KR100563965B1

KR100563965B1 - 액정표시장치의 기판 검사장치

Info

Publication number: KR100563965B1
Application number: KR1020050000552A
Authority: KR
Inventors: 박금성; 이은진
Original assignee: 주식회사 영우디에스피
Priority date: 2005-01-04
Filing date: 2005-01-04
Publication date: 2006-03-29

Abstract

본 발명은 액정표시장치의 기판 검사장치에 관한 것으로, 액정표시장치의 셀(cell) 완성 전단계에서 셀을 자동으로 신속하고 정확하게 검사할 수 있도록 한 것이다.

이를 위한 본 발명은, 외부로부터 영상신호를 받는 복수개의 단자 패드가 형성된 기판을 검사하는 장치에 있어서, 외부로부터 반송된 검사대상 기판이 놓여지며 수평한 제 1위치로부터 소정 각도 경사진 제 2위치로 회동가능하게 설치된 검사스테이지와; 상기 검사스테이지에 수평 및 상하 운동 가능하게 설치되고 상기 기판의 단자 패드와 전기적으로 접속되면서 외부 장치로부터 영상 신호를 인가받는 복수개의 리드핀을 갖는 적어도 1개의 콘택트유닛과; 상기 검사스테이지를 제 1위치 및 제 2위치로 회동시키는 회동유닛과; 상기 검사스테이지 내측에 설치되어 기판에 빛을 제공하는 백라이트유닛을 포함하여 구성된 액정표시장치의 기판 검사장치를 제공한다.

액정표시장치, 기판, 셀, 쇼트패드, 검사장치, 스테이지

Description

액정표시장치의 기판 검사장치{Apparatus for Testing LCD}

도 1은 본 발명에 따른 기판 검사장치를 이용하여 검사되는 기판의 구조를 개략적으로 나타낸 평면도

도 2는 본 발명에 따른 기판 검사장치의 일 실시예의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도

도 3은 도 2의 기판 검사장치의 개략적인 측면도

도 4는 도 2의 기판 검사장치의 전체 구성을 나타낸 사시도

도 5는 도 2의 기판 검사장치의 검사부의 구성을 나타낸 사시도

도 6은 도 5의 A-A선 단면도

도 7은 도 5의 B-B선 단면도

도 8은 도 2의 기판 검사장치의 콘택트어셈블리의 리드핀들을 외부의 영상 신호 입력장치에 전기적으로 연결하기 위한 구성의 제 1실시예를 나타낸 도면

도 9는 도 2의 기판 검사장치의 콘택트어셈블리의 리드핀들을 외부의 영상 신호 입력장치에 전기적으로 연결하기 위한 구성의 제 2실시예를 나타낸 도면

도 10은 도 2의 기판 검사장치의 콘택트어셈블리의 리드핀들을 외부의 영상 신호 입력장치에 전기적으로 연결하기 위한 구성의 제 3실시예를 나타낸 도면

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 본체 20 : 로딩부

30 : 검사부 40 : 언로딩부

50 : 반송로봇 31 : 검사스테이지

311 : 회동축 32 : 안착부

33 : 직접구동모터 341 : Y축 가동블록

342 : Y축 가이드레일 343 : Y축 구동모터

344 : Y축 볼스크류 345 : 고정블록

351 : 콘택트블록 353 : 제 1 Z축 가이드레일

354 : 제 1 Z축 구동모터 355 : 제 1 Z축 볼스크류

356 : 고정블록 361 : X축 가동블록

362 : X축 가이드레일 363 : X축 구동모터

371 : 콘택트블록 373 : 제 2 Z축 가이드레일

374 : 제 2 Z축 구동모터 380, 390 : 콘택트어셈블리

381, 391 : 고정부 382, 392 : 연결부

383, 393 : 핀블록 385, 395 : 리드핀

본 발명은 액정표시장치의 기판을 검사하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정표시장치의 기판인 셀(cell) 제조공정시, 기판에 액정 주입 후 완전품 셀이 만들어지기 전단계에서 기판의 이상 유무를 자동으로 검사할 수 있도록 한 액정표시장치의 기판 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판형 표시장치의 하나인 액정표시장치(LCD)는 음극선관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마표시장치(PDP: Plasma Display Panel)나 전계방출표시장치(FED:Field Emission Display)와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.

통상적으로, 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display)를 제조하는 공정은 유리 기판에 박막트랜지스터를 배열하여 제작하는 TFT 공정과, 유리 기판에 배향막을 도포하고 액정을 주입함으로써 완제품 셀(cell)을 제작하는 셀공정과, 완성된 셀에 구동 IC 및 피시비(PCB)를 부착하고 백라이트유닛(back light unit) 및 하우징을 조립하는 모듈(module) 공정으로 이루어진다.

