KR101017626B1 - Lcd검사 장비용 얼라인먼트 스테이지 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LCD 검사 장비용 워크 스테이지에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 직사각 형태의 턴 플레이트의 전면에 편광판과 백라이트가 구비되고, 상기 턴 플레이트의 측면에 석션 덕트가 구비되는 워크 스테이지와; 브라켓의 전면에 복수의 XYθ 모듈이 설치되고, 상기 XYθ 모듈이 상기 워크 스테이지의 턴 플레이트와 결합되며, 상기 브라켓의 배면에 상기 워크 스테이지의 석션 덕트와 연결되는 석션 메인 박스를 구비하는 XYθ 스테이지; 및 상기 XYθ 스테이지의 브라켓의 저면과 연결되어 상기 XYθ 스테이지를 Z축으로 이동시키는 무빙 스테이지로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명인 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지에 따르면, XYθ 스테이지를 Z축 방향으로 이동시키도록 XYθ 스테이지의 저면에 무빙 스테이지를 설치함으로써 XYθ 스테이지 및 워크 스테이지의 이동시 진동이 발생하는 것을 미연에 방지하고, XYθ 스테이지의 브라켓에 많은 하중이 가해지는 것을 미연에 차단할 수 있고, 워크 스테이지의 백라이트에서 발생하는 열을 덕트를 통해 XYθ 스테이지로 전달한 후 XYθ 스테이지에서 외부로 배출시킴으로써 백라이트에서 발생하는 열에 의해 프로브 유니트의 변형이 발생하는 것을 미연에 방지할 수 있다.
Figure R1020090079668
LCD 검사 장비, XYθ 스테이지, 무빙 스테이지, Z축, 백라이트, 열, 방열

Description

LCD검사 장비용 얼라인먼트 스테이지{ALIGNMENT STAGE FOR LCD TESTER}
본 발명은 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지에 관한 것으로서, 상세하게는 XYθ 스테이지를 Z축 방향으로 이동시키도록 XYθ 스테이지의 저면에 무빙 스테이지를 설치하고, 워크 스테이지의 백라이트에서 발생하는 열을 덕트를 통해 XYθ 스테이지로 전달한 후 XYθ 스테이지에서 외부로 배출하도록 하는 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지에 관한 것이다.
일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display) 패널, 유기 EL 패널 등의 디스플레이 패널은 여러 단계의 제조 공정을 거쳐 제조되어지는 바, 이때 각 제조 공정, 예컨대, 납땜 등의 조립공정, 불량 요인의 수리공정 등의 공정이 진행될 때 디스플레이 패널의 점등 상태를 테스트하는 소정의 점등 상태 테스트 공정을 진행하여 항상 일정 수준 이상의 점등 상태를 유지하는양질의 제품만 출하되도록 하고 있다.
종래 기술에 따른 디스플레이 패널의 하나인 LCD 패널 테스트 과정은 다음과 같다.
작업자가 테스트용 LCD 패널을 지면에 대해 수평을 이루는 공급부에 공급하면, 공급부가 지면에 대해 경사진 각도(작업자가 테스트부에서 테스트되는 LCD 패 널을 가장 정확하게 볼 수 있는 각도)로 경사지게 회동되고, 이송부는 공급부에 공급된 LCD 패널을 테스트부로 이동하며, 테스트부에서는 LCD 패널과 테스트부가 전기적으로 접속되어 전기신호를 송수신함과 아울러, LCD 패널의 백라이트가 점등되어 LCD 패널을 통해 외부로 그 빛을 발산하도록 하고, 이 과정에서 작업자가 LCD 패널을 육안으로 보면서 LCD 패널의 전체적인 색상, 불량 화소율 등을 확인하여 LCD 패널의 불량을 판정하게 된다.
또한, 카메라가 장착되는 챔버의 내측을 흑암처리한 후 자동화에 의해 카메라로서 워크테이블의 상측에 장착되는 패널을 검사하게 된다.
도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이, 일반적인 LCD 검사 장비는 본체(1)의 일측에 LCD 패널(10)의 검사를 수행하는 검사부(2)가 배치되고, 이 검사부(2)의 일측에 LCD 패널(10)을 공급 및 회수하는 로딩/언로딩부(7)가 배치된 구성으로 이루어진다.
또한, LCD 검사 장비에는 LCD 패널(10)을 상기 로딩/언로딩부(7)에서 검사부(2)로, 검사부(2)에서 로딩/언로딩부(7)로 반송하여 주는 캐리어(9)가 좌/우로 이동이 가능하게 설치되어 있다.
