 처리로 피드백하는 것이 가능해져, 불필요한 처리를 매우 감소시킬 수가 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 하나의 발명은, 검사 방법으로서, 상기 대상물은, 시트 기판으로서, 상기 처리 공정에서의 상기 소정의 처리는, 상기 시트 기판에 소정의 높이를 가지는 범프를 형성하기 위해, 상기 시트 기판에 대하여 은 페이스트를 반복 인쇄하는 인쇄 처리이며, 상기 검사 공정은, 상기 범프의 유무, 높이, 위치 등을 검사하는, 검사 방법이다.

이에 따르면, 복수개의 시트 기판을 반송하면서, 각 시트 기판에 대하여 N회의 소정의 인쇄 처리를 반복하여 행할 때, n회째의 인쇄 처리가 종료된 선두의 시트 기판에 대하여 검사를 행하고, 상기 검사 후의 시트 기판을, n회째의 인쇄 처리가 종료된 시트 기판의 뒤로 되돌리도록 구성하였으므로, N회의 인쇄 처리가 모두 종료되기 전에, 도중의 인쇄 처리(n회째의 인쇄 처리)에 대한 검사 결과를 파악할 수 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 청구항 1에 기재된 발명은, 카메라로 촬상 가능한 치수보다 큰 검사 영역을 가지는 검사 대상물로서, 복수개의 상기 검사 대상물을 반송 라인 상에서 반송하면서 검사를 행하는 검사 방법에 있어서, 하나의 상기 검사 대상물에 대하여, 상기 카메라로 촬상 가능한 치수분의 촬상폭 영역의 촬상을 행하는 촬상 공정에 있어서, 촬상 후에 상기 카메라를 적어도 촬상폭 치수분 이동시키는 이동 공정을 포함하고, 상기 카메라의 이동 후에 반송되어 온 다른 상기 검사 대상물에 대하여, 상기 하나의 검사 대상물의 촬상폭 영역에 대응하는 영역을 제외한 촬상폭 영역의 촬상을 행하고, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 촬상이 완료될 때까지, 상기 카메라의 이동과 촬상을 반복하고, 상기 복수개의 검사 대상물에 포함되는 각 상기 검사 대상물의 각각에 대하여, 서로 대응하지 않는 위치의 촬상폭 영역마다 촬상을 행하는 상기 촬상 공정과, 상기 촬상 공정에 의해 촬상된 각 상기 촬상폭 영역의 화상을 상기 카메라로부터 취득하여, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 검사를 행하는 검사 공정을 포함하는, 검사 방법이다.

이에 따르면, 카메라로 촬상 가능한 치수보다 큰 검사 영역을 가지는 복수개의 시트 기판 등의 검사 대상물을 반송하면서, 상기 검사 대상물의 검사를 행할 때, 카메라를 이동시키면서, 반송되어 온 각 검사 대상물에 대하여 서로 대응하지 않는 위치의 촬상 영역마다 촬상을 행함으로써, 검사 대상물의 검사 영역 전체의 검사를, 1대의 카메라로 행할 수 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 검사 방법에 있어서, 상기 이동 공정은, 상기 카메라를 촬상폭 치수분만큼 이동시키고, 상기 촬상 공정은, 상기 카메라의 이동 후에, 상기 하나의 검사 대상물의 다음에 반송되어 온 상기 다른 상기 검사 대상물에 대하여, 상기 하나의 검사 대상물의 촬상폭 영역에 대응하는 영역과 인접하는 촬상폭 영역의 촬상을 행하는, 검사 방법이다.

이에 따르면, 카메라의 이동량을 최소한으로 억제할 수 있고, 물리적인 이동 오차에 의한 촬상 오차 등을 최소한으로 억제할 수 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 검사 방법에 있어서, 상기 검사 방법은, 상기 검사 대상물에 대하여 소정의 처리가 행해진 후의 상기 검사 대상물의 검사를 행하는 검사 방법으로서, 상기 복수개의 검사 대상물을 상기 반송 라인 상에 반송하면서 각 상기 검사 대상물에 대하여 차례로 상기 소정의 처리를 행하는 처리 공정을 포함하고, 상기 촬상 공정에서는, 모든 상기 검사 대상물에 대한 상기 소정의 처리가 종료되기까지, 상기 복수개의 검사 대상물 중, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 촬상을 행하기 위해 촬상폭 영역의 촬상을 행하려는 검사 대상물에 대한 모든 촬상을 종료하는, 검사 방법이다.

이에 따르면, 검사 결과를 신속히 반영시킬 수 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 3에 기재된 검사 방법에 있어서, 상기 처리 공정은, 각 상기 검사 대상물에 대하여 상기 소정의 처리를 반복하여 행하고, 상기 촬상 공정은, 모든 상기 검사 대상물에 대한 n회째(N은 자연수)의 처리가 종료되기까지, 상기 복수개의 검사 대상물 중, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 촬상을 행하기 위해 촬상폭 영역의 촬상을 행하려는 검사 대상물에 대한 모든 촬상을 종료하고, 상기 검사 공정은, 상기 촬상 공정에 의해 촬상된 각 상기 촬상폭 영역의 화상을 상기 카메라로부터 취득하여, 상기 검사 영역 전체의 n회째의 처리 후의 검사를 행하는, 검사 방법이다.

이에 따르면, 검사 결과를 확실하게 n+1회째 이후의 처리에 반영시킬 수 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 3에 기재된 검사 방법에 있어서, 상기 검사 공정은, 검사 결과를 상기 처리 공정에 통지하는 검사 결과 통지 공정을 포함하고, 상기 처리 공정은, 검사 결과가 불량인 취지의 검사 결과의 통지를 받았을 경우에는, 상기 처리를 중지시키는 중지 고정을 포함하는, 검사 방법이다.

이에 따르면, 검사 결과가 NG인 경우에는, 처리를 중지하도록 구성하였으므로, 검사 결과를, 다른 검사 대상물이나 다음 회 이후의 처리에 신속히 반영시킬 수 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 3에 기재된 검사 방법에 있어서, 상기 검사 대상물은, 시트 기판이며, 상기 처리 공정에서의 상기 소정의 처리는, 상기 시트 기판에 소정의 높이를 가지는 범프를 형성하기 위해, 상기 시트 기판에 대하여 은 페이스트를 인쇄하는 인쇄 처리이며, 상기 검사 공정은, 상기 범프의 높이, 유무, 위치 등을 검사하는, 검사 방법이다.

이에 따르면, 카메라로 촬상 가능한 치수보다 큰 검사 영역을 가지는 복수개의 시트 기판을 반송하면서, 상기 시트 기판의 범프의 높이, 유무, 위치 등의 검사를 행할 때, 카메라를 이동시키면서, 반송되어 온 각 시트 기판에 대하여 서로 대응하지 않는 위치의 촬상 영역마다 촬상을 행함으로써, 시트 기판의 검사 영역 전체의 검사를, 1대의 카메라로 행할 수 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 하나의 발명은, 반송로 등의 반송 수단에 의해 반송되는 기판 등의 재료 상에 구조물을 형성하는 스크린 인쇄판 등의 제조 수단과, 상기 형성된 구조물의 형성 상황을 외관 검사하는 외관 검사용 카메라 등의 검사 수단을 구비하는 제조/검사 장치에 있어서, 상기 재료의 위치와 상기 반송 수단의 위치와 상기 제조 수단의 위치 사이의 위치맞춤을 행하는 위치맞춤부 등의 위치맞춤 수단과, 상기 검사 수단을 지지하는 지지부 등의 지지 수단을 구비하고, 상기 제조 수단은, 상기 위치맞춤이 행해진 상기 반송 수단에 의해 반송되는 상기 재료 상에 상기 구조물을 형성하는 것이며, 상기 지지 수단과 상기 반송 수단이 고정된 기대를 더 구비한다.

