JP2577140B2

JP2577140B2 - 基板の位置合わせ装置

Info

Publication number: JP2577140B2
Application number: JP3120632A
Authority: JP
Inventors: 勲衣目川; 輝美小川; 正高垣; 広宣豊島
Original assignee: Hitachi Techno Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 1991-05-27
Filing date: 1991-05-27
Publication date: 1997-01-29
Anticipated expiration: 2012-01-29
Also published as: US5177528A; JPH04348600A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板の位置合わせ装置
に係り、特に、プリント基板やセラミック基板などの基
板の両側に、検査用治具板や接続用端子板などの補助接
続板を正確に位置合わせするのに好適な基板の位置合わ
せ装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】配線パターンが形成されたプリント基板
やセラミック基板などを検査するために、強く押された
部分の抵抗値が低下する異方性導電ゴムシートをこれら
の基板の両側に配置し、検査用治具板を介して加圧通電
することにより、基板における断線や配線パターンの短
絡の有無を簡易迅速に検査することが行われている。こ
のような技術は、例えば、特開昭５９−２０６７７６号
公報に開示されている。また、例えば、特開昭５３−８
１１６１号公報に開示されているように、基板上にゼブ
ラコネクタと称する低抵抗部と高抵抗部とを交互に並べ
た縞模様のゴムシートを配置し、端子板との接続を図る
ことが行われている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】近年、基板上の配線パ
ターンは高精細化する傾向にあり、基板に対して検査用
治具板あるいはゼブラコネクタと端子板とを正確に位置
合わせしないと、所望の導通回路が形成できなくなり、
異方性導電ゴムシートあるいはゼブラコネクタの使用が
無意味になってしまう。基板上の空白部に配線パターン
の端子部分を導き、各端子部分間の間隔を拡げて位置合
わせに精度が要求されないように工夫すると、配線パタ
ーンの端子部分を導くために、配線パターンの冗長化に
伴う断線や配線パターン間の短絡の頻度が高くなるとい
う問題があった。

【０００４】本発明は、上記従来技術の問題点を解決す
るためになされたもので、基板の両側に検査用治具板や
接続用端子板などの補助接続板を正確に位置合わせする
ことができる基板の位置合わせ装置を提供することを、
その目的とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る基板の位置合わせ装置の構成は、基台
と、この基台上に載置され少なくとも直交方向に移動可
能なテーブルと、このテーブル上に載置され基板を着脱
自在に支持する基板支持手段と、前記基台上に載置さ
れ、前記基板の配線パターンが形成された一方の主面に
対向するように、該配線パターンに対応した導電路を有
する第一の補助接続板を支持する第一の接続板支持手段
と、前記テーブル上に載置され、前記基板の配線パター
ンが形成された他方の主面に対向するように、該配線パ
ターンに対応した導電路を有する第二の補助接続板を着
脱自在に支持する第二の接続板支持手段と、前記基板と
前記第一の補助接続板とを着脱自在に支持する第一の板
間固定手段と、前記基板と前記第二の補助接続板とを着
脱自在に支持する第二の板間固定手段と、前記基板と前
記第一，第二の補助接続板とのそれぞれに設けられた位
置合わせマークを認識する画像認識手段と、前記画像認
識手段の出力に基づいて、前記のテーブル、基板支持手
段、第二の接続板支持手段、および第一，第二の板間固
定手段を操作して、前記基板および前記第一，第二の補
助接続板の位置合わせを行う制御手段とを備えたもので
ある。

【０００６】

【作用】上記の技術的手段によれば、次のような働きが
ある。本発明においては、テーブルで基板を移動させ
て、基板と第一の補助接続板との位置合わせをしてか
ら、第一の板間固定手段で基板と第一の補助接続板とを
固定しておき、次に、テーブルで第二の補助接続板を移
動させて、基板と第二の補助接続板との位置合わせをし
てから、第二の板間固定手段で基板と第二の補助接続板
とを固定することにより、基板を挾んで第一，第二の両
補助接続板と基板との位置合わせを行うことができる。

