KR0174985B1 - 반도체 웨이퍼 가이드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 상태 감지센서가 형성된 웨이퍼 가이드에 관한 것이다.

본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 가이드는 카세트로부터 분리된 복수개의 반도체 웨이퍼를 일정한 간격을 두고 수직적으로 적재할 수 있는 반도체 웨이퍼 가이드에 있어서, 웨이퍼 가이드에 적재되는 각 웨이퍼의 상태를 감지할 수 있는 웨이퍼 상태 감지센서가 웨이퍼 가이드에 설치된 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 웨이퍼 표면의 손상을 줄일 수 있으며, 웨이퍼의 수량을 감지하는 공정과 웨이퍼를 가이하는 공정을 하나의 공정으로 줄일 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 웨이퍼 가이드

제1도는 종래의 웨이퍼 상태 감지공정과 웨이퍼 가이드 공정을 개략적으로 나타낸 도면이다.

제2a도는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼의 상태 감지센서를 부착한 웨이퍼 가이드의 일부를 개략적으로 나타낸 도면이다.

제2b도는 제2a도의 확대 부위의 적용예를 나타낸 측면도이다.

제3도는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 가이드 및 반도체 웨이퍼 상태 감지방법을 개략적으로 나타낸 공정도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 카세트 12 : 웨이퍼

14,32 : 웨이퍼 상태 감지센서 20 : 웨이퍼의 존부 감지센서

30 : 웨이퍼 가이드 34 : 요홈

36 : 발광부 38 : 수광부

40 : 센서막대 42 : 센서본체

44 : 슬라이더

본 발명은 반도체 웨이퍼 가이드에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼를 안내하는 공정에서 웨이퍼의 수량을 카운팅하는 공정과 웨이퍼를 가이드하는 공정을 하나의 공정에서 실시토록 하는 웨이퍼 가이드에 관한 것이다.

제1도를 참조하여 종래 기술을 설명하면, 카세트(10)에 적재된 웨이퍼(12)가 세정공정에 들어가기 전에 웨이퍼의 수량을 감지하는 공정과 세정공정으로 안내하는 웨이퍼 가이드 공정을 거치게 된다.

이렇게 웨이퍼(12)를 담은 카세트(10)가 웨이퍼 상태 감지센서(14)의 위치에 놓이게 되면, 카세트(10)의 하측부로부터 웨이퍼 상태 감지센서(14)가 승강하게 되고, 웨이퍼(12)의 사이로 웨이퍼 상태 감지센서(14)의 센서막대가 투입하게 됨에 따라 웨이퍼(12)의 수량을 카운팅하도록 되어 있다.

이렇게 웨이퍼(12)의 수량을 카운팅하는 웨이퍼 상태 감지센서(14)는 발광부(도시 안됨)와 수광부(도시 안됨)가 서로 마주보도록 구성되어 있으며, 상기 발광부와 수광부의 사이에 놓이게 되는 웨이퍼의 존부를 감지함으로써 투입된 웨이퍼(12)의 수량을 카운팅하도록 되어 있다.

이러한 카운팅 공정이 끝나면 웨이퍼 상태 감지센서(14)는 다시 웨이퍼(12)의 하측으로 하강하게 되고, 웨이퍼(12)는 카세트(10)와 함께 가이드부로 이송되어 진다.

한편, 이렇게 웨이퍼(12)를 담은 카세트(10)가 가이드부로 이송되면, 가이드부의 외측 소정 위치에 별도의 웨이퍼 존부 감지센서(20)가 있어 웨이퍼(12)가 정위치에 위치되었음을 감지하게 되고, 이 웨이퍼 존부 감지센서(20)의 신호를 받은 웨이퍼 가이드(22)는 웨이퍼(12)의 하측부에서 승강하며 카세트(10)로부터 웨이퍼(12)를 받아 웨이퍼(12)를 고르게 배치시키게 된다.

따라서, 웨이퍼(12)와 카세트(10)는 분리되어지며, 이후 웨이퍼 가이드(22)는 로봇이 웨이퍼(12)를 집어서 세정공정에 투입되기 용이하도록 안내하는 역할을 하게 된다.

