JP2003133386A - 基板搬入出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡易な制御により、遮蔽板と容器の蓋との間
の位置ずれを調整し、生産効率の低下およびウエハの歩
留まりの低下を防止する。 【解決手段】 複数枚の基板を上下方向に間隔をあけて
水平に収容し、蓋によって密封可能な容器と、基板を処
理する基板処理装置との間で基板を受け渡すための基板
搬入出装置であって、容器を載置する載置台と、該載置
台側と前記基板処理装置側とを区画する隔壁を貫通する
通過口と、該通過口を開閉する遮蔽板５と、該遮蔽板５
に設けた係合突起を前記容器の蓋に設けた係合孔に挿入
して両者を連結する連結手段と、遮蔽板５の傾斜角度を
前記蓋に合わせて調整する位置調整機構５２とを備える
基板搬入出装置１を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、半導体
ウエハ等の基板を受け渡しするためのロードポートと呼
ばれる基板搬入出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスの処理工程においては、
回路誤動作の原因となる微粒子（パーティクル）がウエ
ハ表面に付着することを防止する必要があるため、従来
より、内部を高い清浄度に維持したクリーンルームを使
用して、半導体デバイスの処理が行われている。

【０００３】また、大型のクリーンルームでは、クリー
ンルーム全体の清浄度を低く保持することが困難である
とともに、その建設コストや稼働コストが高くつくた
め、ウエハの存在する必要最小限の空間内部のみを局所
的に高い清浄度に保持するミニエンバイロメント方式が
採用される。このミニエンバイロメント方式では、処理
装置内部を高い清浄度に保持するとともに、処理装置間
の搬送中にウエハの周囲を高い清浄度に保持する密閉式
の容器が利用される。この密閉式の容器は、一側面に開
口する開口部と、該開口部を気密状態に閉塞する蓋とを
有し、ＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)カセット
と呼ばれている。そして、ＦＯＵＰカセットの蓋はロッ
ク機構によってロックされ、搬送中に開かないようにな
っている。

【０００４】ＦＯＵＰカセットの内部の両側壁には、開
口部から奥部に向かって水平方向に延びる溝が、鉛直方
向に等間隔をおいて複数設けられている。両側壁の溝
は、水平方向に対向する位置に配置されていて、円板状
のウエハの直径方向の両端縁を該溝内に配置することに
より、各ウエハを水平状態に保持するとともに、ウエハ
相互間に平行な間隔を形成するようになっている。

【０００５】また、ＦＯＵＰカセットから各処理装置へ
のウエハの受け渡しは、高い清浄度に維持された処理装
置側の空間と、それよりも低い清浄度の搬送装置側の空
間とを区画する壁に設けられたロードポートと呼ばれる
基板搬入出装置を介して行われる。基板搬入出装置は、
例えば、特開２００１−７７１７７号公報に開示されて
いるように、搬送装置からＦＯＵＰカセットを受け取る
載置台と、該載置台に載せられたＦＯＵＰカセット内部
からウエハを取り出して処理室内に搬入するための通過
口と、該貫通孔を開閉するシャッターと、該シャッター
に備えられ、ＦＯＵＰカセットのロック機構を解除して
蓋を開閉する開閉装置とを有している。

【０００６】この開閉装置の寸法は、ＳＥＭＩ（Semico
nductor Equipment Materials International）によっ
て規格化されている。ウエハを収容したＦＯＵＰカセッ
トが載置台に搭載されると、該載置台に備えられたスラ
イダにより、ＦＯＵＰカセットがシャッター側に移動さ
せられてシャッターに密着させられる。そして、開閉装
置の有する鍵が、ＦＯＵＰカセットの蓋に設けられた鍵
穴内に挿入され、開閉装置が作動させられることによ
り、ロック機構が解除されるとともに、シャッターに密
着させられたＦＯＵＰカセットの蓋が、鍵と鍵穴との係
合によってシャッターに固定され、その後、シャッター
とともに移動させられることによって開かれるようにな
っている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＳＥＭ
Ｉ規格では、開閉装置側の寸法は規定しているものの、
ＦＯＵＰカセットの寸法については何ら規定されていな
い。このため、ＦＯＵＰカセットは開閉装置の寸法に合
わせて製造されるが、ＦＯＵＰカセットを製造するメー
カー毎に鍵穴の位置に微妙な個体差があり、鍵穴に鍵を
挿入する際、または鍵穴から鍵を引き抜く際に、両者が
接触して、円滑な挿入または引き抜きが妨げられる場合
があった。

