KR20010040518A - 컨테이너 - Google Patents

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KR20010040518A
KR20010040518A KR1020007008381A KR20007008381A KR20010040518A KR 20010040518 A KR20010040518 A KR 20010040518A KR 1020007008381 A KR1020007008381 A KR 1020007008381A KR 20007008381 A KR20007008381 A KR 20007008381A KR 20010040518 A KR20010040518 A KR 20010040518A
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이시카와도시오
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다이니치쇼지 가부시키가이샤
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Abstract

혐먼지성 물품을 수납하여 운반하기 위한 컨테이너의 뚜껑에 마련된 위치결정구멍 및 키홀에 대하여, 개방기구의 위치결정핀 및 키를 삽입하여, 뚜껑의 개폐를 행할 때, 위치결정구멍의 내부의 상면에 테이퍼면을 형성하고, 키홀에 플로팅기구를 구비함으로써, 삽입을 용이하게 하고, 다시 뚜껑을 닫을 때 잘 닫을 수 있는 컨테이너.

Description

컨테이너{Container}
반도체기판, 특히 실리콘 웨이퍼는 먼지나 기화된 유기물 (이하 단순히 「먼지」라 한다) 등이 부착되면 오염되고, 이러한 오염은 특히 생산수율, 즉 양품율(良品率)을 저하시키게 된다. 따라서 실리콘 웨이퍼를 운반할 때는, 그 주위를 청정도가 높은 환경으로 할 필요가 있다. 즉 실리콘 웨이퍼는, 운반시 높은 청정도를 유지해야 할 필요가 있는 물품(이하「혐먼지성 물품」이라 한다) 중 하나이다.
일반적으로, 실리콘 웨이퍼의 가공은 청정도가 높은 방(이하「고청정실」이라 한다) 소위 클린 룸에서 행해진다. 한편, 청정도가 낮은 방 등에서 실리콘 웨이퍼를 운반할 때에는, 그 실리콘 웨이퍼를 밀폐된 청정도가 높은 용기(이하 「컨테이너」라 한다)에 넣고 컨테이너와 함께 운반한다. 이렇게 함으로써, 실리콘 웨이퍼를 청정도가 낮은 방이나 옥외 등(이하「저청정실」이라 한다)을 경유하여 운반할 수가 있고, 운반시 실리콘 웨이퍼가 먼지에 의해 오염되지 않게 된다.
또한, 고청정실과 저청정실의 경계에 폐쇄가능한 개구를 갖춘 로더를 설치하여, 컨테이너 내부의 높은 청정도의 공간으로부터 실리콘 웨이퍼의 가공 등을 하기 위한 고청정실로 실리콘 웨이퍼를 반입(이하「로드」라 한다)하고, 또한 가공된 실리콘 웨이퍼를 다른 공정으로 옮기기 위해 고청정실로부터 컨테이너 내부의 높은 청정도의 공간으로 실리콘 웨이퍼를 반출(이하「언로드」라 한다)한다.
로드 및 언로드시에는, 로더의 개구를 경유하여 실리콘 웨이퍼가 반입, 반출되게 된다. 컨테이너는 로더의 개구측에 뚜껑을 구비하며, 반입, 반출시에는 이 뚜껑이 열리게 된다.
그리고 실리콘 웨이퍼의 반입, 반출을 행하지 않을 경우에는 로더의 개구는 폐쇄되고, 이렇게 함으로써 저청정실로부터 고청정실로 먼지가 들어가는 것을 방지한다. 이를 위해, 개구에 도어를 구비하고, 이 도어의 이동에 의해 개구를 개폐하는 방법을 취할 수 있다. 이러한 경우, 도어는 개구를 완전히 폐쇄할 수 있는 크기로 하여도 좋다. 또한, 도어의 크기를 개구부보다 예컨대 5mm 정도씩 주위가 작은 크기로 하고, 도어와 개구부 사이에 틈새를 마련하여 고청정실측의 기압을 저청정실측의 기압보다 높게 함으로써, 고청정실측으로부터 저청정실측으로 상기 틈새를 경유하여 기류가 흐르도록 하여도 좋다.
이와 같은 컨테이너와 로더의 규격으로는 이미 SEMI(Semiconductor Equipment and Material International) 규격 E47.1 「Box/Pod(FOUP)」, E15.1 「Tool Load Port」, E57 「Kinematic Coupling」, E62 「Front-Opening Interface Standard(FIMS)」, E63 「Box/Opener to Too1 Standard (BOLTS)」등(이하「규격」이라 한다)이 제안되어 채용되고 있다.
종래, 혐먼저성 물품을 수납한 컨테이너는 로봇이나 사람 손에 의해 저청정실로 운반된다. 그리고, 고청정실과 저청정실의 경계에 설치된 로더에 로봇이나 사람 손에 의해 올려진다. 이러한 로더에 구비된 개방기구에 의해 컨테이너의 전면(前面)에 마련된 뚜껑이 개폐됨으로써, 컨테이너의 개구부가 고청정실과 소통 혹은 차단된다.
개방기구에는 위치결정핀과 키가 마련되고, 컨테이너의 뚜껑의 전면에는 위치결정구멍과 키홀이 마련된다. 뚜껑을 열 때에는 위치결정구멍에 대하여 위치결정핀이 삽입된 후에 키홀에 대하여 키가 삽입되고, 키가 회전함으로써 뚜껑에 마련된 잠금기구가 동작하여, 잠금기구의 잠금턱이 컨테이너의 개구부의 가장자리에 마련된 피걸어맞춤부와의 걸어맞춤을 해제한다. 그리고, 위치결정핀 등이 삽입된 채 개방기구가 상대적으로 후퇴함으로써 뚜껑이 열리게 된다.
그러나 이들 동작은 컨테이너측의 각 부분의 미소한 어긋남에 의해 잘 행해지지 않을 수 있다. 즉, 금속제로 기계적인 구성을 갖는 개방기구, 즉 위치결정핀이나 키 등의 제조시의 공차는 매우 작지만(예컨대 ±0.01mm정도), 컨테이너 본체나 뚜껑은 수지제로서, 제조시의 공차가 ±0.5mm이상 존재한다.
또한, 컨테이너 전체가 자신의 탄성 때문에 휘어져 버리는 것이었다.
이 때문에 발생되는 구체적인 문제점으로서는,
A, 컨테이너는 로더에 직접적으로 올려지는 금속제 베이스부에 대하여, 위치결정구멍의 위치가 미묘하게 틀어져, 위치결정핀이 위치결정구멍에 잘 들어가지 않을 수 있다.
B, 위치결정핀이 잘 삽입되더라도, 이번에는 키가 키홀에 잘 삽입되지 않을 수 있다. 이는 위치결정구멍과 키홀과의 위치관계가 미묘하게 틀어져 있기 때문이다. 예컨대, 0.4mm 틀어져 있더라도, 잘 삽입되지 않을 수 있다.
