KR101277031B1 - 로드 포트 장치 - Google Patents

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티디케이가부시기가이샤
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Abstract

대형화로 인해 중량이 증대된 도어의 구동시에 발생하는 모멘트에 대해 저항할 수 있는 구조를 갖는 로드 포트 장치가 제공된다. 로드 포트 장치의 설치면에 수직으로 돌출하고 설치면에 평행하게 연장되는 한 쌍의 직사각형 메인 베이스가 연결 샤프트에 의해 서로 연결되고, 이런 요소를 포함하는 구조체가 설치면과 밀접한 표면 접촉 상태에 유지될 수 있는 I형상 판의 개재를 통해 설치면에 고정된다. 도어 구동 기구, 적재 테이블 등의 기구는 구조체의 한 쌍의 메인 베이스 사이의 내측에 배치된다.

Description

로드 포트 장치{LOAD PORT APPARATUS}
본 발명은, 반도체 제조 프로세스 등의 공정 동안에, 포드라고 불리는 밀폐형 반송 용기에 보유되는 웨이퍼를 하나의 반도체 처리 장치로부터 다른 반도체 처리 장치로 반송하기 위해 사용되는 FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 시스템이라고 불리는 것, 즉 로드 포트 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 구성 전체의 경량화에 기여하는 로드 포트 장치의 본체 구조에 관한다.
최근, 일반적인 반도체 제조 프로세스에서는, 다음의 3개의 공간 즉, 각종 처리 장치의 내부 공간, 웨이퍼를 수용하고 웨이퍼를 하나의 처리 장치로부터 다른 처리 장치로 반송할 수 있는 포드의 내부 공간, 및 포드와 각각의 처리 장치 사이에서 웨이퍼가 교환되는 미소 환경에서만 고도로 청정한 상태를 유지함으로써 전체 프로세스의 청정도를 관리한다. 이러한 포드는, 웨이퍼를 내부에 수용하며 일 측면에 형성된 웨이퍼 삽입 및 제거용 개구를 갖는 메인-유닛부와, 개구를 폐쇄하여 포드 내부를 밀폐 공간으로 만드는 덮개를 포함한다. 또한, 미소 환경을 규정하는 구조는 포드의 상기 개구에 대면할 수 있는 개구부와, 상기 개구부에 대면하도록 반도체 처리 장치측에 배치된 제2 개구부를 포함한다.
로드 포트 장치는 상기 개구부가 제공된 격벽으로서의 부재, 즉 사이드 베이스라 불리는 벽과, 상기 개구부를 폐쇄하기 위한 도어와, 상기 도어의 작동을 제어하기 위한 도어 구동 기구와, 포드가 적재되는 적재 테이블을 포함한다. 포드가 실제로 적재되는 적재 테이블상의 적재대는 포드의 개구와 개구부를 서로 대면시키는 방향으로 포드를 지지할 수 있고, 포드의 덮개를 포드와 함께 도어에 근접시키거나 또는 그로부터 이격시킨다. 도어는 포드의 덮개를 보유할 수 있으며, 덮개를 보유하면서 도어 구동 기구에 의해 개구부와 제2 개구부 사이의 공간 아래로 퇴피된다. 미소 환경내에는 로봇이 배치되고, 상기 로봇은 개구부와 포드의 개구를 통해서 포드 내부로 진입하고 그로부터 퇴피될 수 있고, 포드 내부와 반도체 처리 장치 사이에서 웨이퍼를 제2 개구부를 통해서 반송한다.
반도체 제조 단계에서, 사용되는 웨이퍼의 구경의 증대가 생산성의 향상을 위해 촉진되어 왔다. 따라서, 각각의 상술한 포드, 미소 환경 및 처리 장치 내의 공간도 대형화된다. 예컨대, 일본특허출원공보 제2003-347387호에 공개된 로드 포트 장치는 수직벽인 사이드 베이스를 처리 장치의 반송 챔버의 일 측면에 고정시킴으로써 작동가능한 상태로 된다. 상기 일 측면은 일반적으로 설치면을 말한다. 여기서, 웨이퍼의 구경이 증가함에 따라, 로드 포트 장치의 개구부의 확대 및 그에 따른 도어의 대형화도 요구된다. 이러한 도어의 대형화는 도어의 중량을 증가시키고, 도어 구동 기구는 도어의 증가된 중량에 따라 더 큰 가동력을 갖는 것이 요구된다.
