JP5168329B2 - ロードポート装置 - Google Patents
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Description
Claims (6)
- 半導体処理装置において被処理物が挿脱される開口部が設けられる取付け面に取付けられて、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の外部側に配置された密閉容器たるポッドの蓋を開閉することにより、前記開口部を介しての前記ポッド内に対する前記被処理物の挿脱の実施を可能とするロードポート装置であって、
前記半導体処理装置における前記取付け面に対して所定の角度を保持して突出するように配置される板状体からなるメインベースと、
前記取付け面に固定可能であって、前記メインベースと締結されることにより前記メインベースと前記取付け面とを連結して前記所定の角度を維持させる接続プレートと、
前記メインベースに支持されて前記ポッドが載置可能な載置テーブルと、
前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記メインベースに支持されると共に前記ドアを支持し、前記ドアに対して前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、を有し、
前記ドア駆動機構は前記メインベースの主面に固定され、前記主面は前記ドア駆動機構が前記ドアにより前記開口部を開閉させる際の前記ドアの2つの移動方向で定義される平面に対して平行な面内に延在することを特徴とするロードポート装置。 - 半導体処理装置において被処理物が挿脱される開口部が設けられる取付け面に取付けられて、前記前記取付け面に対して前記半導体処理装置の外部側に配置された密閉容器たるポッドの蓋を開閉することにより、前記開口部を介しての前記ポッド内に対する前記被処理物の挿脱の実施を可能とするロードポート装置であって、
前記半導体処理装置における前記取付け面に対して所定の角度を保持して突出するように配置される板状体からなるメインベースと、
前記取付け面に固定可能であって、前記メインベースと締結されることにより前記メインベースと前記取付け面とを連結して前記所定の角度を保持させる接続プレートと、
前記メインベースに支持されて前記ポッドが載置可能な載置テーブルと、
前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記メインベースに支持されると共に前記ドアを支持し、前記ドアに対して前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、を有し、
前記ドア駆動機構は前記ドアを前記開口部に正対する位置から離れる方向に駆動する際に用いられ、前記ドアの昇降方向を画定する一対のドア昇降用ガイドレールを有し、前記ドア昇降用ガイドレール各々は前記取付け面に平行に延在し、且つ並置された前記ドア昇降用ガイドレール各々が含まれる平面が該取付け面と交差するように前記メインベースに固定され、
前記メインベースの長辺方向は前記昇降方向に配置され且つ短辺方向は前記ドアが前記開口部から離れる方向に配置される、ことを特徴とするロードポート装置。 - 前記接続プレートは、前記取付け面と平行に配置され且つ延在する断面I字形の平板状の部材から成り、前記メインベースとの締結部分において前記取付け面に垂直な方向の厚さが厚く設定されることを特徴とする請求項1或いは2の何れかに記載のロードポート装置。
- 前記メインベースは複数存在し、複数の前記メインベースを一体的に連結する連結シャフトを更に有することを特徴とする請求項1或いは2の何れかに記載のロードポート装置。
- 前記メインベースは複数存在し、前記接続プレートは前記メインベースに応じて配置され、前記ドア駆動機構は前記複数のメインベースの間に配置されることを特徴とする請求項1或いは2の何れかに記載のロードポート装置。
- 前記ドア及び前記載置テーブルは樹脂からなることを特徴とする請求項1或いは2の何れかに記載のロードポート装置。
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