JPH0438299Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は、ユニツト化された一群のコンタクト
プローブの先端をIC、LSI等の回路基板の検査点
に接触させて導通状態等の測定検査を行なう検査
装置に係り、特に一群のコンタクトプローブの
各々の後端部と測定検査器に連なるコードとの接
続構造の改良に関する。

〔考案の技術的背景とその問題点〕

従来、回路基板等の正規の導通状態が形成され
ているか否かを検査する装置としては、プローブ
支持板に多数のコンタクトプローブからなるプロ
ーブ群を所定の配列で複数組配置し、各コンタク
トプローブの先端を各プローブ群に対応する回路
基板のランド等に接触させるようにしたものが一
般に知られている（例えば、特開昭58−7835号公
報参照）。

ところで、この種の検査装置においては、回路
パターンの微細化、稠密化に伴ない、コンタクト
プローブを細径化するとともに高密度で正確に位
置設定する必要があり、装置の製作に多大な時間
と費用とを要するようになつてきている。そし
て、コンタクトプローブの細径化を実現するため
に、近来、プローブを単なる金属線で形成し、接
触圧をプローブの湾曲によつて得られるようにす
ることも提案されている（例えば、特開昭58−
2755号公報参照）。

ところが、従来の検査装置では、プローブ支持
板に配置されるプローブ配列を、検査すべき回路
パターンに合わせてその都度構成しているため、
例えば複数のプローブ群のうちの１つのプローブ
群のプローブ配列を変更する必要がある場合で
も、当該プローブ群のプローブ配列のみが異なる
プローブ支持板を新たに製作しなければならず、
検査効率が悪いとともに不経済である等の問題が
ある。

そこで本出願人は、先に特願昭58−250155号、
特願昭58−250156号において、一群のコンタクト
プローブをユニツト化してこれを支持板に着脱可
能に取付け、所要のプローブ群のプローブ配列を
変更する必要がある場合でも、当該プローブ群の
プローブ配列のみを容易に変更できるようにした
回路基板等の検査装置を提案した。

ところで、この種のプローブユニツトの中に
は、例えば直径が0.2mmのプローブを例えば0.4mm
のピツチ間隔で正方形状に170本前後支持したも
のがあるが、測定検査器に連なるコードと各コン
タクトプローブ後端との接続は、コンタクトプロ
ーブ後端にコードを直接はんだ付けするか、ある
いはコンタクトプローブに接続される端子にコー
ドを直接はんだ付けする方法を採るのが通例であ
る。

ところがこの方法では、プローブあるいはこれ
に対応する端子のピツチ間隔が極めて狭いため、
はんだ付け作業が容易でなく、またはんだ付けが
不良で充分な導通状態が得られなかつたり、ある
いははんだ量が多過ぎて隣接するプローブあるい
は端子がはんだにより短絡する等の問題がある。

〔考案の目的〕

本考案はかかる現況に鑑みなされたもので、測
定検査器に連なるコードとコンタクトプローブと
の接続が容易であり、隣接するコンタクトプロー
ブあるいは端子間が短絡するおそれがないととも
に、充分な導通状態が得られ、しかもプローブ配
列の変更に簡単に対応できる回路基板等の検査装
置を提供することを目的とする。

〔考案の概要〕

本考案の回路基板等の検査装置は、多数のコン
タクトプローブを平行に、かつそれらの先端と後
端を突出させて支持する支持ボードを有するプロ
ーブユニツトと、このプローブユニツトを脱着自
在に支持し、検査すべき回路基板にプローブユニ
ツトのコンタクトプローブの先端を向けて回路基
板に対し接近離隔するように相対移動可能な支持
枠体と、コンタクトプローブの後端を、測定検査
器に連なるコードに接続する接続手段とからな
り、前記支持枠体の回路基板に対する相対移動に
より各コンタクトプローブの先端を回路基板の検
査点に接触させて導通状態の測定検査を行なう検
査装置であつて、前記接続手段が、前記プローブ
ユニツトの後側において、コンタクトプローブに
直交する方向に、前記支持枠体に設けた段付孔に
背後から着脱可能に装置された保持板と、保持板
の前面に各コンタクトプローブに対応する位置に
設けられ、プローブユニツトの装着時に各コンタ
クトプローブの後端と接触して電気的に接続され
るプローブ接触部と、保持板の面方向に関してプ
ローブ接触部より外側で保持板に設けられ、前記
コードに接続されたはんだ付け部と、保持板に配
置された前記プローブ接触部とこれに対応するは
んだ付け部とを相互に接続する導電片とから構成
されていることを特徴とする。

