JPH11121547A - ウェーハ測定治具、テストヘッド装置およびウェーハ測定装置 - Google Patents
ウェーハ測定治具、テストヘッド装置およびウェーハ測定装置Info
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- JPH11121547A JPH11121547A JP9278562A JP27856297A JPH11121547A JP H11121547 A JPH11121547 A JP H11121547A JP 9278562 A JP9278562 A JP 9278562A JP 27856297 A JP27856297 A JP 27856297A JP H11121547 A JPH11121547 A JP H11121547A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ポゴピン接触を片面だけにして、接触不良、
ポゴピン荷重を半減し、ＩＣが多ピン化しても、ピン位
置合せが容易で、荷重に対する安全性を確保できるよう
にする。 【解決手段】 プローバ２に装着するテストヘッド１に
パフォーマンスボード３を介してウェーハ８を測定する
ためのウェーハ測定用ボード４が取り付けられる。この
ウェーハ測定用ボード４はポゴピンリング５の上面に一
体的に取り付け、コネクタ接続によって電気的な接続も
予め行っている。ポゴピンリング５の下面にのみポゴピ
ン１０を設けてプローブカード６のランド部に圧接し、
この圧接によりプローブカード６とウェーハ測定用ボー
ド４とを電気的に接続する。
ポゴピン荷重を半減し、ＩＣが多ピン化しても、ピン位
置合せが容易で、荷重に対する安全性を確保できるよう
にする。 【解決手段】 プローバ２に装着するテストヘッド１に
パフォーマンスボード３を介してウェーハ８を測定する
ためのウェーハ測定用ボード４が取り付けられる。この
ウェーハ測定用ボード４はポゴピンリング５の上面に一
体的に取り付け、コネクタ接続によって電気的な接続も
予め行っている。ポゴピンリング５の下面にのみポゴピ
ン１０を設けてプローブカード６のランド部に圧接し、
この圧接によりプローブカード６とウェーハ測定用ボー
ド４とを電気的に接続する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハの測定を
可能とするウェーハ測定治具、テストヘッド装置、およ
びウェーハの良否を判定するウェーハ測定装置に係り、
特にポゴピンを使って電気的接続を圧接により行う技術
に関するものである。
可能とするウェーハ測定治具、テストヘッド装置、およ
びウェーハの良否を判定するウェーハ測定装置に係り、
特にポゴピンを使って電気的接続を圧接により行う技術
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２に従来のウェーハ測定装置を示す。
プローバ２は、その上部がプレート２ａで覆われる。プ
レート２ａの中央にはポゴピンリング５を係合する係合
孔１３が設けられ、係合孔１３に係合したポゴピンリン
グ５は係合孔１３の周囲でねじ止め固定される。
プローバ２は、その上部がプレート２ａで覆われる。プ
レート２ａの中央にはポゴピンリング５を係合する係合
孔１３が設けられ、係合孔１３に係合したポゴピンリン
グ５は係合孔１３の周囲でねじ止め固定される。
【０００３】係合孔１３にねじ止めされるポゴピンリン
グ５は、ポゴピンリング５表面にウェーハ測定用ボード
４のランド部に圧接されるポゴピン１０と、ポゴピンリ
ング５裏面にプローブカード６のランド部に圧接される
ポゴピン１０とを有する。ポゴピンリング５表面のポゴ
ピン１０にポゴピン荷重に抗してウェーハ測定用ボード
４のランド部を圧接し、かつポゴピンリング５裏面のポ
ゴピン１０にポゴピン荷重に抗してプローブカード６の
ランド部を圧接することにより、ウェーハ測定用ボード
４とプローブカード６とを電気的に接続するようになっ
ている。
グ５は、ポゴピンリング５表面にウェーハ測定用ボード
４のランド部に圧接されるポゴピン１０と、ポゴピンリ
ング５裏面にプローブカード６のランド部に圧接される
ポゴピン１０とを有する。ポゴピンリング５表面のポゴ
ピン１０にポゴピン荷重に抗してウェーハ測定用ボード
４のランド部を圧接し、かつポゴピンリング５裏面のポ
ゴピン１０にポゴピン荷重に抗してプローブカード６の
ランド部を圧接することにより、ウェーハ測定用ボード
４とプローブカード６とを電気的に接続するようになっ
ている。
【０００４】ポゴピンリング５裏面のポゴピン１０に対
するプローブカード６の圧接は、プレート２ａ裏面の係
