JPH08271569A - 回路基板の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回路基板の検査が高い時間的効率で達成さ
れ、検査治具の主要部を共通に使用することができる回
路基板の検査装置を提供することを目的とする。 【構成】 搬送機構と上部側検査治具と下部側検査治具
とを有してなり、上部側検査治具および下部側検査治具
の少なくとも一方は、基板側コネクターと仲介ピン装置
とテスター側コネクターとを有し、基板側コネクターは
仲介ピン装置と分離可能に設けられ、仲介ピン装置は、
上下方向に伸びる多数の導電ピン部材を有し、これらの
導電ピン部材のうち、少なくとも搬送機構可動範囲に対
応する領域における導電ピン部材の各々は、回路基板側
の作用端が弾性的に後退自在に設けられ、この後退自在
の導電ピン部材のうち、選択された領域における導電ピ
ン部材の各々の作用端を弾性力に抗して後退させ、仲介
ピン装置において搬送機構の収容用空間を形成する、導
電ピン部材抑制固定機構を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、検査すべき回路基板を
搬送機構によって検査区域に搬送し、上部側検査治具と
下部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧すること
により、回路基板の両面の導電接点部がテスターに電気
的に接続された状態を達成し、これにより当該回路基板
の電気的接続状態を検査する回路基板の検査装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に集積回路などを搭載するためのプ
リント回路基板については、集積回路などを実装する以
前に、当該回路基板の配線パターンが所期の性能を有す
ることを確認することが必要であり、そのためにその電
気的特性を検査することが行われている。かかる回路基
板の検査のための検査装置としては、検査すべき被検査
回路基板を検査区域に搬送する搬送機構を具えてなるも
のが知られている。

【０００３】図１２は、従来の回路基板の検査装置の一
例の基本的な構成を示す説明図である。この回路基板の
検査装置においては、検査すべき被検査回路基板１を、
この図において紙面に垂直な水平方向に伸びる搬送通路
に沿って検査区域に搬送する搬送機構９０が設けられて
いる。この例の搬送機構９０は、搬送通路の一側に設け
られた一方の搬送部材９１と、搬送通路の他側に設けら
れた他方の搬送部材９２とよりなり、一方の搬送部材９
１は、被検査回路基板１の一側縁を案内する断面Ｌ字形
の一方のガイドレール９３と、被検査回路基板１の一側
縁を載せて走行する一方の搬送ベルト９４とにより構成
され、他方の搬送部材９２は、被検査回路基板１の他側
縁を案内する断面Ｌ字形の他方のガイドレール９５と、
被検査回路基板１の他側縁を載せて、前記一方の搬送ベ
ルト９４と一体的に走行する他方の搬送ベルト９６とに
構成されている。

【０００４】そして、一方の搬送部材９１と他方の搬送
部材９２とは、被検査回路基板１の搬送方向とは直角な
水平方向であって互いに離接する方向に移動可能に設け
られており、これにより、各搬送部材９１，９２は、被
検査回路基板１を検査のためにフリーな状態とするため
に、被検査回路基板１より外側方に外れる位置にまで変
位することが可能とされると共に、幅寸法の異なる被検
査回路基板に対応した走行位置に移動することが可能な
状態とされている。

【０００５】また、検査区域においては、搬送された被
検査回路基板１を搬送機構９０から離脱させてフリーの
状態とすると共に、更に被検査回路基板１を上下方向か
ら挟圧する下部側検査治具９７および上部側検査治具９
８が配置されており、これらはテスターの検査回路（図
示省略）に接続される。

【０００６】このような構成の回路基板の検査装置にお
いては、検査すべき被検査回路基板１が搬送機構９０の
一方の搬送部材９１および他方の搬送部材９２により検
査区域にまで搬送されて停止され、その後、例えば下部
側検査治具９７が上昇することにより、被検査回路基板
１が上方に押し上げられて搬送機構９０から離脱される
一方、搬送機構９０における一方の搬送部材９１および
他方の搬送部材９２が被検査回路基板１の幅方向外方に
下部側検査治具９７の外側位置にまで変位されることに
より、被検査回路基板１がフリーの状態となり、更に下
部側検査治具９７が上昇することにより、被検査回路基
板１が下部側検査治具９７と上部側検査治具９８との間
に挟圧されて被検査回路基板１の両面の導電接点部がテ
スターの検査回路に電気的に接続された状態が達成さ
れ、この状態でテスターにより、当該被検査回路基板１
の検査が実行される。

【０００７】以上において、一方の搬送部材９１および
他方の搬送部材９２の外方への変位がなされなければ、
それらが障害となって、下部側検査治具９７および上部
側検査治具９８により、被検査回路基板１を挟圧するこ
とができない。

【０００８】このような回路基板の検査装置によれば、
搬送機構９０により被検査回路基板１を迅速に検査区域
に配置することができるので、被検査回路基板１を検査
のためにセットするための所要時間が短時間となり、多
数の被検査回路基板についての検査を高い時間的効率で
実行することができる。

【０００９】而して、実際上、検査すべき被検査回路基
板は、幅寸法が一定の一種類のみではなく、このため、
下部側検査治具９７および上部側検査治具９８は、最大
の幅寸法を有する被検査回路基板に対応する幅の検査領
域をカバーするものであることが必要である。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】然るに、下部側検査治
具９７および上部側検査治具９８の検査領域の幅よりも
小さい幅寸法を有する被検査回路基板について検査を行
う場合には、一方の搬送部材９１および他方の搬送部材
９２をそれぞれ下部側検査治具９７および上部側検査治
具９８の両外側にまで変位させる必要があるためにそれ
らの変位距離が大きいものとなり、その結果、一方の搬
送部材９１および他方の搬送部材９２の変位が完了する
までに長い時間を要することとなって、時間的効率が低
いものとなる、という問題がある。