【０００８】このような場合には、載置台のスライダ上
に載置されているＦＯＵＰカセットの姿勢が傾いてしま
ったり、鍵と鍵穴との間に生ずる摩擦によってパーティ
クルが発生したりする。ＦＯＵＰカセットの姿勢が崩れ
た場合には、人手によりその姿勢の修復を行わなければ
ならず、生産効率が低下することになる。また、パーテ
ィクルが発生した場合には、その発生後に蓋が開かれる
ことにより、ＦＯＵＰカセット内部または処理室側にパ
ーティクルが侵入することになり、ウエハの品質が低下
するという問題がある。

【０００９】従来、このような問題を解決するために、
例えば、特願２００１−２５８４８３号公報に示されて
いるように、ＦＯＵＰカセットを載置する載置台上のス
ライダをシャッターに近接する方向に移動させるのみな
らず、シャッターの表面に沿う方向にも移動可能とする
技術が提案されている。この方法によれば、ＦＯＵＰカ
セットを横方向に移動させることにより、シャッターに
設けた鍵とＦＯＵＰカセットの蓋に設けた鍵穴との間に
生ずる横方向の位置調整を行うことが可能である。

【００１０】しかしながら、このような従来の方法で
は、載置台上に載置されるＦＯＵＰカセット毎に、その
横方向の位置を変更するため、蓋が開かれた状態で処理
装置側からＦＯＵＰカセット内のウエハを取り扱うマニ
ピュレータに対して、ウエハの位置がＦＯＵＰカセット
毎に異なることになる。したがって、マニピュレータに
対してウエハの正確な位置を知らせるか、マニピュレー
タ側でウエハの位置を検出する等の追加の処理が必要と
なり、制御が複雑になる等の欠点があった。

【００１１】この発明は上述した事情に鑑みてなされた
ものであって、シャッターに設けられた鍵と、ＦＯＵＰ
カセットの蓋に設けられた鍵穴との間の位置ずれを調整
し、生産効率の低下およびウエハの歩留まりの低下を防
止することができる基板搬入出装置を提供することを目
的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、以下の手段を提案している。請求項１
に係る発明は、複数枚の基板を上下方向に間隔をあけて
水平に収容し、蓋によって密封可能な容器と、基板を処
理する基板処理装置との間で基板を受け渡すための基板
搬入出装置であって、容器を載置する載置台と、該載置
台側と前記基板処理装置側とを区画する隔壁を貫通する
通過口と、該通過口を開閉する遮蔽板と、該遮蔽板に前
記蓋を連結する連結手段と、前記遮蔽板の位置を前記蓋
の位置に合わせるように調整する位置調整機構とを備え
る基板搬入出装置を提案している。

【００１３】この発明によれば、載置台に容器が載置さ
れると、連結手段が作動して遮蔽板と容器の蓋とが連結
される。その際に、位置調整機構が作動させられること
により、遮蔽板の位置が容器の蓋に合わせて調整され
る。これにより、遮蔽板と容器の蓋とが、遮蔽板を蓋に
連結するのに適した相対位置関係に配置される。その結
果、遮蔽盤と蓋との円滑な連結が行われ、両者の摩擦に
よるパーティクルの発生等の不都合を解消することが可
能となる。

【００１４】この場合において、位置調整機構を作動さ
せることにより、容器側を変位させることなく遮蔽板側
を変位させるので、蓋が開けられた後に基板処理装置側
から取り扱われる基板の位置を常に同一位置に保持する
ことができる。その結果、例えばマニピュレータによっ
て基板を取り扱う場合においても、マニピュレータは予
め定められた位置に基板を取りに行けばよいので、装置
構成やその制御を簡易なものとすることが可能となる。

【００１５】請求項２に係る発明は、請求項１に記載さ
れた基板搬入出装置において、前記位置調整機構が、遮
蔽板または該遮蔽板を支持する支持部材のいずれか一方
に取り付けられた凸球面部材と、他方に取り付けられ前
記凸球面部材に摺動可能に密着させられる凹球面部材
と、これら凸球面部材と凹球面部材とを任意の相対角度
位置で固定可能な固定手段とを備える基板搬入出装置を
提案している。

【００１６】この発明によれば、凸球面部材と凹球面部
材とを相対角度変位自在に配置することで、遮蔽板の傾
斜角度を容器の蓋に合わせて変位させることができる。
そして、遮蔽板と蓋とを連結すると、蓋の傾斜角度に倣
うように凸球面部材と凹球面部材とが摺動させられて、
円滑な連結が行われる。遮蔽板と蓋とが完全に連結され
た状態で、固定手段を作動させて凸球面部材と凹球面部
材との相対角度変位を固定することにより、遮蔽板の傾
斜角度が固定される。

