JPH06201750A - 配線基板の検査装置 - Google Patents

配線基板の検査装置

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JPH06201750A
JPH06201750A JP4348281A JP34828192A JPH06201750A JP H06201750 A JPH06201750 A JP H06201750A JP 4348281 A JP4348281 A JP 4348281A JP 34828192 A JP34828192 A JP 34828192A JP H06201750 A JPH06201750 A JP H06201750A
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JP
Japan
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board
wiring board
connection
inspection
blocks
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Pending
Application number
JP4348281A
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English (en)
Inventor
Shinji Yamada
信二 山田
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は電子部品を高密度に実装した配線基板
における検査を容易に行うことができる検査装置を提供
することを目的とする。 【構成】被検査体である配線基板に載せられた一方向性
導電ゴムからなる導電ブロックと、一面に配線基板の検
査用接触点に相当する位置に第一の接続電極を有すると
ともに他面にこの第一の接続電極と電気的に接続される
第二の接続電極を有し一面を導電ブロックに接触させて
導電ブロックに載せられた接続基板と、この接続基板の
第二の接続電極に接触するとともに検査回路に接続され
た検査素子とを具備することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は配線基板の検査装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】最近、配線基板は半導体パッケージ部品
や半導体チップ部品などの電子部品を高密度に実装する
ことが多くなっている。このような配線基板の検査を行
う装置として、基板に実装された電子部品毎にその導通
状態を検査するイン・サーキット・テスター方式の検査
装置がある。
【0003】従来、この方式の検査装置は、ピンボード
に複数のピンを並べて取付けたユニットを用いている。
すなわち、このユニットの各ピンは、電子配線基板に実
装された電子部品のリ−ドに対向する位置に配置されて
ピンボードに取付けられ、また検査回路と電気的に接続
されている。
【0004】すなわち、検査を行うに際しては、ピンを
配線基板に実装された電子部品のリードに接触し、検査
回路によりピンからリ−ドを経て電子部品に電流を流し
て電子部品の導通状態を検査している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の検査装置では、
配線基板における電子部品を実装する密度が高くなるの
に伴いピンボードにピンを取付ける密度も高くする必要
がある。しかし、ピンボードにピンを取付ける密度を高
めるには構造上限界があり、ピンボードユニットのピン
を配線基板の接続電極に直接接触させて検査を行うこと
が困難なことがある。そこで、この不具合を取り除くた
めに、電子部品が密集する箇所を避けて箇所に電極と接
続する検査用パッドを広い間隔で形成する方法がある。
【0006】しかし、この方法では配線基板に検査用パ
ッドを形成するためにスペースを特別に確保する必要が
あり、その分だけ配線基板の全体にスペースの中で電子
部品を実装するスペースが削られてしまい、配線基板に
部品を高密度で実装するという本来の狙いが阻害される
ことがある。
【0007】本発明は前記事情にもとづいてなされたも
ので、電子部品を高密度に実装した配線基板に対する検
査を容易に行うことができるイン・サーキット・テスタ
ー方式の検査装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明の検査装置は、被検査体である配線基板に載せ
られた一方向性導電ゴムからなる導電ブロックと、一面
に前記配線基板の検査用接触点に相当する位置に第一の
接続電極を有するとともに他面にこの第一の接続電極と
電気的に接続される第二の接続電極を有し前記一面を前
記導電ブロックに接触させて前記導電ブロックに載せら
れた接続基板と、この接続基板の前記第二の接続電極に
