JP3094779B2 - 回路基板の検査装置および検査方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、検査すべき回路基板を
搬送機構によって検査区域に搬送し、上部側検査治具と
下部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧すること
により、回路基板の両面の導電接点部がテスターに電気
的に接続された状態を達成し、これにより当該回路基板
の電気的接続状態を検査する回路基板の検査装置、およ
びこの検査装置による回路基板の検査方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】一般に集積回路などを搭載するためのプ
リント回路基板については、集積回路などを実装する以
前に、当該回路基板の配線パターンが所期の性能を有す
ることを確認することが必要であり、そのためにその電
気的特性を検査することが行われている。かかる回路基
板の検査のための検査装置としては、検査すべき被検査
回路基板を検査区域に搬送する搬送機構を具えてなるも
のが知られている。

【０００３】図１０は、従来の回路基板の検査装置の一
例の基本的な構成を示す説明図である。この回路基板の
検査装置においては、検査すべき被検査回路基板１を、
この図において紙面に垂直な水平方向に伸びる搬送通路
に沿って検査区域に搬送する搬送機構９０が設けられて
いる。この例の搬送機構９０は、搬送通路の一側に設け
られた一方の搬送部材９１と、搬送通路の他側に設けら
れた他方の搬送部材９２とよりなり、一方の搬送部材９
１は、被検査回路基板１の一側縁を案内する断面Ｌ字形
の一方のガイドレール９３と、被検査回路基板１の一側
縁を載せて走行する一方の搬送ベルト９４とにより構成
され、他方の搬送部材９２は、被検査回路基板１の他側
縁を案内する断面Ｌ字形の他方のガイドレール９５と、
被検査回路基板１の他側縁を載せて、前記一方の搬送ベ
ルト９４と一体的に走行する他方の搬送ベルト９６とに
構成されている。

【０００４】そして、一方の搬送部材９１と他方の搬送
部材９２とは、被検査回路基板１の搬送方向とは直角な
水平方向であって互いに離接する方向に移動可能に設け
られており、これにより、各搬送部材９１，９２は、被
検査回路基板１を検査のためにフリーな状態とするため
に、被検査回路基板１より外側方に外れる位置にまで変
位することが可能とされると共に、幅寸法の異なる被検
査回路基板に対応した走行位置に移動することが可能な
状態とされている。

【０００５】また、検査区域においては、搬送された被
検査回路基板１を搬送機構９０から離脱させてフリーの
状態とすると共に、更に被検査回路基板１を上下方向か
ら挟圧する下部側検査治具９７および上部側検査治具９
８が配置されており、これらはテスターの検査回路（図
示省略）に接続される。

【０００６】このような構成の回路基板の検査装置にお
いては、検査すべき被検査回路基板１が搬送機構９０の
一方の搬送部材９１および他方の搬送部材９２により検
査区域にまで搬送されて停止され、その後、例えば下部
側検査治具９７が上昇することにより、被検査回路基板
１が上方に押し上げられて搬送機構９０から離脱される
一方、搬送機構９０における一方の搬送部材９１および
他方の搬送部材９２が被検査回路基板１の幅方向外方に
下部側検査治具９７の外側位置にまで変位されることに
より、被検査回路基板１がフリーの状態となり、更に下
部側検査治具９７が上昇することにより、被検査回路基
板１が下部側検査治具９７と上部側検査治具９８との間
に挟圧されて被検査回路基板１の両面の導電接点部がテ
スターの検査回路に電気的に接続された状態が達成さ
れ、この状態でテスターにより、当該被検査回路基板１
の検査が実行される。

【０００７】以上において、一方の搬送部材９１およひ
他方の搬送部材９２の変位がなされなければ、それらが
障害となって、下部側検査治具９７および上部側検査治
具９８により、被検査回路基板１を挟圧することができ
ない。

【０００８】このような回路基板の検査装置によれば、
搬送機構９０により被検査回路基板１を迅速に検査区域
に配置することができるので、被検査回路基板１を検査
のためにセットするための所要時間が短時間となり、多
数の被検査回路基板についての検査を高い時間的効率で
実行することができる。

【０００９】而して、実際上、検査すべき被検査回路基
板の幅寸法は一定ではなく、このため、下部側検査治具
９７および上部側検査治具９８は、最大の幅寸法を有す
る被検査回路基板に対応する幅の検査領域をカバーする
ものであることが必要である。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】然るに、下部側検査治
具９７および上部側検査治具９８の検査領域の幅よりも
小さい幅寸法を有する被検査回路基板について検査を行
う場合には、一方の搬送部材９１および他方の搬送部材
９２をそれぞれ下部側検査治具９７および上部側検査治
具９８の両外側にまで変位させる必要があるためにそれ
らの変位距離が大きいものとなり、その結果、一方の搬
送部材９１および他方の搬送部材９２の変位が完了する
までに長い時間を要することとなって、時間的効率が低
いものとなる、という問題がある。

