JP4713424B2 - オープナ側ドア駆動機構 - Google Patents
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Description
Module)に関する。
(a)基板容器オープナの一部を構成する容器支持部に位置決め支持される容器本体において正面方向となる前方X1と、前記前方X1と向きが反対の後方X2とを含む前後方向Xに移動可能な可動体と、
(b)前記可動体を、前記前後方向Xに変位駆動する可動体駆動手段と、
(c)オープナ側ドアに固定される接続体と、
(d)可動体と接続体とを連結して平行リンク機構を構成し、可動体に対して接続体を、前記前後方向Xに垂直または略垂直に延びる角変位軸線Lまわりに相対角変位可能に連結する複数のリンク部材と、
(e)可動体の前後方向位置に応じて予め定められる角度位置に、可動体に対して各リンク部材を角変位するリンク部材角変位手段であって、
(e1)オープナ側ドアの把持する容器側ドアが容器本体の開口を塞いだ閉鎖状態で可動体が位置する閉鎖位置と、前記閉鎖位置から可動体が前方X1に予め定める設定距離A移動した離間位置との間を、可動体が前後方向Xに移動するにあたって、接続体の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向X成分が存在するように、可動体に対するリンク部材の角変位を規制し、
(e2)前記離間位置よりも前方X1となる退避領域を、可動体が前後方向Xに移動するにあたって、接続体の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Xに垂直な垂直方向成分が存在するように、可動体の移動に連動して、リンク部材を可動体に対して角変位させ、
(e3)可動体が前記閉鎖位置と前記離間位置との間を移動する間、可動体に対するリンク部材の角度を一定または略一定に保ち、
(e4)可動体が前記退避領域を移動する間、可動体の前方X1への移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を大きくし、可動体の後方X2への移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を小さくし、
(e5)前記前後方向Xおよび前記角変位軸線Lは、水平または略水平に延び、可動体が前記退避領域を前方X1に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を下方に角変位し、可動体が前記退避領域を後方X2に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を上方に角変位し、
(e6)各リンク部材の少なくともいずれかに設けられる係合部と、係合部が係合し、可動体の前後方向位置に応じて可動体に対する係合部の角度位置を規制する規制部とを含んで構成される、そのようなリンク部材角変位手段とを含み、
(f)前記可動体駆動手段、前記リンク部材角変位手段および可動体は、前記容器支持部に形成される内部空間に配置され、前記容器支持部に支持されることを特徴とするオープナ側ドア駆動機構である。
また本発明は、前記リンク部材角変位手段は、前記接続体を楕円軌跡を描くように、前記各リンク部材の角度を規制することを特徴とする。
本発明に従えば、リンク部材角変位手段が接続体を楕円軌跡を描くように、各リンク部材の角度を規制するので、基板容器オープナの動作経路長を短くして、開閉時の動作時間を短縮し、開閉動作に伴って振動の発生を抑制して、滑らかに移動させることができるとともに、準備空間内におけるオープナ側ドアの可動範囲を小さくすることができる。
(a)基板容器オープナの一部を構成する容器支持部に位置決め支持される容器本体において正面方向となる前方X1と、前記前方X1と向きが反対の後方X2とを含む前後方向Xに移動可能な可動体と、
(b)前記可動体を、前記前後方向Xに変位駆動する可動体駆動手段と、
(c)オープナ側ドアに固定される接続体と、
(d)可動体と接続体とを連結して平行リンク機構を構成し、可動体に対して接続体を、前記前後方向Xに垂直または略垂直に延びる角変位軸線Lまわりに相対角変位可能に連結する複数のリンク部材と、
(e)可動体の前後方向位置に応じて予め定められる角度位置に、可動体に対して各リンク部材を角変位するリンク部材角変位手段であって、
(e1)オープナ側ドアの把持する容器側ドアが容器本体の開口を塞いだ閉鎖状態で可動体が位置する閉鎖位置と、前記閉鎖位置から可動体が前方X1に予め定める設定距離A移動した離間位置との間を、可動体が前後方向Xに移動するにあたって、接続体の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向X成分が存在するように、可動体に対するリンク部材の角変位を規制し、