상기 공정 중 완제품 셀(cell)을 제조하는 셀공정은 기판에 액정을 주입하는 액정주입공정과, 절단공정(scribing) 및, 엣지그라인딩(Edge Grinding) 공정 및 완성된 셀을 검사하는 검사공정 등으로 이루어진다.

그러나, 종래에는 상술한 바와 같이 셀공정 단계에서 셀을 완성한 후에 이상 유무를 검사하기 때문에 셀 완성 전단계에서 불량이 발생하였을 경우, 불필요한 공정을 수행하는 결과가 발생하여 수율을 현저히 저하시키고, 제품의 질을 저하시키는 문제가 있었다.

이에 종래에는 작업자가 별도의 검사용 지그를 사용하여 수동으로 셀의 소정 의 전극 패드에 지그의 콘택터의 리드핀을 전기적으로 접속시킴으로써 중간 테스트를 수행하였으나, 이러한 수동 검사방식은 검사 시간이 매우 오래걸리고, 검사용 지그의 배선 구조 등이 복잡하여, 현재에는 이조차도 실행되지 못하고 있는 실정이었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 액정표시장치의 셀(cell) 완성 전단계에서 셀을 자동으로 신속하고 정확하게 검사할 수 있도록 한 액정표시장치의 기판 검사장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 간단한 구성요소의 변경 만으로 검사하고자 하는 기판의 크기 변화에 능동적으로 대응하여 용이하게 검사를 수행할 수 있는 액정표시장치의 기판 검사장치를 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 외부로부터 영상신호를 받는 복수개의 단자 패드가 형성된 기판을 검사하는 장치에 있어서, 외부로부터 반송된 검사대상 기판이 놓여지며 수평한 제 1위치로부터 소정 각도 경사진 제 2위치로 회동가능하게 설치된 검사스테이지와; 상기 검사스테이지에 수평 및 상하 운동 가능하게 설치되고 상기 기판의 단자 패드와 전기적으로 접속되면서 외부 장치로부터 영상 신호를 인가받는 복수개의 리드핀을 갖는 적어도 1개의 콘택트유닛과; 상기 검사스테이지를 제 1위치 및 제 2위치로 회동시키는 회동유닛과; 상기 검사스테이지 내측에 설치되어 기판에 빛을 제공하는 백라이트유닛을 포함하여 구성된 액정표 시장치의 기판 검사장치를 제공한다.

본 발명의 다른 한 실시형태에 따르면, 외부로부터 영상신호를 받는 복수개의 단자 패드가 형성된 기판을 검사하는 장치에 있어서, 외부로부터 반송된 검사대상 기판이 놓여지는 로딩부와; 상기 로딩부로부터 반송된 기판이 놓여지며 수평한 제 1위치로부터 소정 각도 경사진 제 2위치로 회동가능하게 설치된 검사스테이지와, 상기 검사스테이지에 수평 및 상하 운동 가능하게 설치되며 상기 기판의 단자 패드와 전기적으로 접속되는 복수개의 리드핀을 갖는 적어도 1개의 콘택트유닛과, 상기 검사스테이지를 제 1위치 및 제 2위치로 회동시키는 회동유닛과, 상기 검사스테이지 내측에 설치되어 기판에 빛을 제공하는 백라이트유닛으로 구성된 검사부와; 상기 검사부로부터 반송된 검사 완료된 기판이 놓여지는 언로딩부와; 상기 로딩부와 검사부 및 언로딩부의 상측에 수평 및 상하로 이동가능하게 설치되어 로딩부와 검사부 및 언로딩부로 기판을 반송하는 반송유닛을 포함하여 구성된 액정표시장치의 기판 검사장치가 제공된다.

이와 같은 본 발명에 따르면, 액정표시장치의 기판, 즉 셀 완성전 기판이 반송장치에 의해 자동으로 반송되면서 검사부 상에서 콘택트유닛에 의해 자동으로 외부장치와 전기적으로 연결되면서 테스트된다. 따라서, 작업자가 쉽고 용이하게 셀 완성전 기판을 테스트할 수 있게 되는 것이다.

이하, 본 발명에 따른 액정표시장치의 기판 검사장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

먼저, 도 1을 참조하여 본 발명의 기판 검사장치에 의해 검사가 수행되는 기 판의 구조에 대해 간략하게 설명한다. 도면에 도시된 것과 같이 기판(100)의 2개의 세로변과 1개의 가로변에 외부로부터 영상신호를 받는 복수개의 메인 단자패드 그룹(101)들이 형성되고, 이 메인 단자패드 그룹들 사이 사이에는 각각의 메인 단자패드들로부터 이어져 나온 복수개(2~3개)의 쇼트패드(102)들이 형성되어 있다.