〔考案の実施例〕

以下、本考案の実施例を図面を参照して説明す
る。

第１図および第２図は本考案に係る検査装置の
一例を示すもので、図中、１はプローブユニツト
である。このプローブユニツト１は、第３図に示
すように四隅部に配した連結部材２を介して上下
に所要間隔で対向する上支持板３と下支持板４と
の間に所定の配列で例えば５６ユニツト着脱交換
可能に挾持固定されている。そして、多数のプロ
ーブユニツト１を両支持板３，４間で挾持固定し
た状態で両支持板３，４を含む支持枠体を図示し
ない案内装置により上下動することにより、各プ
ローブユニツト１の下方に位置する例えば56個の
IC基板（図示せず）の検査を同時に行なうこと
ができるようになつている。

前記各プローブユニツト１は、第２図に示すよ
うに方形板状をなす上部支持ボード５および下部
支持ボード６と、これら両ボード５，６間に介装
されて両者の上下間隔を規制するユニツト支柱７
と上部支持ボード５とを連結するビス８と、ユニ
ツト支柱７と下部支持ボード６とをワツシヤ９を
介して連結するビス１０とを備えており、前記両
支持ボード５，６は、前記各支持板３，４に穿設
された段付方形孔３ａ，４ａに嵌入係止され、連
結支柱２ａと固定ねじ２ｂとからなる連結部材２
により位置決め固定されている。

また、このプローブユニツト１には、第２図お
よび第４図に示すように前記両支持ボード５，６
の周縁部に長方形状に貫通配置された例えば172
本のピン状コンタクトプローブ１１を備えてお
り、各コンタクトプローブ１１の上端側すなわち
後端側は、上記上部支持ボード５に貫通固定され
ているとともに、各コンタクトプローブ１１の下
端部すなわち先端部は、前記下部支持ボード６に
上下に摺動可能に挿通されている。また、各コン
タクトプローブ１１の上端部は、第１図および第
２図に示すように測定検査器（図示せず）に連な
るコード１３に接続装置１２を介して接続されて
いる。

この接続装置１２は、第１図、第２図、第５図
および第６図に示すように前記上支持板３の段付
孔３ａの上方にある段付孔３ｂ上に上部支持ボー
ド５の直近上方において着脱自在にはめ込まれた
保持板１４を備えており、この保持板１４の下面
の各コンタクトプローブ１１に対応する位置に
は、各コンタクトプローブ１１後端部と接触によ
り接続される例えば円形のプローブ接触部１５が
プローブ配列に倣つて設けられている。

保持板１４の下面側にはまた、第１図および第
５図に示すように、上部支持ボード５よりも大形
の保持板１４の周縁にそつて前記コード１３の先
端部がはんだ付けされる円形のはんだ付け部１６
が適当間隔で配されている。そして、このはんだ
付け部１６とこれに対応するプローブ接触部１５
とは、保持板１４に取付けた導電片１７により相
互に電気的に接続されている。

各コンタクトプロブ１１の前記両支持ボード
５，６間に位置する部分には、第２図に示すよう
に絶縁チユーブ１８が被嵌されており、この部分
の途中の長手方向二箇所には、方形板状の２枚の
プローブ圧調整板１９によりスライド可能に支持
されている。コンタクトプローブ１１の両調整板
１９間に位置する部分は、プローブに接触圧が加
わつた時に湾曲する部分であつて、プローブ先端
が下支持板４の下方にある図示しないIC基板の
ランドに接触した際には、両調整板１９間のこの
部分が湾曲して接触時の衝撃を緩和するととも
に、そのスプリングバツクにより接触を確実なも
のとするように考慮されている。

また、前記２枚のプローブ圧調整板１９は、ユ
ニツト支柱７の外周部に着脱可能に装着された筒
状の３本の位置決めスペーサ２０により位置が固
定されており、これらの位置決めスペーサ２０の
着脱交換によりその上下位置、特に両プローブ圧
調整板１９の上下間隔が任意に選択できるように
なつている。そして、この上下間隔を広くするこ
とにより、コンタクトプローブ１１が曲がり易く
なつてプローブ接触圧が低下するとともに、上下
間隔を狭くすることにより、コンタクトプローブ
１１が曲がり難くなつてプローブ接触圧が高くな
るようになつている。

このように構成されたコンタクトプローブ１１
の下端部分には、コンタクトプローブ１１の下端
部分をスライド可能に案内する先端保護プレート
２１が上下方向に変位可能に配設されている。

この先端保護プローブ２１は、第２図および第
４図に示すように中央部に孔２１ａを有し前記下
支持板４の段付方形孔４ａに嵌入可能な大きさの
方形板状に形成されており、その周縁部に穿設さ
れた多数のガイド孔２２には、各コンタクトプロ
ーブ１１の下端部分が遊嵌状態で収容され、外力
によるコンタクトプローブ１１の先端寄り部分の
曲がりおよび先端の位置ずれが有効に防止される
ようになつている。