【００１１】また、従来の検査装置においては、下部側
検査治具９７および上部側検査治具９８は、各々特定の
被検査回路基板１に専用のものとして構成されているた
め、配線パターンの異なる被検査回路基板を検査するた
めには、当該被検査回路基板に対応して全体の検査治具
を変更する必要がある、という問題がある。

【００１２】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであり、その第１の目的は、幅寸法の異なる
回路基板であっても、当該回路基板の各々についての検
査を高い時間的効率で達成することができる回路基板の
検査装置を提供することにある。本発明の第２の目的
は、異なる種類の回路基板に対しても、検査治具の主要
部を共通に使用することができる回路基板の検査装置を
提供することにある。本発明の第３の目的は、幅寸法の
異なる回路基板を好適に検査することができる回路基板
の検査装置および検査方法を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の回路基板の検査
装置は、検査すべき回路基板を検査区域に搬送する搬送
機構を有し、当該検査区域において上部側検査治具と下
部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧して検査す
る回路基板の検査装置であって、下部側検査治具は、回
路基板の下面に対接される下部基板側コネクターと、仲
介ピン装置を介してこの下部基板側コネクターをテスタ
ーに電気的に接続するためのテスター側コネクターとを
有してなり、前記下部基板側コネクターは、前記仲介ピ
ン装置と分離可能に設けられており、前記仲介ピン装置
は、上下方向に伸びるよう支持された多数の導電ピンを
有してなり、かつ、当該導電ピンの少なくとも一部が着
脱自在に設けられており、前記脱着自在の導電ピンの少
なくとも一部が取り外されることにより、仲介ピン装置
において搬送機構の収容用空間が形成されることを特徴
とする。

【００１４】本発明の回路基板の検査装置においては、
前記搬送機構は、搬送機構可動範囲において回路基板の
搬送方向とは直角な水平方向に移動可能に設けられてお
り、この搬送機構可動範囲の直下領域におけるすべての
導電ピンが着脱自在に設けられていることが好ましい。

【００１５】本発明の回路基板の検査方法は、上記の回
路基板の検査装置による回路基板の検査方法であって、
搬送機構可動範囲における導電ピンの一部のみが取り外
されることにより当該搬送機構の収容用空間が形成さ
れ、残部の導電ピンが残留された状態で検査を実行する
ことを特徴とする。

【００１６】

【作用】以上の構成によれば、仲介ピン装置における着
脱自在の導電ピンを取り外すことにより、仲介ピン装置
において搬送機構の収容用空間を形成することができる
ので、これにより、異なる幅寸法の回路基板を検査対象
とするために、当該幅寸法の大きさに応じて搬送機構の
幅方向位置が変更されたときにも、当該搬送機構を回路
基板から離脱させるために必要な変位距離を常に小さく
することができ、その結果、回路基板が検査区域に到着
した後のきわめて短時間のうちに、回路基板が上部側検
査治具および下部側検査治具に挟圧された検査準備完了
状態を達成することができるので、回路基板の検査にお
いて高い時間的効率が得られる。

【００１７】また、下部基板側コネクターは、仲介ピン
装置と分離可能に設けられているため、下部側検査治具
においては、配線パターンの異なる回路基板を検査する
場合には、下部基板側コネクターのみを回路基板の配線
パターンに対応するものに交換すればよいので、下部側
検査治具の主要部である仲介ピン装置および下部テスタ
ー側コネクターを交換する必要がなく共通に使用するこ
とができる。

【００１８】そして、搬送機構の搬送機構可動範囲の直
下領域におけるすべての導電ピンを着脱自在に設ける構
成とすることにより、当該搬送機構可動範囲の直下領域
内においては、収容用空間の位置を任意に選定できるの
で、種々の大きさの幅寸法を有する回路基板に好適に対
応することができる。

【００１９】また、仲介ピン装置における収容用空間が
形成される領域の外側の領域に、導電ピンを残留させた
状態で回路基板を挟圧することにより、下部側検査治具
と上部側検査治具とにより作用される挟圧力を、導電ピ
ンが存在する領域において全体に平均化された圧力分布
のものとすることができるので、回路基板には、その全
体に平均化された圧力分布で挟圧されることとなり、そ
の結果、当該回路基板について高い信頼性で検査を行う
ことができる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の回路基板の検査装置の実施例
について説明する。図１は、本発明に係る回路基板の検
査装置の一例における要部の構成を示す説明用断面図で
ある。この回路基板の検査装置においては、検査すべき
被検査回路基板１を、図１において紙面に垂直な水平方
向に伸びる搬送通路に沿って検査区域に搬送する搬送機
構１０が設けられており、検査区域には、搬送された被
検査回路基板１の両面を上下方向から挟圧する下部側検
査治具２０および上部側検査治具７０が配置されてい
る。

