JPH06784Y2 - 電子部品の検査用治具 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、一般に電子部品の検査用治具に関する。この
治具は、液晶用ガラス基板、セラミック基板、フレキシ
ブルプリント基板及びＬＳＩ等の微細な素子の導通状態
を検査するために使用されるものである。

［従来の技術］ 従来、プリント回路基板のような電子部品の導通状態の
検査においては、スプリングプローブと称される接触子
が用いられていた。このスプリングプローブは、チュー
ブ状の金属筒と、この金属筒中に内蔵された金属ボール
及びプランジャーと、前記金属筒中に内蔵された、金属
ボールとプランジャーとの間に介在されたスプリングと
からなる電子機構部品である。即ち、前記スプリングプ
ローブの先端を、前記プリント回路基板上の検査点に直
接接触させ、電子部品検査装置本体から出力される検査
用の電気信号を、前記スプリングプローブを介して前記
検査点に印加することによって、前記プリント回路基板
の導通状態の検査が行われていたものである。

ところで、近年におけるプリント配線技術や実装技術の
急速な進歩によって、プリント回路基板上に形成される
導電パターンの配置が高密度化し、それに伴って導通状
態チェックのための検査点の間隔も細かくなって来てい
る。そのため、このように検査点の間隔が細かくなった
プリント回路基板を検査するに際しては、従来、径の細
いスプリングプローブを用いたり、或いは、プローブホ
ルダー等に千鳥状に配置されたスプリングプローブを用
いることで対処していた。

［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、スプリングプローブの場合、製造上の難
易性や強度的な問題から細くすることにも制約があり、
現状ではせいぜい0.7〜0.8mmの検査ピッチに対応するの
が限界である。また前記スプリングプローブを、千鳥状
に配置したとしても0.4〜0.5mmが限界である。

一方、プリント回路基板上の被検査パターンは、上述し
た事情から上記寸法以上に細かいものが出現しており、
特に液晶ガラス基板、フレキシブルプリント基板及びＬ
ＳＩ等の殆どは、スプリングプローブの最小検査可能ピ
ッチ未満の寸法となっている。

また、従来のスプリングプローブでは、その金属製のプ
ランジャーの先端を被検査物に直接接触させて検査を行
っていたために、上記液晶用ガラス基板等の被検査物に
対しては、上記接触により破損したり損傷したりするお
それがあるから、スプリングプローブでは上述した検査
が行えないという問題点がある。

更に、検査点の間隔が、上述したスプリングプローブの
最小検査可能ピッチよりも細かい間隔で且つ検査点があ
る程度の広い面積に亘って分布しているような電子部品
の検査も行なえないという問題点もあった。

本考案は、上記の課題に鑑みてなされたもので、その目
的とするところは、スプリングプローブでは対応できな
いような微小間隔の検査点に対応することができ、また
検査点と接触しても被検査物を損傷するようなことがな
く、更には、検査点の間隔が、スプリングプローブの最
小検査可能ピッチよりも細かい間隔で且つ検査点がある
程度の広い面積に亘って分布しているような電子部品の
検査をも行なうことが可能な電子部品の検査用治具を提
供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、本考案の電子部品の検査
用治具１は、 各種電子部品に設けられている被検査物１３の複数個の
試験点１４と、前記検査点１４と対応して前記被検査物
１３の導通状態を検出するための電気信号が出入力する
複数個の端子５が、電気的に接続するようにされた電子
部品の検査用治具１において、 一端側４が前記被検査物１３の複数個の検査点１４の配
設間隔と対応した間隔に、他端側６の前記電気信号が出
入力する複数個の端子５の配設間隔が、前記一端側４の
検査点１４の配設間隔よりも広く延在されている複数個
の導電パターン３を有する絶縁プレート２と、 前記絶縁プレート２と前記被検査物１３との間に介在さ
れ、前記導電パターン３の一端側４の端子５と対応する
複数個の貫通孔５２を有し、挿込れる後記仲介電極部材
５３を保持するための肉厚の保持板５０と、前記保持板
５０の複数個の貫通孔５２と対応する複数個の貫通孔５
２′を有し、後記仲介電極部材５３が略没する肉厚のス
ペーサ５１とを一体に有する仲介絶縁プレート５８と、 前記仲介絶縁プレート５８の複数個の連続する貫通孔５
２，５２′に挿込、略没される複数個の仲介電極部材５
３と、 前記絶縁プレート２と前記仲介絶縁プレート５８との間
に介在され、前記導電パターン３の一端側４と前記仲介
電極部材５３との間を導通する異方導電性弾性シート部
材１１と、 前記仲介絶縁プレート５８と前記被検査物１３との間に
介在され、前記仲介電極部材５３と前記被検査物１３の
端子部１４との間を導通する第２の異方導電性弾性シー
ト部材５４と、 を備えたものである。