본 발명의 기판 검사장치는 상기 기판(100)의 쇼트패드(102)들과 전기적 접속하여 간단한 그레이(gray) 테스트 또는 알지비(RGB) 테스트를 수행함에 특징이 있는 검사장치이다.

도 2 내지 도 4는 상기와 같은 기판(100)을 자동 검사하기 위한 본 발명에 따른 기판 검사장치의 전체 구성을 나타낸 것이다. 본 발명의 기판 검사장치는 크게 본체(10)와, 상기 본체(10)의 일측에 설치되어 외부로부터 반송된 검사대상 기판이 놓여지는 로딩부(20)와, 상기 로딩부(20)로부터 반송된 기판(100)을 외부 장치와 전기적으로 접속시켜 소정의 검사를 수행하는 검사부(30)와, 상기 검사부(30)로부터 반송된 검사 완료된 기판이 놓여지는 언로딩부(40)와, 상기 로딩부(20)와 검사부(30) 및 언로딩부(40)의 상측에 수평 및 상하로 이동가능하게 설치되어 로딩부(20)와 검사부(30) 및 언로딩부(40)로 기판(100)을 반송하는 반송로봇(50)으로 구성된다. 상기 로딩부(20)와 검사부(30) 및 언로딩부(40)는 본체(10)에 인라인(in-line) 상으로 배열됨이 바람직하나, 공정의 효율과 공간을 고려하여 다양한 배치가 가능하다.

여기서, 상기 검사부(30)는 서로 동일한 구성으로 이루어지는 제 1검사부(30a)와 제 2검사부(30b)로 이루어지며, 상기 제 1,2검사부(30)는 각각이 독립적인 검사를 수행한다. 상기 각 검사부(30)에는 기판이 놓여져 검사가 이루어지는 검사스테이지(31)가 각각 설치된다. 상기 각 검사부(30)의 검사스테이지(31)들은 공압실린더(60)에 의해 상하로 일정 거리 승강하면서 상기 반송로봇(50)과 기판을 주고 받도록 구성된다.

상기 반송로봇(50)은 상기 본체(10)의 상측을 가로지르는 가이드레일(52)을 따라 이동하면서 기판(100)을 진공 흡착하여 이송한다. 도면에 나타내지는 않았으나, 상기 반송로봇(50)은 볼스크류와 구동모터로 이루어진 선형 운동 시스템, 또는 리니어모터로 이루어진 선형 운동 시스템 등의 공지된 선형 운동 시스템을 이용하여 상기 가이드레일(52)을 따라 원하는 위치로 이동시킬 수 있다. 또한, 반송로봇(50)은 도면에 도시되지 않은 공지의 선형 운동 시스템을 이용하여 상하로 승강이 가능하도록 구성된다.

도 5를 참조하면, 상기 제 1,2검사부(30)는 중앙에 검사 대상 기판(100)이 놓여지는 안착부(32)가 형성된 검사스테이지(31)를 구비한다. 상기 검사스테이지(31)에는 검사스테이지(31)를 일정 각도 범위로 왕복 회동시키기 위한 회동유닛이 설치된다. 이 실시예에서 상기 회동유닛은 검사스테이지(31)의 양측 중앙부에 외측으로 수평하게 연장되게 형성된 회동축(311)과, 상기 회동축(311)에 축결합되어 회동축을 회전시키는 직접구동모터(33)(direct drive motor)로 구성된다.

따라서, 상기 검사스테이지(31)는 상기 직접구동모터(33)의 작동에 의해 회동축(311)을 중심으로 소정 각도로 회전하면서 기판(100)의 경사각을 조정할 수 있다.

그리고, 상기 검사스테이지(31)의 일측 가로변부에는 기판(100)의 가로변부에 형성된 쇼트패드(102)와 전기적으로 접속하게 되는 제 1콘택트유닛이 설치되고, 양측 세로변부에는 기판(100)의 양측 세로변부의 쇼트패드(102)들과 전기적으로 접속하게 되는 제 2콘택트유닛이 설치된다.
먼저, 도 5와 도 6을 참조하여 상기 제 1콘택트유닛에 대해 설명한다.
도 5에 도시된 것과 같이, 상기 검사스테이지(31)의 일측 가로변부에는 Y축 방향을 따라 복수개의 Y축 가이드레일(342)이 설치되고, 이 Y축 가이드레일(342)에 Y축 가동블록(341)이 이동가능하게 결합된다.

또한, 도 6에 도시된 것과 같이, 상기 Y축 가동블록(341)의 끝단부에 복수개의 제 1 Z축 가이드레일(353)이 수직하게 설치되며, 이 제 1 Z축 가이드레일(353)에 콘택트블록(351)이 상하로 이동가능하게 결합된다. 상기 콘택트블록(351)에는 상기 기판(100)의 쇼트패드(102)를 외부의 영상 신호 입력장치인 패턴제너레이터(pattern generator)(미도시)와 전기적으로 연결시키기 위한 콘택트어셈블리(380)가 볼트 등과 같은 체결수단에 의해 착탈이 가능하도록 결합된다.

