JP4597708B2 - Foupオープナ - Google Patents
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Description
また、本発明によるFOUPオープナは、FOUPが載置され、このFOUPのFOUPドアを着脱し、FOUP内部にアクセスすることができるようにするためのFOUPオープナであって、前記FOUPドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有し、前記FOUPドアの着脱時に、前記FOUPオープナに載置された前記FOUPの前記FOUPドアにその正面が対峙するポートドアと、前記FOUPドアを保持した状態で前記ポートドアを移動させて開放するポートドア移動手段と、を備え、前記ポートドアは、前記着脱機構が装着される正面と、前記保持機構が装着される背面と、を有するメイン構造体と、前記メイン構造体の前記正面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な表面パネルと、前記メイン構造体の前記背面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な背面パネルと、で構成され、前記表面パネルに、前記FOUPドアの着脱操作を行う前記着脱機構の一部を前記ポートドアの正面に露出させる第1孔部を設け、前記メイン構造体に、前記FOUPドアを保持する前記保持機構の一部を前記メイン構造体の正面に露出させる第2孔部を設け、前記表面パネルに、前記保持機構の前記一部を前記ポートドアの正面に露出させる第3孔部を設け、前記メイン構造体に、該メイン構造体の前記背面側から前記着脱機構を操作可能にするアクセス孔を設けた、ことを特徴とする。
図2は、本実施形態に係るFOUPオープナ1の全体構成を示す図である。図2に示されるように、本実施形態におけるFOUPオープナ1は、内部に半導体ウェハ14を所定の間隔で、水平に、複数枚収納したFOUP10と、該FOUP10を載置して位置決めするドックプレート31と、該ドックプレート31をFOUP10のドア(FOUPドア)13が着脱される位置まで移動させるドック移動機構30と、FOUPドア13を着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドア23と、該ポートドア23により閉塞される開口部22を有するポートプレート21と、ポートドア23を水平に移動させるポートドア進退機構40と、FOUP内収納ウェハ14の有無や収納状態、収納位置等を検出するマッピングセンサ70を上部に取り付けたセンサ取付部材62を水平に移動させるセンサ進退機構60と、FOUPドア13をフロントエンド(ミニエン200 )に格納するために、ポートドア23がFOUPドア13を保持した状態で、ポートドア23とマッピングセンサ70とを垂直に移動させるポートドア・センサ昇降機構50とを備えている。
図3及び図4に示されるように、ポートドア23に設けられるFOUPドア13の着脱機構は、FOUPドア13をFOUPフレーム11の前面開口部12に着脱可能に装着するラッチ機構を作動させたり、解除したりするためのラッチキー25をポートドア23の正面視(図4参照)左右2個所に備えており、また、ポートドア23に設けられるFOUPドア13の保持機構は、真空源に連通する吸着パッド24をポートドア23の正面視(図4参照)左上と右下の2個所に備えている。FOUPドア13には、ラッチキー25が挿入されるキー溝(不図示)が形成されている。このキー溝は、ラッチ機構の操作端をなしている。
図5及び図6はポートドア23を分解した様子を示す図である。図5に示されるように、ポートドア23は主として、メイン構造体231、及び背面パネル232及び表面パネル233で構成され、これらを貼り合わせた構造となっている。また、図6は、メイン構造体231の裏面と背面パネル232の関係を示している。
以上のような構成を有する実施形態に記載のFOUPオープナ1によれば、ポートドア23の構造体の1つとして着脱可能な表面パネル233を用いているので、ラッチキー25等のグリース補填、FOUPドア13の吸着保持のための吸引機構等の部品交換といったメンテナンスの他、故障や不具合にも、FOUPオープナ1自体をミニエン200から取り出すことなく、表面パネル233を取り外すだけで対処することができる。なお、故障や不具合の多くは、メイン構造体231表面の何れかの個所やそれに支持されている部品等で発生するため、表面パネル233を着脱可能にしたことは有効であり、作業者の手間を大幅に軽減することができるのである。