［作 用］ 電子部品に設けられている被検査物１３の検査点１４の
下方に、異方導電性弾性シート部材１１を介在させて、
絶縁プレート２に形成された導電パターン３の一端側部
４を加圧しながら重ねる。この導電パターン３の一端側
部４は、被検査物１３の検査点１４の位置に対応した被
検査物１３の導通状態を検出するための電気信号が出入
力する複数個の端子５が位置する電極部である。また異
方導電性弾性シート部材１１はその厚さ方向の対応する
点間で導通される性質を有するため、この電極部は対応
する多数の検査点１４と異方導電性弾性シート部材１１
を介して導通可能になる。そして、導電パターン３の他
端側６を電子部品の検査装置との接続用端子部とするこ
とにより、電子部品の検査装置と電気的に接続され、各
種電子部品の被検査物１３の検査が可能になる。

本考案では、検査用の電極部となる導電パターン３の一
端側４は、被検査物１３の各種電子部品に対応させて微
小間隔にするものであるが、導電パターン３は、絶縁プ
レート２の表面に導電物によるパターンを形成するもの
であり、従来のこの種の検査用治具のスプリングプロー
ブのような機構部品を使用するもので無いため、容易に
微小間隔にすることができる。また、導電パターン３の
他端側６は、上記検査装置との接続用の端子部品等を配
設するため、ある程度広い間隔のパターン幅とするもの
である。

なお、異方導電性弾性シート部材１１の介在で、その弾
性によって導電パターン３の一端側４と被検査物１３の
電子部品の検査点１４との接触性がよくなる。

更に、検査点の間隔が、上述したスプリングプローブの
最小検査可能ピッチよりも細かい間隔で且つ検査点があ
る程度の広い面積に亘って分布しているような電子部品
に対しては、本考案の仲介電極部材５３の保持板５０及
びスペーサ５１を一体とした仲介絶縁プレート５８と、
仲介電極部材５３と、第１、第２の異方導電性弾性シー
ト部材１１，５４とを用いることによって、上記態様の
電子部品の検査を行なう。即ち、前記絶縁プレート２と
前記各種電子部品との間に、第１の異方導電性弾性シー
ト部材１１、仲介絶縁プレート５８、第２の異方導電性
弾性シート部材５８の順序でこれらの各部材を介在さ
せ、被検査物たる各種電子部品を平均的に加圧した状態
で検査を行なう。

これにより、各種電子部品の検査点１４がある程度広い
面積に亘って存在しても、上記仲介絶縁プレート２、第
１、第２の異方導電性弾性シート部材１１，５４を介在
させることで検査点１４が浮き上がることが防止でき、
検査点１４と導電パターン３の端子５との間の電気的接
続の信頼性の大幅な向上を図ることができる。

［実施例］ 以下、図面により本考案の実施例を説明する。

第１図〜第３図は、本考案の実施例に係る電子部品の検
査用治具１を示す。

検査用治具１は、絶縁プレート２と、この絶縁プレート
２上に形成れた複数本の導電パターン３と、異方導電性
弾性シート部材１１とによって構成されている。前記絶
縁プレート２は、例えば、ガラスエポキシ積層板からな
り、前記複数本の導電パターン３は、前記絶縁プレート
２にエッチングによって形成された銅箔からなる。この
態様の絶縁プレート２及び導電パターン３は、通常のプ
レート（基板）製作と同様のプロセスで容易に製作でき
るものである。

複数本の導電パターン３の絶縁プレート２上への形成に
は、上記方法以外の、例えば、導電性インクや導電性ペ
ーストでスクリーン印刷を行なう方法を採用することも
可能である。

