KR102505486B1 - 안전 장치, 하나 이상의 안전 장치가 있는 웨이퍼 이송 컨테이너, 안전 장치가 있는 안전 시스템 및 방법 - Google Patents

안전 장치, 하나 이상의 안전 장치가 있는 웨이퍼 이송 컨테이너, 안전 장치가 있는 안전 시스템 및 방법 Download PDF

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Abstract

안전 장치, 하나 이상의 안전 장치가 있는 웨이퍼 이송 컨테이너, 안전 장치가 있는 안전 시스템 및 방법
안전 장치, 특히 웨이퍼 이송 컨테이너를 위한 안전 장치는 폐쇄 메커니즘(12)에 의해 폐쇄 위치에 유지되는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소(14)의 보호를 위해 적어도 구성된 적어도 하나의 포지티브-핏 유닛(10)과 함께 제안된다.

Description

안전 장치, 하나 이상의 안전 장치가 있는 웨이퍼 이송 컨테이너, 안전 장치가 있는 안전 시스템 및 방법
본 발명은 청구항 1의 전제부에 따른 안전 장치, 청구항 18에 따른 적어도 하나의 안전 장치, 청구항 21에 따른 안전 시스템 및 청구항 23에 따른 안전 장치를 갖는 방법을 갖는 웨이퍼 이송 컨테이너에 관한 것이다.
안전 장치는 당해 업계에 공지되어 있다.
본 발명의 목적은 특히 유리한 안전 특성을 갖는 일반적인 장치를 제공하는 것이다. 본 발명에 따른 목적은 청구항 1, 18, 21 및 23의 특징에 의해 달성되는 반면, 본 발명의 유리한 구현 및 추가 전개는 종속항으로부터 수집될 수 있다.
본 발명의 장점
폐쇄 메커니즘에 의해 폐쇄 위치에서 고정되는 웨이퍼 이송 컨테이너의 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소의 안전를 위해 구성되는 적어도 하나의 포지티브-핏 유닛을 가진 안전 장치, 특히 웨이퍼 이송 컨테이너를 위한 안전 장치가 제안된다.
본 발명에 따른 안전 장치의 구현에 의해, 특히 안전 장치 동작과 관련하여 특히 유리한 안전 특성이 달성될 수 있다. 이것은 유리하게는 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 높은 수준의 고장 방지 성능, 기능적 안전성 및/또는 작동 안전성을 달성할 수 있게 한다. 유리하게는 웨이퍼 이송 컨테이너의 부주의한개방을 방지, 따라서 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 내용물, 예를 들어, 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 폐쇄 메커니즘이 오작동하는 경우 낙하에 의한 웨이퍼 이송 컨테이너의 손상을 방지할 수 있다. 이것은 또한 유리하게는 특히 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소 및/또는 떨어지는 부분에 의해 부딪힐 수 있는 외부 요소의 웨이퍼 이송 컨테이너에 대한 손상을 방지할 수 있도록 한다. 더욱이, 웨이퍼 이송 컨테이너의 내용물이 웨이퍼 이송 컨테이너를 둘러싼 대기에 노출되는 정도는 유리하게 감소될 수 있으며, 그 결과 특히 주변 대기에 함유된 입자가 적어도 부분적으로 웨이퍼 이송 컨테이너의 내부로 들어가는 것을 방지할 수 있다. 유리하게는 웨이퍼 이송 컨테이너의 내용물의 손상, 웨이퍼 이송 컨테이너 자체의 손상 및/또는 외부 요소의 손상으로 인해 발생하는 비용이 방지될 수 있다. 특히 고도로 자동화된 웨이퍼 생산 환경에서 부품이 느슨하게 놓이거나 제어없이 떨어지면 생산 중단 시간이 발생하여 기계 및/또는 이송 경로의 손상 및/또는 막힘으로 막대한 비용이 발생한다. 이러한 비용은 안전 장치를 통해 구현된 적절한 보호에 의해 회피가능하다.
"안전 장치"는 특히 적어도 하나의 폐쇄 메커니즘을 보호하도록 구성된 이해해야 할 장치이며, 여기서 폐쇄 메커니즘 및 안전 장치는 바람직하게는 서로 분리되어 구현된다. 특히, 안전 장치는 특히 폐쇄 메커니즘의 오작동의 경우 예기치 않은 및/또는 부주의한개방에 대해 폐쇄 메커니즘에 의해 이미 폐쇄된 웨이퍼 이송 컨테이너를 보호하도록 구성된다. 특히, 안전 장치의 안전 요소는 폐쇄 메커니즘의 고장, 특히 전체 고장의 경우에만 맞물린다. 특히, 폐쇄 메커니즘 및 안전 장치, 특히 포지티브-핏 유닛은 다른 기능 및/또는 다른 물리적 힘, 예를들어 폐쇄 위치에서 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소를 보호하기 위한 압력 및/또는 마찰력을 사용한다. 특히, 안전 장치, 특히 안전 장치의 포지티브-핏 유닛은 폐쇄 메커니즘에 대해 중복되는 폐쇄 메커니즘을 구현한다. 특히, 안전 장치, 특히 안전 장치의 포지티브-핏 유닛은 폐쇄 메커니즘에 대해 적어도 부분적으로 다양한 중복성을 구현한다. 특히, 안전 장치, 특히 안전 장치의 포지티브-핏 유닛은 수동 중복 및/또는 대기 중복성을 통해 폐쇄 메커니즘을 보호하도록 구성된다. 선택적으로, 안전 장치, 특히 안전 장치의 포지티브-핏 유닛은 또한 폐쇄 메커니즘에 대해 적어도 부분적으로 균질한 중복성을 구현할 수 있다. "구성된"은 특히 특별히 프로그래밍, 설계 및/또는 장착된 것을 의미한다. 특정 기능에 대해 구성되는 객체는 특히 객체가 적어도 하나의 애플리케이션 상태 및/또는 동작 상태에서 상기 특정 기능을 수행 및/또는 구현한다는 것을 이해해야 한다.
"웨이퍼 이송 컨테이너"는 특히 폐쇄 가능한 내부 공간을 갖는 이송 컨테이너를 의미하며, 여기서 내부 공간은 적어도 하나의 웨이퍼를 수용하도록 구성된다. 특히, 웨이퍼 이송 컨테이너는 적어도 200mm, 바람직하게는 적어도 300mm, 우선적으로는 적어도 450mm의 직경을 갖는 웨이퍼의 이송을 위해 구성된다. 특히, 웨이퍼 이송 컨테이너는 적어도 하나의 웨이퍼, 바람직하게는 적어도 3개의 웨이퍼, 유리하게는 적어도 5개의 웨이퍼, 특히 유리하게는 적어도 10개의 웨이퍼, 바람직하게는 적어도 25개의 웨이퍼, 특히 바람직하게는 100개 이하의 웨이퍼의 이송을 위해 적어도 구성된다. 특히, 웨이퍼 이송 컨테이너는 휴대 가능하도록 구현된다. 특히, 웨이퍼 이송 컨테이너는 진공 밀봉 가능하도록 구현된다. 바람직하게는, 웨이퍼 이송 컨테이너는 특히 내부에 진공 대기를 생성 및/또는 유지하도록 구성된 진공 웨이퍼 이송 컨테이너이다. 특히 웨이퍼 이송 컨테이너는 진공 대기에서 웨이퍼를 저장하도록 구성된다. "진공 대기"란 특히 압력이 300 hPa 미만, 바람직하게는 1 hPa 미만, 우선적으로 10-3 hPa 미만, 특히 바람직하게는 10-6 hPa 미만인 것으로 이해되어야하는 대기를 의미한다. 특히, 웨이퍼 이송 컨테이너는 진공 대기 하에서 높은 수준의 기밀성을 가지며, 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 누설률은 10-4mbar * l/s 미만, 바람직하게는 10-5mbar * l/s미만 , 유리하게는 10-6mbar * l/s 미만, 특히 유리하게는 10-7mbar * l/s 미만, 우선적으로는 10-8mbar * l/s 미만, 특히 바람직하게는 10-9mbar * l/s이다. 선택적으로 웨이퍼 이송 컨테이너는 표준 대기 및/또는 특별히 구성된 대기, 예를 들어 질소 대기에서 웨이퍼를 저장 및/또는 보유하도록 구성될 수 있다. 폐쇄 메커니즘은 특히 진공 폐쇄 메커니즘으로 구현된다. 히, 적절하게 폐쇄된 상태에서 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소는 대기압에 의해 폐쇄 위치에 유지된다. 적절하게 닫힌 상태에서 압력은 웨이퍼 이송 컨테이너 외부보다 웨이퍼 이송 컨테이너의 내부에서 더 작으며, 그 결과 특히 웨이퍼 이송 컨테이너를 닫는 폐쇄력은 웨이퍼 이송 컨테이너의 내부 및 외부 대기 사이의 차압에 의존한다. 선택적으로, 폐쇄 메커니즘은 기계적 폐쇄 메커니즘 및/또는 자기 폐쇄 메커니즘으로서 구현될 수도 있다. "폐쇄 위치"는 특히 웨이퍼-수송-컨테이너 개방 요소의 위치 결정 구역, 특히 웨이퍼-수송-컨테이너 개방 요소가 특히 웨이퍼 수송 컨테이너의 베이스 몸체의 개구 근처에 웨이퍼 수송 컨테이너 개방 요소의 위치 결정에 의해 및/또는베이스 몸체의 개구상의 웨이퍼-수송-컨테이너 개구 요소의 즉각적인 접촉에 의해 적어도 실질적으로 웨이퍼 운반 컨테이너의 내부를 바람직하게는 완전히 폐쇄하는 위치를 의미한다. 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소는 특히 커버로서 구현되며, 이는 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 베이스 몸체로부터 완전히 분리 및/또는 제거 가능한 방식으로 구현된다. 선택적으로 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소는 플랩 및/또는 슬라이드 요소로서 구현될 수 있다. 바람직하게는 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소는 웨이퍼 이송 컨테이너의 바닥 플레이트를 형성한다. 웨이퍼 이송 컨테이너가 하나 이상의 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소를 포함하는 것으로 생각할 수 있으며, 바람직하게는 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소의 모든 폐쇄 메커니즘은 안전 장치에 의해 보호된다.
