JP2002313873A - 搬送ロボット移転対応型搬送装置及び搬送ロボット移転方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送装置１０４の大型化を抑制しクリーンル
ーム１００の設置場所を有効利用をしつつ、搬送ロボッ
ト１０６が大型化しても設備費を増大させることなく、
搬送ロボット１０６の移転が行える装置及び方法を提供
する。 【解決手段】 本発明は、基板を搬送する搬送ロボット
１０６と、搬送ロボット１０６を設置する搬送ロボット
設置ステージ７と、搬送ロボット設置ステージ７の側面
に配置された少なくとも１つのカセットステージ５とを
備える搬送装置４において、各カセットステージ５が搬
送ロボット設置ステージ７及び他のカセットステージ５
に対して着脱自在の搬送ロボット移転対応型搬送装置４
１から着脱自在型カセットステージ５１を取り外す過程
と、搬送ロボット設置ステージ７の側面から搬送ロボッ
ト１０６を搬入出する過程とから成り、搬送ロボット１
０６を搬入出する過程にロボット搬入出装置１１を用い
る搬送装置及び搬送ロボット移転方法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶パネ
ル，半導体製品の製造作業において、液晶基板，ウエハ
等の薄板状のワーク（以下、基板という）を搬送する搬
送ロボットを保守、修理、交換するために、搬送ロボッ
トが設置されている場所から、他の場所に移転させる装
置及び方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、液晶パネルの製造工程には、基
板に、薄膜形成処理，洗浄処理，レジスト塗布等の基板
処理を行う工程がある。これらの基板処理工程では、カ
セットに収容された基板を、基板処理装置内に搬送した
り、基板処理装置から処理の終わった基板を取り出す作
業を行うために、搬送ロボットが使用されている。

【０００３】図２は、基板処理工程の設備例を示す平面
図であり、この図２を用いて搬送ロボット１０６の役割
を説明する。例えば、クリーンルーム１００内のカセッ
トストック場所１０１にあるカセット１０２は、クリー
ンルーム１００内の通路を移動してカセット１０２を搬
送する搬送台車１０３によって搬送装置内１０４内の固
定型カセットステージ１０５に搬送される。

【０００４】搬送装置１０４は、固定型カセットステー
ジ１０５、搬送ロボット１０６及び搬送ロボット１０６
を設置する搬送ロボット設置ステージ１０７から構成さ
れている。また、搬送ロボット設置ステージ１０７の側
面には、基板に、薄膜形成処理，洗浄処理，レジスト塗
布等の処理を行う基板処理装置１０８が配置されてい
る。

【０００５】カセット１０２が、固定型カセットステー
ジ１０５に搬送されると、搬送ロボット１０６は、各カ
セットに収容されている基板を１枚ずつ取り出して基板
処理装置１０８に搬送したり、基板処理装置１０８から
処理の終わった基板を取り出す作業等を行う。なお、搬
送ロボット設置ステージ１０７には、搬送ロボット１０
６を、図２のＹ方向に移動させる機構が備えられてい
て、搬送ロボット１０６を基板の搬送に適した位置（通
常、カセットまたは基板処理装置１０８の真正面の位
置）に適宜移動させることができる。また、搬送ロボッ
ト設置ステージ１０７は、搬送ロボット１０６を図２の
Ｙ方向以外に移動させる機構を備えてもよい。

【０００６】図３は、搬送ロボット１０６を用いて固定
型カセットステージ１０５の上にあるカセット１０２内
の基板１１４を取り出すときの説明図である。搬送ロボ
ット１０６は、例えば、図３に示すような形状をしてお
り、ベース機構１１０と昇降機構１１１と１組のアーム
機構１１２とアーム機構の先端に軸支されたハンド部材
１１３とを備えている。ベース機構１１０は、内部に図
示しない複数のモータを備えていて昇降機構１１１を昇
降させるとともに昇降機構１１１をＺ軸の軸心周りに回
動させることができる。アーム機構１１２は、昇降機構
１１１に軸支された第１のアーム１１２ａと第２のアー
ム１１２ｂとが連結していて、ハンド部材１１３を少な
くともＸ方向に移動させる機構である。このアーム機構
１１２の動力もベース機構１１０内に備えられたモータ
によって供給される。

