JP3307166B2 - 回路基板の検査装置 - Google Patents
回路基板の検査装置Info
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Description
搬送機構によって検査区域に搬送し、上部側検査治具と
下部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧すること
により、回路基板の両面の導電接点部がテスターに電気
的に接続された状態を達成し、これにより当該回路基板
の電気的接続状態を検査する回路基板の検査装置に関す
るものである。
リント回路基板については、集積回路などを実装する以
前に、当該回路基板の配線パターンが所期の性能を有す
ることを確認することが必要であり、そのためにその電
気的特性を検査することが行われている。かかる回路基
板の検査のための検査装置としては、検査すべき被検査
回路基板を検査区域に搬送する搬送機構を具えてなるも
のが知られている。
例の基本的な構成を示す説明図である。この回路基板の
検査装置においては、検査すべき被検査回路基板1を、
この図において紙面に垂直な水平方向に伸びる搬送通路
に沿って検査区域に搬送する搬送機構90が設けられて
いる。この例の搬送機構90は、搬送通路の一側に設け
られた一方の搬送部材91と、搬送通路の他側に設けら
れた他方の搬送部材92とよりなり、一方の搬送部材9
1は、被検査回路基板1の一側縁を案内する断面L字形
の一方のガイドレール93と、被検査回路基板1の一側
縁を載せて走行する一方の搬送ベルト94とにより構成
され、他方の搬送部材92は、被検査回路基板1の他側
縁を案内する断面L字形の他方のガイドレール95と、
被検査回路基板1の他側縁を載せて、前記一方の搬送ベ
ルト94と一体的に走行する他方の搬送ベルト96とに
構成されている。
部材92とは、被検査回路基板1の搬送方向とは直角な
水平方向であって互いに離接する方向に移動可能に設け
られており、これにより、各搬送部材91,92は、被
検査回路基板1を検査のためにフリーな状態とするため
に、被検査回路基板1より外側方に外れる位置にまで変
位することが可能とされると共に、幅寸法の異なる被検
査回路基板に対応した走行位置に移動することが可能な
状態とされている。
検査回路基板1を搬送機構90から離脱させてフリーの
状態とすると共に、更に被検査回路基板1を上下方向か
ら挟圧する下部側検査治具97および上部側検査治具9
8が配置されており、これらはテスターの検査回路(図
示省略)に接続される。
いては、検査すべき被検査回路基板1が搬送機構90の
一方の搬送部材91および他方の搬送部材92により検
査区域にまで搬送されて停止され、その後、例えば下部
側検査治具97が上昇することにより、被検査回路基板
1が上方に押し上げられて搬送機構90から離脱される
一方、搬送機構90における一方の搬送部材91および
他方の搬送部材92が被検査回路基板1の幅方向外方に
下部側検査治具97の外側位置にまで変位されることに
より、被検査回路基板1がフリーの状態となり、下部側
検査治具97が更に上昇することにより、被検査回路基
板1が下部側検査治具97と上部側検査治具98との間
に挟圧されて被検査回路基板1の両面の導電接点部がテ
スターの検査回路に電気的に接続された状態が達成さ
れ、この状態でテスターにより、当該被検査回路基板1
の検査が実行される。
他方の搬送部材92の外方への変位がなされなければ、
それらが障害となって、下部側検査治具97および上部
側検査治具98により、被検査回路基板1を挟圧するこ
とができない。
搬送機構90により被検査回路基板1を迅速に検査区域
に配置することができるので、被検査回路基板1を検査
のためにセットするための所要時間が短時間となり、多
数の被検査回路基板についての検査を高い時間的効率で
実行することができる。
板は、幅寸法が一定の一種類のみではない。このため、
下部側検査治具97および上部側検査治具98は、最大
の幅寸法を有する被検査回路基板に対応する幅の検査領
域をカバーするものであることが必要である。
具97および上部側検査治具98の検査領域の幅よりも
小さい幅寸法を有する被検査回路基板について検査を行
う場合には、一方の搬送部材91および他方の搬送部材
92をそれぞれ下部側検査治具97および上部側検査治
具98の両外側にまで変位させる必要があるためにそれ
らの変位距離が大きいものとなり、その結果、一方の搬
送部材91および他方の搬送部材92の変位が完了する
までに長い時間を要することとなって、時間的効率が低
いものとなる、という問題がある。
検査治具97および上部側検査治具98は、各々特定の