【００２１】図示の例における搬送機構１０は、搬送通
路の一側に設けられた一方の搬送部材１１と、搬送通路
の他側に設けられた他方の搬送部材１２とよりなり、一
方の搬送部材１１は、被検査回路基板１の一側縁を案内
する断面Ｌ字形の一方のガイドレール１３と、被検査回
路基板１の一側縁を載せて走行する一方の搬送ベルト１
４とにより構成され、他方の搬送部材１２は、被検査回
路基板１の他側縁を案内する断面Ｌ字形の他方のガイド
レール１５と、被検査回路基板１の他側縁を載せて、前
記一方の搬送ベルト１４と一体的に走行する他方の搬送
ベルト１６とに構成されている。

【００２２】被検査回路基板１の幅方向における一方の
搬送部材１１の位置（以下、「走行位置」という。）
は、他方の搬送部材１２の走行位置を基準として、当該
他方の搬送部材１２に離接する方向に移動可能とされて
いる。そして、一方の搬送部材１１の走行位置の可動範
囲は、他方の搬送部材１２との離間間隔が、検査対象と
される被検査回路基板のうち最も小さい幅寸法を有する
被検査回路基板の当該幅寸法に対応する大きさとなる最
接近位置から、他方の搬送部材１２との離間間隔が検査
対象とされる被検査回路基板のうち最も大きい幅寸法を
有する被検査回路基板の当該幅寸法に対応する大きさと
なる最離間位置までの範囲とされ、これにより、幅寸法
の異なる被検査回路基板１に対応することが可能な状態
とされている。

【００２３】また、一方の搬送部材１１および他方の搬
送部材１２の各々は、走行位置を基準として、これより
被検査回路基板１の搬送方向と直角な水平方向に被検査
回路基板１の両側縁からそれぞれ外方に外れる位置にま
で変位することが可能とされている。

【００２４】検査区域において、搬送通路の下方には下
部側検査治具２０が配置されている。図示の例における
下部側検査治具２０は、その一方の外側縁が、搬送機構
１０において走行位置が移動されない他方の搬送部材１
２に沿うよう設けられている。この下部側検査治具２０
は、被検査回路基板１の幅ｄと同等の寸法の幅を有する
下部基板側コネクター３０と、テスターの検査回路（図
示省略）に接続される下部テスター側コネクター５０
と、下部基板側コネクター３０および下部テスター側コ
ネクター５０を仲介して両者の接点を電気的に接続する
仲介ピン装置４０とにより構成されており、下部基板側
コネクター３０と仲介ピン装置４０とは分離可能とされ
ている。

【００２５】下部基板側コネクター３０は、図２にも示
すように、被検査回路基板１の下面側に配設される弾性
を有する第１の異方導電性シート３５と、ピッチ変換ボ
ード３１と、このピッチ変換ボード３１の下面側に配設
される弾性を有する第２の異方導電性シート３６とがこ
の順に積重されて構成されている。

【００２６】被検査回路基板１と対向するピッチ変換ボ
ード３１の上面には、被検査回路基板１の下面における
被検査電極２の配列に対応するパターンに従って上面電
極３２が形成されており、ピッチ変換ボード３１の反対
の下面には、当該上面電極３２とそれぞれ対応関係で電
気的に接続された下面電極３３が、規格化された格子点
位置に配列された状態、すなわちいわゆるユニバーサル
配列の状態で形成されている。

【００２７】第１の異方導電性シート３５および第２の
異方導電性シート３６は、いずれもその厚み方向にのみ
導電路を有する形成する導電路形成部が形成されてなる
ものである。ここに、第１の異方導電性シート３５また
は第２の異方導電性シート３６としては、各導電路形成
部が少なくともその一面において厚み方向に突起状に形
成されているものが、高い電気的な接触安定性を発揮す
る点で好ましい。

【００２８】また、下部基板側コネクター３０には、第
１の異方導電性シート３５、ピッチ変換ボード３１およ
び第２の異方導電性シート３６のそれぞれを貫通するよ
う、複数の位置決めピン３７が摺動可能に設けられてい
る。

【００２９】この例においては、仲介ピン装置４０は、
図３にも示すように、走行位置が移動される一方の搬送
部材の可動領域が拡がる一側方（図１および図３で左
方）に被検査回路基板１の幅ｄと同等の幅だけ広がっ
た、その全幅Ｄが２ｄの領域をカバーする状態に配置さ
れている。

【００３０】この仲介ピン装置４０においては、図４に
も示すように、各々上下方向に伸びる多数の導電ピン４
１が、ピッチ変換ボード３１の下面電極３３に対応する
格子点位置に配列された状態で設けられ、各導電ピン４
１の下側の基端部分には、各導電ピンを挿通支持する水
平な基端側支持板４２が設けられている。各導電ピン４
１の中央部分には、各導電ピン４１を挿通支持する水平
な中央支持板４３が設けられており、すべての導電ピン
４１のうち少なくとも前述の搬送機構可動範囲の直下領
域における導電ピン４１は、基端側支持板４２および中
央支持板４３の貫通孔に挿入することにより装着され、
貫通孔から抜き出すことにより取り外すことができるよ
う着脱自在に設けられている。その他の導電ピン４１は
固定されていてもよく、また着脱自在とされていてもよ
い。また、導電ピンの寸法は、例えばその外径が０．５
〜２．０ｍｍで、その全長が２０〜１００ｍｍである。