따라서, 재료와 제조 수단과 반송 수단 사이에서의 위치맞춤이 행해진 상태로 형성된 구조물의 외관을 검사하는 검사 수단을 지지하는 지지 수단이, 상기 반송 수단이 고정되어 있는 기대에 고정되어 있으므로, 일단 위치맞춤이 행해진 상태로 재료를 반송하는 반송 수단과 검사 수단의 위치 관계가 항상 일정하게 되므로, 구조물의 외관 검사 시에 있어서 상기 구조물과 검사 수단 사이에 반송 방향 이외의 방향의 위치맞춤을 고쳐서 행할 필요가 없다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 하나의 발명은, 제조/검사 장치에 있어서, 상기 지지 수단은, 상기 구조물의 검사 시에 있어서, 상기 구조물이 형성된 상기 재료를 상기 반송 수단이 반송하는 방향과 수직인 방향으로 상기 검사 수단을 이동시키면서 지지하는 지지 수단으로 구성된다.

따라서, 외관 검사 시에 있어서, 지지 수단이, 재료를 반송 수단이 반송하는 방향과 수직인 방향으로 검사 수단을 이동시키면서 지지하므로, 상기 방향으로 검사 수단을 이동시키면서 검사함으로써 검사 수단 자체의 구성을 간략화하는 경우라도, 상기 외관 검사 시에 있어서 구조물과 검사 수단 사이에 반송 방향 이외의 방향의 위치맞춤을 고쳐서 행할 필요가 없다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 하나의 발명은, 반송로 등의 반송 수단에 의해 반송되는 기판 등의 재료 상에 구조물을 형성하는 스크린 인쇄판 등의 제조 수단과, 상기 형성된 구조물의 형성 상황을 외관 검사하는 외관 검사용 카메라 등의 검사 수단을 구비하는 제조/검사 장치에 있어서, 상기 재료의 위치와 상기 반송 수단의 위치와 상기 제조 수단의 위치 사이의 위치맞춤을 행하는 위치맞춤부 등의 위치맞춤 수단을 구비하고, 상기 제조 수단은, 상기 위치맞춤이 행해진 상기 반송 수단에 의해 반송되는 상기 재료 상에 상기 구조물을 형성하는 것이며, 상기 검사 수단과 상기 반송 수단이 고정된 기대를 더 구비한다.

따라서, 재료와 제조 수단과 반송 수단 사이에서의 위치맞춤이 행해진 상태로 형성된 구조물의 외관을 검사하는 검사 수단이, 상기 반송 수단이 고정되어 있는 기대에 고정되어 있으므로, 일단 위치맞춤이 행해진 상태로 재료를 반송하는 반송 수단과 검사 수단의 위치 관계가 항상 일정하게 되므로, 구조물의 외관 검사 시에 있어서 상기 구조물과 검사 수단 사이에 반송 방향 이외의 방향의 위치맞춤을 고쳐서 행할 필요가 없다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 하나의 발명은, 제조/검사 장치에 있어서, 상기 위치맞춤 수단은, 상기 재료의 위치와 상기 반송 수단의 위치와 상기 제조 수단의 위치 사이의, 상기 재료가 반송되는 방향을 포함하는 면 내에서의 상기 위치맞춤을 행하는 2축 스테이지 등의 이차원 위치맞춤 수단으로 구성된다.

따라서, 위치맞춤 수단이, 재료가 반송되는 방향을 포함하는 면 내에서의 위치맞춤을 행하는 이차원 위치맞춤 수단이므로, 구조물의 외관 검사 시에 있어서 구조물과 검사 수단 사이의 반송 방향의 위치맞춤을 행하는 것만으로 충분하므로, 이차원적인 위치맞춤을 고쳐서 행할 필요가 없다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 하나의 발명은, 제조/검사 장치를 사용한 제조/검사 방법으로서, 상기 위치맞춤 수단에 의해 상기 위치맞춤을 행하는 위치맞춤 공정과, 상기 위치맞춤이 행해진 상태의 상기 재료 상에, 상기 제조 수단에 의해 상기 구조물을 형성하는 형성 공정과, 상기 위치맞춤이 행해지고, 또한 상기 구조물이 형성된 상기 재료에 있어서의 상기 형성 상황을, 상기 검사 수단에 의해 외관 검사하는 검사 공정을 포함한다.

따라서, 재료와 제조 수단과 반송 수단 사이에서의 위치맞춤이 행해진 상태인 채 반송되는 재료 상의 구조물을 외관 검사하므로, 일단 위치맞춤이 행해진 상태로 재료를 반송하는 반송 수단과 검사 수단의 위치 관계가 항상 일정해지므로, 구조물의 외관 검사 시에 있어서 상기 구조물과 검사 수단 사이에 반송 방향 이외의 방향의 위치맞춤을 고쳐서 행할 필요가 없다.

본 발명에 의하면, 복수개의 시트 기판 등의 대상물을 반송하면서, 각 대상물에 대하여 N회의 소정의 처리를 반복하여 행할 때, n회째의 처리가 종료된 선두의 대상물에 대하여 검사를 행하고, 상기 검사 후의 대상물을, n회째의 처리가 종료된 대상물의 뒤로 되돌리도록 구성하였으므로, 많은 시간 연장되는 일 없이, N회의 처리가 모두 종료되기 전에, 도중의 처리(n회째의 처리)에 대한 검사 결과를 파악할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 카메라로 촬상 가능한 치수보다 큰 검사 영역을 가지는 복수개의 시트 기판 등의 검사 대상물을 반송하면서, 상기 검사 대상물의 검사를 행할 때, 카메라를 이동시키면서, 반송되어 온 각 검사 대상물에 대하여 서로 대응하지 않는 위치의 촬상 영역마다 촬상을 행함으로써, 검사 대상물의 검사 영역 전체의 검사, 예를 들면, 모든 검사 대상물에 발생하는 공통 결함을, 1대의 카메라로 행할 수 있다.

도 1은 제1 실시예에 관한 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 2는 도 1에 계속되는 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 3은 도 2에 계속되는 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 4는 도 3에 계속되는 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 5는 도 4에 계속되는 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 6은 도 5에 계속되는 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 7은 도 6에 계속되는 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 8은 도 7에 계속되는 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 9는 도 8에 계속되는 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 10은 도 9에 계속되는 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 11은 다른 예에 있어서의 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 12는 다른 예에 있어서의 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.
도 13은 제2 실시예에 관한 범프 형성 라인 시스템(SS)의 외관 구성도이다.
도 14는 검사 장치(120)의 외관 구성도이다.
도 15는 라인 센서 카메라(121)에 의한 시트(100a)에 대한 촬상의 상태를 나타낸 설명도이다.
도 16은 시트(100a~10Oe)의 촬상 범위의 설명도이다.
도 17은 범프 형성 라인 시스템(SS)의 외관 구성도이다.
*도 18은 시트(100a~100h)에 대한 범프 형성 종료 후의 범프 형성 라인 시스템(SS)의 외관 구성도이다.
도 19는 도 18에 계속되는 범프 형성 라인 시스템(SS)의 외관 구성도이다.
도 20은 제3 실시예에 관한 제조/검사 장치의 개요 구성을 나타낸 블록도이다.
[도면의 주요 분분에 대한 부호의 설명]
1(1a~1p), 10O(100a~10Op) : 시트
10 : 인쇄 공정
20 : 검사 공정
30 : 건조 공정
40, 140 : 시스템 제어 장치
110 : 인쇄 장치
120 : 검사 장치
121 : 라인 센서 카메라
130 : 건조 장치
200 : 기대
200A : 위치맞춤부
20OB : 형성부
200C : 검사부
201 : 2축 스테이지
202 : 반송로
203 : 외관 검사용 카메라
204 : 스크린 인쇄판
205 : 위치맞춤용 카메라
206 : 회전 스테이지
207 : 지지부
M : 기판

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 제1 실시예에서는, 본 발명의 검사 방법을, 시트 기판을 반송하면서, 상기 시트 기판에 범프를 형성하는 범프 형성 라인 시스템에 적용한 경우에 대하여 설명한다.