被検査回路基板1に専用のものとして構成されているた
め、配線パターンの異なる被検査回路基板を検査するた
めには、当該被検査回路基板に対応して全体の検査治具
を変更する必要がある、という問題がある。
されたものであり、その第1の目的は、幅寸法の異なる
回路基板であっても、当該回路基板の各々についての検
査を高い時間的効率で達成することができる回路基板の
検査装置を提供することにある。本発明の第2の目的
は、異なる種類の回路基板に対しても、検査治具の主要
部を共通に使用することができる回路基板の検査装置を
提供することにある。本発明の第3の目的は、幅寸法の
異なる回路基板を検査する場合であっても、当該回路基
板の検査のために必要な準備作業を短時間で行うことが
できる回路基板の検査装置を提供することにある。
装置は、検査すべき回路基板を検査区域に搬送する搬送
機構を有し、当該検査区域において上部側検査治具と下
部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧して検査す
る回路基板の検査装置であって、前記搬送機構は、搬送
機構可動範囲において回路基板の搬送方向とは垂直な水
平方向に移動可能に設けられており、前記下部側検査治
具は、回路基板の下面に対接される下部基板側コネクタ
ーと、この下部基板側コネクターの下方に設けられた、
テスターに電気的に接続されるテスター側コネクター
と、前記下部基板側コネクターおよび前記テスター側コ
ネクターの間を仲介してそれぞれを電気的に接続するた
めの仲介ピン装置とを有してなり、前記下部基板側コネ
クターは、仲介ピン装置と分離可能に設けられており、
仲介ピン装置は、多数の導電ピンと、これらの導電ピン
を上下方向に伸びるよう支持する導電ピン支持機構とを
有してなり、前記多数の導電ピンのうち、少なくとも前
記搬送機構可動範囲の直下領域におけるすべての導電ピ
ンの各々は、前記導電ピン支持機構に着脱自在に支持さ
れており、仲介ピン装置は、前記テスター側コネクター
に対して分離させて交換可能に設けられており、かつ、
当該仲介ピン装置と同様の構成を有する他の仲介ピン装
置が用意されており、予め着脱自在の導電ピンのうち選
択された領域における導電ピンが取り外された仲介ピン
装置または他の仲介ピン装置がテスター側コネクターに
装着されることにより、搬送機構の収容用空間が形成さ
れた状態とされることを特徴とする。
脱自在の導電ピンを取り外すことにより、仲介ピン装置
において搬送機構の収容用空間を形成することができ、
しかも、搬送機構の搬送機構可動範囲の直下領域におけ
るすべての導電ピンが着脱自在に設けられているので、
当該搬送機構可動範囲の直下領域内においては、収容用
空間の位置を任意に選定することができる。従って、種
々の大きさの幅寸法を有する回路基板に好適に対応する
ことができると共に、幅寸法の異なる回路基板を検査対
象とするために当該幅寸法の大きさに応じて搬送機構の
幅方向位置が変更されたときにも、収容用空間を形成す
る位置を検査が実行される領域に隣接する位置に選定す
ることにより、当該搬送機構を回路基板から離脱させる
ために必要な変位距離を常に小さくすることができる。
そして、その結果、回路基板が検査区域に到着した後の
きわめて短時間のうちに、回路基板が上部側検査治具お
よび下部側検査治具に挟圧された検査準備完了状態を達
成することができるので、回路基板の検査において高い
時間的効率が得られる。
装置と分離可能に設けられているため、下部側検査治具
においては、配線パターンの異なる回路基板を検査する
場合には、下部基板側コネクターのみを回路基板の配線
パターンに対応するものに交換すればよいので、下部側
検査治具の主要部である仲介ピン装置および下部テスタ
ー側コネクターを共通に使用することができる。
ターに対して交換可能に設けられているため、当該仲介
ピン装置のみを、別途用意された、同様の基本的構成を
有する他の仲介ピン装置に容易に交換することができ
る。従って、次に検査すべき回路基板が幅寸法の異なる
ものである場合であっても、予め、当該次の回路基板の
幅寸法に応じて着脱自在の導電ピンを取り外して搬送機
構の収容用空間が形成された交換用の仲介ピン装置を用
意しておくことにより、当該次の回路基板の検査のため
に必要な準備作業を短時間で行うことができる。
について説明する。図1は、本発明に係る回路基板の検
査装置の一例における要部の構成を示す説明用断面図で
ある。この回路基板の検査装置においては、検査すべき
被検査回路基板1を、図1において紙面に垂直な水平方
向に伸びる搬送通路に沿って検査区域に搬送する搬送機
構10が設けられており、検査区域には、搬送された被
検査回路基板1の両面を上下方向から挟圧する下部側検