【００１７】この状態で、連結された遮蔽板と蓋を移動
させて容器の蓋を開くことにより、容器の姿勢を崩すこ
となく、また、遮蔽板と蓋との間の過大な摩擦によるパ
ーティクルを発生させることなく、容器内部の基板の取
り出しを可能とすることができる。

【００１８】請求項３に係る発明は、請求項２記載の基
板搬入出装置において、前記固定手段が、前記凸球面部
材と凹球面部材との接触圧力を増加させることにより両
者を固定する手段である基板搬入出装置を提案してい
る。この発明によれば、固定手段を作動させると凸球面
部材と凹球面部材との間の接触圧力が増大させられ、両
者間の摩擦力が増大させられるので、極めて簡易な方法
で、凸球面部材と凹球面部材とを固定し、それによっ
て、遮蔽板を所望の傾斜角度に精度よく固定することが
可能となる。

【００１９】請求項４に係る発明は、請求項２または請
求項３記載の基板搬入出装置において、前記位置調整機
構が、前記支持部材側に取り付けられた凸球面部材また
は凹球面部材を、前記蓋の表面と平行な方向に変位させ
る並進機構を備える基板搬入出装置を提案している。こ
の発明によれば、並進機構の作動により、支持部材側の
凸球面部材または凹球面部材の蓋の表面と平行な方向の
位置が変位させられるので、遮蔽板と蓋との連結に際し
て遮蔽板の傾斜角度のみならず、蓋の表面に平行な方向
の位置も蓋に合わせて調整されることになる。

【００２０】請求項５に係る発明は、請求項４記載の基
板搬入出装置において、前記並進機構が、前記支持部材
に前記蓋の表面に平行に設けられた摺動平面と、該摺動
平面に密着させられる摺動面を有する前記支持部材側の
凸球面部材または凹球面部材とからなる基板搬入出装置
を提案している。

【００２１】この発明によれば、支持部材側の凸球面部
材または凹球面部材に設けた摺動面を摺動平面に密着さ
せた状態で摺動させることにより、前記凸球面部材また
は凹球面部材を蓋の表面に平行な方向に移動させること
が可能となる。その結果、前記凸球面部材または凹球面
部材が並進移動させられ、蓋に対する遮蔽板の位置を簡
易かつ容易に調整することが可能となる。

【００２２】請求項６に係る発明は、請求項５記載の基
板搬入出装置において、前記固定手段が、前記摺動平面
と前記支持部材側の凸球面部材または凹球面部材との接
触圧力を増加させることにより固定する基板搬入出装置
を提案している。この発明によれば、前記固定手段を作
動させることにより、支持部材側と遮蔽板側とに設けら
れた凸球面部材と凹球面部材との間の接触圧力が増加さ
せられて両者間の摩擦力が増大し、傾斜板を任意の傾斜
角度で支持部材に固定することが可能となるとともに、
摺動平面と摺動面との接触圧力を増加させることによ
り、摺動体と支持部材との間の摩擦力をも増大させ、摺
動体を支持部材に対して任意の位置に固定することが可
能となる。

【００２３】請求項７に係る発明は、請求項１に記載さ
れた基板搬入出装置において、前記位置調整機構が、前
記遮蔽盤を前記蓋の表面と平行な方向に変位させる並進
機構からなる基板搬入出装置を提案している。この発明
によれば、連結手段が作動して遮蔽板と容器の蓋とが連
結される際に、並進機構が作動させられることにより、
蓋の表面に平行な方向に沿う遮蔽板の位置が容器の蓋に
合わせて調整される。これにより、遮蔽板と容器の蓋と
が、遮蔽板を蓋に連結するのに適した相対位置関係に配
置される。その結果、遮蔽盤と蓋との円滑な連結が行わ
れ、両者の摩擦によるパーティクルの発生等の不都合を
解消することが可能となる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態に係る
基板搬入出装置について、図１〜図９を参照して説明す
る。本実施形態に係る基板搬入出装置１は、図１〜図３
に示されているように、基板搬入出側Ａと処理装置側Ｂ
とを区画する隔壁Ｃに形成された貫通孔２を閉塞するよ
うに取り付けられる装置本体プレート３と、該装置本体
プレート３に形成された基板搬入出側Ａと処理装置側Ｂ
とを連絡する通過口４を開閉するためのシャッター（遮
蔽板）５と、該シャッター５を昇降させるシャッター昇
降機構（遮蔽板昇降機構）６と、装置本体プレート３の
基板搬入出側Ａに配置され搬送されてきたＦＯＵＰカセ
ット７（容器：図４参照）を載置する載置台８とを備え
ている。