【００１１】また、従来の検査装置においては、下部側
検査治具９７および上部側検査治具９８は、各々特定の
被検査回路基板１に専用のものとして構成されているた
め、配線パターンの異なる被検査回路基板を検査するた
めには、当該被検査回路基板に対応して全体の検査治具
を変更する必要がある、という問題がある。

【００１２】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであり、その第１の目的は、幅寸法の異なる
回路基板であっても、当該回路基板の各々についての検
査を高い時間的効率で達成することができる回路基板の
検査装置を提供することにある。本発明の第２の目的
は、異なる種類の回路基板に対しても、検査治具の主要
部を共通に使用することができる回路基板の検査装置を
提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の回路基板の検査
装置は、検査すべき回路基板を検査区域に搬送する搬送
機構を有し、当該検査区域において上部側検査治具と下
部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧して検査す
る回路基板の検査装置であって、前記搬送機構は、搬送
機構可動範囲において回路基板の搬送方向とは直角な水
平方向に移動可能に設けられており、上部側検査治具お
よび下部側検査治具の少なくとも一方は、回路基板に対
接される基板側コネクターと、仲介ピン装置を介してこ
の基板側コネクターをテスターに電気的に接続するため
のテスター側コネクターとを有してなり、前記基板側コ
ネクターは、前記仲介ピン装置と分離可能に設けられて
おり、前記仲介ピン装置は、上下方向に伸びるよう支持
された多数の導電ピン部材を有してなり、前記多数の導
電ピン部材のうち、少なくとも前記搬送機構可動範囲に
対応する領域におけるすべての導電ピン部材の各々は、
回路基板側の作用端が弾性的に後退自在に設けられ、前
記後退自在の導電ピン部材のうち、選択された領域にお
ける導電ピン部材の各々の作用端を弾性力に抗して後退
させることにより、前記仲介ピン装置において搬送機構
の収容用空間を形成する、導電ピン部材抑制固定機構を
備えることを特徴とする。

【００１４】

【作用】以上の構成によれば、導電ピン部材抑制固定機
構により、作用端が後退自在に設けられた導電ピン部材
の当該作用端を後退させてその状態で固定することによ
り、仲介ピン装置において搬送機構の収容用空間を形成
することができる。しかも、搬送機構の搬送機構可動範
囲に対応する領域におけるすべての導電ピン部材は、そ
の作用端が後退自在に設けられているので、当該搬送機
構可動範囲に対応する領域内においては、収容用空間を
形成する位置を任意に選定することができる。従って、
この検査装置は、種々の大きさの幅寸法を有する回路基
板に好適に対応することができると共に、幅寸法の異な
る回路基板を検査対象とするために当該幅寸法の大きさ
に応じて搬送機構の幅方向位置が変更されたときにも、
収容用空間を形成する位置を検査が実行される領域に隣
接する位置に選定することにより、当該搬送機構を回路
基板から離脱させるために必要な変位距離を常に小さく
することができる。そして、その結果、回路基板が検査
区域に到着した後のきわめて短時間のうちに、回路基板
が上部側検査治具および下部側検査治具に挟圧された検
査準備完了状態を達成することができるので、回路基板
の検査において高い時間的効率が得られる。

【００１５】また、基板側コネクターは、仲介ピン装置
と分離可能に設けられているため、当該検査治具におい
ては、配線パターンの異なる回路基板を検査する場合に
おいても、当該基板側コネクターのみを回路基板の配線
パターンに対応するものに交換すればよいので、当該検
査治具の主要部である仲介ピン装置およびテスター側コ
ネクターを交換する必要がなく共通に使用することがで
きる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の回路基板の検査装置の実施例
について説明する。図１は、本発明に係る回路基板の検
査装置の一例における要部の構成を示す説明用断面図で
ある。この回路基板の検査装置においては、検査すべき
被検査回路基板１を、図１において紙面に垂直な水平方
向に伸びる搬送通路に沿って検査区域に搬送する搬送機
構１０が設けられており、検査区域には、搬送された被
検査回路基板１の両面を上下方向から挟圧する下部側検
査治具２０および上部側検査治具７０が配置されてい
る。

【００１７】図示の例における搬送機構１０は、搬送通
路の一側に設けられた一方の搬送部材１１と、搬送通路
の他側に設けられた他方の搬送部材１２とよりなり、一
方の搬送部材１１は、被検査回路基板１の一側縁を案内
する断面Ｌ字形の一方のガイドレール１３と、被検査回
路基板１の一側縁を載せて走行する一方の搬送ベルト１
４とにより構成され、他方の搬送部材１２は、被検査回
路基板１の他側縁を案内する断面Ｌ字形の他方のガイド
レール１５と、被検査回路基板１の他側縁を載せて、前
記一方の搬送ベルト１４と一体的に走行する他方の搬送
ベルト１６とにより構成されている。