【０００７】また、ハンド部材１１３は、図示しない真
空吸着等の手段によってハンド部材１１３の上面に基板
１１４を載せて固定させることができる。なお、図３の
例では、１組のアーム機構を備えた搬送ロボット１０６
であるが、複数組のアーム機構を備えた搬送ロボット１
０６であってもよい。また、基板１１４を搬送できれば
他の構造の搬送ロボット１０６でもよい。

【０００８】カセット１０２は、例えば、図３に示すよ
うに複数のスロットが設けられ、複数枚の基板１１４を
収容させることができる容器である。固定型カセットス
テージ１０５は、搬送ロボット１０６がカセット１０２
内の基板１１４を搬送するのに適した位置にカセット１
０２を固定することができる装置である。図３の図例で
はカセット１０２を固定型カセットステージ１０５の上
部に載置し、図示しない固定機構によってカセット１０
２を固定している。

【０００９】なお、図３では、説明を簡略化するため
に、カセット１０２と固定型カセットステージ１０５と
をそれぞれ１つだけ示し、搬送ロボット設置ステージ１
０７に備えられたＹ方向の移動機構の図示を省略してい
る。

【００１０】このような搬送ロボット１０６を用いて、
基板１１４を取り出す手順を説明する。まず、ハンド部
材１１３をＸ１方向に移動させてハンド部材を目的とす
る基板１１４の下方に配置されるようにカセット１０２
内に挿入する。その後、ハンド部材１１３を上昇させ
て、ハンド部材１１３の上面に目的とする基板１１４を
載せて固定する。そして、ハンド部材１１３をＸ２方向
に移動させれば、基板１１４をカセットから取り出すこ
とができる。基板１１４をカセット内に投入する場合
は、上記と逆の手順の作業を行えばよい。

【００１１】なお、基板処理装置１０８に基板１１４を
搬送したり、基板処理装置１０８から基板１１４を取り
出すときも、同様に、ハンド部材１１３をＸ方向に移動
させたり、Ｚ方向に移動さることによって実現できる。

【００１２】（従来技術１）図４は、従来技術１の搬送
装置の概略平面図であり、この従来技術１の搬送装置
は、搬送ロボット設置ステージ１０７と固定型カセット
ステージ１０５とがそれぞれ固定されていて、全体が一
体となっている。また、搬送ロボット設置ステージ１０
７の側面には、基板処理装置１０８が配置されている。
なお、図４では、２組のアーム機構を備えた搬送ロボッ
ト１０６を使用した例を示しているが、１組のアーム機
構を備えた搬送ロボット１０６を使用してもよい。

【００１３】また、前述したように搬送ロボット１０６
は、固定型カセットステージ１０５に搬送されたカセッ
ト１０２から基板１１４を取り出して基板処理装置１０
８内に搬送したり、基板処理装置１０８内から基板１１
４を取り出す作業を行っている。そのために、搬送ロボ
ット設置ステージ１０７内を移動する必要があるので、
搬送ロボット設置ステージ１０７内には、搬送ロボット
１０６を移動させるためにスライダー等の移動機構が設
けられている。そして、通常は、搬送ロボット設置ステ
ージ１０７内の作業領域ＯＰＥ内で搬送作業を行ってい
る。

【００１４】しかし、搬送ロボット１０６を新型に交換
する等で、搬送ロボット１０６を搬送装置外に搬出する
必要が生じた場合、搬送ロボット１０６は、搬送ロボッ
ト設置ステージ１０７内の退避領域ＯＵＴまで移動した
後、ロボット搬入出口ＴＲから搬送ロボット設置ステー
ジ１０７外に移転していた。