査治具20および上部側検査治具70が配置されてい
る。
路の一側に設けられた一方の搬送部材11と、搬送通路
の他側に設けられた他方の搬送部材12とよりなり、一
方の搬送部材11は、被検査回路基板1の一側縁を案内
する断面L字形の一方のガイドレール13と、被検査回
路基板1の一側縁を載せて走行する一方の搬送ベルト1
4とにより構成され、他方の搬送部材12は、被検査回
路基板1の他側縁を案内する断面L字形の他方のガイド
レール15と、被検査回路基板1の他側縁を載せて、前
記一方の搬送ベルト14と一体的に走行する他方の搬送
ベルト16とにより構成されている。
搬送部材11の搬送のために走行するときの位置(以
下、「走行位置」という。)は、適宜の移動機構によ
り、他方の搬送部材12の走行位置を基準として、当該
他方の搬送部材12に離接する方向に移動可能とされて
いる。そして、一方の搬送部材11の走行位置の可動範
囲Kは、他方の搬送部材12との離間間隔が、検査対象
とされる被検査回路基板のうち最も小さい幅寸法を有す
る被検査回路基板の当該幅寸法に対応する大きさとなる
最接近位置から、他方の搬送部材12との離間間隔が検
査対象とされる被検査回路基板のうち最も大きい幅寸法
を有する被検査回路基板の当該幅寸法に対応する大きさ
となる最離間位置(破線で示す)までの範囲とされ、こ
れにより、幅寸法の異なる被検査回路基板1に対応する
ことが可能な状態とされている。
送部材12の各々は、例えば前述の一方の搬送部材11
の走行位置を移動させるための移動機構により、走行位
置を基準として、これより被検査回路基板1の搬送方向
と直角な水平方向に被検査回路基板1の両側縁からそれ
ぞれ外方に外れる位置にまで変位することが可能とされ
ている。
部側検査治具20が配置されている。図示の例における
下部側検査治具20は、その一方の外側縁が、搬送機構
10において走行位置が移動されない他方の搬送部材1
2に沿うよう設けられている。この下部側検査治具20
は、被検査回路基板1の幅dと同等の寸法の幅を有する
下部基板側コネクター30と、テスターの検査回路(図
示省略)に接続される下部テスター側コネクター50
と、下部基板側コネクター30および下部テスター側コ
ネクター50の間を仲介して両者の接点を電気的に接続
する仲介ピン装置40とにより構成されており、下部基
板側コネクター30と仲介ピン装置40とは分離可能と
されている。
すように、被検査回路基板1の下面側に配設される弾性
を有する第1の異方導電性シート35と、ピッチ変換ボ
ード31と、このピッチ変換ボード31の下面側に配設
される弾性を有する第2の異方導電性シート36とがこ
の順に積重されて構成されている。
ード31の上面には、被検査回路基板1の下面における
被検査電極2の配列に対応するパターンに従って上面電
極32が形成されており、ピッチ変換ボード31の反対
の下面には、当該上面電極32とそれぞれ対応関係で電
気的に接続された下面電極33が、規格化された格子点
位置に配列された状態、すなわちいわゆるユニバーサル
配列の状態で形成されている。
異方導電性シート36は、いずれもその厚み方向にのみ
導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるもので
ある。ここに、第1の異方導電性シート35または第2
の異方導電性シート36としては、各導電路形成部が少
なくともその一面において厚み方向に突起状に形成され
ているものが、高い電気的な接触安定性を発揮する点で
好ましい。
1の異方導電性シート35、ピッチ変換ボード31およ
び第2の異方導電性シート36のそれぞれを貫通するよ
う、複数の位置決めピン37が摺動可能に設けられてい
る。
有する第3の異方導電性シート61と、この第3の異方
導電性シート61の下面側に配設される電極分岐分配板
55と、この電極分岐分配板55の下面側に配設される
弾性を有する第4の異方導電性シート62と、この第4
の異方導電性シート62の下面側に配設される検査電極
板装置51とにより構成されている。この例において
は、下部テスター側コネクター50は、図3にも示すよ
うに、走行位置が移動される一方の搬送部材11の可動
範囲Kが拡がる一側方(図1および図3で左方)に被検
査回路基板1の幅dと同等の幅だけ広がった、その全幅
Dが2dの領域をカバーする状態に配置されている。
上面には、それぞれピッチ変換ボード31の下面電極3
3に対応する格子状配列、すなわち格子点位置のすべて
に配列された状態で上面接続電極56が形成されてお
り、電極分岐分配板55の下面には、上面接続電極56
と同様の状態で下面接続電極57が形成されている。こ
の電極分岐分配板55においては、後述するように、2
つの機能領域における対応する対の各上面接続電極56
