KR20190061193A - 적재물 이탈 방지기능을 가지는 핸들링 로봇이 구비된 무인반송차 - Google Patents

적재물 이탈 방지기능을 가지는 핸들링 로봇이 구비된 무인반송차

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KR20190061193A
KR20190061193A KR1020170159300A KR20170159300A KR20190061193A KR 20190061193 A KR20190061193 A KR 20190061193A KR 1020170159300 A KR1020170159300 A KR 1020170159300A KR 20170159300 A KR20170159300 A KR 20170159300A KR 20190061193 A KR20190061193 A KR 20190061193A
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cassette
gripper
robot arm
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guided vehicle
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윤영민
최진실
문인호
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주식회사 신성에프에이
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Abstract

본 발명의 무인반송차는, 주행경로를 따라 이동하는 구동부; 상기 구동부에 결합되며 카세트를 설정 위치로 로딩 또는 언로딩시키는 로봇암; 및 상기 로봇암에 설치되며 카세트를 파지하는 그립퍼;를 포함하되, 상기 그립퍼는 카세트의 개방방향이 상부를 향하도록 틸팅이 이루어는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 그립퍼와 로봇암의 힌지 구조와 그립퍼를 회전시키는 액츄에이터에 의해 그립퍼는 카세트 개방부위가 설정각도만큼 들리도록 구성하여 로봇암의 동작시에도 카세트에서 웨이퍼가 이탈하는 것을 방지한다.

Description

적재물 이탈 방지기능을 가지는 핸들링 로봇이 구비된 무인반송차{Automatic guided vehicle having handling robot with load-dropping protection}
본 발명은 무인반송차에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼가 수납된 카세트를 공정 간으로 이송하도록 로봇암이 구비된 무인반송차에 관한 것이다.
일반적으로 소형, 경량화의 장점을 갖고 있는 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD)가 활발하게 개발되고 있다.
여기서, 액정표시장치는 고유의 형광 또는 편광층을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있는데, 이와 같은 패널은 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 포토리소그라피(photo lithography)공정, 식각(etching)공정을 여러 번 반복하여 구성하며 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정을 수반하게 된다.
한편, 이와 같은 수많은 단위 공정들로 이루어진 액정표시장치의 제조공정은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있으며, 클린룸 내부의 특정 공정장비에 의해 공정이 완료된 다수의 웨이퍼는 카세트(cassette)에 적재된 후 자동반송시스템에 의해 클린룸 내에 저장되거나, 또는 다른 공정장비로 이송된다.
여기서, 자동반송시스템은 클린룸 내 공정 간 발생하는 웨이퍼를 수납한 카세트의 저장, 이송을 유기적으로 연결함으로써 전체 제조시스템의 생산성을 극대화시키기 위한 자동 반송시스템을 말하며, 대표적인 클린룸의 자동반송시스템은 스토커(Stocker), OHS(OverHead Shuttle), OHT(Overhead Hoist Transport), 무인반송차(Automated Guided Vehicle : AGV), RGV(Rail Guided Vehicle), Handling robot, Overhead Conveyor, Overhead Carrier Vehicle 등이 있다.
이 중 무인반송차는 웨이퍼가 구비된 카세트를 공정으로 공급하거나 공정간으로의 이송작업 등을 수행하기 위한 목적으로 널리 이용되고 있다.
또한, 무인반송차에는 카세트를 적재하기 위한 로봇암이 탑재되어 있으며, 상기 로봇암은 카세트의 그립, 카세트를 다음 공정으로 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)을 자동적으로 수행한다.
그러나, 종래의 무인반송차는 웨이퍼의 수납을 위해 도 1과 같이 일측이 개방된 형태의 카세트를 다관절 로봇암이 그립 후 뻗거나 접을 때에 관성에 의해 웨이퍼가 카세트에서 이탈하여 낙하하는 문제점이 있었다.
따라서, 카세트에 수납된 웨이퍼의 이탈을 억제하는 개선된 형태의 로봇암이 구비된 무인반송차의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
등록특허공보 제1918168호(2017.01.13. 등록) 공개특허공보 제2015-0115345호(2015.10.14. 공개)
본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 카세트 개방부위가 상측을 향하도록 카세트를 회전시켜 카세트에서 웨이퍼가 이탈하는 것을 억제하는 무인반송차를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 무인반송차는, 주행경로를 따라 이동하는 구동부; 상기 구동부에 결합되며 카세트를 설정 위치로 로딩 또는 언로딩시키는 로봇암; 및 상기 로봇암에 설치되며 카세트를 파지하는 그립퍼;를 포함하되, 상기 그립퍼는 카세트의 개방방향이 상부를 향하도록 틸팅이 이루어는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 로봇암과 그립퍼는 힌지결합되며, 상기 그립퍼를 회전시키는 액츄에이터가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 로봇암에는 제1힌지부각 구비되며, 상기 그립퍼에는 상기 제1힌지부와 축 결합하는 제2힌지부가 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 액츄에이터와 연결되는 틸트 링크와, 상기 틸트 링크과 힌지결합되도록 상기 제1힌지부에 구비된 틸팅부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 무인반송차에 따르면, 그립퍼와 로봇암의 힌지 구조와 그립퍼를 회전시키는 액츄에이터에 의해 그립퍼는 카세트의 개방부위가 설정각도만큼 들리도록 구성하여 로봇암의 동작시에도 카세트에서 웨이퍼가 이탈하는 것을 방지한다.
도 1은 공지의 카세트를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 무인반송차를 분해 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 결합상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 측면도이다.
도 5는 도 4의 작동상태도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 무인반송차를 분해 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 결합상태를 도시한 사시도이며, 도 4는 도 3의 측면도이고, 도 5는 도 4의 작동상태도이다.
도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 무인반송차(A)는, 주행경로를 따라 이동하는 구동부(100)와, 상기 구동부(100)에 결합되며 카세트(C)를 설정 위치로 로딩 또는 언로딩시키는 로봇암(200) 및 상기 로봇암(200)에 설치되며 카세트(C)를 파지하는 그립퍼(300)로 구성된다.
상기 구동부(100)는 클린룸 내부의 특정 공정장비에 의해 공정이 완료된 다수의 웨이퍼가 수납된 카세트(Cette)를 클린룸 내에 저장되거나, 또는 다른 공정장비로 이송한다.
상기 로봇암(200)은 카세트(C)를 공정에 로딩 또는 언로딩하도록 다관절로 형성되어 카세트를 선단으로 이동시킨다.
상기 그립퍼(300)는 카세트(C)의 플랜지를 양측에서 파지하도록 구성된다.
이때, 상기 그립퍼(300)는 카세트(C)의 개방방향이 상부를 향하도록 틸팅이 이루어지도록 구성되어 있어 카세트(C)의 내부에 수납된 웨이퍼의 이탈을 억제한다.
구체적으로, 상기 로봇암(200)과 그립퍼(300)는 힌지결합되며, 상기 그립퍼를 회전시키는 액츄에이터(미도시)가 더 구비된다. 상기 액츄에이터는 파워실린더, 스텝모터, 볼스크류 등 같이 다양한 형태의 구동원이 적용될 수 있다.
또한, 상기 로봇암(200)에는 제1힌지부(210)가 구비되며, 상기 그립퍼(300)에는 상기 제1힌지부(210)와 축 결합하는 제2힌지부(310)가 더 구비된다.
그리고, 상기 액츄에이터와 연결되는 틸트 링크(400)와, 상기 틸트 링크(400)와 힌지결합되도록 상기 제1힌지부(210)에는 틸팅부재(211)가 더 구비된다.
이에 따라, 상기 그립퍼(300)가 카세트(C)의 상부 플렌지를 파지하여 도 4와 같이 로봇암(200)과 카세트(C)는 평행 상태를 유지한다.
이후, 로봇암(200)이 카세트(C)를 이송시킬 때에는 일정 높이만큼 상승한 후에, 카세트(C)에 수납된의 웨이퍼가 이탈이나 낙하를 방지하도록 액츄레이터가 구동한다.
즉, 도 5와 같이 액츄에이터가 구동함에 따라 틸트 링크(400)는 상부로 이동하며 그립퍼(300)와 카세트(C)의 개방부위가 상측을 향하도록 한다.
본 발명에 따르면, 그립퍼(300)와 로봇암(200)의 힌지 구조와 그립퍼(300)를 회전시키는 액츄에이터에 의해 그립퍼(300)는 카세트(C)의 개방부위가 설정각도만큼 들리도록 구성하여 로봇암(200)의 동작시에도 카세트(C)에서 웨이퍼가 이탈하는 것을 방지한다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
A - 무인반송차
100 - 구동부
200 - 로봇암
300 - 그립퍼

