KR100467818B1

KR100467818B1 - 반도체 웨이퍼 운반용 파드

Info

Publication number: KR100467818B1
Application number: KR10-2003-0006316A
Authority: KR
Inventors: 정순욱
Original assignee: 동부아남반도체 주식회사
Priority date: 2003-01-30
Filing date: 2003-01-30
Publication date: 2005-01-25
Also published as: KR20040069776A

Abstract

본 발명의 목적은 파드커버에 캐리어를 더욱 고정시킴으로써 파드 커버와 파드 도어의 불완전한 잠금상태에 의해 파드 도어가 탈락한 경우 파드 내부의 캐리어가 낙하 파손되는 것을 방지할 수 있도록 된 반도체 웨이퍼 운반용 파드를 제공함에 있다.

이에 본 발명은 하단이 개방된 커버와 이 커버 하단에 장착되고 내측에 캐리어가 놓여지는 도어를 포함하는 파드에 있어서, 상기 커버 상단에 설치되어 캐리어의 상단 손잡이를 선택적으로 고정시키기 위한 고정수단을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반용 파드를 제공한다.

Description

반도체 웨이퍼 운반용 파드{POD for wafer}

본 고안은 스탠더드 메커니컬 인터페이스(Standard Mechanical Interface 이하 SMIF라 약칭함)의 파드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 SMIF 파드내에 웨이퍼를 안전하게 고정할 수 있도록 된 반도체 웨이퍼 운반용 파드에 관한 것이다.

일반적으로 SMIF는 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 컨트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 것으로, SMIF 시스템은 반도체 제조 공정을 수행하는 반도체 장비의 주변 장치로서 웨이퍼가 저장된 캐리어를 반도체 장비에 장전하거나 인출하는데 이용된다.

이러한 SMIF는 반도체 제조공정실에서 웨이퍼 이동시 웨이퍼가 저장된 캐리어를 기밀이 유지되는 저장 용기에 담아 이동하는 SMIF 파드(POD)와, SMIF 파드를 그 위에 얹는 포트 플레이트와, 포트 플레이트를 지지하는 SMIF 아암을 포함하여, 포드 도어와 파드 도어와 캐리어가 함께 움직여 SMIF 아암안으로 내려가거나 포트 위로 올라오도록 동작된다.

여기서 상기 SMIF 파드는 그의 하부에 마련된 파드 도어, 파드 도어의 상부에 다수의 슬롯 각각에 웨이퍼가 정렬 탑재되어 있는 캐리어 및 캐리어를 덮고 있는 커버를 포함한다.

또한, SMIF 파드의 내부는 진공상태를 유지하는 것이 바람직하므로, 파드 도어에는 SMIF 파드의 내부에 공기 등의 주입을 방지하기 위한 고무재질의 밀봉재가 마련되어 있다. 밀봉재는 파드 도어의 각 측면을 따라 대략 사각 형상으로 배치되어 커버가 파드 도어와 선택적으로 체결될 때 커버와 파드 도어 사이의 간격을 밀봉하는 역할을 한다.

통상 웨이퍼펩에서 사용하는 SMIF 파드는 제조사별로 파드의 디자인이 조금씩 차이가 있으나 기본적으로는 상기한 구성으로 이루어지며 따라서 파드를 잠그는 잠금장치는 파드 도어에 설치되어 커버와 파드 도어를 결합시키게 된다.

그러나 상기한 종래 구조의 파드는 반도체 공저작업을 마친 후 작업자가 손으로 들고 이동시 파드 하단부의 잠금이 불완전할 경우 작업자가 파지하고 있는 파드 커버에 대해 파드 도어가 아래로 떨어지면서 파드 내에 놓여진 캐리어와 그 안에 보관되어 있는 웨이퍼가 아래로 떨어져 파손되는 문제점이 있다.