【００３１】また、中央支持板４３は、適宜のばね機構
４５により基端側支持板４２に連結されており、例えば
導電ピン４１の中央付近に位置される上昇位置から、基
端側支持板４２に接近した下降位置（破線で示す）にば
ね力に抗して押下できるよう設けられている。

【００３２】そして、これら多数の導電ピン４１のう
ち、下部基板側コネクター３０に対向する領域（以下、
「検査実行領域」という。）における各導電ピン４１に
ついては、その上側の先端部は、下部基板側コネクター
３０における異方導電性シート３６の下面に当接され
る。

【００３３】また、図示の例においては、検査実行領域
における導電ピン４１の上側の先端部分のレベルに、被
検査回路基板１の幅ｄと同等の寸法の幅を有する水平な
先端側支持板４４が当該導電ピン４１を挿通支持するよ
う設けられており、この先端側支持板４４は、仲介ピン
装置４０における他の部材から分離可能に設けられると
共に、例えば位置決めピン３７により、下部基板側コネ
クター３０と結合さている。

【００３４】下部テスター側コネクター５０は、仲介ピ
ン装置４０における導電ピン４１の基端部に当接するよ
う配設される弾性を有する第３の異方導電性シート６１
と、この第３の異方導電性シート６１の下面側に配設さ
れる電極分岐分配板５５と、この電極分岐分配板５５の
下面側に配設される弾性を有する第４の異方導電性シー
ト６２と、この第４の異方導電性シート６２の下面側に
配設される検査電極板装置５１とにより構成されてお
り、これらは、被検査回路基板１の幅ｄの２倍の２ｄの
領域をカバーする状態に配置されている。

【００３５】図５に示すように、電極分岐分配板５５の
上面には、それぞれピッチ変換ボード３１の下面電極３
３に対応する格子状配列、すなわち格子点位置のすべて
に配列された状態で上面接続電極５６が形成されてお
り、電極分岐分配板５５の下面には、上面接続電極５６
と同様の状態で下面接続電極５７が形成されている。こ
の電極分岐分配板５５においては、後述するように、２
つの機能領域における対応する対の各上面接続電極５６
を共通化電極とするための配線回路５８が多層構成で形
成されており、この配線回路５８により、上面接続電極
５６と下面接続電極５７とが特定の関係で電気的に接続
されている。

【００３６】図６は、電極分岐分配板５５として用いら
れる接続電極エレメント６０を示す説明図である。この
接続電極エレメント６０は、矩形の板状絶縁性基体の一
面に、いわゆるユニバーサル配列に従い、縦横に並ぶ標
準格子点位置に接続電極ｐが形成されて構成されてい
る。この接続電極エレメント６０は、その一面における
領域が鎖線で示すように２分割されて各々の幅がｄであ
る互いに等しい矩形の２つの機能領域Ａおよび機能領域
Ｂが形成されており、また機能領域Ａおよび機能領域Ｂ
の各々においては、互いに同一のパターンの配置で縦横
に並ぶ接続電極ｐを有する。

【００３７】今、機能領域ＡおよびＢの各々において、
縦ｍ行、横ｎ列で並ぶ接続電極ｐの特定の位置にあるも
のを特定するために、第ｍ行第ｎ列の位置にある接続電
極ｐの番地表示を（ｍ，ｎ）とし、さらに機能領域まで
を特定する場合には、当該番地表示の先頭に機能領域を
示す記号ＡおよびＢを付して表わすこととする。例え
ば、機能領域Ａにおける第１行第１列にある接続電極は
Ａ（１，１）で表わされる。

【００３８】接続電極エレメント６０の機能領域Ａおよ
びＢの各々における対応位置にある接続電極ｐは、接続
部材によって互いに電気的に接続されている。すなわ
ち、同一の番地表示（ｍ，ｎ）を有する接続電極ｐは機
能領域ＡおよびＢの各々に存在するが、これら同一の番
地表示を有する２つの接続電極ｐを互いに電気的に接続
させるのである。この互いに電気的に接続された接続電
極をこの明細書において「共通化電極」といい、Ｐ
（ｍ，ｎ）で表わすこととする。従って、或る共通化電
極Ｐ（ｍ，ｎ）は、電気的に接続されている２つの分岐
された端子としての接続電極Ａ（ｍ，ｎ）およびＢ
（ｍ，ｎ）よりなるものとなる。そして、接続電極エレ
メント６０の接続電極ｐが、この電極分岐分配板５５の
上面接続電極５６を形成する。また、図示の例において
は、電極分岐分配板５５の機能領域Ｂと対応する位置に
下部基板側コネクター３０が配置されている。