【０００７】位置合わせに用いるテーブルは１個でよ
く、構成が単純となり、基板と第二の補助接続板との位
置合わせを行うときに、基板と第一の補助接続板とは位
置合わせ後に固定されているから、基板と第一の補助接
続板との位置がずれることはなく、正確な位置合わせを
行うことができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の各実施例を図１ないし図６を
参照して説明する。まず、図１は、本発明の一実施例に
係るプリント基板検査装置の略示構成図である。図１に
示すプリント基板検査装置は、準備ステーションＳ１、
位置合わせステーションＳ２、および検査ステーション
Ｓ３の３部分から構成され、これら各ステーションＳ
１，Ｓ２，Ｓ３は、順次隣接して配設されている。２は
架台であり、この架台２上に各ステーションＳ１，Ｓ
２，Ｓ３にわたるレール３が設けられている。このレー
ル３上を、基台４がエアシリンダ（図示せず）等の駆動
手段により、図面上で左右、すなわち、各ステーション
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３間を移動できるようになっている。

【０００９】基台４上には、ＸＹΘテーブル５、プリン
ト基板６を着脱自在に支持する基板支持手段７が載置さ
れ、かつ、プリント基板６の下面における配線パターン
に対応した導電路が形成された第一の補助接続板に係る
下面検査用治具板８を、プリント基板６の下面に対向す
るように支持する第一の接続板支持手段９が載置されて
いる。さらに、プリント基板６の上面における配線パタ
ーンに対応した導電路が形成された、位置合わせステー
ションＳ２に配設されている第二の補助接続板に係る上
面検査用治具板１１を、プリント基板６の上面に対向す
るように支持する第二の接続板支持手段１０が載置され
ている。

【００１０】ＸＹΘテーブル５は、プリント基板６を、
レール３の伸びるＸ方向、図１の図面と直交するＹ方
向、およびテーブル５の面上で回転させるΘ方向に移動
させることができる。プリント基板６上および下面検査
用治具板８上には後述する異方性導電ゴムシートが装備
されるが、図１ではこれら異方性導電ゴムシートの図示
は省略されている。準備ステーションＳ１では、基台
４、ＸＹΘテーブル５上に、プリント基板６、下面検査
用治具板８、異方性導電ゴムシートが順次積層して配置
される。

【００１１】位置合わせステーションＳ２には、上面検
査用治具板１１を吊り下げ昇降させる手段として下端に
懸架部１２ａを有するエアシリンダ１２が設けられてい
る。また、プリント基板６、下面，上面検査用治具板
８，１１の位置合わせマークを認識するための画像認識
手段に係るカメラ１３ａ，１３ｂが装備されている。こ
こでカメラ１３ａ，１３ｂは、電荷結合素子（ＣＣＤ撮
像センサ）を用いたものである。

【００１２】検査ステーションＳ３には、前記下面，上
面検査用治具板８，１１に下，上から当接させて導通試
験等を行うための標準パターン板１４，１５を支持する
函体１６，１７、これら函体１６，１７を上下方向に移
動させるエアシリンダ１８，１９、函体１６，１７のガ
イドとなる支柱２０が設けられている。上面検査用治具
板１１上および下標準パターン板１４上には異方性導電
ゴムシートが装備されるが、図１ではこれら異方性導電
ゴムシートの図示は省略されている。位置合わせステー
ションＳ２では、プリント基板と下面，上面検査用治具
板８，１１との位置合わせが行われ、基台４を、さらに
レール３上を検査ステーションＳ３に運び、プリント基
板６に対する検査が行われる。

【００１３】次に、位置合わせと検査について、図２を
参照して具体的に説明する。図２は、図１の装置におけ
る位置合わせステーションの要部断面図である。図２に
おいて、９ａは、基台４の縦方向（Ｚ方向）、すなわ
ち、図面上の上下方向に下面検査用治具板８の移動を可
能とする摺動部材、９ｂは、摺動部材９ａ上にあって下
面検査用治具板８を保持する下治具板ホルダで、これら
摺動部材９ａと下治具板ホルダ９ｂとで前記第一の接続
板支持手段９が構成されている。

