KR100246320B1 - 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드 - Google Patents

반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드(Probe Card)에 관한 것으로, 종래 기술에 의한 프로브 카드는 다수개의 탐침 중 하나의 탐침이 마모되거나 파손되어도 수리가 불가능하게 상기 프로브 카드를 버리고 다시 제작하여야 하기 때문에 많은 비용이 소요되게 되는 문제점을 초래하였다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 아래 도면에 도시된 바와같이, 중심부에 소정의 크기를 갖는 삽입홀이 있는 몸체가 형성되어 있고, 그 몸체에는 반도체 웨이퍼 검사용 기기의 접속단자와 접속하는 다수개의 테스터 접속단자가 설치되며, 상기 테스터접속단자와 연결되어 통전될 수 있도록 상기 삽입홀면에 설치된 연결단자가 설치되어 있는 테스터접속부와; 상기 테스터접속부의 삽입홀에 삽입하여 그 삽입홀면에 설치된 연결단자와 탄력적으로 연결되어 통전될 수 있는 탄성단자가 설치되고, 그 탄성단자와 연결되어 상기 반도체 웨이퍼의디바이스의 패드와 통전될 수 있도록 접속되는 탐침이 설치되어 있는 탐침설치부로 구성된 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드로서, 상기 프로브 카드의 다수개의 탐침 중 하나의 탐침이 마모되거나 파손되어도 상기 탐침설치부만 교환하게 되면 간단하게 수리가 될 뿐만 아니라, 또 상기 프로브 카드 전체를 제작하지 않고 상기 탐침설치부만 제작하여도 되기 때문에 상기 프로브 카드의 제작 비용을 절감할 수 있게 되는 효과가 있다.?/p>