【００１８】被検査回路基板１の幅方向における一方の
搬送部材１１の搬送のために走行するときの位置（以
下、「走行位置」という。）は、他方の搬送部材１２の
走行位置を基準として、当該他方の搬送部材１２に離接
する方向に移動可能とされている。そして、一方の搬送
部材１１の走行位置の可動範囲Ｋは、他方の搬送部材１
２との離間間隔が、検査対象とされる被検査回路基板の
うち最も小さい幅寸法を有する被検査回路基板の当該幅
寸法に対応する大きさとなる最接近位置から、他方の搬
送部材１２との離間間隔が検査対象とされる被検査回路
基板のうち最も大きい幅寸法を有する被検査回路基板の
当該幅寸法に対応する大きさとなる最離間位置（破線で
示す）までの範囲とされ、これにより、幅寸法の異なる
被検査回路基板１に対応することが可能な状態とされて
いる。一方の搬送部材１１の高さＨは、例えば５〜７ｍ
ｍである。

【００１９】また、一方の搬送部材１１および他方の搬
送部材１２の各々は、走行位置を基準として、これより
被検査回路基板１の搬送方向と直角な水平方向に被検査
回路基板１の両側縁からそれぞれ外方に外れる位置にま
で変位することが可能とされている。

【００２０】検査区域において、搬送通路の下方には下
部側検査治具２０が配置されている。図示の例における
下部側検査治具２０は、その一方の外側縁が、搬送機構
１０において走行位置が移動されない他方の搬送部材１
２に沿うよう設けられている。この下部側検査治具２０
は、被検査回路基板１の幅ｄと同等の寸法の幅を有する
下部基板側コネクター３０と、テスターの検査回路（図
示省略）に接続される下部テスター側コネクター５０
と、下部基板側コネクター３０および下部テスター側コ
ネクター５０の間を仲介して両者の接点を電気的に接続
する仲介ピン装置４０とにより構成されており、下部基
板側コネクター３０と仲介ピン装置４０とは分離可能と
されている。

【００２１】下部基板側コネクター３０は、図２にも示
すように、被検査回路基板１の下面側に配設される弾性
を有する第１の異方導電性シート３５と、ピッチ変換ボ
ード３１と、このピッチ変換ボード３１の下面側に配設
される弾性を有する第２の異方導電性シート３６とがこ
の順に積重されて構成されている。

【００２２】被検査回路基板１と対向するピッチ変換ボ
ード３１の上面には、被検査回路基板１の下面における
被検査電極２の配列に対応するパターンに従って上面電
極３２が形成されており、ピッチ変換ボード３１の反対
の下面には、当該上面電極３２とそれぞれ対応関係で電
気的に接続された下面電極３３が、規格化された格子点
位置に配列された状態、すなわちいわゆるユニバーサル
配列の状態で形成されている。

【００２３】第１の異方導電性シート３５および第２の
異方導電性シート３６は、いずれもその厚み方向にのみ
導電路を有する形成する導電路形成部が形成されてなる
ものである。ここに、第１の異方導電性シート３５また
は第２の異方導電性シート３６としては、各導電路形成
部が少なくともその一面において厚み方向に突起状に形
成されているものが、高い電気的な接触安定性を発揮す
る点で好ましい。下部基板側コネクター３０の厚みは、
例えば１．５〜３ｍｍである。

【００２４】また、下部基板側コネクター３０には、第
１の異方導電性シート３５、ピッチ変換ボード３１およ
び第２の異方導電性シート３６のそれぞれを貫通するよ
う、複数の位置決めピン３７が摺動可能に設けられてい
る。

【００２５】この例においては、仲介ピン装置４０は、
図３にも示すように、走行位置が移動される一方の搬送
部材の可動領域が拡がる一側方（図１および図３で左
方）に被検査回路基板１の幅ｄと同等の幅だけ広がっ
た、その全幅Ｄが２ｄの領域をカバーする状態に配置さ
れている。

【００２６】この仲介ピン装置４０においては、各々上
下方向に伸びる多数の導電ピン部材４１が、ピッチ変換
ボード３１の下面電極３３に対応する格子点位置に配列
された状態で設けられ、各導電ピン部材４１の下側の基
端部分には、各導電ピン部材４１を挿通支持する水平な
基端側支持板４６が設けられている。各導電ピン部材４
１の中央部分には、各導電ピン部材４１を挿通支持する
水平な中央支持板４７が設けられている。

【００２７】多数の導電ピン部材４１のうち、少なくと
も一方の搬送部材１１の可動範囲Ｋに対応する領域、す
なわち一方の搬送部材１１の可動範囲Ｋの直下領域にお
ける導電ピン部材４１ａは、その被検査回路基板１側の
作用端４２が弾性的に後退自在に設けられている。

【００２８】具体的に説明すると、図４に示すように、
後退自在の導電ピン部材４１ａの各々においては、その
作用端４２を形成する円柱状の頭部４３ａと、この頭部
４３ａに続いて下方に伸びる、当該頭部４３ａの外径よ
り小さい外径を有する円柱状のロッド部４３ｂとよりな
るピン４３が設けられ、このピン４３のロッド部４３ｂ
の周囲には、下端に底部４４ａを有する筒体４４がピン
４３のロッド部４３ｂを摺動可能に収容して支持するよ
う設けられ、ピン４３の下端と筒体４４の底部４４ａと
の間には、ロッド部４３ｂの伸びる方向に伸長するバネ
よりなる弾性体４５が設けられており、図示しないスト
ッパによりロッド部４３ｂが筒体４４から抜け出ること
が防止されると共に、ピン４３が弾性体４５の弾性力に
抗して押下することが可能な状態とされている。一方の
搬送部材１１の可動範囲Ｋの直下領域以外の領域におけ
る導電ピン部材４１は、例えば円柱状のピンのみにより
構成されていてもよく、またその必要はないが作用端４
２が後退自在の構成とされていてもよい。