여기서, 일본특허출원공보 제2003-347387호에 공개된 사이드 베이스는 단일 평판형 부재로 형성된다. 사이드 베이스는 도어 및 도어 구동 기구를 지지하고, 동시에 도어 및 도어 구동 기구의 작동시에 발생하는 동적인 로드, 즉 이른바 모멘트에 대해 충분한 강성을 갖는 것이 요구된다. 그러나, 최근 도어 등의 대형화에 따라, 종래의 구조에서 충분한 강성을 확보하기가 점차 어려워지고 있다. 또한, 충분한 강성을 확보할 목적으로 사이드 베이스의 두께를 증가시키기 위한 시도가 이루어질 경우, 사이드 베이스의 중량이 증가할 위험이 있고, 처리 장치에 대해 로드 포트 장치를 적절히 설치하는 것이 더 어려워진다.
본 발명은 상술한 상황의 관점에서 이루어졌으며, 본 발명의 목적은 대형화된 도어의 개폐에 따라 발생하는 모멘트를 충분히 견딜 수 있고, 고도의 정확도를 갖는 도어 작동으로 개구부를 개폐시킬 수 있는 로드 포트 장치를 제공하는 것이다.
상기 문제를 해결하기 위해서, 처리 대상물의 삽입 및 제거를 위한 개구부가 제공되는 반도체 처리 장치의 설치면에 부착되고, 상기 처리 대상물이 개구부를 통해 포드의 내측으로 삽입 및 그로부터 제거될 수 있도록 개구부의 외측에 배치되는 밀폐된 용기로서의 포드의 덮개를 개폐시키는 본 발명의 양태에 따른 로드 포트 장치는, 판형체로 형성되고, 상기 반도체 처리 장치의 설치면에 대해 미리 결정된 각도를 유지하면서 돌출하는 방식으로 배치되는 메인 베이스와, 상기 미리 결정된 각도를 유지하도록 상기 메인 베이스에 체결됨으로써 상기 메인 베이스와 설치면을 서로 연결시키기 위해 상기 설치면에 고정될 수 있는 접속판과, 상기 메인 베이스에 의해 지지되고 상기 포드가 적재되는 적재 테이블과, 상기 포드의 덮개를 유지시킬 수 있고 개구부를 개폐시키도록 개구부의 내측에 배치되는 도어와, 상기 메인 베이스에 의해 지지되고, 상기 도어를 지지하며, 상기 도어가 개구부를 개폐시키도록 하는 도어 구동 기구를 포함하고, 상기 메인 베이스는 도어 구동 기구에 의해 구동되는 도어의 이동 방향을 포함하는 궤적 평면에 평행한 평면의 평면내 방향에서 작용하는 힘에 대한 강성이 궤적 평면 및 설치면 양자에 수직인 평면의 평면내 방향에서 작용하는 힘에 대한 강성보다 크도록 하는 형상을 갖는다.
또한, 상기 문제를 해결하기 위해서, 처리 대상물의 삽입 및 제거를 위한 개구부가 제공되는 반도체 처리 장치의 설치면에 부착되고, 상기 처리 대상물이 개구부를 통해 포드의 내측으로 삽입 및 그로부터 제거될 수 있도록 개구부의 외측에 배치된 밀폐된 용기로서의 포드의 덮개를 개폐시키는 본 발명의 다른 양태에 따른 로드 포트 장치는, 판형체로 형성되고, 상기 반도체 처리 장치의 설치면에 대해 미리 결정된 각도를 유지하면서 돌출하도록 배치되는 베인 베이스와, 상기 미리 결정된 각도를 유지하도록 상기 메인 베이스에 체결됨으로써 상기 메인 베이스 및 설치면을 서로 연결시키기 위해 상기 설치면에 고정될 수 있는 접속판과, 상기 메인 베이스에 의해 지지되고 상기 포드가 적재되는 적재 테이블과, 상기 포드의 덮개를 유지시킬 수 있고 개구부를 개폐시키도록 개구부의 내측에 배치되는 도어와, 상기 메인 베이스에 의해 지지되고, 상기 도어를 지지하며, 상기 도어가 개구부를 개폐시키도록 하는 도어 구동 기구를 포함하고, 상기 도어 구동 기구는 상기 도어가 개구부에 대면하는 대면 위치로부터 이격되는 방향으로 구동될 때 사용되는 한 쌍의 도어 승강 가이드 레일을 포함하고, 상기 한 쌍의 도어 승강 가이드 레일은 설치면에 평행하게 연장되고 서로 병렬인 한 쌍의 도어 승강 가이드 레일을 포함하는 평면이 설치면과 교차하도록 메인 베이스에 고정된다.
본 발명의 양태 중 어느 한 양태에 따른 로드 포트 장치에 있어서, 상기 접속판은 상기 설치면에 평행하게 배치되고 상기 설치면에 평행하게 연장되는 평판형 부재로 형성되고, 상기 접속판은 상기 메인 베이스에 대한 체결 부분에서, 상기 설치면에 수직인 방향으로 커지도록 설정되는 두께를 가지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 메인 베이스는 복수의 메인 베이스를 포함하고, 상기 로트 포트 장치는 상기 복수의 메인 베이스를 서로 일체로 연결시키기 위한 연결 샤프트를 더 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 메인 베이스는 복수의 메인 베이스를 포함하고, 상기 접속판이 상기 복수의 메인 베이스 각각에 대응하게 배치되며, 상기 도어 구동 기구는 상기 복수의 메인 베이스들 사이에 배치되는 것이 더 바람직하다. 또한, 도어 및 적재 테이블 각각은 투명한 수지로 형성되는 것이 더 바람직하다.