【００１４】プリント基板６は、基板ホルダ３０を介し
て基板支持手段７に支持されている。基板支持手段７
は、真空吸着部７ａを有し、大気の吸引・解除を行うこ
とでプリント基板６を着脱自在に支持するようになって
いる。また、上面検査用治具板１１は、上治具板ホルダ
３１を介して第二の接続板支持手段１０に支持されてい
る。第２の接続板支持手段１０は、真空吸着部１０ａを
有し、大気の吸引・解除を行うことで上面検査用治具板
１１を着脱自在に支持するようになっている。３２，３
３は、プリント基板６と下面，上面検査用治具板８，１
１とを着脱自在に支持する第一，第二の板間固定手段に
係る真空吸着部材である。これら真空吸着部材３２，３
３は、基板ホルダ３０と下治具板ホルダ９ｂ，上治具板
ホルダ３１間の真空吸着・解除を行うようになってい
る。

【００１５】エアシリンダ１２の懸架部１２ａは、図面
に向かって左右に移動する係合片１２ｂを備え、上治具
板ホルダ３１の周辺切欠き部３１ａに係合することで上
治具板ホルダ３１を介して上面検査用治具板１１を昇降
させ、また、係合を解除し、懸架１２ａを上昇させてお
くことによって、基台４により、プリント基板６等とと
もに上面検査用治具板１１も検査ステーションＳ３に移
動できるようになっている。

【００１６】プリント基板６の下面，上面には位置合わ
せマーク６ａ，６ｂが設けられている。また、３４，３
５，３６は、異方性導電ゴムシートである。これら異方
性導電ゴムシート３４，３５，３６および下面，上面検
査用治具板８，１１には、前記プリント基板６の前記位
置合わせマーク６ａ，６ｂに対応する個所に開口部８ａ
および１１ａがあり、カメラ１３ａ，１３ｂで前記位置
合わせマーク６ａ，６ｂを画像認識できるようになって
いる。

【００１７】ＸＹΘテーブル５は、基台４側からΘ方向
の移動を行うΘ軸テーブル、Ｙ方向の移動を行うＹ軸テ
ーブル、およびＸ軸方向の移動を行うＸ軸テーブルが３
層に積層された構成のものである。準備ステーションＳ
１で、プリント基板６上に異方性導電ゴムシート３５が
置かれると、基台４は位置合わせステーションＳ２へ移
送される。このとき、懸架部１２ａは上方の位置にあっ
て、基台４の移動に支障を生じないようになっている。
懸架部１２ａの係合片１２ｂ間に上面検査用治具板１１
とその上に異方性導電ゴムシート３６が上治具板ホルダ
３１を介して用意されている。

【００１８】基台４が位置合わせステーションＳ２に移
送されてくると、懸架部１２ａが下降して、真空吸着部
１０ａに上治具板ホルダ３１が当接すると、係合片１２
ｂが引き抜かれ、懸架部１２ａは上方に戻される。図２
では、図の左側の懸架部１２ａは下降された状態、図の
右側の懸架部１２ａは上昇された状態をそれぞれ示して
いる。

【００１９】下面検査用治具板８は、下治具板ホルダ９
ｂにより基台４に固定されている。そこで、まず、真空
吸着部７ａで基板ホルダ３０を吸着し、プリント基板６
をＸＹΘテーブル５に固定する。このとき、他の真空吸
着部１０ａ、真空吸着部材３２，３３の吸着は解除され
ている。カメラ１３ａを用いて、下面検査用治具板８の
開口部８ａを通してプリント基板６の位置合わせマーク
６ａを前記開口部８ａとともに撮像し、位置合わせマー
ク６ａ，開口部８ａの形状の中心を合致させてプリント
基板６と下面検査用治具板８との位置合わせを行う。そ
して、真空吸着部材３２を駆動して、この位置合わせ後
に、プリント基板６と下面検査用治具板８とがずれない
ように固定しておく。その後、真空吸着部７ａによる吸
着を解除する。