도 1 내지 도 5는, 본 제1 실시예에 관한 범프 형성 라인 시스템(S)의 외관 구성도이다.

범프 형성 라인 시스템(S)은, 대상물의 일례로서의 시트 기판(1)[1a~1h](이하, "시트 기판"을 단지 "시트"라고 함)에 대하여 은 페이스트를 인쇄하는 인쇄 공정(10)(본 발명의 처리 공정의 일례)과, 범프의 유무, 높이, 위치어긋남 등의 검사를 행하는 검사 공정(20)과, 인쇄된 은 페이스트의 가건조를 행하는 건조 공정(30)과, 인쇄 공정(10), 검사 공정(20) 및 건조 공정(30)에 포함되는 컴퓨터(도시하지 않음)와 정보의 송수신을 행하고, 각 컴퓨터에 대하여 제어 신호를 송신하는 시스템 제어 장치(40)에 의해 구성된다. 그리고, 건조 공정(30)은 검사 공정(20)의 전에 구비하도록 구성해도 되고, 또는 상기 건조 공정(30)을 본 시스템(S) 내에 구비하지 않고도, 본 시스템(S)으로부터 시트(1)를 배출한 후, 건조시키도록 구성해도 된다. 또한, 인쇄 공정(10)뿐아니라 본 발명의 처리 공정으로서 다른 처리 공정을 포함하도록 구성해도 지장을 주지 않는다.

시트(1)는, 예를 들면, B²it 방식 등에 의한 고밀도 실장용의 빌드업 프린트 배선판에 사용되는 동박 시트 기판으로서, 범프 형성 시트 투입/배출구로부터 시스템(S) 내에 차례로 투입된다. 시스템(S)에 투입된 시트(1)는, 그 후 반송 라인 상에 반송된다.

*인쇄 공정(10)에서는, 반송되어 온 시트(1)에 대하여, 차례대로 소정의 위치(범프의 형성을 원하는 위치)에 은 페이스트 인쇄를 행한다. 본 제1 실시예에 있어서는, 도 1 및 도 2 등에 나타낸 바와 같이 시트(1a), 시트(1b), 시트(1c)…의 순으로 시트 표면에 인쇄 처리가 행해지게 된다. 또한, 원하는 높이의 범프를 형성하기 위해 소정 횟수(N회)의 인쇄 처리가 동일한 위치에 반복 중첩하여 행해지게 되지만, 본 제1 실시예에서는 3회(N= 3) 인쇄를 행하는 경우에 대하여 설명한다.

검사 공정(20)에서는, 1회(n= 1)의 인쇄가 종료된 선두의 시트인 시트(1a)의 검사가 행해진다(도 1 및 도 2 참조). 검사는, 1회의 인쇄로 형성된 범프가, 사양대로의 위치에, 사양대로의 크기로 정확하게 형성되어 있는지 여부를 검사한다. 그리고, 이 경우 1회 밖에 은 페이스트를 인쇄하고 있지 않으므로, 여기서 말하는 "사양대로의 크기"란, 최종적으로 형성해야 할 범프의 높이가 아니고, 1회의 은 페이스트의 인쇄로 형성될 범프의 높이 등을 검사하게 된다.

건조 공정(3O)에서는, 은 페이스트 인쇄 후의 가건조가 행해진다.

검사 공정(20)에 의해 시트(1a)의 검사가 행해지고 있는 동안에, 인쇄 공정(10)에서 시트(1b)~시트(1h)에 대한 1회째의 인쇄가 차례로 행해진다(도 2 및 도 3 참조). 즉, 1회째의 인쇄에 대한 검사는, 1회째의 인쇄가 종료된 선두의 시트인 시트(1a)에 대하여만 행하고, 다른 시트(1b)~(1h)에 대하여는 행하지 않는다.

그리고, 검사 공정(20)에 포함되는 컴퓨터(도시하지 않음)는, 시트(1a)의 검사 결과 우측, 도시하지 않은 통신망(유선, 무선을 포함함)을 통하여 시스템 제어 장치(40)에 송신하는 동시에, 검사 후의 시트(1a)를 반송 라인 상으로 되돌린다.

시스템 제어 장치(40)는, 양호한 취지의 검사 결과(검사 OK)를 수신한 경우에는, 도시하지 않은 통신망(유선, 무선을 포함함)을 통하여 인쇄 공정(10)에 포함되는 컴퓨터(도시하지 않음)에 대하여 2회째의 인쇄를 개시하는 것을 지시한다(도 4 참조). 그리고, 인쇄 공정(10)은, 상기 인쇄 공정(10)에 포함되는 컴퓨터가, 시스템 제어 장치(40)에서 1회째의 검사 OK에 기인하여 2회째(n= 2)의 인쇄 처리의 실행 지시를 받으면, 시트(1b)에 대하여 2회째의 인쇄 처리를 개시한다.

또한, 검사 공정(20)이, 시트(1a)를 반송 라인 상으로 되돌리려면, 1회째의 인쇄가 행해진 시트(1)의 뒤이면, 어느 쪽 시트의 뒤로 되돌려도 되지만, 예를 들면, 도 4에 나타낸 바와 같이, 1회째의 인쇄가 행해진 최후의 시트(1h)의 뒤로 되돌리는 것이 바람직하다.

계속하여, 상기와 마찬가지로 하여, 2회째의 인쇄가 행해진 시트(1)에 대해서도 검사가 행해진다. 이하, 도 5 내지 도 8을 참조하여 설명한다.

도 5 내지 도 8은, 도 4에 의해 2회째의 인쇄가 허가(지시)되고, 시트(1b)에 대하여 2회째의 인쇄 처리가 행해진 후의 계속되는 시트(1)의 반송을 나타낸 시스템 구성도이다.

검사 공정(20)은, 2회째의 인쇄가 종료된 선두의 시트인 시트(1b)의 검사를 행한다(도 5 참조). 그리고, 검사 공정(20)에 있어서 시트(1b)의 검사가 행해지고 있는 동안에, 인쇄 공정(10)에 있어서 시트(1c)~시트(1a)에 대한 2회째의 인쇄가 차례로 행해진다(도 5 및 도 6 참조). 상기와 마찬가지로, 2회째의 인쇄에 대한 검사는, 2회째의 인쇄가 종료된 선두의 시트인 시트(1b)에 대하여만 행하고, 다른 시트(1c)~시트(1a)에 대하여는 행하지 않는다.

그리고, 검사 공정(20)에 포함되는 컴퓨터(도시하지 않음)는, 시트(1b)의 검사 결과(예를 들면, 양호한 취지의 검사 결과(검사 OK))를, 시스템 제어 장치(40)에 송신하고, 이것을 받은 시스템 제어 장치(40)는, 인쇄 공정(10)에 포함되는 컴퓨터(도시하지 않음)에 대하여 3회째의 인쇄를 개시하는 것을 지시한다(도 7 참조). 또한, 시트(1b)를 반송 라인 상으로 되돌린다.