본 발명의 양태에 따르면, 도어 및 도어 구동 기구는 통상적으로 본질적인 요소인 단일 평판형 본체로 형성된 사이드 베이스보다 더 큰 강성을 갖는 구조체에 의해 지지될 수 있다. 또한, 개구부는 대형화된 도어에 대해서도 고도의 정확도로 개폐될 수 있다. 또한, 사이드 베이스는 종래의 구조에 비해 중량이 현저히 감소될 수 있다. 결과적으로, 반도체 처리 장치에 로드 포트 장치를 설치할 때의 작동은 용이해질 수 있고 높은 정확도로 실행될 수 있다.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징 및 이점은 첨부의 도면과 관련되는 이하의 상세한 설명으로부터 더 명확해질 것이다.
도 1은 포드가 로드 포트 장치에 적재되어 있는 상태에서 본 발명의 실시예에 따른 로드 포트 장치의 개략적인 구성을 측면측에서 도시한 도면.
도 2는 포드 및 도어가 로드 포트 장치로부터 제거되어 있는 상태에서 도 1에 도시된 로드 포트 장치의 개략적인 구성을 설치면측에서 도시한 사시도.
도 3은 평면 3-3을 따라 취한 도 2에 도시된 메인 베이스 및 접속판(connecting plate)의 단면을 화살표(V) 방향에서 보는 상태를 도시한 도면.
도 4는 도 3에 도시된 영역(B)의 확대도.
이하에서, 본 발명의 실시 형태를 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 로드 포트 장치의 개략적인 구성을 포드(2)가 적재 테이블에 적재되어 있는 상태하에서 측면측으로부터 도시하고 있다. 또한, 도 2는 로드 포트 장치의 개략적인 구성을 설명의 간략화를 위해 도어가 분리되어 있는 상태하에서 설치면측으로부터 도시하고 있다. 도 3은, 도 2의 단면 3-3을 따라 취한 단면도로서, 접속판, 개구부 커버 부재 및 메인 베이스를 도 2의 화살표(V) 방향에서 본 단면도이다. 도 4는 도 3에 도시된 영역(B)의 확대도이다. 이 실시예의 로드 포트 장치(1)는 접속판(11), 개구부 커버 부재(50), 메인 베이스(13), 적재 테이블(15), 도어(17) 및 도어 구동 기구(19)를 포함한다. 실제의 구조에서는, 먼지가 비산되는 것을 방지하도록 적재 테이블(15)에 부착되는 포드 구동 기구(25) 및 도어 구동 기구(19) 를 커버하는 커버(도시 생략)가 적재 테이블(15) 아래에 배치된다. 커버는 이들 요소를 수용하는 밀폐 공간을 형성한다. 또한, 개구부가 제공된 설치면을 갖는 반도체 처리 장치는 본 실시예와 직접적인 관계를 갖지 않는다. 따라서, 반도체 처리 장치에 대해서는 여기서 도면을 참조하여 설명하지 않는다. 다음의 설명에서, 도 1에서 1점 쇄선으로 도시한 설치면(W)은 상기 반도체 처리 장치에 연통하는 개구부가 제공되는 벽의 일 면, 즉 반도체 처리 장치측의 미소 환경으로서의 역할을 하는 개구부의 내측에 대해 개구부의 외측에 위치하는 면이다.
다음으로, 각각의 요소를 설명한다. 이 실시예에서, 각각의 메인 베이스(13)는 종변, 단변 및 미리 결정된 두께를 갖는 판형상체로 형성된다. 따라서, 각각의 메인 베이스(13)의 연장 방향은 종변 방향에 대응한다. 각각의 접속판(11)은 설치면(W)에 평행하게 설치되고 연장되는 평판형 부재로 형성된다. 메인 베이스(13)는 한 쌍으로 사용되고, 메인 베이스(13)에 각각 대응하는 접속판(11)은 서로 대면하도록 배치된 메인 베이스(13)의 외측에 배치된다. 접속판(11)은 설치면(W)에 고정되고 메인 베이스(13)를 각각 지지한다. 한 쌍의 메인 베이스(13)는, 그들 사이에 배치되며 양단부가 한 쌍의 메인 베이스(13)와 각각 접촉 상태를 유지하는 막대 형상 연결 샤프트(23)에 의해 일체화된다. 복수의 연결 샤프트(23)가 상기 쌍의 메인 베이스(13)들 사이에 배치될 때, 상기 쌍의 메인 베이스(13) 및 복수의 연결 샤프트(23)는 단일 강성체로서 작용한다. 결과적으로, 단일판으로 형성된 종래의 베이스 판에 비해 현저한 중량 감소를 달성하며 종래의 베이스 판에 비해 훨씬 높은 강성을 가지는 구조체를 얻을 수 있다. 또한, 도어 구동 기구(19) 등이 서로 대면하는 메인 베이스(13)들 사이에 배치되고, 따라서 이들 요소를 포함하는 구조체는 후술하는 도어 구동 기구(19)의 승강용 가이드의 매개를 통해 도어(17)로부터 받는 모멘트에 효과적으로 저항한다.