合孔１３の周縁部に設けられた係止部１２をプローブカ
ード６に係合し、ポゴピン荷重に抗してプローブカード
６を押し上げることによって行われる。一方、ポゴピン
リング５表面のポゴピン１０に対するウェーハ測定用ボ
ード４の圧接は、テストヘッド１を下降して、パフォー
マンスボード３を介して取り付けられたウェーハ測定用
ボード４を押し下げることによって行われる。
するプローブカード６の圧接は、プレート２ａ裏面の係
合孔１３の周縁部に設けられた係止部１２をプローブカ
ード６に係合し、ポゴピン荷重に抗してプローブカード
６を押し上げることによって行われる。一方、ポゴピン
リング５表面のポゴピン１０に対するウェーハ測定用ボ
ード４の圧接は、テストヘッド１を下降して、パフォー
マンスボード３を介して取り付けられたウェーハ測定用
ボード４を押し下げることによって行われる。
【０００５】ウェーハ測定用ボードとプローブカードと
を確実に接続するには、固定されたポゴピンリング５の
表裏面のポゴピン１０、１０に対してウェーハ測定用ボ
ード４およびプローブカード６をそれぞれ高精度に位置
合せして、ウェーハ測定用ボード４およびプローブカー
ドのランド部に接触不良が生じないようにする必要があ
る。
を確実に接続するには、固定されたポゴピンリング５の
表裏面のポゴピン１０、１０に対してウェーハ測定用ボ
ード４およびプローブカード６をそれぞれ高精度に位置
合せして、ウェーハ測定用ボード４およびプローブカー
ドのランド部に接触不良が生じないようにする必要があ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ＩＣが年々、
多ピン化、高密度化するにつれて、ポゴピン数がますま
す多くなるとポゴピンとの接触不良が起きやすくなる。
ポゴピンとの接触不良の原因には、位置合せ不良の他
に、ポゴピン外部の汚れやポゴピンの内部不良などがあ
るが、これら全てがポゴピン数に依存するため、ポゴピ
ン数の増加が装置の信頼性を低下させるという問題があ
った。
多ピン化、高密度化するにつれて、ポゴピン数がますま
す多くなるとポゴピンとの接触不良が起きやすくなる。
ポゴピンとの接触不良の原因には、位置合せ不良の他
に、ポゴピン外部の汚れやポゴピンの内部不良などがあ
るが、これら全てがポゴピン数に依存するため、ポゴピ
ン数の増加が装置の信頼性を低下させるという問題があ
った。
【０００７】また、ウェーハ測定用ボードとプローブカ
ードとをポゴピンリング５の両面からポゴピン荷重に抗
して非常に大きな力でポゴピンリング５側に押し込む必
要があったので、作業性が悪く、安全性にも問題があっ
た。
ードとをポゴピンリング５の両面からポゴピン荷重に抗
して非常に大きな力でポゴピンリング５側に押し込む必
要があったので、作業性が悪く、安全性にも問題があっ
た。
【０００８】本発明の課題は、ポゴピン接触を片面のみ
ですませることによって、前述した従来技術の問題点を
解消して、ＩＣが多ピン化、高密度化しても、接触不良
を従来のものと比べて半減でき、信頼性、作業性、安全
性を向上できるウェーハ測定治具、テストヘッド装置お
よびウェーハ測定装置を提供することにある。
ですませることによって、前述した従来技術の問題点を
解消して、ＩＣが多ピン化、高密度化しても、接触不良
を従来のものと比べて半減でき、信頼性、作業性、安全
性を向上できるウェーハ測定治具、テストヘッド装置お
よびウェーハ測定装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のウェー
ハ測定治具は、プローバとテストヘッドとの間に介在し
て、前記プローバ側に保持されるウェーハに接触するプ
ローブ針を有するプローブカードと、前記ウェーハを測
定するために前記テストヘッドに支持されるウェーハ測
定用ボードとを電気的に接続するウェーハ測定治具にお
いて、表面に前記ウェーハ測定用ボードと電気的に接続
されるコネクタ端子を有し、裏面に前記プローブカード
に圧接されて前記プローブカードと電気的に接続される
ポゴピンを有するポゴピン支持体を備え、前記ウェーハ
測定用ボードを前記ポゴピン支持体の表面に一体的に取
り付けて、前記ウェーハ測定用ボードと前記ポゴピンと
を予め電気的に接続するようにしたものである。
ハ測定治具は、プローバとテストヘッドとの間に介在し
て、前記プローバ側に保持されるウェーハに接触するプ
ローブ針を有するプローブカードと、前記ウェーハを測
定するために前記テストヘッドに支持されるウェーハ測
定用ボードとを電気的に接続するウェーハ測定治具にお
いて、表面に前記ウェーハ測定用ボードと電気的に接続
されるコネクタ端子を有し、裏面に前記プローブカード
に圧接されて前記プローブカードと電気的に接続される