상기 검사부(2)는 프로브 유니트(3) 및 LCD 패널(10)을 상기 프로브 유니트(3)에 콘택시킴과 더불어 광원을 제공하는 얼라인먼트 스테이지(4)로 구성된다.
상기 얼라인먼트 스테이지(4)는 편광판(4-11) 및 백라이트(4-13)를 구비하는 워크 스테이지(4-1)와, 상기 워크 스테이지(4-1)의 후방에 워크 스테이지(4-1)를 프로브 유니트(3)에 대해 정렬함과 더불어 프로브 유니트(3)에 접속시키는 XYθ 스 테이지(4-3)로 구성된다.
상기 로딩/언로딩부(7)에는 로더(미도시)로부터 반송된 LCD 패널을 소정 각도(예컨대 60도)로 기울여주는 서브테이블(8)이 설치된다.
또한, 상기 검사부(2)의 전방에는 LCD 패널(10)의 육안 검사시 이상이 발견되었을 때 작업자가 이를 더욱 정밀히 확인하기 위한 현미경(6)이 상하 및 좌우로 이동이 가능하게 설치되어 있다.
상기와 같은 종래의 LCD 검사 장비에서 이루어지는 검사 과정을 간략하게 설명하면 다음과 같다.
로딩/언로딩부(7)의 로더(미도시)로부터 서브테이블(8)에 LCD 패널(10)이 전달되고, 서브테이블(8)은 소정 각도로 기울어지면서 캐리어(9)에 LCD 패널(10)을 전달한다. 이어서, 캐리어(9)는 LCD 패널(10)을 검사부(2)로 반송한다. 검사부(2)에 테스트할 LCD 패널(10)이 위치되면, 후방에서 XYθ 스테이지(4-3)가 전진하여 캐리어(9)의 LCD 패널(10)을 진공 흡착하여 고정하고, 고정된 LCD 패널(10)의 패드(미도시)를 프로브 유니트(3)의 리드핀(미도시)에 접속시킨다.
이와 같이 LCD 패널(10)과 프로브 유니트(3) 간의 전기적 접속이 이루어지면, 프로브 유니트(3)를 통해 소정의 영상 신호가 인가됨과 동시에, 백라이트(4-13)의 조명이 외부의 영상신호 입력 장치인 패턴제너레이터(pattern generator)에 의해 다양한 패턴으로 바뀌게 되고, 작업자는 이 때 구현되는 패턴으로 패널의 불량을 판별하게 된다.
그러나, 이러한 종래의 LCD 검사 장비의 얼라인먼트 스테이지는 XYθ 스테이 지에서 워크 스테이지를 Z축으로 이동시키는 구조로 형성되어 있어 XYθ 스테이지에 워크 스테이지를 이동시키는 이동 수단(모터, 볼스크류 등)가 설치되고, XYθ 스테이지의 전면에 워크 스테이지가 결합되기 때문에 XYZθ 스테이지의 무게 중심이 상부에 위치하여 워크 스테이지의 이동시 진동이 발생하고, XYZθ 스테이지의 브라켓에 많은 하중이 가해져 형상이나 위치가 가변되는 문제점이 있다.
또한, 이러한 종래의 LCD 검사 장비의 워크 스테이지는 백라이트에서 발생되는 고온의 열을 LCD 검사 장비 측으로 배출하기 때문에 고온의 열에 의해 프로브 유니트의 변형을 발생하는 다른 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, XYθ 스테이지를 Z축 방향으로 이동시키도록 XYθ 스테이지의 저면에 무빙 스테이지를 설치함으로써 XYθ 스테이지 및 워크 스테이지의 이동시 진동이 발생하는 것을 미연에 방지하고, XYθ 스테이지의 브라켓에 많은 하중이 가해지는 것을 미연에 차단하도록 하는 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 워크 스테이지의 백라이트에서 발생하는 열을 덕트를 통해 XYθ 스테이지로 전달한 후 XYθ 스테이지에서 외부로 배출시킴으로써 백라이트에서 발생하는 열에 의해 프로브 유니트의 변형이 발생하는 것을 미연에 방지하도록 하는 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지를 제공하는데 다른 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,
직사각 형태의 턴 플레이트의 전면에 편광판과 백라이트가 구비되고, 상기 턴 플레이트의 측면에 석션 덕트가 구비되는 워크 스테이지와; 브라켓의 전면에 복수의 XYθ 모듈이 설치되고, 상기 XYθ 모듈이 상기 워크 스테이지의 턴 플레이트와 결합되며, 상기 브라켓의 배면에 상기 워크 스테이지의 석션 덕트와 연결되는 석션 메인 박스를 구비하는 XYθ 스테이지; 및 상기 XYθ 스테이지의 브라켓의 저면과 연결되어 상기 XYθ 스테이지를 Z축으로 이동시키는 무빙 스테이지로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 워크 스테이지의 석션 덕트는 내부에 팬을 구비한다.