또한, 메인 베이스(13)는 적재 테이블(15) 및 도어 구동 기구(19)를 지지한다. 적재 테이블(15)은 메인 베이스(13)에 고정되는 테이블 고정부(27), 테이블 고정부(27) 중 하나에 의해 지지되는 포드 구동 기구(25) 및 포드 구동 기구(25)에 의해 지지되는 포드 지지 테이블(29)을 포함한다. 포드(2)는 포드 지지 테이블(29) 위로 적재 및 고정된다. 포드 구동 기구(25)는 포드(2)가 개구부에 근접 또는 그로부터 이격되도록 개구부(도시 생략)에 수직 방향(D)을 따라 포드 지지 테이블(29)을 이동시킨다. 도어 구동 기구(19)는, 도어 아암(31)의 매개를 통해, 도어(17)가 미리 결정된 구동 조건하에 개구부를 폐쇄시킬 수 있는 위치에서 도어(17)를 지지한다. 도어 구동 기구(19)는 복수의 구동 액추에이터를 포함한다. 이 구동 액추에이터의 협동을 통해, 도어(17)는 개구부로부터 내측으로 이격되고 특정 방향으로 이동되어 개구부를 개방시킨다. 예컨대, 도어(17)의 중심점에 대해 말하면, 개구부로부터의 도어(17)의 이격 및 특정 방향으로의 도어(17)의 이동의 작동 방향 또는 구동 궤적은 특정 평면, 즉 궤적 평면에 존재한다.
도어 구동 기구(19)는, 도어(17)가 상술한 내측을 향해 제1 방향으로 개구부에 근접 및 이격되도록 도어(17)를 구동시키는 제1 도어 구동 유닛(33)과, 제1 방향과 상이한 방향인 제2 방향을 따라 도어(17)를 구동시키는 제2 도어 구동 유닛(35)을 포함한다. 제2 방향은 제1 방향에 직교한다는 점을 알 수 있다. 이 실시예에서, 제2 방향은 수직 방향으로 설정된다. 즉, 제2 방향은 도어(17)가 개방 방향의 전방으로부터 개구부의 하측으로 이동하는 방향이다. 제1 도어 구동 유닛(33)은 제1 방향으로 연장되는 제1 가이드 레일(37) 및 제1 구동원(38)을 포함하고, 제2 도어 구동 유닛(35)은 제2 방향으로 연장되는 제2 가이드 레일(39) 및 제2 구동원(40)을 포함한다. 도어 구동 유닛의 각각의 구동원은 가이드 레일에서 이동하고, 따라서 도어 구동 유닛은 각각의 방향으로 이동할 수 있다. 제1 도어 구동 유닛(33)은 도어 아암(31)의 매개를 통해 도어(17)를 직접 지지하고, 제2 도어 구동 유닛(35)은 제1 도어 구동 유닛(33)을 지지한다. 개구부의 전방으로의 도어(17)의 이동 방향을 포함하는 방향으로서 인식가능한 방향이 상술한 제1 방향에 대응하고, 개구부의 전방으로부터 퇴피시의 도어(17)의 이동 방향으로서 인식가능한 방향이 상술한 제2 방향에 대응한다. 즉, 제2 방향은, 도어(17)가 개구부에 대해서 대면 위치로부터 이격되는 방향으로 이동되는 방향으로서 인식되는 것이 바람직하다.
본 발명은 도어의 대형화 및 그것에 따른 도어의 중량 증가의 문제를 해결하기 위한 목적으로 이루어졌다는 점을 알 수 있다. 따라서, 가이드 레일(37, 39) 양자는 도어(17)의 대응 이동 방향에 수직으로 엇갈리게 쌍으로 제공된다. 구체적으로, 도어는 제1 방향으로 이동하기 때문에, 제1 가이드 레일(37)은 제1 방향으로 연장되고 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 서로 평행하게 배치된다. 또한, 제2 가이드 레일(39)은 제2 방향으로 연장되고 제2 방향에 수직인 제1 방향으로 서로 평행하게 배치되는 한 쌍의 제2 가이드 레일(39a, 39b)을 포함한다. 제1 가이드 레일(37)은 본 발명의 개구부 개폐 가이드 레일에 대응하고, 제2 가이드 레일(39)은 본 발명의 도어 승강 가이드 레일에 대응한다.