"포지티브-핏 유닛"은 특히 안전 장치를 통한 안전를 위한 포지티브-핏 연결을 구현하도록 구성된 이해되어야 할 유닛이다. "포지티브-핏 연결"은 특히 힘 전달을 위해 우선적으로 포지티브-핏 유닛의 2개의 구조적 구성 요소, 특히 두개의 구조적 구성 요소의 적어도 부분적인 기하학적 결합을 의미한다. 포지티브-핏 유닛은 특히 바람직하게는 적어도 하나의 잠금 바 요소 및 적어도 하나의 잠금 바 리세스를 포함하는 잠금 바 유닛으로서 구현되며, 여기서 잠금 바 요소는 특히 포지티브 연결을 구현 및/또는 준비하기 위해 잠금 바 리세스에 맞물릴 수 있다. 한다. "포지티브-핏 연결을 준비하는 것"은 특히 잠금 바 부재가 잠금 바 리세스의 벽과 접촉하지 않고 잠금 바 리세스에 의해 구현되는 중공 내에 위치한다는 것을 이해해야 한다. "포지티브-핏 연결을 구현"함으로써 특히 잠금 바 요소가 잠금 바 리세스의 벽과 접촉하는 방식으로 잠금 바 리세스에 의해 구현된 중공 내에 위치한다는 것을 이해해야 한다. 특히, 포지티브-핏 유닛은 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소의 비상 잠금을 구현하며, 이는 특히 폐쇄 메커니즘의 고장시 폐쇄 위치에서 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소를 유지하도록 구성된다.
포지티브-핏 유닛이 적어도 하나의 포지티브-핏 리세스 및 적어도 하나의 포지티브-핏 요소를 포함하는 것이 추가로 제안되고, 여기서 포지티브-핏 리세스 및 포지티브-핏 요소는 적절한 보호의 경우, 특히 안전 장치의 보호된 상태 및 안전 장치의 비보호 상태에서 비접촉 형태로 서로 결합하도록 구성된다. 이것은 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 높은 수준의 고장 방지 성능, 기능적 안전성 및/또는 작동 안전성을 초래할 수 있는 유리한 안전 특성을 달성하는 동시에 유리하게는 예를 들어 마찰로 인한 입자 생성을 방지할 수 있게 한다. 특히 클린 룸 환경 및/또는 진공 환경에서 입자 수를 최소화하면 민감한 작업물(예: 웨이퍼)의 손상 및/또는 씰 (예: 진공 씰) 누출을 피할 수 있다. 유리하게는 포지티브-핏 리세스와 포지티브-핏 요소의 접촉(따라서 잠재적인 입자 생성)은 폐쇄 메커니즘이 실패하고 안전 장치가 작동하는 안전의 경우에만 발생한다.
특히 포지티브-핏 리세스는 잠금 바 리세스, 잠금 바개구 및/또는 잠금 바 결합을 구현한다. 특히 포지티브-핏 요소는 안전를 위해 포지티브-핏 리세스에 맞물 리도록 구성된 돌출부를 구현한다. 특히 포지티브-핏 요소는 잠금 바 요소를 구현한다. 포지티브-핏 요소는 특히 포지티브-핏 리세스에 대해, 특히 포지티브-핏 연결을 설정 및/또는 해제하기 위해 구현된다. 선택적으로, 포지티브-핏 리세스는 특히 포지티브-핏 연결을 설정 및/또는 해제하기 위해 포지티브-핏 요소에 대해 이동하도록 구현될 수 있다. "적절한 보호"는 특히, 특히 저장 단계 및/또는 이송 단계 동안 폐쇄 메커니즘에 의한 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소의 안정 및/또는 진공 기밀 고정을 의미한다. "안전 장치 상태의 적절한 해제"는 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 베이스 몸체로부터 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소의 주어진 패턴에 따라 실행되는 제어 해제를 의미한다. 안전 장치 상태의 적절한 해제는 우선적으로 웨이퍼 이송 컨테이너가 로딩 및/또는 언로딩 스테이션과 결합된 상태에서 수행된다. 포지티브-핏 리세스 및 포지티브-핏 요소에 의해 "비접촉 방식으로 서로 결합"되는 것은 특히 포지티브-핏 유닛에 의해 보호가 설정될 때 및/또는 보호가 포지티브-핏 유닛에 의해 유지될때 포지티브-핏 리세스와 포지티브-핏 요소는 상호 접촉 지점이 없는 것으로 이해되어야 한다.
안전 장치가 웨이퍼 이송 컨테이너, 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 베이스 몸체와 적어도 부분적으로 일체로 구현되는 경우, 특히 안전 장치의 분실 및/또는 잊어 버림과 같은 높은 수준의 안전이 유리하게 달성될 수 있다. 안전 장치를 설치하는 것은 유리하게 피할 수 있다. "일체형으로 구현된"은 특히 예를 들어 용접 공정, 접착 공정, 사출 성형 공정 및/또는 해당 분야의 숙련자에 의해 편리하다고 간주되는 다른 공정을 통해 물질 대 물질 결합에 의해 적어도 연결된 것을 의미한다. 예를 들어, 하나의 캐스트로부터의 제조 및/또는 하나의 구성 요소 또는 다중 구성 요소 사출 성형 공정의 제조를 통해, 유리하게는 단일 블랭크로부터의 제조를 통해, 유리하게는 일체로 형성된다.
또한, 안전 장치는 적어도 부분적으로 보호 위치로 포지티브-핏 유닛, 특히 포지티브-핏 요소를 재 편향하도록 및/또는 포지티브-핏 유닛, 특히 포지티브-핏 요소를 보호 위치에 유지하도록 구성된 적어도 하나의 리셋 요소를 포함하는 것이 제안된다. 이것은 특히 안전 장치 기능과 관련하여 안전 안전 장치의 높은 수준의 안전을 달성하는 것을 유리하게 허용한다. 특히, 이러한 방식으로 보호된 상태는 유리하게 기본 상태로 구현된다. 더욱이 이러한 방식으로 유리하게는 보호 위치가 안전 해제 후 및/또는 활성 해제 종료 후 자율적으로 설정된다. 리셋 요소는 바람직하게는 예를 들어 탄성 변형 가능한 요소로서 구현된다. 스프링으로서, 특히 스프링은 특히 가요성 스프링, 압축 스프링, 디스크 스프링, 비틀림 스프링, 공기 스프링 및/또는 가스 압축 스프링으로서 구현될 수 있다. 선택적으로 또는 추가적으로, 리셋 요소는 예를 들어, 스프링(예: 서로 반발하는 자석) 및/또는 탄성 변형 가능한 재료(예: 러버)로 만들어진 요소와 다른 리셋 요소를 더 포함할 수 있다. 이 외에도 리셋 요소, 포지티브-핏 요소 및/또는 포지티브-핏 리세스는 작동 모터를 통해 이동, 제어 및/또는 조절 가능할 수 있다. "보호 위치"는 특히 폐쇄 메커니즘이 보호되고 및/또는 포지티브-핏 요소가 포지티브-핏 리세스에 비접촉 방식으로 맞물리는 포지티브-핏 유닛, 특히 포지티브-핏 요소의 위치로서 구현된다.
또한, 안전 장치는 적어도 하나의 챔버를 포함하는 것으로 제안되며, 이는 특히 환경으로부터 기밀 적으로 절연 가능하며 기준에 대한 챔버의 내부 압력의 변화를 허용하도록 구성된 압력 연결 채널을 포함한다. 여기서 차압은 챔버의 내부 압력과 기준 압력으로부터 계산되며 포지티브-핏 유닛의 보호 상태에 영향을 미치도록 구성된다. 이러한 방식으로 특히 유리한 안전 특성을 얻을 수 있다. 더욱이 특히, 기계적 구동 부품이 없는 포지티브-핏 유닛을 설정하는 따라서 유리하게 복잡성을 감소시키는 특히 유리한 방법이 생성될 수 있다. 또한, 포지티브-핏 유닛을 작동시키기 위해 이미 존재하는 진공 시스템을 사용하는 것이 유리하게 가능하며, 따라서 유리하게 복잡성을 감소시킬 수 있다. "챔버"는 특히 구조적 구성 요소, 특히 안전 장치에서 적어도 크게 폐쇄된 중공 공간으로서 구현된다. "크게"는 특히 51% 이상, 우선적으로 88% 이상, 유리하게는 75% 이상, 바람직하게는 85% 이상, 특히 바람직하게는 95% 이상을 의미한다. 특히 압력 연결 채널을 제외하고 챔버는 진공으로 밀폐되도록 구현된다. 특히 챔버는 안전 장치의 적어도 하나의 작동 상태에서 진공 화되도록 구성된다. 압력 연결 채널은 적어도 챔버 외부의 환경 및/또는 대기에 대한 챔버 내부의 연결로서 구성된다. 압력 연결 채널은 특히 챔버 벽의 보어, 챔버 벽의 돌파구, 챔버의 개구부, 덕트, 유연한 튜브 및/또는 다른 채널로 구현된다. 챔버의 내부와 외부 사이의 연결을 형성한다. 바람직하게는 압력 연결 채널은 진공 펌프 유닛의 연결 요소를 향하고, 특히 수직으로 아래쪽을 향한다. 진공 펌프 유닛과 안전 장치의 결합에서, 특히 로딩 및/또는 언로딩 스테이션과 웨이퍼 이송 컨테이너의 결합에서 압력 연결 채널은 진공 펌프 장치의 흡입 요소와 진공으로 단단히 결합되도록 구성된다. 압력 연결 채널과 흡입 요소의 결합은 바람직하게는 웨이퍼 이송 컨테이너와 로딩 및/또는 언로딩 스테이션의 결합과 동시에 및/또는 자동으로 수행된다. 특히, 흡입 요소는 로딩 및/또는 언로딩 스테이션의 진공 클램핑 장치와 일체로 구현되며, 이는 부압에 의해 로딩 및/또는 언로딩 스테이션으로 웨이퍼 이송 컨테이너를 인장하도록 구성된다. 흡입 요소는 우선적으로 진공 클램핑 장치의 채널의 개구로 구현된다. 특히 압력 연결 채널에는 진공 펌프 장치와의 연결을 위한 연결 요소, 특히 별도의 연결 요소가 없다. 특히 압력 연결 채널과 흡입 요소의 결합은 압력 연결 채널의 개구와 흡입 요소의 개구의 직접 접촉에 의해 이루어진다. 별도의 결합 요소를 사용하여 분배하면 유리하게 복잡성을 줄일 수 있다. "챔버의 내부 압력의 변화"는 특히 챔버의 내부 압력을 적어도 80%까지 낮추거나 높이는 것을 의미한다. "기준 압력"은 특히 주변 압력, 바람직하게는 표준 대기압, 예를 들어 1013.25 hPa, 바람직하게는 클린 룸 대기압, 예를들어 1013.35 hPa를 의미하는 것이다. 보호 상태는 특히 안전 장치의 보호된 상태 및/또는 안전 장치, 특히 포지티브-핏 유닛의 비보호 상태로 구현된다. "차압에 의해 영향을 받는 보호 상태"는 특히 안전 장치의 보호 상태 및/또는 안전 장치의 비보호 상태가 차압에 따라 발생하는 것으로 이해되어야 한다. 특히 기준 압력의 80%를 우선적으로 초과하는 큰 차압의 경우 비보호 상태가 특히 자동으로 발생하고 및/또는 특히 기준 압력의 80% 미만인 낮은 차압의 경우에는, 상기 보호 상태는 특히 자동으로 발생한다.