Description

반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드
본 발명은 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드(Probe Card)에 관한 것으로, 특히 반도체 웨이퍼에 형성된 디바이스의 패드와 접촉되는 탑칩과 상기 반도체 웨이퍼를 검사하는 장비와 접속되는 테스터 접속단자를 분리할수 있도록 형성하여 상기프로브 카드의 수리를 용이하게 함과 아울러 제작비용을 절감할 수 있도록 한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드에 관한것이다.
종래 기술에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드(Probe Card)(1)는 제1도과 제2도에 도시된 바와 같이, 소정의 두께를갖는 원형의 피시비(PCB) 몸체(2)의 중앙부에 소정의 크기를 갖는 사각형상의 홀(3)이 형성되고, 그 홀(3)에 상기 반도체웨이퍼(미도시)상에 형성된 디바이스의 패드(미도시)와 접촉되는 탐침(4)이 다수개 배열 설치되며, 그 탐침(4)의 일단부즉, 상기 디바이스의 패드와 접촉되는 부위는 소정의 각으로 절곡되어 있다.
그리고, 상기 탐침(4)의 다른 일단부는 상기 피시비몸체(2)에 설치되어 상기 반도체 웨이퍼의 검사용 기기의 접속단자에접속하는 테스터 접속단자(5)와 연결되는 프로브 카드 접속단자(6)와 납땜에 의하여 연결되어 있고, 또 상기 탐침(4)은 배열된 위치가 외부의 힘에 의하여 변하지 않도록 상기 피시비몸체(2)에 에폭시수지(7)에 의하여 고정되어 있다.
상기와 같이 구성된 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드(1)는 먼저, 검사하고자 하는 반도체 웨이퍼에 형성된 디바이스의 패드에 상기 프로브 카드(1)의 탐침(4)을 접촉시키고, 상기 탐침(4)과 납땜에 의하여 연결된 프로브 카드접속단자(6)와연결된 상기 반도체 웨이퍼 검사용 기기의 접속단자와 접속하는 테스터 접속단자(5)에 그 반도체 웨이퍼의 검사용 기기의 단자와 연결하므로써, 상기 반도체 웨이퍼상에 형성된 디바이스의 전기적인 상태를 검사하게 되는 것이다.
그러나, 상기와 같이 구성된 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드는 상기 프로브 카드의 다수개의 탐침 중 하나의 탐침이 마모되거나 파손되어도 수리가 불가능하여 상기 프로브 카드를 버리고 다시 제작하여야 하기 때문에 많은 비용이 소요되게 되는 문제점을 초래하였다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기의 문제점을 해결하여 수리를 용이하게 함과 아울러 제작비용을 절감할 수 있는 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드를 제공함에 있다.
제1도는 종래 기술에 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 구조를 보인 배면도.
제2도는 종래 기술에 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 구조를 보인 단면도.
제3도는 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 구조를 보인 평면도.
제4(a)도는 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 테스터 접속부의 구조를 보인 사시도.
제4(b)도는 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 테스터 접속부의 구조를 보인 단면도.
제5(a)도는 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 탐침설치부의 구조를 보인 사시도.
제5(b)도는 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 탐침설치부의 구조를 보인 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 프로브 카드 12 : 테스터접속부
12a : 테스터접속부 몸체 12b : 삽입홀
12c : 삽입홀 12d : 연결단자
13 : 탐침설치부 13a : 탐침설치부 몸체
13b : 탐침 13C : 탄성단자
본 발명의 목적은 중심부에 소정의 크기를 갖는 삽입홀이 있는 몸체와, 상기 몸체의 상면에 설치된 다수 개의 테스터접속단자와, 상기 테스터접속단자와 연결되어 통전될 수 있도록 상기 삽입홀 내주면에 설치된 연결단자를 가지는 테스터 접속부와; 상기 테스터 접속부의 삽입홀에 삽입되는 몸체와, 상기 몸체의 외주면에 설치되어 상기 삽입홀에 설치된 연결단자와 탄력적으로 접촉되어 통전 될 수 있도록 접속되는 탐침을 가지는 탑침설치부로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드에 의하여 달성된다.
다음은, 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 일실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.
제3도는 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 구조를 보인 평면도이고, 제4(a)도는 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 테스터 접속부의 구조를 보인 사시도이며, 제4(b)도는 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 테스터 접속부의 구조를 보인 단면도이다.
그리고, 제5(a)도는 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 탐침설치부의 구조를 보인 사시도이고, 제5(b)도는본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드의 탐침설치부의 구조를 보인 단면도이다.
상기 제3도에 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드(11)는, 반도체 웨이퍼 검사용 기기의 접속단자(미도시)와 접속하는 다수개의 테스터 접속단자(12b)가 설치되어 있는 원형의 테스터 접속단자(12)가 형성되어 있고, 그 테스터 접속단자(12)의 중심부에는 소정의 크기를 갖는 삽입홀(12c)이 형성되어 있으며, 그 삽입홀(12c)에는 상기 반도체 웨이퍼의 디바이스의 패드(미도시)와 전기적으로 통전될 수 있도록 접속되는 탐침(13b)이 설치되어 있는 탐침설치부(13)가 삽입결합되어 있다.
상기 테스터 접속단자(12)는 상기 제4(a)도와 제4(b)도에 도시된 바와 같이 중심부에 원형의 삽입홀(12c)이 형성된 몸체(12a)의 상부면에 상기 반도체 웨이퍼를 검사하는 검사 기기의 접속단자와 접속되는 테스터 접속단자(12b)가 설치되어 있고, 그 테스터 접속단자(12b)는 상기 삽입홀(12c)의 측면에 설치된 연결단자(12d)와 연결되어 있으며, 또 상기 삽입홀(12c)의 내주면에는 상기 탐침설치부(13)를 삽입체결할 수 있도록 나사가 형성되어 있다.
그리고, 상기 탐침설치부(13)는 상기 제5(a)도 와 제5(b)도에 도시된 바와 같이 상기 테스터 접속부(12)의 몸체의 중심부에 형성된삽입홀(12c)에 체결할 수 있도록 외측면에 나사가 형성된 실린더형의 몸체(13a)를 갖고, 그 몸체의 외측면에는 상기 삽입홀(12c)에 설치된 연결단자(12d)에 탄력적으로 연결될 수 있는 탄성단자(13c)가 설치되어 있으며, 또 상기 몸체의 내측면에는 상기 반도체 웨이퍼의 디바이스 패드와 접속되는 다수개의 탐침(13b)이 설치되고, 그 탐침(13b)은 상기 탄성단자(13c)와 전기적으로 통할 수 있게 연결되어 있다.
상기와 같이 구성된 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드(11)는 상기 테스터 접속단자(12)의 몸체의 중심부에 형성된 삽입홀(12b)에 상기 실린더형으로 형성된 탐침설치부(13)를 대응시켜 삽입체결하므로써 조립되어 상기 반도체 웨이퍼의 전기적인 특성을 검사하게 되고, 만약 상기 탐침설치부(13)에 설치되어 있는 탐침(13b)의 일부가 마모되거나 파손되게 되면 상기 테스터 접속단자(12)에 삽입체결되어 있는 탐침설치부(13)를 분리하여 새로운 탐침설치부(13)를 상기 삽입홀(12b)에 삽입체결하여 사용하게 되는 것이다.
상기와 같이 반도체 웨이퍼 검사용 기기의 접속단자와 접속하는 다수개의 테스터 접속단자가 설치된 테스터 접속부와, 그테스터 접속부에 분리결합할 수 있는 탐침이 설치된 탐침설치부를 형성하여 상기 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드를 구성하므로서, 상기 프로브 카드의 다수개의 탐침 중 하나의 탐침이 마모되거나 파손되어도 상기 탐침설치부만 교환하게되면 간단하게 수리가 될뿐만 아니라 , 또 상기 프로브 카드 전체를 제작하지 않고 상기 탐침설치부만 제작하여도 되기때문에 상기 프로브 카드의 제작 비용을 절감할 수 있게 되는 효과가 있다. 또한 탐침이 마모 및 파손되었을 때 테스터접속부는 그대로 사용하고 탐침들이 정확한 위치로 설치되어 있는 탐침설치부만 교체하면 되므로 교체작업이 매우 간편하게 되고 탐침의 위치가 항상 정확하게 유지되는 효과도 있는 것이다.

Claims (2)

  1. 중심부에 소정의 크기를 갖는 삽입홀이 있는 몸체와, 상기 몸체의 상면에 설치된 다수 개의 테스터접속단자와, 상기 테스터접속단자와 연결되어 통전될 수 있도록 상기 삽입홀 내주면에 설치된 연결단자를 가지는테스터접속부와; 상기 테스터접속부의 삽입홀에 삽입되는 몸체와, 상기 몸체의 외주면에 설치되어 상기 삽입홀에 설치된 연결단자와 탄력적으로 접촉되어 통전될 수 있는 탄성단자가 설치되고, 그 탄성단자와 연결되어 상기 반도체 웨이퍼의 디바이스의 패드와 통전될 수 있도록 접속되는 탐침을 가지는 탐침설치부로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 삽입홀과 탐침설치부 몸체는 원형으로 형성되고 그 삽입홀의 내주면과 탐침설치부 몸체의 외주면에는 나사가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 검사용 프로브 카드.
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