ポゴピンを有するポゴピン支持体を備え、前記ウェーハ
測定用ボードを前記ポゴピン支持体の表面に一体的に取
り付けて、前記ウェーハ測定用ボードと前記ポゴピンと
を予め電気的に接続するようにしたものである。
【００１０】請求項２に記載のテストヘッド装置は、プ
ローバに対して着脱自在に取り付けられるテストヘッド
と、前記テストヘッドに取り付けられ、テストヘッド内
の回路に前記プローバ側に保持されるウェーハをプロー
ブカードを介して接続するための接続端子を前記テスト
ヘッド内から導出するパフォーマンスボードと、前記パ
フォーマンスボードに取り付けられ、ウェーハを測定す
るために前記接続端子をさらに導出するとともに、前記
プローブカードと電気的に接続されるウェーハ測定用ボ
ードと、ウェーハ測定用ボードとプローブカードとの間
に介在して、表面にウェーハ測定用ボードと電気的に接
続されるコネクタ端子を有し、裏面にプローブカードに
圧接されてプローブカードと電気的に接続されるポゴピ
ンを有し、前記ウェーハ測定用ボードを前記ポゴピン支
持体の表面に一体的に取り付けて、前記ウェーハ測定用
ボードと前記ポゴピンとを予め電気的に接続するポゴピ
ン支持体とを備えたものである。
ローバに対して着脱自在に取り付けられるテストヘッド
と、前記テストヘッドに取り付けられ、テストヘッド内
の回路に前記プローバ側に保持されるウェーハをプロー
ブカードを介して接続するための接続端子を前記テスト
ヘッド内から導出するパフォーマンスボードと、前記パ
フォーマンスボードに取り付けられ、ウェーハを測定す
るために前記接続端子をさらに導出するとともに、前記
プローブカードと電気的に接続されるウェーハ測定用ボ
ードと、ウェーハ測定用ボードとプローブカードとの間
に介在して、表面にウェーハ測定用ボードと電気的に接
続されるコネクタ端子を有し、裏面にプローブカードに
圧接されてプローブカードと電気的に接続されるポゴピ
ンを有し、前記ウェーハ測定用ボードを前記ポゴピン支
持体の表面に一体的に取り付けて、前記ウェーハ測定用
ボードと前記ポゴピンとを予め電気的に接続するポゴピ
ン支持体とを備えたものである。
【００１１】請求項３に記載のウェーハ測定装置は、プ
ローバと、前記プローバ内に設けられ、ウェーハを保持
してプローブカードのプローブ針にウェーハを接触させ
るステージと、前記プローバに対して着脱自在に取り付
けられるテストヘッドと、テストヘッドに取り付けら
れ、前記テストヘッド内の回路に前記ステージに保持さ
れる前記ウェーハを接続するための接続端子を前記テス
トヘッド内から導出するパフォーマンスボードと、前記
パフォーマンスボードに取り付けられ、ウェーハを測定
するために前記接続端子をさらに導出するとともに、前
記プローブカードと電気的に接続されるウェーハ測定用
ボードとを備える。
ローバと、前記プローバ内に設けられ、ウェーハを保持
してプローブカードのプローブ針にウェーハを接触させ
るステージと、前記プローバに対して着脱自在に取り付
けられるテストヘッドと、テストヘッドに取り付けら
れ、前記テストヘッド内の回路に前記ステージに保持さ
れる前記ウェーハを接続するための接続端子を前記テス
トヘッド内から導出するパフォーマンスボードと、前記
パフォーマンスボードに取り付けられ、ウェーハを測定
するために前記接続端子をさらに導出するとともに、前
記プローブカードと電気的に接続されるウェーハ測定用
ボードとを備える。
【００１２】さらに前記ウェーハ測定用ボードとプロー
ブカードとの間に介在して、表面にウェーハ測定用ボー
ドと電気的に接続されるコネクタ端子を有し、裏面に前
記プローブカードに圧接されて前記プローブカードと電
気的に接続されるポゴピンを有し、前記ウェーハ測定用
ボードを前記ポゴピン支持体の表面に前記コネクタ端子
と前記測定用ボードとが電気的に接続されるように一体
的に取り付けて、前記ウェーハ測定用ボードと前記ポゴ
ピンとを予め電気的に接続するポゴピン支持体と、前記
ポゴピン支持体の裏面側に配置され、前記ウェーハに接
触するプローブ針を有するとともに、前記ポゴピン支持
体の裏面に設けたポゴピンに圧接されるプローブカード
と、前記プローバに設けられ、前記テストヘッドの移動
により押し下げられる前記ウェーハ測定用ボードを一体
化した前記ポゴピン支持体の、裏面に設けたポゴピンに
圧接されるプローブカードが受けるポゴピン荷重に抗し
て前記プローブカードを下方から支承する係止部とを備
えたものである。
ブカードとの間に介在して、表面にウェーハ測定用ボー
ドと電気的に接続されるコネクタ端子を有し、裏面に前
記プローブカードに圧接されて前記プローブカードと電
気的に接続されるポゴピンを有し、前記ウェーハ測定用