【００１５】搬送ロボット１０６を搬送ロボット設置ス
テージ１０７に搬入するときは、搬出するときとは逆に
ロボット搬入出口ＴＲから搬送ロボット１０６を移転し
て搬送ロボット設置ステージ１０７内の退避領域ＯＵＴ
に設置した後、作業領域ＯＰＥに移動させていた。

【００１６】なお、通常、ロボット搬入出口ＴＲの側面
は板等で覆われているので、搬送ロボット１０６を搬出
または搬入するときは、板等を取り外した後に、移転作
業を行っていた。また、通常、搬送ロボット設置ステー
ジ１０７の左側面Ｌと右側面Ｒとには、柱、扉などが配
置されているので、この左側面Ｌまたは右側面Ｒから搬
送ロボット１０６を移転できないようになっている。

【００１７】（従来技術２）図５は、従来技術２の搬送
装置の概略平面図であり、従来技術１の搬送装置１０４
と同様に、搬送ロボット設置ステージ１０７と固定型カ
セットステージ１０５とがそれぞれ固定されていて、全
体が一体となっている。また、搬送ロボット設置ステー
ジ１０７の側面には、基板処理装置１０８が配置されて
いる。

【００１８】このような搬送装置１０４で搬送ロボット
１０６を搬送ロボット設置ステージ１０７外に移転する
必要が生じた場合、従来技術１とは異なり、搬送ロボッ
ト設置ステージ１０７内に退避領域ＯＵＴがないので、
退避領域ＯＵＴに搬送ロボット１０６を移動させること
ができない。そのために、搬送ロボット１０６を搬送ロ
ボット設置ステージ１０７外に移転するときは、搬送ロ
ボット１０６を上に吊り上げて搬送ロボット設置ステー
ジ１０７外に移転する必要があった。

【００１９】図６は、従来技術２の搬送ロボット１０６
の移転方法例を示した搬送ロボット設置ステージ１０７
の縦断側面図である。なお、固定型カセットステージ１
０５は図示を省略している。図６に示すように搬送ロボ
ット１０６を搬送ロボット設置ステージ１０７外に移転
するときは、搬送ロボット１０６をスライド機構付きク
レーン１１５によって吊り上げて、搬送ロボット設置ス
テージ１０７外に移転していた。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】（従来技術１）従来技
術１では、搬送ロボット設置ステージ１０７内に退避領
域ＯＵＴが必要であるので、次の問題が生じていた。 搬送装置１０４が大型化するので設置面積が大きくな
ってしまう。 退避領域ＯＵＴは、搬送ロボット１０６の移転時にし
か使わないので有効的でない。 これらの問題は、搬送装置１０４が設置されるクリーン
ルーム１００においては重要な問題である。その理由
は、クリーンルーム１００の限られた広さの中に、多く
の装置を設置する必要があるので、それぞれの装置は、
より小型化が求められるからである。

【００２１】（従来技術２）従来技術２では、搬送ロボ
ット設置ステージ１０７内に退避領域ＯＵＴがないの
で、従来技術２に比べて、搬送装置１０４の設置面積は
小さい。しかし、近年、基板１１４の大型化が進み、そ
れに伴い搬送ロボット１０６も大型化して重量が重くな
ったので、従来技術２のように搬送ロボット１０６を上
に吊り上げて搬出・搬入する方法では、次のような問題
が生じていた。 大型の搬送ロボット１０６では、吊り上げ高さを高く
する必要があるので、スライド付きクレーン１１５を高
い位置に設置する必要がある。しかし、クリーンルーム
１００の天井高さが、大型の搬送ロボット１０６を吊り
上げるために必要な高さ以下である場合は、従来技術２
の方法は採用できない。 大型の搬送ロボット１０６は重量も重いので、スライ
ド付きクレーン１１５を吊り上げ力の強い機種に変更す
る必要がある。そうなるとスライド付きクレーン１１５
が大型化するばかりでなく、設備費も高くなる。さら
に、スライド付きクレーン１１５を設置するフレーム１
１６の強度も強くする必要がある。 吊り上げ高さを高くすることは、安全上好ましくな
い。