상기 콘택트어셈블리(380)는 상기 콘택트블록(351)에 결합되는 고정부(381)와, 상기 고정부(381)의 하부에 결합되는 연결부(382)와, 상기 고정부(381)와 연결부(382)를 일체로 연결시키는 커버플레이트(384)와, 상기 연결부(382)의 하단부에 소정 간격으로 배열되며 기판(100)의 쇼트패드(102)들과 접속되는 리드핀(385)이 장착된 복수개의 핀블록(383)으로 이루어진다.

상기 각 핀블록(383)은 연결부(382)에 볼트 등과 같은 체결수단에 의해 결합될 수 있다. 상기 리드핀(385)은 예컨대 포고핀(pogo pin), 니들핀(needle pin), 블레이드핀(blade pin) 등을 이용하여 구성할 수 있다. 상기 핀블록(383)의 리드핀(385)과 외부의 패턴제너레이터(미도시)를 전기적으로 연결하는 연결유닛에 대해서는 도 8 내지 도 10을 참조하여 상세히 후술할 것이다.

또한, 상기 연결부(382)의 상부에는 상기 리드핀(385)과 상기 패턴제너레이터(미도시)와의 전기적 연결을 위한 전선(388)들이 통과하는 홈(382a)이 형성된다.

상기 Y축 가동블록(341)의 Y축 방향 수평 이동을 위한 Y축 구동부로서, 상기 검사스테이지(31)에 Y축 구동모터(343)가 설치되고, 이 Y축 구동모터(343)에 Y축 가이드레일(342)과 나란하게 이동하는 Y축 볼스크류(344)가 결합되며, 상기 Y축 볼스크류(344)의 끝단에 일측이 Y축 가동블록(341)과 결합된 고정블록(345)이 결합된다.

따라서, 상기 Y축 구동모터(343)의 작동에 의해 Y축 볼스크류(344)가 회동하면서 Y축 방향으로 이동하게 되면, 상기 Y축 볼스크류(344)의 끝단에 고정된 고정블록(345) 및 이에 결합된 Y축 가동블록(341)이 Y축 가이드레일(342)을 따라 이동하게 된다.

또한, 상기 콘택트블록(351)의 Z축 방향 이동을 위한 제 1 Z축 구동부로서 상기 Y축 가동블록(341)의 일단부에 제 1 Z축 구동모터(354)와 제 1 Z축 볼스크류(355)가 설치되고, 제 1 Z축 볼스크류(355)의 일단부에 고정블록(356)이 결합된다.

다음으로 도 5와 도 7을 참조하여 상기 제 2콘택트유닛에 대해 설명한다.
도 5에 도시된 것과 같이, 상기 검사스테이지(31)의 양측 세로변부에 각각 복수개의 X축 가이드레일(362)이 설치되고, 이 X축 가이드레일(362)에 X축 가동블록(361)이 이동가능하게 설치된다. 상기 각 X축 가동블록(361)은 검사스테이지(31)의 양측에 설치되는 X축 구동모터(363)와 X축 볼스크류(364)를 포함하는 X축 구동부 및 고정블록(365)에 의해 X축 가이드레일(362)을 따라 이동한다.

또한, 도 7에 도시된 것과 같이, 상기 각 X축 가동블록(361)의 일단부에 제 2 Z축 가이드레일(373)이 수직하게 설치되며, 이 제 2 Z축 가이드레일(373)에 콘택트블록(371)이 이동가능하게 결합된다. 상기 콘택트블록(371)에도 전술한 것과 같은 콘택트어셈블리(390)가 착탈이 가능하게 결합된다. 상기 콘택트어셈블리(390)의 구성은 전술한 콘택트어셈블리(380)의 구성과 동일하므로 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.

상기 콘택트블록(371)은 상기 X축 가동블록(361)에 설치되는 제 2 Z축 구동모터(374)와 제 2 Z축 볼스크류(375)로 이루어진 제 2 Z축 구동부 및, 상기 제 2 Z축 볼스크류(375)의 일단에 결합된 고정블록(376)의 구성에 의해 상기 제 2 Z축 가이드레일(373)을 따라 이동한다.

한편, 상기 검사스테이지(31)의 내측의 안착부(32)의 바로 하측에는 안착부(32) 상에 안착된 기판(100)으로 빛을 방출하는 백라이트유닛(미도시)이 설치된다.

전술한 것과 같이 상기 각 콘택트어셈블리(380, 390)의 리드핀(385, 395)들은 다양한 방식에 의해 외부의 패턴제너레이터에 전기적으로 연결될 수 있다.