ボードを前記ポゴピン支持体の表面に前記コネクタ端子
と前記測定用ボードとが電気的に接続されるように一体
的に取り付けて、前記ウェーハ測定用ボードと前記ポゴ
ピンとを予め電気的に接続するポゴピン支持体と、前記
ポゴピン支持体の裏面側に配置され、前記ウェーハに接
触するプローブ針を有するとともに、前記ポゴピン支持
体の裏面に設けたポゴピンに圧接されるプローブカード
と、前記プローバに設けられ、前記テストヘッドの移動
により押し下げられる前記ウェーハ測定用ボードを一体
化した前記ポゴピン支持体の、裏面に設けたポゴピンに
圧接されるプローブカードが受けるポゴピン荷重に抗し
て前記プローブカードを下方から支承する係止部とを備
えたものである。
【００１３】本発明によれば、テストヘッドをプローバ
に装着するときは、テストヘッドでウェーハ測定用ボー
ドを一体化したポゴピン支持体をポゴピン荷重に抗して
押下げ、ポゴピンをプローブカードに圧接してウェーハ
測定用ボードとプローブカードとを電気的に接続する。
この電気的接続は、ウェーハ測定用ボードとポゴピン支
持体とが予め一体的に取り付けてあるので、裏面のポゴ
ピンをプローブカードに圧接するだけでよく、表裏の両
面でポゴピンの圧接を要していたものに比して、ピン接
触不良が半減する。また、ポゴピン支持体は、ウェーハ
測定用ボードに一体的に取り付けられて、ウェーハ測定
用ボードおよびパフォーマンスボードを介してテストヘ
ッドに支持されテストヘッドとともに移動するので、プ
ローバに固定支持する必要がなくなる。
に装着するときは、テストヘッドでウェーハ測定用ボー
ドを一体化したポゴピン支持体をポゴピン荷重に抗して
押下げ、ポゴピンをプローブカードに圧接してウェーハ
測定用ボードとプローブカードとを電気的に接続する。
この電気的接続は、ウェーハ測定用ボードとポゴピン支
持体とが予め一体的に取り付けてあるので、裏面のポゴ
ピンをプローブカードに圧接するだけでよく、表裏の両
面でポゴピンの圧接を要していたものに比して、ピン接
触不良が半減する。また、ポゴピン支持体は、ウェーハ
測定用ボードに一体的に取り付けられて、ウェーハ測定
用ボードおよびパフォーマンスボードを介してテストヘ
ッドに支持されテストヘッドとともに移動するので、プ
ローバに固定支持する必要がなくなる。
【００１４】ウェーハ測定用ボードをポゴピン支持体に
一体的に取り付ける手段は、特に限定されない。最も簡
易かつ安価なねじ止めとすることもできるが、着脱を容
易にするために公知のゼロフォース型コネクタを用いて
もよい。本発明のように、ウェーハ測定用ボードをポゴ
ピン支持体に一体的に取り付ける場合には、ポゴピン支
持体の表面にポゴピンは不要であるが、裏面と同様に表
面にもポゴピンを取り付け、このポゴピンをウェーハ測
定用ボードに圧接した状態で、ポゴピンリングとウェー
ハ測定用ボードとを固着一体化するようにしてもよい。
一体的に取り付ける手段は、特に限定されない。最も簡
易かつ安価なねじ止めとすることもできるが、着脱を容
易にするために公知のゼロフォース型コネクタを用いて
もよい。本発明のように、ウェーハ測定用ボードをポゴ
ピン支持体に一体的に取り付ける場合には、ポゴピン支
持体の表面にポゴピンは不要であるが、裏面と同様に表
面にもポゴピンを取り付け、このポゴピンをウェーハ測
定用ボードに圧接した状態で、ポゴピンリングとウェー
ハ測定用ボードとを固着一体化するようにしてもよい。
【００１５】一方、テストヘッドをプローバから離脱す
るときは、ウェーハ測定用ボードとポゴピン支持体が一
体化されているので、ウェーハ測定用ボードおよびパフ
ォーマンスボードのみならず、ポゴピン支持体もテスト
ヘッドと一緒にプローバから離脱でき、ポゴピン支持体
の着脱が容易になる。
るときは、ウェーハ測定用ボードとポゴピン支持体が一
体化されているので、ウェーハ測定用ボードおよびパフ
ォーマンスボードのみならず、ポゴピン支持体もテスト
ヘッドと一緒にプローバから離脱でき、ポゴピン支持体
の着脱が容易になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を説明
する。図１にウェーハ測定装置の概略構成図を示す。ウ
ェーハ測定装置は、ウェーハ８の電気的試験を行うプロ
ーバ２と、プローバ２に装着されて電気的試験の良否を
判定するテストヘッド装置２２とから構成される。テス
トヘッド装置２２は、さらにテストヘッド１とウェーハ
測定治具２１とから構成され、ウェーハ測定治具２１は
パフォーマンスボード３、ウェーハ測定用ボード４、ポ
ゴピンリング５から構成される。
する。図１にウェーハ測定装置の概略構成図を示す。ウ
ェーハ測定装置は、ウェーハ８の電気的試験を行うプロ