【００２９】仲介ピン装置４０における多数の導電ピン
部材４１のうち、下部基板側コネクター３０に対向する
領域（以下、「検査実行領域」という。）における各導
電ピン４１部材については、その上側の作用端４２は、
下部基板側コネクター３０における異方導電性シート３
６の下面に当接される。

【００３０】また、図示の例においては、検査実行領域
における導電ピン部材４１の上側の作用端４２より僅か
に下方のレベルに、被検査回路基板１の幅ｄと同等の寸
法の幅を有する水平な先端側支持板４８が当該導電ピン
部材４１を挿通支持するよう設けられており、この先端
側支持板４８は、仲介ピン装置４０における他の部材か
ら分離可能に設けられると共に、例えば位置決めピン３
７により、下部基板側コネクター３０と結合されてい
る。

【００３１】そして、仲介ピン装置４０における後退自
在の導電ピン部材４１ａのうち、検査実行領域に隣接す
る一部の領域に収容用空間Ｓを形成するための導電ピン
部材抑制固定機構６５が設けられている。この導電ピン
部材抑制固定機構６５においては、図５に示すように、
一方の搬送部材１１の幅より大きい幅を有すると共に、
検査区域の全長にわたって延びる例えばアルミニウムな
どの金属製の導電ピン部材抑制板６６が設けられ、この
導電ピン部材抑制板６６が押下されることによって、当
該導電ピン部材４１ａの各々の作用端４２が弾性体４５
の弾性力に抗して下方に後退した状態とし、この状態
で、導電ピン部材抑制板６６を、後述する押圧板６４に
連結して保持する連結保持部材６７が設けられている。
そして、これにより、導電ピン部材抑制板６６の直上に
は、一方の搬送機構１１が収容される収容用空間Ｓが形
成されている。なお、図示の例においては、導電ピン部
材抑制板６６は、下面に形成された凹部６６ａに導電ピ
ン部材４１ａの各々の作用端４２が挿入された状態でこ
れらを押下するものである。

【００３２】収容用空間Ｓの上下方向における寸法、具
体的には、部側検査治具７０と下部側検査治具２０とに
よって被検査回路基板１が挟圧された状態における一方
の搬送部材１１の上端レベルから導電ピン部材抑制板６
６の上面レベルまでの距離は、一方の搬送部材１１を完
全に収容し得る大きさすなわち一方の搬送部材１１の高
さＨ以上であればよいが、特に、一方の搬送部材１１の
高さＨより０．５ｍｍ以上大きくて遊び空間が形成され
ることが好ましい。

【００３３】下部テスター側コネクター５０は、仲介ピ
ン装置４０における導電ピン部材４１の基端部に当接す
るよう配設される弾性を有する第３の異方導電性シート
６１と、この第３の異方導電性シート６１の下面側に配
設される電極分岐分配板５５と、この電極分岐分配板５
５の下面側に配設される弾性を有する第４の異方導電性
シート６２と、この第４の異方導電性シート６２の下面
側に配設される検査電極板装置５１とにより構成されて
おり、これらは、被検査回路基板１の幅ｄの２倍の２ｄ
の領域をカバーする状態に配置されている。

【００３４】図６に示すように、電極分岐分配板５５の
上面には、それぞれピッチ変換ボード３１の下面電極３
３に対応する格子状配列、すなわち格子点位置のすべて
に配列された状態で上面接続電極５６が形成されてお
り、電極分岐分配板５５の下面には、上面接続電極５６
と同様の状態で下面接続電極５７が形成されている。こ
の電極分岐分配板５５においては、後述するように、２
つの機能領域における対応する対の各上面接続電極５６
を共通化電極とするための配線回路５８が多層構成で形
成されており、この配線回路５８により、上面接続電極
５６と下面接続電極５７とが特定の関係で電気的に接続
されている。

【００３５】図７は、電極分岐分配板５５として用いら
れる接続電極エレメント６０を示す説明図である。この
接続電極エレメント６０は、矩形の板状絶縁性基体の一
面に、いわゆるユニバーサル配列に従い、縦横に並ぶ標
準格子点位置に接続電極ｐが形成されて構成されてい
る。この接続電極エレメント６０は、その一面における
領域が鎖線で示すように２分割されて各々の幅がｄであ
る互いに等しい矩形の２つの機能領域Ａおよび機能領域
Ｂが形成されており、また機能領域Ａおよび機能領域Ｂ
の各々においては、互いに同一のパターンの配置で縦横
に並ぶ接続電極ｐを有する。

【００３６】今、機能領域ＡおよびＢの各々において、
縦ｍ行、横ｎ列で並ぶ接続電極ｐの特定の位置にあるも
のを特定するために、第ｍ行第ｎ列の位置にある接続電
極ｐの番地表示を（ｍ，ｎ）とし、さらに機能領域まで
を特定する場合には、当該番地表示の先頭に機能領域を
示す記号ＡおよびＢを付して表わすこととする。例え
ば、機能領域Ａにおける第１行第１列にある接続電極は
Ａ（１，１）で表わされる。