【００２５】前記シャッター５には、図３、図４に示さ
れるように、従来と同様にＦＯＵＰカセット７の蓋１２
に備えられた鍵穴４５に挿入されて、ロック機構（図示
略）の状態を切り換える開閉装置１３の鍵４６と、ＦＯ
ＵＰカセット７の蓋１２を吸着する吸着パッド１４とが
備えられている。これら鍵４６と鍵穴４５および吸着パ
ッド１４によって、シャッター５と蓋１２とを連結する
連結手段５０が構成されている。

【００２６】また、前記シャッター５は、図６に示すよ
うに、該シャッター５を支持する支持ブラケット５１
（支持部材）との間に位置調整機構５２を備えている。
この位置調整機構５２は、角度調整機構と並進機構とを
備えている。

【００２７】角度調整機構は、間隔ボルト５３およびホ
ルダ５４によってシャッター５に一体的に固定されたプ
レート５５と、該プレート５５に固定された球面５６を
有するガイド部材（凸球面部材）５７と、前記支持ブラ
ケット５１側の後述する摺動ブロック（凹球面部材）７
４に設けられ、前記ガイド部材５７の球面５６に密着さ
せられる凹球面５８と、これら球面５６と凹球面５８と
を任意の相対角度位置で固定可能な固定手段５９とを備
えている。

【００２８】並進機構は、図９に示されているように、
支持ブラケット５１に設けられた段付孔７６，７７と、
該段付孔７６，７７内に配置される摺動ブロック（摺動
体）７４を備えている。前記段付孔７６，７７は、支持
ブラケット５１の表面に平行な摺動平面７５を備えてい
る。該摺動ブロック７４は、上述したように、一面に凹
球面５８を備えるとともに、前記摺動平面７５に密着さ
せられる摺動面７５を備えている。前記段付孔７６，７
７の内径寸法は、前記摺動ブロック７４の外径寸法より
も十分に大きく形成されている。

【００２９】前記プレート５５は、図７および図８に示
されるように、サポートスプリング６０ａによって（図
８のＺ方向に）押し上げられるとともに、サポートスプ
リング６０ｂによって図７，図８に向かって左右方向
（図８のＸ方向）に、サポートスプリング６０ｃによっ
て図７，図８に向かって紙面を貫通する方向（図３のＹ
方向）に力をバランスさせることにより、所定の位置に
保持されているが、外力が作用するとこれらサポートス
プリング６０ａ〜６０ｃを変形させることによって、外
力に応じて変位することができるようになっている。

【００３０】前記固定手段５９は、例えば、前記ガイド
部材５７に設けられた前記球面５６の中心と一致する中
心を有する凹球面６１と、該凹球面６１に密着させられ
る球面６２を有し、前記ガイド部材５７および前記摺動
ブロック７４に形成された貫通孔６３，６４を貫通する
シャフト６５を有するガイドピン６６と、該ガイドピン
６６をそのシャフト６５の軸線方向に移動させるガイド
ピン引張手段６７とを備えている。前記ガイドピン６６
を貫通させるガイド部材５７および摺動ブロック７４に
設けた貫通孔６３，６４は、ガイドピン６６の直径寸法
よりも十分に大きな内径寸法を有している。

【００３１】前記ガイドピン引張手段６７は、例えば、
図９に示されているように、ガイドピン６６の先端に、
一端をピン６８によって回転自在に接続されたＬ字状の
リンク６９と、該リンク６９の他端にピン７０によって
回転自在に接続されたシリンダ７１とを備えている。シ
リンダ７１は、支持ブラケット５１にピン７２によって
揺動可能に取り付けられている。また、前記リンク６９
の屈曲部近傍は、ピン７３によって支持ブラケット５１
に揺動可能に取り付けられている。

【００３２】これにより、シリンダ７１のロッドを突出
させる方向に作動させると、前記リンク６９が、ピン７
３を中心に図６において右回りに揺動させられる結果、
ガイドピン６６がその球面６２をガイド部材５７の凹球
面６１に密着させる方向に移動させられるようになって
いる。また、シリンダ７１のロッドを引っ込める方向に
作動させると、前記リンク６９が、ピン７３を中心に左
回りに揺動させられて、ガイドピン６６が上記とは逆
に、その球面６２をガイド部材５７の凹球面６１から離
れる方向に移動させられるようになっている。