複数本の導電パターン３は、それらの一端側４が被検査
物１３の複数個の試験点１４と対応して微小間隔に配置
され、被検査物１３の導通状態を検出するための電気信
号が出入力する複数個の端子５とされ、またその他端側
６が一端側４の電気信号が出入力する複数個の端子５の
間隔より広い間隔とされて、上記導電パターン３の導通
状態を検査するための電気信号が印加される端子部７と
される。この端子部７は第３図に示すように上記他端側
６に設けられたスルーホール８と、このスルーホール８
に半田付けされた、コネクタ１０が接続可能な構成のピ
ン９とから成っている。

上述した導電パターン３の電気信号が入出力する端子５
の部位には、被検査物１３の検査点１４との間に異方導
電性弾性シート部材１１が介在される。この異方導電性
弾性シート部材１１は、その厚さ方向の同一対応点間の
みで導通可能な弾性体シートであり、電子部品のコネク
ターに使用されている公知のものである（例えば、特開
昭５５−１１１０１４号公報）。即ち、上記異方導電性
弾性シート部材１１には、絶縁ゴムシートの面に対して
実質的に垂直方向に多数本の導電性線条がゴムシートの
両面に貫通して配列されたものや、絶縁ゴムシートの面
に対して実質的に垂直方向に多数個の導電性粒子が連続
して配列されたものや、或いはインク状のもので塗布す
るタイプのもの等がある。上記異方導電性弾性シート部
材１１は、絶縁プレート２に固着して使用しても、固着
しないで使用してもよい。

上述した構成の検査用治具１によって導通検査等が行な
われる被検査物１３としては、例えば、フィルム状の基
板の端部に微小間隔の多数の検査点１４を有するタッチ
パネルが挙げられる。これら検査点１４の間隔は上述の
ように導電パターン３の端子５のそれと同一に設定され
ている。

第４図は、上記構成の検査用治具１を組込んだ電子部品
の検査装置２０の正面図である。

図において、ベース板２１は全体として略矩形の平板形
状を呈していて、その長手方向の中央部が厚肉の被検査
物載置部３５となっている。ベース板２１の左端部寄り
及び右端部寄りには、断面が凹字状の検査用治具配置部
３６，３６が、夫々、形状されている。ベース板２１の
左端部、右端部には、側板２２，２３が、夫々、前記ベ
ース板２１に対して略垂直に取付固定されている。前記
側板２２，２３の上端部の対向面には、夫々、スライド
溝２５，２６が形成されていて、このスライド溝２５，
２６には、スライド式上板２４がその左右端を嵌着、取
付固定されている。このスライド式上板２４の下面に
は、左側寄りと右側寄りとに、断面が略Ｌ字状のガイド
ポスト保持部材５５，５６が、夫々、取付固定されてい
る。一方、スライド式上板２４の上面略中心部には、エ
アシリンダ３２が取付固定されており、エアシリンダ３
２のピストンロッドが貫通する貫通孔（図示しない）が
形成されている。このエアシリンダ３２は、後記するス
ライド板２９を上下動させるために設けられたものであ
る。更に、スライド式上板２４の左側、右側には、下端
側が前記ガイドポスト保持部材５５，５６によって保持
されているガイドポスト２７，２８の上端側が、夫々、
取付固定されている。

またガイドポスト２７，２８には、スライド板２９の左
端側、右端側にベアリング３０，３１が、夫々、取付固
定されている。上記ベアリング３０，３１は、前記エア
シリンダ３２によって上下動されるスライド板２９が略
垂直方向に移動するように、該スライド板２９を案内す
るために設けられているものである。このスライド板２
９は、図示するように、断面が前記被検査物載置部３５
と対応して略凸字形状となっており、スライド板２９の
下方に突出した厚肉部分における左端側と右端側には、
夫々、押圧子３３が取付けられている。

そして、上記配置部３６，３６の底部に緩衝材３７，３
７が配設され、その上部に、電子部品の検査用治具１，
１、即ち、導電パターン３が形成された絶縁プレート
２，２及び異方導電性弾性シート部材１１，１１が前記
導電パターン３を上向きにして配設される。