【００３７】接続電極エレメント６０の機能領域Ａおよ
びＢの各々における対応位置にある接続電極ｐは、接続
部材によって互いに電気的に接続されている。すなわ
ち、同一の番地表示（ｍ，ｎ）を有する接続電極ｐは機
能領域ＡおよびＢの各々に存在するが、これら同一の番
地表示を有する２つの接続電極ｐを互いに電気的に接続
させるのである。この互いに電気的に接続された接続電
極をこの明細書において「共通化電極」といい、Ｐ
（ｍ，ｎ）で表わすこととする。従って、或る共通化電
極Ｐ（ｍ，ｎ）は、電気的に接続されている２つの分岐
された端子としての接続電極Ａ（ｍ，ｎ）およびＢ
（ｍ，ｎ）よりなるものとなる。そして、接続電極エレ
メント６０の接続電極ｐが、この電極分岐分配板５５の
上面接続電極５６を形成する。また、図示の例において
は、電極分岐分配板５５の機能領域Ｂと対応する位置に
下部基板側コネクター３０が配置されている。

【００３８】図８に示すように、検査電極板装置５１の
上面には、電極分岐分配板５５の下面接続電極５７に対
応する格子点位置のすべてに配列された状態で検査電極
５２が形成されており、この検査電極５２は、配線回路
５３により、検査電極板装置５１の一端部に形成された
外部引出し端子部５４に接続され、この外部引出し端子
部５４の各端子は、着脱自在に接続されたコネクター６
５を介してテスターの検査回路（図示省略）に接続され
ている。

【００３９】第３の異方導電性シート６１および第４の
異方導電性シート６２は、いずれもその厚み方向にのみ
導電路を有する形成する導電路形成部が形成されてなる
ものであり、第２の異方導電性シート３６と同様に、導
電路形成部が少なくともその一面において厚み方向に突
起状に形成されていることが好ましい。

【００４０】６４は下部側検査治具２０の検査電極板装
置５１を上方に押圧して上昇させるための押圧板であ
り、図示しない押圧機構に着脱自在に設けられている。
また、この押圧板６４は、その押圧方向における基準レ
ベル、すなわち押圧操作が開始されていない基準のレベ
ルが調整可能に設けられていることが好ましい。

【００４１】検査区域において、搬送通路の上方には上
部側検査治具７０が配置されている。この上部側検査治
具７０は、下部側検査治具２０とほぼ対応する構造を有
し、被検査回路基板１の幅ｄと同等の寸法の幅を有する
上部基板側コネクター７１と、テスターの検査回路に接
続される上部テスター側コネクター７５と、上部基板側
コネクター７１および上部テスター側コネクター７５の
間を仲介して両者の接点を電気的に接続する仲介ピン装
置８０とにより構成されている。

【００４２】上部基板側コネクター７１は、被検査回路
基板１の上面側に配設される弾性を有する第１の異方導
電性シート７２と、ピッチ変換ボード７４と、このピッ
チ変換ボード７４の上面側に配設される第２の異方導電
性シート７３とが下からこの順に積重されて構成されて
いる。これらは、それぞれ下部基板側コネクター３０に
おける第１の異方導電性シート３５、ピッチ変換ボード
３１および第２の異方導電性シート３６に対応するもの
である。

【００４３】仲介ピン装置８０は、上下方向に伸びるよ
う設けられた多数の導電ピン部材８１と、各導電ピン部
材８１の上側の基端部分に設けられた、各導電ピン部材
８１を挿通支持する水平な基端側支持板８２と、各導電
ピン部材８１の中央部分に設けられた、各導電ピン部材
８１を挿通支持する水平な中央支持板８３と、各導電ピ
ン部材８１の下側の先端部分に設けられた、各導電ピン
部材８１を挿通支持する水平な先端側支持板８４とによ
り構成されている。これらは、それぞれ下部側検査治具
２０の仲介ピン装置４０における導電ピン部材４１、基
端側支持板４６、中央支持板４７および先端側支持板４
８に対応するものである。

【００４４】この仲介ピン装置８０の各導電ピン部材８
１には、図９に示すように、中央支持板８３を挿通する
部分の上部に中央支持板８３の貫通孔８５より大きい径
の球状の係止部８６が形成され、これにより、導電ピン
部材８１が下方に脱落しないよう中央支持板８３に保持
されている。また、先端側支持板８４は、すべての導電
ピン部材８１を挿通支持するよう設けられている。

【００４５】上部テスター側コネクター７５は、仲介ピ
ン装置８０における導電ピン部材８１の基端に配設され
る弾性を有する第３の異方導電性シート７６と、この第
３の異方導電性シート７６の上面に配設される電極分岐
分配板７７と、この電極分岐分配板７７の上面に配設さ
れる弾性を有する第４の異方導電性シート７８と、この
第４の異方導電性シート７８の上面に配設される検査電
極板装置７９と、この検査電極板装置７９の一端部に設
けられたコネクター８７とにより構成されている。これ
らは、それぞれ下部テスター側コネクター５０における
第３の異方導電性シート６１、電極分岐分配板５５、第
４の異方導電性シート６２および検査電極板装置５１に
対応するものである。

【００４６】以上の上部側検査治具７０は、固定された
ベースに固定された状態とされていてもよく、下部側検
査治具２０の場合と同様に、上部側検査治具７０の検査
電極板装置７９を下方に押圧して下降させるための押圧
板に設けられることにより、下降可能な状態とされてい
てもよい。

【００４７】以上の回路基板の検査装置においては、検
査すべき被検査回路基板１が搬送機構１０により検査区
域にまで搬送されると、押圧板６４により下部テスター
側コネクター５０の検査電極板装置が上方に押圧されて
下部側検査治具２０が上昇され、これにより、被検査回
路基板１が位置決めピン３７により下部基板側コネクタ
ー３０に対して位置決めされた状態で上方に押し上げら
れ、これに同期して、搬送機構１０における一方の搬送
部材１１および他方の搬送部材１２が両方ともその走行
位置から両側に変位し、一方の搬送部材１１および他方
の搬送部材１２が被検査回路基板１から外方に外れた位
置とされる。これにより、被検査回路基板１は搬送機構
１０から離脱して下部側検査治具２０と上部側検査治具
７０とにより挟圧される得るフリーの状態となる。そし
て、下部側検査治具２０が更に上昇することにより、被
検査回路基板１が下部側検査治具２０と上部側検査治具
７０との間に挟圧される。このとき、搬送機構１０にお
ける一方の搬送部材１１が、上昇する仲介ピン装置４０
における収容用空間Ｓに相対的に収容される。