C, 개구부에 대하여 닫혀진 뚜껑이 자중에 의해 아랫쪽으로 틀어져 버려, 상기 A, B의 문제가 더 조장되었다.
종래, 이 중 A에 대하여는
(1) 위치결정핀(39)의 외경치수보다 위치결정구멍(65)의 내경치수를 크게 하고(도 13 참조), 이에 의해 여유도(E)를 크게 마련하여 대처하였다. 그러나, 이와 같이 여유도(E)를 크게 하는 경우에는, 뚜껑(33)을 열었을 때, 이 여유도(E)만큼 뚜껑(33)이 자중에 의해 하방으로 어긋남이 발생하였다. 이 때문에, 다시 뚜껑(33)을 닫으려고 할 때, 잘 닫혀지지 않았다.
이러한 하방으로의 어긋남을 방지하기 위하여, 위치결정핀(39)의 주위에 고무캡(40)을 마련하고, 이 고무캡(40)의 내부의 공기를 흡인하여 진공압으로 함으로써 뚜껑(33)을 지지하고, 하방으로의 어긋남을 방지하고자 하는 기술도 채용되었으나(도 2 참조), 고무 캡(40) 자체가 탄성을 가지기 때문에, 잘 방지되지 않는 경우가 있었다.
(2) 또한, 위치결정구멍(65)의 가장자리에 모따기부(66)를 형성하고, 동시에 여유도를 작게 하는 것이 있었다(도 14 참조). 여유도를 작게 한 만큼, 뚜껑(33)을 열었을 때 하방으로 어긋나는 것을 방지할 수 있다. 그러나, 위치결정핀(39)의 선단이 모따기부(66)의 테이퍼면에 걸려 버려, 위치결정핀(39)의 삽입이 잘 되지 않는 경우가 있었다.
본 발명은, 운반시 높은 청정도를 유지해야 하는 기판 등과 같은 물품을 수납하여 운반하기 위한 컨테이너에 관한 것이다. 이하에서는, 그 물품으로서 실리콘 웨이퍼나 액정기판 등과 같은 반도체기판, 특히 실리콘 웨이퍼를 예로 들어 설명하나, 이는 예시에 불과하며, 본원발명을 한정하기 위한 것이 아니다. 본원발명은 운반시 높은 청정도를 유지해야 하는 물품이라면 어느 것에나 적용가능하다.
도1은 본원 발명의 실시형태에 따른 컨테이너가 올려진 로더를 저청정실측에서 본 사시도이다.
도2는 도1에 있어서 컨테이너의 뚜껑이 개방되기 전의 개념적인 설명을 하기 위한 것으로서, (A)는 종단면도, (B)는 (A)의 위치결정핀에 구비된 고무캡을 나타내는 종단면도이다.
도3은 도2에 있어서 뚜껑이 개방되고, 개방된 컨테이너의 개구부가 고청정실과 소통된 상태를 나타내는 단면도이다.
도4는 본원발명의 컨테이너를 나타내는 전체사시도이다.
도5는 도4의 컨테이너의 분해사시도이다.
도6은 뚜껑의 전면을 나타내는 정면도이다.
도7은 잠금기구를 나타낸 것으로서, (A)는 잠금기구의 정면도, (B)는 (A)의 종단면도, (C)는 (B)의 잠금턱이 풀어진 상태를 나타내는 도면, (D)는 (B)의 일부를 구성하는 뚜껑의 베이스를 나타내는 종단면도, (E)는 컨테이너의 개구부의 가장자리를 나타내는 정면도, (F)는 (E)의 가이드공을 나타내는 F-F단면도이다.
도8은 뚜껑과 컨테이너의 개구부의 실링구조를 나타낸 것으로서, (A)는 뚜껑의 베이스를 수평단면으로 하여 나타내는 전체적인 평면도, (B)는 (A)의 주요부분을 확대한 도면이다.
도9는 도7의 (A), (B)의 잠금기구를 나타내는 분해사시도이다.
도10은 위치결정구멍의 구조와 기능을 설명하기 위한 것으로서, (A)는 위치결정핀을 삽입하는 삽입초기의 단면도, (B)는 삽입이 완료된 단면도, (C)는 삽입후에 잠금이 풀어져 뚜껑이 하방으로 어긋난 단면도, (D)는 플로트가 뚜껑을 상대적으로 상방으로 밀어올리는 것을 설명하는 단면도이다.
도11은 본 발명의 다른 실시형태를 나타낸 것으로서, (A)는 위치결정핀을 삽입하는 삽입초기의 단면도, (B)는 삽입이 완료된 단면도이다.
도12는 본 발명의 또 다른 실시형태를 나타낸 것으로서, (A)는 위치결정핀을 삽입하는 삽입초기의 단면도, (B)는 삽입중기의 단면도, (C)는 삽입이 완료된 단면도이다.
도13은 종래예를 나타낸 것으로서, (A)는 삽입초기의 단면도, (B)는 삽입이 완료되어 뚜껑이 하방으로 어긋난 상태를 나타내는 단면도이다.
도14는 다른 종래예를 나타낸 것으로서, (A)는 위치결정핀과 위치결정구멍에 어긋남이 발생하지 않은 상태를 나타내는 단면도, (B)는 위치결정구멍이 하방으로 어긋나는 어긋남이 발생한 단면도이다.
본 발명은, 이상과 같은 문제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 컨테이너의 각 부분에 치수의 어긋남 등이 있어도 뚜껑을 열었을 때 뚜껑이 하방으로 어긋나는 것을 방지할 수 있고, 위치결정구멍이나 키홀에 위치결정핀이나 키가 잘 삽입될 수 있는 컨테이너를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이상과 같은 목적을 달성하기 위한 발명은 아래와 같다.
첫 번째 발명은, 혐먼지성 물품을 수납하여 운반하기 위한 컨테이너로서, 고청정실과 저청정실의 경계에 설치된 로더에 놓여지고, 상기 로더에 구비된 개방기구에 의해 뚜껑이 개폐됨으로써 개구부가 고청정실과 소통, 차단되는 이하의 수단을 구비한 컨테이너이다.
(a) 상기 개방기구의 위치결정핀이 삽입되기 위해 상기 뚜껑의 전면에 마련되는 위치결정구멍; 및
(b) 상기 위치결정구멍의 내부의 상면에만 형성되며, 상기 위치결정핀과의 접촉에 의해 상기 뚜껑을 상방으로 미소량 이동가능하게 한 테이퍼면.
이러한 컨테이너에 의해, 위치결정구멍의 여유도를 크게 한 종래기술에 비하여, 뚜껑이 닫힌 초기 상태에서 뚜껑이 하방으로 어긋난 경우에는, 테이퍼면의 기능에 의해 뚜껑은 밀어올려진 채 열리므로, 하방으로 어긋나는 경우가 전혀 없다. 또한, 테이퍼면은 상면에만 형성되므로, 뚜껑은 반드시 상방으로 미소량 이동되어 삽입이 확실하게 행해지므로, 걸림이 발생하기 어렵다.