【００２０】次に、真空吸着部１０ａを働かせて、上治
具ホルダ３１を吸着し、上面検査用治具板１１をＸＹΘ
テーブル５に固定する。そして、カメラ１３ｂを用い
て、前記と同様に、位置合わせマーク６ｂ，開口部１１
ａを用いて、プリント基板６と上面検査用治具板１１と
の位置合わせを行う。その後、真空吸着部材３３でプリ
ント基板６と上面検査用治具板１１とが動かないように
固定してから、真空吸着部１０ａによる吸着を解除す
る。

【００２１】このような位置合わせにおける、異方性導
電ゴムシート３４，３５を介してのプリント基板６，下
面検査用治具板８，上面検査用治具板１１の各板間の摩
擦を除き、また、真空吸着部７ａ，１０ａ、真空吸着部
材３２，３３の働きを良くするために、図示しないが、
基板支持手段７，第二の接続板支持手段１０に、Ｚ方
向、すなわち懸架部１２ａの昇降方向に基板ホルダ３
０，上治具ホルダ３１を上下させるエアシリンダ等の昇
降手段を内蔵させて、位置合わせや吸着固定時に該昇降
手段を作動させて、基板ホルダ３０，上治具ホルダ３１
を微動させるようにすれば良い。本実施例の装置によれ
ば、プリント基板６の両側に下面，上面検査用治具板
８，１１が１個のＸＹΘテーブル５を用いて正確に位置
合わせできる。

【００２２】位置合わせステーション２で位置合わせ作
業が終わると、基台４は、レール３上を検査ステーショ
ンＳ３に送られる。次に、検査ステーションＳ３の具体
的な構成と作用について図３および図４を参照して説明
する。図３は、図１の装置における検査ステーションの
要部断面図、図４は、プリント基板周りの検査時の通電
状態を示す拡大断面図である。図３では、支柱２０に沿
って函体１６，１７をエアシリンダ１８，１９で昇降さ
せ、検査を行う状態を示している。レール３の右端部分
には、図示していないがストッパがあり、基台４が移送
されてきてこのストッパに押圧接触することによって位
置決めが行われる。

【００２３】次に、函体１６がエアシリンダ１８により
上昇する。下標準パターン１４上には、異方性導電ゴム
シート３７が載置されている。この異方性導電ゴムシー
ト３７が下面検査用治具板８の下面に接触し、さらに函
体１６が上昇することにより摺動部材９ａが基台４に対
し摺動しつつ上昇する。このとき、基板支持手段７，第
２の接続板支持手段１０が昇降手段を備えているなら、
昇降手段を動作させてプリント基板６，上面検査用治具
板１１が水平状態を保ったまま上昇するようにするとよ
い。異方性導電ゴムシート３６が上標準パターン１５に
当接し、各異方性導電ゴムシート３４，３５，３６，３
７が十分加圧されたら、函体１６の上昇を止める。な
お、函体１６の上昇に合わせて、函体１７をエアシリン
ダ１９で下降させても良い。

【００２４】下，上標準パターン板１４，１５間にプリ
ント基板６等が挾圧された状態を図４に示す。図４にお
いて、下，上標準パターン１４，１５は、いかなる配線
パターンが上下面に形成されたプリント基板６を検査す
る場合でも、共通に用いられるものであり、下，上検査
用治具板８，１１は各種のプリント基板６毎に交換さ
れ、検査項目に合わせた通電が可能なように、通電経路
の変換を行うものである。その変換を行う内部配線を８
ｂ，１１ｂで示している。

【００２５】各異方性導電ゴムシート３４，３５，３
６，３７は、強く押圧された個所で抵抗が急激に低下す
る性質を有しているため、函体１６，１７で挾圧するだ
けで通電回路が形成され、各種検査を行うことができ
る。位置合わせステーションＳ２で正確な位置合わせが
行われており、その位置関係が、検査ステーションＳ３
にそのまま持ち込まれるので、プリント基板６上の配線
パターンが微細であっても、プリント基板６に対し、所
望の検査を行うことができる。