【００２２】本願発明は、上記の搬送装置１０４の大型
化を抑制しクリーンルーム１００の設置場所を有効利用
をしつつ、搬送ロボット１０６が大型化しても設備費を
増大させることなく、搬送ロボット１０６の移転をする
ことができる搬送ロボット移転対応型搬送装置及び搬送
ロボット移転方法を提供することにある。

【００２３】

【課題を解決するための手段】出願時の請求項１の発明
は、図１２及び実施例３に示すように、基板を収納した
カセットを搭載するカセットステージと、上記カセット
と基板処理装置との間で基板を搬送する搬送ロボット
と、上記搬送ロボットを設置する搬送ロボット設置ステ
ージとを備えた搬送装置において、基板を搬送する搬送
ロボット（１０６）と、搬送ロボット（１０６）を設置
する搬送ロボット設置ステージ（７）と、上記搬送ロボ
ット設置ステージ（７）に隣接して着脱自在に配置され
た着脱自在型カセットステージ（５１）とを備える搬送
ロボット移転対応型搬送装置（４１）である。

【００２４】出願時の請求項２の発明は、図７及び図８
及び実施例１に示すように、基板を収納したカセットを
搭載する複数のカセットステージと、上記カセットと基
板処理装置との間で基板を搬送する搬送ロボットと、上
記搬送ロボットを設置する搬送ロボット設置ステージと
を備えた搬送装置において、基板を搬送する搬送ロボッ
ト（１０６）と、搬送ロボット（１０６）を設置する搬
送ロボット設置ステージ（７）と、上記搬送ロボット設
置ステージ（７）に隣接して着脱自在に配置されると共
に、他のカセットステージ（５ｂ，５ｃ，５ｄ）に対し
て着脱自在に配置された複数の着脱自在型カセットステ
ージ（５１）とを備える搬送ロボット移転対応型搬送装
置（４１）である。

【００２５】出願時の請求項３の発明は、図１１及び図
８及び実施例２に示すように、基板を収納したカセット
を搭載する複数のカセットステージと、上記カセットと
基板処理装置との間で基板を搬送する搬送ロボットと、
上記搬送ロボットを設置する搬送ロボット設置ステージ
とを備えた搬送装置において、基板を搬送する搬送ロボ
ット（１０６）と、搬送ロボット（１０６）を設置する
搬送ロボット設置ステージ（７）と、上記複数のカセッ
トステージ（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）の内の少なくと
も１つのカセットステージ（５ｂ）が上記搬送ロボット
設置ステージ（７）に隣接して着脱自在に配置されると
共に、少なくとも隣接する他のカセットステージ（５
ａ，５ｃ）に対して着脱自在に配置された複数の着脱自
在型カセットステージ（５１）とを備える搬送ロボット
移転対応型搬送装置（４１）である。

【００２６】出願時の請求項４の発明は、図１０に示す
ように、出願時の請求項１又は出願時の請求項２又は出
願時の請求項３に記載の着脱自在型カセットステージ
（５１）が、移動機構を備えている搬送ロボット移転対
応型搬送装置（４１）である。

【００２７】出願時の請求項５の発明は、図８に示すよ
うに、基板を搬送する搬送ロボット（１０６）と搬送ロ
ボット（１０６）が設置されている搬送ロボット設置ス
テージ（７）とカセットステージ（５，５ａ，５ｂ，５
ｃ，５ｄ）とが組み合わされた搬送装置（４１）から着
脱自在型カセットステージ（５１）を取り外す過程と、
搬送ロボット設置ステージ（７）の側面から搬送ロボッ
ト（１０６）を搬入出する過程とから成り、搬送ロボッ
ト（１０６）を搬入出する過程にロボット搬入出装置
（１１）を用いる搬送ロボット移転方法である。

