KR100915739B1

KR100915739B1 - 기판 용기 오프너의 오프너 측 도어 구동기구 및 기판 용기오프너

Info

Publication number: KR100915739B1
Application number: KR1020070085603A
Authority: KR
Inventors: 야스히코 하시모토; 마사오 타카토리
Original assignee: 가와사키 쥬코교 가부시키가이샤
Priority date: 2006-08-24
Filing date: 2007-08-24
Publication date: 2009-09-04
Also published as: EP1892755A3; US7651311B2; JP2008053471A; KR20080018849A; US20080069670A1; EP1892755A2; JP4713424B2; EP1892755B1

Abstract

전후방향(X)으로 이동할 수 있는 가동체(95)와, 오프너 측 도어(65)에 고정되는 접속체(93)를, 평행링크기구를 구성하는 링크부재(92)에 의해 서로 상대각변위할 수 있게 연결하고, 링크부재 각 변위수단(91)에 의해 가동체(95)의 전후방향 위치에 대응해서 미리 정해진 각도 위치로 가동체(95)에 대한 각 링크부재(92)의 각 변위를 규제한다. 가동체 구동수단(94)에 의해 가동체(95)를 전후방향(X)으로 왕복이동시킴으로써, 오프너 측 도어(65)를 전후방향(X) 및 상하방향(Z)으로 이동시켜, 오프너 측 개구부(68)를 개폐할 수가 있다. 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 가동체(95)를 상하방향(Z)으로 구동 및 안내하는 구성을 필요로 하지 않게 되어, 소형화할 수 있음과 더불어, FOUP 지지부(31)의 하방공간(76)을 유효하게 이용할 수가 있다.

Description

기판 용기 오프너의 오프너 측 도어 구동기구 및 기판 용기 오프너 {SUBSTRATE CONTAINER OPENER AND OPENER-SIDE DOOR DRIVER MECHANISM THEREOF}

본 발명은, 기판 처리설비 중에서 기판의 반입 및 반출을 실행하는 기판 이재장치의 일부에 관한 것으로, 특히 반도체 처리설비에서의 기판 이재장치(移載裝置)인 EFEM(Equipment Front End Module)에 관한 것이다.

도 20은, 종래기술의 반도체 처리설비(1)의 일부를 절단해서 나타낸 단면도이다. 반도체 처리설비(1)는, 웨이퍼 처리장치(2)와 웨이퍼 이재장치(3)를 포함해서 구성된다. 반도체 처리설비(1) 내의 공간은, 미리 정해진 분위기 기체(Atmospheric gas)로 채워진다. 이에 의해 처리되는 웨이퍼(4)는, 대기 중에 부유하는 먼지 입자의 부착이 방지된다. 반도체 웨이퍼(4)는, 기판 용기인 FOUP(Front Opening Unified Pod, 5)에 수용된 상태에서, 반도체 처리설비(1)를 향해 반송된다.

웨이퍼 이재장치(3)는, 처리 전의 웨이퍼(4)를 FOUP(5)로부터 취출하고, 취출한 웨이퍼(4)를 준비공간(9)에서 이동시켜 웨이퍼 처리장치(2)로 공급한다. 또, 처리 후의 웨이퍼(4)를 웨이퍼 처리장치(2)에서 취출하고, 취출한 웨이퍼(4)를 준비공간(9)에서 이동시켜 FOUP(5)에 재수용한다. 구체적으로는, 웨이퍼 이재장치(3)는, FOUP 오프너(6; 이하, 오프너(6)라 칭한다)와, 로봇(7)과, 준비공간(9)을 형성하는 준비공간 형성 벽을 포함한다.

FOUP 내의 공간(12)과 준비공간(9)은, 바깥쪽 공간(13)에 대해 밀폐된 공간으로서, 먼지 입자가 극히 적은 상태로 유지된다.

오프너(6)는, 웨이퍼(4)가 통과할 수 있는 오프너 측 개구가 형성된 정면벽(8)과, 준비공간(interface space; 9) 밖에서 FOUP(5)를 지지하는 FOUP 지지부(11)와, 정면벽(8)을 개폐하는 오프너 측 도어를 갖는다. 오프너(6)는, 바깥 공기의 침입을 막은 상태에서, FOUP(5)의 F0UP 측 도어와 오프너 측 도어를 변위구동시켜 FOUP 내의 공간(12)과 준비공간(9)을 연통시킨다. 이 상태에서, 로봇(7)이 FOUP(5)로부터 웨이퍼 처리장치(2)로 웨이퍼(4)를 반송함과 더불어, 웨이퍼 처리장치(2)로부터 FOUP(5)로 웨이퍼(4)를 반송한다. 또, 오프너(6)가 FOUP 측 도어와 오프너 측 도어를 변위구동시켜, FOUP(5) 내의 공간(12)과 준비공간(9)과의 연통을 저지함으로써, 그들 공간(9, 12)이 바깥 공기로부터 밀폐되어져, 반도체 처리장치(1)로부터 FOUP(5)를 분리 가능한 상태로 하게 된다. 예컨대, 이와 같은 종래의 기술로는, 예컨대 일본국 특개 2002-170860호 공보 및 일본국 특개 2002-359273호 공보에 기재된 것을 들 수 있다.

도 21은, 종래기술의 오프너(6)를 나타낸 단면도로서, 도 21(1) ~ 도 21(3)의 순으로 동작이 진행함으로써, FOUP 내의 공간(12)과 준비공간(9)을 연통시키게 된다. 도 21에 도시된 것과 같이, 오프너(6)는, 오프너 측 도어(14) 및 FOUP 측 도어(15)를 상하방향(Z)과 수평방향(X)으로 변위구동시켜, FOUP(5)의 개폐동작을 실행하는 구동부(18)를 갖고 있다. 구동부(18)는, 각 도어(14, 15)를 상하방향(Z)으로 이동시키는 제1 구동계(16)와, 각 도어(14, 15)를 수평방향(X)으로 이동시키는 제2 구동계(17)로 구성된다. 구동부(18)는 FOUP 지지부(11)의 아래쪽에 배치된다.

제1 구동계(16)는, FOUP 지지부(11)의 하방공간을 상하방향(Z)으로 이동 할 수 있는 제1 가동부(16a)와, 제1 가동부(16a)를 상하방향(Z)으로 변위 구동하기 위한 제1 구동원(16b)과, 제1 구동원(16b)으로부터의 동력을 제1 가동부(16a)로 전달하는 볼나사기구부(16c)를 포함한다. 볼나사기구부(16c)는, 나사축이 상하방향으로 뻗어, 나사축에 나사결합하는 나사결합부가 제1 가동부(16a)에 접속된다. 제1 구동원(16b)이 나사축을 회전시킴으로써, 나사결합부와 함께 제1 가동부(16a)가 상하방향(Z)으로 이동한다.

제2 구동계(17)는, 오프너 측 도어(14)에 고정되는 접속부(17a)와, 접속부(17a)를 수평방향(X)으로 변위 구동하기 위한 제2 구동원(17b)을 포함한다. 제2 구동계(17)는, 상기 제1 가동부(16a)에 탑재되어, 제1 가동부(16a)와 함께 상하방향(Z)으로 이동한다. 접속부(17a)는, 제2 구동원(17b)에 의해 수평방향(X)으로 변위 구동되어, 제1 구동원(16b)에 의해 제1 가동부(16a)와 함께 상하방향(Z)으로 변위 구동하게 된다. 이에 의해, 접속부(17a)에 고정되는 오프너 측 도어(14)와, 오프너 측 도어(14)에 파지되는 FOUP 측 도어(15)도, 상하방향(Z) 및 수평방향(X)으로 변위 구동하게 된다.

FOUP 내의 공간(12)과 준비공간(9)을 연통시키는 경우에는, 도 21(1)에 도시된 것과 같이, 오프너 측 도어(14)가 FOUP 본체로부터 FOUP 측 도어(15)를 벗기고, 벗겨진 FOUP 측 도어(15)를 파지한다. 다음, 도 21(2)에 도시된 것과 같이, 제2 구동원(17b)에 의해 핸드부(17a)를 수평방향(X)으로 이동시킨다. 다음에, 도 21(3)에 도시된 것과 같이, 제1 구동원(16b)으로 핸드부(17a)를 아래쪽으로 이동시킨다. 또, FOUP 내의 공간(12)과 준비공간(9)과의 연통을 해제하는 경우에는, FOUP 내의 공간(12)과 준비공간(9)을 연통시키는 순서와 역의 수순을 실행시킨다.

종래기술의 오프너(6)는, FOUP 지지부(11)의 아래쪽으로, FOUP(5)의 개폐동작을 행하기 위한 구동부(18)가 배치되기 때문에, 오프너(6)가 대형화한다고 하는 문제가 있다. 또 FOUP 지지부(11)의 하방 공간을 유효하게 이용하기 어렵다고 하는 문제도 있다. 이와 같은 문제는, 반도체 웨이퍼 이외의 기판이 수용되는 기판 용기 오프너라 하여도 마찬가지로 생기게 된다.

따라서 본 발명의 목적은, 소형화함과 더불어, 용기 지지부의 하방 공간을 유효하게 이용할 수 있는 기판 용기 오프너를 제공하는 것이다.

본 발명은, 미리 설정된 정면방향으로 개방되어 기판이 수용되는 수용공간이 형성되는 용기 본체와, 용기 본체에 대해 착탈될 수 있게 형성되어, 용기 본체에 장착된 상태에서 수용공간의 개구를 막는 용기 측 도어를 가진 기판 용기를 개폐하는 기판 용기 오프너의 일부를 구성하고서, 용기 본체로부터 벗겨지는 용기 측 도어를 파지할 수 있는 오프너 측 도어를 변위구동하는 오프너 측 도어 구동기구로서,

(a) 기판 용기 오프너의 일부를 구성하는 용기 지지부에 위치결정되어 지지되는 용기 본체에서 정면방향으로 되는 전방(X1)과, 상기 전방(X1)과는 방향이 반대로 되는 후방(X2)을 포함한 전후방(X)으로 이동할 수 있는 가동체와,

(b) 상기 가동체를 상기 전후방향(X)으로 변위 구동하는 가동체 구동수단과,

(c) 오프너 측 도어에 고정되는 접속체와,

(d) 가동체와 접속체를 연결해서 평행링크기구를 구성하여, 가동체에 대해 접속체를 상기 전후방향(X)에 수직 또는 대략 수직으로 뻗은 각변위축선(L) 주위에 상대 각변위할 수 있게 연결하는 복수의 링크부재와,

(e) 가동체의 전후방향 위치에 대응해서 미리 정해진 각도 위치로, 가동체에 대해 각 링크부재를 각변위시키는 링크부재 각변위수단으로서,

(e1) 오프너 측 도어에 의해 파지되는 용기 측 도어가 용기 본체의 개구를 막은 폐쇄상태에서 가동체가 위치하는 폐쇄위치와, 상기 폐쇄위치로부터 가동체가 전방(X1)으로 미리 정해진 설정 거리(A)로 이동한 이간위치와의 사이를 가동체가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체의 이동방향을 분해한 성분 중에서 적어도 전후방향(X) 성분이 존재하도록 가동체에 대한 링크부재의 각변위(角變位)를 규제하고,

(e2) 상기 이간위치 보다도 전방(X1)으로 되는 퇴피영역을 가동체가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체의 이동방향을 분해한 성분 중에서 적어도 전후방향(X)에 수직인 수직방향 성분이 존재하도록, 가동체의 이동에 연동해서, 링크부재를 가동체에 대해 각변위시키는 링크부재 각변위수단을 포함한 것을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구이다.

본 발명에 따르면, 가동체와 접속체가 평행링크기구를 구성하는 복수의 링크부재에 연결됨으로써, 접속체 및 접속체에 고정되는 오프너 측 도어가 자세를 일정하게 유지하면서 이동하게 된다.

또, 가동체가 폐쇄위치와 이간위치 사이를 이동하는 상태에서는, 가동체의 전후방향(X) 이동에 연동해서 링크부재 각변위수단이 가동체에 대해 링크부재의 각변위를 규제함으로써, 접속체의 이동방향에는 적어도 전후방향(X) 성분이 포함되게 된다. 이에 의해 접속체에 고정되는 오프너 측 도어는, 파지한 용기 측 도어와 함께 전후방향(X)으로 이동한다. 폐쇄위치로부터 이간위치(離間位置)로 가동체가 전방(X1)으로 이동하면, 오프너 측 도어에 파지되는 용기 측 도어는, 용기 본체로부터 전방(X1)으로 이동을 해서 용기 본체로부터 이간(離間)하게 된다. 또 이간위치로부터 폐쇄위치로 가동체가 후방(X2)으로 이동하면, 오프너 측 도어에 파지된 용기측 도어는, 용기 본체를 향해 후방(X2)으로 이동해서, 용기 본체의 개구부를 폐쇄한다.