그리고, 인쇄 공정(10)은, 상기 인쇄 공정(10)에 포함되는 컴퓨터가, 시스템 제어 장치(40)로부터 2회째의 검사 OK에 기인하여 3회째(n= 3)의 인쇄 처리의 실행 지시를 받으면, 시트(1c)에 대하여 3회째의 인쇄 처리를 개시한다.

이어서, 검사 공정(20)은, 3회째의 인쇄가 종료된 선두의 시트인 시트(1c)의 검사를 행한다(도 8 참조). 이하, 마찬가지로 하여, 소정 횟수(N회)의 인쇄 처리에 대하여, n회(n은 N 이하의 1이상의 자연수)의 인쇄 처리가 종료된 선두의 시트(1)에 대하여 검사가 행해진다.

그리고, 3회의 인쇄(n= 1, 2, 3)의 검사 결과가 모두 양호(검사 OK)하면, 1군의 시트(1a~1h)에 대한 범프 형성 처리가 양호하게 종료하고, 범프 형성 시트 투입/배출구로부터 배출된다(도 9 참조). 그리고, 도 10에 나타낸 바와 같이 새로운 시트(1i~1p)가 범프 형성 라인 시스템(S) 내에 투입되게 된다.

그리고, 도 4 및 도 7에서는, 검사 공정(20)에 의한 검사 결과가 양호한 경우에 대하여 설명하였으나, 도 11에 나타낸 바와 같이, 검사 공정(20)에 의한 검사 결과가 불량(검사 NG)인 경우도 있다. 이 경우, 검사 공정(20)에 포함되는 컴퓨터는, 시트(1c)가 불량인 취지의 검사 결과(검사 NG)를, 시스템 제어 장치(40)에 송신하고, 이것을 받은 시스템 제어 장치(40)는, 인쇄 공정(10)에 포함되는 컴퓨터에 대하여, 인쇄 처리를 중지하도록 지시한다.

그리고, 인쇄 공정(10)은, 상기 인쇄 공정(10)에 포함되는 컴퓨터가, 시스템 제어 장치(40)로부터 3회째의 검사 NG에 기인하여 인쇄 처리의 중지 지시를 받으면, 현재 실행 중인, 다른 어느 시트(1d~1b)에 대한 3회째의 인쇄 처리를 중지한다. 검사된 시트(1c)는, 도 11에 나타낸 바와 같이 반송 라인 상으로 되돌려, 범프 형성 시트 투입/배출구로부터 배출하도록 구성해도 되고, 또는 시스템 제어 장치(40)가 반송 라인을 모두 스톱하여, 오퍼레이터에 대하여 검사 NG를 통지하고, 오퍼레이터에 의한 판의 세정, 인쇄 처리가 스크린 인쇄인 경우에는, 판에 잉크를 꽉 누르는 스키지의 스피드나, 판과 시트의 거리 등의 인쇄 조건 등의 확인, 그 외의 검사 NG의 원인 추구 등의 조사(調査) 및 조정을 대기하도록 구성해도 된다. 이와 같이, 검사 결과가 불량인(검사 NG) 경우에는, 각 불량의 원인에 따른 처리를 행하도록 구성하면 된다.

본 제1 실시예에 따르면, 복수개의 시트(1)를 반송하면서, 각 시트(1)에 대하여 N회의 인쇄 처리를 반복하여 행할 때, n회째의 인쇄가 종료된 선두의 시트(1)에 대하여 검사를 행하고, 상기 검사 후의 시트를, n회째의 인쇄 처리가 종료된 시트(1)의 뒤로 되돌리도록 구성하였으므로, 다음 회 (n+1회)의 인쇄까지, n회째의 처리에 대한 검사를 완료할 수 있고, 소정의 인쇄 횟수가 모두 종료되기 전에, 도중의 인쇄 처리에 대한 검사 결과를 파악할 수 있다. 또한, 반송 라인 상에서 반송되는 n회째의 인쇄 처리가 행해진 시트(1)를 뽑아내 검사 공정(20)에 의해 검사를 행하지만, 검사 중에도 다른 시트(1)는 머무는 일 없이 반송되고, 차례로 n회째의 인쇄 처리가 행해지므로, 선두의 시트(1)를 뽑아내 검사하는 것에 의한 범프 형성 공정 전체의 시간 연장(타임 로스)을, 근소한 시간(구체적으로는, 검사 공정(20)이 최후에 검사한 시트를 반송 라인으로 되돌리는 정도)으로 억제할 수 있다.

또한, 검사 결과가 NG인 경우에는, 즉시 인쇄 공정(10)에 있어서의 인쇄 처리를 중지하도록 구성하였으므로, 검사 결과를, 다른 시트(1)에 대한 인쇄 처리에 신속히 반영시킬 수 있다.

또한, n회째의 인쇄에 대한 검사 결과를 받아, 다음 회(n+1회)의 검사를 행하도록 구성하였으므로, 다음 회(n+1회)의 인쇄 처리까지, n회째의 인쇄 처리에 대한 검사를 완료할 수 있고, n회째의 인쇄에 대한 검사 결과를 신속히 다음 회의 인쇄에 피드백하는 것이 가능해져, 불필요한 인쇄를 매우 줄일 수가 있다.

그리고, 전술한 제1 실시예에서는, 도 4 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 검사 후의 시트(1a)(인쇄 횟수: 1)를, 1회째의 인쇄가 행해진 최후의 시트(1h)의 뒤로 되돌려, 검사 후의 시트(1b)(인쇄 횟수: 2)를, 2회째의 인쇄가 행해진 최후의 시트(1a)의 뒤로 되돌리도록 구성하였다. 바꾸어 말하면, 인쇄 횟수가 n회의 시트(1)는, 검사 후, 인쇄 횟수가 n회의 최후미의 시트(1)의 뒤로 되돌렸다. 그러나, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되는 것이 아니고, 도 12에 나타낸 바와 같이, 검사 후의 시트(1a)(인쇄 횟수: 1)는, 시트(1e)의 뒤로 되돌려도 된다. 즉, 인쇄 횟수가 n회의 시트(1)는, 검사 후, 인쇄 횟수가 n회의 시트(1)인 어느 시트(1)의 뒤로 되돌려도 된다.

또한, 전술한 제1 실시예에서는, 인쇄 공정(10)과 검사 공정(20)은 시스템 제어 장치(40)를 통하여 검사 결과의 교환을 행하였으나, 검사 공정(20)에 포함되는 컴퓨터(검사 장치)로부터, 인쇄 공정(10)에 포함되는 컴퓨터(처리 장치)로 직접 교환하는 구성으로 해도 된다.

(II) 제2 실시예

다음에, 본 발명의 바람직한 다른 실시예인 제2 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다.

도 13은, 본 제2 실시예에 관한 범프 형성 라인 시스템(SS)의 외관 구성도이다.

범프 형성 라인 시스템(SS)은, 검사 대상물의 일례로서의 시트(100)[100a∼100h]에 대하여 페이스트를 인쇄하는 인쇄 장치(110)(본 발명의 처리 장치의 일례)와, 범프의 유무, 높이, 위치어긋남 등의 검사를 행하는 검사 장치(120)와, 인쇄된 은 페이스트의 가건조를 행하는 건조 장치(130)와, 인쇄 장치(110), 검사 장치(120) 및 건조 장치(130)와 정보의 송수신을 행하고, 각 장치에 대하여 제어 신호를 송신하는 시스템 제어 장치(140)에 의해 구성된다. 그리고, 건조 장치(130)는 검사 장치(120)의 전에 구비하도록 구성해도 되고, 또는 상기 건조 장치(130)를 본 시스템(SS) 내에 구비하지 않고도, 본 시스템(SS)으로부터 시트(100)를 배출한 후, 건조시키도록 구성해도 된다. 또한, 인쇄 장치(110)만아니라 본 발명의 처리 장치로서 다른 처리 장치를 포함하도록 구성해도 지장을 주지 않는다.