(e2)前記離間位置よりも前方X1となる退避領域を、可動体が前後方向Xに移動するにあたって、接続体の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Xに垂直な垂直方向成分が存在するように、可動体の移動に連動して、リンク部材を可動体に対して角変位させるリンク部材角変位手段とを含み、
前記可動体駆動手段は、基板容器オープナの一部を構成して、前記容器支持部に支持される基板容器を前記前後方向Xに変位駆動するための基板容器駆動手段の動力を用いて可動体を前後方向Xに変位駆動することを特徴とするオープナ側ドア駆動機構である。
また、容器支持部に形成される内部空間に、可動体駆動手段、リンク部材角変位手段および可動体が配置されるので、可動体駆動手段、リンク部材角変位手段および可動体を覆うカバー体を別途形成する必要がなく、部品点数を低減することができる。これによってさらにオープナを小形化することができるとともに、構造を簡単化することができる。
また本発明によれば、リンク部材角変位手段が接続体を楕円軌跡を描くように、各リンク部材の角度を規制するので、基板容器オープナの動作経路長を短くして、開閉時の動作時間を短縮し、開閉動作に伴って振動の発生を抑制して、滑らかに移動させることができるとともに、準備空間内におけるオープナ側ドアの可動範囲を小さくすることができる。
Front Opening Unified Pod、略称フープ)25と称される基板容器25に複数枚収容された状態で、半導体処理設備20に対して搬送される。
International)規格によって、予め規定される。この場合、たとえばFOUP25およびオープナ26は、SEMI規格のE47.1、E15.1、E57、E62、E63、E84などの仕様に従う。ただし、FOUP25およびオープナ26の構成がSEMI規格外の構成であっても、本実施の形態に含まれる。
21 搬送系ユニット
22 ウェハ処理装置
23 ウェハ移載装置
24 ウェハ
25 FOUP
26 オープナ
28a 正面壁
31 FOUP支持部
34 FOUP側開口
35 オープナ側開口
60 FOUP本体
61 FOUP側ドア
62 FOUP側開口部
65 オープナ側ドア
66 オープナ側駆動機構
91 リンク部材角変位手段
92 リンク部材
93 接続体
94 可動体駆動手段
95 可動体
Claims (3)
- 予め設定される正面方向(W)に開放して、基板(24)が収容される収容空間(34)が形成される容器本体(60)と、容器本体(60)に対して着脱可能に形成されて、容器本体(60)に装着された状態で収容空間(34)の開口(63)を塞ぐ容器側ドア(61)とを有する基板容器(25)を開閉する基板容器オープナ(26)の一部を構成して、容器本体(60)から取外される容器側ドア(61)を把持可能なオープナ側ドア(65)を変位駆動するオープナ側ドア駆動機構であって、
(a)基板容器オープナ(26)の一部を構成する容器支持部(31)に位置決め支持される容器本体(60)において正面方向(W)となる前方(X1)と、前記前方(X1)と向きが反対の後方(X2)とを含む前後方向(X)に移動可能な可動体(95)と、
(b)前記可動体(95)を、前記前後方向(X)に変位駆動する可動体駆動手段(94と、
(c)オープナ側ドア(65)に固定される接続体(93)と、
(d)可動体(95)と接続体(93)とを連結して平行リンク機構を構成し、可動体(95)に対して接続体(93)を、前記前後方向(X)に垂直または略垂直に延びる角変位軸線(L)まわりに相対角変位可能に連結する複数のリンク部材(92)と、
(e)可動体(95)の前後方向位置に応じて予め定められる角度位置に、可動体(95)に対して各リンク部材(92)を角変位するリンク部材角変位手段(91)であって、
(e1)オープナ側ドア(65)を把持する容器側ドア(61)が容器本体(60)の開口(63)を塞いだ閉鎖状態で可動体(95)が位置する閉鎖位置と、前記閉鎖位置から可動体(95)が前方(X1)に予め定める設定距離(A)移動した離間位置との間を、可動体(95)が前後方向(X)に移動するにあたって、接続体(93)の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向(X)成分が存在するように、可動体(95)に対するリンク部材(92)の角変位を規制し、