Claims (8)
- FOUPが載置され、このFOUPのFOUPドアを着脱し、FOUP内部にアクセスすることができるようにするためのFOUPオープナであって、
前記FOUPドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有し、前記FOUPドアの着脱時に、前記FOUPオープナに載置された前記FOUPの前記FOUPドアに対峙するポートドアと、
前記FOUPドアを保持した状態で前記ポートドアを移動させて開放するポートドア移動手段と、を備え、
前記ポートドアは、
前記着脱機構が配置される一方の面と、前記保持機構が装着される他方の面と、を有するメイン構造体と、
前記メイン構造体の前記一方の面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な一方の面パネルと、
前記メイン構造体の他方の面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な他方の面パネルと、
で構成されることを特徴とするFOUPオープナ。 - 前記着脱機構が前記メイン構造体の正面に、前記保持機構が前記メイン構造体の背面に装着され、
前記一方の面パネルに、前記FOUPドアの着脱操作を行う前記着脱機構の一部を前記ポートドアの正面に露出させる第1孔部を設け、
前記メイン構造体に、前記FOUPドアを保持する前記保持機構の一部を前記メイン構造体の正面に露出させる第2孔部を設け、
前記一方の面パネルに、前記保持機構の前記一部を前記ポートドアの正面に露出させる第3孔部を設けた、
ことを特徴とする請求項1に記載のFOUPオープナ。 - FOUPが載置され、このFOUPのFOUPドアを着脱し、FOUP内部にアクセスすることができるようにするためのFOUPオープナであって、
前記FOUPドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有し、前記FOUPドアの着脱時に、前記FOUPオープナに載置された前記FOUPの前記FOUPドアにその正面が対峙するポートドアと、
前記FOUPドアを保持した状態で前記ポートドアを移動させて開放するポートドア移動手段と、を備え、
前記ポートドアは、
前記着脱機構が装着される正面と、前記保持機構が装着される背面と、を有するメイン構造体と、
前記メイン構造体の前記正面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な表面パネルと、
前記メイン構造体の前記背面を覆うと共に前記メイン構造体に着脱可能な背面パネルと、
で構成され、
前記表面パネルに、前記FOUPドアの着脱操作を行う前記着脱機構の一部を前記ポートドアの正面に露出させる第1孔部を設け、
前記メイン構造体に、前記FOUPドアを保持する前記保持機構の一部を前記メイン構造体の正面に露出させる第2孔部を設け、
前記表面パネルに、前記保持機構の前記一部を前記ポートドアの正面に露出させる第3孔部を設け、
前記メイン構造体に、該メイン構造体の前記背面側から前記着脱機構を操作可能にするアクセス孔を設けた、
ことを特徴とするFOUPオープナ。 - 前記着脱機構の一部が、前記FOUPに設けられ、前記FOUPドアを着脱するラッチ機構を操作するラッチキーであり、
前記保持機構の一部が、吸着パッドであり、
前記第1孔部は、前記ラッチキーを通し、かつ、これに干渉しない程度の大きさのラッチキー孔であることを特徴とする請求項2又は3に記載のFOUPオープナ。 - 前記背面パネルには前記アクセス孔と連通する位置に開口が設けられていることを特徴とする請求項3に記載のFOUPオープナ。
- 前記背面パネルに設けられた前記開口は、取り外し可能なシール部材によって塞がれることを特徴とする請求項5に記載のFOUPオープナ。
- 前記第3孔部が、前記吸着パッドを通し、かつ、これに干渉しない程度の大きさの吸着パッド孔であることを特徴とする請求項4に記載のFOUPオープナ。
- 前記ラッチキーは、前記ラッチキー孔を遮蔽するための蓋部材を備えることを特徴とする請求項4に記載のFOUPオープナ。
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