여기에서 또한, 상기 XYθ 스테이지의 석션 메인 박스는 흡기측에 상기 워크 스테이지의 석션 덕트와 플렉시블 덕트로 연결되고, 배기측에 외부의 블로우가 연결된다.
여기에서 또, 상기 무빙 스테이지는 금속 재질로 사각 판 형상으로 형성되되, 상면에 폭방향으로 다수의 레일이 돌출 형성되는 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 중앙부에 폭방향으로 설치되고, 상기 워크 스테이지의 브라켓의 저면과 결합되어 상기 브라켓을 Z축으로 이동시키는 구동 어셈블리와; 상기 베이스 플레이트의 레일 상에 각각 설치되고, 상기 XYθ 스테이지의 브라켓의 저면과 결합되는 LM 가이드 블록을 구비하는 LM 가이드와; 상기 XYθ 스테이지의 브라켓의 이동량을 검출하도록 상기 베이스 플레이트 상의 길이 방향 양측에 센서 브라켓에 의해 센서 레일이 설치되고, 상기 센서 레일에 설치되는 위치 센서; 및 상기 워크 스 테이지와, XYθ 스테이지 및 무빙 스테이지에 신호를 전달하도록 상기 베이스 플레이트 상의 길이 방향 양측에 설치되는 케이블베어 어셈블리로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 XYθ 스테이지는 상기 위치 센서와 대응되는 위치에 상기 위치 센서를 이동시키는 센서 도그가 더 구비된다.
여기에서 또, 상기 무빙 스테이지는 상기 베이스 플레이트의 레일과 레일 사이인 폭방향 일단에 상기 XYθ 스테이지의 브라켓의 위치를 조정하는 위치 조정 블록이 더 형성된다.
여기에서 또, 상기 구동 어셈블리는 회전 모터와; 상기 회전 모터의 회전축과 일단이 연결되는 볼 스크류와; 상기 볼 스크류의 타단이 고정되는 베어링 부재; 및 상기 볼 스크류의 회전에 따라 이를 따라 이동되어 상기 XYθ 스테이지의 브라켓을 이동시키도록 상기 볼 스크류 상에 설치되고, 상기 브라켓과 결합되는 무빙 플레이트로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 LM 가이드는 양단에 상기 LM 가이드 블록의 위치를 제한하도록 스토퍼가 더 구비된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명인 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지에 따르면, XYθ 스테이지를 Z축 방향으로 이동시키도록 XYθ 스테이지의 저면에 무빙 스테이지를 설치함으로써 XYθ 스테이지 및 워크 스테이지의 이동시 진동이 발생하는 것을 미연에 방지하고, XYθ 스테이지의 브라켓에 많은 하중이 가해지는 것을 미연에 차단할 수 있고, 워크 스테이지의 백라이트에서 발생하는 열을 덕트를 통해 XYθ 스테이지로 전달한 후 XYθ 스테이지에서 외부로 배출시킴으로써 백라이트에서 발생하는 열에 의해 프로브 유니트의 변형이 발생하는 것을 미연에 방지할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지의 구성을 나타낸 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지의 구성을 나타낸 정면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지의 구성을 나타낸 측면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지중 XYθ 스테이지의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 7은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지중 무빙 스테이지의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 3 내지 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스 테이지(100)는 워크 스테이지(200)와, XYθ 스테이지(300)와, 무빙 스테이지(400)로 구성된다.
먼저, 워크 스테이지(200)는 종래와 동일한 통상의 구조로 직사각 형태의 턴 플레이트(210)의 전면에 편광판(미도시)과 백라이트(미도시)가 구비된다. 여기에서, 워크 스테이지(200)는 턴 플레이트(210)의 측면에 석션 덕트(220)가 구비되는 데, 석션 덕트(220)는 내부에 팬(230)을 구비한다.