적어도 하나의 리셋 요소가 적어도 챔버 내부에 배열된다면, 이것은 유리하게 컴팩트한 구성을 가능하게 한다. "적어도 내부적으로"는 특히 내부에서 적어도 51%, 바람직하게는 적어도 66%, 유리하게는 적어도 75%, 특히 유리하게는 적어도 85%, 바람직하게는 적어도 95%, 특히 바람직하게는 100%로 이해되어야 한다.
더욱이, 포지티브-핏 유닛은 적어도 하나의 이동 가능하게 지지된 포지티브-핏 요소를 포함하는 것이 제안되며, 여기서 상기 포지티브-핏 요소의 위치는 챔버의 적어도 하나의 챔버 벽, 특히 챔버 벽에 대한 상대적인 위치 요소는 차압에 따라 지원된다. 이러한 방식으로 유리하게는 특히 폐쇄기구를 보호하기 위한 포지티브-핏 유닛의 작동이 달성될 수 있으며, 상기 작동에는 기계적 작동 요소가 없다. 이것은 유리하게 입자 생성을 낮은 수준으로 유지할 수 있게 한다. 선택적으로, 포지티브-핏 리세스는 차압에 따라 움직일 수 있는 방식으로 지지될 수 있다. 특히, 위치는 적어도 2개의 안정된 위치를 포함하고, 제 1 안정 위치에서, 포지티브-핏 요소는 적어도 부분적으로 및/또는 비접촉으로 포지티브-핏 리세스에 결합하고, 제 2 안정 위치에서 포지티브-핏 요소는 포지티브-핏 리세스와 맞물리지 않는다. 제 1 안정 위치와 제 2 안정 위치 사이의 이동은 특히 연속적으로 및/또는 안정된 중간 위치없이 실행된다.
차압이 한계 차압을 초과하는 경우 포지티브-핏 유닛, 특히 포지티브-핏 요소가 비-보호 위치를 취하도록 구성되면, 포지티브-핏 유닛의 정상 상태가 특히 압력 연결 채널이 환경을 향해 열려있을 때 설정되는 자동으로 발생하는 포지티브-핏 유닛의 정상 상태는 안전 장치의 보호 상태로 실현된다. 이것은 유리하게는 특히 안전 장치, 특히 웨이퍼 이송 컨테이너가 저장 상태 및/또는 이송 상태에 있는 동안 높은 수준의 안전을 허용한다. "제한 차압"은 특히 챔버의 내부 압력과 기준 압력 사이의 압력 차이로 인해 포지티브-핏 요소에 작용하는 압력이 적어도 실질적으로 리셋 요소의 리셋 힘, 특히 스프링 탄성력과 동일한 값을 갖는 차압으로 구현된다. 특히, 한계 차압은 바람직하게는 1013.25 hPa의 압력의 표준 대기압 및 바람직하게는 1013.35 hPa의 클린 룸 대기압인 주변 압력의 80% 이상, 바람직하게는 90% 이상, 우선적으로는 95% 이상, 특히 바람직하게는 99% 이상이다.
또한, 안전 장치는 안전 장치의 보호 상태 및 안전 장치의 비보호 상태에서 주변 압력과 동일한 값을 갖는 내부 압력을 갖는 적어도 하나의 추가 챔버를 포함하는 것이 제안된다. 이것은 유리하게 안전 장치 내에서 내부 압력 차이의 발생을 허용한다. 더욱이 진공 화될 챔버의 용적는 유리하게는 작게 유지될 수 있으며, 그 결과 포지티브-핏 유닛의 안전 및/또는 포지티브-핏 유닛의 안전 해제를 위한 높은 조정 속도 유리하게 달성할 수 있다. 특히, 챔버 및 추가 챔버는 진공 밀폐 및/또는 이동 가능하도록 우선적으로 구현되는 적어도 하나의 공유 챔버 벽을 갖는다. 특히, 챔버 및/또는 추가 챔버의 내부 용적/용적은 특히 챔버와 추가 챔버 사이의 이동 가능한 챔버 벽의 위치에 따라 가변적이다. 추가 챔버는 특히 환경을 향해 영구적으로개방되어 있다. 특히 추가 챔버의 내부 압력은 기준 압력에 해당한다.
이를 넘어서, 안전 장치는 챔버 및 추가 챔버를 적어도 부분적으로 한정하는 적어도 하나의 이동 가능하게 지지된 설정 요소를 포함하는 것이 제안된다. 이것은 특히 전기적 및/또는 기계적 구동 요소와 독립적으로 챔버 및 추가 챔버의 각각의 내부 압력에 의존하는 움직임을 생성하는 것을 유리하게 허용한다. 특히 설정 요소는 챔버 및 추가 챔버의 공유 챔버 벽을 구현한다. 설정 요소는 특히 기밀하게 움직일 수 있도록 지지된다. 설정 요소는 특히 기밀 밀봉된 병진 이동 가능한 피스톤으로 구현된다. 안전 장치 내의 설정 요소의 위치와 이에 따른 챔버 및 추가 챔버의 용적는 챔버와 추가 챔버 사이의 차압에 따라 달라진다.
설정 요소가 챔버와 추가 챔버의 내부 압력, 챔버의 내부 용적 및/또는 추가 챔버의 내부 용적의 압력 차이에 따라 달라 지도록 구성되면 이미 존재하는 진공 시스템이 유리할 수 있다. 그 결과 복잡성이 유리하게 감소될 수 있는 포지티브-핏 유닛을 작동하는 데 활용된다.
또한, 안전 장치는 적어도 하나의 작동 상태, 특히 안전 장치의 비보호 상태에서 주변 압력 특히 기준 압력과 다른 내부 압력을 갖도록 구성된 적어도 하나의 추가 챔버를 포함하는 것이 제안된다. 이것은 유리하게 안전 장치 내에서 압력 분포를 최적화하는 것을 가능하게 한다.
안전 장치가 포지티브-핏 유닛, 특히 포지티브-핏 요소 및/또는 포지티브-핏 리세스의 병진 이동을 허용하도록 구성된 선형 베어링을 포함하는 경우, 유리하게는 적어도 포지티브-핏 유닛의 일부가 가능하게 될 수 있다. 이 외에도 선형 베어링을 사용하여 입자 생성을 낮게 유지할 수 있다. 선형 베어링은 특히 슬라이드 베어링 및/또는 볼 베어링으로 구현된다. 선형 베어링은 포지티브-핏 유닛, 특히 적어도 가이드 요소, 특히 지지로드와 함께 적어도 부분적으로 일체로 구현되어 포지티브-핏 요소를 안내하는 것도 생각할 수 있다.
더욱이 압력 연결 채널이 적어도 하나의 웨이퍼를 웨이퍼 이송 컨테이너로 및/또는 그로부터 로딩 및/또는 언로딩하도록 구성된 로딩 및/또는 언로딩 스테이션의 진공 클램핑 장치를 가진 적어도 챔버를 가요성 튜브없이 및/또는 별도의 연결 요소 없이 특히 기밀하게 결합되도록 구성되는 경우, 바람직하게 포지티브-핏 유닛을 작동시키기 위해 이미 존재하는 진공 시스템을 사용할 수 있고, 따라서 복잡성 감소를 바람직하게 촉진한다.
이 외에도 안전 장치는 특히 캠 메커니즘을 구현하고, 특히 안전 장치의 수동 비상 안전 및/또는 비상 해제를 위해 구성되는 적어도 하나의 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소를 포함하는 것이 제안된다. 포지티브 맞춤 단위의. 이러한 방식으로 안전 장치의 수동 작동이 가능하게 되는 것이 바람직하며, 유리하게는 예를 들어 비상시 작업자가 쉽게개입할 수 있다.