【００３３】また、前記シャッター５は、図１に示され
るように、前記装置本体プレート３の処理装置側Ｂの表
面に沿って昇降させられるブラケット１５上に水平移動
機構１６によって支持されている。

【００３４】水平移動機構１６は、例えば、装置本体プ
レート３に対して近接、離間する方向に配されるリニア
ガイド１７と、該リニアガイド１７に沿って水平移動可
能に支持された第１のスライダ１８と、該第１のスライ
ダ１８を水平方向に移動させる駆動手段１９とから構成
されている。該駆動手段１９は、例えば、モータ２０と
所定のカム機構（図示略）とを備えたものである。後述
するシャッター昇降機構６の作動により、シャッター５
が通過口４に一致する上下方向位置に位置決めされた状
態で、水平移動機構１６を作動させることにより、シャ
ッター５を通過口４に嵌合させて該通過口４を閉鎖する
ことができるようになっている。

【００３５】前記シャッター昇降機構６は、図１および
図２に示されているように、前記装置本体プレート３の
処理装置側Ｂに配置されたシリンダ２１と、基板搬入出
側Ａに配置されたリニアガイド２２とを備えている。該
シリンダ２１は、前記ブラケット１５と前記装置本体プ
レート３との間に配置され、上下方向にロッド２１ａ，
２１ｂを伸縮させるようになっている。前記リニアガイ
ド２２は、装置本体プレート３の基板搬入出側Ａの表面
に上下方向に沿って配置されており、該リニアガイド２
２に沿って上下方向に移動可能な第２のスライダ２３を
備えている。

【００３６】前記装置本体プレート３には、幅方向の略
中央部を厚さ方向に貫通する第１のスリット２４が上下
方向に沿って設けられ、前記処理装置側Ｂに配置されて
いるブラケット１５が、図２に示す貫通部１５ａによっ
て、前記第１のスリット２４を貫通して基板搬入出側Ａ
に延びている。第１のスリット２４を貫通して基板搬入
出側Ａに突出したブラケット１５の貫通部１５ａは、前
記第２のスライダ２３に固定されている。これにより、
シャッター５はリニアガイド２２によって昇降動作を支
持されるようになっている。

【００３７】前記シリンダ２１は、例えば、図１および
図５に示されるように、直動式の２つのエアシリンダ２
５，２６を重ね、一方のシリンダ２６のロッド２１ｂを
装置本体プレート３に固定し、他方のシリンダ２５のロ
ッド２１ａをブラケット１５に固定したものである。シ
リンダ２６は装置本体プレート３に取り付けられたリニ
アガイド２７によって上下方向に移動するように支持さ
れている。このように構成することで、シリンダ２１の
設置スペースと、ブラケット１５のストローク長さとを
確保している。

【００３８】前記載置台８は、図示しない搬送装置によ
り搬送されてきたＦＯＵＰカセット７を載せる第３のス
ライダ２８を備えている。該第３のスライダ２８上に
は、図３に示すように、ＦＯＵＰカセット７との間の位
置決めを行う位置決めピン２９が設けられている。ま
た、第３のスライダ２８は、図示しない水平移動機構に
よって、シャッター５に向かって（図３の矢印Ｙ方向
に）前後進させられるようになっている。

【００３９】このように構成された本実施形態に係る基
板搬入出装置１の作用について、以下に説明する。ＦＯ
ＵＰカセット７が載置台８に載置されていない状態で、
基板搬入出側Ａと処理装置側Ｂとを区画する隔壁Ｃに取
り付けられている装置本体プレート３の通過口４は、シ
ャッター５により閉鎖されている。

【００４０】図示しない無人搬送車等の搬送装置によっ
て搬送されてきたＦＯＵＰカセット７が、載置台８上に
載置されると、ＦＯＵＰカセット７は、載置台８上に備
えられている第３のスライダ２８に、位置決めピン２９
によって位置決めされる。そして、第３のスライダ２８
の水平移動機構が作動させられることにより、ＦＯＵＰ
カセット７はシャッター５に近接する方向に水平移動さ
せられる。

【００４１】ＦＯＵＰカセット７が、装置本体プレート
３に当接すると、ＦＯＵＰカセット７のフランジ７ａが
通過口４の周縁に密着させられるとともに、ＦＯＵＰカ
セット７の蓋１２に設けられている鍵穴４５に、シャッ
ター５に設けられている開閉装置１３の鍵４６が挿入さ
れる。