(e2)前記離間位置よりも前方(X1)となる退避領域を、可動体(95)が前後方向(X)に移動するにあたって、接続体(93)の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向(X)に垂直な垂直方向成分が存在するように、可動体(95)の移動に連動して、リンク部材(92)を可動体(95)に対して角変位させ、
(e3)可動体(95)が前記閉鎖位置と前記離間位置との間を移動する間、可動体(95)に対するリンク部材(92)の角度を一定または略一定に保ち、
(e4)可動体(95)が前記退避領域を移動する間、可動体(95)の前方(X1)への移動に応じて可動体(95)に対するリンク部材(92)の角度を大きくし、可動体(95)の後方(X2)への移動に応じて可動体(95)に対するリンク部材(92)の角度を小さくし、
(e5)前記前後方向(X)および前記角変位軸線(L)は、水平または略水平に延び、可動体(95)が前記退避領域を前方(X1)に移動するのに応じて可動体(95)に対してリンク部材(92)を下方に角変位し、可動体(95)が前記退避領域を後方(X2)に移動するのに応じて可動体(95)に対してリンク部材(92)を上方に角変位し、
(e6)各リンク部材(92)の少なくともいずれかに設けられる係合部(85)と、係合部(85)が係合し、可動体(95)の前後方向位置に応じて可動体(95)に対する係合部(85)の角度位置を規制する規制部(84)とを含んで構成される、そのようなリンク部材角変位手段(91)とを含み、
(f)前記可動体駆動手段(94)、前記リンク部材角変位手段(91)および可動体(95)は、前記容器支持部(31)に形成される内部空間に配置され、前記容器支持部(31)に支持されることを特徴とするオープナ側ドア駆動機構。 - 前記リンク部材角変位手段(91)は、前記接続体(93)を楕円軌跡を描くように、前記各リンク部材(92)の角度を規制することを特徴とする請求項1記載のオープナ側ドア駆動機構。
- 予め設定される正面方向(W)に開放して、基板(24)が収容される収容空間(34)が形成される容器本体(60)と、容器本体(60)に対して着脱可能に形成されて、容器本体(60)に装着された状態で収容空間(34)の開口(63)を塞ぐ容器側ドア(61)とを有する基板容器(25)を開閉する基板容器オープナ(26)の一部を構成して、容器本体(60)から取外される容器側ドア(61)を把持可能なオープナ側ドア(65)を変位駆動するオープナ側ドア駆動機構であって、
(a)基板容器オープナ(26)の一部を構成する容器支持部(31)に位置決め支持される容器本体(60)において正面方向(W)となる前方(X1)と、前記前方(X1)と向きが反対の後方(X2)とを含む前後方向(X)に移動可能な可動体(95)と、
(b)前記可動体(95)を、前記前後方向(X)に変位駆動する可動体駆動手段(94と、
(c)オープナ側ドア(65)に固定される接続体(93)と、
(d)可動体(95)と接続体(93)とを連結して平行リンク機構を構成し、可動体(95)に対して接続体(93)を、前記前後方向(X)に垂直または略垂直に延びる角変位軸線(L)まわりに相対角変位可能に連結する複数のリンク部材(92)と、
(e)可動体(95)の前後方向位置に応じて予め定められる角度位置に、可動体(95)に対して各リンク部材(92)を角変位するリンク部材角変位手段(91)であって、
(e1)オープナ側ドア(65)を把持する容器側ドア(61)が容器本体(60)の開口(63)を塞いだ閉鎖状態で可動体(95)が位置する閉鎖位置と、前記閉鎖位置から可動体(95)が前方(X1)に予め定める設定距離(A)移動した離間位置との間を、可動体(95)が前後方向(X)に移動するにあたって、接続体(93)の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向(X)成分が存在するように、可動体(95)に対するリンク部材(92)の角変位を規制し、
(e2)前記離間位置よりも前方(X1)となる退避領域を、可動体(95)が前後方向(X)に移動するにあたって、接続体(93)の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向(X)に垂直な垂直方向成分が存在するように、可動体(95)の移動に連動して、リンク部材(92)を可動体(95)に対して角変位させるリンク部材角変位手段とを含み、
前記可動体駆動手段(94)は、基板容器オープナ(26)の一部を構成して、前記容器支持部(31)に支持される基板容器(25)を前記前後方向(X)に変位駆動するための基板容器駆動手段(70)の動力を用いて可動体(95)を前後方向(X)に変位駆動することを特徴とするオープナ側ドア駆動機構。
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