비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소가 추가 챔버에 적어도 부분적으로 배치되면, 이는 유리하게 콤팩트 한 구조를 허용한다. 특히, 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소는 추가 챔버에서 완전히 제거되지 않는다. 특히, 비상 해제의 경우, 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소는 적어도 부분적으로 추가 챔버 밖으로 이동된다. 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소는 특히 안전 장치 외부에서 볼 수 있다. 특히 수동 비보호 상태를 설정하기 위해 긴급 안전 및/또는 긴급 해제 요소가 작동된 경우 외부에서 쉽게 인식할 수 있다. 이는 의도하지 않은 연속 수동 해제를 방지하는 것을 유리하게 허용한다. "적어도 부분적으로 추가 챔버에 배치"되는 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소에 의해, 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소가 특히 안전 장치, 특히 포지티브-핏 유닛의 수동 해제를 위해 당겨지지 않은 정상 상태에서, 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소의 용적의 50% 이상, 바람직하게는 65% 이상, 우선적으로 75% 이상, 바람직하게는 75% 이상, 특히 바람직하게는 90% 이하는 추가 챔버의 챔버 벽으로 둘러싸여 있고, 및/또는 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소를 당겨서 유도 된 안전 장치, 특히 포지티브-핏 유닛의 비보호 상태에서, 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소의 용적의 35% 이상, 바람직하게는 50% 이상, 우선적으로 65% 이상, 특히 바람직하게는 80% 이하는 추가 챔버의 챔버 벽에 의해 둘러싸여 있다.
또한, 안전 장치는 안전 장치의 보호 상태, 특히 안전 장치의 포지티브-핏 유닛의 포지티브-핏 요소의 위치를 감지하도록 구성된 적어도 하나의 상태 센서를 포함하는 것이 제안된다. 이것은 유리하게는 보호 상태의 자동화 및/또는 전자 플레이트독을 가능하게 하며, 그 결과 특히 원격 모니터링이 용이해질 수 있다.
또한 특히 예를 들어 안전 장치, 특히 포지티브-핏 유닛의 보호 상태에 대한 자동 확인이 로딩 및/또는 언로딩 스테이션에 의해 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소의 제거 및/또는 개방 전에 가능하게 될 수 있음에 따라 높은 수준의 운영 안전이 유리하게 달성될 수 있다. 이것은 유리하게 안전 장치의 오작동으로 인한 손상으로 인한 위험의 감소를 가능하게 한다. 상태 센서는 특히 자기 센서로 구현된다. 선택적으로 또는 추가적으로 상태 센서는 예를 들어, 카메라 및/또는 라이트 배리어 및/또는 접촉 센서와 같은 적어도 하나의 광학 센서를 포함할 수 있다.
더욱이, 보호시, 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 베이스 몸체로부터 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소의 완전한 제거를 방지하도록 구성된 적어도 하나의 안전 장치를 갖는 웨이퍼 이송 컨테이너가 제안된다. 웨이퍼 이송 컨테이너의 폐쇄 메커니즘이 고장난 경우. 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 컨테이너의 구현에 의해, 특히 안전 장치 동작과 관련하여 특히 유리한 안전 특성이 달성될 수 있다. 이러한 방식으로, 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 높은 수준의 고장 방지 성능, 기능적 안전성 및/또는 작동 안전성이 유리하게 달성될 수 있다. 안전 장치는 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소의 부분적인 제거를 허용하고 /하거나 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소가 웨이퍼 이송 컨테이너의 베이스 몸체 상으로 가압되는 압력을 감소시키는 것을 허용하는 것으로 생각할 수 있다. 특히, 웨이퍼 이송 컨테이너의 안전 장치는 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소의 폐쇄 메커니즘을 보호하는 적어도 하나의 포지티브-핏 유닛을 각각 갖는 복수의 개별적으로 구현된 안전 모듈을 포함할 수 있다. 특히, 안전 장치의 개별적으로 구현된 안전 모듈은 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소 주변 및/또는 웨이퍼 이송 컨테이너의 베이스 몸체 주변에서 원주 방향으로, 바람직하게는 규칙적인 방식으로 이격되어 배열된다. 보호시 특히 웨이퍼 이송 컨테이너가 로딩 및/또는 언로딩 스테이션과의 결합이 없는 작동 상태에서, 폐쇄 메커니즘이 폐쇄 위치에 있는 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소을 유지하지 않거나 유지하지 못하는 경우 주어진다.
적어도 하나의 안전 장치가 웨이퍼 이송 컨테이너의 베이스 몸체와 적어도 부분적으로 일체로 구현되는 경우, 간단한 구성이 유리하게 용이해질 수 있다.
이 외에도 웨이퍼 이송 컨테이너, 특히 적어도 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소는 적어도 하나의 포지티브-핏 리세스를 포함하고, 포지티브-핏 리세스는 안전 장치의 추가 챔버의 배출(evacuation)을 위해 구성된 추가 압력 연결 채널을 구현하는 것이 제안된다. 이것은 바람직하게는 안전 장치의 적어도 하나의 챔버, 특히 안전 장치의 추가 챔버의 진공 펌프 시스템과의 간단한 결합을 용이하게 한다.
또한 적어도 하나의 안전 장치, 웨이퍼 운송 컨테이너 및 웨이퍼 운송 컨테이너로 및/또는 웨이퍼 운송 컨테이너로부터 적어도 웨이퍼를 로딩 및/또는 언로딩하도록 구성된 로딩 및/또는 언 로딩 스테이션을 구비한 안전 시스템, 특히 진공 안전 시스템이 제안된다. 특히 본 발명에 따른 안전 시스템의 구현은 특히 안전 장치 동작과 관련하여 유리한 안전 특성을 달성할 수 있게 한다. 이러한 방식으로 유리하게는 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 높은 수준의 고장 방지 성능, 기능적 안전성 및/또는 작동 안전성이 달성될 수 있다.
안전 시스템이 적어도 로딩 및/또는 언로딩 위치에서 로딩 및/또는 언로딩 스테이션에서 웨이퍼 이송 컨테이너의 진공 클램핑과 챔버의 내부 압력을 변경하도록 구성된 진공 펌프 유닛을 포함하는 경우, 특히 2개의 분리된 진공 시스템이 아닌 단 하나의 진공 시스템이 필요하기 때문에 복잡성이 낮게 유지될 수 있는 것이 바람직하다. 더욱이, 챔버 내의 내부 압력을 변화시키고 서로에 대한 진공 클램핑을 위해 각각의 흡입 속도를 쉽게 상호 조정할 수 있는 것이 바람직하다. 이는 웨이퍼 이송 컨테이너가 진공 클램핑 장치에 의해 로딩 및/또는 언로딩 스테이션에 성공적으로 및/또는 올바르게 고정된 경우에만 안전 장치, 특히 포지티브-핏 유닛의 안전 요소가 해제되도록 하는 것을 허용하는 것이 바람직하다. 특히, 진공 펌프 유닛과 챔버의 압력 연결 채널의 결합은 웨이퍼 이송 컨테이너가 로딩 및/또는 언로딩 스테이션에 성공적으로 및/또는 올바르게 고정된 경우에만 설정된다. 특히, 진공 펌프 유닛은 두 작업, 특히 진공 클램핑 작업과 특히 포지티브-핏 유닛의 안전 장치를 해제하는 작업을 수행하도록 구성된 하나의 단일 펌프를 포함한다. 선택적으로 진공 펌프 유닛은 상이한 작업을 위한 복수의 펌프를 포함할 수 있다.
이 외에도 적어도 하나의 포지티브-핏 유닛을 갖는 안전 장치를 사용하는 방법이 제안되며, 여기서 폐쇄 메커니즘에 의해 폐쇄 위치에 유지되는 웨이퍼-이송-컨테이너의 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소가 보호된다. 포지티브-핏 유닛을 통해. 특히, 본 발명에 따른 방법의 구현은 특히 안전 장치 동작과 관련하여 유리한 안전 특성을 달성할 수 있게 한다. 이러한 방식으로, 특히 웨이퍼 이송 컨테이너의 높은 수준의 고장 방지 성능, 기능적 안전성 및/또는 작동 안전성이 유리하게 달성될 수 있다.
또한, 포지티브-핏 유닛의 안전의 안전 및/또는 해제는 안전 장치의 챔버 내의 내부 압력의 변화에 의해 실현되는 것이 제안된다. 이러한 방식으로, 특히 별도의 기계 및/또는 전기 구동 유닛이 생략될 수 있기 때문에 복잡성이 낮은 수준으로 유리하게 유지될 수 있다.
더욱이, 폐쇄기구의 무결점 정상 작동에서, 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소는 비접촉 방식으로 포지티브-핏 유닛에 의해 보호되며, 폐쇄의 오작동의 경우 매커니즘에서, 웨이퍼-이송-컨테이너의 홀딩을 설정하기 위한 목적으로 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소와의 포지티브-핏 유닛, 특히 포지티브-핏 유닛의 포지티브-핏 요소의 터치 접촉이 설정된다. 폐쇄 위치에 근접한 컨테이너 개방 요소. 이는 유리하게는 결함없는 정상 작동, 특히 결함없는 정상 작동 및 포지티브-핏 유닛의 안전 및/또는 해제에서 표면 마찰이 방지되기 때문에 입자 생성을 방지할 수 있게 한다. 특히, 폐쇄기구가 오작동하는 경우, 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소가 웨이퍼 이송 컨테이너의 베이스 몸체로부터 분리된다. 그 결과, 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소는 예를 들어 중력에 의해 웨이퍼 이송 컨테이너의 개방 부로부터 멀어진다. 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소의 움직임은 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소의 포지티브-핏 리세스와 포지티브-핏 유닛의 포지티브-핏 요소의 터치 접촉으로 이어지고, 결과적으로 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소가 원래 위치에 가깝게 유지된다. 근접성은 특히 폐쇄 위치에서 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소를 포함하는 영역으로서 실현되며, 폐쇄 위치로부터의 편차는 최대 10mm, 바람직하게는 최대 5mm, 유리하게는 최대 3mm, 바람직하게는 2mm, 특히 바람직하게는 적어도 하나의 방향으로, 우선적으로 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소의 주 연장 평면에 수직인 방향으로 적어도 0.5mm로 발생한다. 구조 단위의 "주 확장 평면"은 특히 구조 단위를 여전히 둘러싸고있는 가장 작은 가상 직사각형 직육면체의 가장 큰 측면 영역에 평행하고 특히 직사각형 직육면체의 중앙 지점을 통해 확장되는 평면으로 이해해야 한다.