を共通化電極とするための配線回路58が多層構成で形
成されており、この配線回路58により、上面接続電極
56と下面接続電極57とが特定の関係で電気的に接続
されている。
れる接続電極エレメント60を示す説明図である。この
接続電極エレメント60は、矩形の板状絶縁性基体の一
面に、いわゆるユニバーサル配列に従い、縦横に並ぶ標
準格子点位置に接続電極pが形成されて構成されてい
る。この接続電極エレメント60は、その一面における
領域が鎖線で示すように2分割されて各々の幅がdであ
る互いに等しい矩形の2つの機能領域Aおよび機能領域
Bが形成されており、また機能領域Aおよび機能領域B
の各々においては、互いに同一のパターンの配置で縦横
に並ぶ接続電極pを有する。
縦m行、横n列で並ぶ接続電極pの特定の位置にあるも
のを特定するために、第m行第n列の位置にある接続電
極pの番地表示を(m,n)とし、さらに機能領域まで
を特定する場合には、当該番地表示の先頭に機能領域を
示す記号AおよびBを付して表わすこととする。例え
ば、機能領域Aにおける第1行第1列にある接続電極は
A(1,1)で表わされる。
びBの各々における対応位置にある接続電極pは、接続
部材によって互いに電気的に接続されている。すなわ
ち、同一の番地表示(m,n)を有する接続電極pは機
能領域AおよびBの各々に存在するが、これら同一の番
地表示を有する2つの接続電極pを互いに電気的に接続
させるのである。この互いに電気的に接続された接続電
極をこの明細書において「共通化電極」といい、P
(m,n)で表わすこととする。従って、或る共通化電
極P(m,n)は、電気的に接続されている2つの分岐
された端子としての接続電極A(m,n)およびB
(m,n)よりなるものとなる。そして、接続電極エレ
メント60の接続電極pが、この電極分岐分配板55の
上面接続電極56を形成する。また、図示の例において
は、電極分岐分配板55の機能領域Bと対応する位置に
下部基板側コネクター30が配置されている。
上面には、電極分岐分配板55の下面接続電極57に対
応する格子点位置のすべてに配列された状態で検査電極
52が形成されており、この検査電極52は、配線回路
53により、検査電極板装置51の一端部に形成された
外部引出し端子部54に接続され、この外部引出し端子
部54の各端子は、着脱自在に接続されたコネクター6
5を介してテスターの検査回路(図示省略)に接続され
ている。
異方導電性シート62は、いずれもその厚み方向にのみ
導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるもので
あり、第2の異方導電性シート36と同様に、導電路形
成部が少なくともその一面において厚み方向に突起状に
形成されていることが好ましい。
置51を上方に押圧して上昇させるための押圧板であ
り、図示しない押圧機構に着脱自在に設けられている。
また、この押圧板65は、その押圧方向における基準レ
ベル、すなわち押圧操作が開始されていない基準のレベ
ルが調整可能に設けられていることが好ましい。
に、多数の導電ピン41と、これら多数の導電ピン41
の各々を、ピッチ変換ボード31の下面電極33に対応
する格子点位置に配列された状態で上下方向に伸びるよ
う支持するための導電ピン支持機構43とにより構成さ
れている。この例における仲介ピン装置40は、被検査
回路基板1の幅dの2倍の2dの領域をカバーする状態
に配置されている。
ピン41をその下側の基端部分において挿通支持する水
平な基端側支持板44が設けられ、この基端側支持板4
4の上方には、各導電ピン41をその中央部分において
挿通支持する水平な中央支持板45が設けられている。
くとも一方の搬送部材11の可動範囲Kの直下領域にお
ける導電ピン41は、基端側支持板44および中央支持
板45の貫通孔に上方から挿入することにより装着さ
れ、貫通孔から上方に抜き出すことにより取り外すこと
ができるよう着脱自在に設けられている。その他の導電
ピン41は導電ピン支持機構43に固定されていてもよ
く、また着脱自在とされていてもよい。
るばね機構46により基端側支持板44に連結されてお
り、例えば導電ピン41の中央付近に位置される上昇位
置から基端側支持板44に接近した下降位置に、ばね力
に抗して押下できるよう設けられている。
クター50に対して分離させて交換可能に設けられてい
る。具体的には、導電ピン支持機構43の基端側支持板
44の下面に、下方に突出する円柱上の複数の位置決め
用突起47が形成され、一方、下部テスター側コネクタ
ー50には、基端側支持板44の位置決め用突起47に
適合する複数の位置決め用孔64が各位置決め用突起4
7に対応して形成されている。そして、仲介ピン装置4
