JPH0221268A - 接触形電気的検査用プローバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 見匪火且孜 （産業上の利用分野） 本発明は、ウェハ上の半導体素子などの被測定デバイス
の電気的特性を測定・検査する接触形電気的検査用プロ
ーバに関し、特に、プローブ端子の配列が異なるプロー
ブカードに対応し得る着脱可能なカードソケノ１〜を具
えた接触形電気的検査用プローバに関するものである。

（従来の技術） 従来、ウェハ」−の半導体素子などの被４１ｑ定デバイ
スの電λ的特性を測定・検査する接触形電気的検査用ブ
ローバにｔ９いて、プローブカード４０は、プローブ針
４Ｌの変形・破損、測定する被８１１１定デバイスのＪ
＋ｌｉ類に適合したプローブ基盤に交換する必要性など
を考慮して、第３図に示すように、図示しない被８１１
１定デバイスの電極パッドに接触させるプローブ針４１
を有するプローブカード本体４２とプローブ針のビン数
等に合オ〕せた所定の回路基盤４；３を配設したカード
ソケット４４とで構成され、プローブカード本体４２の
雄コネクタ４５とカードソケット４４の雌コネクタ４６
とを係合して電気接続していた。

この場合、特に図示しないが、被８（１定デバイスであ
る半導体素子等のピン数［こ合わせて、　Ｆｌｉｉ記プ
ローバをある程度分解してカードソケット４４を外し、
更にこのプローブカード本体４４にビス等で固定したプ
ローブカード本体４２を外して両者とも交換する必要が
あった。

なお、カードソケット４４は図示しない手段によりブロ
ーμのテストヘッドと機械的、電気的に接続され、前記
ブローμに組み込まれているものである。

（従来技術の課題） しかしながら、上記従来の接触形電気的ブローバにおけ
るプローブカード本体４２及び該プローブカードを装着
するカードソケット４４は、いずれも、その被測定デバ
イスの電極数（ピン数）、電極位置の相違に対応した各
種類語の専用品であり、例えば、電極数の異なる２種類
以上のウェハチップを６１１定する場合には、チップの
電極数に対応するプローブ針を有するプローブカード本
体４２のみを交換しただけでは足りず、同時にその種類
に適合した回路基盤を有するカードソケット４４もその
都度−々交換する必要がある。しかも、その交換に際し
ては、ブローμをある程度分解せざるを得ない。これで
は、交換に時間がかかると共に交換ミスによる故障等も
生じ易く、又、部品点数も多くなって作業能率の而で極
めて非経済的であるという課題がある。特に、最近の被
ｉ１＋１１定デバイスの多品種化の状況を考えると、こ
れらの欠点は極めて深剣な課題である。

このため、プローブカードの交換を自動で行う自動交換
ブローμも提案されているが、該自動交換ブローμには
、精度の高い高価な位置決め装置ｉｔが必要であり１機
械が大型化・複雑化し、かつ高価になりすぎるという課
題がある。

本発明は、１；述の課題に鑑みなされたもので、精度の
高い位置決め機構を要することなく、簡易に多品種のブ
ローフカ−１くを交換できる接触形電−（的検査用ブロ
ーハを提供することを［１的とする。

幻すｊ　（ｈ　４１１ＩＩｔ％ （課題を解決するための手段） 本発明は、」−述の課題を解決するため、被４１す定休
にプローブ端子を接触させてテスタにより検査するブロ
ーμにおいて、上記プローブ端子を複数個一体にしたプ
ローブカードと、このプローブカードおよび上記テスタ
間で電気的接続を着脱可能構成されたカードソケットと
、このカードソケットの電気的接続の着脱可能機構を上
記プローブ端子の配列が異なるプローブカードにも対応
可能にする手段とを具備してなるよう４９ｈ戊した。

（作用） 例えば、被測定デバイスであるウェハチップの電極数が
異なった少なくとも２種の被測定デバイスを検査・測定
する場合でも、本発明によれば、必要に応じて簡単にプ
ローブカード本体のみを差替交換するだけで、夫々の被
測定デバイスを検査・８１す定できる。この場合、カー
ドソケットには、既に少なくとも２種のプローブカード
本体が共に有効に機能するように、プローブ端子の配列
が異なるプローブカードにも対応可能にする手段、例え
ば変換回路基盤が配設されているので、格別な切替操作
は必要ない。

（実施例） 以下に、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、本発明の接触形電気的検査用プローバの一実
施例における１６０ピン・１２０ピン両用のカードソケ
ット１と、夫々１６０ピン用及び１２０ピン用のプロー
ブ針３を有するプローブカード本体２ａ、２ｂとの接続
例を示す縦断面図、第２図は同上のカードソケット１の
概略説明図である。なお、プローブ端子は通常の構成か
らなるので、特に図示しない。

図中１は、図示しない被測定デバイスと測定器（テスタ
）とを電気的に接続しプローブカードの一部を構成し、
プローブカードを着脱可能に接続するよう構成されたカ
ードソケット、２は所定数のプローブ針３を有し該カー
ドソケット１に着脱可能に接続される円形のプローブカ
ード本体である。