接触するとともに検査回路に接続された検査素子とを具
備することを特徴とする。
【0009】
【作用】検査対象の配線基板に形成された検査用接触点
と導電ゴムからなる導電ブロックとが接触し、この導電
ブロックがこの上に配置された接続基板と接続し、接続
基板と検査素子とが接続することにより、配線基板の検
査用接触点と検査素子との導通をとるので、検査素子を
配線基板の検査用接触点に直接接触させる必要がなく、
電子部品を高密度に実装した配線基板における電子部品
の検査も容易に行うことができる。そして、電子部品を
高密度に実装した配線基板における電子部品の検査を行
うに際して、電子部品の実装密度を低下させることもな
い。
【0010】
【実施例】本発明の実施例について説明する。本発明の
一実施例について図1ないし図3を参照して説明する。
【0011】図1において1は被検査体である絶縁性を
有する樹脂からなる配線基板で、上面には図2(図1A
ーA線矢視線断面図)に示すようにいわゆる導電パター
ンとしての導電体2が固着されている。この導電体2は
後述する電子部品3のリード4と接続する電極を形成し
ている。
【0012】配線基板1の上面には電子部品3が実装さ
れている。この電子部品3は例えばフラットパッケージ
形の半導体部品であり、四角形をなすパッケージの周囲
に複数のリード4が並べて突設されている。電子部品3
は配線基板1の上面に配置され、各リード4が配線基板
1の上面に形成された導電体2の電極にはんだ付けされ
ている。図1により検査装置について説明する。
【0013】図中11は一方向性導電ゴムからなる導電
ブロックで、平面形状および大きさは、電子部品2に突
設された複数のリード3を共通に覆うことができるもの
である。例えば導電ブロック11は電子部品2の一辺の
側部に並べて突設されている複数のリード3を覆う平面
形状および大きさを有している。
【0014】導電ブロック11は配線基板1に実装され
る電子部品3の数に応じて複数個用意される。各導電ブ
ロック11は配線基板1の上面の電子部品3の側方にお
いて、各電子部品3の側部に並べて突設されている複数
のリード4を覆って配置されている。
【0015】12は絶縁性樹脂からなる接続基板で、例
えば配線基板1と同じ大きさを有している。図2および
図3に示すように接続基板12の下面には、配線基板1
の導電体2において電子部品3のリード4に接続するた
めに形成された導電体2の各電極と同じ位置に夫々導電
材料により第一の接続電極13が形成されている。
【0016】接続基板12には各第一の接続電極13と
同じ位置に夫々上面と下面とを結ぶスルーホール14が
形成され、各スルーホール14には第一の接続電極13
を形成する導電材料が充填されている。
【0017】また、接続基板12の上面には、各スルー
ホール14に充填された導電材料により各スルーホール
14から夫々接続基板12の周縁部に向けて伸びる導電
体15が形成されている。すなわち、各導電体15は各
スルーホール14から放射状態に伸びている。接続基板
12の上面には、各導電体15の先端につながる位置に
夫々導電体15と同じ導電材料からなる第二の接続電極
16が形成されている。
【0018】接続基板12における各第一の接続電極1
3と各第二の接続電極16とは,各スルーホール14に
充填された導電材料および各導電体15によって電気的
に接続されている。
【0019】そして、各第一の接続電極13が、配線基
板1の電子部品3における各リード4と同じ狭い間隔、
言換えれば高い密度で配置されているのに対して、各第
二の接続電極16は各第一の接続電極13が形成される
面積よりも広い面積の部分に各第一の接続電極13より
広い間隔、言換えれば低い密度をもって配置されてい
る。
【0020】17aはピンボードで、その下面部には接
続基板12の各第二の接続電極16の位置と同じ位置に
夫々検査素子の一例である検査ピン17が上下方向に沿
って設けられている。すなわち、各検査ピン17は電子
部品3の各リード4に比較して遥かに余裕のあるスペー
スに広い間隔をもって配置される。
【0021】各検査ピン17は導電性金属で形成され、
夫々検査回路ユニット18に電気的に接続されている。
このピンボード17aは接続基板12の上側に配置さ
れ、図示しない昇降装置によって昇降されるように設け
られている。なお、検査回路ユニット18は配線基板1
における電子部品3のリード4に検査用の信号を与える
ものである。このように構成された検査装置により配線
基板1に実装された電子部品3の検査を行う場合につい
て説明する。
【0022】図1に示すように配線基板1を水平に配置
して図示しないテーブルに保持固定する。配線基板1の
上面に各導電ブロック11を配置し、その上側に接続基
板12を水平に配置する。
【0023】この状態で図2に示すように接続基板12
の下面の各第一の接続電極13が導電ブロック11を挟
んで配線基板1の上面にある電子部品3の各リード4と
対向する箇所に位置する。