또한, 가동체가 퇴피영역을 이동하는 상태에서는, 가동체의 전후방향(X) 이동에 연동해서, 링크부재 각변위수단이 가동체에 대해 링크부재를 각변위시킴으로써, 접속체의 이동방향에는 적어도 전후방향(X)에 수직인 수직방향 성분이 포함되게 된다. 이에 의해, 접속체에 고정되는 오프너 측 도어는, 파지한 용기측 도어와 함께 수직방향으로 이동한다. 퇴피영역을 가동체가 전방(X1)으로 이동하면, 오프너 측 도어에 파지되는 용기측 도어는, 용기 본체로부터 전후방향(X)에 수직인 수직방향으로 이반(離反) 이동해서, 용기 본체를 개방한다. 또, 퇴피영역을 가동체가 후방(X2)으로 이동하면, 오프너 측 도어에 파지되는 용기측 도어는, 용기 본체로부터 전후방향(X)에 수직인 수직방향으로 근접 이동해서, 용기 본체에 대향하게 된다.

이와 같이 본 발명에서는, 오프너 측 도어에 파지되는 용기측 도어를, 전후방향(X)으로 변위 이동시킬 수 있음과 더불어, 가동체의 각변위 축선(L) 주위에 각변위 이동시킬 수가 있어, 각변위 축선(L)에 수직인 평면 내에서 2방향으로 이동시켜 용기 본체를 개폐할 수가 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 가동체 구동수단에 의해, 가동체를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 오프너 측 도어에 파지되는 용기측 도어를, 전후방향(X)과 전후방향(X)에 수직인 방향으로 이동시킬 수가 있어서, 용기 본체로부터 용기측 도어를 근접 및 이반시켜 용기 본체의 개폐동작을 실행하도록 할 수가 있게 된다. 또 가동체를 이동시키는 전후방향(X)은, 용기 지지부에 지지되는 용기 본체에 대해 수용공간이 개방되는 정면방향에 평행한 방향이다. 이에 의해 가동체는, 전후방향(X)으로 이동시켜도, 용기 지지부에 지지되는 기판 용기의 근방을 이동시킬 수가 있어서, 용기 지지부로부터 떨어진 위치로 가동체를 이동시키는 기구를 설치할 필요가 없다. 따라서, 본 발명에서는 용기 지지부의 근방에 오프너 측 도어 구동기구를 배치할 수가 있어, 기판 용기 오프너를 소형화할 수가 있고, 또 기판 용기 오프너 중에서 기판 용기를 지지하는 용기 지지부에서 떨어진 공간을 유효하게 이용할 수가 있게 된다.

또 본 발명은, 상기 링크부재 각변위수단은, 가동체가 상기 폐쇄위치와 상기 이간위치와의 사이를 이동하는 동안에는, 가동체에 대한 링크부재의 각도를 일정 또는 대략 일정하게 유지하고, 가동체가 상기 퇴피영역을 이동하는 사이에는, 가동체의 전방(X1)에의 이동에 대응해서 가동체에 대한 링크부재의 각도를 크게 해서, 가동체의 후방(X2)으로의 이동에 대응해서 가동체에 대한 링크부재의 각도를 작게 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 가동체가 폐쇄위치와 이간위치 사이를 이동하는 동안에는, 링크부재 각변위수단에 의해 가동체에 대한 링크부재의 각변위가 억제되게 된다. 각 링크부재의 각변위가 억제됨으로써, 접속체가 가동체의 이동에 대응해서 이동하는 경우, 그 이동방향을 분해한 성분 중의 모두 또는 대부분이 전후방향(X) 성분으로 된다. 따라서, 오프너 측 도어에 의해 파지되는 용기측 도어도 또한 이동방향을 분해한 성분 중의 모두 또는 대부분이 전후방향(X) 성분으로 된다.

또, 가동체가 퇴피영역을 전방(X1)으로 이동하는 사이에는, 가동체의 이동에 대응해서 가동체에 대한 링크부재의 각도를 크게 함으로써, 용기측 도어의 이동방향을 분해한 성분 중의 전후방향(X) 성분을 적게 할 수가 있다. 마찬가지로, 가동체가 퇴피영역을 후방(X2)으로 이동하는 사이에는, 가동체의 이동에 대응해서 가동체에 대한 링크부재의 각도를 작게 함으로써, 용기측 도어의 이동방향을 분해한 성분 중의 전후방향(X) 성분을 적게 할 수가 있다. 이에 의해, 가동체가 퇴피영역을 전후방향(X)으로 이동하는 사이에는, 용기측 도어는 수직방향 또는 대략 수직방향으로 용기 본체에 대해 근접 또는 이반하게 된다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 가동체가 폐쇄위치와 이간위치 사이를 이동하는 동안에는, 용기측 도어는, 이동방향을 분해한 성분 중의 모두 또는 대부분이 전후방향(X) 성분으로 된다. 이에 의해, 용기측 도어가 용기 본체에 대해 전후방향(X)으로 근접 및 이반할 때에, 용기 본체의 개구부 및 기판 용기 오프너에 형성되는 정면벽 등과 용기측 도어가 간섭하는 것을 막을 수가 있어, 용기측 도어를 용기 본체로부터 원활히 근접 및 이반시킬 수가 있다.

또, 가동체가 퇴피영역을 전후방향(X)으로 이동하는 사이에는, 용기측 도어는, 용기 본체에 대해 수직방향 또는 대략 수직방향으로 근접 또는 이반한다. 이에 의해, 용기측 도어가, 전후방향(X)에 바라지 않게 이동하는 것을 억제할 수가 있어서, 용기측 도어의 동작영역을 전후방향(X)으로 작게 할 수가 있어, 용기 본체를 개폐하기 위해 필요한 가동 공간의 전후방향(X) 치수를 작게 할 수가 있다. 이에 의해, 용기측 도어 및 오프너 측 도어가 기판 이재장치에 배치되는 다른 장치인 예컨대 기판 반송용 로봇 등에 간섭하는 것을 막을 수가 있다.

또 본 발명은, 상기 전후방향(X) 및 상기 각변위 축선(L)은 수평 또는 대략 수평으로 뻗고, 상기 링크부재 각변위수단은, 가동체가 상기 퇴피영역을 전방(X1)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체에 대해 링크부재를 하방으로 각변위 하고, 가동체가 상기 퇴피영역을 후방(X2)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체에 대해 링크부재를 아래쪽으로 각변위시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 전후방향 이 수평 또는 대략 수평으로 뻗음에 따라, 가동체가 폐쇄위치와 이간위치 사이를 이동하는 동안에는, 접속체가 수평 또는 대략 수평으로 뻗은 궤적을 따라 이동한다. 또 가동체가 상기 퇴피영역을 전방(X1)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체에 대해 링크부재를 아래쪽으로 각변위시킴으로써, 가동체가 상기 퇴피영역을 전방(X1)으로 이동하는 경우에는, 접속체가 연직 또는 대략 연직으로 뻗은 궤적을 따라 아래쪽으로 이동한다. 또, 가동체가 상기 퇴피영역을 후방(X2)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체에 대해 링크부재를 위쪽으로 각변위시킴으로써, 가동체가 상기 퇴피영역을 후방(X2)으로 이동하는 경우에는, 접속체가 연직 또는 대략 연직으로 뻗은 궤적을 따라 위쪽으로 이동한다.

이와 같이 본 발명에서는, 용기 본체를 여는 경우에는, 용기 측 도어가, 수평 또는 대략 수평한 궤적을 따라 전방(X1)으로 이동한 뒤, 연직 또는 대략 연직인 궤적을 따라 아래쪽으로 이동한다. 또, 용기 본체를 닫는 경우에는, 용기 측 도어가, 연직 또는 대략 연직인 궤적을 따라 위쪽으로 이동한 뒤, 수평 또는 대략 수평한 궤적을 따라 후방(X2)으로 이동한다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 용기 본체를 개방하는 경우, 용기측 도어는, 수평 또는 대략 수평에 가까운 궤적을 그리면서 용기 본체로부터 이간하고, 이간된 후 연직 또는 연직에 가까운 궤적을 그리면서 용기 본체로부터 이반한다. 또, 용기 본체를 폐쇄하는 경우, 용기측 도어는 용기 본체로부터 이간된 상태에서, 연직 또는 연직에 가까운 궤적을 그리면서 용기 본체에 근접하고, 근접한 후에 수평 또는 대략 수평에 가까운 궤적을 그리면서 용기 본체에 닿게 된다. 이와 같이 용기 측 도어를, 용기 본체보다도 아래쪽으로 이동시켜 용기 본체를 개방함으로써, 용기 개폐 시에 기류가 흐트러지더라도, 기류가방으로부터 아래쪽으로 흐르도록 조정함으로써, 기판, 용기 본체 및 로봇 등에 먼지 입자가 부착되는 염려를 적게 할 수가 있어, 기판 반입 및 반출 시에 기판이 오염되는 것을 막을 수가 있다.

또 본 발명은, 상기 가동체 구동수단, 상기 링크부재 각변위수단 및 가동체가 상기 용기 지지부에 지지되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 기판 용기 오프너의 일부를 구성하는 용기 지지부에, 상기 가동체 구동수단, 링크부재 각변위수단 및 가동체가 지지됨으로써, 가동체 구동수단, 링크부재 각변위수단 및 가동체를 지지하기 위한 오프너 측 도어 구동기구 지지부를 용기 지지부와 겸용할 수가 있어서, 오프너 측 도어 구동기구에 구성되는 각 구성요소를 지지하기 위한 부분을 별도로 형성할 필요가 없어, 부품 수를 줄일 수 있게 된다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 용기 지지부가, 가동체 구동수단, 링크부재 각변위수단 및 가동체를 지지함으로써, 가동체 구동수단 및 가동체를 지지하는 부분을 별도로 형성할 필요가 없어, 기판 용기 오프너의 부품 수를 줄일 수가 있다. 이에 의해 다시 기판 용기 오프너를 소형화할 수 있음과 더불어, 구조를 간단화할 수가 있어서, 기판 용기 오프너의 제조비용을 저하시킬 수가 있다. 예컨대 용기 지지부에 오프너 측 도어 구동기구를 구성하는 각 요소 부품을 지지하도록 함으로써, 기판 용기 오프너에 형성되는 정면벽에다 오프너 측 도어 구동기구의 각 요소 부품을 고정 지지시킬 필요가 없어, 정면벽을 소형화함과 더불어, 정면벽의 강성을 저하시킬 수가 있고, 기판 용기 오프너의 제조비용을 줄일 수가 있다.

또 본 발명은, 상기 링크부재 각변위수단은, 각 링크부재의 적어도 어느 하나에 설치되는 걸림부와, 걸림부가 걸어 맞춰져 가동체의 전후방향 위치에 대응해서 가동체에 대한 걸림부의 각도 위치를 규제하는 규제부를 포함해서 구성된 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 걸림부가 규제부에 걸어 맞춰짐으로써, 가동체의 전후방향 위치마다, 각 링크부재는 가동부로 설정된 각변위 축선(L) 주위의 각변위가 저지된다. 예컨대, 가동체가 제1의 전후방향 위치에 있을 때는, 걸림부는 규제부에 안내된 상태에서, 제1의 전후방향 위치에 대응한 각변위축선 주위의 각도 위치에서 각변위가 규제된다. 또 예컨대, 가동체가 제2의 전후방향 위치에 있을 때는, 걸림부는 친제부에 안내된 상태에서, 제2의 전후방향 위치에 대응한 각변위 축선 주위의 각도 위치에서 각변위가 규제된다. 이와 같이 걸림부와 규제부를 포함해서, 링크부재 각변위수단이 구성됨으로써, 별도의 구동원을 필요로 하는 일 없이, 가동체의 전후방향 이동에 연동시켜, 가동체에 대한 링크부재의 각변위를 소망하는 값으로 할 수가 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 걸림부와 규제부를 포함해서 링크부재 각변위수단이 구성됨으로써 별도의 구동원을 필요로 하지 않고, 가동체에 대한 링크부재의 각변위를 규제할 수가 있다. 이에 의해 가동체 구동수단으로 가동체를 전후방향(X)으로 이동시키기만 하면, 그 가동체의 이동에 연동시켜 링크부재를 각변위시킬 수가 있다. 이에 의해 기판 용기 오프너의 구성을 더욱 간단화할 수가 있다.