본 발명에 따른 안전 장치, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 컨테이너, 본 발명에 따른 안전 시스템 및 본 발명에 따른 방법은 상술한 적용 및 구현 형태로 제한되지 않는다. 특히, 상술한 기능을 수행하기 위해, 본 발명에 따른 안전 시스템 및 본 발명에 따른 방법은 다수의 각각의 요소, 구조적 구성 요소 및 유닛뿐만 아니라 여기에 언급된 수와 다른 방법 단계를 포함 할 수있다.
추가적인 장점은 도면의 다음 설명으로부터 명백해질 것이다. 도면에서 본 발명의 예시적인 실시예가 도시된다. 도면, 설명 및 청구 범위는 조합된 복수의 특징을 포함한다. 당업자는 또한 의도적으로 특징을 개별적으로 고려할 것이며 추가적인 편리한 조합을 찾을 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 안전 장치, 웨이퍼 이송 컨테이너 및 로딩 및/또는 언로딩 스테이션을 갖는 본 발명에 따른 안전 시스템의 개략도,
도 2는 안전 시스템의 개략적인 평면도,
도 3은 안전 장치가 보호 상태에 있는 안전 시스템의 단면도,
도 4는 안전 장치가 비보호 상태에 있는 안전 시스템의 단면도,
도 5는 비상 안전 요소 및/또는 안전 장치의 비상 해제 요소에 의해 야기된 비-보호 상태의 안전 장치의 단면도,
도 6은 본 발명에 따른 방법의 흐름도.
도 1은 안전 장치를 갖는 안전 시스템(56)을 도시한다. 안전 시스템(56)은 진공 안전 시스템으로 구현된다. 안전 장치는 웨이퍼 이송 컨테이너를 위한 안전 장치로 구현된다. 안전 장치는 3개의 안전 모듈(60)을 포함한다(도 2 참조). 선택적으로 안전 장치는 3개와 다른 다수의 안전 모듈(60)을 포함할 수 있다. 안전 시스템(56)은 웨이퍼 이송 컨테이너(16)를 포함한다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)는 웨이퍼(46)의 저장 및/또는 이송을 위해 구성된다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)는 진공 상태에서 웨이퍼(46)를 이송하도록 구성된다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)는 진공으로 단단히 닫힐 수 있는 방식으로 구현된다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)는 진공 웨이퍼 이송 컨테이너로 구현된다.
웨이퍼 이송 컨테이너(16)는 베이스 몸체(52)를 포함한다.베이스 몸체(52)는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 내부를 대부분 포함한다. 베이스 몸체(52)는 개구(62)를 갖는다(도 3 참조). 웨이퍼 이송 컨테이너(16)에 저장된 웨이퍼(46)는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)로부터 회수될 수 있고 및/또는 개구(62)를 통해 웨이퍼 이송 컨테이너(16)로 도입될 수 있다. 개구(62)는 웨이퍼(46)의 직경보다 큰 직경을 갖는다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)는 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소(14)를 포함한다(도 3 참조). 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 개구(62)를 폐쇄하도록 구성된다. 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)는 베이스 몸체(52)로부터 제거 가능한 방식으로 구현된다. 장치는 보호시 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 베이스 몸체(52)로부터 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소(14)의 완전한 제거를 방지하도록 구성된다.
안전 시스템(56)은 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)을 포함한다. 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)은 웨이퍼(46)를 웨이퍼 이송 컨테이너(16)로 로딩 및/또는 언로딩하도록 구성된다. 로딩 및/또는 언로딩을 위해 웨이퍼(46)의 경우, 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)은 베이스 몸체(52)로부터 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)를 해제함으로써 웨이퍼 이송 컨테이너(16)를 개방한다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)를 열기 위해, 로딩 및/또는 언로딩 스테이션 44는 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)를 로딩 및/또는 언로딩 방향(64)으로 이동시킨다. 로딩 및/또는 언로딩 방향(64)은 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)의 주 연장 평면에 적어도 실질적으로 수직으로 연장된다. 개방시에, 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)는 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)에 의해 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)의 내부로 하강된다. 웨이퍼 트랜스의 로딩 및/또는 언로딩에서 포트 컨테이너(16)에서, 베이스 몸체(52)의 내부 공간은 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)의 내부 공간에 진공으로 단단히 연결된다. 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)은 웨이퍼 이송 장치에서 언로딩된 웨이퍼(46)를 이송하도록 구성된다. 컨테이너(16)는 적어도 하나의 처리 모듈(미도시) 및/또는 적어도 하나의 전송 모듈(미도시)로 향한다.
안전 시스템(56)은 진공 펌프 유닛(58)을 포함한다. 진공 펌프 유닛(58)은 로딩 및/또는 언로딩 위치에서 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)상에서 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 진공 클램핑을 위해 구성된다. 진공 펌프 유닛(58)은 진공 펌프(66)를 포함한다. 진공 펌프 유닛(58)은 진공-클램핑 장치(42)를 포함한다. 진공 펌프(66)는 진공-클램핑 장치(42)의 부압을 생성하도록 구성된다. 진공-클램핑 장치(42)는 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)의 표면(68)에 대해 의도된 로딩 및/또는 언로딩 위치에서 웨이퍼 이송 컨테이너(16)를 음압에 의해 고정적으로 유지하도록 구성된다.
도 2는 안전 시스템(56)의 평면도를 도시한다. 진공 클램핑 장치(42)는 진공 클램핑 요소(70)를 포함한다. 진공 클램핑 장치(42)는 대응하는 진공 클램핑 요소(72)를 포함한다. 진공 클램핑 요소(70)는 로딩 상에 배열된다. 및/또는 언로딩 스테이션(44). 진공 클램핑 요소(70)는 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)의 표면(68)에서 채널형 심층부로서 구현된다. 대응하는 진공 클램핑 요소(72)는 웨이퍼 이송 컨테이너(16) 상에 배열된다. 대응하는 진공 클램핑 요소(72)는 베이스 몸체(52)로부터 수평으로 돌출하는 귀 모양의 편평한 벌지로서 구현된다. 로딩 및/또는 언로딩 위치에서 대응하는 진공 클램핑 요소(72)는 진공 클램핑 요소(70)를 완전히 덮는다. 진공-클램핑에서, 진공 펌프 유닛(58)은 진공-클램핑 요소(70, 72) 사이에 음압을 생성하고, 그 결과 진공-클램핑 요소(70)에 대응하는 진공-클램핑 요소(72)를 누르는 주변 압력에 의해 야기되는 압력 힘을 발생시킨다. 진공-클램핑 요소(70, 72) 사이의 음압에 대해, 베이스 몸체(52)는 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)의 표면(68) 상으로 단단히 가압된다.
안전 시스템(66)은 정렬 메커니즘(74)을 포함한다. 배향 메커니즘(74)은 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)에 대해 웨이퍼 이송 컨테이너(16)를 정렬하도록 구성된다. 정렬 메커니즘(74)은 내부에 구현된 복수의 돌기(76)를 포함한다. 볼트 같은 패션. 돌기(76)는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 베이스 몸체(52) 상에 배열된다. 정렬기구(74)는 각각의 돌기(76)를 수용하도록 구성되는 복수의 중공(78)을 포함한다. 중공(78)은 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)의 표면(68)에 배열된다.
도 3은 안전 모듈(60)을 통해 중앙으로 연장되고 도 2에서 참조 부호 A가 주어진 섹션 평면을 따라 안전 시스템(56)을 통한 단면을 도시한다. 도 3에 도시된 상황에서, 웨이퍼 이송 컨테이너(16) 및 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)이 비 결합 상태에 있다. 도 3에 표시된 상황에서 안전 장치는 보호 상태에 있다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)는 폐쇄기구(12)를 포함한다. 폐쇄기구(12)는 폐쇄 위치에서 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소(14)를 유지하도록 구성된다. 폐쇄기구(12)는 진공 폐쇄기구로서 구현된다. 폐쇄 위치에서 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 베이스 몸체(52)의 개구(62)를 폐쇄한다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 내부 공간에서의 진공의 결과, 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)는 외부 압력에 의해 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 베이스 몸체(52)에 대해 가압된다. 폐쇄기구(12)는 밀봉 요소(80)를 포함한다. 폐쇄기구(12)의 밀봉 요소(80)는 적어도 실질적으로 기밀 방식으로 폐쇄기구(12)를 밀봉하도록 구성된다. 폐쇄기구(12)의 밀봉 요소(80)는 O-링으로 구현된다. 선택적으로 또는 추가적으로 폐쇄기구(12)의 밀봉 요소(80)는 립 밀봉 및/또는 가황 밀봉을 포함할 수 있다.
안전 장치는 포지티브-핏 유닛(10)을 포함한다. 포지티브-핏 유닛(10)은 폐쇄 메커니즘(12)에 의해 폐쇄 위치에 유지되는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소(14)의 안전를 위해 구성된다.