【００２８】出願時の請求項６の発明は、図８に示すよ
うに、出願時の請求項５に記載の搬送ロボット（１０
６）を搬入出する過程が、ロボット搬入出装置（１１）
によって搬送ロボット（１０６）を持ち上げた後に略水
平方向に移行し、その後所望の位置に搬送ロボット（１
０６）を下降させる過程により成る搬送ロボット移転方
法である。

【００２９】

【発明の実施の形態】図１は当該出願に係る発明の特徴
を最もよく表す図である。図１は後述する図８と同じな
ので、説明は図８で後述する。本発明の実施の形態は、
図７乃至図９に示すように、出願時の請求項２と出願時
の請求項４の搬送ロボット移転対応型搬送装置（４１）
の発明に対応しており、基板を収納したカセットを搭載
する複数のカセットステージと、上記カセットと基板処
理装置との間で基板を搬送する搬送ロボットと、上記搬
送ロボットを設置する搬送ロボット設置ステージとを備
えた搬送装置において、基板を搬送する搬送ロボット
（１０６）と、搬送ロボット（１０６）を設置する搬送
ロボット設置ステージ（７）と、上記搬送ロボット設置
ステージ（７）に隣接して着脱自在に配置されると共
に、他のカセットステージ（５ｂ，５ｃ，５ｄ）に対し
て着脱自在に配置された複数の着脱自在型カセットステ
ージ（５１）とを備える搬送ロボット移転対応型搬送装
置（４１）である。

【００３０】また、本発明の実施の形態は、図７乃至図
１０に示すように、出願時の請求項５及び出願時の請求
項６の搬送ロボット移転方法の発明に対応しており、基
板を搬送する搬送ロボット（１０６）と搬送ロボット
（１０６）が設置されている搬送ロボット設置ステージ
（７）とカセットステージ（５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５
ｄ）とが組み合わされた搬送装置（４１）からカセット
ステージ（５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）を取り外す過
程と、搬送ロボット設置ステージ（７）の側面から搬送
ロボット（１０６）を搬入出する過程とから成り、搬送
ロボット（１０６）を搬入出する過程が、ロボット搬入
出装置（１１）によって搬送ロボット（１０６）を持ち
上げた後に略水平方向に移行し、その後所望の位置に搬
送ロボット（１０６）を下降させる過程により成る搬送
ロボット移転方法である。

【００３１】

【実施例】（実施例１）以下に説明する実施例１は、出
願時の請求項２及び請求項４及び請求項５及び請求項６
の発明に対応している。図７乃至図１０は、本発明に係
わる第１の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１の構成
例を示したもので、図７は、本発明の実施例１の搬送ロ
ボット移転対応型搬送装置４１を示す平面図である。図
８（図１と同一の図）は、本発明の搬送ロボット移転対
応型搬送装置４１から搬送ロボット１０６を移転する方
法を示す説明図である。図９は、本発明の搬送ロボット
設置ステージ７の概略側面図であり、図１０は、本発明
のカセットステージ５の移動機構を示す側面図である。
なお、図８は説明を簡略化するために図７に示した搬送
ロボット移転対応型搬送装置４１において、搬送ロボッ
ト設置ステージ７及びカセットステージ５を部分的に図
示した説明図であり、また、基板処理装置１０８の図示
を省略している。以下、この図７乃至図１０を使用し
て、本発明を説明する。

【００３２】従来技術と同様に、搬送ロボット移転対応
型搬送装置４１は、基板を搬送する搬送ロボット１０６
と搬送ロボット１０６が設置された搬送ロボット設置ス
テージ７と複数のカセットステージ（５ａ，５ｂ，５
ｃ，５ｄ）とから構成されている。搬送ロボット１０６
が設置された搬送ロボット設置ステージ７の一側面（基
板処理装置１０８とは反対側の側面）には、カセットス
テージ５が配置されるが、各カセットステージ５は、図
７に示すように、各カセットステージ５が搬送ロボット
設置ステージ７及び他のカセットステージ５に対して着
脱自在であり、搬送ロボット移転対応型搬送装置４１か
ら分離できるようになっている。本明細書では、この分
離可能なカセットステージ５を、着脱自在型カセットス
テージ５１と呼ぶ。