【００２６】函体１６，１７内に、後述する検査回路ボ
ード４０，４１が内蔵され、配線本数の低減を図ってい
る。次に、基台４が準備ステーションＳ１〜検査ステー
ションＳ３間を動くための電気制御系について、図５を
参照して説明する。図５は、図１に示す装置における電
気制御系を示すブロック図である。

【００２７】図５において、５０は中央演算処理部（Ｃ
ＰＵ）であり、このＣＰＵ５０は、ＲＯＭ５１に格納さ
れた処理プログラムに基づいて、基台４を移動させるエ
アシリンダの駆動部（基台駆動部）５２、テーブル５の
駆動部（テーブル駆動部）５３、カメラ１３ａ，１３ｂ
の出力を画像認識する画像処理部５４、各真空吸着部７
ａ，１０ａ，真空吸着部材３２，３３の操作部５５、函
体１６，１７の昇降部（函体昇降部）５６、検査回路ボ
ード４０，４１、各部が所定の位置に着いたことを検出
する各種センサ５８の出力取込部５７とデータのやり取
りを行う。この間のデータはメモリ５９に格納され、必
要に応じて表示部６０に表示したり、キーボード６１で
操作の指示を出したり、プリンタ６２に記録を出力させ
ることもできる。ＲＯＭ５１に格納されたプログラム
は、前述の各部の動作を行うシーケンス制御に関するも
ので、高度な論理判断を行うものではないので、フロー
図による説明は省略する。

【００２８】検査が終わると、函体１６は下降し、下治
具板ホルダ９ｂ上に下面検査用治具板８が接触した後
で、函体１６が架台２下の図１に示す位置になったと
き、基台４が位置合わせステーションＳ２にていったん
停止する。上面検査用治具板１１が上治具板ホルダ３１
とともに懸架部１２ａの係合片１２ｂにより持ち上げら
れてから、基台４は準備ステーションＳ１に戻され、次
の検査に備える。

【００２９】なお、上記の実施例では、上面検査用治具
板１１を下降させてから、プリント基板６と下面検査用
治具板８との位置合わせを行なっているが、プリント基
板６と下面検査用治具板８との位置合わせを行なっての
ち、上面検査用治具板１１を下降させ、プリント基板６
との位置合わせをカメラ１３ｂを用いて行っても良い。
また、懸架部１２ａの上下移動量を大きくとれる場合に
は、準備ステーションＳ１を省略し、位置合わせステー
ションＳ２で、位置合わせのためにプリント基板６，異
方性導電ゴムシート３４〜３６の挿入・取り出しを行う
ようにしても良い。

【００３０】さらに、下面，上面検査用治具板８，１１
と下，上標準パターン板１４，１５との間の異方性導電
ゴムシート３６，３７の代わりに、下，上標準パターン
板１４，１５の所定個所に複数のプローブを設け、各プ
ローブが下面，上面検査用治具板８，１１の所定配線パ
ターン部に当接するようになっていても良い。

【００３１】次に、本発明の他の実施例について、図６
を参照して説明する。図６は、本発明の他の実施例に係
るハイブリッド・モジュールの封止前を示す斜視図であ
る。図６の実施例は、面実装形のＬＳＩ素子１０１等を
搭載したセラミック基板１０２の上下に接続端子板１０
３，１０４を異方性導電ゴムシート１０５，１０６を介
して配設し、板間固定金具１０７，１０８で挾圧固定
し、そのまま封止し、ハイブリッド・モジュールを製作
するとき、これら部材の位置合わせに適用するものであ
る。

【００３２】図６の装置を、先の図２に示した装置（プ
リント基板検査装置の位置合わせステーション）に対比
して説明すれば、セラミック基板１０２はプリント基板
６に相当し、下接続端子板１０３は下面検査用治具板８
に、上接続端子板１０４は上面検査用治具板１１に、板
間固定金具１０７，１０８は真空吸着部材３２，３３に
それぞれ相当している。板間固定金具１０７，１０８は
側方から見たとき、コの字状をしたばね作用を持つ部材
であり、開放端部を拡げておいて、セラミック基板１０
２，下，上接続端子板１０３，１０４に設けた固定用切
欠き部１０２ａ，１０３ａ，１０４ａに挿入して、前記
開放端部を離すことによりばね力でこれら積層体１００
を固定する。