【００３９】図７に示すように、検査電極板装置５１の
上面には、電極分岐分配板５５の下面接続電極５７に対
応する格子点位置のすべてに配列された状態で検査電極
５２が形成されており、この検査電極５２は、配線回路
５３により、検査電極板装置５１の一端部に形成された
外部引出し端子部５４に接続され、この外部引出し端子
部５４の各端子は、着脱自在に接続されたコネクター６
５を介してテスターの検査回路（図示省略）に接続され
ている。

【００４０】第３の異方導電性シート６１および第４の
異方導電性シート６２は、いずれもその厚み方向にのみ
導電路を有する形成する導電路形成部が形成されてなる
ものであり、第２の異方導電性シート３６と同様に、導
電路形成部が少なくともその一面において厚み方向に突
起状に形成されていることが好ましい。

【００４１】６６は下部側検査治具２０の検査電極板装
置５１を上方に押圧して上昇させるための押圧板であ
り、図示しない押圧機構に着脱自在に設けられている。
また、この押圧板６６は、その押圧方向における基準レ
ベル、すなわち押圧操作が開始されていない基準のレベ
ルが調整可能に設けられていることが好ましい。

【００４２】検査区域において、搬送通路の上方には上
部側検査治具７０が配置されている。この上部側検査治
具７０は、下部側検査治具２０とほぼ対応する構造を有
し、被検査回路基板１の幅ｄと同等の寸法の幅を有する
上部基板側コネクター７１と、テスターの検査回路に接
続される上部テスター側コネクター７５と、上部基板側
コネクター７１および上部テスター側コネクター７５を
仲介して両者の接点を電気的に接続する仲介ピン装置８
０とにより構成されている。

【００４３】上部基板側コネクター７１は、被検査回路
基板１の上面側に配設される弾性を有する第１の異方導
電性シート７２と、ピッチ変換ボード７４と、このピッ
チ変換ボード７４の上面側に配設される第２の異方導電
性シート７３とが下からこの順に積重されて構成されて
いる。これらは、それぞれ下部基板側コネクター３０に
おける第１の異方導電性シート３５、ピッチ変換ボード
３１および第２の異方導電性シート３６に対応するもの
である。

【００４４】仲介ピン装置８０は、上下方向に伸びるよ
う設けられた多数の導電ピン８１と、各導電ピン８１の
上側の基端部分に設けられた、各導電ピン８１を挿通支
持する水平な基端側支持板８２と、各導電ピン８１の中
央部分に設けられた、各導電ピン８１を挿通支持する水
平な中央支持板８３と、各導電ピン８１の下側の先端部
分に設けられた、各導電ピン８１を挿通支持する水平な
先端側支持板８４とにより構成されている。これらは、
それぞれ下部側検査治具２０の仲介ピン装置４０におけ
る導電ピン４１、基端側支持板４２、中央支持板４３お
よび先端側支持板４４に対応するものである。

【００４５】この仲介ピン装置８０の各導電ピン８１に
は、図８に示すように、中央支持板８３を挿通する部分
の上部に中央支持板８３の貫通孔８５より大きい径の球
状の係止部８６が形成され、これにより、導電ピン８１
が下方に脱落しないよう中央支持板８３に保持されてい
る。また、先端側支持板８４は、すべての導電ピン８１
を挿通支持するよう設けられている。

【００４６】上部テスター側コネクター７５は、仲介ピ
ン装置８０における導電ピン８１の基端に配設される弾
性を有する第３の異方導電性シート７６と、この第３の
異方導電性シート７６の上面に配設される電極分岐分配
板７７と、この電極分岐分配板７７の上面に配設される
弾性を有する第４の異方導電性シート７８と、この第４
の異方導電性シート７８の上面に配設される検査電極板
装置７９と、この検査電極板装置７９の一端部に設けら
れたコネクター８７とにより構成されている。これら
は、それぞれ下部テスター側コネクター５０における第
３の異方導電性シート、電極分岐分配板５５、第４の異
方導電性シート６２および検査電極板装置５１に対応す
るものである。

【００４７】以上の上部側検査治具７０は、固定された
ベースに固定された状態とされていてもよく、下部側検
査治具２０の場合と同様に、上部側検査治具７０の検査
電極板装置７９を下方に押圧して下降させるための押圧
板に設けられることにより、下降可能な状態とされてい
てもよい。

【００４８】以上のような構成の回路基板の検査装置に
おいては、下部側検査治具２０における仲介ピン装置４
０の多数の導電ピンのうち、検査実行領域に隣接する一
部の領域であって一方の搬送部材１１の幅より大きい領
域における導電ピン４１が取り外されることにより、一
方の搬送機構１１が収容される収容用空間Ｓが形成され
る。