이와 같이 종래의 웨이퍼 상태 감지센서를 사용하게 되면, 웨이퍼의 상태 감지센서 공정과 웨이퍼 가이드 공정으로 분류하여 실시하게 되어 공정에 따른 시간적인 손실이 있으며, 별도의 웨이퍼 존부 감지센서를 설치해야 하는 문제가 있으며, 센서의 단부가 웨이퍼의 패턴 부위에 접촉하게 됨에 따라 웨이퍼에 손상을 가할 수 있다는 문제가 있었다.

본 발명자는 전술한 종래의 문제점을 해결하고자 본 발명을 착안하게 되었다.

본 발명의 목적은 웨이퍼 상태 감지센서와 웨이퍼 가이드에 의한 공정을 하나의 공정에서 실시토록 하는 반도체 웨이퍼 가이드를 제공함에 있다.

본 발명에 따른 웨이퍼 가이드는, 웨이퍼의 유무 및 수량을 동시에 수행할 수 있도록 감지함과 아울러 상기 웨이퍼를 일정 간격을 두고 동일 형태로 수직 적재할 수 있도록 구성된 반도체 웨이퍼 가이드에 있어서, 상기 웨이퍼 가이드는 카세트의 저면부에 승강 가능하도록 설치되고, 상기 웨이퍼 가이드의 상부에는 웨이퍼의 유무 및 수량을 감지하기 위한 웨이퍼 상태 감지센서가 일정 간격으로 입설되며, 상기 웨이퍼 상태 감지센서는 판상의 센서본체와, 상기 센서본체상에 수직 설치된 다수의 센서막대 및 상기 센서막대 간의 대향 인접하는 양측 위치에 각각 설치된 발광부 및 수광부로 구성됨을 특징으로 한다.

또한, 상기 웨이퍼 가이드의 저단부에는 요홈이 형성되어 있으며 상기 웨이퍼 상태 감지센서의 센서본체가 상기 요홈에 삽탈 가능하도록 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 각 센서막대의 하단부에는 하향 경사진 슬라이더가 형성되어 적재되는 웨이퍼가 상기 각 인접한 센서막대 사이의 중간에 위치할 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 슬라이더는, 적재되는 상기 웨이퍼에 형성된 패턴 영역이 상기 센서막대의 발광부 및 수광부 위치에 도달하였을 때 상기 웨이퍼의 단부가 미끄럼 접촉하면서 안착될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 상태 감지센서가 형성된 웨이퍼 가이드에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

제2a도는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼의 상태 감지센서가 설치된 반도체 웨이퍼 가이드의 일부를 나타낸 개략적인 도면이고, 제2b도는 제2a도의 확대 부위의 적용예를 나타낸 측면도이다.

제2a도와 제2b도를 참조하여 상세히 설명하면, 웨이퍼(12)를 로봇(도시 안됨)에 안내하도록 하는 웨이퍼 가이드(30)에 웨이퍼(12)가 일렬로 놓이게 되고, 이렇게 놓이는 웨이퍼(12)의 무게 중심을 따라 소정 폭을 갖는 요홈(34)이 형성되며, 이 요홈(34)에 웨이퍼의 수량을 카운팅하도록 하는 웨이퍼 상태 감지센서(32)가 삽입·고정토록 되어 있다.

한편, 웨이퍼(12)의 수량을 카운팅하도록 하는 웨이퍼 상태 감지센서(32)에는 발광부(36)와 수광부(38)를 포함하고 있는 센서막대(40)가 센서본체(42)에 세워져 있으며, 이 센서막대(40)의 센서본체(42)에 인접한 위치에 소정 형상의 슬라이더(44)가 형성되어 있다.

그리고, 웨이퍼의 상태 감지센서(32)가 웨이퍼(12)의 사이로 투입됨에 따라 센서막대(40)는 센서의 상측 단부부터 웨이퍼(12)의 패턴이 형성되지 않은 부위(A)를 지나며 계속해서 상승하게 된다.

이렇게 상승하는 센서막대(40)의 단부가 웨이퍼의 패턴이 형성된 부위(B)를 지나기 전에 웨이퍼의 패턴이 설정되지 않은 부위(A)가 슬라이더(44)에 접촉하게 되고, 계속적으로 센서가 상승함에 따라 접촉된 웨이퍼(12)는 슬라이더(44)를 따라 슬라이딩되어 양측 슬라이더(44) 사이에 놓이게 되고 동시에 웨이퍼 가이드(30)에 안착하게 된다.