다음으로, 도 3 및 도 4를 참조하여, 예컨대 설치면(W)에 대한 접속판(11) 및 메인 베이스(13)의 위치 관계를 상세하게 설명한다. 메인 베이스(13)는 설치면(W)에 대하여 미리 결정된 각도(본 실시예에서는 90°)를 유지하면서 설치면(W)으로부터 돌출하는 방식으로 배치된다. 따라서, 설치면(W)에 대한 메인 베이스(13)의 돌출 방향은 설치면(W)에 수직이다. 메인 베이스(13)는, 미리 결정된 두께를 가지는 판형상체이며, 단변이 설치면(W)으로부터 돌출하고 종단부면이 설치면(W)에 평행하도록 배치된다. 접속판(11)은 설치면(W)[도 4에서 밀착 영역(11a)]과 적어도 부분적으로 밀착된 상태로 유지되고 설치면(W)에 대한 위치 관계를 고정할 수 있도록 판 형상을 갖는다. 더 구체적으로, 예컨대 도 4에 도시된 바와 같이, 접속판(11)의 형상은 설치면(W)에 평행하게 연장되는 단면 I형의 판 형상을 갖는다. 접속판(11)은, 접속판(11)의 일 면이 설치면(W)과 밀착하여 유지되는 방식으로 나사와 같은 제1 체결 부재(43)에 의해 설치면(W)에 고정된다. 또한, 접속판(11)은, 판 형상의 종단부면이 메인 베이스(13)의 판 형상의 일 면에 부딪치도록 나사와 같은 제3 체결 부재(47)에 의해 고정된다. 이러한 방식의 접속판(11)의 매개를 통해, 메인 베이스(13)는 설치면(W)에 대해 미리 결정된 각도를 유지시키는 상태로 고정된다.
또한, 본 실시예에서는, 접속판(11)과 설치면(W) 사이에 개구부 커버 부재(50)가 배치된다. 개구부 커버 부재(50)는, 제2 체결 부재(45)에 의해 접속판(11)에 고정되고, 설치면(W)에 제공된 개구부를 커버함으로써 필요 최소한의 개구 면적을 규정한다. 구체적으로, 개구부 커버 부재(50)는, 상술한 도어 구동 기구(19)의 미소 환경측에 배치된 구조와 미소 환경의 외측에 배치된 구조 사이에 배치되고, 미소 환경과 외부 공간 사이의 연통 영역을 구성하는 부분을 웨이퍼 반송을 위한 필요 최소 개구 면적으로서 규정한다. 이러한 방식으로, 개구부 커버 부재(50) 및 접속판(11)이 미리 일체로 될 때, 로드 포트 장치는 예컨대 개구부 커버 부재(50)와 도어 구동 기구(19) 사이의 위치 관계가 결정되는 상태하에서 반도체 처리 장치에 부착될 수 있다. 따라서, 반도체 처리 장치에 대한 로드 포트 장치의 설치시의 위치 설정과 같은 조작이 간단하고 용이해질 수 있다.
메인 베이스(13)에 부딪치는 체결면으로서의 역할을 하는 접속판(11)의 체결 부분에는, 설치면(W)에 수직 방향의 두께(t1)가 다른 부분의 두께(t2)보다 크게 설정되는 영역(T)이 배치되는 것이 바람직하다. 예컨대, 본 실시예에서 설명한 바와 같은 체결 부재가 사용되는 경우, 충분한 강도 또는 충분한 체결력을 확보하기 위해서, 영역(T)은 적어도 체결 부재를 수용하는데 충분한 두께(t1) 및 길이(L)를 갖는 것이 바람직하다. 접속판(11)에 부가된 이러한 영역(T)은 접속판(11)이 메인 베이스(13)를 더 견고하게 지지할 수 있게 한다. 상술한 바와 같이, 메인 베이스(13)는 상술한 특정 형상(본 실시예에서는 단면 I형상)을 갖는 접속판(11)과 제1 체결 부재(43) 및 제3 체결 부재(47)에 의해 지지되는 것이 바람직하다. 이러한 구성은 박판 부재로도 메인 베이스(13)의 돌출 방향을 정확하게 확보하고 충분한 연결 강도를 달성할 수 있게 한다. 그러나, 돌출 방향 및 체결 부재의 유형은 이것으로 제한되지 않으며, 다양한 다른 구성이 사용될 수 있다. 또한, 이들 부재는 용접 등에 의해 서로 일체화될 수 있다. 또한, 접속판(11)은 강도, 메인 베이스(13)에 대한 부착 모드 등에 따라 단면 I형상과 다른 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 대해 상술한 바와 같이, 상기 쌍의 도어 승강 가이드 레일(39a, 39b)은, 설치면(W)에 대하여 메인 베이스(13)의 종방향을 따라 연장되도록 배치되고 메인 베이스(13)가 설치면(W)으로부터 돌출하는 방향으로 병렬되는 방식으로 배치된다. 