시트(100)는, 예를 들면, B²it 방식 등에 의한 고밀도 실장용의 빌드업 프린트 배선판에 사용되는 동박 시트 기판으로서, 범프 형성 시트 투입/배출구로부터 시스템(SS) 내에 차례로 투입된다. 시스템(SS)에 투입된 시트(100)는, 그 후 반송 라인 상에 반송된다.

인쇄 장치(11O)에서는, 반송되어 온 시트(100)에 대하여, 차례대로 소정의 위치(범프의 형성을 원하는 위치)에 은 페이스트 인쇄를 행한다. 본 제2 실시예에 있어서는, 도 13에 나타낸 바와 같이 시트(100a), 시트(100b), (100c)… 순으로 시트 표면에 인쇄 처리가 행해지게 된다. 또한, 원하는 높이의 범프를 형성하기 위해 소정 횟수(예를 들면, N= 3회)의 인쇄 처리가 동일한 위치에 반복 중첩하여 행해지게 된다.

검사 장치(120)는, 촬상 수단 및 검사 수단으로서 기능하고, 인쇄 장치(110)에 의해 n회째(n은 N 이하의 자연수)의 인쇄가 종료된 시트(100a)를 카메라에 의해 촬상하여 검사를 행한다. 여기서 행해지는 검사는, 시트(100a)의 촬상 범위 내에 있어서, 1회의 인쇄로 형성된 범프가, 사양대로의 위치에, 사양대로의 크기로 정확하게 형성되어 있는지 여부를 검사한다. 그리고, 이 경우 1회 밖에 은 페이스트를 인쇄하고 있지 않으므로, 여기서 말하는 "사양대로의 크기"란, 최종적으로 형성해야 할 범프의 높이가 아니고, 1회의 은 페이스트의 인쇄로 형성할 범프의 높이 등을 검사하게 된다. 또한, 시트의 검사해야 할 검사 영역은, 카메라로 촬상 가능한 치수보다 크다. 따라서, 시트(100a)의 일부만이 카메라에 의해 촬상되게 된다.

이하, 카메라에 의해 촬상되는 촬상 범위에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 14는, 검사 장치(120)의 외관 구성도이다.

검사 장치(120)에서는, 본 발명의 카메라의 일례로서의 라인 센서 카메라(121)는, 반송 라인 상에서 반송되는 시트(100)의 반송 방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 구비되어 있다.

도 15는, 라인 센서 카메라(121)에 의한 1회째의 인쇄가 행해진 시트(100a)에 대한 촬상의 상태를 나타낸 설명도이다. 본 제2 실시예에서는, 라인 센서 카메라(121)로 촬상 가능한 치수보다 큰 시트(100)의 표면 전체를 검사해야 할 검사 영역으로 한다.

시트(100a)의 촬상 범위는, 라인 센서 카메라(121)에 의해 촬상 가능한 치수분의 촬상폭 영역분으로 된다. 예를 들면, 도 15에 나타낸 예의 경우, 동 도면 중 시트(100a)의 좌측단으로부터 촬상폭 영역분의 범위가, 라인 센서 카메라(121)에 의해 촬상되는 범위로 된다.

다음에, 라인 센서 카메라(121)는, 시트(100a)의 촬상 종료 후 다음의 시트(100b)의 촬상에 구비되어 이동한다(이동 수단).

그리고, 시트(100a)와 같이 1회째의 인쇄가 종료된 시트(100b)가 검사 장치(120)에 반송되어 온다. 여기에서도, 라인 센서 카메라(121)는, 시트(100a)와 마찬가지로 하여 촬상폭 영역분의 촬상을 행한다. 시트(100b)에 있어서의 촬상 범위는, 시트(100a)로 촬상한 영역과 대응하는 영역을 제외한 영역(즉, 시트(100a)에 의해 촬상한 영역은 상이한 영역)에 대하여 촬상을 행한다. 이와 같이 라인 센서 카메라(121)를 작용시키기 위해서는, 시트(100a)의 촬상 종료 후, 라인 센서 카메라(121)를, 적어도 상기 라인 센서 카메라(121)에 의해 촬상 가능한 촬상폭 치수분 이상 이동시키면 된다.

도 16에 라인 센서 카메라(121)에 의해 촬상되는 시트(100a~100e)의 촬상 범위의 설명도를 나타낸다. 동 도면은, 1회 촬상마다 라인 센서 카메라(121)를 촬상폭 치수분만큼 이동시켜 촬상 범위를 서서히 늦추면서 시트(100a)~시트(100e)의 5개의 시트를 촬상한 경우의 예이다. 이와 같이, 반송 라인에 의해 반송되어 온 순서대로, 각 시트(100a)~시트(100e)를 촬상하여 취득한 각 화상에 따라 검사를 행하면, 말하자면 인쇄 횟수가 1회인 시트(1O0)의 표면 전체(검사 범위)에 걸친 검사가 행해지게 된다. 복수개의 시트(100)를 각 촬상폭 영역마다 촬상하여 검사를 행함으로써, 모든 시트(100)에 발생하는 공통 결함의 검사를 행할 수 있다. 모든 시트(100)에 발생하는 공통 결함이란, 예를 들면, 판의 눈막힘 등, 판 기인에 따른 결함을 말한다.

검사 후, 검사 장치(120)는, 1회째의 인쇄의 검사 결과를, 도시하지 않은 통신망(유선, 무선을 포함함)을 통하여 시스템 제어 장치(140)에 송신한다.

시스템 제어 장치(140)는, 양호한 취지의 검사 결과(검사 OK)를 수신한 경우에는, 도시하지 않은 통신망(유선, 무선을 포함함)을 통하여 인쇄 장치(110)에 대하여 인쇄 속행을 허가한다. 인쇄 장치(110)는, 시스템 제어 장치(140)로부터 인쇄 속행의 허가를 받으면, 허가를 받았을 때, 나머지의 시트(100f~100h) 중 아직 1회째의 인쇄가 종료되어 있지 않은 시트(100)에 대한 1회째의 인쇄와 재차 반송되어 온 시트(100a), (100b), (100c)…에 대한 2회째의 인쇄를 행한다.

한편, 시스템 제어 장치(140)는, 불량인 취지의 검사 결과(검사 NG)를 수신한 경우에는, 인쇄 장치(110)에 대하여 인쇄를 중지하도록 지시한다.

그리고, 인쇄 장치(110)는, 시스템 제어 장치(140)로부터 검사 NG에 기인하여 인쇄 처리의 중지 지시를 받으면, 인쇄를 즉시 중지한다. 인쇄 중지 후에는, 반송 라인에 있는 시트(100)를 모두 범프 형성 시트 투입/배출구로부터 배출하도록 구성해도 되고, 또는 시스템 제어 장치(140)가 반송 라인을 모두 스톱하여, 오퍼레이터에 대하여 검사 NG를 통지하고, 오퍼레이터에 의한 판의 세정, 인쇄 처리가 스크린 인쇄인 경우에는, 판에 잉크를 꽉 누르는 스키지의 스피드나, 판과 시트의 거리 등의 인쇄 조건 등의 확인, 그 외의 검사 NG의 원인 추구 등의 조사 및 조정을 대기하도록 구성해도 된다. 이와 같이, 검사 결과가 불량인(검사 NG) 경우에는, 각 불량의 원인에 따른 처리를 행하도록 구성하면 된다.