그리고, XYθ 스테이지(300)는 브라켓(310)의 전면에 종래와 동일하게 5개의 XYθ 모듈(320)이 설치되고, 각각의 XYθ 모듈(320)이 워크 스테이지(200)의 턴 플레이트(210)와 결합되며, 브라켓(310)의 배면에 워크 스테이지(200)의 석션 덕트(220)와 연결되는 석션 메인 박스(330)를 구비한다. 여기에서, XYθ 스테이지(300)의 석션 메인 박스(330)는 흡기측에 워크 스테이지(200)의 석션 덕트(220)와 플렉시블 덕트(340)로 연결되고, 배기측에 외부의 블로우(미도시)가 플렉시블 덕트(340)로 연결된다. 여기에서 또한, XYθ 스테이지(300)는 하기에서 설명할 무빙 스테이지(400)의 위치 센서(440)와 대응되는 위치에 위치 센서(440)와 결합되어 이를 이동시키는 센서 도그(360)가 설치된다.
또한, 무빙 스테이지(400)는 베이스 플레이트(410)와, 구동 어셈블리(420)와, LM 가이드(430)와, 위치 센서(440)와, 케이블베어 어셈블리(450)와, 위치 조정 블록(460)으로 구성된다.
베이스 플레이트(410)는 금속 재질로 사각 판 형상으로 형성되되, 상면에 폭방향으로 다수의 레일(411)이 돌출 형성된다. 여기에서, 베이스 플레이트(410)에는 상기 위치 조정 블록(460)이 설치되는 수납홀(413)이 형성된다.
구동 어셈블리(420)는 베이스 플레이트(410)의 중앙부에 폭방향으로 설치되는 회전 모터(421)와, 회전 모터(421)의 회전축과 일단이 동일 선상으로 연결 설치되는 볼 스크류(423)와, 볼 스크류(423)의 타단이 고정되는 베어링 부재(425)와, 볼 스크류(423)의 회전에 따라 이를 따라 이동되어 XYθ 스테이지(300)의 브라켓(310)을 이동시키도록 볼 스크류(423) 상에 설치되고, 브라켓(310)의 저면 중앙과 결합되는 무빙 플레이트(427)로 이루어진다.
LM 가이드(430)는 베이스 플레이트(410)의 레일 상에 각각 설치되고, XYθ 스테이지(300)의 브라켓(310)의 저면과 결합되는 LM 가이드 블록(431)을 구비하고, 이의 양단에 LM 가이드 블록(431)의 위치를 제한하도록 스토퍼(433)가 형성된다. 여기에서, LM 가이드 블록(431)의 상면은 구동 어셈블리(420)의 무빙 플레이트(427)의 상면과 동일 선상으로 형성된다.
위치 센서(440)는 XYθ 스테이지(300)의 브라켓(310)의 이동량을 검출하도록 베이스 플레이트(410) 상의 길이 방향 양측에 센서 브라켓(441)에 의해 센서 레일(443)이 설치되고, 센서 레일(443) 상에서 Z축으로 이동 가능하도록 설치된다.
케이블베어 어셈블리(450)는 통상의 구조로 장비측에서 출력되는 신호를 워크 스테이지(200)와, XYθ 스테이지(300) 및 무빙 스테이지(400)에 전달하도록 베이스 플레이트(410) 상의 길이 방향 양측에 설치된다.
위치 조정 블록(460)은 XYθ 스테이지(300)의 브라켓(310)의 위치를 조정하도록 "니은자" 형태로 형성되고, 저면이 베이스 플레이트(410)의 레일(411)과 레 일(411) 사이에 형성된 수납홀(413)에 고정 설치되며, 상면이 XYθ 스테이지(300)의 브라켓(310)의 배면과 결합되고, 중앙부에 위치 조정 볼트(461)가 구비된다.
이하, 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지의 동작을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 종래와 동일하게 로딩/언로딩부(도 1의 7)의 로더(미도시)로부터 서브테이블(도 1의 8)에 LCD 패널(10)이 전달되고, 서브테이블(8)은 소정 각도로 기울어지면서 캐리어(도 2의 9)에 LCD 패널(도 2의 10)을 전달한다.
이어서, 캐리어(9)는 LCD 패널(10)을 검사부(도 1의 2)로 반송한다. 검사부(2)에 테스트할 LCD 패널(10)이 위치하게 되면, 무빙 스테이지(400)가 동작하여 워크 스테이지(200)와, XYθ 스테이지(300)를 Z축 방향으로 전진시킨다.
즉, 무빙 스테이지(400)의 구동 어셈블리(420)중 회전 모터(421)가 회전을 하면, 볼 스크류(423)가 회전되어 결국 무빙 플레이트(427)가 이동되어 XYθ 스테이지(300)의 브라켓(310)이 LM 가이드(430)를 따라 Z축으로 이동하게 된다.
이때, XYθ 스테이지(300)의 브라켓(310)의 이동량을 위치 센서(440)에 의해 검출하여 구동 어셈블리(420)를 제어한다.