【００４８】このようにして、被検査回路基板１の下面
および上面の両方の被検査電極の各々が、下部テスター
側コネクター５０における検査電極板装置４１の検査電
極５２および検査電極板装置７８の検査電極と電気的に
接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に
接続された状態が達成され、この状態で所期の検査が行
われる。

【００４９】以上の回路基板の検査装置においては、収
容用空間Ｓは、次のようにして形成される。図１０に示
すように、形成すべき収容用空間の直下領域における導
電ピン部材４１ａ上に、導電ピン部材抑制板６６を、そ
の凹部６６ａの各々に、導電ピン部材４１ａの各々の頭
部４３ａの上端における作用端４２が挿入されるよう配
置し、この導電ピン部材抑制板６６上に、適宜の厚みを
有する介挿板６８を配置する。一方、下部基板側コネク
ター３０上に、被検査回路基板１を配置する。そして、
一方の搬送部材１１を導電ピン部材抑制板６６の直上位
置に変位させた状態で下部側検査治具２０を上昇させ、
上部側検査治具７０および下部側検査治具２０の間に被
検査回路基板１が挟圧された状態とする。このとき、一
方の搬送部材１１および介挿板６８を介して、導電ピン
部材４１ａの作用端４２が導電ピン部材抑制板６６によ
り弾性力に抗して押下されて後退する。そして、この状
態で、連結保持部材６７により、導電ピン部材抑制板６
６を押圧板６４に連結して保持すると共に、介挿板６８
を除却することにより、導電ピン部材抑制板６６の上方
に収容用空間Ｓが形成される。

【００５０】以上における各部の寸法の一例を挙げる
と、導電ピン部材の寸法は、例えばその外径が０．５〜
２．０ｍｍで、その全長が２０〜１００ｍｍであり、後
退されていない状態の導電ピン部材４１ａの上端レベル
から導電ピン部材抑制板６６の上面レベルまでの距離α
は、１０ｍｍ以下であり、介挿板６８の厚みは０．５ｍ
ｍ以上である。

【００５１】このような回路基板の検査装置によれば、
仲介ピン装置４０において、検査対象である被検査回路
基板１の幅寸法によって定められた検査実行領域に隣接
する領域に搬送機構１０の一方の搬送部材１１の収容用
空間Ｓを形成することができ、しかも、一方の搬送部材
１１の可動範囲Ｋの直下領域内においては、収容用空間
Ｓの位置を任意に選定することができる。従って、種々
の大きさの幅寸法を有する被検査回路基板１のいずれに
も常に好適に対応することができると共に、幅寸法の異
なる被検査回路基板１を検査対象とするために一方の搬
送部材１１の走行位置が変更されたときにも、当該一方
の搬送部材１１を被検査回路基板１から離脱させるため
に必要な変位距離を常に十分に小さくすることができ
る。

【００５２】また、下部基板側コネクター３０は、仲介
ピン装置４０と分離可能に設けられているため、下部側
検査治具２０においては、配線パターンの異なる被検査
回路基板を検査する場合には、下部基板側コネクター３
０のみを被検査回路基板の配線パターンに対応するもの
に交換すればよいので、下部側検査治具２０の主要部で
ある仲介ピン装置４０および下部テスター側コネクター
５０を交換する必要がなく共通に使用することができ
る。

【００５３】また、上部側検査治具７０および下部側検
査治具２０により被検査回路基板１が挟圧された状態に
おいて、収容用空間Ｓの上下方向における寸法を、一方
の搬送部材１１の高さＨより０．５ｍｍ以上大きいもの
とすることにより、一方の搬送部材１１が収容用空間Ｓ
に収容される際には、当該一方の搬送部材１１と導電ピ
ン部材抑制固定機構６５の導電ピン部材抑制板６６との
接触を確実に防止することができる。

【００５４】また、上記の実施例の電極分岐分配板５５
においては、その２つの機能領域において同一の配置状
態で上面接続電極５６が形成されていると共に、各機能
領域における対応する位置にある上面接続電極５６が配
線回路５３によって互いに電気的に接続されて共通化電
極とされた状態で下面接続電極５７に接続されているた
め、或る仲介ピン装置４０における導電ピン部材４１と
導通する上面接続電極５６が各機能領域のいずれにも存
在し、従って当該導電ピン部材４１と検査電極板装置５
１の検査電極５２との電気的な接続を大きな自由度で行
うことができる。その結果、被検査回路基板１上の被検
査電極２が特定の個所に非常に高密度化された状態に形
成されたものであっても、当該個所とは離隔した機能領
域の共通化電極を利用して、すなわち、いわば当該共通
化電極によって分散された位置の接続電極を利用するこ
とにより、所要の電気的な接続を容易に達成することが
できると共に、高い信頼性の検査を実行することができ
る。

【００５５】また、図示の例においては、それ自体が剛
性を有するピッチ変換ボード３１，７４および電極分岐
分配装置５５，７７の両面に弾性を有する異方導電性シ
ートを具えているため、これらにより、反り、変形によ
る歪が吸収され、その結果、押圧板６４により下部側検
査治具２０および上部側検査治具７０に作用される押圧
力を緩和することができる。