포지티브-핏 유닛(10)은 포지티브-핏 리세스(18)를 포함한다. 포지티브-핏 리세스(18)는 포지티브-핏 유닛(10)의 포지티브-핏 요소(20)를 부분적으로 수용하도록 구성된다. 포지티브-핏 리세스(18)는 그루브로서 구현된다. 선택적으로, 포지티브-핏 리세스(18)는 임의의 다른 형태, 바람직하게는 포지티브-핏 요소(20)의 형태에 적응된 형태를 특징으로할 수 있다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 결합된 상태에서 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)에서, 포지티브-핏 리세스(18)는 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)의 내부 공간을 향해 개방된다. 포지티브-핏 유닛(10)은 포지티브-핏 요소(20)를 포함한다. 포지티브-핏 요소(20)는 포지티브-핏 리세스(18)에 부분적으로 맞물리도록 구성된다. 포지티브-핏 요소(20)는 부분적으로 막 대형 로킹 바(locking bar)로서 구현된다. 포지티브-핏 리세스(18) 및 포지티브-핏 요소(20)는 적절한 보호의 경우 비접촉 방식으로 서로 결합하도록 구성된다. 포지티브-핏 리세스(18) 및 포지티브-핏 요소(20)는 폐쇄 메커니즘(12)의 의도하지 않은 고장의 경우 접촉 방식으로 서로 결합하도록 구성된다.
안전 모듈(60)은 모듈 베이스 몸체(82)를 포함한다. 모듈 베이스 몸체(82)는 안전 모듈(60)의 외부 경계의 일부를 형성한다. 포지티브 맞춤 요소(20)는 모듈 베이스 몸체(82) 내에 부분적으로 배열된다. 모듈 베이스 몸체(82)는 모듈 베이스 몸체(82)에 의해 부분적으로 둘러싸여있다. 모듈 베이스 몸체(82)는 개구(84)를 포함한다. 포지티브-핏 요소(20)는 모듈 베이스 몸체(82)의 개구(84)를 통해 부분적으로 연장된다. 포지티브-핏 요소(20)는 이러한 방식으로, 포지티브-핏 요소(20)의 이동의 경우 입자 생성은 유리하게 낮은 수준으로 유지될 수 있다.
안전 장치는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)와 부분적으로 일체로 구현된다. 안전 장치는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 베이스 몸체(52)와 적어도 부분적으로 일체로 구현된다. 모듈 베이스 몸체(82)는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 베이스 몸체(52)와 일체로 구현된다. 포지티브-핏 요소(20)는 모듈 베이스 몸체(82)에 대해 상대적으로 움직일 수 있도록 지지된다. 안전 장치는 가이드 요소(90)를 포함한다. 가이드 요소(90)는 포지티브-핏의 이동을 안내하도록 구성된다. 가이드 요소(90)는 둥근 가이드 로드로 구현된다. 가이드 요소(90) 및 포지티브-핏 요소(20)는 서로 일체로 형성된다.
안전 장치는 선형 베어링(40)을 포함한다. 선형 베어링(40)은 포지티브-핏 유닛(10)의 병진 이동을 허용하도록 구성된다. 선형 베어링(40)은 포지티브-핏 요소(20)의 병진 이동을 허용하도록 구성된다. 선형 베어링 40은 2개의 베어링 요소(86, 88)를 포함한다. 베어링 요소(86, 88)는 슬라이드 베어링으로 구현된다. 베어링 요소(86, 88)는 슬라이드 부싱을 형성한다. 포지티브-핏 요소(20)의 이동에서, 베어링 요소(86, 88)는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)에 대해 고정된 상태로 유지된다. 베어링 요소(86, 88)는 플라스틱 재료 또는 플라스틱 코팅된 금속으로 구현된다. 선택적으로 선형 베어링(40)은 예를 들어 2개와 다른 다수의 베어링 요소(86, 88)를 포함할 수 있다. 하나의 베어링 요소(86, 88) 또는 세개의 베어링 요소(86, 88). 또한 선형 베어링(40)은 선택적으로 또는 추가적으로 적어도 하나의 볼 베어링을 포함할 수 있다. 더욱이, 포지티브-핏 요소(20), 특히 가이드 요소(90)는 또한 예를 들어 적어도 가이드 요소(90)가 특히 코팅에 의해 실현된 슬라이드 표면을 포함하도록 선형 베어링(40)과 일체로 구현될 수 있다.
안전 장치는 챔버(24)를 포함한다. 챔버(24)는 안전 모듈(60)의 내부에 빈 공간을 형성한다. 챔버(24)는 압력 연결 채널(26)을 포함한다. 압력 연결 채널(26)은 챔버(24)를 진공 클램핑 장치(42)와 결합시키도록 구성된다. 진공 클램핑 장치(42)는 흡입 채널(100)을 포함한다. 흡입 채널(100)은 진공 펌프(66)에 유체 적으로 연결된다. 진공 클램핑 장치(42)와 압력 연결 채널(26)의 커플링에서, 흡입 채널(100)은 압력 연결 채널(26)과 기밀 연결된다. 압력 연결 채널(26)과 흡입 채널(100)의 연결은 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)의 표면(68)에 있는 안전 모듈(60)의 단단한 접합에 의해서만 커플 링 요소 및 가요성 튜브없이 구현된다.
압력 연결 채널(26)을 제외하고, 챔버(24)는 기밀 방식으로 환경으로부터 밀봉되는 방식으로 구현된다. 챔버(24)는 내부 용적(34)을 갖는다. 압력 연결 채널(26)은 기준 압력에 대한 챔버(24)의 내부 압력의 변화를 허용하도록 구성된다. 압력 연결 채널(26)은 진공 펌프 유닛(58)을 위한 연결 요소를 형성한다. 압력 연결 채널(26)에 의해 챔버(24)를 배기할 수 있다. 압력 연결 채널(26)은 챔버 벽(28)의 보어로서 구현된다. 압력 연결 채널(26)은 안전 모듈(60)의 하부에 배열된다. 압력 연결 채널(26)은 웨이퍼 이송 컨테이너(16)가 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)의 주 연장 평면에 적어도 실질적으로 수직인 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 베이스 몸체(52)와 결합된 상태인 방향으로 연장된다. 압력 연결 채널(26)은 안전 보호 상태에 있고 챔버(24)를 향해 개방된 비-보호 상태에 있다. 챔버(24)를 한정하는 챔버 벽(28) 모듈 베이스 몸체(82)와는 별개로 구현된다. 챔버(24)를 한정하는 챔버 벽(28)은 모듈 베이스 몸체(82)와 나사 결합된다. 이것은 유리하게는 안전 모듈(60)의 간단한 조립 및/또는 유지를 가능하게 한다. 챔버(24)를 한정하는 챔버 벽(28)은 비파괴적으로 분리될 수 있도록 구현된다. 선택적으로 챔버(24)를 한정하는 챔버 벽(28)의 적어도 일부는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)와 일체로 구현될 수 있다.
챔버(24)의 내부 압력과 기준 압력의 차이가 차압을 구성한다. 차압은 포지티브-핏 유닛(10)의 보호 상태에 영향을주기 위해 구현된다. 챔버(24)의 움직이지 않는 챔버 벽(28)에 대한 포지티브-핏 요소(20)의 위치는 차압에 의존한다. 포지티브-핏 유닛(10)은 차압이 한계 차압을 초과하는 경우 비보호 위치를 취하도록 구성된다. 차압이 한계 차압 미만이면 포지티브-핏 요소(20)는 포지티브-핏 리세스(18)와 맞물리지 않는다. 포지티브-핏 유닛(10)은 차압이 한계 차압 미만인 경우 보호 위치를 취하도록 구성된다. 포지티브-핏 요소(20)는 차압이 한계 차압을 초과하는 경우 포지티브-핏 리세스(18)와 맞물린다. 한계 차압은 차압의 한계 값으로 실현된다.
안전 장치는 리셋 요소(22)를 포함한다. 리셋 요소(22)는 포지티브-핏 유닛(10)을 보호 위치로 재 편향시키도록 구성된다. 리셋 요소(22)는 보호 위치에서 포지티브-핏 유닛(10)을 유지하도록 구성된다. 리셋 요소(22)는 압축 스프링으로 구현된다. 리셋 요소(22)의 리셋 힘은 포지티브-핏 요소(20)의 주 연장 방향에 평행 한 방향으로 작용한다.
본 명세서에서 물체의 "주 연장 방향"은 특히 물체를 완전히 둘러싸는 가장 작은 기하학적 직사각형 입방체의 가장 긴 가장자리에 평행하게 연장되는 것으로 이해되어야 할 방향이다. 리셋 요소(22)의 리셋 힘은 적어도 간접적으로 포지티브-핏 요소(20)에 작용한다. 리셋 요소(22)의 리셋 힘은 포지티브-핏 요소(20)를 보호 위치로 가압한다. 리셋 요소(22)는 챔버(24) 내에 배열된다. 리셋 요소(22)는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)로부터 멀리 향하는 챔버 벽(28)의 내부면에 접한다. 리셋 요소(22)는 부분적으로 가이드 요소(90) 주위에 결합한다. 챔버 벽 웨이퍼 이송 컨테이너(16)로부터 이격된 챔버 벽(28))은 돌출부(92)를 포함한다. 돌출부(92)는 원통형 형상으로 구현된다. 돌출부(92)는 리셋 요소(22)를 부분적으로 수용하도록 구성된다. 돌출부(92)는 유리하게는 예를 들어 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 이동의 경우 리셋 요소(22)의 미끄러짐을 방지하도록 구성된다.
안전 장치는 추가 챔버(30)를 포함한다. 추가 챔버(30)는 내부 용적(36)을 갖는다. 안전 장치의 보호 상태 및 안전 장치의 비보호 상태에서, 추가 챔버(30)는 동일한 내부 압력을 갖는다. 주변 압력에. 주변 압력은 대기압 또는 클린 룸 대기압으로 구현된다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)에서 볼 때, 추가 챔버(30)는 챔버(24) 앞에 배열된다. 가이드 요소(90)는 추가 챔버(30) 내에 배열된다. 선형 베어링(40)은 추가 챔버(30) 내에 배열된다.