따라서, 이렇게 구성된 슬라이더(44)에 의해 웨이퍼(12)의 표면은 웨이퍼 상태 감지센서(32)의 단부에 접촉되지 않게 됨에 따라 웨이퍼(12)의 표면을 보호할 수 있을 뿐 아니라 웨이퍼 상태 감지센서(32)의 파손을 줄일 수 있게 된다.

또한, 웨이퍼 상태 감지센서(32)를 포함한 웨이퍼 가이드(30)에 의해 두 개의 공정으로 나뉘어 실시되던 작업을 하나의 공정에서 실시하도록 되어 있다.

전술한 공정에 대해 제3도를 참조하여 설명하면, 카세트(10)에 적재된 웨이퍼(12)가 세정공정에 들어가기 전에 웨이퍼 상태 감지센서(32)와 일체형으로 형성된 웨이퍼 가이드(30)의 상측에 위치되어 멈추게 된다.

이 후 카세트(10)의 하측에서 웨이퍼 상태 감지센서(32)를 탑재한 웨이퍼 가이드(30)가 승강하게 되고, 웨이퍼(12)의 사이로 웨이퍼 상태 감지센서(32)가 투입되며, 이어서 웨이퍼(12)는 웨이퍼 가이드(30)에 안착됨과 동시에 카세트(10)와 분리되어 진다.

이 때 웨이퍼 상태 감지센서(32)는 웨이퍼 가이드(30)에 놓인 웨이퍼(12)의 수량을 카운팅함과 동시에 웨이퍼(12)의 존부를 확인하는 역할을 하게 되며, 이에 따라 웨이퍼 상태 감지센서(32)의 신호를 받은 로봇(도시 안됨)은 웨이퍼(12)를 집어 올려 세정공정으로 이송하게 된다.

본 발명에 따른 기술사항에 있어서 반도체 웨이퍼가 세정공정에 투입되기 전에 안내되는 단계를 기술하였지만 이에 한정되는 것이 아니라 웨이퍼를 안내하도록 하는 모든 공정에 쓰일 수 있다.

본 발명에 따르면, 웨이퍼 표면의 손상을 줄일 수 있으며, 웨이퍼 상태 감지센서가 별도의 웨이퍼 존부 확인 센서로 사용될 수 있고, 두 개의 공정을 하나의 공정에서 실시토록 함으로써 시간적 손실을 줄일 수 있는 이점이 있다.

본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 사상과 범위 내에서 다양한 변형이나 수정이 가능함은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 이러한 변형이나 수정이 첨부된 특허 청구범위에 속함은 당연하다.

Claims (4)

1. 웨이퍼의 유무 및 수량을 동시에 수행할 수 있도록 감지함과 아울러 상기 웨이퍼를 일정 간격을 두고 동일 형태로 수직 적재할 수 있도록 구성된 반도체 웨이퍼 가이드에 있어서, 상기 웨이퍼 가이드는 카세트의 저면부에 승강 가능하도록 설치되고, 상기 웨이퍼 가이드의 상부에는 웨이퍼의 유무 및 수량을 감지하기 위한 웨이퍼 상태 감지센서가 일정 간격으로 입설되며, 상기 웨이퍼 상태 감지센서는 판상의 센서본체와, 상기 센서본체상에 수직 설치된 다수의 센서막대 및 상기 센서막대 간의 대향 인접하는 양측 위치에 각각 설치된 발광부 및 수광부로 구성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 가이드.
2. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 가이드의 저단부에는 요홈이 형성되어 있으며 상기 웨이퍼 상태 감지센서의 센서본체가 상기 요홈에 삽탈 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 가이드.
3. 제1항에 있어서, 상기 각 센서막대의 하단부에는 하향 경사진 슬라이더가 형성되어 적재되는 웨이퍼가 상기 각 인접한 센서막대 사이의 중간에 위치할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 가이드.
4. 제3항에 있어서, 상기 슬라이더는, 적재되는 상기 웨이퍼에 형성된 패턴 영역이 상기 센서막대의 발광부 및 수광부 위치에 도달하였을 때 상기 웨이퍼의 단부가 미끄럼 접촉하면서 안착될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 가이드.