【００５６】上記の検査装置を使用して回路基板を検査
するにあたっては、仲介ピン装置４０において、収容用
空間Ｓを形成するために必要とされる領域より外側の領
域における導電ピン部材４１ａの作用端４２が後退され
ていない状態とし、この後退されていない状態の導電ピ
ン部材４１ａの先端部上には、挟圧された状態における
下部基板側コネクター３０の厚みおよび上部基板側コネ
クター７１の厚みの和と同等の厚みを有するスペーサー
４９を配置して検査することが好ましい。

【００５７】このような構成によれば、当該回路基板の
検査装置の使用に際して、仲介ピン装置４０における収
容用空間Ｓ以外の領域におけるすべての導電ピン部材４
１ａが均等に対接することとなるため、下部側検査治具
２０と上部側検査治具７０とにより被検査回路基板１に
作用される挟圧力を、導電ピン部材４１が存在する領域
において全体に平均化された圧力分布のものとすること
ができるので、被検査回路基板１は、その全体に平均化
された圧力分布で挟圧されることとなり、その結果、当
該被検査回路基板１について高い信頼性で検査を行うこ
とができる。

【００５８】以上の実施例おいては、搬送機構１０の他
方の搬送部材１２の走行位置を基準位置とし、一方の搬
送部材１１がその可動範囲Ｋにおいて移動可能とされ、
下部側検査治具２０および上部側検査治具７０の各々の
一方の外側縁が前記基準位置に従って配置されている
が、本発明においては、図１１に示すように、例えば搬
送通路の幅方向の中央位置すなわち搬送機構１０におけ
る一方の搬送部材１１と他方の搬送部材１２との間の中
央位置を基準位置とし、一方の搬送部材１１および他方
の搬送部材１２の両方がそれぞれ可動範囲Ｋ１，Ｋ２に
おいて基準位置と離接する方向に移動可能とされ、下部
側検査治具２０および上部側検査治具７０の各々の中央
が基準位置に従って配置されていてもよい。

【００５９】このような場合には、下部側検査治具２０
の仲介ピン装置４０における収容用空間については、一
方の搬送部材１１の収容用空間Ｓ１に加えて、他方の搬
送部材１２を収容する収容用空間Ｓ２を形成することに
より、下部側検査治具２０が上昇されたときに一方の搬
送部材１１および他方の搬送部材１２がそれぞれ収容さ
れ、従って、一方の搬送部材１１および他方の搬送部材
１２のそれぞれの変位距離を短いものとすることができ
る。

【００６０】また、収容用空間Ｓ１および収容用空間Ｓ
２のそれぞれの外側に、作用端４２が後退されていない
導電ピン部材４１ａの群を形成することにより、下部側
検査治具２０と上部側検査治具７０とにより被検査回路
基板１に作用される挟圧力を導電ピン部材４１が存在す
る領域において全体に平均化された圧力分布のものとす
ることができ、その結果、回路基板の検査において高い
信頼性を得ることができる。

【００６１】また、以上の実施例においては、下部側検
査治具２０の仲介ピン装置４０において収容用空間Ｓが
形成されるが、上部側検査治具と下部側検査治具とが互
いに逆の構成、すなわち少なくとも上部側検査治具の仲
介ピン装置の搬送機構可動範囲の直上領域におけるすべ
ての導電ピン部材を、作用端が弾性的に後退自在に設け
る構成とすることにより、上部側検査治具の仲介ピン装
置において収容用空間を形成してもよく、更に、上部側
検査治具および下部側検査治具の仲介ピン装置の搬送機
構可動範囲に対応するすべての導電ピン部材を、作用端
が弾性的に後退自在に設ける構成とすることにより、上
部側検査治具および下部側検査治具の仲介ピン装置にお
いて収容用空間を形成してもよい。

【００６２】本発明の回路基板の検査装置においては、
搬送機構として、上記の実施例に示した搬送機構に限ら
れず、種々のものを利用することができる。例えば、被
検査回路基板１をその両側縁において保持した状態で一
方のガイドレール上および他方のガイドレール上を移動
するキャリアによる搬送機構であってもよく、また、そ
の他の構成であってもよい。また、作用端が後退自在で
ある導電ピン部材としては、他の構成のものを用いるこ
とができる。例えば、途中に弾性可変形部を有するピン
部材を設ける構成、それ自体は伸縮しないピン体を弾性
的に伸縮する支持機構によって設ける構成とすることも
できる。また、導電ピン部材抑制固定機構も、所要の領
域における導電ピン部材４１ａの作用端４２を押下し、
その状態で固定することができるものであれば、特にそ
の構成が限定されるものではない。

【００６３】

【発明の効果】本発明の回路基板の検査装置によれば、
仲介ピン装置において、導電ピン部材抑制固定機構によ
り、作用端が後退自在に設けられた導電ピン部材の当該
作用端を後退させてその状態で固定することにより、搬
送機構の収容用空間を形成することができる。しかも、
搬送機構の搬送機構可動範囲に対応する領域におけるす
べての導電ピン部材は、その作用端が後退自在に設けら
れているので、当該搬送機構可動範囲に対応する領域内
においては、収容用空間を形成する位置を任意に選定す
ることができる。従って、この検査装置は、種々の大き
さの幅寸法を有する回路基板に好適に対応することがで
きると共に、幅寸法の異なる回路基板を検査対象とする
ために当該幅寸法の大きさに応じて搬送機構の幅方向位
置が変更されたときにも、収容用空間を形成する位置を
実行領域に隣接する位置に選定することにより、当該搬
送機構を回路基板から離脱させるために必要な変位距離
を常に小さくすることができる。そして、その結果、回
路基板が検査区域に到着した後のきわめて短時間のうち
に、回路基板が上部側検査治具および下部側検査治具に
挟圧された検査準備完了状態を達成することができるの
で、回路基板の検査において高い時間的効率が得られ
る。