【００４２】このとき、前記固定手段５９のガイドピン
引張手段６７は、シリンダ７１のロッドを引っ込める方
向に作動させられており、ガイドピン６６の球面６２と
ガイド部材５７の凹球面６１との間およびガイド部材５
７の球面５６と摺動ブロック７４の凹球面５８との間の
接触圧力が低減されており、シャッター５は、その重力
とサポートスプリング６０ａ〜６０ｃの弾発力とをバラ
ンスさせることによって所定の位置に保持されている。
そして、外力が作用すると、その外力に倣って、図８に
示す軸Ｘ，Ｚ方向に沿うシャッター５の位置およびこれ
らの軸Ｘ，Ｚ回りの傾斜角度を容易に変化させるように
なっている。

【００４３】したがって、鍵穴４５と鍵４６とがずれて
いるために、鍵穴４５に鍵４６が挿入されることによっ
てシャッター５に外力が加わると、シャッター５はそれ
に倣って軸Ｘ，Ｚに沿う方向の位置および傾斜角度を変
化させ、鍵穴４５と鍵４６との間に過大な摩擦力が発生
することが回避される。そして、シャッター５が鍵穴４
５内に鍵４６を挿入するのに適した適当な位置および傾
斜角度に設定されると、鍵穴４５内に鍵４６がスムーズ
に挿入され、吸着パッド１４を蓋１２に密着させること
により、蓋１２がシャッター５に連結される。

【００４４】そして、この状態で、固定手段５９のガイ
ドピン引張手段６７を作動させて、シリンダ７１のロッ
ドを突出させることにより、リンク６９が揺動させられ
て、ガイドピン６６が、その球面６２とガイド部材５７
の凹球面６１とを密着させる方向に移動させられる。そ
の結果、ガイドピン６６の球面６２とガイド部材５７の
凹球面６１、ガイド部材５７の球面５６と摺動ブロック
７４の凹球面５８、および摺動ブロック７４の摺動面７
５と支持ブラケット５１の摺動平面７８との間の接触圧
力が増大させられ、当該球面６２，５６と凹球面６１，
５８間および摺動面７５と摺動平面７８との間の摩擦力
が増大させられて、プレート５５、すなわちこれに固定
されたシャッター５が、上述した適正な位置および傾斜
角度を保持したまま、支持ブラケット５１に固定される
ことになる。

【００４５】ＦＯＵＰカセット７は、そのフランジ７ａ
が装置本体プレート３の通過口４周縁に密着させられる
ことにより、その開口部４７を基板搬入出側Ａの空間に
対して密封され、この状態で蓋１２を開かれたとして
も、ＦＯＵＰカセット７内部が基板搬入出側Ａの比較的
パーティクルの多い空気に晒されることが防止されてい
る。

【００４６】この状態で、シャッター５に設けた開閉装
置１３を作動させて、鍵４６を鍵穴４５内で回転させる
ことにより、シャッター５のロック機構が解除される。
そして、シャッター昇降機構６のブラケット１５に設け
られている水平移動機構１６の駆動手段１９を作動さ
せ、第１のスライダ１８を通過口４から離れる方向に水
平移動させることにより、ＦＯＵＰカセット７の蓋１２
が開かれる。

【００４７】ＦＯＵＰカセット７の蓋１２は、ＦＯＵＰ
カセット７に対して所定距離だけ後退させられることに
より、ＦＯＵＰカセット７との嵌合状態から切り離され
るので、その後、シャッター昇降機構６を作動させるこ
とにより、シャッター５とともに下降させられ、ＦＯＵ
Ｐカセット７内部の空間が、処理装置側Ｂの空間に対し
て開かれることになる。

【００４８】この際、シャッター昇降機構６は、リニア
ガイド２２に沿って第２のスライダ２３を昇降させるこ
とができるシリンダ２１を備えているので、シリンダ２
１のロッド２１ａ，２１ｂを引っ込めることにより、シ
ャッター５を迅速に下降させて、通過口４を迅速に開放
することができる。

【００４９】そして、図示しないウエハ検出手段によっ
て、ウエハ（図示略）の収納状態が割り出された後に、
処理装置側Ｂに配置されている図示しないマニピュレー
タが、ＦＯＵＰカセット７内部に挿入され、上記におい
て割り出された収納状態に従って、内部のウエハを把持
し、ＦＯＵＰカセット７から取り出し、処理装置側Ｂへ
搬送する。また、処理装置において処理されたウエハ
は、再度マニピュレータによってＦＯＵＰカセット７内
の空いている収納場所に収納される。