두 번째 발명은, 또한, 상기 위치결정구멍은, 상기 뚜껑의 전면에 일체적으로 형성되는 수납홀과, 상기 수납홀내에서 적어도 위로 미소량 이동가능하도록 수납된 플로트와, 상기 플로트의 전면에 형성되며 실제로 위치결정핀이 삽입되는 삽입홀으로 이루어지는 이중구조를 가지며, 상기 삽입홀의 상면에 상기 테이퍼면이 형성되어 있는 컨테이너이다.
이에 따라, 위치결정핀이 플로트의 삽입홀에 삽입되어 갈 때에 있어서, 관성에 의해 힘이 붙어, 플로트(1) 수납홀의 상면(155)에 접하였을 때 뚜껑은 강하게 밀어올려지며, 따라서 위치결정핀이 테이퍼면에 걸려 멈추어버리는 걸림이 발생하기 어렵다.
또한, 플로트는 수납홀의 상면에 강하게 접하는데, 이러한 접촉에 의해 만일 먼지가 발생하더라도, 플로트와 수납홀의 사이에 갇혀서 주위를 오염시키는 것을 억제할 수 있다.
또한, 뚜껑이 닫혀 있는 상태에서 뚜껑이 정상적인 위치에 있는 경우에는, 뚜껑은 플로트에 의해 밀어올려지지 않고, 뚜껑이 열렸을 때 하방으로 미소량 어긋나는데, 이러한 어긋남은 플로트와 수납홀의 사이에서 일어나며, 따라서 어긋남에 수반하여 발생하는 먼지가 주위를 오염시키지 않는다.
세 번째 발명은, 또한, 상기 뚜껑의 전면에는, 상기 개방기구의 키가 삽입되는 키홀이 마련되고, 이러한 키홀의 부분을 상기 뚜껑의 면을 따라 미소량 이동가능하도록 한 플로팅기구가 구비되어 있는 컨테이너이다.
이에 따라, 키와 키홀의 위치, 및 위치결정핀과 핀홀의 위치에 어긋남이 있더라도, 키홀은 플로팅기구에 의해 미소량 이동할 수 있으며, 이러한 이동에 의해 키가 키홀으로 삽입될 수 있다. 여기서, 플로팅기구는 탄성부품을 사용하는 기구를 포함한다.
네 번째 발명은, 또한, 상기 플로팅기구는, 키홀의 회전부분의 주위를 대략 "J"자 모양으로 굴곡된 다수의 판스프링이 지지하는 구조를 갖는 컨테이너이다.
다섯 번째 발명은, 상기 뚜껑에는, 상기 키의 회전에 의해 상기 뚜껑의 개폐를 위해 동작하는 잠금기구와, 상기 잠금기구의 잠금턱이 상기 뚜껑의 가장자리부분의 창으로부터 돌출하여, 상기 개구부의 가장자리부에 마련된 피걸어맞춤부에 걸어맞춤하기 위한 상기 잠금턱이 구비되고, 상기 개구부의 가장자리부에는 내주측의 안플랜지와 외주측의 바깥플랜지가 형성되며, 두 플랜지 사이에 상기 피걸어맞춤부 및 실링영역이 마련되는 컨테이너이다.
이에 따라, 뚜껑의 상방으로의 미소량 이동에 의해 피걸어맞춤부 또는 실링영역에서 마찰이 발생하여 먼지가 생기더라도, 안플랜지(131)와 바깥플랜지(133)의 사이에 가둘 수 있다.
여섯 번째 발명은, 또한, 상기 수납홀은, 상면에 상기 플로트와의 접촉에 의해 상기 뚜껑을 상방으로 미소량 이동가능하도록 한 테이퍼면이 형성되어 있는 컨테이너이다.
이에 따라, 뚜껑의 밀어올림은, 두군데의 테이퍼면에서 분담되는 접촉에 의해 행해져, 수납홀의 테이퍼면에 의한 접촉에 의해 발생하는 먼지는 플로트와 수납홀의 사이에 가둘 수 있다.
이하, 본원발명의 최적의 실시형태의 예를 도2 내지 도11을 참조하여 설명하기로 한다. 한편, 이하의 실시형태는 본원발명의 범위를 한정하지 않는다. 즉, 당업자라면 본원발명의 원리의 범위에서 다른 실시형태를 채용할 수 있다.
[컨테이너와 로더의 관계]
도1, 도2 및 도3은 본원발명의 실시형태에 따른 컨테이너를 로더에 의해 개폐하여 고청정실과 소통, 차단하는 순서의 개요를 설명한 도면이다.
도1에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 2대의 로더(1)가 제어반(3)과 함께 고청정실(5)과 저청정실(7)의 경계에 마련된 벽(9)에 설치되어 있다. 2대의 로더(1)중 예컨대 하나를 실리콘 웨이퍼의 반입 전용, 다른 하나를 반출 전용으로 함으로써 작업의 흐름에 따라 실리콘 웨이퍼의 반입, 반출을 할 수 있다.
컨테이너(11)는 로더(1)의 스테이지(13) 상에 위치 결정되어 놓여진다. 이러한 위치 결정은 스테이지(13) 및 컨테이너(11)의 베이스부(15)에 마련된 키네마틱 커플링(도면에서 참조부호 17은 그 일부를 구성하는 수(雄)형부재) 에 의해 행해진다.
컨테이너(11)를 올려 놓는 것은 예컨대 사람이 행해도 좋고, 현장에 구비된 반송 로봇이나 바닥 주행 AGV에 탑재된 로봇 등에 의해 행하여도 좋다. 또, 천정의 반송 로봇에 의해 놓여질 수 있도록 컨테이너(11)의 상부에는 플랜지(19)를 설치할 수도 있다. 이러한 운반의 실시형태에 대해서는 예컨대 규격에 정해진 방법을 이용할 수 있다.
또한, 키네마틱 커플링을 이용한 위치 결정의 방법 등에 대해서도, 예컨대 규격에 정해져 있는 있는 방법을 취할 수 있다.
도2에 있어서, 로더(1)에 놓여진 컨테이너(11)의 전방부분의 벽(21)에는 개구(23)가 형성되고, 이 개구(23)는 클로우져 등이라 불리우는 도어(25)에 의해 덮어져 있다. 이 도어(25)와 개구(23) 사이는, 반드시 완전히 밀폐되어 있지는 않으며, 일정한 틈새(27)가 형성되어 있다. 이 틈새(27)의 존재에 의해 고청정실(5) 측에 가해진 양의 압력에 의해, 고청정실(5)측에서 저청정실(7)측으로 기류(29)가 발생하고, 이 기류(29)에 의해 고청정실(5)로 먼지가 침입하는 것을 방지할 수 있다.
그리고 먼저, 컨테이너(11)를 올려 놓은 스테이지(13)를 구동기구(31)에 의해 도어(25)에 근접시킨다. 이 도어(25)는, 컨테이너(11)의 전면에 위치하는 뚜껑(33)을 개폐하기 위한 개방기구(35)의 일부를 구성하는 오프너(37)를 겸한다.