【0024】次にピンボード17aを接続基板12の上
側に水平に配置する。ピンボード17aに取付けられた
各検査ピン17は、接続基板12の上面の各第二の接続
電極13に接触する。
【0025】そして、昇降装置によりピンボード17a
を下降すると各検査ピン17が接続基板12を押し下
げ、接続基板12が導電ゴムからなる導電ブロック11
を上側から押圧する。
【0026】このため、一方向性導電性の作用により導
電ブロック11を挟んで対向する接続基板12の第一の
接続電極13と配線基板1にある電子部品3の各リード
4が、これら第一の接続電極13とリード4との間にあ
る導電ブロック11の部分を圧縮する。第一の接続電極
13とリード4との間にある導電ブロック11の部分が
電気が導通可能な状態となり、第一の接続電極13とリ
ード4とが前記の導電ブロック11の部分によって電気
的に接続される。
【0027】これによりピンボード17aの検査ピン1
7ー接続基板12の第二の接続電極16ー第一の接続電
極13ー導電ブロック11ー電子部品3のリード4が導
通可能になる。そして、検査回路ユニット18からこの
導通路を利用して電子部品3のリード4の検査用電流を
流して検査を行う。
【0028】この検査装置によれば、導電ブロック11
および接続基板12を用いることにより、電子部品3の
リード4の間隔を接続基板12の第二の接続電極16の
間隔に拡大し、この拡大された間隔によってピンボード
17aの検査ピン17を配置しているので、電子部品3
のリード4の間隔に拘束されることなく余裕のある広い
間隔で検査ピン17を配置して検査を行うことができ
る。
【0029】従って、この検査装置は電子部品3が高い
密度で実装されている配線基板1に対しても無理のない
構造で容易に検査を行うことができる。また、配線基板
1に対しては電子部品3の実装密度を低下させる処置は
何等施していない。第二の実施例について図4を参照し
て説明する。
【0030】この実施例は、空気吸引力を利用して導電
ブロック11を接続基板12に吸着固定するものであ
る。すなわち、接続基板12に空気孔19が形成され、
この孔13はカバー20によって塞がれている。図示し
ない真空吸引装置により空気孔13から空気を吸引する
と、導電ブロック11が接続基板12に吸着される。こ
のようにすれば導電ブロック11を接続基板12で吸着
固定した状態で検査対象である配線基板1に容易に載せ
ることができる。第三の実施例について図5を参照して
説明する。
【0031】この実施例は、電子部品3をはんだ付けに
より配線基板1に固定して実装する時に、はんだ付けの
熱により配線基板1に生じた反りを修正する機構を付加
したものである。
【0032】すなわち、配線基板1はその下側に設けら
れた圧縮コイルばね21に取付けた押えピン22に押さ
れて上側に設けられた基準ピン23に当接される。押え
ピン22と協同、あるいは押えピン22に代って接触ピ
ン24で配線基板1を押圧しても良い。
【0033】接触ピン24は配線基板1の上面に実装さ
れた電子部品5に突設されたリード6に接触して導通検
査を行うためのものである。リード6は配線基板1に形
成された孔を通して下面に突出して下面の導電体に接続
されている。接触ピン24は配線基板1の下側からリー
ド6に接触する。
【0034】この実施例では配線基板1に生じた反りを
修正して導電ブロック1を精度良く配線基板側に接触さ
せることができる。検査ピン17で導電ブロック11を
押圧しても配線基板1の反りを修正することは困難であ
る。第四の実施例について図6を参照して説明する。こ
の実施例は、配線基板1の反りを修正する機構の他の例
を示している。
【0035】この機構は、配線基板1の位置を測定する
高さ測定装置25と、配線基板1を昇降する加圧用空気
シリンダ26とで構成されている。高さ測定装置25で
測定したデータは図7の線図のように示される。
【0036】高さ測定装置25で表示される測定データ
を見ながら制御器27により加圧弁28を開放して、圧
縮空気を空気シリンダ26に供給して配線基板1を押上
げる。高さ測定装置25は配線基板1の高さを測定して
制御器27に出力する。配線基板1の高さが上限になる
と、制御器27が加圧弁28を閉じ空気シリンダ26へ
の供給を停止する。
【0037】空気シリンダ26内に空気が漏れ圧力が降
下すると、配線基板1が下降する。配線基板1の高さが
下限値になると、再び制御器27が加圧弁28を開いて
前述の動作を行う。検査終了後は、制御器27により空
気逃し弁29を開いて空気シリンダ26の圧力を降下さ
せる。
【0038】高さ測定装置25の代りにロードセルのよ
うな圧力測定装置を用いても良く、空気シリンダ26の
代りに電気モータを用いた機械的上下動作機構を用いて
も良い。第五の実施例について図8および図9を参照し
て説明するこの実施例は、配線基板1と接続基板12と
の位置ずれを検査する機構を備えている。
【0039】配線基板1は高密度になっているので、接