【００５０】この場合において、本実施形態に係る基板
搬入出装置１によれば、シャッター５とＦＯＵＰカセッ
ト７の蓋１２との位置合わせが、シャッター５の並進位
置および傾斜角度を調整することによって行われるの
で、載置台８に載置されたＦＯＵＰカセット７は、図３
に示す矢印Ｙ方向に移動させられるのみで、装置本体プ
レート３の通過口４に対して常に同一位置に配置され
る。したがって、処理装置側Ｂから見たときに、ＦＯＵ
Ｐカセット７内部のウエハは常に同一位置に配置されて
おり、マニピュレータ側で認識しているウエハ８の位置
をＦＯＵＰカセット７毎に調整する必要がない。

【００５１】すなわち、マニピュレータは、ウエハが常
に同一位置に配置されているものとしてＦＯＵＰカセッ
ト７内部にアクセスすればよいので、マニピュレータが
ウエハの検出センサを持つ必要がなく、その動作制御を
極めて簡易に行うことができる。また、これと同様に、
ウエハの位置が変わらないので、ウエハ検出手段による
ウエハの収納状態の検出も、常に同一条件で行い、検出
精度を高めることができる。

【００５２】また、処理装置によって当該ＦＯＵＰカセ
ット７内の所定のウエハの処理が終了したときには、シ
ャッター昇降機構６の作動により、シャッター５が通過
口４を閉鎖する。この際、シャッター５に保持されてい
る蓋１２によってＦＯＵＰカセット７の開口部も閉鎖さ
れることになる。この場合において、固定手段５９の作
動により、シャッター５は蓋１２を開けたときの傾斜角
度に保持されているので、ＦＯＵＰカセット７への蓋１
２の取り付け、および蓋１２の鍵穴４５からの鍵４６の
抜き出しは、挿入時と同様に円滑に行われることにな
る。

【００５３】さらに、本実施形態では、シャッター５の
昇降用のアクチュエータとして使用したシリンダ２１
が、２つのシリンダ２５，２６を合わせて上下方向双方
にロッド２１ａ，２１ｂを突出させる方式を採用してい
るので、ロッド２１ａ，２１ｂの収縮時におけるシリン
ダ２１の占有スペースを抑えて、装置の小型化を図るこ
とができる。

【００５４】なお、上記実施形態においては、遮蔽板５
側に球面５６を有するガイド部材５７を取り付け、支持
部材５１側に凹球面５８を有する摺動体７４を配置した
が、これに代えて、遮蔽板５側に凹球面、支持部材５１
側に凸球面を設けることにしても良いことは言うまでも
ない。また、固定手段としてシリンダ７１とリンク６９
と、ガイドピン６５とを備える構造を示したが、これに
代えて、任意のアクチュエータを使用した任意の形態の
固定手段を採用することにしても良い。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る基
板搬入出装置によれば、以下の効果を奏する。請求項１
に係る基板搬入出装置によれば、位置調整機構を作動さ
せることにより、容器側を変位させることなく遮蔽板側
を変位させるので、蓋が開けられた後に基板処理装置側
から取り扱われる基板の位置を常に同一位置に保持する
ことができる。その結果、例えばマニピュレータによっ
て基板を取り扱う場合においても、マニピュレータは予
め定められた位置に基板を取りに行けばよいので、装置
構成やその制御を簡易なものとすることができるという
効果を奏する。

【００５６】請求項２に係る基板搬入出装置によれば、
凸球面部材と凹球面部材とを密着させた状態で摺動させ
ることにより遮蔽板の傾斜角度を簡易に調節することが
できるので、容器の姿勢を崩すことなく、また、遮蔽板
と蓋との過大な摩擦によるパーティクルを発生させるこ
となく、容器内部の基板の取り出しを可能とすることが
できるという効果を奏する。

【００５７】請求項３に係る基板搬入出装置によれば、
固定手段を作動させると凸球面部材と凹球面部材との間
の接触圧力が増大させられ、両者間の摩擦力が増大させ
られるので、極めて簡易な方法で、凸球面部材と凹球面
部材とを固定し、それによって、遮蔽板を所望の傾斜角
度に精度よく固定することができるという効果を奏す
る。

【００５８】請求項４に係る基板搬入出装置によれば、
遮蔽板の傾斜角度のみならず、蓋の表面と平行な方向に
沿う位置も蓋に合わせて調整されるので、遮蔽板と蓋と
の適正な連結をさらにスムーズに行うことができるとい
う効果を奏する。

【００５９】請求項５に係る基板搬入出装置によれば、
並進機構を摺動平面とこれに密着する摺動面を有する支
持部材側の凸球面部材または凹球面部材とにより構成す
ることで、上記効果を極めて簡易に達成することができ
るという効果を奏する。