また、この先端保護プレート２１は、前記下部
支持ボード６に設けた４個のスライド孔２３、こ
のスライド孔２３に遊嵌されたガイドピン２４、
およびこのガイドピン２４の下端に螺装されるビ
ス２５を介して下部支持ボード６に上下に変位可
能に連結されており、かつ各ガイドピン２４のま
わりに配したコイルばね２６により常時下方に押
圧付勢されている。

測定検査に際しては、所定のプローブ配列を有
するプローブユニツト１が予め組込まれた上下の
支持板１，２を、所定の配列で配された多数の
IC基板（図示せず）の上方に位置させる。

これと同時にあるいは相前後して、図示しない
測定検査器に連なるコード１３の端部を、第５図
および第６図に示すようにプローブ配列に合わせ
て選択された保持板１４のはんだ付け部１６に保
持板に設けた小孔を経て上方からそれぞれはんだ
付けする。そしてこの保持板１４を各プローブユ
ニツト１の段部３ｂ内にはめ込んで固定する。す
ると、各コンタクトプローブ１１の後端部がプロ
ーブ接触部１５に圧接され、これにより各コンタ
クトプローブ１１とコード１３とが導電片１７を
介して相互に電気的に接続される。

このようにして各プローブユニツト１を測定検
査器（図示せず）に接続した後、上下の支持板
３，４からなる支持装置を所定のストロークで下
降させる。すると、先端保護プレート２１の下面
がIC基板に接触し、両支持板３，４をさらに下
降させることにより先端保護プレート２１がコイ
ルばね２６の付勢力に抗して相対的に上昇する。
そして、各コンタクトプローブ１１の先端がIC
基板のランド等の検査点に接触する。そこで、各
コンタクトプローブ１１を介して導通検査を行な
う。

ところで、所要のコンタクトプローブ１１が何
等かの理由で損傷した場合には、当該コンタクト
プローブ１１を取外して交換する必要がある。

この場合には、まず上支持板３の段部３ｂには
め込まれて固定されている保持板１４をはずし、
その後上下の支持板３，４間から必要なプローブ
ユニツト１を取出し、損傷したコンタクトプロー
ブ１１のみあるいはユニツトごと交換して再組立
てする。そしてその後、保持板１４を再度セツト
する。

このように、コード１３をプローブ接触部１５
に直接はんだ付けせず、外方にあるためピツチ間
隔を広くとることのできるはんだ付け部１６には
んだ付けするようにしているので、はんだ付け作
業が容易であり、しかも充分なはんだ付けができ
るので確実な導通状態が得られる。また、はんだ
により、隣接するはんだ付け部１６間が短絡する
おそれもない。

また、万一コード１３が損傷して交換する必要
がある場合でも、その作業が容易である。

第７図および第８図は本考案の他の実施例を示
すもので、この実施例は前記実施例における接続
装置１２に代えて接続装置３２を用いたものであ
る。

この接続装置３２は、プローブユニツト１の直
上位置にはめ込まれ上部支持ボード５よりも大形
の方形状をなす保持板３４を備えており、この保
持板３４の各コンタクトプローブ１１に対応する
位置には、コンタクトプローブ１１の後端部が圧
入される導電性の通孔３５が設けられている。ま
た、保持板３４の上面側には、前記通孔３５より
も広いピツチ間隔ではんだ付け部３６が設けら
れ、このはんだ付け部３６にはコード１３の先端
部がはんだ付けされるようになつている。そし
て、このはんだ付け部３６と前記通孔３５を構成
する導電筒体とは、保持板３４の上面側に取付け
られた導電片３７により相互に一体的に電気的に
接続されている。

このように構成することにより、はんだ付け部
３６が保持板３４の上面側に露出するので、はん
だ付け作業がより容易となる。また、通孔３５と
コンタクトプローブ１１とは圧入により接続され
るので、接続状態をより安定させることができ、
しかも接続状態を保持板３４の上面側から容易に
確認することができる。

なお、通孔３５は、第９図に示すように下端に
導電フランジを有しコンタクトプローブ１１の後
端部が圧接する形式のものとしてもほぼ同様の効
果が得られる。

第１０図は本考案のさらに他の実施例を示すも
ので、第７図あるいは第９図に示す構造の接続装
置３２の通孔３５に端子チツプ３８を上方から圧
入して接続装置４２を構成し、前記端子チツプ３
８の下端部をコンタクトプローブ１１の後端部に
接触させるようにしたものである。端子チツプ３
８の下端面には、第９図に示すようにコンタクト
プローブ１１の後端部の凸形状に倣つた凹部３８
ａが設けられ、コンタクトプローブ１１との接触
状態が安定するように考慮されている。このよう
に構成しても前記各実施例と同様の効果が期待で
きる。