Claims (4)

  1. 주행경로를 따라 이동하는 구동부;
    상기 구동부에 결합되며 카세트를 설정 위치로 로딩 또는 언로딩시키는 로봇암; 및
    상기 로봇암에 설치되며 카세트를 파지하는 그립퍼;를 포함하되,
    상기 그립퍼는 카세트의 개방방향이 상부를 향하도록 틸팅이 이루어는 것을 특징으로 하는 무인반송차.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 로봇암과 그립퍼는 힌지결합되며, 상기 그립퍼를 회전시키는 액츄에이터가 더 구비된 것을 특징으로 하는 무인반송차.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 로봇암에는 제1힌지부각 구비되며, 상기 그립퍼에는 상기 제1힌지부와 축 결합하는 제2힌지부가 구비된 것을 특징으로 하는 무인반송차.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 액츄에이터와 연결되는 틸트 링크와, 상기 틸트 링크과 힌지결합되도록 상기 제1힌지부에 구비된 틸팅부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무인반송차.
KR1020170159300A 2017-11-27 2017-11-27 적재물 이탈 방지기능을 가지는 핸들링 로봇이 구비된 무인반송차 KR20190061193A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20150115345A (ko) 2014-04-03 2015-10-14 (주)아티스 포크리프트 및 이를 구비한 무인이송운반대차
KR101918168B1 (ko) 2017-10-16 2018-11-14 삼성에스디에스 주식회사 3차원 계측 방법 및 그 장치

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