즉, 오프너(37)의 저청정실(7) 측의 면에는, 컨테이너(11)의 뚜껑(33) 사이에 위치결정 기구(도면에서 참조부호 39는 그 일부를 구성하는 위치결정핀)가 마련되어, 뚜껑(33)과 오프너(37)의 위치 결정이 행해진다.
도2의 (B)에 나타낸 바와 같이, 위치결정핀(39)은, 공기모양의 고무캡(40)의 중앙에 마련되며, 위치결정핀(39)이 위치결정구멍에 삽입되었을 때, 고무캡(40)은 뚜껑의 전면에 흡착된다. 즉, 위치결정핀(39)의 고무캡(40)의 내측에 위치하는 부분에 형성된 흡인구(39A)로부터 고무캡(40)내의 공기는 흡인되어, 공기통로(39B)를 통해 외부의 도시하지 않은 진공펌프로 보내진다. 이에 따라, 뚜껑(33)은 고무캡(40)의 진공압에 의해 대략 유지되고 고정된다.
또한, 이와 같이 고정된 상태에서, 오프너(37)측에 마련된 키(41)가 뚜껑(33)측에 마련된 키홀에 삽입되며, 이 키(41)가 회동함으로써 뚜껑(33)의 내부에 마련되는 잠금기구가 동작되며, 이에 따라 잠금기구의 잠금턱이 컨테이너(11)의 개구부의 가장자리에 마련된 피걸어맞춤부와의 걸어맞춤을 해제한다.
그런 다음, 뚜껑(33)이 오프너(37)에 고정된 채, 컨테이너(11)를 올려놓은 스테이지(13)가 약간 후퇴한다. 이러한 후퇴에 의해, 뚜껑(33)으로부터 컨테이너(11)가 떨어져 컨테이너(11)의 개구부는 개방된다.
그 후, 뚜껑(33)을 고정한 오프너(37)는, 개방기구(35)에 구비된 구동기구(43)에 의해 로더(1)내로 하강된다. 그리고, 컨테이너(11)를 올려 놓은 스테이지(13)는 다시 전진한다. 이러한 전진에 의해, 컨테이너(11)의 개구부는 벽(21)의 개구(23)를 통해 고청정실(5)과 소통된다(도 3). 이 때, 컨테이너(11)의 개구부와 벽(23)의 개구와의 사이에는 소정의 틈새(45)가 형성되며, 이 틈새(45)를 통해 고청정실(5)로부터 저청정실(7)로 기류(47)가 발생하여, 저청정실(7)측의 먼지가 고청정실(5)측으로 유입되는 것을 방지한다.
이와 같이 하여 고청정실(5)과 소통된 컨테이너(11)로부터, 혐먼지성물질인 실리콘웨이퍼가 고청정실(5)로 반입되어, 소정의 가공이 실시된다. 가공을 마친 실리콘웨이퍼는, 다른 로더(1)에 놓여진 컨테이너(11)에 반출되어도 좋고, 같은 로더(1)에 놓여진 컨테이너(11)로 반출되어도 좋다. 이와 같이 반입 및 반출은 고청정실(5)내에 마련된 크린 룸용 스칼라형 로봇 등과 같이 공지의 방법을 이용할 수 있다.
실리콘 웨이퍼가 컨테이너(11)로 반출될 때에는, 상술한 반입과 반대 순서로 행해진다. 즉, 컨테이너(11)를 올려 놓은 스테이지(13)가 후퇴하고, 뚜껑(33)을 고정한 오프너(37)가 개방기구(35)의 구동기구(43)에 의해 상승한다. 그리고, 스테이지(13)는 다시 약간 전진하고, 컨테이너(11)의 개구부를 뚜껑(33)이 덮는다. 그리고, 오프너(37)의 열쇠(41)가 역방향으로 회동하고 잠금기구의 잠금턱이 걸어맞춤부에 걸어맞춤되어 잠기고, 뚜껑(33)에 의해 컨테이너(11)의 개구부를 밀폐한다. 그리고, 오프너(37)의 고정수단이 뚜껑(33)의 고정을 해제한 다음, 스테이지(13)가 다시 후퇴하여, 컨테이너(11)의 저청정실(7)측에서의 운반이 가능해진다.
[컨테이너의 구조]
다음, 본원발명의 최적의 실시형태에 따른 컨테이너의 구조예를 도4 내지 도10을 참조하여 설명하기로 한다.
(전체개략)
도4에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 따른 컨테이너(11)는 전체적으로 대략 상자형상을 이루고, 전면에 사각형의 개구부(49)가 형성되어 있다. 컨테이너(11)의 내부는 혐먼지성 물품인 실리콘 웨이퍼(51)를 수납하기 위한 공간으로 이용되고, 공간의 좌우의 내벽 및 안쪽의 내벽에는 복수개의 실리콘 웨이퍼(51)를 서로 평행한 상태에서 수평으로 지지하기 위한 티이스(53) 및 스톱퍼(54)(도6)라 불리우는 부품이 결합되어 있다.
외측의 상면에는, 천정의 반송 로봇에 의해 파지되기 위한 플랜지(19)가 복수의 나사(55)에 의해 상면에 평행하게 소정의 간격으로 결합된다. 외측 바닥에는 베이스부(15)가 결합된다. 이 베이스부(15)에는 로더(1)의 스테이지(13)(도1 참조)와의 사이에 위치 결정을 하기 위한 키네마틱 커플링이 마련된다. 즉 스테이지(13) 측에 마련된 키네마틱 커플링을 구성하는 수형 부재(17) (도1 참조)인 막대형상의 돌기를 받는 V자 홈을 가지는 암형 부재(57)가 베이스부(15)에 마련된다(도5 참조). 이 암형 부재(57) 및 수형 부재(17)는 세 곳에 마련되며, 각 V자 홈의 바닥의 V자 선단에 의해 형성되는 직선은 각각 직선의 연장방향이 베이스부(15)의 중앙의 한 곳에서 교차하도록 배치되어 있다. 이렇게 배치함으로써, 정확한 위치 결정이 행해진다.
개구부(49)를 개폐하는 뚜껑(33)은 외측의 커버(59)와 내측의 베이스(61)에 의한 이중구조(도5 참조)로 되어 있다. 또 베이스(61)의 내측에는 프론트 웨이퍼 누름부재(63)(도5 참조)가 더 마련되어, 서로 평행하게 지지되어 수납된 복수개의 실리콘 웨이퍼(51)를 눌러 고정함으로써, 흔들림이 없는 상태에서의 반송을 가능하게 한다.