예를 들어, 도 8에 도시된 것과 같이 리드핀으로서 포고핀(385, 395)이 사용된다. 상기 각 포고핀(385, 395)에는 제 1전선(388, 398)이 연결된다. 상기 포고핀(385, 395)에 연결된 제 1전선(388, 398)의 끝단에 제 1컨넥터(389, 399)가 장착된다. 상기 제 1컨넥터(389, 399)는 패턴제너레이터(미도시)에 연결된 제 2전선(701)의 끝단에 결합된 제 2컨넥터(702)와 결합되면서 전기적으로 연결된다.
다시 말해서, 상기 각 포고핀(385, 395)에 연결된 제 1전선(388, 398)과, 상기 제 1전선(388, 398)의 끝단에 연결된 제 1컨넥터(389, 399)와, 상기 제 1컨넥터(389, 399)와 결합되는 제 2컨넥터(702)와, 상기 제 2컨넥터(702)와 패턴제너레이터(미도시)를 전기적으로 연결하는 제 2전선(701)은 상기 포고핀(385, 395)과 패턴제너레이터를 전기적으로 연결하기 위한 연결유닛을 구성하게 된다.

또한, 이와 다르게 도 9에 도시된 것과 같이, 핀블록(383, 393)의 상단부에 포고핀(385, 395)과 전기적으로 연결되는 인쇄회로기판(PCB)(711)과, 이 인쇄회로기판(711)에 일체로 구성되는 제 1컨넥터(712)와, 상기 제 1컨넥터(712)와 결합되는 제 2컨넥터(702)와, 상기 제 2컨넥터(702)를 패턴제너레이터(미도시)와 연결시키는 제 2전선(701)으로 구성되는 연결유닛에 의해, 포고핀(385, 395)과 패턴제너레이터 전기적으로 연결된다.

도 10은 콘택트어셈블리(380, 390)의 리드핀(385, 395)들을 패턴제너레이터에 전기적으로 연결하는 또 다른 실시예를 보여준다. 이 도면에 도시된 것과 같이, 핀블록(383, 393)에 리드핀으로서 복수개의 니들핀(needle pin)(385, 395)이 설치되고, 각각의 니들핀(385, 395)은 패턴제너레이터(미도시)에 전기적으로 연결된 인쇄회로기판(720)의 패턴(721)에 접속된다.

물론, 상술한 방식 이외의 다양한 방식으로 리드핀과 패턴제너레이터들을 분리가 용이하게 연결할 수 있을 것이다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 기판 검사장치의 작동에 대해 설명하면 다음과 같다.

외부의 반송장치(미도시)에 의해 로딩부(20)에 검사 대상 기판(100)이 놓여지면, 반송로봇(50)이 로딩부(20)의 기판(100)을 진공 흡착하여 제 1검사부(30a)의 검사스테이지(31)에 안착시킨 다음, 다시 로딩부(20)로 이동하여 다른 기판(100)을 흡착하여 제 2검사부(30b)로 반송한다.

상기 제 1검사부(30a)의 검사스테이지(31)의 안착부(32)에 기판(100)이 안착되면, Y축 구동모터(343) 및 양측 X축 구동모터(363)가 작동하여 Y축 볼스크류(344) 및 X축 볼스크류(364)가 작동하고, 이에 따라 Y축 가동블록(341) 및 X축 가동블록(361)이 각각 Y축 가이드레일(342) 및 X축 가이드레일(362)을 따라 기판(100) 쪽으로 수평 이동한다.

이어서, 제 1 Z축 구동모터(354) 및 제 2 Z축 구동모터(374)가 작동하여, 콘택트블록(351, 371)들이 제 1 Z축 가이드레일(353) 및 제 2 Z축 가이드레일(373)을 따라 하강하고, 콘택트어셈블리(380, 390)들의 리드핀(385, 395)들이 기판(100)의 쇼트패드(102)와 접속된다.

그 다음, 상기 검사스테이지(31) 양측의 직접구동모터(33)가 작동하여 양측 회동축(311)이 동기적으로 회동하고, 검사스테이지(31)는 소정의 각도로 회동한다. 상기 검사스테이지(31)의 회동에 의해 기판(100)은 소정의 경사각을 갖게 된다.

이와 같이 기판(100)이 소정의 경사각을 기울어진 상태에서 외부의 패턴제너레이터(pattern generator)로부터 상기 리드핀(385, 395)을 통해 기판(100)에 소정의 영상 신호가 인가되면, 기판(100)에 소정의 영상이 구현됨과 동시에 백라이트유닛(미도시)이 작동하여 기판(100)에 검사를 위한 후면광이 제공되고, 작업자는 기판(100)에 구현되는 소정의 영상을 보면서 이상 유무를 육안으로 검사한다.

제 1검사부(30a)에서 이루어지는 검사 과정과 동일하게 제 2검사부(30b)에서도 기판(100)의 검사가 이루어진다.