ーバ２と、プローバ２に装着されて電気的試験の良否を
判定するテストヘッド装置２２とから構成される。テス
トヘッド装置２２は、さらにテストヘッド１とウェーハ
測定治具２１とから構成され、ウェーハ測定治具２１は
パフォーマンスボード３、ウェーハ測定用ボード４、ポ
ゴピンリング５から構成される。
【００１７】プローバ２は、その上部がプレート２ａで
覆われる。プレート２ａの中央には挿入孔２３が設けら
れ、ポゴピン支持体としてのポゴピンリング５を挿入で
きるようになっている。
覆われる。プレート２ａの中央には挿入孔２３が設けら
れ、ポゴピン支持体としてのポゴピンリング５を挿入で
きるようになっている。
【００１８】プレート２ａに設けた挿入孔２３に対応し
たプローバ２の内部には、ウェーハ８を保持、加熱する
ステージ９が移動自在に設けられ、そのステージ９上に
保持されたウェーハ８の電極パッドに、係止部１２に係
止されるプローブカード６の導電性プローブ針７を接触
させるようになっている。
たプローバ２の内部には、ウェーハ８を保持、加熱する
ステージ９が移動自在に設けられ、そのステージ９上に
保持されたウェーハ８の電極パッドに、係止部１２に係
止されるプローブカード６の導電性プローブ針７を接触
させるようになっている。
【００１９】プローブカード６を係止するための係止部
１２は、プレート２ａ裏面の挿入孔２３の周縁部に設け
られ、ポゴピンリング５により上から押し付けられるプ
ローブカード６を下部から支承するようになっている。
１２は、プレート２ａ裏面の挿入孔２３の周縁部に設け
られ、ポゴピンリング５により上から押し付けられるプ
ローブカード６を下部から支承するようになっている。
【００２０】テストヘッド１は、昇降自在（矢印Ａ方
向）または回転自在（矢印Ｂ方向）に設けられ、プロー
バ２に対して着脱できるようになっている。このテスト
ヘッド１は、ウェーハ８に印加する電源、ウェーハ８へ
の信号出力部及びウェーハ８からの信号入力部などを備
え、プローブカード６のプローブ針７を介してウェーハ
８と接続されてウェーハ８の評価を行う。テストヘッド
１側には、プローバ２と対向する面にテストヘッド１内
の各種の測定回路にウェーハ８を接続するための複数の
接続端子（図示略）をテストヘッド１から導出するパフ
ォーマンスボード３と、パフォーマンスボード３に複数
の支柱１１を介して機械的に連結されるとともに、リー
ド線１６により前記複数の接続端子をさらに導出するウ
ェーハ測定用ボード４とが、ネジなどの手段により着脱
自在に取り付けられている。ウェーハ測定用ボード４
は、汎用性のあるパフォーマンスボード３に対して被測
定ウェーハの種類に合せた専用ボードである。
向）または回転自在（矢印Ｂ方向）に設けられ、プロー
バ２に対して着脱できるようになっている。このテスト
ヘッド１は、ウェーハ８に印加する電源、ウェーハ８へ
の信号出力部及びウェーハ８からの信号入力部などを備
え、プローブカード６のプローブ針７を介してウェーハ
８と接続されてウェーハ８の評価を行う。テストヘッド
１側には、プローバ２と対向する面にテストヘッド１内
の各種の測定回路にウェーハ８を接続するための複数の
接続端子（図示略）をテストヘッド１から導出するパフ
ォーマンスボード３と、パフォーマンスボード３に複数
の支柱１１を介して機械的に連結されるとともに、リー
ド線１６により前記複数の接続端子をさらに導出するウ
ェーハ測定用ボード４とが、ネジなどの手段により着脱
自在に取り付けられている。ウェーハ測定用ボード４
は、汎用性のあるパフォーマンスボード３に対して被測
定ウェーハの種類に合せた専用ボードである。
【００２１】前記ウェーハ測定用ボード４はポゴピンリ
ング５に一体的に取り付けられて、ウェーハ測定用ボー
ド４の接続端子とポゴピンリング５のポゴピン１０とが
予め電気的に接続されるようになっている。
ング５に一体的に取り付けられて、ウェーハ測定用ボー
ド４の接続端子とポゴピンリング５のポゴピン１０とが
予め電気的に接続されるようになっている。
【００２２】ウェーハ測定用ボード４に一体的に取り付
けられたポゴピンリング５は、ウェーハ監視用の孔が開
いたリング状をしており、ポゴピンリング５表面にウェ
ーハ測定用ボード４の接続端子と接続されるコネクタ端
子（図示略）と、ポゴピンリング５裏面にプローブカー
ド６のランド部に圧接されるポゴピン１０とを有する。
けられたポゴピンリング５は、ウェーハ監視用の孔が開
いたリング状をしており、ポゴピンリング５表面にウェ
ーハ測定用ボード４の接続端子と接続されるコネクタ端
子（図示略）と、ポゴピンリング５裏面にプローブカー
ド６のランド部に圧接されるポゴピン１０とを有する。
