KR940005608Y1 - 웨이퍼 이송용 캐리어 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

웨이퍼 이송용 캐리어

제1도는 본 고안의 정면도.

제2도는 제1도의 A-A선 단면도.

제3도는 제2도의 "B"부 사시도.

제4도는 종래 캐리어의 평면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 본체 2 : 걸림편

3 : 웨이퍼 4 : 안착홈

본 고안은 반도체 제조공정, 특히 웨이퍼의 검사 또는 테스트 공정에서 사용하는 웨이퍼 이송용 캐리어에 관한 것으로, 캐리어 본체에 진동에 가해져도 본체내에 적재된 웨이퍼가 유동하거나 이탈하는 것을 방지할수 있도록 한것이다.

웨이퍼의 검사 또는 테스트 공정에서 사용되어온 종래의 캐리어는 제4도에 도시한 바와 같이 일측에 개방된 본체(1)의 내부 양측면에 다수의 걸림편(2)을 좌, 우로 대향되게 형성한 구조로 되어 있으며, 상기 각 걸림편(2)위에 웨이퍼(3)가 얹혀진 본체(1)를 시스템 인덱서(System Indexer)로 이동시키고 이송기구를 작동시키면 로보트등의 기구에 의재 적재된 웨이퍼가 한장씩 다음공정으로 이송된다.

즉, 본체(1)내에 다수의 웨이퍼(3)가 적재된 상태에서 본체(1)의 저면이 시스템 인덱서에 밀착되도록 위치시키고 이송기구를 작동시키면 별도의 이송장치(도시는 생략함)에 의해 본체가 한스텝(웨이퍼의 적층간격과 같음)씩 하강을 하게 되며, 이때 로보트등의 기구에 의해 작동하는 작동아암(도시는 생략함)은 걸림편(2)위에 얹혀진 웨이퍼(3)를 약간 상방으로 들어올려 전방으로 인출한후 다음 공정으로 차례로 보내준다.

그러나 상기한 종래의 캐리어는 단지 본체(1)의 양측면에 걸림편(2)만을 형성한 구조이기 때문에 본체가 이송장치에 의해 한스텝씩 하강함에 따라 본체에 진동이 가해지는 경우 제4도의 일점쇄선도시와 같이 걸림편위에 얹혀진 웨이퍼가 입구부분(전방)으로 미그러져 나오기 쉽고, 이러한 경우 웨이퍼를 꺼내는 작동아암과 간섭을 일으켜 잼(Jam)과 같은 작동에러가 발생하는 문제가 있다.

본 고안의 목적은 캐리어 본체에 진동이 가해져도 웨이퍼가 미끄러지지 않고 적재된 본래의 위치를 유지할수 있는 웨이퍼 이송용 캐리어를 제공하기 위한 것이다. 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 일실시예에 따라 캐리어 본체의 양측벽에 형성된 걸리편에는 웨이퍼가 얹혀 삽입될수 있는 형상의 안착홈이 형성되어 있으며, 웨이퍼가 상기 안착홈내에 삽입됨에 따라 본체에 진동이 가해져도 웨이퍼는 유동하지 않게 된다.

이하 본 고안을 일실시예로 도시한 첨부된 도면 제1도 및 제2도를 참고로하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제1도는 본 고안의 정면도이고, 제2도는 제1도의 A-A선 단면도로서, 일측이 개방된 본체(1)의 내부 양측면에 상호 대향되게 걸림편(2)(통상 25개 정도)이 일정간격으로 형성되어 있고, 걸림편(2)의 안쪽에는 본체(1)의 이송시에 걸림편(2)상에 얹혀진 웨이퍼(3)가 개방부측으로 미끄러지는 것을 방지하기 위한 안착홈(4)이 제3도와 같이 형성되어 있는데, 이때 안착홈(4)의 깊이는 웨이퍼 두께×3/5 정도가 가장 바람직하며 안착홈(4)에 웨이퍼(3)를 안착시켰을 때의 간격(S)은 웨이퍼(3)보다 약간 크게 형성된다.

이는 안착홈(4)의 깊이가 너무 적을 경우에는 본체(1)의 이송시에 충격으로 인해 웨이퍼(3)가 안착홈(4) 내에서 이탈될 염려가 있고, 또한 깊이가 너무 깊을 경우에는 본체(1)의 안착홈(4)내에 얹혀진 웨이퍼(3)를 분리시킬 때 작동이 원활해 지지 않게 되는 문제점이 있기 때문이다.

또한 웨이퍼와 안착홈(4) 사이에 간격을 약간 크게 형성하는 것을 안착홈(4)에 안착된 웨이퍼를 꺼내는 작업이 용이해지도록 하기 위함이다.

이와 같이 구성된 본 고안의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저 본체(1)에 상호대향되게 형성된 각 걸림편(2)의 안착홈(4)내에 웨이퍼(3)를 안착시킨 상태에서 본체(1)를 시스템 인덱서에 올려 놓으면 안착홈(4)내에 안착된 웨이퍼(3)가 수평을 이루게 된다.

이러한 상태에서 본체(1)는 한 스텝씩 하강을 하고 이동아암(도시는 생략함)에 의해 안착홈(4)내에 안착된 웨이퍼(3)는 하나식 순차적으로 이송된다.

이와 같이 본체(1)가 별도의 이송장치에 의해 한 스텝씩 하방으로 이송될때 본체(1)에 충격이 발생되지만 웨이퍼(3)는 걸림편(2)상에 형성된 안착홈(4) 사이에 얹혀져 있어 개방부측으로 유동되지 않게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 고안은 걸림편(2)상에 웨이퍼(4)에 얹혀질 수 있도록 안착홈(4)을 형성하는 간단한 구조에 의해 본체(1)내에 삽입된 웨이퍼를 이송시 웨이퍼가 개방부측으로 미끄러지는 것을 미연에 방지할수 있게 되므로 동작중 잼(Jam)이 발생되는 것을 방지하게 되는 효과를 가지게 된다.

Claims (1)

1. 일측이 개방된 본체(1)의 내부 양측면에 상호 대향된 다수의 걸림편(2)을 형성한 것에 있어서, 상기 각 걸림편(2)상에 웨이퍼가 얹혀져 삽입될 수 있도록 안착홈(4)을 형성하여서 됨을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 캐리어.