안전 장치는 이동 가능하게 지지되는 설정 요소(32)를 포함한다. 이동 가능하게 지지되는 설정 요소(32)는 이동 가능한 피스톤으로 구현된다. 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)는 챔버(24)를 부분적으로 한정한다. 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)는 추가 챔버(30)를 부분적으로 한정한다. 챔버(24)와 추가 챔버(30)는 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)에 의해 서로에 대해 기밀 밀봉된다. 이동 가능하게 지지되는 설정 요소(32)는 밀봉 요소(94)를 포함한다. 이동 가능하게 지지되는 설정 요소(32)의 밀봉 요소(94)는 O-링으로서 형성된다. 선택적으로 또는 추가적으로 이동 가능하게 지지된 세팅 요소(32)의 밀봉 요소(94)는 립 밀봉 및/또는 가황 밀봉을 포함할 수 있다.
가이드 요소(90)는 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)를 통해 안내된다. 가이드 요소(90)는 고정 장치(98)를 통해 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)에 고정적으로 연결된다. 고정 장치(98)는 Benzing® 리테이닝 링을 포함한다. 선택적으로 또는 추가적으로 고정 장치(98)는 Seeger® 리테이닝 링, 안전 배선 및/또는 나사를 포함할 수 있다. 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)는 추가의 밀봉 요소(96)를 포함한다. 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)의 추가의 밀봉 요소(96)는 기밀 방식으로 챔버(24)에 대해 안내 요소(90)를 위한 관통 부를 밀봉하도록 구성된다. 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)의 추가 밀봉 요소(96)는 O- 링으로 구현된다. 선택적으로 또는 추가적으로, 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)의 추가 밀봉 요소(96)는 립 밀봉 및/또는 가황 밀봉을 포함할 수 있다. 이동 가능하게 지지되는 설정 요소(32)는 챔버(24)와 추가 챔버(30)의 내부 압력의 압력 차이에 따라 챔버(24)의 내부 용적(34)을 변경하도록 구성된다. 이동 가능하게 지지되는 설정 요소(32)는 챔버(24) 및 추가 챔버(30)의 내부 압력의 압력 차이에 따라 추가 챔버(30)의 내부 용적(36)을 변경하도록 구성된다.
안전 장치는 상태 센서(50)를 포함한다. 상태 센서(50)는 안전 장치의 보호 상태를 감지하도록 구성된다. 상태 센서(50)는 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)에 할당된다. 상태 센서(50)는 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)에 안전 장치의 보호 상태를 전달하도록 구성된다. 이러한 방식으로 방지하는 것이 유리하게 가능하다. 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)에 의해 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)를 개방하기 위한개방 프로세스의 개시, 특히 포지티브-핏 유닛(10)의 안전 장치가 여전히 활성화되어 손상 웨이퍼 이송 컨테이너(16)에 대한 것은 유리하게 회피될 수 있다. 상태 센서(50)는 안전 모듈(60)의 구성 요소, 특히 가이드 요소(90) 및/또는 포지티브-핏 요소(20)의 이동 및/또는 위치를 캡처할 수 있는 자석 센서를 포함한다.
안전 장치는 추가 챔버(38)를 포함한다. 추가 챔버(38)는 적어도 하나의 작동 상태에서 주변 압력과 상이한 내부 압력을 갖도록 구성된다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)에서 볼 때, 추가 챔버(38)는 다른 추가 챔버(30) 앞에 배치된다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)에서 볼 때, 추가 챔버(38)는 챔버(24) 앞에 배치된다. 추가 챔버(38)는 다른 추가 챔버(30)에 대해 기밀이다. 안전 장치는 추가의 밀봉 요소(102)를 포함한다. 안전 장치의 추가의 밀봉 요소(102)는 다른 추가 챔버(30)와 추가 챔버(38)를 기밀 방식으로 서로 기밀 절연하도록 구성된다. 안전 장치의 추가 밀봉 요소(102)는 압축 가능하도록 구현된다. 안전 장치의 추가 밀봉 요소(102)는 포지티브-핏 요소(20) 및/또는 가이드 요소(90)의 이동에 따라 압축 및/또는 확장되도록 구성된다. 안전 장치는 이송 요소(104)를 포함한다. 가이드 요소(90) 및/또는 포지티브-핏 요소(20)의 이동을 안전 장치의 추가 밀봉 요소(102)로 전달하도록 구성된다. 이송 요소(104)는 가이드 요소(90)와 일체로 구현된다. 이송 요소(104)는 포지티브-핏 요소(20)와 일체로 구현된다. 안전 장치의 추가 밀봉 요소(102)는 에지 용접 벨로우즈 요소로 구현된다. 가장자리 용접 벨로우즈 요소는 금속으로 만들어집니다. 포지티브-핏 요소(20)는 추가 챔버(38)에 부분적으로 배열된다. 추가 챔버(38)는 모듈 베이스 몸체(82)의 개구(84)에 의해 외부로개방되는 방식으로 구현된다. 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 비 결합 상태에서, 추가 챔버의 내부 압력 38은 주변 압력과 동일한다.
도 4는 도 3과 같이 안전 모듈(60)을 통해 중앙으로 연장되고 도 2에서 참조 부호 A가 주어진 섹션 평면을 따라 안전 시스템(56)을 통한 단면을 도 3과 같이 도시한다. 도 4에 도시된 상황에서, 웨이퍼 이송 컨테이너(16)와 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)은 결합 상태에 있다. 도 4에 표시된 상황에서 안전 장치는 비보호 상태이다. 보호하지 않은 상태에서 챔버(24)는 압력 연결 채널(26)을 통해 비워지고, 그 결과 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)가 웨이퍼 이송 컨테이너(16)로부터 멀어지는 방향으로 밀려난다. 이로 인해 내부 용적(34)은 추가 챔버(38)의 내부 용적(130)이 증가되고 챔버(24)의 내부 용적가 감소된다. 더욱이, 포지티브-핏 요소(20)는 이러한 이유로 추가 챔버(38) 내로 크게 후퇴되는 방식으로 배열된다. 안전 장치의 추가 밀봉 요소(102)는 압축된다.
웨이퍼 이송 컨테이너(16)에 구현된 포지티브-핏 리세스(18)는 추가 압력 연결 채널(54)을 형성한다. 추가 압력 연결 채널(54)은 안전 장치의 추가 챔버(38)를 배기하도록 구성된다. 추가 압력 연결 채널(54)에 의한 추가 챔버(38)의 배기 가능성은 웨이퍼 이송 컨테이너(16)가 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)과 결합될 때의 상태로 제한된다. 웨이퍼 이송 컨테이너의 결합된 상태에서 로드 및/또는 언로딩 스테이션(44)과 함께, 압력 연결 채널(54)은 추가 챔버(38)를 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)의 하부와 상부 사이의 기밀 절연 틈(106)에 연결하는 것을 구현한다. 틈새(106)의 내부 압력은 챔버(24)의 내부 압력과 결합된다. 챔버(24)의 내부 압력과 틈(106)의 내부 압력, 따라서 내부 압력은 추가 챔버(38)도 진공 펌프 유닛(58)의 진공 펌프(66)에 의해 생성된다. 진공 펌프 유닛(58)은 챔버(24)의 내부 압력을 변화시키기 위해 구성된다.
안전 장치는 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)를 포함한다. 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)는 수동 비상 안전 및/또는 안전 장치의 수동 비상 해제를 위해 구성된다. 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소(48)는 추가 챔버(30)에 적어도 부분적으로 배열된다. 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소(48)는 추가 챔버(30)에서 이동 가능하게 지지된다. 비상 해제를 위해, 작업자는 추가 챔버(30)에서 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)를 당긴다. 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)는 안전 모듈(60)로부터 돌출된 풀-아웃 레버로서 구현된다.
도 5는 안전 모듈(60)을 통해 연장되고 도 2에서 참조 부호 B로 표시되는 다른 섹션 평면을 따라 안전 시스템(56)을 통한 또 다른 단면을 도시한다. 도 5에 예시된 상황에서, 안전 장치의 안전 요소는 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소(48)를 통해 해제된다. 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소(48)는 비상 해제시 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)를 챔버(24)쪽으로 변위 시키도록 구성된다. 또는 비상 해제 요소(48)는 비상 해제시, 포지티브-핏 요소(20)를 챔버(24)쪽으로 밀도록 구성된다.
비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소(48)는 비상 해제시, 포지티브-핏 리세스(18)와 포지티브-핏 요소(20)의 결합을 취소하도록 구성된다. 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소(48)는 캠을 포함한다. 캠 메커니즘(108)은 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)의 이동을 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32) 및/또는 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)에 수직한 포지티브-핏 요소(20)의 이동으로 전환하도록 구성된다. 캠 메커니즘(108)은 슬로프(110) 및 핀(112)을 포함한다. 슬로프(110)는 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소(48)에 배치된다. 슬로프(110)는 작은 재료 두께를 갖는 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)의 지점을 더 큰 재료 두께를 갖는 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)의 지점으로 연결한다. 핀(112)은 이동 가능하게 지지되는 설정 요소(32) 상에 배열된다. 안전 장치의 보호 상태에서, 핀(112)은 작은 재료를 갖는 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)의 지점에 접한다. 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)가 수직 방향으로 당겨질 때, 경사(110)는 수직 방향으로 움직이지 않는 핀(112)을 따라 이동한다. 비상 안전 장치 및/또는 비상 해제 요소(48)의 재료 두께는 경사(110)를 따라 증가하고, 따라서 핀(112)은 반드시 수평으로 편향된다. 안전 장치의 비상 해제 상태에서, 핀(112)은 더 큰 재료 두께를 갖는 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)의 지점에 접한다. 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)가 추가 챔버(30)로 다시 이동될 때, 리셋 요소(22)는 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32) 및/또는 포지티브-핏 요소(20)를 다시 보호 상태의 원래 위치로 편향시킨다.