【００２３】ポゴピンリング５のウェーハ測定用ボード
４への取付け手段はねじ止めでよく、接続端子とコネク
タ端子の電気的接続は通常のコネクタ接続で行う。ま
た、ポゴピンリング５裏面のポゴピン１０にポゴピン荷
重に抗してプローブカード６のランド部を圧接すること
により、ウェーハ測定用ボード４とプローブカード６と
を電気的に接続するようになっている。プローブカード
６の圧接は、テストヘッド１を降下させてポゴピンリン
グ５を押し下げることにより行う。
４への取付け手段はねじ止めでよく、接続端子とコネク
タ端子の電気的接続は通常のコネクタ接続で行う。ま
た、ポゴピンリング５裏面のポゴピン１０にポゴピン荷
重に抗してプローブカード６のランド部を圧接すること
により、ウェーハ測定用ボード４とプローブカード６と
を電気的に接続するようになっている。プローブカード
６の圧接は、テストヘッド１を降下させてポゴピンリン
グ５を押し下げることにより行う。
【００２４】このようにポゴピンリング５の表面にはポ
ゴピンを使用せず、ポゴピン１０によるバネ接触はポゴ
ピンリング５裏面側に配置されるプローブカード６だけ
としている。
ゴピンを使用せず、ポゴピン１０によるバネ接触はポゴ
ピンリング５裏面側に配置されるプローブカード６だけ
としている。
【００２５】次に、上記のような構成における作用を説
明する。
明する。
【００２６】プローバ２の上部を覆うプレート２ａに設
けた係止部１２でプローブカード６を定位置に支承す
る。そのうえで、テストヘッド１をプローバ２に装着す
るために、パフォーマンスボード３およびポゴピンリン
グ５を一体的に取り付けたウェーハ測定用ボード４の取
付面を下に向けてテストヘッド１をプローバ２に向かっ
て上から降下するか、または回転する。
けた係止部１２でプローブカード６を定位置に支承す
る。そのうえで、テストヘッド１をプローバ２に装着す
るために、パフォーマンスボード３およびポゴピンリン
グ５を一体的に取り付けたウェーハ測定用ボード４の取
付面を下に向けてテストヘッド１をプローバ２に向かっ
て上から降下するか、または回転する。
【００２７】テストヘッド１を正確に位置決めして押し
下げ、テストヘッド１の下部に取り付けられたポゴピン
リング５の裏面のポゴピン１０を、係止部１２に支承さ
れたプローブカード６のランド部に圧接する。この圧接
によってウェーハ測定用ボード４とプローブカード６と
の間が電気的に接続される。接続後、ウェーハ８を保持
したステージ９を迫り上げて、ポゴピンリング５と係止
部１２との間に拘束されたプローブカード６のプローブ
針７に接触させ、テストヘッド１によるウェーハ８の測
定を行う。
下げ、テストヘッド１の下部に取り付けられたポゴピン
リング５の裏面のポゴピン１０を、係止部１２に支承さ
れたプローブカード６のランド部に圧接する。この圧接
によってウェーハ測定用ボード４とプローブカード６と
の間が電気的に接続される。接続後、ウェーハ８を保持
したステージ９を迫り上げて、ポゴピンリング５と係止
部１２との間に拘束されたプローブカード６のプローブ
針７に接触させ、テストヘッド１によるウェーハ８の測
定を行う。
【００２８】ウェーハ測定終了時、またはウェーハ測定
用ボード４、パフォーマンスボード３、またはテストヘ
ッド１の回路基板のメンテナンス等のために、テストヘ
ッド１をプローバ２から離脱させる場合は、テストヘッ
ド１を矢印方向Ａに上昇、または矢印方向Ｂに回転し
て、ポゴピンリング５、ウェーハ測定用ボード４、パフ
ォーマンスボード３ごとテストヘッド１をプローバ２か
ら離脱させる。
用ボード４、パフォーマンスボード３、またはテストヘ
ッド１の回路基板のメンテナンス等のために、テストヘ
ッド１をプローバ２から離脱させる場合は、テストヘッ
ド１を矢印方向Ａに上昇、または矢印方向Ｂに回転し
て、ポゴピンリング５、ウェーハ測定用ボード４、パフ
ォーマンスボード３ごとテストヘッド１をプローバ２か
ら離脱させる。
【００２９】このように本実施形態では、ウェーハ測定
用ボード４をポゴピンリング５と一体化して、ポゴピン
リング５の上面側のポゴピン接触をなくし、ポゴピン接
触は下面側でのプローブカード６間でのみ行うようにし
たので、ピン接触不良が半減する。またポゴピン１０は
プローブカード６のランド部と位置合せをするだけで済
むので、ポゴピン合せ作業に要する時間も、大きなポゴ
ピン荷重による危険も半分で済む。
用ボード４をポゴピンリング５と一体化して、ポゴピン
リング５の上面側のポゴピン接触をなくし、ポゴピン接
触は下面側でのプローブカード６間でのみ行うようにし
たので、ピン接触不良が半減する。またポゴピン１０は
プローブカード６のランド部と位置合せをするだけで済