【００３３】そのために、図８（ａ）に示すように、着
脱自在型カセットステージ５１が搬送ロボット設置ステ
ージ７の一側面側に配置された状態から、図８（ｂ）に
示すように、着脱自在型カセットステージ５１を搬送ロ
ボット移転対応型搬送装置４１から分離できる。ここ
で、図９に示すように、搬送ロボット設置ステージ７の
着脱自在型カセットステージ５１側の上部と左右の両側
には、フレーム１０が設けられているが、他の部分に
は、少なくとも搬送ロボット１０６が通過できるだけの
開口部がある。そのために、着脱自在型カセットステー
ジ５１が分離して、他の場所に移動すると、搬送ロボッ
ト設置ステージ７の側面には、搬送ロボット１０６が通
過できるだけの空間が生じるので、搬送ロボット１０６
を移転することができる。

【００３４】そのために、着脱自在型カセットステージ
５１が移動して生じた空間からハンドリフター１１等の
ロボット搬入出装置を用いて搬送ロボット１０６を移転
することができる。図８（ｃ）は、ロボット搬入出装
置、例えばハンドリフター１１の昇降フォーク部１２を
搬送ロボット設置ステージ１０７に挿入した状態を示す
平面図である。また、図８（ｄ）は、図８（ｃ）のＡ−
Ａ断面図であり、ハンドリフターの昇降フォーク部１２
を搬送ロボット設置ステージ７内に挿入していることを
側面から示している。

【００３５】その後、図８（ｅ）に示すように、ハンド
リフター１１の昇降ハンドル１３を回転させて搬送ロボ
ット１０６を持ち上げる。その後、図８（ｆ）に示すよ
うに、ハンドリフター１１を略水平方向に移動させて、
搬送ロボット１０６を搬送ロボット設置ステージ７の側
面から搬出する。そして、所望の位置まで搬出した後、
ハンドリフターの昇降ハンドル１３を回転させて搬送ロ
ボット１０６を下降させ、所定の場所まで移転する。

【００３６】以上は、搬送ロボット１０６を搬送ロボッ
ト設置ステージ７の側面から搬出する場合の説明であっ
たが、搬送ロボット１０６を搬入据え付けする場合は、
上記と逆の手順で作業を行えばよい。このように、本発
明では、搬送ロボット１０６を搬送ロボット設置ステー
ジ７の側面から交換することができる。

【００３７】なお、各着脱自在型カセットステージ５１
は、好ましくは、例えば、図１０に示すように、下部に
キャスター１４等の移動機構が備えられていて移動でき
るようになっている。また、レベルアップアジャスター
１５と呼ばれる固定具が備えられていて、移動した後
に、着脱自在型カセットステージ５１が移動しないよう
にする固定することができる。

【００３８】レベルアップアジャスター１５は、着脱自
在型カセットステージ５１から突出したねじ部１６の長
さを調整できるようになっていて、着脱自在型カセット
ステージ５１が移動しない場合は、図１０（ａ）に示す
ようにレベルアップアジャスター１５のねじ部１６の長
さを長くして着脱自在型カセットステージ５１を床面に
対して固定する。そして、着脱自在型カセットステージ
５１を移動させる場合は、図１０（ｂ）に示すようにレ
ベルアップアジャスター１５のねじ部１６の長さを短く
してキャスターを床面に接地させると、キャスターによ
って移動できる。このような移動機構を備えていると、
着脱自在型カセットステージ５１の移動が簡単にできて
好ましい。なお、着脱自在型カセットステージ５１の移
動機構は、上記の移動機構に限定されるものではなく、
他の構造の移動機構でもよい。また、移動機構を備えな
いで、ハンドリフター１１等のロボット搬入出装置を用
いて移動させてもよい。