【００４９】以上の回路基板の検査装置においては、検
査すべき被検査回路基板１が搬送機構１０により検査区
域にまで搬送されると、仲介ピン装置４０における中央
支持板４３が下降位置にある状態で、押圧板６６により
下部テスター側コネクター５０の検査電極板装置が上方
に押圧されて下部側検査治具２０が上昇され、これによ
り、被検査回路基板１が位置決めピン３７により下部基
板側コネクター３０に対して位置決めされた状態で上方
に押し上げられ、これに同期して、搬送機構１０におけ
る一方の搬送部材１１および他方の搬送部材１２が両方
ともその走行位置から両側に変位し、一方の搬送部材１
１および他方の搬送部材１２が被検査回路基板１から外
方に外れた位置とされる。これにより、被検査回路基板
１は搬送機構１０から離脱して下部側検査治具２０と上
部側検査治具７０とにより挟圧される得るフリーの状態
となる。そして、下部側検査治具２０が更に上昇するこ
とにより、被検査回路基板１が下部側検査治具２０と上
部側検査治具７０との間に挟圧される。このとき、搬送
機構１０における一方の搬送部材１１が、上昇する仲介
ピン装置４０における収容用空間Ｓに相対的に収容され
る。

【００５０】このようにして、被検査回路基板１の下面
および上面の両方の被検査電極の各々が、下部テスター
側コネクター５０における検査電極板装置４１の検査電
極５２および検査電極板装置７８の検査電極と電気的に
接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に
接続された状態が達成され、この状態で所期の検査が行
われる。

【００５１】上記の実施例の回路基板の検査装置によれ
ば、下部側検査治具２０の仲介ピン装置４０における着
脱自在の導電ピン４１を取り外すことにより、仲介ピン
装置４０において搬送機構１０の一方の搬送部材１１の
収容用空間Ｓを形成することができるので、これによ
り、異なる幅寸法の被検査回路基板１を検査対象とする
ために、当該幅寸法の大きさに応じて搬送機構１０にお
ける一方の搬送部材１１の走行位置が変更されたときに
も、当該一方の搬送部材を被検査回路基板１から離脱さ
せるために必要な変位距離を常に十分に小さくすること
ができ、その結果、被検査回路基板１が検査区域に到着
した後のきわめて短時間のうちに、被検査回路基板１が
上部側検査治具７０および下部側検査治具２０に挟圧さ
れた検査準備完了状態を達成することができるので、回
路基板の検査において高い時間的効率が得られる。

【００５２】また、下部基板側コネクター３０は、仲介
ピン装置４０と分離可能に設けられているため、下部側
検査治具２０においては、配線パターンの異なる被検査
回路基板を検査する場合には、下部基板側コネクター３
０のみを被検査回路基板の配線パターンに対応するもの
に交換すればよいので、下部側検査治具２０の主要部で
ある仲介ピン装置４０および下部テスター側コネクター
５０を交換する必要がなく共通に使用することができ
る。

【００５３】そして、搬送機構１０における搬送部材１
１の搬送機構可動範囲の直下領域におけるすべての導電
ピン４１を着脱自在としておくことにより、当該搬送機
構可動範囲の直下領域内においては、収容用空間Ｓの位
置を任意に選定できるので、種々の大きさの幅寸法を有
する被検査回路基板１に好適に対応することができる。

【００５４】また、上記の実施例の電極分岐分配板５５
においては、その２つの機能領域において同一の配置状
態で上面接続電極５６が形成されていると共に、各機能
領域における対応する位置にある上面接続電極５６が配
線回路５３によって互いに電気的に接続されて共通化電
極とされた状態で下面接続電極５７に接続されているた
め、或る仲介ピン装置４０における導電ピン４１と導通
する上面接続電極５６が各機能領域のいずれにも存在
し、従って当該導電ピン４１と検査電極板装置５１の検
査電極５２との電気的な接続を大きな自由度で行うこと
ができる。その結果、被検査回路基板１上の被検査電極
２が特定の個所に非常に高密度化された状態に形成され
たものであっても、当該個所とは離隔した機能領域の共
通化電極を利用して、すなわち、いわば当該共通化電極
によって分散された位置の接続電極を利用することによ
り、所要の電気的な接続を容易に達成することができる
と共に、高い信頼性の検査を実行することができる。

【００５５】また、図示の例においては、それ自体が剛
性を有するピッチ変換ボード３１，７４および電極分岐
分配装置５５，７７の両面に弾性を有する異方導電性シ
ートを具えているため、これらにより、反り、変形によ
る歪が吸収され、その結果、押圧板６６により下部側検
査治具２０および上部側検査治具７０に作用される押圧
力を緩和することができる。

【００５６】以上において、仲介ピン装置４０における
導電ピン４１のうち、被検査回路基板１の検査において
電気的接続のために必ず使用される導電ピン、すなわち
検査対象とされる被検査回路基板のうち最も小さい幅寸
法を有する被検査回路基板を検査する場合の検査実行領
域における導電ピンについては、着脱自在とされる必要
はなく、例えば基端側支持板４２に固定されていてもよ
い。