그리고, 1회째의 인쇄 검사 결과가 양호했던 경우에는, 검사 장치(120)에 의해 검사된 각 시트(100)는, 그 후 건조 장치(130)를 경유하여 다시 인쇄 장치(110)로 반송되어 2회째의 인쇄가 행해진다(도 17 참조). 2회째의 인쇄 후에 검사를 행할 때도 마찬가지로 하여, 반송 라인에 의해 반송되어 온 순서대로, 각 시트(100a)~시트(100e)를 촬상하고, 상기 각 화상에 따라 인쇄 횟수가 2회인 시트(100)의 표면 전체의 검사를 행한다. 그리고, 3회의 인쇄 검사 결과가 모두 양호(검사 OK)이면, 1군의 시트(100a~100h)에 대한 범프 형성 처리가 양호하게 종료하고, 도 18에 나타낸 바와 같이 범프 형성 시트 투입/배출구로부터 시트(100a~100h)가 배출된다. 그리고, 새로운 시트(100i~100p)가 범프 형성 라인 시스템(SS) 내에 투입되게 된다(도 19 참조).

그리고, 전술한 제2 실시예와 같이, 시트(100a)~시트(100e)의 5개의 시트로 시트(100)의 표면 전체의 화상을 커버할 수 있는 경우에는, 시트(1OOe)에 계속되는 나머지 시트(100f~100h)에 대하여는 1회째, 2회째 모두 촬상(검사)을 행하지 않도록 구성해도 되고, 또는 1회째의 검사는, 시트(100a)~시트(100e)를 사용하여 행하고, 2회째의 검사는, 1회째의 검사가 행해지지 않았던 시트(100f~100h)를 포함하는 5개의 시트에 의해 행하도록 구성해도 된다.

제2 실시예에 따르면, 라인 센서 카메라(121)의 촬상 가능 범위(촬상 가능 치수)보다 큰 검사 영역을 가지는 복수개의 시트(100)를 반송하면서 검사를 행할 때, 라인 센서 카메라(121)를 이동시키면서, 반송되어 온 각 시트(100)에 대하여 서로 대응하지 않는 위치의 촬상 영역마다 촬상을 행하도록 구성하였으므로, 시트(1O0)의 검사 영역 전체의 검사, 예를 들면, 모든 시트(100)에 발생하는 공통 결함의 검사를, 1대의 카메라로 행할 수 있다.

또한, 라인 센서 카메라(121)는 시트(100a)의 촬상 후, 라인 센서 카메라 (121)의 촬상 가능한 촬상폭 치수분만큼 이동시키고, 다음에, 반송되어 온 시트 (100b)에 대하여, 시트(100a)의 촬상폭 영역에 대응하는 영역과 인접하는 촬상폭 영역의 촬상을 행하도록 구성하였으므로, 라인 센서 카메라(121)의 이동량을 최소한으로 억제할 수 있어, 물리적인 이동 오차에 의한 촬상 오차 등을 최소한으로 억제할 수 있다.

또한, 시트(100a~100h)에 대한 n회째의 모든 인쇄가 종료되기까지, 환언하면, 시트(100h)의 n회째의 인쇄가 종료되기까지, 최초의 5개의 시트(100a)~시트(100e)에 대한 검사에 의해 n회째의 인쇄에 대한 검사를 종료할 수 있으므로, 검사 결과를 확실하게 n+1회째 이후의 인쇄에 반영시킬 수 있다.

또한, 검사 결과가 NG인 경우에는, 즉시 인쇄 장치(110)에 있어서의 인쇄 처리를 중지하도록 구성하였으므로, 검사 결과를, 다른 시트(100)에 대한 인쇄 처리에 신속히 반영 시킬 수 있다.

또한, 전술한 제2 실시예에서는, 시트(100)의 표면 전체를 검사해야 할 검사 영역으로 하였으나, 예를 들면, 범프가 시트 중앙부에만 형성되도록 한 사양의 경우에는, 상기 시트 중앙부 영역을 검사 영역으로 해도 된다.

또한, 전술한 제2 실시예에서는, 인쇄 장치(110)와 검사 장치(120)는 시스템 제어 장치(140)를 통하여 검사 결과의 교환을 행하였으나, 검사 장치(120)로부터 인쇄 장치(110)로 직접 교환하도록 구성해도 된다.

(Ⅲ) 제3 실시예

다음에, 본 발명의 바람직한 또다른 실시예인 제3 실시예를 도 20을 참조하여 설명한다. 그리고, 이하에 설명하는 제3 실시예는, 예를 들면, 적층형 반도체 기판을 제조하는 동시에, 상기 제조된 반도체 기판의 표면에 형성되어 있는 접점이나 범프의 형상 또는 위치를 외관 검사하는 제조/검사 장치에 대하여 본 발명을 적용한 경우의 실시예이다.

그리고, 도 20은 제3 실시예에 관한 제조/검사 장치의 개요 구성을 나타낸 외관 사시도이다.

도 20에 나타낸 바와 같이, 제3 실시예에 관한 제조/검사 장치(SSS)는, 기대(200) 상에 형성되어 있고, 재료로서의 기판(M) 상에 상기 접점이나 범프 등을 형성할 때 필요한 위치맞춤(이차원의 위치맞춤)을 행하는 위치맞춤 수단으로서의 위치맞춤부(200A)와, 상기 위치맞춤 후의 기판(M) 상에 상기 범프 등을 인쇄법에 의해 형성하는 형성부(200B)와, 상기 범프 등이 형성된 기판(M)에 대한 외관 검사가 행해지는 검사부(200C)로 분할되어 있다.

다음에, 위치맞춤부(200A)에는, 상기 위치맞춤용의 이차원 위치맞춤 수단으로서의 2축 스테이지(201)와, 회전 방향의 위치맞춤을 행하기 위한 회전 스테이지(206)와, 화상을 사용하여 기판(M)의 위치맞춤 상태를 확인하기 위한 위치맞춤용 카메라(205)가 구비되어 있다.

그리고, 상기 2축 스테이지(201)에 의해 수평면 내에서의 X 방향과 Y 방향의 위치맞춤가 행해지고, 또한 회전 스테이지(206)에 의해 회전 방향의 위치맞춤이 실행된다. 이 때, 상기 각방향의 위치맞춤 상태는, 위치맞춤용 카메라(205)로부터의 화상에 따라 인위적 또는 자동적으로 판정된다. 여기서, 2축 스테이지(201) 및 회전 스테이지(206) 상에서의 위치맞춤이 실행됨으로써, 결과적으로 반송 수단으로서의 반송로(202)로 기판(M) 사이의 위치맞춤도 실행되게 된다.

다음에, 위치맞춤이 완료된 기판(M)은, 2축 스테이지(201) 및 회전 스테이지(206)마다 반송로(202) 상을 도 20 중 좌측 방향으로 형성부(200B)까지 반송된다. 이 때, 상기 반송로(202)는, 이른바 벨트 컨베이어 등과는 달리, 위치맞춤부(200A)에 있어서 위치맞춤이 행해진 상태를 무너뜨리지 않도록 형성부(200B) 및 검사부(200C)까지 기판(M)을 반송할 수 있는 반송로이다.