そして、位置合せ用ピン３８を、電子部品の被検査物１
３、異方導電性弾性シート部材１１、絶縁プレート２に
挿通することによって、被検査物１３上の多数の検査点
１４と、対応する導電パターン３の一端側４にある端子
５とが、異方導電性弾性シート部材１１を介して向い合
って重ねられる。

その後、エアシリンダ３２を駆動してスライド板２９を
押し下げ、押圧子３３で被検査物１３の背部５７（第１
図参照）を押圧すれば、被検査物１３上の多数の検査点
１４は対応する検査用治具１の絶縁プレート２の端子５
と導通可能になる。また導電パターン３の他端側６に設
けられている端子部７は、コネクタ１０によって検査装
置本体の分析検査部（図示せず）に接続される。

上記状態において、検査装置２の出力端子（図示しな
い）から、検査用の電気信号を出力することによって、
被検査物１３の導通検査が行なわれることとなる。

本考案による検査用治具１を使用したＬＳＩ検査装置
を、第５図（斜視図）、第６図（断面図）により説明す
る。

図において、受台４１は、ガラスエポキシ積層板からな
るもので、全体として断面が略凸字形状を呈するよう
に、略矩形状の平板部と、この平板部の略中央部にその
平板部と一体的に形成された、上面が平板部の面積より
も小さな略直方体形状の台部とからなっいている。上記
台部の上面には、本考案による検査用治具１を構成する
絶縁プレート２が載置されている。前記受台４１の平板
部には、複数個のコネクタ端子４７が取付けられてお
り、これらのコネクタ端子４７と絶縁プレート２の端子
部７との間は配線により電気的に接続されている。

上記台部には、図示するように対角線状に２本の位置決
めシャフト４３，４４が略垂直に立設されており、これ
ら位置決めシャフト４３，４４の上端部には、止めねじ
４５，４６が、取付けられている。絶縁プレート２の上
方には、略中央に略矩形状の孔部が形成された異方導電
性弾性シート部材１１が、また、その異方導電性弾性シ
ート部材１１の上方には、略中央部に上記孔部と対応し
た検査点１４を有する複数本のリード線を有し、被検査
物１３を取付けるＬＳＩリードフレーム４０が、夫々、
前記２本の位置決めシャフト４３，４４に嵌挿されて取
付けられている。

更に、上記ＬＳＩリードフレーム４０の上方には、上記
ＬＳＩリードフレーム４０のリード線群のパターンと対
応したした凹部を有した押え板４２が、前記２本の位置
決めシャフト４３，４４に、夫々、嵌挿されて取付けら
れている。上記押え板４２も、前述した受台４１と同様
にガラスエポキシ積層板によって構成されている。

このようにして、検査用治具１と、異方導電性弾性シー
ト１１と、被検査物１３を取付けたＬＳＩリードフレー
ム４０とを重ね、止めネジ４５，４６で締付して絶縁プ
レート２の受台４１と押え板４２との間で加圧すれば検
査用治具１の導電パターン３の出力端子５と検査点１４
であるリード端子とが異方導電性弾性シート部材１１を
介して導通可能になり、検査装置本体の出力端子（図示
しない）及び検査装置本体の分析部（図示しない）に接
続された前記受台４１の平板部に取付けられているコネ
クタ端子４７から検査用治具１に検査用の電気信号を印
加すればＬＳＩの検査ができるものである。

第７図は、他の実施例に係る電子部品の検査用治具１の
部分断面図である。この検査用治具１は、被検査物１３
の検査点１４の間隔がスプリングプローブの最小検査可
能ピッチよりも細かい間隔で、且つ検査点１４がある程
度の広い面積に亘って分布しているような電子部品の導
通検査を行なう場合に好適である。