또 본 발명은, 상기 가동체 구동수단은, 기판 용기 오프너의 일부를 구성해서, 상기 용기 지지부에 지지되는 기판 용기를 상기 전후방향(X)으로 변위 구동하기 위한 기판 용기 구동수단의 동력을 이용해서 가동체를 전후방향(X)으로 변위구동하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 기판 용기 구동수단은, 테이블 부분 등을 매개로 기판 용기를 전후방향(X)으로 이동시킨다. 또 가동체 구동수단은, 가동체를 전후방향(X)으로 이동시킨다. 기판 용기 구동수단과 가동체 구동수단은 함께 물체를 전후방향(X)으로 이동시키는 점에서 공통하고 있고, 테이블 부분과 가동체의 어느 하나에 전후방향(X)으로 이동시키는 동력을 전할까를 절환(switching)하는 절환수단을 설치함으로써, 기판 용기 구동수단을 이용해서 가동체 구동수단을 실현할 수가 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 테이블 부분 등을 매개로 기판 용기를 전후방향(X)으로 이동시키는 기판 용기 구동수단을 이용해서 가동체 구동수단을 실현함으로써, 가동체를 변위구동시키기 위한 구동원과, 기판 용기를 변위구동시키기 위한 구동원과의 2개의 구동원을 사용할 필요가 없이, 1개의 구동원으로 기판 용기 구동수단과 가동체 구동수단을 실현할 수가 있어, 기판 용기 오프너의 구동원의 수를 줄일 수가 있게 된다. 이에 의해 기판 용기 오프너를 소형화할 수 있음과 더불어, 구조를 간단화 할 수가 있다.

또 본 발명은, 두께 방향으로 관통하는 오프너 개구가 형성되는 정면벽과, 용기 본체의 개구부가 원주방향에 걸쳐 상기 정면벽의 오프너 개구부와 접촉하는 장착위치에, 용기 본체를 위치결정해서 지지하는 용기 지지부와, 용기 지지부에 의해 장착위치에 위치결정되어 지지되는 용기 본체로부터 용기 측 도어를 착탈시킬 수 있는 착탈기구와, 벗겨진 용기측 도어를 파지할 수 있는 파지기구를 갖고서, 상기 오프너 개구를 막는 오프너 측 도어와, 상기 용기측 도어를 파지하는 오프너 측 도어를 변위 구동할 수 있는 상기 오프너 측 도어 구동기구를 구비하는 기판 용기 오프너이다.

본 발명에 따르면, 기판 용기 오프너의 오프너 측 도어 구동기구가 앞에서 설명한 구성을 구비하게 되어, 가동체를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 용기 본체를 개폐 가능한 기판 용기 오프너를 실현할 수가 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 기판 용기 오프너가, 앞에서 설명한 오프너 측 도어 구동기구를 가짐으로써 소형화할 수가 있다. 또 용기 지지부에 대해 전후방향(X)에 수직인 방향으로 떨어진 공간을 유효하게 이용할 수가 있게 된다. 더구나, 기판 용기 오프너 중에서 위치가 결정 지지되는 기판 용기에 밀착되는 정면벽을 소형화할 수가 있어서, 기판 이재장치의 제조비용을 염가로 할 수가 있다.

또 본 발명은, 미리 정해진 분위기 중에서 기판 처리를 실행하는 기판 제조장치에 대해, 기판의 반입 및 반출을 실행하는 기판 이재장치의 일부를 구성하는 기판 이재장치로서, 상기 기판 용기 오프너를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 이재장치이다.

본 발명에 따르면, 기판 용기 오프너의 오프너 측 도어 구동기구가 앞에서 설명한 구성을 구비하게 되어, 가동체를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 용기 본체를 개폐시킬 수 있는 기판 용기 오프너를 탑재한 기판 이재장치를 실현할 수가 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 기판 이재장치는, 앞에서 설명한 오프너 측 도어 구동기구를 가진 기판 용기 오프너가 탑재됨으로써, 기판 용기 오프너의 소형화에 따라 소형화를 실현할 수가 있다. 또, 용기 지지부에 대해, 전후방향(X)에 수직인 방향으로 덜어진 공간을 유효하게 이용할 수가 있게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 가동체 구동수단에 의해 가동체를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 오프너 측 도어에 파지되는 용기측 도어를 전후방향(X)과 전후방향(X)에 수직인 방향으로 이동시킬 수가 있어서, 용기 본체로부터 용기측 도어를 근접 및 이반시켜 용기 본체의 개폐동작을 실행하도록 할 수가 있게 된다. 또, 가동체를 이동시키는 전후방향(X)이, 용기 지지부에 지지되는 용기 본체에 대해 수용공간이 개방되는 정면방향에 평행한 방향으로 된다. 이에 의해, 가동체는, 이를 전후방향(X)으로 이동시켜도, 용기 지지부에 지지되는 기판 용기의 근방을 이동할 수가 있어서, 용기 지지부로부터 떨어진 위치로 가동체를 이동시키는 기구를 설치할 필요가 없게 된다. 따라서, 본 발명에서는 용기 지지부의 근방에 오프너 측 도어 구동기구를 배치할 수가 있어, 기판 용기 오프너를 소형화할 수가 있고, 또 기판 용기 오프너 중에서 기판 용기를 지지하는 용기 지지부에서 떨어진 공간을 유효하게 이용할 수가 있게 된다.

한편, 본 발명에 의하면, 기판 용기 오프너가, 앞에서 설명한 오프너 측 도어 구동기구를 가짐으로써 소형화할 수가 있고, 또 용기 지지부에 대해 전후방향(X)에 수직인 방향으로 떨어진 공간을 유효하게 이용할 수가 있게 된다. 더구나, 기판 용기 오프너 중에서 위치가 결정되어 지지되는 기판 용기에 밀착되는 정면벽을 소형화할 수가 있어서, 기판 이재장치의 제조비용을 염가로 할 수가 있다.

도 1은, 본 발명의 제1 실시형태 반도체 처리설비(20)를 절단해서 나타낸 단면도,

도 2는, 반도체 처리설비(20)를 나타낸 사시도,

도 3은, 도 1의 화살표 A3-A3 절단면선으로 절단해서 반도체 처리설비(20)를 나타낸 단면도,

도 4는, FOUP(25)를 나타낸 사시도,

도 5는, 오프너(26)의 일부를 절단해서 나타낸 측면도,

도 6은, 오프너(26)를 나타낸 정면도,

도 7은, 오프너 측 도어 구동기구(66)를 모식적으로 나타낸 사시도,

도 8은, 도 6의 화살표 A8-A8에서 바라본 오프너(26)를 나타낸 도면,

도 9는, 도 6의 화살표 A9-A9에서 바라본 오프너(26)를 나타낸 도면,

도 10은, 도 6의 화살표 Al0에서 바라본 오프너(26)를 나타낸 도면,

도 11은, 가동체(95)의 전후방향 이동에 연동한 링크부재(92)의 각변위상태를 나타낸 도면,

도 12는, 오프너 측 도어(65)의 개폐동작을 나타낸 도면,

도 13은, 제1 실시형태의 오프너(26)와, 비교예의 오프너(126)를 비교하는 도면,

도 14는, 제1 실시형태의 오프너(26)와, 비교예의 오프너(126)를 비교하는 도면,

도 15는, 오프너(26)의 하방의 공간에 메인트넌스용 도어(96)를 설치한 상태를 나타낸 웨이퍼 이재장치의 도면,

도 16은, 본 발명의 제2 실시형태인 오프너(226)를 나타낸 도면,

도 17은, 접속부(93)의 이동궤적(98)의 일례를 나타낸 도면,

도 18은, 다른 실시형태의 링크부재 각변위수단(91)의 일부를 나타낸 도면,

도 19는, 다른 실시형태의 링크부재 각변위수단(91)을 간략화해서 나타낸 도면,

도 20은, 종래기술의 반도체 처리설비(1)의 일부를 절단해서 나타낸 단면도,

도 21은 종래기술의 오프너(6)를 나타낸 단면도이다.

< 부호의 설명 >

20 - - - 반도체 처리설비 21 - - - 반송계 유닛

22 - - - 웨이퍼 처리장치 23 - - - 웨이퍼 이재장치

24 - - - 웨이퍼 25 - - - FOUP

26 - - - 오프너 28a - - - 정면벽

31 - - - FOUP 지지부 34 - - - FOUP 측 개구

35 - - - 오프너 측 개구 60 - - - FOUP 본체

61 - - - FOUP 측 도어 62 - - - FOUP 측 개구부

65 - - - 오프너 측 도어 66 - - - 오프너 측 구동기구

91 - - - 링크부재 각변위수단 92 - - - 링크부재

93 - - - 접속체 94 - - - 가동체 구동수단

95 - - - 가동체

도 1 ~ 도 4는, 반도체 처리설비(20)는, 처리 대상 기판으로 되는 반도체 웨이퍼(24)에 대해 미리 정해진 처리를 행하는 것을 나타낸다.

예컨대, 반도체 웨이퍼(24)에 실시되는 처리로서, 열처리, 불순물 도입 처리, 박막형성 처리, 리토그래피(lithogrphy) 처리, 세정처리 또는 평탄화처리 등의 여러 가지 프로세스 처리를 생각할 수 있다. 반도체 처리설비(20)는, 미리 정해진 분위기 기체로 채워진 적합한 클린도(cleanliness)를 가진 처리공간(30) 내에서, 앞에서 설명한 기판 처리를 실행한다. 웨이퍼(24)는, FOUP(Front Opening Unified Pod; 25)라 칭해지는 기판 용기(25)에 복수 매가 수용된 상태로 반도체 처리설비(20)에 대해 반송되게 된다.

도 4에 도시된 것과 같이 FOUP(25)는, 웨이퍼(24)가 수용되는 용기 본체로 되는 FOUP 본체(60)와, FOUP 본체(60)에 대해 착탈될 수 있게 형성된 용기측 도어로 되는 FOUP 측 도어(61)를 포함해서 구성된다. FOUP 본체(60)는, 미리 설정되는 정면방향(W)으로 개방되는 대략 상자형상으로 형성되어, 웨이퍼 수용공간으로서 FOUP 내 공간(34)이 형성된다. FOUP 본체(60)는, 정면방향(W) 측으로 노출되는 FOUP 측 개구부(62)가 형성되어, 이 FOUP 측 개구부(62)에 의해, FOUP 내 공간(34) 중에서 정면방향(W)의 영역으로 되는 FOUP 측 개구(63)가 형성된다. FOUP 측 도어(61)는, 판상으로 형성되어, FOUP 본체(60)에 대해 착탈될 수 있게 구성된다. FOUP 측 도어(61)는, FOUP 본체(60)에 장착됨으로써, FOUP 측 개구부(62)를 원주방향에 걸쳐 닿아, FOUP 측 개구부(62)를 막아주게 된다. 또 FOUP 측 도어(61)는, FOUP 본체(60)로부터 벗겨짐으로써, FOUP 측 개구부(62)로부터 떨어져 FOUP 측 개구부(62)를 열어주게 된다.

FOUP 측 도어(61)가 FOUP 본체(60)에 장착됨으로써, FOUP 본체(60)에 형성된 FOUP 내의 공간(34)이 바깥쪽 공간(33)에 대해 밀폐되어, 바깥쪽 공간(33)으로부터 오염물질이 FOUP 내 공간(34)으로 침입하는 것을 막아준다. 따라서, FOUP 내 공간(34)이 클린도가 높은 상태에서 FOUP 측 도어(61)가 장착됨으로써, FOUP 내 공간(34)이 클린도가 높은 상태로 유지된다. 또, FOUP 측 도어(61)가 FOUP 본체(60)를 개방함으로써, FOUP 내 공간(34)에 웨이퍼(24)를 수용할 수 있음과 더불어, FOUP 내 공간(34)으로부터 웨이퍼(24)를 꺼낼 수 있게 된다.