0は、基端側支持板44の各位置決め用突起47が下部
テスター側コネクター50における対応する位置決め用
孔64に嵌合された状態で、下部テスター側コネクター
50上に配置されることにより、下部テスター側コネク
ター50に対して所定の位置関係、具体的には、仲介ピ
ン装置40における導電ピン41の各々の下側の基端
が、下部テスター側コネクター50における電極分岐分
配板55の上面接続電極56の各々の上方に位置される
関係で装着されている。
々には、中央支持板45を挿通する部分の上部に中央支
持板45の貫通孔より大きい径の球状の係止部42が形
成されており、導電ピン支持機構43を持ち上げて下部
テスター側コネクター50から取り外したときに、導電
ピン41が下方に脱落しないよう中央支持板45に保持
されている。
ン41の各々は、その下側の基端が下部テスター側コネ
クター50における第3の異方導電シート61の上面に
当接され、これら多数の導電ピン41のうち、下部基板
側コネクター30に対向する領域(以下、「検査実行領
域」という。)における各導電ピン41については、そ
の上側の先端が下部基板側コネクター30における異方
導電性シート36の下面に当接される。
における導電ピン41の上側の先端より僅かに下方のレ
ベルに、被検査回路基板1の幅dと同等の寸法の幅を有
する水平な先端側支持板48が当該導電ピン41を挿通
支持するよう設けられており、この先端側支持板48
は、仲介ピン装置40における他の部材から分離可能に
設けられると共に、例えば位置決めピン37により、下
部基板側コネクター30と結合されている。
部側検査治具70が配置されている。この上部側検査治
具70は、下部側検査治具20とほぼ対応する構造を有
し、被検査回路基板1の幅dと同等の寸法の幅を有する
上部基板側コネクター71と、テスターの検査回路に接
続される上部テスター側コネクター75と、上部基板側
コネクター71および上部テスター側コネクター75を
仲介して両者の接点を電気的に接続する仲介ピン装置8
0とにより構成されている。
基板1の上面側に配設される弾性を有する第1の異方導
電性シート72と、ピッチ変換ボード74と、このピッ
チ変換ボード74の上面側に配設される第2の異方導電
性シート73とが下からこの順に積重されて構成されて
いる。これらは、それぞれ下部基板側コネクター30に
おける第1の異方導電性シート35、ピッチ変換ボード
31および第2の異方導電性シート36に対応するもの
である。
と、これら多数の導電ピン81を上下方向に伸びるよう
支持する導電ピン支持機構82と、各導電ピン81の下
側の先端部分に設けられた、各導電ピン81を挿通支持
する水平な先端側支持板84とにより構成され、導電ピ
ン支持機構82は、各導電ピン81をその上側の基端部
分において挿通支持する水平な基端側支持板82と、各
導電ピン81をその中央部分において挿通支持する水平
な中央支持板83とにより構成されている。これらは、
それぞれ下部側検査治具20の仲介ピン装置40におけ
る導電ピン41、導電ピン支持機構43および先端側支
持板48に対応するものである。
は、図8に示すように、中央支持板84を挿通する部分
の上部に中央支持板84の貫通孔86より大きい径の球
状の係止部87が形成され、これにより、導電ピン81
が下方に脱落しないよう中央支持板84に保持されてい
る。また、先端側支持板85は、すべての導電ピン81
を挿通支持するよう設けられている。
ン装置80における導電ピン81の基端に配設される弾
性を有する第3の異方導電性シート76と、この第3の
異方導電性シート76の上面に配設される電極分岐分配
板77と、この電極分岐分配板77の上面に配設される
弾性を有する第4の異方導電性シート78と、この第4
の異方導電性シート78の上面に配設される検査電極板
装置79と、この検査電極板装置79の一端部に設けら
れたコネクター88とにより構成されている。これら
は、それぞれ下部テスター側コネクター50における第
3の異方導電性シート、電極分岐分配板55、第4の異
方導電性シート62および検査電極板装置51に対応す
るものである。
ベースに固定された状態とされていてもよく、下部側検
査治具20の場合と同様に、上部側検査治具70の検査
電極板装置79を下方に押圧して下降させるための押圧
板に設けられることにより、下降可能な状態とされてい
てもよい。
おいては、予め、下部側検査治具20における仲介ピン
装置40の多数の導電ピン41のうち、検査実行領域に
隣接する一部の領域であって一方の搬送部材11の幅よ
り大きい領域における導電ピン41が取り外されること
により、一方の搬送機構11を収容するための収容用空
間Sが形成される。この作業は、仲介ピン装置40を下