【００６０】請求項６に係る基板搬入出装置によれば、
固定手段を作動させるだけで、遮蔽板を支持部材に対し
て、任意の位置および任意の傾斜角度で固定することが
でき、スムーズな連結が可能となる遮蔽板と蓋との相対
位置関係を、簡易かつ迅速に達成することができるとい
う効果を奏する。

【００６１】請求項７に係る基板搬入出装置によれば、
蓋の表面と平行な方向に沿う位置が蓋に合わせて調整さ
れるので、遮蔽板と蓋との適正な連結をスムーズに行う
ことができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明に係る基板搬入出装置の一実施形
態を示す側面図である。

【図２】 図１の基板搬入出装置を示す処理装置側か
ら見た正面図である。

【図３】 図１の基板搬入出装置を示す斜視図であ
る。

【図４】 図１の基板搬入出装置に使用されるＦＯＵ
Ｐカセットを示す斜視図である。

【図５】 図１の基板搬入出装置のシャッター昇降機
構を駆動するシリンダを示す側面図である。

【図６】 図１の基板搬入出装置の角度調整機構を示
す縦断面図である。

【図７】 図１の基板搬入出装置の角度調整機構を処
理装置側からみた正面図である。

【図８】 図７の角度調整機構を拡大した正面図であ
る。

【図９】 図８の角度調整機構のガイドピン引張手段
を拡大して示す縦断面図である。

【符号の説明】

１ 基板搬入出装置 ４ 通過口 ５ シャッター（遮蔽板） ６ シャッター昇降機構（遮蔽板昇降機構） ７ ＦＯＵＰカセット（容器） ８ 載置台 ２１，２５，２６ シリンダー ５０ 連結手段 ５１ 支持ブラケット（支持部材） ５２ 位置調整機構 ５６ 球面（凸球面） ５７ ガイド部材（凸球面部材） ５８ 凹球面 ５９ 固定手段 ７４ 摺動ブロック（摺動体、凹球面部材：並進機構） ７５ 摺動面 ７６，７７ 段付孔（並進機構） ７８ 摺動平面 Ａ 搬入出装置側（載置台側） Ｂ 処理装置側（基板処理装置側） Ｃ 隔壁

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数枚の基板を上下方向に間隔をあけ
   て水平に収容し、蓋によって密封可能な容器と、基板を
   処理する基板処理装置との間で基板を受け渡すための基
   板搬入出装置であって、 容器を載置する載置台と、 該載置台側と前記基板処理装置側とを区画する隔壁を貫
   通する通過口と、 該通過口を開閉する遮蔽板と、 該遮蔽板に前記蓋を連結する連結手段と、 前記遮蔽板の位置を前記蓋の位置に合わせるように調整
   する位置調整機構とを備えることを特徴とする基板搬入
   出装置。
2. 【請求項２】 前記位置調整機構が、遮蔽板または該
   遮蔽板を支持する支持部材のいずれか一方に取り付けら
   れた凸球面部材と、他方に取り付けられ前記凸球面部材
   に摺動可能に密着させられる凹球面部材と、これら凸球
   面部材と凹球面部材とを任意の相対角度位置で固定可能
   な固定手段とを備えることを特徴とする請求項１に記載
   の基板搬入出装置。
3. 【請求項３】 前記固定手段が、前記凸球面部材と前
   記凹球面部材との接触圧力を増加させることにより両者
   を固定する手段であることを特徴とする請求項２に記載
   の基板搬入出装置。
4. 【請求項４】 前記位置調整機構が、前記支持部材側
   に取り付けられた凸球面部材または凹球面部材を、前記
   蓋の表面と平行な方向に変位させる並進機構を備えるこ
   とを特徴とする請求項２または請求項３に記載の基板搬
   入出装置。
5. 【請求項５】 前記並進機構が、前記支持部材に前記
   蓋の表面に平行に設けられた摺動平面と、該摺動平面に
   密着させられる摺動面を有する前記支持部材側の凸球面
   部材または凹球面部材とからなることを特徴とする請求
   項４に記載の基板搬入出装置。
6. 【請求項６】 前記固定手段が、前記摺動平面と前記
   支持部材側の凸球面部材または凹球面部材との接触圧力
   を増加させることにより固定することを特徴とする請求
   項５に記載の基板搬入出装置。
7. 【請求項７】 前記位置調整機構が、前記遮蔽盤を前
   記蓋の表面と平行な方向に変位させる並進機構からなる
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板搬入出装置。