도 l ~ 도 3에 도시된 것과 같이, 반도체 처리설비(20)는, 웨이퍼 처리장치(22)와, 웨이퍼 이재장치(23)를 포함해서 구성된다. 웨이퍼 처리장치(22)는, 상기 처리공간(30)에서 웨이퍼(24)에 미리 정해진 처리를 실행한다. 웨이퍼 처리장치(22)는, 웨이퍼(24)에 처리를 실행하는 처리장치 본체 외에, 처리공간(30)을 형성하는 복수의 처리공간 형성 벽(壁), 처리공간(30)에서 웨이퍼(24)를 반송하는 반송장치, 처리공간(30)에 채워지는 분위기 기체(atmospheric gas)를 제어하는 조정장치 등을 갖는다.

웨이퍼 이재장치(23)는, 처리 전의 웨이퍼(24)를 FOUP(25)로부터 꺼내어 웨이퍼 처리장치(22)로 공급함과 더불어, 처리 후의 웨이퍼(24)를 웨이퍼 처리장치(22)로부터 꺼내어 FOUP(25)에 재수용한다. 웨이퍼 이재장치(23)는, 장치 프론트 엔드 모듈(EFEM, Equipment Front End Module)이라 칭해지고, 반도체 처리설비(20) 중에서 FOUP(25)와 웨이퍼 처리장치(22) 사이에서의 웨이퍼(24)의 수도를 담당하는 인터페이스(interface)로 된다. 웨이퍼(24)는, FOUP 내 공간(34)과 웨이퍼 처리장치(22)의 처리공간(30) 사이를 이동하는 동안에, 미리 정해진 분위기 기체로 채워지는 클린도가 높은 준비공간(29)을 통과한다.

웨이퍼 이재장치(23)는, 상기 준비공간(29)을 형성하는 복수의 준비공간 형성 벽(28)과, 플레임(64)과, 준비공간(29)에 배치되어 웨이퍼 반송할 수 있는 로봇(27)과, FOUP(25)를 개폐하는 FOUP 오프너(26; 이하, 오프너(26)라 칭함)와, 준비공간(29)에 채워지는 분위기 기체를 제어하는 조정장치를 포함한다.

준비공간 형성 벽(28)은, 준비공간(29)을 에워싸고, 바깥쪽 공간(33)으로부터 외기가 준비공간(29)에 침입하는 것을 막는다. 프레임(64)에는, 웨이퍼(24)를 반송하는 데에 필요한 각 반송 구성체가 각각 고정된다. 본 실시형태에서는 프레임(64)은, 3개의 오프너(26)와 1개의 로봇(27)이 각각 고정된다.

이와 같이 FOUP(25)는, 극소 크린화 기술에 관해, 크린 환경에서의 미니-엔바이론먼트용 기판 용기(mini-environmental substrate container)이다. 오프너(26)는, FOUP(25)를 개폐하는 개폐장치로 되어, 이른바 FOUP 오프너라 칭해진다. FOUP(25) 및 오프너(26)의 구성의 일부에 대해서는, 예컨대 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격에 의해 미리 규정되어 있다. 이 경우, 예컨대 FOUP(25) 및 오프너(26)는, SEMI 규격의 E47.1, E15.1, E57, E62, E63, E84 등의 사양에 따른다. 단, FOUP(25) 및 오프너(26)의 구성이 SEMI 규격 외의 구성이어도 본 실시 형태에 포함된다.

각 오프너(26)는, 정면벽(28a)과, 오프너 측 도어(65)와, 용기 지지부인 FOUP 지지부(31)와, 오프너 측 도어 구동기구(66)와, 기부(base; 67)를 포함해서 구성된다. FOUP 지지부(31)는, 준비공간(29) 밖으로 되는 바깥쪽 공간(33)에 배치되어, 로봇 또는 인력 등에 의해 반송되는 FOUP(25)를 지지하게 된다. 본 실시형태에서는, FOUP 지지부(31)는, FOUP(25)로 설정되는 정면방향(W)이 수평이 되도록 FOUP(25)를 하방에서 지지한다. FOUP 지지부(31)는, FOUP(25)를 지지한 상태에서, FOUP(25)를 그 정면방향(W)으로 변위구동시켜 미리 정해진 웨이퍼 이재 위치로 위치결정되어 지지될 수 있게 구성된다.

이하, FOUP 지지부(31)에 지지되는 FOUP(25)에 설정되는 정면방향으로 되는 방향을 전방(X1)이라 하고, 전방(X1)과 방향이 반대되는 방향을 후방(X2)이라 칭한다. 또 전방(X1) 및 후방(X2)를 포함한 방향을 전후방향(X)이라 칭한다. 또 상하방향을 Z로 하고, 전후방향(X) 및 상하방향(Z)에 함께 수직인 방향을 좌우방향(Y)이라 칭한다.

정면벽(28a)은, 준비공간 형성 벽(28)의 일부를 구성하는 판상부재이다. 정면벽(28a)을 사이에 끼우고 전방(X1)의 공간이 준비공간(29)으로 되고, 정면벽(28a)을 사이에 끼우고 후방(X2)의 공간이 바깥쪽 공간(33)으로 된다. 정면벽(28a)은, FOUP 지지부(31)에 지지되는 FOUP(25)에 대해 전방(X1)에 배치되고, F0UP 측 개구부(62)에 대향한다. 본 실시형태에서는, 정면벽(28a)은, FOUP 지지부(31)가 FOUP(25)를 올려놓게 되는 승재면(乘載面)으로부터 연직방향 상방(Z1)으로 뻗음과 더불어, 전후방향(X)에 수직으로 뻗도록 되어 있다.

정면벽(28a)에는, 두께방향으로 관통하는 오프너 측 개구(35)를 형성하는 오프너 측 개구부(68)를 갖는다. 이 오프너 측 개구부(68)의 주위는, 웨이퍼 이재 위치에 위치결정되어 지지되는 FOUP(25)의 FOUP 측 개구부(62)에 원주방향에 걸쳐 접촉하게 된다. 이에 의해, 웨이퍼 이재 위치에 FOUP(25)이 위치결정된 상태에서, 정면벽(28a)과 FOUP 측 개구부(62) 사이로부터, FOUP 내 공간(34) 및 준비공간(29)에 외기가 침입하는 것을 막아준다.

또 오프너 측 개구(35)는, 전후방향(X)에 수직인 방향의 단면형상이 FOUP 측 도어(61)와 대략 같은 형상으로서, FOUP 측 도어(61)보다 크게 형성된다. 이에 의해, FOUP 본체(60)로부터 벗겨진 FOUP 측 도어(61)는, 오프너 측 개구부(68)와 간섭하는 것이 막아져, 오프너 측 개구(35)를 전후방향(X)에 통과할 수 있게 된다.

오프너 측 도어(65)는, FOUP 본체(60)에 대해 FOUP 측 도어(61)를 부착하고 떼어낼 수 있도록 구성됨과 더불어, FOUP 본체(60)로부터 떼어진 FOUP 측 도어(61)를 파지할 수 있게 구성된다. 또, 오프너 측 도어(65)는, 대략 판상으로 형성되어, 정면벽(28a)에 형성되는 오프너 측 개구부(68)를 원주방향에 걸쳐 닿게 됨으로써, 오프너 측 개구(35)를 막게 된다. 또 오프너 측 도어(65)는, 정면벽(28a)에 형성된 오프너 측 개구부(68)로부터 이반함에 따라, 오프너 측 개구(35)를 개방한다.

오프너 측 도어 구동기구(66)는, 오프너 측 도어(65)를 전후방향(X) 및 전후방향(X)에 수직인 방향으로 되는 상하방향(Z)으로 변위 구동하는 오프너 측 도어 구동기구(66)가 오프너 측 도어(65)를 변위 구동함으로써, 오프너 측 도어(65)와 함께 오프너 측 도어(65)가 파지하는 FOUP 측 도어(61)를 변위 구동할 수가 있게 된다. 이에 의해 FOUP 측 도어(61)를 FOUP 본체(60)로부터 근접·이반시킬 수가 있어서, 웨이퍼 이재 위치에 위치결정되는 FOUP(25)를 개폐시킬 수가 있다. 각 오프너(26)의 기부(67)는 프레임(64)에 고정된다. 오프너(26) 중에서 기부(67) 이외의 부분을 오프너 본체로 하면, 오프너 본체는 기부(67)를 매개로 프레임(64)에 고정된다. 이와 같이, 오프너 측 도어 구동기구(66)는, FOUP(25)를 개폐하기 위한 기구이다.

본 실시형태에서는, 로봇(27)은 수평 다관절 로봇(horizontal articulated robot)에 의해 실현된다. 로봇(27)은, 준비공간(29)에 배치되어 웨이퍼(24)를 파지할 수 있는 로봇 핸드(40)와, 로봇 핸드(40)를 변위 이동시키기 위한 로봇 아암(41)과, 로봇 암(41)을 상하방향(Z)으로 변위구동시키는 상하구동체(42)와, 상하구동체(42)를 프레임(64)에 고정하는 베이스부(43)를 포함해서 구성된다. 로봇 아암(41) 등을 제어하는 로봇 콘트롤러(44)에 의해, 로봇 아암(41) 및 상하구동체(42) 등을 제어함으로써, 로봇 핸드(40)에 파지된 웨이퍼(24)를 이동시킬 수가 있다.

로봇 핸드(40)는, 오프너(26)가 FOUP(25)을 개방한 상태에서, FOUP(25)의 FOUP 내 공간(34)으로 침입해서, F0UP(25)에 수용되는 웨이퍼(24)를 파지한다. 다음에, 로봇 핸드(40)는, 준비공간(29)을 통과해서, 반도체 처리장치(22)의 처리공간(30)으로 침입하여, 파지한 웨이퍼(24)를 미리 설정된 웨이퍼 배치위치에 이재한다. 또, 로봇 핸드(40)는, 처리공간(30)으로 침입해서 웨이퍼 배치 위치에 파지되는 웨이퍼(24)를 파지한다. 다음에 로봇 핸드(40)는, 준비공간(29)을 통과해서, FOUP 내 공간(34)으로 침입하여, 파지한 웨이퍼(24)를 FOUP(25)의 수용위치에 이재한다. 본 실시형태에서는, 오프너(26)가 3개소에 설치되기 때문에, 3개소의 오프너(26)의 각 FOUP 지지부(31)에 지지되는 FOUP(25)의 각각에 대해 웨이퍼(24)가 출입할 수 있게 설정된다.

도 5 ~ 도 5를 참조하여 설명한다.

도 5에 도시된 것과 같이, 정면벽(28a)은 판상으로 형성되고서, 웨이퍼(24)가 전후방향(X)으로 통과할 수 있는 오프너 측 개구(35)가 형성되어 있다. 정면벽(28a) 중 두께방향 한쪽 편의 공간이 준비공간(29)으로 되고, 두께방향 다른 쪽 편의 공간이 바깥쪽 공간(33)으로 된다. 오프너 측 도어(65)는, 정면벽(28a)에 형성되는 오프너 측 개구부(68)를 폐쇄할 수 있게 구성되어 있다.

오프너(26)는, 오프너 측 개구부(68)가 FOUP(25)를 올려놓아 위치 결정하는 테이블 부분(69)과, 테이블 부분(69)을 전후방향(X)으로 이동시켜 테이블 부분(69)에 올려지는 FOUP(25)를 웨이퍼 이재 위치로 위치결정하여 이동시키는 FOUP 구동수단(70)을 더 포함한다. FOUP 구동수단(70)은, FOUP(29)를 전후방향(X)으로 변위 구동하기 위한 기판 용기 구동수단으로 된다. FOUP 구동수단(70)이, FOUP(25)를 올려놓은 테이블 부분(69)을 이동시킴으로써, FOUP(25)를 정면벽(28a)에다 밀착시킨 웨이퍼 이재 위치로 위치결정한 상태와, 정면벽(28a)으로부터 이반시킨 FOUP 착탈 위치로 위치결정한 상태로 절환할 수 있게 된다.

또 오프너 측 도어(65)는, FOUP 측 도어(61)를 FOUP 본체(60)에 대해 착탈될 수 있게 장착하는 랫치기구를 동작하거나 해제하거나 하기 위한 착탈기구를 갖고 있다. 착탈기구는, 예컨대 착탈용 랫치 키(latch key)에 의해 실현된다. 또 오프너 측 도어(65)는, FOUP 본체(60)로부터 벗겨진 FOUP 측 도어(61)를 파지하기 위한 파지기구(holding mechanism)를 갖는다. 파지기구는, 예컨대 흡착 패드(suction pad) 또는 FOUP 측 도어(61)에 끼워지는 끼움부에 의해 실현된다.