【００３３】図６に示す板間固定金具１０８は、下，上
接続端子板１０３，１０４間にはめられているが、セラ
ミック基板１０２と上接続端子板１０４との間にはめて
固定しても良い。検査装置での位置合わせに際して、セ
ラミック基板１０２，上接続端子板１０４に、その切欠
き部（図示せず）に図２に示した基板ホルダ３０，上治
具ホルダ３１に相当するホルダを係合させて位置合わせ
を行う。そして、板間固定金具１０７は、前述のよう
に、図２の真空吸着部材３２の役割を果たすだけでな
く、封止体における固定具、ゴムシート１０５に対する
加圧具にもなっている。

【００３４】図６の実施例では、図３に示したゴムシー
ト３６，３７は示されていないが、位置合わせステーシ
ョンＳ２で位置合わせが行われ、封止用の積層体１００
が形成されたら、検査ステーションＳ３で一通りの検査
をしてのち、板間固定金具１０７，１０８が埋め込まれ
るように、周囲を樹脂で封止し、板間固定金具１０７，
１０８による固定を不動のものとする。この実施例にと
っては、検査ステーションＳ３は、セラミック基板１０
２の検査部署であるというよりも、下，上接続端子板１
０３，１０４が、セラミック基板１０２に対する正確な
位置合わせができていることを確認する手段となってい
る。

【００３５】以上、２種類の適用例を示したが、本発明
の位置合わせ装置は、３枚の板を正確に重ねたい各種の
ものに適用可能である。本発明は、以下の態様で実施可
能である。（１）ホルダ類が、Θ方向の誤差をほとんど伴わないも
のである場合、ＸＹΘテーブル５が、Ｘ，Ｙ両方向の移
動を行うものである位置合わせ装置。（２）検査ステーションＳ３における、下側の函体１６
の上昇移動量を小さくしたい場合、基台４上のものを図
２の図面で直角に配置し、函体１６を架台２の上面上に
突出させた状態で、基台４が函体１６を跨いだ形で移動
できるようにした位置合わせ装置。

【００３６】（３）異方性導電ゴムシートを用いない
で、プリント基板６，第一，第二の補助接続板（下，上
面検査用治具板）８，１１の半田バンフ同志が直接接触
されるものに対する位置合わせ装置。（４）異方性導電ゴムシートの代わりに、いわゆるゼブ
ラコネクタでプリント基板６，第一，第二の補助接続板
（下，上面検査用治具板）８，１１間が接続されるもの
に対する位置合わせ装置。（５）撮像カメラ１３ａ，１３ｂは、水平方向に移動可
能で、プリント基板６，第一，第二の補助接続板（下，
上面検査用治具板）８，１１上の横方向に並んで設けら
れた各々の位置合わせマークを読み取って、画像処理部
で横方向の間隔から位置合わせの偏差を演算して位置合
わせを行う装置。

【００３７】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、基板の両側に検査用治具板や接続用端子板など
の補助接続板を正確に位置合わせすることができる基板
の位置合わせ装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るプリント基板検査装置
の略示構成図である。

【図２】図１の装置における位置合わせステーションの
要部断面図である。

【図３】図１の装置における検査ステーションの要部断
面図である。

【図４】プリント基板周りの検査時の通電状態を示す拡
大断面図である。

【図５】図１の装置における電気制御系を示すブロック
図である。

【図６】本発明の他の実施例に係るハイブリッド・モジ
ュールの封止前を示す斜視図である。

【符号の説明】

Ｓ１準備ステーションＳ２位置合わせステーションＳ３検査ステーション４基台５ＸＹΘテーブル６プリント基板６ａ，６ｂ位置合わせマーク７基板支持手段７ａ真空吸着部８下面検査用治具板８ａ開口部９第一の接続板支持手段１０第二の接続板支持手段１０ａ真空吸着部１１上面検査用治具板１１ａ開口部１３ａ，１３ｂカメラ３２，３３真空吸着部材３４，３５，３６，３７異方性導電ゴムシート４０，４１検査回路ボード５０ＣＰＵ１０２セラミック基板１０３，１０４接続端子板１０５，１０６異方性導電ゴムシート１０７，１０８板間固定金具