그리고, 형성부(200B)에 반송된 기판(M)에 대하여, 제조 수단으로서의 스크린 인쇄판(204)을 사용한 인쇄법에 의해, 상기 접점 또는 범프 등이 형성된다. 이 형성 공정 후, 기판(M)은, 상기 회전 스테이지(206) 상에 탑재된 채, 검사부(200C)에 반송로(202)에 의해 반송된다. 그리고, 이 때, 위치맞춤부(200A)에 있어서 위치맞춤이 행해진 상태가 그대로 유지되면서 검사부(200C)까지 반송된다.

한편, 검사부(200C)에 있어서 기대(200)에 고정된 지지 수단으로서의 지지부(207)에는, 반송로(202)를 반송되어 오는 기판(M)의 외관 검사가 가능한 시야 범위를 가지도록, 검사 수단으로서의 외관 검사용 카메라(203)가 설치되어 있다. 그리고, 상기 외관 검사용 카메라(203)를 사용하여, 상기 범프 등이 형성된 기판(M)의 외관 검사가 실행된다.

이 때, 상기 외관 검사용 카메라(203)는, CCD 등의 촬상 소자를 내장한 라인 센서 카메라 등을 사용하여 구성된 것이며, 형성부(200B)에 있어서 형성된 범프 등의 외관을 촬상하고, 그 결과를 도시하지 않은 검사 장치 등에 전송한다. 여기서, 상기 외관 검사 시에는, 외관 검사용 카메라(203)의 시야 범위 내에 설치된 소정의 검사 위치에(형성부(200B)로부터 반송되어 온) 기판(M)이 도달한 타이밍에서, 상기 기판(M)을 일시적으로 정지시키도록 제어하게 된다.

그리고, 기판(M)의 위치맞춤 자체는, 이미 위치맞춤부(200A)에 있어서 실행되고, 그 상태를 유지하면서 반송로(202)에 의해 기판(M)이 반송되는 것이며, 또한 외관 검사용 카메라(203)가 위치맞춤부(200A)와 같은 기대(200) 상에 지지부(207)를 통하여 고정되어 있으므로, 검사부(200C)에 있어서의 외관 검사를 위한 것만의 위치맞춤은 불필요하게 된다.

또한, 검사부(200C)를 구성하는 외관 검사용 카메라(203)로서는, 도 20에 예시한 바와 같이, 지지부(207)에 고정된 복수개의 상기 외관 검사용 카메라(203)를 사용하여 각 외관 검사용 카메라(203)의 시야 범위마다 외관 검사를 행해도 되고, 예를 들면, 지지부(207) 상에 형성된 레일 상을 기판(M)의 반송 방향과는 수직인 방향(도 20의 깊이 방향)으로 이동하는 1대의 외관 검사용 카메라(203)를 사용하여 주사하면서 외관 검사를 행하는 것이라도 된다.

그리고, 검사부(200C)에 있어서의 외관 검사가 종료된 기판(M)은, 다음의 공정으로 다시 반송된다.

그리고, 제3 실시예에 관한 기판(M)과 같이 인쇄법에 의해 접점이나 범프 등을 형성하는 경우, 동일한 기판(M)에 대하여 복수회의 인쇄 공정을 거치는 것이 필요하지만, 이 경우는, 순환식의 반송로 상을 기판(M)이 이동함으로써 형성부(200B)에 있어서의 인쇄 공정이 1개의 기판(M)에 대하여 복수회 행해지게 된다. 그리고, 1회의 인쇄 공정이 실행될 때마다 상기 위치맞춤부(200A)에 있어서의 위치맞춤 공정, 형성부(200B)에 있어서의 인쇄 공정 및 검사부(200C)에 있어서의 검사 공정이 실행되는 것이지만, 적어도 1회의 위치맞춤 공정, 인쇄 공정 및 검사 공정이 실행되는 동안은, 기판(M)에 대한 위치맞춤은 위치맞춤부(200A)에 있어서 1회 실행될 뿐이다.

이상 설명한 바와 같이, 제3 실시예에 관한 제조/검사 장치(SSS)의 구조에 의하면, 기판(M)과 형성부(200B)와 반송로(202) 사이에서의 위치맞춤이 행해진 상태로 형성된 범프 등의 외관을 검사하는 외관 검사용 카메라(203)를 지지하는 지지부(207)가, 상기 반송로(202)가 고정되어 있는 기대(200)에 고정되어 있으므로, 일단 위치맞춤이 행해진 상태로 기판(M)을 반송하는 반송로(202)와 외관 검사용 카메라(203)의 위치 관계가 항상 일정하게 되므로, 범프 등의 외관 검사 시에 있어서 상기 기판(M)과 외관 검사용 카메라(203) 사이에서 반송 방향 이외의 방향의 위치맞춤을 고쳐서 행할 필요가 없다.

따라서, 외관 검사 시에 있어서의 위치맞춤이 불필요해 지므로, 제조 시간이 길어지는 것에 기인하는 효율 상, 제조 비용 상, 또는 인력의 확보 상 등의 문제점을 회피할 수 있다.

또한, 외관 검사 시에 있어서, 기판(M)을 반송로(202)가 반송하는 방향과 수직인 방향으로 외관 검사용 카메라(203)를 이동시켜 검사를 행하는 경우라도, 상기 외관 검사 시에 있어서 기판(M)과 외관 검사용 카메라(203) 사이에서 반송 방향 이외의 방향의 위치맞춤을 고쳐서 행할 필요가 없다.

또한, 외관 검사용 카메라(203)를 기대(200)에 고정하여 사용하는 경우라도, 일단 위치맞춤이 행해진 상태로 기판(M)을 반송하는 반송로(202)와 외관 검사용 카메라(203)의 위치 관계가 항상 일정하게 되므로, 범프 등의 외관 검사 시에 있어서 상기 기판(M)과 외관 검사용 카메라(203) 사이에서 반송 방향 이외의 방향의 위치맞춤을 고쳐서 행할 필요가 없다.

또한, 위치맞춤을 2축 스테이지(201) 및 회전 스테이지(206)를 사용하여 행하므로, 범프 등의 외관 검사 시에 있어서는 기판(M)과 외관 검사용 카메라(203) 사이의 반송 방향의 위치맞춤을 행하는 것만으로 충분하므로, 이차원적인 위치맞춤을 고쳐서 행할 필요가 없다.

또한, 전술한 제3 실시예에서는, 기판(M) 상에 범프 등을 형성하는 제조/검사 장치(SSS)에 대하여 본 발명을 적용한 경우에 대하여 설명하였으나, 이외에, 본 발명은, 예를 들면, 적층형 반도체 기판에 있어서의 각 층 사이의 도통을 취하기 위한 스루홀을 형성하는 제조/검사 장치 등, 위치맞춤이 필요한 외관 검사를 따른 제조/검사 장치의 분야에 널리 적용할 수 있다.

이상 각각 설명한 바와 같이, 본 발명은 외관 검사를 따른 검사 방법 등의 분야에 이용하는 것이 가능하며, 특히, 복수개의 공정 간을, 재료를 순환시켜 제조를 행하는 검사 방법의 분야에 적용하면 특히 현저한 효과가 얻어진다.