FOUP 지지부(31)는, 정면벽(28a)에 대해 바깥쪽 공간(33) 측에 배치되어, 정면벽(28a)에 인접해서 형성된다. FOUP 지지부(31)는, 수평으로 뻗은 테이블 부분(69)을 갖고서, 테이블 부분(69)에 FOUP(25)을 올려놓음으로써 FOUP(25)를 지지하게 된다. FOUP 지지부(31)는, 내부공간이 형성되어, 이 내부 공간에 테이블 부분(69)을 변위구동 하는 FOUP 구동수단(70)이 배치된다. FOUP 지지부(31)는, FOUP 구동수단(70)에 의해 테이블 부분(69)을 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 테이블 부분(69)에 올려지는 FOUP(25)를 웨이퍼 이재 위치 및 FOUP 착탈 위치에 위치맞춤 할 수가 있다. 여기서, 전후방향(X)은 정면벽(28a)의 두께방향으로서, 웨이퍼(24)를 반입 및 반출하는 방향으로서, 수평 또는 대략 수평한 방향으로 된다.

웨이퍼 이재 위치에 위치맞춤 되는 FOUP(25)는, FOUP(25)에 형성되는 FOUP 측 개구부(62)가 정면벽(28a)에 밀착해서, 정면벽(28a)에 형성되는 오프너 측 개구부(68)에 임하는 위치에 배치된다. 또, FOUP 착탈 위치에 위치맞춤 되는 FOUP(25)는, 정면벽(28a)으로부터 후방(X2)으로 이반해서, 웨이퍼 이재장치(23)로부터 착탈될 수 있게 된다.

오프너 측 도어 구동기구(66)는, 오프너 측 개구부(68)를 개방하는 경우, 오프너 측 개구부(68)를 막고 있는 오프너 측 도어(65)를 오프너 측 개구(35)로부터 전후방향(X) 및 상하방향(Z)으로 이반한 개방위치로 이동시킨다. 또, FOUP(25) 가 정면벽(28a)의 웨이퍼 이재 위치에 위치결정된 상태에서, FOUP 측 도어(61)를 파지한 오프너 측 도어(65)를 개방 위치로 이동시킴으로써, 바깥쪽 공간(33)에 대해 밀폐된 상태로 유지시켜, FOUP 내 공간(34)과 준비공간(29)을 연통시킬 수가 있다.

또, 오프너 측 도어 구동기구(66)는, 오프너 측 개구부(68)를 막는 경우, 개방 위치에 배치되는 오프너 측 도어(65)를 오프너 측 개구부(68)에 대해 전후방향(X) 및 상하방향(Z)으로 근접시켜, 오프너 측 개구부(68)를 막는 폐쇄위치로 이동시킨다. 또, FOUP(25)이 정면벽(28a)의 웨이퍼 이재 위치에 위치결정된 상태에서, FOUP 측 도어(61)를 파지한 오프너 측 도어(65)를 폐쇄위치로 이동시킴으로써, 바깥쪽 공간(33)에 대해 밀폐된 상태로 유지시켜, FOUP 내 공간(34)과 준비공간(29)과의 연통을 해제할 수가 있다.

FOUP 내 공간(34)과 준비공간(29)과의 연통을 해제하면(막으면), FOUP(25)를 FOUP 지지부(31)로부터 분리할 수 있게 된다. 이와 같이 해서, 반도체 처리설비(20)에 웨이퍼(24)를 반입할 때와, 반도체 처리설비(20)로부터 웨이퍼(24)를 반출할 때에, 웨이퍼(24)가 외기(外氣)에 접하는 것을 막을 수가 있다. 따라서, 처리되는 웨이퍼(24)는 대기 중의 먼지 입자가 부착되는 것이 방지된다.

오프너 구동기구(66)는, 가동체(95)와, 가동체 구동수단(94)과, 접속체(93)와, 링크부재(92)와, 링크부재 각변위수단을 포함해서 구성된다. 가동체(95)는, FOUP 지지부(31)에 지지되는 FOUP(25)의 근방을 통과하면서 전후방향(X)으로 이동할 수 있게 구성된다. 본 실시형태에서는, 가동체(95)는, FOUP 지지부(31) 중에서, 테이블 부분(69)보다도 하방의 공간에서 전후방향(X)으로 이동할 수 있게 구성된다. 또, 오프너 측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)를 막은 상태에서, 가동체(95), 가동체 구동수단(94), 링크부재(92) 및 링크부재 각변위수단(91)은, FOUP 지지부(31)의 테이블 부분(69)보다 하방의 공간으로 되는 내부 공간에 배치된다.

도 7 및 도 8에 도시된 것과 같이, FOUP 지지부(31)에는, 전후방향(X)으로 뻗은 레일 형상의 2개의 안내부(90)가 간격을 벌려 형성된다. 가동체(95)는, 각 안내부(90)에 끼워지는 끼움부분(fitting portion; 89)이 형성된다. 가동체(95)의 끼움부분(89)이 각 안내부(90)에 끼워짐으로써, 가동체(95)는, 전후방향(X) 이외로 변위되는 것이 저지되어, 전후방향(X)으로 이동할 수 있게 안내된다. 이와 같이 가동체(95)는 FOUP 지지부(31)에 지지된다.

가동체 구동수단(94)은 FOUP 지지부(31)에 지지되어, 가동체(95)를 전후방향(X)으로 왕복해서 변위 구동한다. 본 실시형태에서는, 가동체 구동수단(94)은, 전후방향(X)으로 뻗어 FOUP 지지부(31)에 회전할 수 있게 지지되는 나사축(88)과, 나사축(88)에 나사결합해서 가동체(96)에 고정되는 나사결합부(87)와, 나사축(88)을 회전구동하기 위한 모터(86)와, 모터(86)의 동력을 나사축(88)에 전달해서 나사축을 회전시키는 동력 전달 요소(99)를 포함해서 구성된다. 본 실시형태에서는, 나사결합부(87)와 나사축으로 볼나사 기구가 구성된다. 또 동력전달기구(99)는, 모터의 출력축에 고정되는 제1 풀리와, 나사축(88)에 고정되는 제2 풀리와, 제1 풀리와 제2 풀리에 감겨지는 벨트를 포함해서 벨트 동력전달기구가 실현된다. 모터(86)에 의해 나사축(88)을 회전시킴으로써, 나사축(88)에 나사결합하는 나사결합부(87)가 전후방향(X)으로 이동하고, 나사결합부(87)와 함께 가동부(95)가 전후방향(X)으로 이동한다.

본 실시형태에서는 나사축(88)을 이용해서 가동체(95)를 이동시켰으나, 가동체(95)를 전후방향(X)으로 변위시키는 구성은 다른 구성이어도 좋다. 예컨대, 에어 실린더 기구 및 랙 앤드 피년 기구(rack and pinion mechanism) 등에 의해 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시켜도 좋다.

도 5, 도 9 및 도 10에 도시된 것과 같이, 접속체(93)는 오프너 측 도어(65)에 고정된다. 접속체(93)는, 오프너 측 도어(65)로부터 전후방향(X)에 수직인 방향인 하방(Z2)으로 뻗어 있다. 구체적으로는, 접속체(93)의 상단부는 오프너 측 도어(65)에 접속되고, 접속체(93)의 하단부는 FOUP 지지부(31)의 상부면보다 아래쪽에 배치된다.

도 5 및 도 7에 도시된 것과 같이, 링크부재(92)는 복수로 설치되고, 그들 각 링크부재(92)는 가동체(95)와 접속체(93)를 연결해서 평행링크기구를 구성한다. 이와 같이, 각 링크부재(92)와, 가동체(95)와 접속체(93)에 의해 평행링크기구가 구성되기 때문에, 가동체(95)에 연결되는 접속체(93)는 자세를 유지한 상태로 가동체(95)의 각변위 축선(L1) 주위를 회전할 수 있게 된다.

본 실시형태에서는, 각변위 축선(L)이 전후방향(X)에 수직인 수평방향으로 되는 좌우방향(Y)으로 뻗는다. 또 링크부재(92)는 2개가 설치된다. 2개의 링크부재(92)는 평행하게 뻗고서, 한쪽 단부에 가동체(95)가 자재로이 회전할 수 있게 핀 결합되고, 다른쪽 단부에는 접속체(93)가 회전자재하게 핀으로 결합된다. 각 링크부재(92)는 길이가 같게 형성된다. 본 실시형태에서는, 각 링크부재(92)는, 오프너 측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)를 막은 상태로 수평으로 뻗어 있다. 이 경우, 각 링크부재(92)는, 길이방향이 전후방향(X)으로 되고, 폭방향이 좌우방향(Y)으로 뻗은 판상으로 형성된다.

링크부재 각변위수단(91)은, 가동체(95)의 전후방향 위치에 대응해서, 미리 정해진 각도 위치로 가동체(95)에 대한 각 링크부재(92)의 각변위를 규제한다. 도 7 및 도 9에 도시된 것과 같이, 링크부재 각변위수단(91)은 걸림부(85)와 규제부(84)를 포함해서 구성된다. 걸림부(85)는, 각 링크부재(92)의 적어도 어느 하나에 설치된다. 또 규제부(84)는, 걸림부(85)가 걸어 맞춰져 가동체(95)의 전후방향 위치에 대응해서 걸림부(85)의 각도 위치를 규제한다.

걸림부(85)는, 링크부재(92)의 길이방향 중간 부분으로부터 각변위 축선(L1)과 평행한 방향으로 돌출하는 핀(pin) 부재에 의해 실현된다. 규제부(84)는, FOUP 지지부(31)에 형성되어, 걸림부(85)가 끼워지는 슬릿 홈(slit grooves)으로 된 오목부가 형성됨으로써 실현된다. 규제부(84)의 오목부는, 장공 형상으로 형성되어 전후방향(X)으로 진행함에 따라 상하방향 위치가 변화한다. 또 규제부(84)의 오목부는, 걸림부(85) 중에서 규제부(84)에 끼워지는 끼움 부분보다 조금 큰 치수로 설정된다. 걸림부(85)는, 각변위 축선(L)과 평행하게 뻗어 있다. 또, 규제부(84)의 오목부에 끼워진 걸림부(85)는, 규제부(84)의 오목부가 뻗은 방향으로 이동할 수 있게 형성된다. 이에 의해, 가동체(95)가 이동을 정지한 상태에서는, 규제부(84)에 걸림부(85)가 끼워짐으로써, 걸림부(85)가 각변위 축선(L1) 주위에서 각변위되는 것이 저지되어, 링크부재(92)의 각변위량이 미리 정해진 값으로 유지되게 된다.

규제부(84)의 오목부는, 정면벽(28a)에서 가장 떨어진 위치로부터 정면벽(28a)에 가까워짐에 따라, 미리 정해진 설정 거리(A)로 진행할 때까지는, 전후방향(X)으로 평행하게 뻗는다. 오목부(84)는, 설정 거리(A)에 도달하고 나서 다시 전방(X1)에 가까워짐에 따라 하방(Z2)으로 진행한다. 본 실시형태에서는, 설정 거리(A)는 예컨대 25mm로 설정된다. 본 실시형태에서는, 걸림부(85)는 링크부재(92)의 양측에 각각 돌출하게 된다. 또 규제부(84)의 오목부는, 링크부재(92)의 양쪽에 각각 형성되어, 2개의 걸림부(85)가 각각 끼워진다.