도 6은 안전 장치를 사용하는 방법의 순서도를 도시한다. 적어도 하나의 방법 단계(114)에서 웨이퍼 이송 컨테이너(16)는 이송 및/또는 저장된다. 상기 이송 중 및/또는 상기 보관 중에, 적어도 하나의 방법 단계(116)에서, 폐쇄 메커니즘(12)에 의해 폐쇄 위치에 유지되는 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)는 포지티브-핏 유닛에 의해 보호된다. 폐쇄기구(12)의 결함없는 정상 작동에서, 적어도 하나의 방법 단계(120)에서 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)는 접촉없는 방식으로 포지티브-핏 유닛(10)에 의해 보호된다. 폐쇄 메커니즘(12)의 오작동의 경우, 적어도 하나의 방법 단계(118)에서 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)와 포지티브-핏 유닛(10)의 터치 접촉이 설정된다. 여기서, 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)와 포지티브-핏 유닛(10)의 터치 접촉은 폐쇄 위치에 근접하여 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)의 유지를 보장하기 위해 설정된다. 적어도 하나의 방법 단계(122)에서, 웨이퍼 이송 컨테이너(16)는 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)과 결합된다. 적어도 하나의 방법 단계(124)에서 포지티브-핏 유닛(10)의 안전 및/또는 해제는 안전 장치의 챔버(24) 내의 내부 압력의 변형을 통해 생성된다. 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)를 보호하기 위해, 적어도 하나의 방법 단계(128)에서 포지티브-핏 요소(20)는 챔버(24)와 추가 챔버(30) 사이의 차압의 감소에 의해 보호 위치로 이동된다. 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)의 안전 해제를 위해, 적어도 하나의 방법 단계(126)에서 포지티브-핏 요소(20)는 챔버 24 및 추가 챔버(30) 사이의 차압의 증가에 의해 비-보호 위치로 이동된다.
10: 포지티브-핏 유닛
12: 폐쇄 메커니즘
14: 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소
16: 웨이퍼 이송 컨테이너
18: 포지티브-핏 리세스
20: 포지티브 요소
22: 리셋 요소
24: 챔버
26: 압력 연결 채널
28: 챔버 벽
30: 추가 챔버
32: 설정 요소
34: 내부 용적
36: 내부 용적
38: 추가 챔버
40: 선형 베어링
42: 진공 클램핑 장치
44: 로딩 및/또는 언로딩 스테이션
46: 웨이퍼
48: 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소
50: 상태 센서
52:베이스 몸체
54: 추가 압력 연결 채널
56: 안전 시스템
58: 진공 펌프 장치
60: 안전 모듈
62: 개구
64: 로딩 및/또는 언로딩 방향
66: 진공 펌프
68: 표면
70: 진공 클램핑 요소
72: 해당 진공 클램핑 요소
74: 정렬 메커니즘
76: 돌기
78: 중공
80: 실링 요소
82: 모듈 베이스 몸체
84: 개구
86: 베어링 요소
88: 베어링 요소
90: 가이드 요소
92: 돌출부
94: 실링 요소
96: 추가 실링 요소
98: 고정 장치
100: 흡입 채널
102: 추가 실링 요소
104: 전송 요소
106: 간극
108: 캠 메커니즘
110: 슬로프
112: 핀
114: 방법 단계
116: 방법 단계
118: 방법 단계
120: 방법 단계
122: 방법 단계
124: 방법 단계
126: 방법 단계
128: 방법 단계
130: 내부 용적
A; 섹션 평면
B: 섹션 평면

Claims (25)

  1. 웨이퍼 이송 컨테이너를 위한 안전 장치에 있어서,
    폐쇄 메커니즘(12)에 의해 폐쇄 위치에 유지되는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 웨이퍼 이송 컨테이너 개방 요소(14)의 안전를 위해 구성된 적어도 하나의 포지티브-핏 유닛(10)을 포함하고, 상기 포지티브-핏 유닛(10)은 적어도 하나의 포지티브-핏 리세스(18) 및 적어도 하나의 포지티브-핏 요소(20)를 포함하고, 상기 포지티브-핏 리세스(18) 및 포지티브-핏 요소(20)는 보호 시 비접촉 방식으로 서로 결합하도록 구성되고, 상기 안전 장치는 안전 모듈의 내부에 빈 공간을 형성하는 적어도 하나의 챔버(24)를 포함하고, 상기 적어도 하나의 챔버(24)는 기준 압력에 대해 챔버(24)의 내부 압력의 변화를 허용하도록 구성된 압력 연결 채널(26)을 포함하고, 챔버(24)의 내부 압력과 기준 압력으로부터 차압이 계산되고, 상기 차압은 포지티브-핏 요소(20)의 위치 및 포지티브-핏 유닛(10)의 보호 상태에 영향을 미치도록 구성되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 웨이퍼 이송 컨테이너(16)와 적어도 부분적으로 일체로 구현되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 적어도 하나의 리셋 요소(22)가 적어도 부분적으로 보호 위치로 포지티브-핏 유닛(10)을 재편향시키고 및/또는 보호 위치에 포지티브-핏 유닛(10)을 고정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 챔버(24) 내부에 적어도 하나의 리셋 요소(22)가 배치되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 포지티브-핏 유닛(10)은 적어도 하나의 이동 가능하게 지지된 포지티브-핏 요소(20)를 포함하고, 챔버(24)의 적어도 하나의 챔버 벽(28)에 대한 상기 포지티브-핏 요소(20)의 위치는 차압에 의존하는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 포지티브-핏 유닛(10)은 차압이 한계 차압을 초과하는 경우 비-보호 위치를 취하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 안전 장치는 내부 용적(36)을 갖는 추가 챔버(30)를 포함하고, 상기 웨이퍼 이송 컨테이너에서 볼 때 추가 챔버(30)는 챔버(24) 앞에 배열되며, 추가 챔버(30)는, 상기 안전 장치의 보호 상태 및 상기 안전 장치의 비-보호 상태에서 주변 압력과 동일한 값을 가지는 내부 압력을 가지며, 적어도 하나의 이동 가능하게 지지된 설정 요소(32)가 챔버(24) 및 추가 챔버(30)를 적어도 부분적으로 한정하는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 설정 요소(32)는 챔버(24)와 추가 챔버(30)의 내부 압력의 압력 차이에 따라 챔버(24)의 내부 용적(34) 및/또는 추가 챔버(30)의 내부 용적(36)을 변화시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 적어도 하나의 추가 챔버(38)는 적어도 하나의 작동 상태에서 주변 압력과 다른 내부 압력을 갖도록 구성되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  10. 제 1 항에 있어서, 선형 베어링(40)은 포지티브-핏 유닛(10)의 병진 이동을 허용하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  11. 제 1 항에 있어서, 압력 연결 채널(26)은 적어도 챔버(24)를 적어도 하나의 웨이퍼(46)를 웨이퍼 이송 컨테이너(16)로/로부터 로딩 및/또는 언로딩하도록 구성된 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(44)의 진공 클램핑 장치(42)와 결합하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  12. 제 1 항에 있어서, 적어도 하나의 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)가 안전 장치의 수동 비상 안전 및/또는 수동 비상 해제를 위해 구성되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 비상 안전 및/또는 비상 해제 요소(48)는 추가 챔버(30)에 적어도 부분적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  14. 제 1 항에 있어서, 적어도 하나의 상태 센서(50)가 안전 장치의 보호 상태를 감지하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 안전 장치.
  15. 제 1 항에 따른 적어도 하나의 안전 장치를 갖는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)에 있어서, 보호시 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 베이스 몸체(52)로부터 웨이퍼-이송-컨테이너 개방 요소(14)의 완전한 제거를 방지하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 컨테이너.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 안전 장치는 웨이퍼 이송 컨테이너(16)의 베이스 몸체(52)와 부분적으로 일체로 구현되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 컨테이너.
  17. 제 9 항 또는 제 15 항에 있어서, 웨이퍼 이송 컨테이너(16)는, 포지티브 맞춤 리세스(18)는 안전 장치의 추가 챔버(38)의 배출을 위해 구성된 추가 압력 연결 채널(54)을 구현하는 적어도 하나의 포지티브 맞춤 리세스(18)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 컨테이너.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021200359B4 (de) * 2021-01-15 2023-03-09 Thermo Electron Led Gmbh Halteklemme zum halten einer eckigen flasche auf einer schüttelplattform einer laborschütteleinrichtung

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000315725A (ja) * 1999-04-30 2000-11-14 Tdk Corp クリーンボックス、クリーン搬送方法及びシステム

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5538390A (en) * 1993-10-29 1996-07-23 Applied Materials, Inc. Enclosure for load lock interface
WO2000033376A1 (fr) * 1998-12-02 2000-06-08 Dainichi Shoji K.K. Contenant
JP3226511B2 (ja) * 1999-06-23 2001-11-05 ティーディーケイ株式会社 容器および容器の封止方法
JP3405937B2 (ja) 1999-08-11 2003-05-12 ティーディーケイ株式会社 クリーンボックスの蓋ラッチ機構
JP2004356478A (ja) 2003-05-30 2004-12-16 Tdk Corp 物品収容容器、および当該容器における蓋落下防止機構
JP4278699B1 (ja) * 2008-03-27 2009-06-17 Ｔｄｋ株式会社 密閉容器及び該密閉容器の蓋開閉システム、ウエハ搬送システム、及び密閉容器の蓋閉鎖方法
KR200472644Y1 (ko) * 2009-08-10 2014-05-13 세메스 주식회사 기판 이송 장치
DE202010017181U1 (de) * 2010-08-04 2011-03-24 Centrotherm Thermal Solutions Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zum Schließen und Öffnen einer Be-/Entladeöffnung einer Prozesskammer
JP5993252B2 (ja) * 2012-09-06 2016-09-14 東京エレクトロン株式会社 蓋体開閉装置及びこれを用いた熱処理装置、並びに蓋体開閉方法
KR102270597B1 (ko) 2014-04-02 2021-06-29 배트 홀딩 아게 진공밸브
JP6310803B2 (ja) * 2014-07-29 2018-04-11 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法
US10347516B2 (en) * 2014-11-11 2019-07-09 Applied Materials, Inc. Substrate transfer chamber

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000315725A (ja) * 1999-04-30 2000-11-14 Tdk Corp クリーンボックス、クリーン搬送方法及びシステム

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