むので、ポゴピン合せ作業に要する時間も、大きなポゴ
ピン荷重による危険も半分で済む。
【００３０】なお、実施形態で測定対象をウェーハとし
たが、これにはガラス基板も含まれる。また、ウェーハ
測定用ボードをポゴピンリングに一体化して、ポゴピン
リングとプローブカードとの間をポゴピン接触とした
が、これとは反対にプローブカードをポゴピンリングに
一体化して、ウェーハ測定用ボードとポゴピンリングと
の間をポゴピン接触とすることも可能である。
たが、これにはガラス基板も含まれる。また、ウェーハ
測定用ボードをポゴピンリングに一体化して、ポゴピン
リングとプローブカードとの間をポゴピン接触とした
が、これとは反対にプローブカードをポゴピンリングに
一体化して、ウェーハ測定用ボードとポゴピンリングと
の間をポゴピン接触とすることも可能である。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、ウェーハ測定用ボード
をポゴピン支持体に一体的に取り付けるようにしたの
で、ウェーハ測定用ボードとポゴピン支持体とが別体
で、ポゴピンにより圧接接続される従来のものと異な
り、両者間の接触不良をなくすことができ信頼性を向上
できる。また、ポゴピン支持体のポゴピンをプローブカ
ードに圧接するだけでよいので、ポゴピン荷重を半減で
き、作業性および安全性を向上できる。
をポゴピン支持体に一体的に取り付けるようにしたの
で、ウェーハ測定用ボードとポゴピン支持体とが別体
で、ポゴピンにより圧接接続される従来のものと異な
り、両者間の接触不良をなくすことができ信頼性を向上
できる。また、ポゴピン支持体のポゴピンをプローブカ
ードに圧接するだけでよいので、ポゴピン荷重を半減で
き、作業性および安全性を向上できる。
【図１】実施形態によるウェーハ測定装置の概略構成
図。
図。
【図２】従来例のウェーハ測定装置の概略構成図。
１ テストヘッド ２ プローバ ３ パフォーマンスボード ４ ウェーハ測定用ボード ５ ポゴピンリング（ポゴピン支持体） ６ プローブカード ７ プローブ針 ８ ウェーハ ９ ステージ １０ ポゴピン １２ 係止部 ２１ ウェーハ測定治具 ２２ テストヘッド装置
Claims (3)
- 【請求項１】プローバとテストヘッドとの間に介在し
て、前記プローバ側に保持されるウェーハに接触するプ
ローブ針を有するプローブカードと、前記ウェーハを測
定するために前記テストヘッドに支持されるウェーハ測
定用ボードとを電気的に接続するウェーハ測定治具にお
いて、 表面に前記ウェーハ測定用ボードと電気的に接続される
コネクタ端子を有し、裏面に前記プローブカードに圧接
されて前記プローブカードと電気的に接続されるポゴピ
ンを有するポゴピン支持体を備え、 前記ウェーハ測定用ボードを前記ポゴピン支持体の表面
に一体的に取り付けて、前記ウェーハ測定用ボードと前
記ポゴピンとを予め電気的に接続するようにしたウェー
ハ測定治具。 - 【請求項２】プローバに対して着脱自在に取り付けられ
るテストヘッドと、 前記テストヘッドに取り付けられ、テストヘッド内の回
路に前記プローバ側に保持されるウェーハをプローブカ
ードを介して接続するための接続端子を前記テストヘッ
ド内から導出するパフォーマンスボードと、 前記パフォーマンスボードに取り付けられ、ウェーハを
測定するために前記接続端子をさらに導出するととも
に、前記プローブカードと電気的に接続されるウェーハ
測定用ボードと、 前記ウェーハ測定用ボードとプローブカードとの間に介
在して、表面にウェーハ測定用ボードと電気的に接続さ
れるコネクタ端子を有し、裏面に前記プローブカードに
圧接されてプローブカードと電気的に接続されるポゴピ
ンを有し、前記ウェーハ測定用ボードを前記ポゴピン支
持体の表面に一体的に取り付けて、前記ウェーハ測定用
ボードと前記ポゴピンとを予め電気的に接続するポゴピ
ン支持体とを備えたテストヘッド装置。 - 【請求項３】プローバと、 前記プローバ内に設けられ、ウェーハを保持してプロー
ブカードのプローブ針にウェーハを接触させるステージ
と、 前記プローバに対して着脱自在に取り付けられるテスト
ヘッドと、 前記テストヘッドに取り付けられ、前記テストヘッド内
の回路に前記ステージに保持される前記ウェーハを接続
するための接続端子を前記テストヘッド内から導出する
パフォーマンスボードと、 前記パフォーマンスボードに取り付けられ、ウェーハを
測定するために前記接続端子をさらに導出するととも
に、前記プローブカードと電気的に接続されるウェーハ
測定用ボードと、 前記ウェーハ測定用ボードとプローブカードとの間に介
在して、表面にウェーハ測定用ボードと電気的に接続さ
れるコネクタ端子を有し、裏面に前記プローブカードに