도 11은, 가동체(95)의 전후방향 이동에 연동한 링크부재(92)의 각변위 상태를 나타내는 도면이다. 도 11은, 이해를 용이하게 하기 위해, 오프너(26)의 구성의 일부를 생략해서 나타내었다. 또 도 11은, 가동체(95)와 링크부재(92)가 연결되는 연결점(80)의 이동위치(80a ~ 80d)에 대응한 각 요소의 위치를 첨자 a ~ d를 붙여 나타내었다. 첨자 a로부터 첨자 d로 진행함에 따라, 가동체(95)가 전방(X1)으로 진행한다, 앞에서 설명한 바와 같이 접속체(93)는, 전후방향(X)으로 이동할 수 있는 가동체(95)에 연결됨과 더불어, 가동체(95)에 대해 각변위 축선(L1) 주위에서 각변위할 수 있게 구성된다. 따라서, 가동체(95)의 전후방향 위치와, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위 축선(L1) 주위의 각도를 결정함으로써, 전후방향(X) 및 상하방향(Z)의 임의의 위치에 접속부(93)를 배치할 수가 있게 된다. 본 실시형태에서는, 가동체(95)의 전후방향 이동에 대응해서, 접속체(93)가 미리 정해진 이동궤적을 이동하도록 링크부재 각변위 수단(91)에 의해 가동체(95)의 전후방향 이동에 연동시켜, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 위치결정한다.

가동체(95)와 링크부재(92)가 연결되는 연결점(80)을 가동체(95)의 기준위치로 가정한다. 오프너 측 도어(65)의 파지하는 F0UP 측 도어(61)가, FOUP 본체(60)를 막은 폐쇄상태에서, 가동체(95)가 위치하는 폐쇄위치(P1)와, 폐쇄위치(P1)로부터 가동체(95)가 전방(X1)에 미리 정해진 설정 거리(A)를 이동한 이간위치(P2)와의 사이(C1)를 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)가 전후방향(X)으로 이동하도록, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위를 규제하게 된다. 또, 상기 이간위치(P2)보다도 전방(X1)으로 되는 퇴피영역(C2)을 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)가 상하방향(Z)으로 이동하도록 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위를 결정한다.

본 실시형태에서는, 가동체(95)가 위치하는 폐쇄위치(P1)와, 폐쇄위치(P1)로부터 가동체(95)가 전방(X1)에 미리 정해진 거리(A)로 이동한 이간위치(P2)와의 사이(C1)에서는, 링크부재 각 변위수단(91)은, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도(θ)를 일정 또는 대략 일정하게 유지하게 된다. 이에 의해, 접속체(93)를 전후방향(X)으로 이동시킬 수가 있다. 또, 퇴피영역(C2)에서는, 링크부재 각변위수단(91)은, 가동체(95)가 전방(X1)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 크게 해서, 가동체(95)가 후방(X2)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 작아지게 한다.

예컨대, 폐쇄위치(P1)로부터 전후방향 이동을 정지시켜야 할 접속체(93)의 위치까지의 전후방향 거리를 E1로 한다. 폐쇄위치(P1)로부터 가동체(95)의 위치까지의 전후방향 거리를 E2로 하고, 링크부재(92)의 길이를 F로 한다. 이 경우, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도(θ)가 cos^-l(El - E2)/F)로 되도록, 링크부재(92)의 각도를 위치결정한다. 이에 의해, 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동 시킨 경우에, 접속체(93)를 E2의 전후방향 위치로 유지시킨 상태에서 접속체(93)를 상하방향(Z)으로 이동시킬 수가 있다. 여기서 "cos^-l"은, 역코사인 삼각함수로서 "아크 코사인(arc cosine)"을 나타낸다. 또 각도는, 수평면으로부터 링크부재(92)가 하방(Z2)으로 각변위하는 방향을 정(正)으로 한다. 예컨대 도 11에서, 가동체(95)의 연결점(80)이 E2c 위치에 존재하는 경우에서의 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도(θc)는, cos^-l(E1 - E2c)/F)로 되도록 링크부재(92)의 각도를 위치결정한다.

먼저, 가동체(95)가 폐쇄위치(P1)로부터 전방(X1)으로 이동함으로써, 접속체(93)가 전방(X1)으로 이동한다. 가동체(95)가 폐쇄위치(P1)로부터 설정 거리(A)로 이동해서 이간위치(P2)에 도달한 후, 다시 전방(X1)으로 이동함으로써, 접속체(93)는 수평으로 이동하면서 서서히 수직 하방으로 이동한 후, 완전히 수직 또는 수직에 가까운 궤적을 이동하여 하방(Z2)으로 이동한다. 또, 가동체(95)가 퇴피영역(C2)으로부터 후방(X2)으로 이동함으로써, 접속체(93)가 상방(Z1)으로 이동해서, 수직 위쪽으로 이동하면서 서서히 수평으로 이동한다. 그리고 완전히 수평 또는 수평에 가까운 궤적을 이동해서, 가동체(95)가 이간위치(P2)에 도달한 후, 다시 후방(X2)으로 이동함으로써, 접속체(93)가 후방(X2)으로 이동한다. 접속체(93)와 일체로 고정된 오프너 측 도어(65)도 또한 접속체(93)와 같은 형상의 궤적을 따라 이동한다. 도 11에는, 접속체(93)의 이동궤적을 98a로 나타내고, 오프너 측 도어의 이동궤적을 98b로 나타내었다.

도 12는, 오프너 측 도어(65)의 개폐동작을 나타낸 도면이다. 도 12(1)은, 오프너 측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)를 폐쇄한 상태를 나타낸다. 도 12(2)는, 오프너 측 도어(65)가, 오프너 측 개구부(68)로부터 떨어진 상태를 나타낸다. 도 12(3)은, 오프너 측 도어(65)가, 오프너 측 개구부(68)를 개방시킨 상태를 나타낸다.

도 12(1)에 도시된 것과 같이, 오프너 측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)를 막은 상태로부터 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동해서 미리 정해진 설정 거리(A)로 이동하기까지는, 링크부재 각변위수단(91)에 의해 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위가 저지된다. 각 링크부재(92)의 각변위가 저지됨으로써, 접속체(93)는 가동체(95)의 이동과 함께 전후방향(X)으로 이동한다. 따라서, 오프너 측 도어(65)도 또한 접속체(93)와 함께 전후방향(X)으로 이동한다. 이에 의해, 오프너 측 도어(65)는 정면벽(28a)으로부터 전방(X1)에 평행하게 이동해서 정면벽(28a)으로부터 떨어지게 된다.

도 12(2)에 도시된 것과 같이, 가동체(95)가 정면벽(28a)에 근접해서 미리 전방(X1)에 정해지는 설정 거리(A)로 이동한 이간위치로부터 가동체(95)가 다시 전방(X1)으로 이동하면, 가동체(95)의 이동에 따라 링크부재 각변위수단(91)에 의해 가동체(95)에 대한 각 링크부재(92)의 각도가 서서히 커지게 된다. 각 링크부재(92)의 각변위가 커지게 됨으로써, 접속체(93)는 가동체(95)의 이동과 함께 가동체(95)에 대해 각변위 축선(L) 주위에서 각변위 이동한다. 본 실시형태에서는, 링크부재 각변위수단(91)에 의한 각도가 조절됨으로써, 접속체(93)는 FOUP 지지부(31)에 대해 하방(Z2)으로 이동한다. 이에 의해, 오프너 측 도어(65)도 또한 접속체(93)와 함께 하방(Z2)으로 이동한다. 따라서, 도 12(3)에 도시된 것과 같이, 오프너 측 도어(65)는, 정면벽(28a)으로부터 전방(X1)으로 떨어진 상태로부터 하방(Z2)으로 이동을 해서 정면벽(28a)으로부터 떨어지게 된다. 오프너 측 도어(65)가 FOUP 측 도어(61)를 파지한 상태에서, 앞에서 설명한 바와 같이 개방동작을 실행함으로써, FOUP 본체(60)로부터 벗겨진 FOUP 측 도어(61)를 준비공간(29)으로 끌어들여, FOUP 측 도어(61)를 하방(Z2)으로 이동시켜, FOUP 내 공간(43)과 준비공간(29)을 연통시켜 FOUP 본체(60)를 개방시킬 수가 있다.

마찬가지로 해서, 가동체(95)가 정면벽(28a)에 최근접한 위치로부터 후방(X2)으로 이반하는 경우에는, 오프너 측 도어(65)는 접속체(93)와 함께 상방(Z1)으로 진행되어, 정면벽(28a)에 근접한다. 다시 가동체(95)가 정면벽(28a)으로부터 후방(X2)으로 이반하면, 오프너 측 도어(65)는 후방(X2)으로 이동해서 정면벽(28a)의 오프너 개구부(68)를 막게 된다. 오프너 측 도어(65)가 FOUP 측 도어(61)를 파지한 상태에서, 앞에서 설명한 바와 같이 폐쇄 동작을 실행함으로써, FOUP 본체(60)로부터 벗겨진 FOUP 측 도어(61)를 다시 FOUP 본체(60)에 접하게 할 수가 있어, FOUP 본체(60)를 닫히도록 할 수가 있다.

또 가동체(95)와 접속체(93)가 평행링크기구를 구성하는 복수의 링크부재(92)에 연결됨으로써, 접속체(93)는 자세를 일정하게 유지하면서 진행하게 된다. 이와 같은 본 실시형태의 오프너 측 도어 구동기구(66)에 의해, 오프너 측 도어(65)는, 자세를 유지한 상태로 전후방향(X) 및 상하방향(Z)으로 이동할 수가 있다.

이상과 같이 링크부재 각변위수단(91)은, 오프너 측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)를 막은 폐쇄상태로부터, 가동체(95)가 전방(X1)에 미리 정해진 설정 거리(A)로 이동하기까지, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 일정하게 유지하게 된다, 또, 링크부재 각변위수단(91)은, 가동체(95)가 설정 거리(A)에 도달한 이간위치로부터 전방(X1)으로 다시 이동함에 따라, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 커지게 한다. 이에 의해, 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써 오프너 측 도어(65)를 수평방향 및 연직방향으로 이동시킬 수가 있어서, 오프너 측 도어(65)가 파지하는 FOUP 측 도어(61)에 의해 FOUP 본체(60)를 개폐할 수가 있다. 여기서, 설정 거리(A)는, FOUP 측 도어(61)를 파지하는 오프너 측 도어(65)가 정면벽(28a)으로부터 하방(Z2)으로 이동하는 경우에, FOUP 측 도어(61) 등이 정면벽(28a) 등과 간섭하는 것이 방지되는 거리로 설정된다. 예컨대 설정 거리(A)는, 정면벽(28a)의 두께방향 치수와, FOUP 측 도어(61)의 두께방향 치수를 가산한 값보다도 크게 설정된다.

본 실시형태에 의하면, 가동체(95)와 접속체(93)는 평행링크기구를 구성하는 복수의 링크부재(92)에 연결됨으로써, 접속체(93)에 고정되는 오프너 측 도어(65) 및 오프너 측 도어(65)에 파지되는 FOUP 측 도어(61)가, 자세를 일정하게 유지하면서 이동하게 된다. 또, 본 실시형태에서는, 오프너 측 도어(65)에 파지되는 FOUP 도어(61)를 전후방향(X)으로 변위 이동시킬 수 있음과 더불어, 가동체(95)의 각변위 축선(L) 주위에 대해 각변위 이동시킬 수가 있어, 각변위 축선(L)에 수직인 평면 내에서 2방향으로 이동시켜 용기 본체를 개폐할 수가 있다.

가동체 구동수단(94)에 의해 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 오프너 측 도어(65)에 파지되는 FOUP 측 도어(61)를 전후방향(X)과 상하방향(Z)으로 이동시킬 수가 있어, FOUP 본체(60)로부터 FOUP 측 도어(61)를 근접 및 이반시켜 FOUP 본체(60)의 개폐동작을 실행하도록 할 수가 있다. 가동체(95)는, 전후방향(X)으로 이동시켜도, FOUP 지지부(31)에 지지되는 FOUP(25)의 근방을 이동시킬 수가 있어서, FOUP 지지부(31)로부터 떨어진 위치에 가동체(95)를 이동시키는 기구를 설치할 필요가 없게 된다. 이와 같이 본 실시형태에서는, FOUP 지지부(31)의 근방에 오프너 측 도어 구동기구(66)를 배치할 수가 있어서, 오프너(26)를 소형화할 수가 있다. 또, FOUP 지지부(31)로부터 떨어진 공간을 유효하게 이용할 수가 있게 된다.

가동체(95)가 폐쇄위치(P1)와 이간위치(P2) 사이를 이동하는 동안(C1)에는, FOUP 측 도어(65)는, 이동방향을 분해한 성분 중의 모두 또는 대부분이 전후방향(X) 성분으로 된다. 이에 의해, FOUP 측 도어(61)가 FOUP 본체(60)에 대해 전후방향(X)으로 근접 및 이반할 때에, FOUP 본체(60)의 개구부(62) 및 정면벽(28a) 등과 FOUP 측 도어(61)가 간섭하는 것을 막을 수가 있어, FOUP 측 도어(61)를 FOUP 본체(60)로부터 원활히 근접 및 이반시킬 수가 있다.