部テスター側コネクター50から取り外して適宜の場所
で行うことができるので、容易である。そして、収容用
空間Sが形成された仲介ピン装置40は下部テスター側
コネクター50に装着され、これによって検査を行うた
めの準備作業が完了し、次のようにして、被検査回路基
板1の検査が行われる。
0により検査区域にまで搬送されると、仲介ピン装置4
0における中央支持板45が下降位置にある状態で、押
圧板65により下部テスター側コネクター50の検査電
極板装置が上方に押圧されて下部側検査治具20が上昇
され、これにより、被検査回路基板1が位置決めピン3
7により下部基板側コネクター30に対して位置決めさ
れた状態で上方に押し上げられ、これに同期して、搬送
機構10における一方の搬送部材11および他方の搬送
部材12が両方ともその走行位置から両側に変位し、一
方の搬送部材11および他方の搬送部材12が被検査回
路基板1から外方に外れた位置とされる。これにより、
被検査回路基板1は搬送機構10から離脱して下部側検
査治具20と上部側検査治具70とにより挟圧される得
るフリーの状態となる。そして、下部側検査治具20が
更に上昇することにより、被検査回路基板1が下部側検
査治具20と上部側検査治具70との間に挟圧される。
このとき、搬送機構10における一方の搬送部材11
が、上昇する仲介ピン装置40における収容用空間Sに
相対的に収容される。
および上面の両方の被検査電極の各々が、下部テスター
側コネクター50における検査電極板装置51の検査電
極52および検査電極板装置78の検査電極と電気的に
接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に
接続された状態が達成され、この状態で所期の検査が行
われる。
ば、下部側検査治具20の仲介ピン装置40において、
検査対象である被検査回路基板1の幅寸法によって定め
られた検査実行領域に隣接する領域に搬送機構10の一
方の搬送部材11の収容用空間Sを形成することがで
き、しかも、一方の搬送部材11の可動範囲Kの直下領
域内においては、収容用空間Sの位置を任意に選定する
ことができる。従って、種々の大きさの幅寸法を有する
被検査回路基板1のいずれにも常に好適に対応すること
ができると共に、幅寸法の異なる被検査回路基板1を検
査対象とするために一方の搬送部材11の走行位置が変
更されたときにも、当該一方の搬送部材11を被検査回
路基板1から離脱させるために必要な変位距離を常に十
分に小さくすることができる。
ピン装置40と分離可能に設けられているため、下部側
検査治具20においては、配線パターンの異なる被検査
回路基板を検査する場合には、下部基板側コネクター3
0のみを被検査回路基板の配線パターンに対応するもの
に交換すればよいので、下部側検査治具20の主要部で
ある仲介ピン装置40および下部テスター側コネクター
50を共通に使用することができる。
側コネクター50に対して交換可能に設けられているた
め、これと同様の基本的構成を有する他の仲介ピン装置
を用意することにより、仲介ピン装置40のみを他の仲
介ピン装置に容易に交換することができる。従って、次
に検査すべき被検査回路基板が幅寸法の異なるものであ
る場合には、予め、別途用意された他の仲介ピン装置に
おいて、次の被検査回路基板の幅寸法に応じて着脱自在
の導電ピンを取り外して一方の搬送部材11の収容用空
間を形成しておけば、次の被検査回路基板の検査のため
に必要な準備作業を短時間で行うことができる。
においては、その2つの機能領域において同一の配置状
態で上面接続電極56が形成されていると共に、各機能
領域における対応する位置にある上面接続電極56が配
線回路53によって互いに電気的に接続されて共通化電
極とされた状態で下面接続電極57に接続されているた
め、或る仲介ピン装置40における導電ピン41と導通
する上面接続電極56が各機能領域のいずれにも存在
し、従って当該導電ピン41と検査電極板装置51の検
査電極52との電気的な接続を大きな自由度で行うこと
ができる。その結果、被検査回路基板1上の被検査電極
2が特定の個所に非常に高密度化された状態に形成され
たものであっても、当該個所とは離隔した機能領域の共
通化電極を利用して、すなわち、いわば当該共通化電極
によって分散された位置の接続電極を利用することによ
り、所要の電気的な接続を容易に達成することができる
と共に、高い信頼性の検査を実行することができる。
性を有するピッチ変換ボード31,74および電極分岐
分配装置55,77の両面に弾性を有する異方導電性シ
ートを具えているため、これらにより、反り、変形によ
る歪が吸収され、その結果、押圧板66により下部側検
査治具20および上部側検査治具70に作用される押圧