続基板12を開発した時や配線基板1の製造ロッド毎
に、両基板1、12の位置合せあるいは位置ずれのチェ
ックを行う必要がある。単に両基板1、12が接触して
いるか、否かを検査するだけでなく、図8に示すように
電子部品3のリード4の幅方向中心と接続基板12の第
一の接続電極13の中心との位置ずれを検査する必要が
ある。本実施例はこの検査を容易に行うとするものであ
る。
【0040】すなわち、接続基板12において配線基板
1の電子部品3の対応する部分に孔30を形成し、電子
部品3を孔30を通して接続基板12の外方から観察で
きるようにする。孔30の縁部において電子部品3のリ
ード4に接触する第一の接続電極12に形成された部分
には目印部31を形成する。そして、目印部31を用い
て第一の接続電極13をリード4に正確に位置合せでき
る。図10は導電ブロック11を外した場合であり、接
続基板12を開発する時を想定している。
【0041】図11は接続基板12と導電ブロック11
との組合せの代りに、接続基板の一例であるフレキシブ
ル接続基板32と、導電ブロックの一例である弾性体3
3との組合せを示している。なお、34はフレキシブル
接続基板32と一体に固定された剛体基板で、ここから
検査装置に接続する。35は弾性体33を押える押え部
材である。なお、本発明は前述した実施例に限定されず
に種々変形して実施することができる。
【0042】
【発明の効果】以上説明したように本発明の配線基板の
検査装置によれば、検査対象の配線基板に形成された検
査用接触点と導電ゴムからなる導電ブロックとを接触
し、この導電ブロックを接続基板の電極と接続し、接続
基板の電極と検査素子とを接続して、配線基板の検査用
接触点と検査素子とを導通させるので、検査素子を配線
基板の検査用接触点に直接接触させる必要がなく、電子
部品を高密度に実装した配線基板における電子部品の検
査を無理なく容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における検査装置の概略的構
成を示す図。
【図2】図1のAーA矢視断面図。
【図3】図1に示した接続基板12を示す図。
【図4】第二の実施例における導電ブロックと接続基板
を示す図。
【図5】第三の実施例における配線基板の支持状態を示
す図。
【図6】第四の実施例における配線基板の支持状態を示
す図。
【図7】同実施例における配線基板の高さ位置の変化を
示す線図。
【図8】第五の実施例における電子部品と接続基板との
関係を示す図。
【図9】同実施例における電子部品と接続基板との接続
部を拡大して示す図。
【図10】同実施例における電子部品と接続基板との接
続部を拡大して示す図。
【図11】第六の実施例における電子部品と接続基板と
の接続部を示す図。
【符号の説明】 1…配線基板、3…電子部品、4…リード、11…導電
ブロック、12…接続基板、13,16…接続電極、1
7…検査ピン、18…検査回路ユニット。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査体である配線基板に載せられた一
    方向性導電ゴムからなる導電ブロックと、一面に前記配
    線基板の検査用接触点に相当する位置に第一の接続電極
    を有するとともに他面にこの第一の接続電極と電気的に
    接続される第二の接続電極を有し前記一面を前記導電ブ
    ロックに接触させて前記導電ブロックに載せられた接続
    基板と、この接続基板の前記第二の接続電極に接触する
    とともに検査回路に接続された検査素子とを具備するこ
    とを特徴とする配線基板の検査装置。
JP4348281A 1992-12-28 1992-12-28 配線基板の検査装置 Pending JPH06201750A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009244213A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Mitsubishi Electric Corp プロービング装置
JP2012173104A (ja) * 2011-02-21 2012-09-10 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶デバイス測定治具
JP2012194191A (ja) * 2012-07-04 2012-10-11 Mitsubishi Electric Corp プロービング装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009244213A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Mitsubishi Electric Corp プロービング装置
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