상기 제 1검사부(30a)에서 검사가 완료되어 작업자가 본체(10)에 마련된 소정의 조작부(미도시)를 조작하면, 상기 직접구동모터(33)가 역으로 동작하여 검사스테이지(31)가 원래의 수평 상태로 복귀한다.

이어서, 반송로봇(50)이 검사스테이지(31)의 검사 완료된 기판(100)을 흡착하여 언로딩부(40)로 반송하고, 외부의 반송장치(미도시)가 언로딩부(40)의 기판(100)을 이후 공정 위치로 반송한다.

상기 제 1검사부(30a)의 기판(100)을 언로딩부(40)로 반송한 후, 반송로봇(50)은 다시 로딩부(20)로 이동하여 또 다른 기판(100)을 제 1검사부(30a)의 검사스테이지(31)로 반송하여 검사가 이루어지도록 하고, 곧바로 제 2검사부(30b)로 이동하여 제 2검사부(30b)에서 검사 완료된 기판(100)을 언로딩부(40)로 반송함으로써 제 1,2검사부(30)에서 연속적인 검사가 이루어지도록 한다.

이와 같이 본 발명에 의하면, 상기 제 1,2검사부(30)에서 콘택트어셈블리(380, 390)가 자동으로 이동하면서 리드핀(385, 395)과 기판(100)의 쇼트패드(102) 간의 전기적 접속이 자동으로 이루어지고, 접속후 검사스테이지(31)가 자동으로 회동하여 기판(100)이 기울어지므로 작업자가 용이하고 신속하게 기판(100)의 검사를 수행할 수 있다.

또한, 상기 제 1,2검사부(30)의 각 콘택트어셈블리(380, 390)들은 모두 개별체로 분할되어 있으며, 각 콘택트어셈블리(380, 390)의 리드핀(385, 395)들이 도 8 내지 도 10에 도시된 것과 같은 방식으로 패턴제너레이터에 분리 용이하게 연결되므로, 어느 한 콘택트어셈블리의 리드핀(385, 395), 또는 이를 패턴제너레이터와 연결하여 주는 전선, 또는 인쇄회로기판(PCB)이나 그 외의 연결부품 등에 이상이 발생했을 경우, 해당 콘택트어셈블리(385, 395)만을 해체하여 수리를 행할 수 있으므로 유지 관리도 용이한 이점이 있다.

한편, 전술한 실시예의 설명에서 상기 가동블록(341, 361) 및 콘택트블록(351, 371)들을 수평 및 상하로 이동시키기 위한 선형 운동 시스템으로서 볼스크류와 구동모터를 이용하고 있으나, 이와 다르게 공압실린더 또는 벨트-풀리-구동모터로 이루어진 선형 운동 시스템, 리니어모터 등 다른 공지의 선형 운동 시스템을 이용할 수도 있을 것이다.

또한, 상기 검사스테이지(31)는 그의 회동축(311)이 직접구동모터(33)에 바로 축결합되어 원하는 각도로 회동하지만, 이와 다르게 모터와 회동축 사이에 동력전달을 위한 별도의 커플링(coupling) 장치를 구성하여 검사스테이지를 회동시킬 수도 있을 것이다.

또한, 전술한 실시예의 기판 검사장치는 3 변부에 단자패드들이 형성된 기판을 테스트하기 위해 검사스테이지(31)의 세 변부에 콘택트어셈블리(380, 390)가 착탈 가능하게 구성되어 있으나, 4변부 모두에 단자패드들이 형성된 기판을 검사하고자 할 경우에는 콘택트어셈블리 또한 이에 대응하여 검사스테이지의 4변부에 구성되어야 할 것이다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 영상 신호를 인가하는 리드핀과 기판의 쇼팅패드 간의 접속이 자동으로 정확하게 이루어지므로 검사 시간이 단축되고, 검사의 정확도가 향상되어 생산성이 향상되는 효과가 있다.

또한, 각 리드핀이 설치되는 콘택트블록이 개별체로 분할 형성되어 있으므로 유지 및 관리가 용이하고, 교체에 따른 비용도 절감되는 효과를 얻을 수 있다.

이와 더불어, 검사하고자 하는 기판의 크기가 변할 경우, 사용하던 콘택트어셈블리를 분리하고 해당 기판에 대응하는 리드핀 피치를 갖는 콘택트어셈블리를 교체하여 장착함으로써 다른 크기의 기판도 용이하게 검사할 수 있는 이점도 있다.