또, 가동체(95)가 퇴피영역을 전후방향(X)으로 이동하는 사이(C2)에는, FOUP 측 도어(61)는, FOUP 본체(60)에 대해 상하방향(Z)으로 근접 또는 이반하게 된다. 이에 의해 FOUP 측 도어(61)가 FOUP 본체(60)로부터 이간된 상태에서 전후방향(X)으로 이동하는 것을 억제할 수가 있어, FOUP 측 도어(61)의 동작영역을 전후방향(X)으로 작게 할 수가 있어서, FOUP 본체(60)를 개폐하기 위해 필요한 가동 공간의 전후방향 치수를 작게 할 수가 있다. 이에 의해, FOUP 측 도어(61) 및 오프너 측 도어(65)가, 기판 이재장치(23)에 배치되는 다른 구성요소인 예컨대 기판 반송용 로봇 등에 간섭하는 것을 막을 수가 있다.

또, FOUP 본체(60)를 개방하는 경우, FOUP 측 도어(61)는, 수평 또는 수평에 가까운 궤적을 그리면서 FOUP 본체(60)로부터 떨어지고, 떨어진 후, 연직 또는 연직에 가까운 궤적을 그리면서 FOUP 본체(60)로부터 이반하게 된다. 또, FOUP 본체(60)를 폐쇄하는 경우, FOUP 측 도어(61)는, FOUP 본체(60)로부터 떨어진 상태에서, 연직 또는 연직에 가까운 궤적을 그리면서 FOUP 본체(60)로 근접하고, 근접한 후, 수평 또는 수평에 가까운 궤적을 그리면서 FOUP 본체(60)에 닿게 된다. 이와 같이, FOUP 측 도어(61)를 FOUP 본체(60)보다도 아래쪽으로 이동시켜 FOUP 본체(60)를 개방함으로써, 상방으로부터 아래쪽으로 기체가 흐르게 되어, FOUP 내 공간(34) 또는 준비공간(29) 등에 먼지 입자가 부착되는 염려를 적게 할 수가 있어서, 기판 반입 및 반출 시에 기판이 오염되는 것을 막을 수가 있다.

또 본 실시형태에 의하면, FOUP 지지부(31)가, 가동체 구동수단(94), 링크부재 각변위수단(91) 및 가동체(95)를 지지함으로써, 가동체 구동수단(94) 및 가동체(95)를 지지하는 부분을 별도로 형성할 필요가 없어, 오프너(26)의 부품 수를 줄일 수 있게 된다. 이에 의해 더 오프너(26)를 소형화할 수가 있음과 더불어, 구조를 간단화할 수가 있어, 오프너(26)의 제조비용을 저감할 수가 있다. 예컨대 FOUP 지지부(31)에 오프너 측 도어 구동기구(66)를 구성하는 각 요소 부품을 지지시킴으로써, 오프너(26)에 형성되는 정면벽(28a)에 오프너 측 도어 구동기구(66)의 각 요소부품을 고정 지지시킬 필요가 없어, 주면벽(28a)을 소형화함과 더불어, 정면벽(28a)의 강성(剛性)을 저하시킬 수가 있게 되어, 오프너(26)의 제조비용을 줄일 수가 있다.

또 본 실시형태에 의하면, 걸림부(85)와 규제부(84)를 포함해서 링크부재 각변위수단(91)이 구성됨으로써, 별도의 구동원을 필요로 하지 않고서도 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위를 규제할 수가 있다. 이에 의해, 가동체 구동수단(94)으로 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시키기만 하면, 그 가동체(95)의 이동에 연동해서 링크부재(92)를 각변위시킬 수가 있다. 이에 의해 오프너(26)의 구성을 더 간단화할 수가 있고, 부품 점수를 줄일 수가 있다.

또 본 실시형태에서는, FOUP 지지부(31)에 형성되는 내부 공간에, 가동체 구동수단(94), 링크부재 각변위수단(91) 및 가동체(95)가 배치됨으로써, 가동체 구동수단(94), 링크부재 각변위수단(91) 및 가동체(95)를 덮어주는 커버체를 별도로 형성할 필요가 없어, 부품 수를 줄일 수가 있게 된다, 이에 의해, 더 오프너(26)을 소형화할 수 있음과 더불어, 구조를 간단화할 수가 있다.

도 13은, 본 실시예의 오프너(26)와 비교예의 오프너(126)를 비교하는 도면이다. 도 13(1)은 본 실시예의 오프너(26)를 나타내고, 도 13(2)는 비교예의 오프너(126)를 나타낸다. 비교예의 오프너(126)는, 오프너 측 도어(165)에 접속되는 접속체(193)를 상하방향(Z)으로 이동시키는 나사축(188)이 상하방향(Z)으로 뻗어 있다. 비교예의 오프너(126)에 대해, 본 실시 형태와 대응하는 구성에 대해서는, 참조부호에 100을 기재하고서 설명을 생략한다.

본 실시형태의 오프너(26)는, 가동체(95)가 FOUP 지지부(31)의 내부 공간에 수용된다. 이에 의해 도 13(2)에 도시된 비교예의 오프너(126)에 비해, 수평방향 치수를 소형화할 수가 있다. 또, 비교예의 오프너(126)와 같이, 나사축(188) 및 접속체(193)를 안내하는 안내수단을 정면벽(128a)으로 지지할 필요가 없기 때문에, 정면벽(28a)을 소형화할 수가 있어, 제조비용을 극히 염가로 구성할 수가 있다. 또 FOUP 지지부(31)의 아래쪽으로 작업자가 침입 가능한 도어를 설치할 수가 있고, 이 도어를 마련함으로써 메인트넌스를 용이하게 실행할 수 있다. 또, 가동체(93)가 폐쇄위치(P1)로 이동한 상태에서 링크부재(92)가 수평으로 뻗기 때문에, 폐쇄 상태에서의 오프너(26)를 더 소형화할 수가 있다.

도 14는, 본 실시형태의 오프너(26)와 비교예의 오프너(126)를 비교한 도면이다. 도 14(1)은 본 실시예의 오프너(26)를 나타내고, 도 14(2)는 비교예의 오프너(126)를 나타낸다. 본 실시예의 오프너(26)는, FOUP 지지부(31)에 대해 상하방향으로 근접한 위치에 오프너 측 도어 구동기구(66)를 배치할 수 있기 때문에, FOUP 지지부(31)로부터 떨어진 공간(75)을 유효하게 이용할 수가 있다. 이에 대해, 비교예의 오프너(126)에서는, 이동체(193)를 이동시키는 구동수단과 이동체(193)를 안내하는 안내수단을 FOUP 지지부(131)로부터 떨어진 위치에 배치할 필요가 있어서, FOUP 지지부(31)로부터 이반한 공간(76)을 유효하게 이용할 수가 없게 된다. 본 실시형태에서는, 예컨대 FOUP 지지부(31)로부터 이반한 위치에 로봇 콘트롤러(44), 웨이퍼 이재장치인 EFEM에 필요한 디바이스, 메인트넌스 재료(97) 등을 배치할 수가 있다.

도 15는, 오프너(26)의 하방의 공간에 메인트넌스용 도어(96)를 설치한 상태를 나타낸 웨이퍼 이재장치이다. 도 15(1)은 도어(96)를 닫은 상태를 나타낸다. 또, 도 15(2)는 메인트넌스용 도어(96)를 연 상태를 나타낸다.

본 실시형태에 의하면, 오프너(26) 하방의 공간(76)에, 로봇 콘트롤러(44), 웨이퍼 이재장치인 EFEM에 필요한 디바이스, 메인트넌스 재료(97) 등을 배치함으로써, 작업자는 메인트넌스용 도어(96)를 열어줌으로써, 준비공간(29)으로 깊이 들어가지 않아도 웨이퍼 이재장치의 조정 및 메인트넌스를 실행할 수 있게 된다. 이에 의해, 작업자가 준비공간(29)에 침입함에 기인하는 오염을 억제할 수가 있고, 준비공간(29)의 클린도를 회복하는 데에 필요한 시간을 단축할 수가 있어 작업효율을 향상시킬 수가 있다. 또, 조정 및 메인트넌스에 필요한 조작 기기 등을 오프너(26)의 아래쪽에 모음으로써, 기판 이재장치의 조정 및 메인트넌스 작업을 용이하게 실행할 수 있다.

도 16은, 본 발명의 제2 실시형태인 오프너(226)를 나타낸 도면이다. 다른 실시형태의 오프너(226)는, 접속부(93)의 이동궤적이 다른 것 말고는 제1 실시형태와 마찬가지이다. 마찬가지 구성에 대해서는 마찬가지 참조부호를 붙이고 설명을 생략한다.

제1 실시형태의 오프너(26)는, FOUP 개방시에 접속부(93)를 수평방향으로 이동시킨 뒤 하방(Z2)으로 이동시키도록 하였으나, 이에 한정되지 않는다. 제2 실시형태에서는, 링크부재 각변위수단(91)은, 가동체(93)가 폐쇄위치(P1)와 이간위치(P2) 사이를 가동체(93)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)를 대략 수평의 곡선궤적을 지향하도록 링크부재(92)의 각도를 규제한다. 또, 상기 이간위치(P2)보다도 전방(X1)으로 되는 퇴피영역을 가동체(93)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속부(93)를 대략 수직인 곡선궤적을 그리도록 링크부재(92)의 각도를 규제한다.

구체적으로는, 가동체(95)가 폐쇄위치(P1)와 이간위치(P2) 사이(C1)를 전방(X1)으로 이동하는 경우에는, 접속체(93)는 전방(X1)으로 이동함과 더불어 하방(Z2)으로 이동한다. 그 이동방향의 성분 중에서는, 전방(X1)으로 이동하는 성분이 많고, 하방(Z2)으로 이동하는 성분이 적다. 또, 가동체(95)가 퇴피영역(C2)을 전방(X1)으로 이동하는 경우에는, 접속체(93)는, 전방(X1)으로 이동함과 더불어 하방(Z2)으로 이동한다. 그 이동방향의 성분 중에서는, 전방(X1)으로 이동하는 성분이 적고, 하방(Z2)으로 이동하는 성분이 많다. 이와 같이 제2 실시형태의 접속부(93)는, 타원호(楕圓弧)에 따른 궤적을 따라 이동한다. 규제부(84)의 오목부의 형상을 설정함으로써, 접속부(93)의 이동경로를 용이하게 변경할 수가 있다.

도 17은, 접속부(93)의 이동궤적(98)의 일례를 나타낸 도면이다. 도 17(1)은 제2 실시형태로의 접속부(93)의 이동궤적(98)을 나타내고, 도 17(4)는 제1 실시형태의 접속부(93)의 이동궤적(98)을 나타낸다. 접속부(93)의 이동궤적은, 이와 같이 곡선상으로 변화하여도 좋고, 절곡선상으로 변화하여도 좋고, 또 도시되어 있지는 않았으나 파선상(波線狀)으로 변화하여도 좋다.

링크부재 각변위수단(91)은, 폐쇄위치(P1)와 이간위치(P2) 사이(C1)를 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)의 이동방향을 분해한 성분 중에서 적어도 전후방향(X) 성분이 존재하도록, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위를 규제한다. 또, 링크부재 각변위수단(91)은, 이간위치(P2)보다도 전방(X1)으로 되는 퇴피영역(C2)을 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)의 이동방향을 분해한 성분 중에서 적어도 전후방향(X)에 수직인 수직방향 성분이 존재하도록, 가동체(95)의 이동에 연동해서 링크부재(92)를 가동체(95)에 대해 각변위시킨다. 이에 의해, 각 도어(61, 65)가 정면벽(28a) 등에 간섭하는 것을 막아줌과 더불어, 정면벽(28a)으로부터 바라지 않게 전방(X1)으로 이반하는 것을 막을 수가 있어, 각 도어(61, 65)의 가동범위를 컴팩트하게 해서 준비공간(29)에다 배치할 수가 있다.