【００５７】上記の検査装置を使用して回路基板を検査
するにあたっては、仲介ピン装置４０において、例えば
搬送機構１０における一方の搬送部材１１それ自体の幅
寸法に対応する大きさの領域の導電ピン４１を取り外し
て収容用空間Ｓを形成するが、この領域の外側の領域に
おける導電ピン４１は残留されたままの状態とすること
によって残留導電ピン群４６を形成し、この状態で検査
を実行する方法を採用することが好ましい。

【００５８】また、この検査方法においては、残留導電
ピン群４６における導電ピン４１の先端部上に、挟圧さ
れた状態における下部基板側コネクター３０の厚みおよ
び上部基板側コネクター７１の厚みの和と同等の厚みを
有するスペーサー４７を配置することが好ましい。

【００５９】このような回路基板の検査方法によれば、
仲介ピン装置４０における収容用空間Ｓが形成される一
部の領域の外側の領域に、導電ピン４１が残留された残
留導電ピン群４６が形成されることにより、下部側検査
治具２０と上部側検査治具７０とにより被検査回路基板
１に作用される挟圧力を、導電ピン４１が存在する領域
において全体に平均化された圧力分布のものとすること
ができるので、被検査回路基板１は、その全体に平均化
された圧力分布で挟圧されることとなり、その結果、当
該被検査回路基板１について高い信頼性で検査を行うこ
とができる。

【００６０】以上の実施例おいては、搬送機構１０の他
方の搬送部材１２の走行位置を基準位置とし、一方の搬
送部材１１が搬送機構可動範囲において移動可能とさ
れ、下部側検査治具２０および上部側検査治具７０の各
々の一方の外側縁が前記基準位置に従って配置されてい
るが、本発明においては、例えば搬送通路の幅方向の中
央位置すなわち搬送機構１０における搬送部材１１と搬
送部材１２との間の中央位置を基準位置とし、一方の搬
送部材１１および他方の搬送部材１２の両方がそれぞれ
搬送機構可動範囲において基準位置と離接する方向に移
動可能とされ、下部側検査治具２０および上部側検査治
具７０の各々の中央が基準位置に従って配置されていて
もよい。

【００６１】このような場合には、下部側検査治具２０
の仲介ピン装置４０における収容用空間については、図
９に示すように、一方の搬送部材１１の収容用空間Ｓ１
に加えて、他方の搬送部材１２を収容する収容用空間Ｓ
２を形成することにより、下部側検査治具２０が上昇さ
れたときに一方の搬送部材１１および他方の搬送部材１
２がそれぞれ収容され、従って、一方の搬送部材１１お
よび他方の搬送部材１２のそれぞれの変位距離を短いも
のとすることができる。

【００６２】また、収容用空間Ｓ１および収容用空間Ｓ
２のそれぞれの外側に、残留導電ピン群４６ａ，４６ｂ
を形成することにより、下部側検査治具２０と上部側検
査治具７０とにより被検査回路基板１に作用される挟圧
力を導電ピン４１が存在する領域において全体に平均化
された圧力分布のものとすることができ、その結果、回
路基板の検査において高い信頼性を得ることができる。

【００６３】本発明の回路基板の検査装置においては、
搬送機構として、上記の実施例に示した搬送機構に限ら
れず、種々のものを利用することができる。例えば、被
検査回路基板１をその両側縁において保持した状態で一
方のガイドレール上および他方のガイドレール上を移動
するキャリアによる搬送機構であってもよく、また、そ
の他の構成であってもよい。

【００６４】

【発明の効果】本発明の回路基板の検査装置によれば、
仲介ピン装置における着脱自在の導電ピンを取り外すこ
とにより、仲介ピン装置において搬送機構の収容用空間
を形成することができるので、これにより、異なる幅寸
法の回路基板を検査対象とするために、当該幅寸法の大
きさに応じて搬送機構の幅方向位置が変更されたときに
も、搬送機構を回路基板から離脱させるために必要な変
位距離を常に小さくすることができ、その結果、回路基
板が検査区域に到着した後のきわめて短時間のうちに、
回路基板が上部側検査治具および下部側検査治具に挟圧
された検査準備完了状態を達成することができるので、
回路基板の検査において高い時間的効率が得られる。

【００６５】また、下部基板側コネクターは、仲介ピン
装置と分離可能に設けられているため、下部側検査治具
においては、配線パターンの異なる回路基板を検査する
場合には、下部基板側コネクターのみを回路基板の配線
パターンに対応するものに交換すればよいので、下部側
検査治具の主要部である仲介ピン装置および下部テスタ
ー側コネクターを交換する必要がなく共通に使用するこ
とができる。

【００６６】そして、搬送機構の搬送機構可動範囲の直
下領域におけるすべての導電ピンを着脱自在としておく
ことにより、当該搬送機構可動範囲の直下領域内におい
ては、収容用空間の位置を任意に選定できるので、種々
の大きさの幅寸法を有する回路基板に対応することがで
きる。