Claims

외부로부터 영상신호를 받는 복수개의 단자 패드가 형성된 기판을 검사하는 장치에 있어서,

외부로부터 반송된 검사대상 기판이 놓여지며, 수평한 제 1위치로부터 소정 각도 경사진 제 2위치로 회동가능하게 설치된 검사스테이지와;

상기 검사스테이지의 적어도 일측 가로변부의 상면에 Y축 방향을 따라 수평하게 설치된 Y축 가이드레일과, 상기 Y축 가이드레일을 따라 이동하도록 설치된 Y축 가동블록과, 상기 Y축 가동블록의 일단부에 상하 방향으로 설치된 제 1 Z축 가이드레일과, 상기 제 1 Z축 가이드레일을 따라 상하로 이동하도록 설치되는 콘택트블록과, 상기 콘택트블록에 착탈 가능하게 결합되며 그 하단부에 외부의 영상 신호 입력장치로부터 영상 신호를 인가받는 복수개의 리드핀들이 소정 간격으로 배치된 콘택트어셈블리와, 상기 검사스테이지의 일측변부에 설치되어 상기 Y축 가동블록을 수평으로 이동시키는 Y축 구동부와, 상기 Y축 가동블록에 설치되어 상기 콘택트블록을 상하로 이동시키는 제 1 Z축 구동부를 포함하여 구성된 제 1콘택트유닛과;

상기 검사스테이지의 적어도 일측 세로변부의 상면에 X축 방향을 따라 설치된 X축 가이드레일과, 상기 X축 가이드레일을 따라 이동하도록 설치된 X축 가동블록과, 상기 X축 가동블록의 일단부에 상하 방향으로 설치된 제 2 Z축 가이드레일과, 상기 제 2 Z축 가이드레일을 따라 상하로 이동하도록 설치되는 콘택트블록과, 상기 콘택트블록에 착탈 가능하게 결합되며 그 하단부에 외부의 영상 신호 입력장치로부터 영상 신호를 인가받는 복수개의 리드핀들이 소정 간격으로 배치된 콘택트어셈블리와, 상기 검사스테이지의 세로변부에 설치되어 상기 X축 가동블록을 수평으로 이동시키는 X축 구동부와, 상기 X축 가동블록에 설치되어 상기 콘택트블록을 상하로 이동시키는 제 2 Z축 구동부를 포함하여 구성된 제 2콘택트유닛과;

상기 검사스테이지에 안착된 기판의 단자 패드와 상기 콘택트유닛의 리드핀이 전기적으로 접속된 상태에서 상기 검사스테이지를 제 1위치 및 제 2위치로 회동시키는 회동유닛과;

상기 검사스테이지의 내측에 설치되어 기판의 하부에서 기판으로 빛을 방출하는 백라이트유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판 검사장치.
외부로부터 영상신호를 받는 복수개의 단자 패드가 형성된 기판을 검사하는 장치에 있어서,

외부로부터 반송된 검사대상 기판이 놓여지는 로딩부와;

상기 로딩부로부터 반송된 기판이 놓여지며 수평한 제 1위치로부터 소정 각도 경사진 제 2위치로 회동가능하게 설치된 검사스테이지와, 상기 검사스테이지의 적어도 일측 가로변부 및 적어도 일측 세로변부에 수평 및 상하 운동 가능하게 설치되며 상기 기판의 단자 패드와 전기적으로 접속되면서 외부의 영상 신호 입력장치로부터 영상 신호를 인가받는 복수개의 리드핀을 갖는 제 1콘택트유닛 및 제 2콘택트유닛과, 상기 검사스테이지를 제 1위치 및 제 2위치로 회동시키는 회동유닛과, 상기 검사스테이지 내측에 설치되어 기판의 하부에서 기판으로 빛을 방출하는 백라이트유닛으로 구성된 검사부와;

상기 검사부로부터 반송된 검사 완료된 기판이 놓여지는 언로딩부와;

상기 로딩부와 검사부 및 언로딩부의 상측에 수평 및 상하로 이동가능하게 설치되어 로딩부와 검사부 및 언로딩부로 기판을 흡착하여 반송하는 반송유닛을 포함하여 구성되며;

상기 제 1콘택트유닛은, 상기 검사스테이지의 적어도 일측 가로변부의 상면에 Y축 방향을 따라 수평하게 설치된 Y축 가이드레일과, 상기 Y축 가이드레일을 따라 이동하도록 설치된 Y축 가동블록과, 상기 Y축 가동블록의 일단부에 상하 방향으로 설치된 제 1 Z축 가이드레일과, 상기 제 1 Z축 가이드레일을 따라 상하로 이동하도록 설치되는 콘택트블록과, 상기 콘택트블록에 착탈 가능하게 결합되며 그 하단부에 외부의 영상 신호 입력장치로부터 영상 신호를 인가받는 복수개의 리드핀들이 소정 간격으로 배치된 콘택트어셈블리와, 상기 검사스테이지의 일측변부에 설치되어 상기 Y축 가동블록을 수평으로 이동시키는 Y축 구동부와, 상기 Y축 가동블록에 설치되어 상기 콘택트블록을 상하로 이동시키는 제 1 Z축 구동부를 포함하여 구성되고;