도6에 도시된 바와 같이, 뚜껑의 전면의 상방우측과 하방좌측에는 위치결정구멍(65)이 마련된다. 또한, 좌우에는 키홀(67)이 마련된다. 이러한 두 개의 위치결정구멍(65)의 상하간격 및 좌우간격을 크게 함으로써, 개방기구(35)가 삽입된 위치결정핀(39)에 의해 뚜껑(33)을 안정적으로 지지할 수 있다. 키홀(67)에 삽입된 키(41)가 회전됨으로써 잠금기구가 동작하여 잠금이 풀어진다. 그리고, 개방기구(35)가 상대적으로 후퇴하여 뚜껑이 열린다.
(잠금기구)
도7 및 도9에 도시된 바와 같이, 뚜껑(33)의 커버(59)와 베이스(61) 사이의 공간(도7의 (B))에는 잠금기구(69)가 마련된다.
즉, 도6의 우측의 키홀(67)에 관계된 잠금기구에 대하여, 도7 및 도9를 참조하여 설명하면, 뚜껑(33)의 커버(59)에 열려진 원통형상의 둥근창(71)의 내측에는 원통형상의 슬리브(73)가 끼워져 결합되고, 이러한 슬리브(73)의 내부에 캠(75)의 상면에 마련된 원통형상 부분(77)이 삽입되어 지지되어 있다. 이러한 슬리브(73)의 내주면에는 다수의 판스프링(79)이 결합되어 있다. 이러한 판스프링(79)은 역"J"자 형상으로 굴곡되어 있으며, 굴곡된 둥근 부분에서, 캠(75)의 원통형상 부분(77)을 지지하고 있다. 이에 따라, 캠(75)이 뚜껑(33)의 전면의 면을 따라 미소량 상하좌우로 이동가능해지는 플로팅기구(81)가 구성되어 있다. 둥근창(71)으로부터 노출되는 원통형상 부분(77)의 단면에는 직사각형상의 키홀(67)이 형성된다. 이러한 키홀(67)의 가장자리는, 키(41)가 삽입되기 쉽도록 모따기되어 있다.
캠(75)의 하면에는, 마찬가지의 원통형상 부분(83)이 마련되며, 동일한 다수의 판스프링(85)을 구비한 슬리브(87)를 통해 뚜껑(33)의 베이스(61)에 열려진 원통형상의 지지부(89)에 지지되어 있다. 이러한 판스프링(85)과 슬리브(87)에 의해 플로팅기구(81)가 구성되어 있다.
캠(75)의 원반형상부분(91)에는, 캠홈(93)이 두 개, 원반형상부분(91)의 중심을 사이에 두고 서로 점대칭으로 형성되어 있다. 각 캠홈(93)에는, 슬라이더(95)의 선단의 둥근 걸림부(97)가 걸려고정되어 있다. 캠홈(93)의 형상에 의해, 캠(75)이 회전하면, 슬라이더(95)는 캠(75)으로 근접되는 방향으로 슬라이딩하거나, 멀어지는 방향으로 슬라이딩한다. 또한, 원반형상 부분(91)의 상하면에는 가이드핀(99)이 형성되며, 뚜껑(33)의 커버(59) 및 베이스(61)에 형성된 가이드홈(101)에 삽입되어, 회전동작을 안정적인 동작으로 한다.
슬라이더(95)는, 슬라이더 누름부재(103)에 유지되며, 일방향으로만 왕복슬라이딩가능하도록 되어 있다. 슬라이더(95)의 측면에는 걸림홈(105)(도7의 (A))과 턱(107)에 의한 래칫기구(109)가 마련되어, 슬라이더(95)의 슬라이더동작의 절도를 유지하도록 하며, 잠금이 이루어진 상태와 풀어진 상태의 절도를 유지하도록 하고 있다. 즉, 슬라이더(95)의 측면에는 두곳에 걸림홈(105)이 형성되며, 각 걸림홈(105)은 잠금이 이루어진 상태위치와 잠금이 풀어진 상태위치에 대응한다. 이들 걸림홈(105)에 대하여, 걸려고정되는 턱(107)이 회동축(111) 둘레로 회동가능하도록 되어 있다.
슬라이더(95)의 측면 중, 뚜껑(33)의 가장자리부에 면하는 측면에는 오목부(113)가 형성되고, 잠금턱(115)의 레버(117)가 유지되어 있다. 이러한 잠금턱(115)은, 뚜껑(33)의 베이스(61)에 형성된 창(119)에 면하여 마련되며, 창(119)의 가장자리부에 형성된 지지부(121)에 지지되는 회동축(123) 둘레로, 회동가능하도록 마련된다.
이러한 창(119)에 대하여, 뚜껑(33)이 닫혀진 상태에서는, 컨테이너(11)의 개구부(49)의 가장자리부(50)에 형성된 피걸어맞춤홀(125)이 접한다. 피걸어맞춤홀(125)의 반대측 가장자리부에는 작은 피걸어맞춤 볼록부(127)가 형성된다. 이들 피걸어맞춤홀(125)과 피걸어맞춤볼록부(127)가 피걸어맞춤부(129)를 구성한다.
이상의 구조에 의해, 슬라이더(95)가 캠(75)에 잡아당겨져 근접하는 방향으로 슬라이딩하면, 잠금턱(115)은 레버(117)가 끌려 회동하며, 선단을 창(119)으로부터 당겨들인다. 반대의 동작에 의해, 잠금턱(117)의 선단은 창(119)으로부터 돌출되며, 컨테이너(11)의 개구부(49)의 가장자리부에 마련된 피걸어맞춤부(129)에 걸어맞춤된다.
(뚜껑 및 개구부의 실링구조)
뚜껑(33) 및 개구부(49)가 접촉하여 기체누설이 방지되는 실링구조를 도8에 도시한다.
컨테이너(11)의 개구부(49)의 가장자리부(50)에는, 전 둘레에 걸쳐 내주측의 안플랜지(131)와 외주측의 바깥플랜지(133)가 형성되고, 두 플랜지(131, 133) 사이에 상술한 피걸어맞춤부(129)가 마련된다. 안플랜지(131)에 대응하여 뚜껑(33)의 베이스에는 플랜지 수납오목부(135)가 형성된다. 이러한 플랜지 수납오목부(135)와 안플랜지(131)의 사이에는, 상하좌우방향으로 대략 1mm정도, 뚜껑(33)을 미소량 이동가능하도록 하는 틈새(미도시)가 형성된다. 또한, 플랜지 수납오목부(135)의 바로 외측에는 실링을 위한 O링(137)이 결합되는 O링홈(139)이 형성되어 있다. 이러한 O링(137), 및 O링(137)과 접촉하는 부분이 실링영역(141)이 된다.