なお、端子チツプ３８が圧入される導電筒体部
分は、端子チツプ３８と導電片３７とが確実に接
続されるのであれば必ずしも必要ではない。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案は、測定検査器に
連なるコードとコンタクトプローブとを接続する
接続手段を、プローブ支持枠体の背後に位置し各
コンタクトプローブに対応する位置に接触により
コンタクトプローブ後端と電気的に接続されるプ
ローブ接触部を有する保持板と、この保持板に設
けられ前記コードがはんだ付けされるはんだ付け
部と、保持板に配置され前記プローブ接触部とこ
れに対応するはんだ付け部とを相互に接続する導
電片とから構成しているので、コンタクトプロー
ブあるいはこれに対応するプローブ接触部のピツ
チ間隔が狭くても、はんだ付けが必要なはんだ付
け部のピツチ間隔は広くすることができる。この
ため、コードとコンタクトプローブとの接続が容
易となり、隣接するコンタクトプローブ間が短絡
したり、あるいははんだ付けが不充分で充分な導
通状態が得られない等の不具合がない。また、本
考案では、一群の配列のコンタクトプローブをプ
ローブユニツトとしてまとめ、それを交換可能と
してあるので、コンタクトプローブの配列の変更
に直ちに対応することができ、また、プローブユ
ニツトの装着により、保持板のプローブ接触部と
コンタクトプローブ後端が自動的に接触して電気
的に接続がなされ、プローブユニツトの取出しに
よりプローブ接触部とコンタクトプローブ後端の
接続が自動的に断たれる。一方、保持板は、支持
枠体に設けた段付孔に背後から着脱自在に装着さ
れているので、プローブ配列の変更に対応させて
容易に交換することができ、また、故障時の交換
作業も容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す要部平面図、
第２図はプローブユニツトの構成を示す部分縦断
面図、第３図は検査装置の全体構成を示す概略斜
視図、第４図は第２図の底面図、第５図は接続装
置を下面側から見た部分拡大図、第６図は第５図
の−線断面図、第７図ないし第１０図は本考
案の他の異なる実施例をそれぞれ示す説明図であ
る。 １……プローブユニツト、３……上支持板、３
ｂ……段付孔、４……下支持板、５……上部支持
ボード、６……下部支持ボード、７……ユニツト
支柱、１１……コンタクトプローブ、１２，３
２，４２……接続装置、１３……コード、１４，
３４……保持板、１５……プローブ接触部、１
６，３６……はんだ付け部、１７，３７……導電
片、３５……通孔、３８……端子チツプ、３８ａ
……凹部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 多数のコンタクトプローブを平行に、かつそ
   れらの先端と後端を突出させて支持する支持ボ
   ードを有するプローブユニツトと、このプロー
   ブユニツトを脱着自在に支持し、検査すべき回
   路基板にプローブユニツトのコンタクトプロー
   ブの先端を向けて回路基板に対し接近離隔する
   ように相対移動可能な支持枠体と、コンタクト
   プローブの後端を、測定検査器に連なるコード
   に接続する接続手段とからなり、前記支持枠体
   の回路基板に対する相対移動により各コンタク
   トプローブの先端を回路基板の検査点に接触さ
   せて導通状態の測定検査を行なう検査装置であ
   つて、前記接続手段が、前記プローブユニツト
   の後側において、コンタクトプローブに直交す
   る方向に、前記支持枠体に設けた段付孔に背後
   から着脱可能に装着された保持板と、保持板の
   前面に各コンタクトプローブに対応する位置に
   設けられ、プローブユニツトの装着時に各コン
   タクトプローブの後端と接触して電気的に接続
   されるプローブ接触部と、保持板の面方向に関
   してプローブ接触部より外側で保持板に設けら
   れ、前記コードに接続されたはんだ付け部と、
   保持板に配置された前記プローブ接触部とこれ
   に対応するははんだ付け部とを相互に接続する
   導電片とから構成されていることを特徴とする
   回路基板等の検査装置。 ２ プローブ接触部が、コンタクトプローブの後
   端部が圧入または圧接される導電性通孔である
   実用新案登録請求の範囲第１項記載の回路基板
   等の検査装置。 ３ プローブ接触部が、保持板に貫通配置され先
   端がコンタクトプローブの後端に接触する端子
   チツプである実用新案登録請求の範囲第１項記
   載の回路基板等の検査装置。