この検査用治具１は、一端側４が被検査物１３の複数
個の検査点１４の配設間隔と対応した間隔に、他端側６
の電気信号が出入力する複数個の端子５の配設間隔が、
前記一端側４の検査点１４の配設間隔よりも広く延在さ
れている複数個の導電パターン３を有する絶縁プレート
２と、前記絶縁プレート２と前記被検査物１３との間
に介在され、前記導電パターン３の一端側４の端子５と
対応する複数個の貫通孔５２を有し、挿込れる後記仲介
電極部材５３を保持するための肉厚の保持板５０と、前
記保持板５０の複数個の貫通孔５２と対応する複数個の
貫通孔５２′を有し、後記仲介電極部材５３が略没する
肉厚のスペーサ５１とを一体に有する仲介絶縁プレート
５８と、前記仲介絶縁プレート５８の複数個の連続す
る貫通孔５２，５２′に挿込、略没される複数個の仲介
電極部材５３と、前記絶縁プレート２と前記仲介絶縁
プレート５８との間に介在され、前記導電パターン３の
一端側４と前記仲介電極部材５３との間を導通する異方
導電性弾性シート部材１１と、前記仲介絶縁プレート
５８と前記被検査物１３との間に介在され、前記仲介電
極部材５３と前記被検査物１３の端子部１４との間を導
通する第２の異方導電性弾性シート部材５４と、を備え
ている。

上記仲介絶縁プレート５８について更に説明すれば、仲
介電極部材５３の保持板５０は、絶縁性部材からなるも
のであって、この保持板５０には、前記出力端子５の配
設位置と対応して複数個の貫通孔５２が形成されてい
る。前記各々の貫通孔５２には、鍔付きの仲介電極部材
５３が遊嵌されている。そして保持板５０には、前記各
仲介電極部材５３の遊嵌位置と対応して、複数個の貫通
孔５２′が形成されている肉厚のスペーサ５１が一体に
設けられている。

上述したごとき構成の検査用治具は、例えば第４図にて
示したような検査装置２０であって押圧子３３のないも
のを使用し、スライド板２９の下面全体が被検査物の端
子部１３を平均に押圧するようにして使用する。したが
って、被検査ポイントの間隔がスプリングプローブの最
小検査可能ピッチよりも細かい間隔で且つある程度の広
い面積に亘って分布しているような被検査物１３であっ
ても、仲介電極部材５３を介在させることで、被検査物
１３の試験点１４が浮き上がることがなく確実に接触で
きる利点がある。

この第７図に示す電子部品の検査用治具１は、最初の実
施例のものとは異なり、電極部材５３の保持板５０への
穴開加工が必要であり、また仲介電極部材５３としての
金属ピンという構造部品を使用するものであるため必ず
しも構造が簡単なわけではないが、この金属ピンは従来
のスプリングプローブに比べれば単純構造であるため、
その径を十分に小さくでき、また配置を千鳥状にする等
工夫すれば本考案で問題にしているような微小間隔の検
査点に対応することができる。

以上述べたように、本考案の各実施例に係る電子部品の
検査用治具は、絶縁プレートに導電パターンを形成する
ものであり、従来のように出力端子にスプリングプロー
ブの機構部品を使うものではないので、出力端子の隣合
う間隔を微小にすることができ、試験点とされた端子部
が微小間隔に存在し、従来の技術では検査が難しかった
電子部品等にも対応することができる。

また、導電パターンの端子と被検査物の検査点との間に
は異方導電性弾性シート部材を介在せしめ、出力端子が
弾性ある異方導電性弾性シート部材を介して検査点に接
触するようにしたので、従来のスプリングプローブの場
合のように、プローブ先端が直接に被検査物に突き当た
るのと異なり、被検査物を傷めることがなく、したがっ
て、従来は被検査物を傷める等の理由で不可能であった
対象も検査できるようになる。

しかも本考案による各実施例に係る電子部品の検査用治
具は、その基本構成が絶縁プレートに導電パターンを形
成るものであるため、従来のプリント回路基板の製作技
術で作ることができ、構造が簡単であり、またその形状
も薄形・小形化できるという実用上多大な効果がある。
更には、検査点の間隔が、スプリングプローブの最小検
査可能ピッチよりも細かい間隔で且つ検査点がある程度
の広い面積に亘って分布しているような電子部品の検査
をも行なうことが可能である。