또한, 도7의 (D), (E), (F)에 나타낸 바와 같이, 뚜껑(33)의 베이스(61)의 좌우의 상하방향 중앙에는 가이드돌기(143)가 형성되고, 이 가이드돌기(143)가 삽입되는 가이드공(145)이 컨테이너(11)의 개구가장자리(49)의 가장자리부(50)에 형성된다. 가이드돌기(143)와 가이드공(145) 사이에는, 적극적으로 틈새(예컨대 1mm정도)를 형성하고, 뚜껑(33)이 상방으로 미소량 이동가능한 구조로 하고 있다. 이러한 미소한 이동에 의해, 실링영역(141)에서는 개구부(49)의 가장자리부(50)와 뚜껑(33) 사이에 마찰이 발생하는데, 이 마찰에 의해 발생하는 먼지는, 안플랜지(131)와 바깥플랜지(133) 사이에 갇혀진다. 갇혀진 먼지는 뚜껑(33)이 열릴 때, 가이드공(145)의 안쪽으로부터 저청정실측으로, 기압차에 따른 기류에 의해 운반되어 없어지며, 따라서, 컨테이너(33)의 내부나 고청정실(5) 내를 오염시키는 것이 방지된다.
(위치결정구멍)
다음, 도6, 도10에 있어서 위치결정구멍(65)의 구조에 대하여 설명하기로 한다.
위치결정구멍(65)은, 수납홀(151)과 플로트(153)로 이루어지는 이중구조로 되어 있다. 먼저, 뚜껑(33)의 커버(59)의 표면에 수납홀(151)이 형성된다. 이 수납홀(151)은, 종단면이 자루형상을 가지며, 커버(59)와 일체적인 구조로 되어 있다. 수납홀(152)은 안쪽이 넓어져 있으며, 플로트(153)가 수납되어 있다. 이러한 플로트(153)는 수납홀(151)내에서 적어도 상하방향으로 미소량 이동가능해지도록, 수납홀(151)의 내부상면(155)과의 사이에 틈새(S)를 갖는다. 그리고, 플로트(153)의 전면에는, 실제로 위치결정핀(39)이 삽입되는 삽입홀(156)이 형성된다. 이 삽입홀(156)의 내부 상면에는 테이퍼면(157)이 삽입홀(156)의 깊숙이까지 형성되어 있다. 그리고, 이러한 테이퍼면(157)의 경사와 동일한 경사각을 갖는 경사면(159)이 수납홀(151)의 가장자리부의 상방에 형성되어 있다.
(개폐동작)
이상의 실시형태에 있어서, 뚜껑(33)의 개폐동작은 다음과 같이 행해진다.
즉, 뚜껑(33)을 열 경우에는, 개방기구(35)에 대하여 컨테이너(11)가 전진하고, 개방기구(35)의 위치결정핀(39)이 컨테이너(11)의 뚜껑(33)에 마련된 위치결정구멍(65)에 삽입된다. 그리고, 위치결정핀(39)의 선단이 플로트(153)의 삽입홀(156)에 삽입되어 플로트(153)의 테이퍼면(157)에 접촉하면, 플로트(153)는 상방으로 미소량 이동한다. 그리고, 수납홀(151)의 상면(155)과의 틈새(S)가 없어져, 수납홀(151)을 통해 뚜껑(33)을 지지한다. 또한, 이러한 경우에, 뚜껑(33)이 닫혀진 최초의 상태에 있어서 뚜껑(33)이 하방으로 어긋난 경우에는, 뚜껑(33)은 밀어올려져 상방으로 미소량 이동하여 정상적인 위치로 되돌아온다.
이러한 상태에서 키(41)가 키홀(67)에 삽입된다. 키홀(67)의 가장자리는 모따기되어 있으므로, 키(41)와 키홀(67)의 위치에 어긋남이 있어 키(41)의 선단이 키홀(67)의 모따기면에 접함으로써, 모따기면의 경사를 따라 키홀(67)은 플로팅기구(81)에 의해 미소량 이동하고, 이러한 이동에 의해 키(41)가 키홀(67)에 삽입된다.
그리고, 키(41)가 회동하면, 키홀(67) 및 캠(75)이 회전하고, 슬라이더(95)가 잡아당겨져 잠금턱(115)이 회전하여 피걸어맞춤부(129)로부터 풀어진다. 잠금턱(115)이 풀어진 상태에서, 컨테이너(11)가 후퇴하면, 개방기구(35)의 위치결정핀(39)으로 지지된 뚜껑(33)은 개구부(49)로부터 떨어져 열린다.
반대로, 뚜껑(33)을 닫을 경우에는, 개방기구(35)의 위치결정핀(39)이 뚜껑(33)을 지지하고, 키(41)도 키홀(67)에 삽입된 상태에서, 컨테이너(11)가 다시 전진하여 뚜껑(33)이 개구부(49)를 닫는다. 그리고, 키(41)가 반대방향으로 회전하면 키홀(67) 및 캠(75)이 역회전하고, 슬라이더(95)가 밀어젖혀져 잠금턱(115)이 반대방향으로 회동하고, 피걸어맞춤부(129)에 걸어맞춤되어 확실히 실링된다. 그리고, 컨테이너(11)가 후퇴하면, 위치결정핀(39)은 위치결정구멍(65)으로부터 빠지고, 키(41)는 키홀(67)로부터 빠진다.
(위치결정구멍의 테이퍼면의 작용의 상세한 설명)
도10의 (A)에 도시한 바와 같이, 수납홀(151)의 가장자리와 위치결정핀(39) 사이에는 상부와 하부에 각각 여유도(E11및 E12)가 존재하고, 뚜껑(33)이 하방으로 어긋나 있지 않고 정상적인 위치에 있다고 하면, 일반적으로 양자는 같아지도록 설계되어야 하므로,
E11= E12(1)
가 된다. 그리고, 플로트(153)의 상면(154)과 수납홀(151)의 내부의 상면(155)과의 사이에는 틈새(S)가 마련되어 있다. 이러한 여유도보다 간격이 작으면, 플로트는 충분히 이동하지 않아 기능하기 어렵게 된다. 반대로 크면, 이동은 하지만 뚜껑(33)을 밀어올리는 기능이 작아진다. 따라서, 거의
E11+ E12= S (2)
인 것이 바람직하다.
도10의 (B)에 도시된 바와 같이, 위치결정핀(39)이 플로트(153)의 삽입홀(156)의 안쪽까지 삽입된 상태에서, 플로트(153)와 수납홀(151) 사이에는 상부에 틈새(a1S) 하부에 틈새(a2S)가 존재한다. 그리고,
a1+ a2= 1 (a1, a2는 양의 계수) (3)
인데, 뚜껑(33)이 처음부터 완전히 정상인 위치에 있을 때에는,
a1= a2= 0.5 (4)
이다.
이러한 상태에서 잠금턱(39)이 풀어져 뚜껑(33)이 열리면 도10의 (C)에 도시된 바와 같이 뚜껑(33)이 하방으로 미소량(D1) 내려간다. 이 때,
D1= a2S (5)
이고, (2)식과 (4)식으로부터
= 0.5 (E11+ E12) (5-2)
그리고, 만일 플로트(153)가 전혀 마련되어 있지 않은 경우(도10의 (D))에는, 뚜껑은 미소량(Dc)만큼 하방으로 어긋난다. 그리고,
Dc= E11(6)
이다.