力を緩和することができる。
するにあたっては、仲介ピン装置40において、例えば
搬送機構10における一方の搬送部材11それ自体の幅
寸法に対応する大きさの領域の導電ピン41を取り外し
て収容用空間Sを形成するが、この領域の外側の領域に
おける導電ピン41は残留されたままの状態とし、この
残留されたままの導電ピン41の先端部上には、挟圧さ
れた状態における下部基板側コネクター30の厚みおよ
び上部基板側コネクター71の厚みの和と同等の厚みを
有するスペーサー38を配置して検査することが好まし
い。
検査装置の使用に際して、仲介ピン装置40における収
容用空間S以外の領域におけるすべての導電ピン41が
均等に対接することとなるため、下部側検査治具20と
上部側検査治具70とにより被検査回路基板1に作用さ
れる挟圧力を、導電ピン41が存在する領域において全
体に平均化された圧力分布のものとすることができるの
で、被検査回路基板1は、その全体に平均化された圧力
分布で挟圧されることとなり、その結果、当該被検査回
路基板1について高い信頼性で検査を行うことができ
る。
方の搬送部材12の走行位置を基準位置とし、一方の搬
送部材11がその可動範囲Kにおいて移動可能とされ、
下部側検査治具20および上部側検査治具70の各々の
一方の外側縁が前記基準位置に従って配置されている
が、本発明においては、図9に示すように、例えば搬送
通路の幅方向の中央位置すなわち搬送機構10における
一方の搬送部材11と他方の搬送部材12との間の中央
位置を基準位置とし、一方の搬送部材11および他方の
搬送部材12の両方がそれぞれ可動範囲K1,K2にお
いて基準位置と離接する方向に移動可能とされ、下部側
検査治具20および上部側検査治具70の各々の中央が
基準位置に従って配置されていてもよい。
の仲介ピン装置40における収容用空間については、一
方の搬送部材11の収容用空間S1に加えて、他方の搬
送部材12を収容する収容用空間S2を形成することに
より、下部側検査治具20が上昇されたときに一方の搬
送部材11および他方の搬送部材12がそれぞれ収容さ
れ、従って、一方の搬送部材11および他方の搬送部材
12のそれぞれの変位距離を短いものとすることができ
る。
2のそれぞれの外側の領域における導電ピン41が残留
されたままの状態とすることにより、下部側検査治具2
0と上部側検査治具70とにより被検査回路基板1に作
用される挟圧力を導電ピン41が存在する領域において
全体に平均化された圧力分布のものとすることができ、
その結果、回路基板の検査において高い信頼性を得るこ
とができる。
搬送機構として、上記の実施例に示した搬送機構に限ら
れず、種々のものを利用することができる。例えば、被
検査回路基板1をその両側縁において保持した状態で一
方のガイドレール上および他方のガイドレール上を移動
するキャリアによる搬送機構であってもよく、また、そ
の他の構成であってもよい。また、仲介ピン装置40を
下部テスター側コネクター50に対して所定の位置に装
着するためには、仲介ピン装置40が下部テスター側コ
ネクター50に直接固定される必要はなく、例えば押圧
板65に固定されていてもよい。
仲介ピン装置における着脱自在の導電ピンを取り外すこ
とにより、仲介ピン装置において搬送機構の収容用空間
を形成することができ、しかも、搬送機構の搬送機構可
動範囲の直下領域におけるすべての導電ピンが着脱自在
に設けられているので、当該搬送機構可動範囲の直下領
域内においては、収容用空間の位置を任意に選定するこ
とができる。従って、種々の大きさの幅寸法を有する回
路基板に好適に対応することができると共に、幅寸法の
異なる回路基板を検査対象とするために当該幅寸法の大
きさに応じて搬送機構の幅方向位置が変更されたときに
も、収容用空間を形成する位置を検査が実行される領域
に隣接する位置に選定することにより、当該搬送機構を
回路基板から離脱させるために必要な変位距離を常に小
さくすることができる。そして、その結果、回路基板が
検査区域に到着した後のきわめて短時間のうちに、回路
基板が上部側検査治具および下部側検査治具に挟圧され
た検査準備完了状態を達成することができるので、回路
基板の検査において高い時間的効率が得られる。
装置と分離可能に設けられているため、下部側検査治具
においては、配線パターンの異なる回路基板を検査する
場合には、下部基板側コネクターのみを回路基板の配線
パターンに対応するものに交換すればよいので、下部側
検査治具の主要部である仲介ピン装置および下部テスタ
ー側コネクターを共通に使用することができる。
ターに対して分離させて交換可能に設けられているた
め、当該仲介ピン装置のみを、別途用意された、同様の