그런 다음, XYθ 스테이지(300)의 XYθ 모듈(320)이 동작되어 워크 스테이지(200)의 턴 플레이트(210)의 XYθ 위치를 조정한다.
이러한 상태에서 LCD 패널(10)이 고정되고, 검사가 시작되면, 워크 스테이지(200)의 석션 덕트(220) 내부의 팬(230)이 동작되어 백라이트에서 발생되는 열을 석션 덕트(220)와 플렉시블 덕트(340)를 통해 XYθ 스테이지(300)의 석션 메인 박 스(330)로 전달한다.
그러면, 석션 메인 박스(330)의 배기측과 연결된 블로워(350)를 통해 석션 메인 박스(330)의 열기가 외부로 방출된다.
본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1 및 도 2는 일반적인 엘씨디 테스트 장치의 구성을 나타낸 도면,
도 3은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지의 구성을 나타낸 정면도,
도 4는 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지의 구성을 나타낸 측면도,
도 5는 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지의 구성을 나타낸 분해 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지중 XYθ 스테이지의 구성을 나타낸 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지중 무빙 스테이지의 구성을 나타낸 사시도.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
200 : 워크 스테이지 210 : 턴 플레이트
220 : 석션 덕트 230 : 팬
300 : XYθ 스테이지 310 : 브라켓
320 : XYθ 모듈 330 : 석션 메인 박스
400 : 무빙 스테이지 410 : 베이스 플레이트
420 : 구동 어셈블리 430 : LM 가이드
440 : 위치 센서

Claims (8)

  1. 직사각 형태의 턴 플레이트의 전면에 편광판과 백라이트가 구비되고, 상기 턴 플레이트의 측면에 석션 덕트가 구비되는 워크 스테이지와;
    브라켓의 전면에 복수의 XYθ 모듈이 설치되고, 상기 XYθ 모듈이 상기 워크 스테이지의 턴 플레이트와 결합되며, 상기 브라켓의 배면에 상기 워크 스테이지의 석션 덕트와 연결되는 석션 메인 박스를 구비하는 XYθ 스테이지; 및
    상기 XYθ 스테이지의 브라켓의 저면과 연결되어 상기 XYθ 스테이지를 Z축으로 이동시키는 무빙 스테이지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 워크 스테이지의 석션 덕트는,
    내부에 팬을 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 XYθ 스테이지의 석션 메인 박스는,
    흡기측에 상기 워크 스테이지의 석션 덕트와 플렉시블 덕트로 연결되고, 배기측에 외부의 블로우가 연결되는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 무빙 스테이지는,
    금속 재질로 사각 판 형상으로 형성되되, 상면에 폭방향으로 다수의 레일이 돌출 형성되는 베이스 플레이트와;
    상기 베이스 플레이트의 중앙부에 폭방향으로 설치되고, 상기 워크 스테이지의 브라켓의 저면과 결합되어 상기 브라켓을 Z축으로 이동시키는 구동 어셈블리와;
    상기 베이스 플레이트의 레일 상에 각각 설치되고, 상기 XYθ 스테이지의 브라켓의 저면과 결합되는 LM 가이드 블록을 구비하는 LM 가이드와;
    상기 XYθ 스테이지의 브라켓의 이동량을 검출하도록 상기 베이스 플레이트 상의 길이 방향 양측에 센서 브라켓에 의해 센서 레일이 설치되고, 상기 센서 레일에 설치되는 위치 센서; 및
    상기 워크 스테이지와, XYθ 스테이지 및 무빙 스테이지에 신호를 전달하도록 상기 베이스 플레이트 상의 길이 방향 양측에 설치되는 케이블베어 어셈블리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 XYθ 스테이지는,
    상기 위치 센서와 대응되는 위치에 상기 위치 센서를 이동시키는 센서 도그 가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 무빙 스테이지는,
    상기 베이스 플레이트의 레일과 레일 사이인 폭방향 일단에 상기 XYθ 스테이지의 브라켓의 위치를 조정하는 위치 조정 블록이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 구동 어셈블리는,
    회전 모터와;
    상기 회전 모터의 회전축과 일단이 연결되는 볼 스크류와;
    상기 볼 스크류의 타단이 고정되는 베어링 부재; 및
    상기 볼 스크류의 회전에 따라 이를 따라 이동되어 상기 XYθ 스테이지의 브라켓을 이동시키도록 상기 볼 스크류 상에 설치되고, 상기 브라켓과 결합되는 무빙 플레이트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 LM 가이드는,
    양단에 상기 LM 가이드 블록의 위치를 제한하도록 스토퍼가 더 구비되는 것 을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 얼라인먼트 스테이지.
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