뚜껑(33)이 처음에는 하방으로 어긋나 있는 경우에는, 분명히,
E11〈 E12(7)
이므로 (5)식, (6)식, (7)식으로부터
Dc 〉 D1 (8)
이 되고, 결과적으로, 뚜껑(33)은 플로트(153)에 의해 Dc-D1만큼 상방으로 밀어올려지게 된다.
이에 대하여 종래예를 나타낸 도13에 도시된 바와 같이, 위치결정핀(39)과 위치결정구멍(65) 사이에 상부 및 하부의 각각에 여유도(E)가 존재한다고 하면, 뚜껑(33)을 연 후에 뚜껑(33)이 하방으로 낙하하는 미소량(D)은
D = E (9)
이다. 본 도면에서는 테이퍼면이 형성되지 않으므로, 삽입이 행해지기 위해서는
E 〉 E11, E12(11)
이며, (2)식, (5-2)식, (9)식으로부터
D 〉 D1
이 되고, 본 실시형태에 있어서 뚜껑이 하방으로 미소량(D1)인 쪽을 작게 할 수 있다.
(효과)
이상의 구성이나 작용에 의해, 이하의 효과를 얻을 수 있다.
[1] 이와 같이 하여, 뚜껑(33)은, 위치결정핀(39)으로 지지되어 있으며, 자중에 의해 하방으로 어긋나는 것을 적게 할 수 있다. 따라서, 뚜껑(33)이 다시 닫혀질 때, 개구부(49)를 잘 닫을 수 있다.
[2] 또한, 위치결정핀(39)이 플로트(153)의 삽입홀(156)에 삽입되어 갈 때에 있어서, 관성에 의해 위치결정핀(39)과 플로트(153)는 삽입방향으로 힘이 붙으며, 플로트(153)가 수납홀(151)의 상면(155)에 접하였을 때, 수납홀(151)을 통해 뚜껑(33)은 강하게 밀어올려진다. 이러한 관성에 의해, 위치결정핀(153)이 테이퍼면(157)에 걸려 멈추어 버리는 현상인 걸림이 발생하기 어렵다.
[3] 또한, 플로트(153)의 삽입홀(156)에 있어서는, 테이퍼면(157)은 하면에는 형성되어 있지 않고, 상면에만 형성되어 있으므로, 이에 따라 반드시 뚜껑(33)을 상방으로 미소량 이동시켜 삽입이 확실하게 행해져, 걸림을 발생하기 어렵다.
[4] 또한, 플로트(153)는 수납홀(151)의 내부의 상면(155)에 강하게 접하는데, 이러한 강한 접촉에 의해 만일 먼지가 생겨도, 이 먼지는 플로트(153)와 수납홀(151) 사이에 갇혀져 주위를 오염시키는 것을 억제할 수 있다.
[5] 또한, 뚜껑(33)이 닫혀 있는 상태에서 뚜껑(33)이 정상적인 위치에 있는 경우에는, 뚜껑(33)은 플로트(153)에 의해 밀어올려지지 않고(도10의 (B)), 뚜껑(33)이 열렸을 때 하방으로 미소량 어긋난다(도10의 (C)). 이러한 어긋남은 플로트(153)와 수납홀(151)의 사이에서 일어나며, 따라서 어긋남에 수반하여 발생되는 먼지가 주위에 오염을 발생시키지 않는다.
따라서, 도13의 종래기술, 즉 위치결정구멍의 여유도를 크게 한 것에 비하여 이하의 효과를 갖는다. 즉, 뚜껑(33)이 닫힌 초기상태에서 뚜껑(33)이 하방으로 어긋난 경우에는, 뚜껑(33)은 밀어올려진 채 열리므로, 종래기술과 같이 하방으로 어긋나는 경우는 전혀 없다. 또한, 초기 상태에서 뚜껑(33)이 정상적인 위치에 있을 때에는 뚜껑(33)이 열렸을 때 종래예와 마찬가지로 뚜껑(33)은 하방으로 미소량 어긋나는데, 이 어긋남에 따른 먼지는 플로트(153)와 수납홀(151) 사이에 갇혀 오염을 발생하지 않는다(상기 [5]).
또한, 도14의 종래기술, 즉 위치결정구멍(65)의 가장자리에 모따기부(66)를 형성한 것에 비하여 이하의 효과를 갖는다. 즉 뚜껑(33)을 강하게 밀어올릴 수 있으며, 따라서 걸림이 발생하기 어렵다(상기 [2]). 이러한 강한 밀어올림시, 만일 먼지가 발생하더라도, 플로트(153)와 수납홀(151) 사이에 갇혀져, 주위를 오염시키지 않는다(상기 [4]). 또한, 초기 상태에서 뚜껑(33)이 정상적인 위치에 있었을 때, 뚜껑(33)이 열릴 때 발생하는 하방으로의 미소량의 어긋남에 따른 먼지는 플로트(153)와 수납홀(151) 사이에 갇혀져 주위를 오염시키지 않는다(상기 [5]). 또한, 뚜껑(33)은 반드시 하방으로 미소량 이동되어, 삽입이 확실하게 행해지므로, 걸림을 발생하기 어렵다(상기 [3]).
(다른 실시형태)
이상의 실시형태에서는, 위치결정구멍(65)은 플로트(153)를 갖는 이중구조를 가지고 있으나, 다른 실시형태에 있어서는, 예컨대 도 11에 도시된 바와 같이, 이중구조가 아니라, 단순히 위치결정구멍(65)의 상면에 테이퍼면(161)이 형성된 것으로 하는 것이 가능하다.
위치결정구멍(65)에 있어서의 여유도를, 위치결정핀(39)의 상부와 하부에서 각각 E2로 하면, 뚜껑(33)이 처음부터 정상적인 위치에 있을 때에는, 뚜껑(33)이 밀어올려지는 미소량(U2)은 E2와 같다. 이와 같이 하여, 뚜껑(33)을 열었을 때, 뚜껑(33)이 하방으로 어긋나지 않는다.
또한, 위치결정구멍(65)의 상면에만 테이퍼면(161)을 형성함으로써, 반드시 뚜껑(33)을 상방으로 이동시킬 수 있으며, 따라서 삽입이 확실하게 행해져 걸림을 발생하지 어렵다.
이에 비하여, 상면뿐만 아니라 하면에 테이퍼면을 형성하는 경우, 예컨대 도 14에 도시된 종래기술과 같이 위치결정구멍(65)의 가장자리에 모따기부(66)를 형성한 경우에는, 하면의 테이퍼면에 위치결정핀이 접촉한 경우에는, 뚜껑(33)은 하방으로는 이동할 수 없으므로, 걸림을 발생하기 쉽다.
또한, 이상의 실시형태에 있어서는, 수납홀(151)의 상면(155)에는 테이퍼면은 형성되어 있지 않으나, 다른 실시형태에 있어서는 예컨대 도 12에 도시된 바와 같이 수납홀(151)의 내부의 상면(155)에 테이퍼면(163)을 형성할 수 있다. 이에 따라, 플로트(153)가 상기 테이퍼면(163)에 접촉함으로써, 뚜껑(133)은 상방으로 미소량 더 이동하는 것이 가능해진다.