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者高垣正茨城県竜ヶ崎市向陽台５丁目２番日立テクノエンジニアリング株式会社開発研究所内 (72)発明者豊島広宣茨城県竜ヶ崎市向陽台５丁目２番日立テクノエンジニアリング株式会社開発研究所内 (56)参考文献特開平３−117524（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−202099（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】基台と、この基台上に載置され少なくと
も直交方向に移動可能なテーブルと、このテーブル上に
載置され基板を着脱自在に支持する基板支持手段と、前
記基台上に載置され、前記基板の配線パターンが形成さ
れた一方の主面に対向するように、該配線パターンに対
応した導電路を有する第一の補助接続板を支持する第一
の接続板支持手段と、前記テーブル上に載置され、前記
基板の配線パターンが形成された他方の主面に対向する
ように、該配線パターンに対応した導電路を有する第二
の補助接続板を着脱自在に支持する第二の接続板支持手
段と、前記基板と前記第一の補助接続板とを着脱自在に
支持する第一の板間固定手段と、前記基板と前記第二の
補助接続板とを着脱自在に支持する第二の板間固定手段
と、前記基板と前記第一，第二の補助接続板とのそれぞ
れに設けられた位置合わせマークを認識する画像認識手
段と、前記画像認識手段の出力に基づいて、前記のテー
ブル、基板支持手段、第二の接続板支持手段、および第
一，第二の板間固定手段を操作して、前記基板および前
記第一，第二の補助接続板の位置合わせを行う制御手段
とを備えたことを特徴とする基板の位置合わせ装置。
【請求項２】基台と、この基台上に載置され少なくと
も直交方向に移動可能なテーブルと、このテーブル上に
載置され基板を着脱自在に支持する基板支持手段と、前
記基板の配線パターンが形成された一方の主面に対向す
るように前記基台上に載置され、前記配線パターンに対
応した導電路を有する第一の補助接続板と、前記テーブ
ル上に載置され、前記基板の配線パターンが形成された
他方の主面に対向するように該配線パターンに対応した
導電路を有する第二の補助接続板を着脱自在に支持する
接続板支持手段と、前記基板と前記第一の補助接続板と
を着脱自在に支持する板間固定手段と、前記基板と前記
第一，第二の補助接続板とのそれぞれに設けられた位置
合わせマークを認識する画像認識手段と、前記画像認識
手段の出力に基づいて、前記のテーブル、基板支持手
段、接続板支持手段、および板間固定手段を操作して、
前記基板および前記第一，第二の補助接続板の位置合わ
せを行う制御手段とを備えたことを特徴とする基板の位
置合わせ装置。
【請求項３】基台上に載置されたテーブルは、回転方
向にも移動可能なテーブルであることを特徴とする請求
項１または２記載のいずれかの基板の位置合わせ装置。
【請求項４】基板の両面に配置される第一，第二の補
助接続板上の位置合わせマークを画像認識して、前記各
補助接続板を相対移動させて当該各補助接続板と基板と
の位置合わせを行うものであって、基台と、この基台上にて少なくとも直交方向に移動可能
なテーブルとを備え、前記基台上に第一の接続板支持手段で前記第一の補助接
続板を支持し、前記テーブル上に基板支持手段で基板を着脱自在に支持
し、さらに前記テーブル上に載置された第二の接続板支
持手段で前記基板上に位置するように第二の補助接続板
を着脱自在に支持し、前記基板と前記第一の補助接続板、また前記基板と前記
第二の補助接続板のそれぞれを個別に固定する第一，第
二の板間固定手段を備え、前記テーブルに対して前記基板支持手段で前記基板を、
また前記テーブルに対して第二の接続板支持手段で第二
の補助接続板をそれぞれ着脱させ、前記テーブルを移動
させることによって、前記基板および前記第一，第二の
補助接続板の位置合わせを行うようにしたことを特徴と
する基板の位置合わせ装置。