上記カードソケット１には、第２図に示すように、１６
０ピン・１２０ピンのいずれにも対応し得るように、外
側部分１ａに１６０ピン用ピン接続端子４，４・・が設
けられると共に、該ピン接続端子４のうちの３／４の端
子を内側の１２０ピン用ピン接続端子５，５・・に接続
配線するよう基盤が配設されている。また、これらカー
ドソケット１及びプローブカード本体２の中央部にはい
ずれも被測定デバイスを上方から顕微鏡、ＴＶカメラな
どで覗くことが可能な如く、貫通孔が設けられており、
この貫通孔側縁に沿って、プローブ針３が貫通孔３の中
心からみて放射状に多数植設されている。

このような本実施例に係るカードソケット１は、どちら
のピン数のプローブカード本体２（２ａ又は２ｂ）を使
用しても、測定・検査に支障がなく端子の配列が異なる
プローブカードにも対応可能なように構成されている。

即ち、１６０ピン用プロ一ブカード本体２ａを装着して
検査・測定する場合には、外周側のピン接続端子４に接
続され、又、１２０ピン用プロ一ブカード本体２ｂを装
着して検査・測定する場合には、内周側のピン接続端子
５を介してこれと接続している外側のピン接続端子４ａ
（本例では１６０ピン・１２０ピン交換のため外側のピ
ン接続端子４の３７４）に接続され、各端子に接続され
る図示しない所定の周辺回路を介して信号の授受がなさ
れる。

本実施例では、第１図に示すように、上述のように構成
されたカードソケット１とプローブカード本体２ａ又は
２ｂとの接続は、カードソケット１に形成した接続導通
孔６に、プローブカード本体２ａ又は２ｂに形成した各
ターミナルピン７を挿入することにより行っている。こ
の場合、第１図に示す本例のように、結合具合を安定さ
せる等のため、小径の１２０ピン用プロ一ブカード本体
２ｂのターミナルピン７にはスペーサリング８を介在さ
せたり、又、重量があって大径の１６０ピン用プロ一ブ
カード本体２ａとカードソケット１の結合には、複数個
所をボルト９で止めるなどの手段を併用してもよい。こ
の結合手段は、単なる一例であって、本例の導通孔をプ
ローブカード本体にターミナルピンをカードソケットに
夫々逆に１没けたり１例えばランドとポゴピンを用いた
り、その他の機械的係合手段、電気的接続手段によって
も差し支えなく、更に別の補強手段、雑音排除手段等を
とることも可能である。

なお、上記実施例では、１６０ピン用プロ一ブカード本
体と１２０ピン用プロ一ブカード本体とを例にとって説
明したが、本発明の接触形電気的検査用プローバにおけ
る交換可能なプローブカード本体のピン数に特に制限は
ない。

次に、本実施例の作用について説明する。例えば、１６
０ピンの電極数と１２０ピンの電極数をもつ２種のウェ
ハチップを検査・測定する場合でも、本実施例によれば
、必要に応じて簡単にプローブカード本体２ａ、２ｂの
みを差替交換するだけで、夫々のウェハチップを検査・
測定できる。

この場合、カードソケット１には、既に２つのプローブ
カード本体２ａ及び２ｂのいずれを接続してもそのまま
機能するように接続端子４，５及び図示しない所定の回
路基盤が配設されているので、格別な切替操作は必要な
い。

なお、１６０ピン用プロ一ブカード本体２ａの取外し・
取付けには、本実施例の場合、ボルトが必要であるが、
１２０ピン用プロ一ブカード本体２ｂの場合には取付具
は必要でない。

ｌ匪魚塾末 以上説明した本発明によれば、ウェハ上の半導体素子な
どの被４１す定デバイスの電気的特性を測定・検査する
接触形電気的検査用プローバに関し、少なくとも２種の
被測定デバイスの電極ピン数に対応してプローブカード
を簡易・迅速に交換して測定・検査することができ、電
極ピン数が変化してもカードソケットを一々交換する必
要がなく、プローバを分解する必要もない。従って、プ
ローブ針交換にはさほどの時間がかからず、交換ミスに
よる故障等も全く生じない。しかも１部品点数も少なく
なって極めて経済的である。特に、最近の被ａｌｌｌ定
デバイスの多品種化の状況にも十分に対応した検査・？
１１１１定が可能である１等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の接触形電気的検査用プローバの一実
施例における１６０ピン・１２０ピン両用のカードソケ
ットと夫々１６０ピン用及び１２０ピン用のプローブ針
を有するプローブカード本体との接続例を示す縦断面図
、第２図は同上のカードソケットを縮小した概略平面図
であり、第３図は従来のプローバにおけるプローブカー
ドを構成するプローブカード本体とカードソケットの一
例を示す斜視説明図である。 １・・・カードソケット ２・・・プローブカード本体 ２ａ・・・１６０ピン用プロ一ブカード本体２ｂ・・・
１２０ピン用プロ一ブカード本体３・・・プローブ針 ４・・・１６０ピン用ピン接続端子 ５・・・１２０ピン用ピン接続端子 ６・・・接続導通孔 ７・・・ターミナルピン 特　許　出　願　人　東京エレクトロン株式会社第

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被測定体にプローブ端子を接触させてテスタにより検査
   するプローバにおいて、上記プローブ端子を複数個一体
   にしたプローブカードと、このプローブカードおよび上
   記テスタ間で電気的接続を着脱可能構成されたカードソ
   ケットと、このカードソケットの電気的接続の着脱可能
   機構を上記プローブ端子の配列が異なるプローブカード
   にも対応可能にする手段とを具備してなることを特徴と
   する接触形電気的検査用プローバ。