이러한 경우, 테이퍼면(157, 163)에 있어서의 접촉은, 위치결정핀(39)과 플로트(153), 및 플로트(153)와 수납홀(151)의 두곳에 분담되게 된다. 그리고, 플로트(153)와 수납홀(151)에서 행해지는 접촉에 의해 발생되는 먼지는, 플로트(153)와 수납홀(151) 사이에 가두어져, 주위에 오염을 발생시키지 않는다. 또한 동시에, 위치결정핀(39)과 플로트(153) 사이의 접촉은 도10에 비하여 작게 할 수 있으므로, 먼지에 의한 오염을 억제할 수 있다.
또한, 플로트(153)의 내부 상면에 마련되는 테이퍼면(157)의 테이퍼량을 적게 함으로써, 대부분의 접촉을 플로트(153)와 수납홀(151)의 테이퍼면(163)과의 사이에서 발생시키는 것이 가능하다. 이에 의하면, 접촉에 따른 먼지를 대부분, 플로트(153)와 수납홀(151) 사이에 가두는 것이 가능하다.
특히, 플로트(153) 내부 상면의 테이퍼면(157)의 테이퍼량을 거의 0으로 함으로써, 한층 큰 효과를 얻을 수 있다.
또한, 도 12의 실시예에 있어서는, 플로트(153)와 수납홀(151) 내부 상면의 테이퍼면(163)과의 접촉에 있어서, 플로트(153) 측에도 테이퍼면(165)을 도면과 같이 형성하는 것이 가능하다.
또한, 이상의 도 10의 실시형태에 있어서, 테이퍼면(157)에 접촉하는 위치결정핀(39)에는 실질상의 테이퍼면은 형성되어 있지 않으므로, 접촉은 점접촉으로 행해졌으나, 다른 실시형태에 있어서는 테이퍼면(157)에 대응하는 테이퍼면을 위치결정핀에 형성함으로써, 접촉을 면접촉으로 하여, 먼지발생의 가능성을 낮게 할 수 있다.
또한, 도 12의 실시예에 있어서, 플로트(153)와 수납홀(151) 사이에 갇혀진 먼지를 외부로 일체 새어나오지 않게 하기 위해서는, 플로트(153)의 삽입홀(156)의 가장자리부와 수납홀(151)의 가장자리부 내측 사이에, 뱀의 배의 형상과 같은 플렉시블한 덮개(167)를 마련하여, 먼지를 완전히 가두는 것이 가능하다.
또한, 이상의 실시형태에 있어서는 키홀(67)은 플로팅기구(81)를 구비하도록 하였으나, 다른 실시형태에 있어서는 반드시 플로팅기구를 구비하지 않아도 좋다. 상하좌우로 수축 가능한 부재를 사용하여도 좋고, 혹은 키홀(67)과 위치결정구멍(65) 사이의 치수를 충분히 정밀한 것으로 할 수 있는 경우에는, 이러한 플로팅기구는 필요하지 않다.
또한, 이상의 실시형태에 있어서는, 잠금턱(115)은 회동함으로써 뚜껑(33)베이스(61)의 배면에 형성된 창(119)으로부터 원호상으로 돌출되어 피걸어맞춤부(129)에 걸어맞춤되는 것이었으나, 다른 실시형태에 있어서는, 잠금턱(115)이 뚜껑(33)의 가장자리의 측면, 혹은 상하면에 형성된 구멍으로부터 좌우방향 혹은 상하방향으로 직선적으로 출입하며, 이에 따라 피걸어맞춤부에 걸어맞춤되는 구조로 하는 것도 가능하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 반도체웨이퍼 등과 같은 혐먼지성 물품을 수납하여 반송하기 위한 컨테이너의 뚜껑에 마련된 위치결정구멍 및 키홀에 개방기구의 위치결정핀 및 키를 삽입하여 뚜껑을 개폐할 때 삽입이 잘 행해질 수 있고, 또한 뚜껑이 잘 닫혀지지 않는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본원발명에 따른 컨테이너에 의해 수납되어 운반되는 혐먼지성 물품은 실리콘 웨이퍼 등에 한정되지 않으며, 액정기판 등과 같은 반도체 기판, 나아가서는 의료관계의 물품 등이어도 좋다.

Claims (6)

  1. 혐먼지성 물품을 수납하여 운반하기 위한 컨테이너로서, 고청정실과 저청정실의 경계에 설치된 로더에 놓여지고, 그 로더에 구비된 개방기구에 의해 뚜껑이 개폐됨으로써 개구부가 고청정실과 소통, 차단되는 이하의 수단을 구비한 컨테이너.
    (a) 상기 개방기구의 위치결정핀이 삽입되기 위하여 상기 뚜껑의 전면에 마련되는 위치결정구멍;
    (b) 상기 위치결정구멍의 내부의 상면에만 형성되며, 상기 위치결정핀과의 접촉에 의해 상기 뚜껑을 상방으로 미소량 이동가능하도록 한 테이퍼면.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 위치결정구멍은, 상기 뚜껑의 전면에 일체적으로 형성되는 수납홀과, 상기 수납홀내에서 적어도 상하로 미소량 이동가능하도록 수납된 플로트와, 상기 플로트의 전면에 형성되며 실제로 위치결정핀이 삽입되는 삽입홀으로 이루어지는 이중구조를 가지며, 상기 삽입홀의 상면에 상기 테이퍼면이 형성되어 있는 컨테이너.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 뚜껑의 전면에는, 상기 개방기구의 키가 삽입되는 키홀이 마련되며, 상기 키홀의 부분을 상기 뚜껑의 면을 따라 미소량 이동가능하도록 한 플로팅기구가 구비되어 있는 컨테이너.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 플로팅기구는, 키홀의 회전부분의 주위를 대략 "J"자형상으로 굴곡된 다수의 판스프링이 지지하는 구조를 갖는 컨테이너.
  5. 제 1항, 제2항, 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 뚜껑에는, 상기 키의 회전에 의해 상기 뚜껑의 개폐를 위해 동작하는 잠금기구와, 상기 잠금기구의 잠금턱이 상기 뚜껑의 가장자리부의 창으로부터 돌출되어 상기 개구부의 가장자리부에 마련된 피걸어맞춤부에 걸어맞춤하기 위한 상기 잠금턱이 구비되고, 상기 개구부의 가장자리부에는 내주측의 안플랜지와 외주측의 바깥플랜지가 형성되며, 두 플랜지 사이에 상기 피걸어맞춤부 및 실링영역이 마련되는 컨테이너.
  6. 제2항에 있어서, 상기 수납홀은, 상면에 상기 플로트와의 접촉에 의해 상기 뚜껑을 상방으로 미소량 이동가능하도록 한 테이퍼면이 형성되어 있는 컨테이너.
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