이에 본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 파드커버에 캐리어를 더욱 고정시킴으로써 파드 커버와 파드 도어의 불완전한 잠금상태에 의해 파드 도어가 탈락한 경우 파드 내부의 캐리어가 낙하 파손되는 것을 방지할 수 있도록 된 반도체 웨이퍼 운반용 파드를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 운반용 파드를 도시한 개략적인 사시도,

도 2는 본 발명에 따른 파드에 설치되는 캐리어 고정장치를 도시한 사시도,

도 3은 본 발명에 따른 도 2의 단면도,

도 4는 본 발명에 따른 파드에 캐리어가 고정되는 상태를 도시한 개략적인 평면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 파드 11 : 커버

12 : 도어 20 : 캐리어

21 : 손잡이 30 : 이동브라켓

31 : 안내레일 32 : 걸림부재

33 : 슬릿 34 : 손잡이부재

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 하단이 개방된 커버와 이 커버 하단에 장착되고 내측에 캐리어가 놓여지는 도어를 포함하는 파드에 있어서, 상기 커버 상단에 설치되어 캐리어의 상단 손잡이를 선택적으로 고정시키기 위한 고정수단을 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 고정수단은 커버 상단에 설치된 안내레일을 따라 이동가능하게 설치되는 이동브라켓과, 이 이동브라켓에 설치되고 진행방향으로 연장되어 캐리어의 상단 손잡이 내측으로 삽입되는 걸림부재, 상기 이동브라켓 상단에 설치되고 커버 외측으로 돌출되어 이동브라켓을 이동시키기 위한 손잡이를 포함한다.

따라서 파드 이동중에 커버 하단의 도어가 개방된 경우에도 캐리어는 고정수단에 의해 커버에 메달려 있게 되어 캐리어 낙하에 따른 웨이퍼 파손을 방지할 수 있게 되는 것이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 운반용 파드를 도시한 개략적인 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 파드에 설치되는 캐리어 고정장치를 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 도 2의 단면도이다.

상기한 도면에 의하면, SMIF는 반도체 제조공정실에서 웨이퍼 이동시 웨이퍼가 저장된 캐리어(20)를 기밀이 유지되는 저장 용기에 담아 이동하는 SMIF 파드(POD;10)와, SMIF 파드(10)를 그 위에 얹는 포트 플레이트와, 포트 플레이트를 지지하는 SMIF 아암을 포함하며, 상기 SMIF 파드(10)는 그의 하부에 마련되고 상단에 웨이퍼가 정렬 탑재되어 있는 캐리어(20)가 놓여지는 파드도어(12)와, 캐리어(20)를 덮어 상기 도어(12)에 결합되는 커버(11)를 포함한다.

여기서 본 발명은 상기한 구조의 파드(10)에 있어서, 파드(10) 상단에 파드(10) 내부에 위치한 캐리어(20)를 선택적으로 고정시키기 위한 캐리어 고정수단이 더욱 설치되며, 상기 캐리어 고정수단은 커버(11) 상단을 따라 이동가능하게 설치되는 이동브라켓(30)과, 상기 커버(11)에 고정설치되어 상기 이동브라켓(30)의 하단을 받쳐 지지하여 이동브라켓(30)을 가이드하기 위한 안내레일(31), 상기 이동브라켓(30)에 설치되고 진행방향으로 연장되어 캐리어(20)의 상단 손잡이(21) 내측으로 삽입되는 걸림부재(32), 상기 이동브라켓(30) 상단에 설치되고 상기 커버(11) 상단에 진행방향으로 형성된 슬릿(33)을 통해 커버(11) 외측으로 돌출되어 이동브라켓(30)을 이동시키기 위한 손잡이부재(34)를 포함한다.

상기 안내레일(31)는 한쌍으로 이루어지고 각 부재의 하단은 내측으로 절곡된 구조로 되어 이동브라켓(30)의 좌우측 선단이 받쳐 지지되는 구조로 되어 있다.

이에 따라 상기 이동브라켓(30)은 좌우측 안내레일(31)에 의해 전후 이동만이 가능하며 좌우측 유동은 제한된다. 이때 안내레일(31)와 이동브라켓(30) 사이의 유동간격에 따라 이동브라켓(30)의 움직임이 느슨해지거나 빡빡해지게 되는 데, 작업자가 충분히 손잡이부재(34)를 통해 이동브라켓(30)을 움직일 수 있을 정도의 유동간격을 확보함이 바람직하다.