Claims

카메라로 촬상 가능한 치수보다 큰 검사 영역을 가지는 검사 대상물로서, 복수개의 상기 검사 대상물을 반송 라인 상에서 반송하면서 검사를 행하는 검사 방법에 있어서,
하나의 상기 검사 대상물에 대하여, 상기 카메라로 촬상 가능한 치수분의 촬상폭 영역의 촬상을 행하는 촬상 공정에 있어서, 촬상 후에 상기 카메라를 적어도 촬상폭 치수분 이동시키는 이동 공정을 포함하고, 상기 카메라의 이동 후에 반송되어 온 다른 상기 검사 대상물에 대하여, 상기 하나의 검사 대상물의 촬상폭 영역에 대응하는 영역을 제외한 촬상폭 영역의 촬상을 행하고, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 촬상이 완료될 때까지, 상기 카메라의 이동과 촬상을 반복하고, 상기 복수개의 검사 대상물에 포함되는 각 상기 검사 대상물의 각각에 대하여, 서로 대응하지 않는 위치의 촬상폭 영역마다 촬상을 행하는 상기 촬상 공정과,
상기 촬상 공정에 의해 촬상된 각 상기 촬상폭 영역의 화상을 상기 카메라로부터 취득하여, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 검사를 행하는 검사 공정을 포함하는, 검사 방법.
제1항에 있어서,
상기 이동 공정은 상기 카메라를 촬상폭 치수분만큼 이동시키고,
상기 촬상 공정은, 상기 카메라의 이동 후에 상기 하나의 검사 대상물의 다음에 반송되어 온 상기 다른 상기 검사 대상물에 대하여, 상기 하나의 검사 대상물의 촬상폭 영역에 대응하는 영역과 인접하는 촬상폭 영역의 촬상을 행하는, 검사 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 검사 방법은, 상기 검사 대상물에 대하여 소정의 처리가 행해진 후의 상기 검사 대상물의 검사를 행하는 검사 방법으로서,
상기 복수개의 검사 대상물을 상기 반송 라인 상에 반송하면서 각 상기 검사 대상물에 대하여 차례로 상기 소정의 처리를 행하는 처리 공정을 포함하고,
상기 촬상 공정에서는, 모든 상기 검사 대상물에 대한 상기 소정의 처리가 종료되기까지, 상기 복수개의 검사 대상물 중, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 촬상을 행하기 위해 촬상폭 영역의 촬상을 행하려는 검사 대상물에 대한 모든 촬상을 종료하는, 검사 방법.
제3항에 있어서,
상기 처리 공정은, 각 상기 검사 대상물에 대하여 상기 소정의 처리를 반복하여 행하고, 상기 촬상 공정은 모든 상기 검사 대상물에 대한 n회째(n은 자연수)의 처리가 종료되기까지, 상기 복수개의 검사 대상물 중, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 촬상을 행하기 위해 촬상폭 영역의 촬상을 행하려는 검사 대상물에 대한 모든 촬상을 종료하고,
상기 검사 공정은, 상기 촬상 공정에 의해 촬상된 각 상기 촬상폭 영역의 화상을 상기 카메라로부터 취득하여, 상기 검사 영역 전체의 n회째의 처리 후의 검사를 행하는, 검사 방법.
제3항에 있어서,
상기 검사 공정은 검사 결과를 상기 처리 공정에 통지하는 검사 결과 통지 공정을 포함하고,
상기 처리 공정은 검사 결과가 불량인 취지의 검사 결과의 통지를 받았을 경우에는 상기 처리를 중지시키는 중지 고정을 포함하는, 검사 방법.
제3항에 있어서,
상기 검사 대상물은, 시트 기판이며,
상기 처리 공정에서의 상기 소정의 처리는, 상기 시트 기판에 소정의 높이를 가지는 범프를 형성하기 위해, 상기 시트 기판에 대하여 은 페이스트를 인쇄하는 인쇄 처리이며,
상기 검사 공정은 상기 범프의 높이, 유무, 위치 등을 검사하는, 검사 방법.
카메라로 촬상 가능한 치수보다 큰 검사 영역을 가지는 검사 대상물로서, 복수개의 상기 검사 대상물을 반송 라인 상에서 반송하면서 검사를 행하는 검사 장치에 있어서,
하나의 상기 검사 대상물에 대하여, 상기 카메라로 촬상 가능한 치수분의 촬상폭 영역의 촬상을 행하는 촬상 수단으로서, 촬상 후에 상기 카메라를 적어도 촬상폭 치수분 이동시키는 이동 수단을 구비하고, 상기 카메라의 이동 후에 반송되어 온 다른 상기 검사 대상물에 대하여, 상기 하나의 검사 대상물의 촬상폭 영역에 대응하는 영역을 제외한 촬상폭 영역의 촬상을 행하고, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 촬상이 완료될 때까지, 상기 카메라의 이동과 촬상을 반복하고, 상기 복수개의 검사 대상물에 포함되는 각 상기 검사 대상물의 각각에 대하여, 서로 대응하지 않는 위치의 촬상폭 영역마다 촬상을 행하는 상기 촬상 수단과,
상기 촬상 장치에 의해 촬상된 각 상기 촬상폭 영역의 화상을 상기 카메라로부터 취득하여, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 검사를 행하는 검사 수단
을 구비한, 검사 장치.
제7항에 있어서,
상기 이동 수단은 상기 카메라를 촬상폭 치수분만큼 이동시키고, 또한
상기 촬상 수단은, 상기 카메라의 이동 후에, 상기 하나의 검사 대상물의 다음에 반송되어 온 상기 다른 상기 검사 대상물에 대하여, 상기 하나의 검사 대상물의 촬상폭 영역에 대응하는 영역과 인접하는 촬상폭 영역의 촬상을 행하는, 검사 장치.
제7항 또는 제8항에 있어서,
상기 검사 장치는, 상기 복수개의 검사 대상물을 상기 반송 라인 상에 반송하면서 처리 장치에 의해 각 상기 검사 대상물에 대하여 차례로 소정의 처리가 행해진 후의 상기 검사 대상물의 검사를 행하는 검사 처리 시스템에 있어서의 검사 장치이며,
상기 촬상 수단은, 상기 처리 장치에 의한 모든 상기 검사 대상물에 대한 상기 소정의 처리가 종료되기까지, 상기 복수개의 검사 대상물 중, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 촬상을 행하기 위해 촬상폭 영역의 촬상을 행하려는 검사 대상물에 대한 모든 촬상을 종료하는, 검사 장치.
제9항에 있어서,
상기 처리 장치는, 각 상기 검사 대상물에 대하여 상기 소정의 처리를 반복하여 행하고,
상기 촬상 수단은, 상기 처리 장치에 의한 모든 상기 검사 대상물에 대한 n회째(n은 자연수)의 처리가 종료되기까지, 상기 복수개의 검사 대상물 중, 상기 검사 대상물의 검사 영역 전체의 촬상을 행하기 위해 촬상폭 영역의 촬상을 행하려는 검사 대상물에 대한 모든 촬상을 종료하고,
상기 검사 수단은, 상기 촬상 수단에 의해 촬상된 각 상기 촬상폭 영역의 화상을 상기 카메라로부터 취득하여, 상기 검사 영역 전체의 n회째의 처리 후의 검사를 행하는, 검사 장치.
제9항에 있어서,
검사 결과를 상기 처리 장치에 통지하는 검사 결과 통지 수단을 구비하는, 검사 장치.
제9항에 있어서,
상기 검사 대상물은, 시트 기판이며,
상기 검사 처리 시스템에 포함되는 상기 처리 장치에 있어서의 상기 소정의 처리는, 상기 시트 기판에 소정의 높이를 가지는 범프를 형성하기 위해, 상기 시트 기판에 대하여 은 페이스트를 인쇄하는 인쇄 처리이며,
상기 검사 수단은, 상기 범프의 높이, 유무, 위치 등을 검사하는, 검사 장치.
제9항에 기재된 검사 처리 시스템.
제9항에 기재된 처리 장치로서, 상기 소정의 처리는, 검사 대상물로서의 시트 기판에 소정의 높이를 가지는 범프를 형성하기 위해, 상기 시트 기판에 대하여 은 페이스트를 인쇄하는 인쇄 처리인, 처리 장치.