【００６４】また、下部基板側コネクターは、仲介ピン
装置と分離可能に設けられているため、下部側検査治具
においては、配線パターンの異なる回路基板を検査する
場合には、下部基板側コネクターのみを回路基板の配線
パターンに対応するものに交換すればよいので、下部側
検査治具の主要部である仲介ピン装置および下部テスタ
ー側コネクターを交換する必要がなく共通に使用するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の回路基板の検査装置の一例における要
部の構成を示す説明用断面図である。

【図２】下部基板側コネクターの一例の構成を示す説明
用断面図である。

【図３】被検査回路基板、下部基板側コネクターおよび
仲介ピン装置の各々の位置関係を示す説明図である。

【図４】作用端が後退自在の導電ピン部材の一例の構成
を示す説明用断面図である。

【図５】導電ピン部材抑制固定機構の一例の構成を示す
説明用断面図である。

【図６】電極分岐分配板の一例の構成を示す説明用断面
図である。

【図７】電極分岐分配板として用いられる検査電極エレ
メントの説明図である。

【図８】検査電極板装置の一例の構成を示す説明用断面
図である。

【図９】上部側検査治具における仲介ピン装置の導電ピ
ン部材の一例を示す説明用断面図である。

【図１０】下部側検査治具の仲介ピン装置において収容
用空間を形成する方法を示す説明図である。

【図１１】本発明の回路基板の検査装置の他の例におけ
る要部の構成を示す説明用断面図である。

【図１２】従来の回路基板の検査装置の一例の基本的な
構成を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 被検査回路基板 ２ 被検査電極 １０ 搬送機構 １１ 一方の搬
送部材 １２ 他方の搬送部材 １３ 一方のガ
イドレール １４ 一方の搬送ベルト １５ 他方のガ
イドレール １６ 他方の搬送ベルト ２０ 下部側検
査治具 ３０ 下部基板側コネクター ３１ ピッチ変
換ボード ３２ 上面電極 ３３ 下面電極 ３５ 第１の異方導電性シート ３６ 第２の異
方導電性シート ３７ 位置決めピン ４０ 仲介ピン
装置 ４１ 導電ピン部材 ４２ 作用端 ４３ ピン ４４ 筒体 ４５ 弾性体 ４６ 基端側支
持板 ４７ 中央支持板 ４８ 先端側支
持板 ４９ スペーサー ５０ 下部テス
ター側コネクター ５１ 検査電極板装置 ５２ 検査電極 ５３ 配線回路 ５４ 外部引出
し端部 ５５ 電極分岐分配板 ５６ 上面接続
電極 ５７ 下面接続電極 ５８ 配線回路 ６０ 接続電極エレメント ６１ 第３の異
方導電性シート ６２ 第４の異方導電性シート ６３ コネクタ
ー ６４ 押圧板 ６５ 導電ピン
部材抑制機構 ６６ 導電ピン部材抑制板 ６７ 連結保持
部材 ７０ 上部側検査治具 ７１ 上部基板
側コネクター ７２ 第１の異方導電性シート ７３ 第２の異
方導電性シート ７４ ピッチ変換ボード ７５ 上部テス
ター側コネクター ７６ 第３の異方導電性シート ７７ 電極分岐
分配板 ７８ 第４の異方導電性シート ７９ 検査電極
板装置 ８０ 仲介ピン装置 ８１ 導電ピン
部材 ８２ 基端側支持板 ８３ 中央支持
板 ８４ 先端側支持板 ８５ 貫通孔 ８６ 係止部 ８７ コネクタ
ー Ｋ，Ｋ１，Ｋ２ 可動範囲 Ｓ，Ｓ１，Ｓ２
収容用空間 ｐ 接続電極

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査すべき回路基板を検査区域に搬送す
   る搬送機構を有し、当該検査区域において上部側検査治
   具と下部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧して
   検査する回路基板の検査装置であって、 前記搬送機構は、搬送機構可動範囲において回路基板の
   搬送方向とは直角な水平方向に移動可能に設けられてお
   り、 上部側検査治具および下部側検査治具の少なくとも一方
   は、回路基板に対接される基板側コネクターと、仲介ピ
   ン装置を介してこの基板側コネクターをテスターに電気
   的に接続するためのテスター側コネクターとを有してな
   り、 前記基板側コネクターは、前記仲介ピン装置と分離可能
   に設けられており、 前記仲介ピン装置は、上下方向に伸びるよう支持された
   多数の導電ピン部材を有してなり、 前記多数の導電ピン部材のうち、少なくとも前記搬送機
   構可動範囲に対応する領域におけるすべての導電ピン部
   材の各々は、回路基板側の作用端が弾性的に後退自在に
   設けられ、 前記後退自在の導電ピン部材のうち、選択された領域に
   おける導電ピン部材の各々の作用端を弾性力に抗して後
   退させることにより、前記仲介ピン装置において搬送機
   構の収容用空間を形成する、導電ピン部材抑制固定機構
   を備えることを特徴とする回路基板の検査装置。