圧接されて前記プローブカードと電気的に接続されるポ
ゴピンを有し、前記ウェーハ測定用ボードを前記ポゴピ
ン支持体の表面に前記コネクタ端子と前記測定用ボード
とが電気的に接続されるように一体的に取り付けて、前
記ウェーハ測定用ボードと前記ポゴピンとを予め電気的
に接続するポゴピン支持体と、 前記ポゴピン支持体の裏面側に配置され、前記ウェーハ
に接触するプローブ針を有するとともに、前記ポゴピン
支持体の裏面に設けたポゴピンに圧接されるプローブカ
ードと、 前記プローバに設けられ、前記テストヘッドの移動によ
り押し下げられる前記ウェーハ測定用ボードを一体化し
た前記ポゴピン支持体の、裏面に設けたポゴピンに圧接
されるプローブカードが受けるポゴピン荷重に抗して前
記プローブカードを下方から支承する係止部とを備えた
ウェーハ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27856297A JP3224519B2 (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | ウェーハ測定治具、テストヘッド装置およびウェーハ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27856297A JP3224519B2 (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | ウェーハ測定治具、テストヘッド装置およびウェーハ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11121547A true JPH11121547A (ja) | 1999-04-30 |
| JP3224519B2 JP3224519B2 (ja) | 2001-10-29 |
Family
ID=17599002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27856297A Expired - Fee Related JP3224519B2 (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | ウェーハ測定治具、テストヘッド装置およびウェーハ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3224519B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030001283A (ko) * | 2001-06-22 | 2003-01-06 | 히다치 맥셀 가부시키가이샤 | 반도체검사장치 |
| KR100572314B1 (ko) * | 1999-09-20 | 2006-04-19 | 삼성전자주식회사 | 반도체 테스터의 수직결합형 퍼포먼스 보드 |
| JP2015185729A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | セイコーインスツル株式会社 | 半導体検査装置 |
| KR102047665B1 (ko) * | 2018-09-19 | 2019-11-22 | (주)티에스이 | 프로브 카드 및 이를 포함하는 테스트 장치 |
-
1997
- 1997-10-13 JP JP27856297A patent/JP3224519B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100572314B1 (ko) * | 1999-09-20 | 2006-04-19 | 삼성전자주식회사 | 반도체 테스터의 수직결합형 퍼포먼스 보드 |
| KR20030001283A (ko) * | 2001-06-22 | 2003-01-06 | 히다치 맥셀 가부시키가이샤 | 반도체검사장치 |
| JP2015185729A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | セイコーインスツル株式会社 | 半導体検査装置 |
| KR102047665B1 (ko) * | 2018-09-19 | 2019-11-22 | (주)티에스이 | 프로브 카드 및 이를 포함하는 테스트 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3224519B2 (ja) | 2001-10-29 |
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