중심으로서 도어 아암(31) 및 도어 구동 기구(19)가 서로 연결되는 부분으로부터 구동될 때, 도어(17)는 도어 승강 가이드 레일(39a, 39b)의 연장 방향으로부터 이격되는 방향으로 힘의 모멘트를 발생시킨다. 상기 쌍의 도어 승강 가이드 레일(39a, 39b)의 상기 배치는 상기 모멘트에 대해 가장 효과적인 저항을 가능하게 한다. 또한, 상기 쌍의 개구부 개폐 가이드 레일(37)은 메인 베이스(13)의 단방향으로 연장되고 종방향으로 병렬이 되는 방식으로 배치된다. 중심으로서 도어 아암(31) 및 도어 구동 기구(19)가 서로 연결되는 부분으로부터 구동될 때, 도어(17)는 도어 승강 가이드 레일(39a, 39b)의 연장 방향으로부터 이격되는 방향으로 힘의 모멘트를 발생시킨다. 상기 쌍의 개구부 개폐 가이드 레일(37)의 이러한 배치도 모멘트에 대한 가장 효과적인 저항을 가능하게 한다.
도어 승강 가이드 레일(39a, 39b) 및 상기 쌍의 개구부 개폐 가이드 레일(37)은 본 명세서에서 설명한 모드로 사용되는 것이 바람직하지만, 본 명세서에서 설명된 모드는 여러가지 것들 중 단지 어느 하나에만 적용될 수 있다. 이 경우, 도어(17)의 구동량이 큰 도어 승강 가이드 레일(39a, 39b)이 이 모드에서 사용되는 것이 보다 바람직하다. 즉, 상기 쌍의 도어 승강 가이드 레일(39a, 39b)은 각각 메인 베이스(13)의 연장 방향으로 연장되고 메인 베이스(13)가 설치면(W)으로부터 돌출되는 방향으로 평행하도록 메인 베이스(13)에 고정되는 것이 바람직하다. 또한, 이 경우, 상기 쌍의 도어 승강 가이드 레일(39a, 39b)은, 각각이 설치면(W)에 평행하게 연장되고 서로 병렬인 상기 쌍의 도어 승강 가이드 레일(39a, 39b)을 포함하는 평면이 설치면(W)과 교차하는 방식으로 메인 베이스(13)에 각각 고정된다고 정의된다.
이와 달리, 본 발명에 있어서, 설치면(W)에 대한 메인 베이스(13)의 돌출 방향은 특별히 제한되지 않으며, 메인 베이스(13)는 메인 면으로서 도어 구동 기구(19)를 지지하기 위한 면을 구비하고, 메인 면은 도어 구동 기구(19)가 개구부를 개폐하도록 도어(17)를 구동시킬 때에 도어(17)의 이동 방향(전진 및 퇴피, 승강, 회전 등) 중 어느 하나를 포함하는 평면에 평행하게 연장되는 평면에서 연장되도록 배치된다고 정의할 수 있다. 여기서, 메인 면은 판형 메인 베이스(13)의 일 면에 대응할 수 있지만, 메인 면은 판 형상에 대한 상술한 정의에 따른 평면을 부가하여 얻어지는 다른 면에 대응할 수 있다. 이 경우, 도어(17)의 이동 방향은 개구부에 대한 도어(17)의 개폐에 관련되는 범위 내에서 도어(17)의 중력 중심이 이동되는 다양한 타이밍에서의 방향을 포함한다는 점을 알아야 한다. 또한, 메인 면은 중력 중심의 이동 궤적을 포함하는 평면에 평행하도록 규정될 수 있다.
이러한 모드의 채택은 도어(17)의 작동에 따라 발생될 수 있는 힘의 모멘트에 대하여 판형상체로 형성된 종래의 사이드 베이스가 아닌 상기 구조체에 의해 가해지는 저항을 가능하게 한다. 또한, 가이드 레일은 이런 힘의 모멘트가 작용하는 방향에 대해 최고 강성을 가하도록 위치된다. 따라서, 이러한 힘의 모멘트에 의한 가이드 레일의 변위는 효과적으로 억제될 수 있다. 결과적으로, 제1 도어 구동 유닛(33) 및 제2 도어 구동 유닛(35) 각각의 작동 단부가 종래의 사이드 베이스측 대신 가이드 레일측에 제공될 수 있어 작동이 고도의 정확도로 작동 단부에서 반복된다. 또한, 도어 구동 기구(19) 등에 대한 상술한 커버는 통상적으로 설치면(W)에 고정된다. 그러나, 본 발명에 따르면, 커버는 상술한 바와 같이 접속판(11) 또는 메인 베이스(13)에 고정될 수 있다. 즉, 커버는 로드 포트 장치에 고정될 수 있고, 도어 구동 기구(19)와 같은 고도의 먼지 비산 위험을 갖는 요소가 고도의 밀폐성으로 커버 내부에 수용될 수 있게 한다. 또한, 커버는 더 용이하게 착탈될 수 있고, 이는 하우징 공간의 유지보수성을 향상시킬 수 있다.