［考案の効果］ 本考案によれば、被検査物の検査点と電子部品検査装置
の端子との間に介在せしめられ、一端側が前記各端子部
の配設間隔と対応した間隔に、他端側が前記端子の配設
間隔と対応して前記一端側よりも大きな配設間隔で延在
せしめられている複数個の導電パターンを有する絶縁プ
レートと、前記絶縁プレートと各種電子部品との間に介
在せしめられ、導電パターンの一端側と略同一間隔で形
成された複数個の貫通孔とこれら複数個の貫通孔に取付
けられた複数個の仲介電極部材とこれら複数個の仲介電
極部材と対応して複数個の貫通孔が形成された。前記仲
介電極部材が略没する大きさの肉厚を持ったスペーサと
を一体に形成した絶縁性材料からなる仲介絶縁プレート
と、前記絶縁プレートと前記仲介絶縁プレートとの間に
介在せしめられ、前記導電パターンの一端側と前記仲介
電極部材との間を導通する異方導電性弾性シート部材
と、前記仲介絶縁プレートと前記各種電子部品との間に
介在せしめられ、前記仲介電極部材と前記端子部との間
を導通する第２の異方導電性弾性シート部材とを備える
こととしたので、スプリングプローブでは対応できない
ような微小間隔の試験点に対応することができ、また、
試験点とされた端子部と接触しても被検査物を損傷する
ようなことがなく、更には、検査点の間隔が、スプリン
グプローブの最小検査可能ピッチよりも細かい間隔で且
つ検査点がある程度の広い面積に亘って分布しているよ
うな電子部品の検査をも行なうことが可能な電子部品の
検査用治具を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例に係る電子部品の検査用治具の
側面図、第２図は第１図に示す検査用治具の絶縁プレー
トの部分平面図、第３図は第１図に示す検査用治具の部
分断面図、第４図は第１図に示す検査用治具を組込んだ
電子部品の検査装置正面図、第５図は本考案による検査
用治具を使用したＬＳＩ検査装置の斜視図、第６図は第
５図に示すＬＳＩ検査装置の正面断面図、第７図は本考
案の他の実施例に係る電子部品の検査用治具の部分断面
図である。 １ 〜 検査用治具 ２ 〜 絶縁プレート ３ 〜 導電パターン ４ 〜 ３の一端側、 ５ 〜 端子 ６ 〜 ３の他端側 １１ 〜 異方導電性弾性シート部材 １３ 〜 被検査物 １４ 〜 検査点、 ５０ 〜 保持板 ５１ 〜 スペーサ、 ５２ 〜 貫通孔 ５２′〜 貫通孔 ５３ 〜 仲介電極部材 ５４ 〜 第２の異方導電性弾性シート部材 ５８ 〜 仲介絶縁プレート

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】各種電子部品に設けられている被検査物１
   ３の複数個の検査点１４と、前記検査点１４と対応して
   前記被検査物１３の導通状態を検出するための電気信号
   が出入力する複数個の端子５とが、電気的に接続するよ
   うにされた電子部品の検査用治具１において、 一端側４が前記被検査物１３の複数個の検査点１４の配
   設間隔と対応した間隔に、他端側６の前記電気信号が出
   入力する複数個の端子５の配設間隔が、前記一端側４の
   検査点１４の配設間隔よりも広く延在されている複数個
   の導電パターン３を有する絶縁プレート２と、 前記絶縁プレート２と前記被検査物１３との間に介在さ
   れ、前記導電パターン３の一端側４の端子５と対応する
   複数個の貫通孔５２を有し、挿込れる後記仲介電極部材
   ５３を保持するための肉厚の保持板５０と、前記保持板
   ５０の複数個の貫通孔５２と対応する複数個の貫通孔５
   ２′を有し、後記仲介電極部材５３が略没する肉厚のス
   ペーサ５１とを一体に有する仲介絶縁プレート５８と、 前記仲介絶縁プレート５８の複数個の連続する貫通孔５
   ２，５２′に挿込、略没される複数個の仲介電極部材５
   ３と、 前記絶縁プレート２と前記仲介絶縁プレート５８との間
   に介在され、前記導電パターン３の一端側４と前記仲介
   電極部材５３との間を導通する異方導電性弾性シート部
   材１１と、 前記仲介絶縁プレート５８と前記被検査物１３との間に
   介在され、前記仲介電極部材５３と前記被検査物１３の
   端子部１４との間を導通する第２の異方導電性弾性シー
   ト部材５４と、 を備えた電子部品の検査用治具。