【００６７】本発明の回路基板の検査方法によれば、上
記の回路基板の検査装置において、仲介ピン装置におけ
る導電ピンの一部のみが取り外されて、残部の導電ピン
が残留させた状態で回路基板を挟圧することにより、下
部側検査治具と上部側検査治具とにより作用される挟圧
力を、導電ピンが存在する領域において全体に平均化さ
れた圧力分布のものとすることができるので、回路基板
は、その全体に平均化された圧力分布で挟圧されること
となり、その結果、回路基板について高い信頼性で検査
を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の回路基板の検査装置の一例における要
部の構成を示す説明用断面図である。

【図２】下部基板側コネクターの一例の構成を示す説明
用断面図である。

【図３】被検査回路基板、下部基板側コネクターおよび
仲介ピン装置の各々の位置関係を示す説明図である。

【図４】仲介ピン装置の一例の構成を示す説明用断面図
である。

【図５】電極分岐分配板の一例の構成を示す説明用断面
図である。

【図６】電極分岐分配板として用いられる検査電極エレ
メントの説明図である。

【図７】検査電極板装置の一例の構成を示す説明用断面
図である。

【図８】上部側検査治具における仲介ピン装置の導電ピ
ンの一例を示す説明用断面図である。

【図９】本発明の回路基板の検査装置の他の例における
要部の構成を示す説明用断面図である。

【図１０】従来の回路基板の検査装置の一例の基本的な
構成を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 被検査回路基板 ２ 被検査電極 １０ 搬送機構 １１ 一方の搬
送部材 １２ 他方の搬送部材 １３ 一方のガ
イドレール １４ 一方の搬送ベルト １５ 他方のガ
イドレール １６ 他方のガイドレール ２０ 下部側検
査治具 ３０ 下部基板側コネクター ３１ ピッチ変
換ボード ３２ 上面電極 ３３ 下面電極 ３５ 第１の異方導電性シート ３６ 第２の異
方導電性シート ３７ 位置決めピン ４０ 仲介ピン
装置 ４１ 導電ピン ４２ 基端側支
持板 ４３ 中央支持板 ４４ 先端側支
持板 ４５ ばね機構 ４６，４６ａ，
４６ｂ 残留導電ピン群 ４７ スペーサー ５０ 下部テス
ター側コネクター ５１ 検査電極板装置 ５２ 検査電極 ５３ 配線回路 ５４ 外部引出
し端部 ５５ 電極分岐分配板 ５６ 上面接続
電極 ５７ 下面接続電極 ５８ 配線回路 ６０ 接続電極エレメント ６１ 第３の異
方導電性シート ６２ 第４の異方導電性シート ６５ コネクタ
ー ７０ 上部側検査治具 ７１ 上部基板
側コネクター ７２ 第１の異方導電性シート ７３ 第２の異
方導電性シート ７４ ピッチ変換ボード ７５ 上部テス
ター側コネクター ７６ 第３の異方導電性シート ７８ 第４の異
方導電性シート７９ 検査電極板装置 ７７ 電極分岐
分配板 ８０ 仲介ピン装置 ８１ 導電ピン ８２ 基端側支持板 ８３ 中央支持
板 ８４ 先端側支持板 ８５ 貫通孔 ８６ 係止部 ８７ コネクタ
ー Ｓ，Ｓ１，Ｓ２ 収容用空間 ｐ 接続電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−58977（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−24076（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/02 G01R 31/28

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査すべき回路基板を検査区域に搬送す
   る搬送機構を有し、当該検査区域において上部側検査治
   具と下部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧して
   検査する回路基板の検査装置であって、 下部側検査治具は、回路基板の下面に対接される下部基
   板側コネクターと、仲介ピン装置を介してこの下部基板
   側コネクターをテスターに電気的に接続するためのテス
   ター側コネクターとを有してなり、 前記下部基板側コネクターは、前記仲介ピン装置と分離
   可能に設けられており、 前記仲介ピン装置は、上下方向に伸びるよう支持された
   多数の導電ピンを有してなり、かつ、当該導電ピンの少
   なくとも一部が着脱自在に設けられており、 前記脱着自在の導電ピンの少なくとも一部が取り外され
   ることにより、仲介ピン装置において搬送機構の収容用
   空間が形成されることを特徴とする回路基板の検査装
   置。
2. 【請求項２】 搬送機構は、搬送機構可動範囲において
   回路基板の搬送方向とは直角な水平方向に移動可能に設
   けられており、 この搬送機構可動範囲の直下領域におけるすべての導電
   ピンが着脱自在に設けられていることを特徴とする請求
   項１に記載の回路基板の検査装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の回路基板の検査装置に
   よる回路基板の検査方法であって、 搬送機構可動範囲における導電ピンの一部のみが取り外
   されることにより当該搬送機構の収容用空間が形成さ
   れ、残部の導電ピンが残留された状態で検査を実行する
   ことを特徴とする回路基板の検査方法。