또한, 메인 베이스(13)가 본 실시예에서는 쌍으로 제공되지만, 단일 메인 베이스(13) 또는 더 많은 수의 메인 베이스(13)가 사용될 수 있다. 또한, 접속판(11)이 메인 베이스(13)에 각각 대응하지만, 그들 사이에 하나 대 복수의 관계가 성립될 수 있다. 또한, 메인 베이스(13)는 설치면(W)에 대해 90°의 미리 결정된 각도를 유지하면서 설치면(W)으로부터 돌출하지만, 돌출 각도는 그것으로 제한되지 않는다. 또한, 연장 방향은 수직 방향으로 제한되지 않는다. 본 발명의 목적으로서 로드 포트 장치가 저항해야하는 도어의 구동에 따라 발생하는 힘의 모멘트는, 도어 구동 기구(19)에 의해 구동된 도어(17)의 작동 방향을 포함하는 도어 중심 주위의 궤적으로 형성되는 궤적 평면에 평행한 평면의 평면내 방향에서 작용하는 힘이 된다. 따라서, 설치면(W)에 대한 돌출 각, 연장 방향 및 메인 베이스(13)의 수는, 궤적 평면에 평행한 평면의 평면내 방향에서 작용하는 힘에 대한 강성이 궤적 평면 및 설치면(W) 양자에 수직인 평면의 평면내 방향에서 작용하는 힘에 대한 강성보다 크도록 설정되기에 충분하다. 본 실시예에서, 도어의 작동이 예컨대 개구부에 대한 근접 및 이격에 대해서 2개의 축선을 따라 선형적으로 실행되지만, 예컨대 특정 축선을 중심으로 하는 회전 작동이 실행될 수 있다. 이 경우에도, 회전 작동 및 승강 작동에 의해 형성되는 도어의 미리 결정된 부분의 궤적이 특정 평면에 존재할 때, 상술한 조건의 충족을 통해 본 발명의 바람직한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에서, 로드 포트 장치의 기본적인 강성은 접속판(11), 메인 베이스(13) 및 연결 샤프트(23)에 의해 가해질 수 있다. 따라서, 도어(17) 및 적재 테이블(15)의 강성을 종래의 것 이상으로 유지시킬 필요가 없어져 이들 부재는 수지 재료로 형성될 수 있다. 이에 의해, 이들 부재의 중량은 감소될 수 있어, 로드 포트 장치 자체의 중량도 감소될 수 있다. 결과적으로, 반도체 처리 장치에 대한 로드 포트 장치의 설치와 같은 작동은 용이해질 수 있다. 또한, 투명한 수지 재료의 사용에 의해, 반도체 처리 장치측에 배치된 로봇의 작동을 직접적 및 시각적으로 확인할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 반도체 처리 장치에 적절하게 사용되는 로드 포트 장치에 관한 것이다. 그러나, 본 발명은, 반도체 처리 장치뿐만 아니라, 액정 디스플레이용 패널을 취급하는 처리 장치와 같은 반도체용 처리 장치에 합치되는 다양한 처리가 실행되는 다양한 처리 장치에 사용되는 로드 포트 장치라 불리는 것에도 적용가능하다.
본 발명을 예시적인 실시예를 참조하여 설명하였지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시예로 제한되지 않는다. 이하의 청구 범위는 변형 및 동등한 구조 및 기능 모두를 포함하도록 가장 넓게 해석되어야 한다.
본 출원은 2010년 8월 31일자로 출원된 일본특허출원 제2010-193286호의 이점을 주장하며, 본 명세서 전반에 걸쳐 참고한다.