상기 제 2콘택트유닛은, 상기 검사스테이지의 적어도 일측 세로변부의 상면에 X축 방향을 따라 설치된 X축 가이드레일과, 상기 X축 가이드레일을 따라 이동하도록 설치된 X축 가동블록과, 상기 X축 가동블록의 일단부에 상하 방향으로 설치된 제 2 Z축 가이드레일과, 상기 제 2 Z축 가이드레일을 따라 상하로 이동하도록 설치되는 콘택트블록과, 상기 콘택트블록에 착탈 가능하게 결합되며 그 하단부에 외부의 영상 신호 입력장치로부터 영상 신호를 인가받는 복수개의 리드핀들이 소정 간격으로 배치된 콘택트어셈블리와, 상기 검사스테이지의 세로변부에 설치되어 상기 X축 가동블록을 수평으로 이동시키는 X축 구동부와, 상기 X축 가동블록에 설치되어 상기 콘택트블록을 상하로 이동시키는 제 2 Z축 구동부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판 검사장치.
제 2항에 있어서, 상기 검사부는 복수개로 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판 검사장치.
삭제
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 Y축 구동부는, 상기 Y축 가이드레일과 나란하게 이동하도록 설치되며 그 일단부가 상기 Y축 가동블록과 고정되게 결합된 Y축 볼스크류와, 상기 검사스테이지에 설치되며 상기 Y축 볼스크류를 회동시켜 Y축 볼스크류를 이동시키는 Y축 구동모터를 포함하여 구성되고;

상기 X축구동부는, 상기 X축 가이드레일과 나란하게 이동하도록 설치되며 그 일단부가 상기 X축 가동블록과 고정되게 결합된 X축 볼스크류와, 상기 검사스테이지에 설치되며 상기 X축 볼스크류를 회동시켜 X축 볼스크류를 이동시키는 X축 구동모터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판 검사장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 제 1 Z축 구동부는, 상기 Y축 가동블록의 일단부에 설치되는 제 1 Z축 구동모터와, 상기 제 1 Z축 구동모터에 연결되어 회동하면서 상기 제 1 Z축 가이드레일과 나란하게 이동하며 그 일단부가 상기 콘택트블록에 고정되게 결합되는 제 1 Z축 볼스크류를 포함하여 구성되고,

상기 제 2 Z축 구동부는, 상기 X축 가동블록의 일단부에 설치되는 제 2 Z축 구동모터와, 상기 제 2 Z축 구동모터에 연결되어 회동하면서 상기 제 2 Z축 가이드레일과 나란하게 이동하며 그 일단부가 상기 콘택트블록에 고정되게 결합되는 제 2 Z축 볼스크류를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판 검사장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 제 1콘택트유닛과 제 2콘택트유닛의 각 콘택트어셈블리는, 상기 콘택트블록에 착탈이 가능하게 결합되는 고정부와, 상기 고정부에 결합되며 외부의 영상 신호 입력장치와의 전기적 연결을 위한 전선이 통과하는 홈이 형성된 연결부와, 상기 연결부의 하단부에 소정 간격으로 설치되며 상기 리드핀이 장착된 복수개의 핀블록과, 상기 리드핀을 상기 외부의 영상 신호 입력장치와 전기적으로 연결하는 연결유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판 검사장치.
삭제
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 회동유닛은, 상기 검사스테이지의 양측 변부에 외측으로 수평하게 연장된 회동축과, 상기 회동축에 동축상으로 결합되어 회동축을 소정 각도 회전시키는 직접구동모터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판 검사장치.
제 7항에 있어서, 상기 연결유닛은, 상기 리드핀에 연결되는 제 1전선과, 상기 제 1전선의 끝단에 연결된 제 1컨넥터와, 상기 제 1컨넥터와 결합되는 제 2컨넥터와, 상기 제 2컨넥터와 상기 외부의 영상 신호 입력장치를 전기적으로 연결하는 제 2전선을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판 검사장치.
제 7항에 있어서, 상기 연결유닛은, 상기 핀블록에 상기 리드핀과 전기적으로 연결되도록 설치되는 인쇄회로기판과, 상기 인쇄회로기판에 설치되는 제 1컨넥터와, 상기 제 1컨넥터에 결합되는 제 2컨넥터와, 상기 제 2컨넥터와 상기 외부의 영상 신호 입력장치를 전기적으로 연결하는 제 2전선을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판 검사장치.
제 7항에 있어서, 상기 리드핀은 니들핀(needle pin)으로 이루어지고, 상기 니들핀은 그 끝단부가 외부의 영상 신호 입력장치에 전기적으로 연결되는 회로기판의 패턴에 접속되어 연결되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판 검사장치.