한편, 본 실시예에서 상기 이동브라켓(30)은 커버(11) 내측에 위치하는 데, 이동브라켓(30)을 커버(11) 내측 상단에 밀착시키고 안내레일(31)를 이동브라켓(30) 좌우측에서 커버(11) 내측면에 고정시킴으로써 본 고정수단을 커버(11)에 장착할 수 있게 된다.

이때, 상기 이동브라켓(30) 상부에 돌출설치된 손잡이부재(34)는 커버(11) 상단에 형성된 슬릿(33)을 통해 외측으로 돌출된다.

이하, 본 발명의 작용에 대해 도 4를 참조하여 설명한다.

도어(12) 내측에 캐리어(20)를 적재한 상태에서 캐리어(20) 외측으로 커버(11)를 덮어 씌우고 커버(11) 하단과 도어(12)를 잠금장치를 이용하여 고정시키게 되면 캐리어(20)를 파드(10)에 담아 이동시킬 수 있게 된다.

여기서 상기와 같이 도어(12)와 커버(11)가 결합되면 본 실시예에 따른 고정수단을 작동하여 캐리어(20)를 커버(11)에 고정시킨다.

즉, 커버(11) 상부로 돌출되어 있는 손잡이부재(34)를 잡고 캐리어(20)의 손잡이(21)쪽으로 이동시키게 되면 손잡이가 커버(11)에 형성된 슬릿(33)을 따라 이동함과 더불어 손잡이부재(34)가 설치된 이동브라켓(30)이 커버(11)에 설치된 안내레일(31)을 따라 이동하게 된다.

따라서 상기 이동브라켓(30)에 설치된 걸림부재(32)가 진행하여 캐리어(20) 상단에 설치된 손잡이(21) 내측으로 진입하게 된다.

이와같이 걸림부재(32)가 캐리어(20)의 손잡이(21) 내측으로 삽입됨에 따라 캐리어(20)는 걸림부재(32)에 걸려 있는 형태가 된다. 이는 도 4에 잘 예시되어 있다.

물론, 파드(10)의 이동완료 후에는 커버(11) 외측으로 돌출된 손잡이부재(34)를 반대방향으로 밀어 이동시키는 것으로 걸림부재(32)를 캐리어(20) 상단 손잡이(21)에서 탈락시켜 커버(11)와 캐리어(20)의 고정상태를 해제시킬 수 있게 된다.

이와같이 고정수단에 의한 캐리어(20)의 이차고정을 통해 파드(10)의 하단부에 설치된 일차 잠금장치가 불완전하게 잠겨져 도어(12)가 커버(11)에서 개방된 경우 파드(10) 내에 있는 캐리어(20)는 아래로 낙하되지 않고 여전히 커버(11)에 남아 있게 되는 것이다.

이상 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 운반용 파드에 의하면, 파드를 작업자가 이동하는 과정에서 도어와 커버의 불완전한 결합으로 도어가 개방된 경우 캐리어의 낙하를 방지하여 캐리어의 파손은 물론, 캐리어에 적재되어 있는 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있게 된다.

Claims

하단이 개방된 커버와 이 커버 하단에 장착되고 내측에 캐리어가 놓여지는 도어를 포함하는 파드에 있어서,

상기 커버 상단에 설치되어 캐리어의 상단 손잡이를 선택적으로 고정시키기 위한 고정수단을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반용 파드.
제 1 항에 있어서, 상기 고정수단은 커버 상단에 설치된 안내레일을 따라 이동가능하게 설치되는 이동브라켓과, 이 이동브라켓에 설치되고 진행방향으로 연장되어 캐리어의 상단 손잡이 내측으로 삽입되는 걸림부재, 상기 이동브라켓 상단에 설치되고 커버 상단의 슬릿을 통해 외측으로 돌출되어 이동브라켓을 이동시키기 위한 손잡이를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반용 파드.