Claims (10)

  1. 처리 대상물의 삽입 및 제거를 위한 개구부가 제공되는 반도체 처리 장치의 설치면에 부착되고, 상기 처리 대상물이 개구부를 통해 포드의 내측으로 삽입 및 그로부터 제거될 수 있도록 상기 설치면에 대해 반도체 처리 장치의 외측에 배치되는 밀폐된 용기로서의 포드의 덮개를 개폐시키는 로드 포트 장치이며,
    판형체로 형성되고, 상기 반도체 처리 장치의 설치면에 대해 미리 결정된 각도를 유지하면서 돌출하는 방식으로 배치되는 메인 베이스와,
    상기 미리 결정된 각도를 유지하도록 상기 메인 베이스에 체결됨으로서 상기 메인 베이스와 설치면을 서로 연결시키기 위해 상기 설치면에 고정될 수 있는 접속판과,
    상기 메인 베이스에 의해 지지되고 상기 포드가 적재되는 적재 테이블과,
    상기 설치면에 대해 반도체 처리 장치의 내측으로부터 개구부를 개폐시키기 위해 상기 포드의 덮개를 유지시킬 수 있는 도어와,
    상기 메인 베이스에 의해 지지되고, 상기 도어를 지지하며, 상기 도어가 개구부를 개폐시키도록 하는 도어 구동 기구를 포함하고,
    상기 도어 구동 기구는 상기 메인 베이스의 메인 면에 고정되고, 상기 메인 면은 상기 도어 구동 기구가 개구부를 도어가 개폐시키도록 할 때의 상기 도어의 2개의 이동 방향으로 정의되는 평면에 평행한 평면에서 연장되는, 로드 포트 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 접속판은 상기 설치면에 평행하게 배치되고 상기 설치면에 평행하게 연장되는 단면 I형상 평판형 부재로 형성되고,
    상기 접속판은, 상기 메인 베이스에 대한 체결 부분에서, 상기 설치면에 수직인 방향으로 커지도록 설정된 두께를 갖는, 로드 포트 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 메인 베이스는 복수의 메인 베이스를 포함하고,
    상기 로드 포트 장치는 상기 복수의 메인 베이스를 서로 일체로 연결시키기 위한 연결 샤프트를 더 포함하는, 로드 포트 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 메인 베이스는 복수의 메인 베이스를 포함하고,
    상기 접속판은 상기 복수의 메인 베이스 각각에 대응하게 배치되고,
    상기 도어 구동 기구는 상기 복수의 메인 베이스들 사이에 배치되는, 로드 포트 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 도어 및 적재 테이블 각각은 투명한 수지로 형성되는, 로드 포트 장치.
  6. 처리 대상물의 삽입 및 제거를 위한 개구부가 제공되는 반도체 처리 장치의 설치면에 부착되고, 상기 처리 대상물이 개구부를 통해 포드의 내측으로 삽입 및 그로부터 제거될 수 있도록 설치면에 대해 상기 반도체 처리 장치의 외측에 배치되는 밀폐된 용기로서의 포드의 덮개를 개폐시키는 로드 포트 장치이며,
    판형체로 형성되고, 상기 반도체 처리 장치의 설치면에 대해 미리 결정된 각도를 유지하면서 돌출하는 방식으로 배치되는 메인 베이스와,
    상기 미리 결정된 각도를 유지하면서 상기 메인 베이스에 체결됨으로서 메인 베이스와 설치면을 서로 연결시키기 위해 상기 설치면에 고정될 수 있는 접속판과,
    상기 메인 베이스에 의해 지지되고 상기 포드가 적재되는 적재 테이블과,
    상기 설치면에 대해 상기 반도체 처리 장치의 내측으로부터 개구부를 개폐시키기 위해 포드의 덮개를 유지할 수 있는 도어와,
    상기 메인 베이스에 의해 지지되고, 상기 도어를 지지하며, 상기 도어가 개구부를 개폐시키도록 하는 도어 구동 기구를 포함하고,
    상기 도어 구동 기구는, 상기 도어가 개구부에 대면하는 대면 위치로부터 이격되는 방향으로 구동될 때 사용되는 한 쌍의 도어 승강 가이드 레일을 구비하고, 상기 쌍의 도어 승강 가이드 레일은 상기 설치면에 평행하게 연장되고 서로 병렬인 상기 쌍의 도어 승강 가이드 레일을 포함하는 평면이 상기 설치면과 교차하는 방식으로 상기 메인 베이스에 고정되는, 로드 포트 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 접속판은 설치면에 평행하게 배치되고 설치면에 평행하게 연장되는 단면 I형상 평판형 부재로 형성되고,
    상기 접속판은, 메인 베이스에 대한 체결 부분에서, 설치면에 수직인 방향으로 커지도록 설정된 두께를 갖는, 로드 포트 장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 메인 베이스는 복수의 메인 베이스를 포함하고,
    상기 로드 포트 장치는 상기 복수의 메인 베이스를 서로 일체로 연결시키기 위한 연결 샤프트를 더 포함하는, 로드 포트 장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 메인 베이스는 복수의 메인 베이스를 포함하고,
    상기 접속판은 상기 복수의 메인 베이스 각각에 대응하게 배치되고,
    상기 도어 구동 기구는 상기 복수의 메인 베이스들 사이에 배치되는, 로드 포트 장치.
  10. 제6항에 있어서, 상기 도어 및 적재 테이블 각각은 투명한 수지로 형성되는, 로드 포트 장치.
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