JP4177114B2 - プリアライナー及び格納ポッド・アクセス機構を備える集積回路基板ハンドラー - Google Patents
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Description
十分な間隙がこのように達成される時、レバーは、ポッドの内部へのアクセスのためにポッド・ロードロック室インタフェースをそのままにして、ドアに伴って、ロードロック室内で下向きに下降する。その後、基板はポッドから引き出され、処理され、適切なロボットアームを使用して返却される。一旦、処理が完了し、基板がポッドに返却されると、処理は逆になされ、かつポッド及びロードロック室は互いに再び密閉される。
格納ポッド・アクセス機構は微環境エンクロージャー26に関連するシステムによって利用される。実際、上述した構成はそのような多重構成要素による形状構成を容易にする。
何故なら、本発明の集積回路基板プリアライナー及び格納ポッド・アクセス機構が、システム能力を増大させるよりコンパクトな装置構成につながるからである。
20 アクセス機構
21 エンクロージャー・ドア
22 基板格納ポッド
24 壁
26 微環境エンクロージャー
28 ポート
30 凹所
32 ポッド・ドア
34 枠体
36 並進運動組立体
38 プラットフォーム
40 モータ
42 ボールねじ
44 ナット
46 延長部分
48 整合ピン
52 ラッチ機構
54 ラッチ・モータ
56 ラッチ
58 穴
60 支持部
62 ハウジング
63 横行運動組立体
64 モータ
65 ベルト
66 ボールねじ
68 ナット
70 プリアライナー
72 開口
74 ウェーハ
76 検出組立体
77a、77b 光エミッター
78 配向組立体
79a、79b CCDカメラ
80 チャック
82 モータ
84 機械式リンク機構
Claims (22)
- 着脱自在なポッド・ドアを備える基板格納ポッドの内部が微環境エンクロージャーの内部からアクセスされるシステムにおける集積回路ハンドラーであって、
1つ以上の開放位置と閉鎖位置との間で動くように取り付けられ、開放位置で、前記基板格納ポッドの内部が微環境エンクロージャーの内部からアクセス可能であるエンクロージャー・ドアと、
前記エンクロージャー・ドアと共に動くように取り付けられ、基板の配向を検出するように構成したプリアライナーと、を備え、
前記プリアライナーが、
前記基板の配向を示す信号を生成する検出組立体と、
自身上に前記基板が支持され、自身の回転が前記基板の回転を生じさせるように回転自在なチャックを具備する配向組立体と、を備える集積回路基板ハンドラー。 - 前記プリアライナーが前記エンクロージャー・ドアに取り付けられる、請求項1に記載の集積回路基板ハンドラー。
- 前記エンクロージャー・ドアに着脱自在なポッド・ドアを保持するための凹所が設けられる、請求項1に記載の集積回路基板ハンドラー。
- 第1の実質的に真っ直ぐな経路で前記基板格納ポッドに対して着脱自在な前記ポッド・ドアを移動するために構成された並進運動組立体と、
前記第1の実質的に真っ直ぐな経路を横切る第2の実質的に真っ直ぐな経路で着脱自在な前記ポッド・ドア及び前記エンクロージャー・ドアを移動するように構成された横行運動組立体と、を備える、請求項1に記載の集積回路ハンドラー。 - 可動プラットフォームと、
前記可動プラットフォームに取り付けられかつ前記ポッド・ドアに係合するように構成されたラッチ機構と、
モータと、
前記ラッチ機構が前記ポッド・ドアに係合している時、前記モータの作動が前記第1の実質的に真っ直ぐな経路に沿った該ポッド・ドアの移動を生じさせるように該モータを前記可動プラットフォームに連結するリンク機構と、を備える請求項4に記載の集積回路基板ハンドラー。 - 前記並進運動組立体が、前記可動プラットフォームに対して堅固に取り付けられかつ前記ポッド・ドアの対応する整合孔に噛み合うように構成された1つ以上の整合ピンを更に備える、請求項5の集積回路基板ハンドラー。
- 前記リンク機構がナットとねじ係合すボールねじを備える、請求項5の集積回路基板ハンドラー。
- 前記横行運動組立体が、
モータと、
前記モータの作動が前記第2の実質的に真っ直ぐな経路に沿った前記エンクロージャー・ドアの移動を生じさせるように、前記可動エンクロージャー・ドアに前記モータを連結するリンク機構と、を備える請求項4の集積回路基板ハンドラー。 - 前記リンク機構がナットにねじ係合するボールねじを備える、請求項8に記載の集積回路基板ハンドラー。
- 自身の作動が前記チャックを回転させるように該チャックに機械的にリンク連結され、
前記検出組立体からの信号に応じて回転されるモータを更に備える、請求項1に記載の集積回路基板ハンドラー。 - 前記検出組立体が光エミッタ及び光検出器を備え、
前記基板の参照指標が前記光エミッタから前記光検出器に到達する光の特性を制御するように形状構成された、請求項1に記載の集積回路基板ハンドラー。 - 前記参照指標が前記基板上に設けられたエッジ切込みである、請求項11に記載の集積回路基板ハンドラー。
- 前記検出組立体が基板の1つ以上のタイプの配向に対応する、請求項1に記載の集積
回路基板ハンドラー。 - 着脱可能なポッド・ドアを具備する基板格納ポッドの内部が、エンクロージャー・ドア
を具備する微環境エンクロージャーの内部から請求項1に記載の集積回路ハンドラーを使用してアクセスされ、プリアライナーを含むシステムにおいて基板を処理する方法であって、
前記エンクロージャー・ドアを複数の開放位置に徐々に移動させる段階と、
前記プリアライナーを前記エンクロージャー・ドアの開放位置に各々が対応する複数の位置に徐々に移動させる段階と、
前記基板格納ポッドの内部からの基板を前記プリアライナーに搬送する段階と、
前記プリアライナーにおいて、搬送された前記基板の配向を検出する段階と、を備える方法。 - 前記プリアライナーにおいて、搬送された前記基板の配向を変更する段階を更に備える
、請求項14に記載の方法。 - 前記プリアライナーが前記エンクロージャー・ドアに取り付けられる、請求項14に記
載の方法。 - 着脱自在な前記ポッド・ドアを前記エンクロージャー・ドアと共に徐々に移動させる段
階を更に備える、請求項14に記載の方法。 - 着脱自在なポッド・ドアを備える基板格納ポッドの内部が、微環境エンクロージャーの
内部から請求項1に記載の集積回路ハンドラーを使用してアクセスされ、前記格納ポッドが基板が格納される複数の格納位置を備え、及びプリアライナーを含むシステムにおいて基板を処理する方法であって、
前記エンクロージャー・ドアを前記格納位置に対応する複数の開放位置に移動させる段階と、
前記エンクロージャー・ドアで前記プリアライナーを移動させる段階と、
前記基板格納ポッドの内部と前記微環境エンクロージャーの内部との間に基板を搬送する段階と、を備える方法。 - 前記プリアライナーを使って前記基板の配向を検出する段階を更に備える、請求項18
に記載の方法。 - 前記プリアライナーを使って前記基板の配向を調節する段階を更に備える、請求項18
に記載の方法。 - 前記プリアライナーが前記エンクロージャー・ドアに取り付けられる、請求項18に記
載の方法。 - 前記ポッド・ドアを前記エンクロージャー・ドアと共に移動させる段階を更に備える、
請求項18に記載の方法。
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