도 18은, 다른 실시형태의 링크부재 각변위수단(91)의 일부를 나타낸 도면이다. 앞에서 설명한 링크부재 각변위수단(91)은, 걸림부(85)가 오목부인 규제부(84)에 끼워짐으로써 링크부재(92)의 각변위를 저지하는 구조였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예컨대 도 18(1)에 도시된 것과 같이, 규제부(185)는, 단면적이 일정한 주상(柱狀)의 레일부재로 형성되고, 걸림부(184)가 상기 레일부재를 축선 주위를 일주하는 링 부재로 형성되어도 좋다

또 도 18(2)에 도시된 것과 같이, 규제부(285)가 레일모양으로 형성되어 대향하는 2개의 면에 각각 레일 홈이 형성되는 래일부재로 형성되어, 걸림부(284)가 규제부(295)의 레일 홈을 양측에서 협지하는 형상으로 2개의 협지체에 의해 형성되어도 좋다. 또 도 18(3)에 도시된 것과 같이, 각 도어(61, 65)가 자중을 갖기 때문에, 규제부(385)가 상부면이 곡면으로 형성된 형상이어도 좋다, 이와 같이 걸림부(85, 184, 284, 384)가 규제부(84, 185, 285, 385)에 안내되어 전후방향(X)으로 이동자재의 상태에서 전후방향(X)에 수직인 방향에 대한 변위가 규제됨으로써, 링크부재 각변위수단(91)를 실현할 수 있다.

또, 도 18(4)에 도시된 것과 같이, 링크부재 각변위수단(91)은, 링크부재(92)를 각변위시키기 위한 모터와, 모터의 동력을 링크부재(92)로 전달하는 동력전달기구를 구비한 구성이어도 좋다. 이 경우, 가동체(95)의 이동량에 대응해서 모터에 의해 링크부재(92)를 미리 정해진 량 만큼 각변위시킴으로써 마찬가지 효과를 얻을 수가 있다.

모터에 의해 링크부재(92)를 각변위시킴으로써, 도어를 개방하는 경우와 도어를 폐쇄하는 경우로 접속부(93)의 이동경로를 다르게 할 수도 있다.

도 19는, 다른 실시형태의 링크부재 각변위수단(91)을 간략화해서 나타낸 도면이다. 오프너(26)는, FOUP 지지부(31)가 올려지는 테이블 부분(69)을 전후방향(X)으로 이동시키는 FOUP 구동수단(70)을 갖고 있다. FOUP 구동수단(70)은, 로봇 또는 작업자 등에 의해 FOUP(25)가 FOUP 지지부(31)의 테이블 부분(69)에 배치된 상태에서, 테이블 부분(69)을 정면벽(28a)을 향해 전후방향(X)으로 이동시켜 FOUP(25)와 정면벽(28a)을 밀착시킨다. 이어, FOUP(25)와 정면벽(18a)이 밀착된 상태로부터 해제시킨다.

테이블 부분(69)과 상기 가동체(95)는, 전후방향(X)이 같은 방향이기 때문에, 본 실시형태에서는 오프너(26)가 1개의 구동수단으로 테이블 부분(69)과 상기 가동체(95) 중 어느 것을 이동시키도록 절환하는 절환수단(75)을 갖고 있다. 이에 의해 1개의 구동수단에 의해, 테이블 부분(69)과 가동체(95)를 선택적으로 전후방향(X)으로 이동시킬 수가 있다.

예컨대, 구동수단(70)은 이동체(73)를 전후방향(X)으로 이동시킨다. 이동체(73)에는, 전후방향(X)에 대략 수직인 방향으로 핀부(71)를 2방향으로 선택적으로 돌출시키는 듀얼식 에어실린더(75)가 탑재된다. 도 19(1)에 도시된 것과 같이,에어실린더(75)가, 핀부(71)를 제1 방향으로 돌출시켜, 핀부(71)를 가동체(95)에 끼워 맞춤으로써, 이동체(73)와 함께 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시킬 수가 있다. 또 도 19(2)에 도시된 것과 같이, 에어실린더(75)가 핀부(71)를 제2 방향으로 돌출시켜 테이블 부분(69)에 끼워 맞추도록 함으로써, 이동체(73)와 함께 테이블 부분(69)을 전후방향(X)으로 이동시킬 수가 있다.

본 실시형태에서는, 가동체(95)를 이동시키는 구동수단을 FOUP 지지부(31) 근방에 설치할 수가 있기 때문에, FOUP 지지부(31)에 설치되는 다른 구동수단과 가동체 구동수단을 겸용하는 구성으로 할 수가 있다. 테이블 부분(69) 등을 매개로 FOUP(25)를 전후방향(X)으로 이동시키는 기판 용기 구동수단을 이용해서 가동체 구동수단을 실현함으로써, 가동체를 변위구동시키기 위한 구동원과 기판 용기를 변위구동시키기 위한 구동원의 2개의 구동원을 사용할 필요가 없이, 1개의 구동원으로 기판 용기 구동수단과 가동체 구동수단을 실현할 수가 있어서, 기판 용기 오프너의 구동원의 수를 줄일 수가 있다. 이와 같이, FOUP 지지부(31)에 설치되는 다른 구동수단으로 가동체 구동수단을 겸용하도록 함으로써 구동수단의 수를 줄일 수가 있어, 구조를 간단화할 수가 있음과 더불어, 설계의 자유도를 높일 수가 있게 된다. 또, 오프너(26)를 소형화할 수 있음과 더불어, 구조를 간단화할 수가 있다.

앞에서 설명한 본 실시형태는 본 발명의 예시에 지나지 않는바, 발명의 범주 내에서 달리 구성을 변경할 수가 있다. 예컨대, 본 실시형태에서는 대상(對象) 기판으로 반도체 웨이퍼(24)에 대해 설명하였으나, 반도체 웨이퍼 이외의 기판인, 예컨대 FPD(Flat Panel Display)에 쓰이는 유리기판 등이어도 마찬가지 효과를 달성할 수가 있다. 또, 이동궤적에 대해서도, 도 17에 도시된 궤적 이외의 것으로 된 것이어도 좋다. 또, 기판 용기로서 FOUP(25)를 이용하였으나, FOSB(Front Opening Shipping Box)이어도 좋다. 또 본 실시형태에서는, 접속부(93)를 수평 또는 대략 수평으로 동작시키면 되고, 가동체(95)는 수평으로 이동하지 않아도 된다. 또 본 실시형태에서는, FOUP 지지부(31)의 하방(Z2)에 가동체(95)가 배치되었으나, FOUP 지지부(31)의 상방(Z1) 또는 좌우방향(Y)에 가동체(95)가 배치되어도 좋다. 또 링크부재(92)에 대해서도, 2개 이상의 링크부재에 의해 평형 링크기구가 형성되어도 좋다. 또, 링크부재가 좌우방향(Y)으로 가늘게 형성되어, 준비공간(29)과 FOUP 지지부(31) 내를 칸막이하는 칸막이벽에 형성되는 슬릿 홈을 통과해서, 준비공간(29)과 FOUP 지지부(31)에 걸쳐 뻗도록 하여도 좋다,

Claims

미리 설정된 정면방향으로 개방되어 기판이 수용되는 수용공간이 형성되는 용기 본체와, 용기 본체에 대해 착탈될 수 있게 형성되어, 용기 본체에 장착된 상태에서 수용공간의 개구를 막는 용기측 도어를 가진 기판 용기를 개폐하는 기판 용기 오프너의 일부를 구성하고서, 용기 본체로부터 벗겨지는 용기측 도어인 FOUP 측 도어(61)를 파지할 수 있는 오프너 측 도어(65)를 변위구동하는 오프너 측 도어 구동기구(66)로서,

(a) 기판 용기 오프너의 일부를 구성하는 용기 지지부에 위치결정되어 지지되는 용기 본체에서 정면방향으로 되는 전방(X1)과, 상기 전방(X1)과 방향이 반대로 되는 후방(X2)을 포함하는 전후방향(X)으로 이동할 수 있는 가동체(95)와,

(b) 상기 가동체를 상기 전후방향(X)으로 변위구동하는 가동체 구동수단(94)과,

(c) 오프너 측 도어(65)에 고정되는 접속체(93)와,

(d) 가동체(95)와 접속체(93)를 연결해서 평행링크기구를 구성하고서, 가동체(95)에 대해 접속체(93)를 상기 전후방향(X)에 수직으로 뻗은 각변위 축선(L) 주위에서 상대적으로 각변위할 수 있게 연결하는 복수의 링크부재(92)와,

(e) 가동체(95)의 전후방향 위치에 대응해서 미리 정해진 각도 위치로 가동체에 대해 각 링크부재(92)를 각변위시키는 링크부재 각변위수단(91)으로서,

(e1) 오프너 측 도어(65)에 의해 파지되는 용기측 도어가 용기 본체의 개구를 막은 폐쇄 상태에서 가동체(95)가 위치하는 폐쇄위치(P1)와, 상기 폐쇄위치로부터 가동체(95)가 전방(X1)에 미리 정해진 설정 거리(A)로 이동한 이간위치(P2) 사이를 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)의 이동방향을 분해한 성분 중에서 적어도 전후방향(X) 성분이 존재하도록 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위를 규제하고,

(e2) 상기 이간위치(P2)보다도 전방(X1)으로 되는 퇴피영역을 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)의 이동방향을 분해한 성분 중에서 적어도 전후방향(X)에 수직인 수직방향 성분이 존재하도록, 가동체(95)의 이동에 연동해서 링크부재(92)를 가동체에 대해 각변위시키는 링크부재 각변위수단(91)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
제1항에 있어서, 상기 링크부재 각변위수단(91)은,

가동체가 상기 폐쇄위치(P1)와 상기 이간위치(P2) 사이를 이동하는 동안, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 일정하게 유지되도록 하고,

가동체(95)가 상기 퇴피영역을 이동하는 사이에는, 가동체(95)의 전방(X1)으로의 이동에 대응해서 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 크게 하고, 가동체의 후방(X2)으로의 이동에 대응해서 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 작게 하는 것임을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
제2항에 있어서, 상기 전후방향(X) 및 상기 각변위 축선(L)은, 수평으로 뻗고,

상기 링크부재 각변위수단(91)은, 가동체(95)가 상기 퇴피영역을 전방(X1)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체에 대해 링크부재(92)를 하방으로 각변위시키고, 가동체가 상기 퇴피영역을 후방(X2)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체(95)에 대해 링크부재(92)를 위쪽으로 각변위시키는 것임을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
제1항에 있어서, 상기 가동체 구동수단(94), 상기 링크부재 각변위수단(91) 및 가동체(95)가 상기 용기 지지부에 지지되는 것을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
제1항에 있어서, 상기 링크부재 각변위수단(91)은, 각 링크부재(92)의 적어도 어느 하나에 설치되는 걸림부(85, 184, 284, 384)와,

걸림부(85, 184, 284, 384)가 걸어 맞춰져, 가동체의 전후방향 위치에 대응해서 가동체에 대한 걸림부의 각도 위치를 규제하는 규제부(84, 185, 285, 385)를 포함해서 구성된 것을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
제1항에 있어서, 상기 가동체 구동수단(94)이, 기판 용기 오프너의 일부를 구성하여, 상기 용기 지지부에 지지되는 기판 용기를 상기 전후방향(X)으로 변위 구동하기 위한 기판 용기 구동수단의 동력을 이용해서 가동체(95)를 전후방향(X)으로 변위구동하는 것임을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
두께 방향으로 관통하는 오프너 개구(35)가 형성되는 정면벽(28a)과,

용기 본체의 개구부가, 원주방향에 걸쳐 상기 정면벽(28a)의 오프너 개구부(68)와 접촉하는 장착위치에 용기 본체를 위치결정 지지하는 용기 지지부와,

용기 지지부에 의해 장착위치에 위치결정 지지되는 용기 본체로부터 용기측 도어를 착탈시킬 수 있는 착탈기구와, 벗겨진 용기측 도어를 파지할 수 있는 파지기구를 갖고서, 상기 오프너 개구(35)를 막는 오프너 측 도어(65)와,

상기 용기측 도어를 파지하는 오프너 측 도어(65)를 변위구동시킬 수 있는 제1항에 기재된 오프너 측 도어 구동기구를 구비한 기판 용기 오프너.
미리 정해진 분위기 중에서 기판 처리를 실행하는 기판 제조장치에 대해, 기판의 반입 및 반출을 실행하는 기판 이재장치의 일부를 구성하는 기판 이재장치로서, 제7항에 기재된 기판 용기 오프너를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 이재장치.