基本的構成を有する仲介ピン装置に容易に交換すること
ができる。従って、次に検査すべき回路基板が幅寸法の
異なるものである場合であっても、予め、当該次の回路
基板の幅寸法に応じて着脱自在の導電ピンを取り外して
搬送機構の収容用空間が形成された交換用の仲介ピン装
置を用意しておくことにより、当該回路基板の検査のた
めに必要な準備作業を短時間で行うことができる。
部の構成を示す説明用断面図である。
用断面図である。
下部テスター側コネクターの各々の位置関係を示す説明
図である。
図である。
メントの説明図である。
図である。
構成を示す説明用断面図である。
ンの一例を示す説明用断面図である。
要部の構成を示す説明用断面図である。
構成を示す説明図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 検査すべき回路基板を検査区域に搬送す
る搬送機構を有し、当該検査区域において上部側検査治
具と下部側検査治具とにより回路基板の両面を挟圧して
検査する回路基板の検査装置であって、 前記搬送機構は、搬送機構可動範囲において回路基板の
搬送方向とは垂直な水平方向に移動可能に設けられてお
り、 前記下部側検査治具は、回路基板の下面に対接される下
部基板側コネクターと、この下部基板側コネクターの下
方に設けられた、テスターに電気的に接続されるテスタ
ー側コネクターと、前記下部基板側コネクターおよび前
記テスター側コネクターの間を仲介してそれぞれを電気
的に接続するための仲介ピン装置とを有してなり、 前記下部基板側コネクターは、仲介ピン装置と分離可能
に設けられており、 仲介ピン装置は、多数の導電ピンと、これらの導電ピン
を上下方向に伸びるよう支持する導電ピン支持機構とを
有してなり、 前記多数の導電ピンのうち、少なくとも前記搬送機構可
動範囲の直下領域におけるすべての導電ピンの各々は、
前記導電ピン支持機構に着脱自在に支持されており、 仲介ピン装置は、前記テスター側コネクターに対して分
離させて交換可能に設けられており、かつ、当該仲介ピ
ン装置と同様の構成を有する他の仲介ピン装置が用意さ
れており、 予め着脱自在の導電ピンのうち選択された領域における
導電ピンが取り外された仲介ピン装置または他の仲介ピ
ン装置がテスター側コネクターに装着されることによ
り、搬送機構の収容用空間が形成された状態とされるこ
とを特徴とする回路基板の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14609495A JP3307166B2 (ja) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | 回路基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14609495A JP3307166B2 (ja) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | 回路基板の検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08338858A JPH08338858A (ja) | 1996-12-24 |
JP3307166B2 true JP3307166B2 (ja) | 2002-07-24 |
Family
ID=15400008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14609495A Expired - Fee Related JP3307166B2 (ja) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | 回路基板の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3307166B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4865325B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2012-02-01 | 日置電機株式会社 | 回路基板保持具 |
KR101097676B1 (ko) * | 2010-07-06 | 2011-12-22 | 삼성전기주식회사 | 기판 검사 장치 및 이를 이용한 기판 검사 방법 |
-
1995
- 1995-06-13 JP JP14609495A patent/JP3307166B2/ja not_active Expired - Fee Related
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