【００３９】また、着脱自在型カセットステージ５１を
搬送ロボット設置ステージ７に取り付けるときは、着脱
自在型カセットステージ５１と搬送ロボット設置ステー
ジ７とを、ねじ止め等で固定する。隣り合うカセットス
テージ５どうしは、固定しても固定しなくてもよい。な
お、図７に示した例では、カセットステージ５は４個で
あるが、この数に限定されない。

【００４０】（実施例２）以下に説明する実施例２は、
出願時の請求項３乃至請求項６の発明の実施例である。
図１１は、本発明の実施例２の搬送ロボット移転対応型
搬送装置４１を示す平面図である。図１１に示すよう
に、実施例２は、実施例１と同様に、搬送ロボット１０
６が設置された搬送ロボット設置ステージ７の一側面に
は、カセットステージ５が配置されるが、実施例１とは
異なり、特定のカセットステージ（例えば５ｂ）だけ
が、搬送ロボット設置ステージ７及び他のカセットステ
ージ５ａ，５ｃに対して着脱自在の着脱自在型カセット
ステージ５１であり、搬送ロボット移転対応型搬送装置
４１から分離できるようになっている。なお、特定のカ
セットステージ（例えば５ｂ）は、図１１に示すように
１つでもよいし、複数個でもよい。また、着脱自在型カ
セットステージ５１以外のカセットステージ５ａ，５ｃ
は、搬送ロボット設置ステージ７に固定されている。

【００４１】（実施例３）以下に説明する実施例３は、
出願時の請求項１の発明の実施例である。図１２は、本
発明の実施例３の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１
を示す平面図である。図１２（ａ）に示すように、実施
例３は、搬送ロボット１０６が設置された搬送ロボット
設置ステージ７の一側面に、カセットステージ５が搬送
ロボット設置ステージ７に対して着脱自在に配置され、
搬送ロボット移転対応型搬送装置４１から移動できるよ
うになっている。この着脱自在型カセットステージ５１
は、搬送ロボット移転対応型搬送装置４１から分離させ
るまでもなく、図１２（ｂ）に示すように、搬送ロボッ
ト１０６が搬入出できる程度の空間をあけるためのスラ
イド機構で移動させてもよい。この実施例３は、実施例
１及び実施例２のように、搬送ロボット１０６が前方の
通路を塞がないので、搬送ロボットの交換作業中であっ
ても、カセットを搭載運搬するカセットを運搬台車が通
過することができる。

【００４２】

【発明の効果】以上のようにカセットステージ５が搬送
ロボット設置ステージ７及び他のカセットステージ５に
対して着脱自在であると、着脱自在型カセットステージ
５１を搬送ロボット設置ステージ７から分離し又は移動
させることができるので、分離又は移動したカセットス
テージ５に対応する搬送ロボット設置ステージ７の側面
に搬送ロボット１０６が通過できる空間が生じる。する
と、搬送ロボット設置ステージ７の側面から搬送ロボッ
ト１０６を移転することができるので、従来技術１のよ
うに退避領域ＯＵＴを設ける必要がなくなる。そのため
に、クリーンルー１００ムの設置面積を有効に利用する
ことができるようになる。

【００４３】また、搬送ロボット１０６を搬送ロボット
設置ステージ７の側面から移転することができるので、
従来技術２のように、スライド付きクレーン１１５を設
置して、高い位置に吊り上げる必要もない。そのため
に、搬送ロボット１０６が大型化しても、天井の高さの
制限を受けて吊り上げられない場合がなくなる。また、
スライド付きクレーン１１５を必要としないので、設備
費も低減できる。さらに、重量の重い搬送ロボット１０
６を吊り上げる必要がないので安全上も好ましい。

【００４４】また、特定のカセットステージ５ａだけが
分離できるようにしてもよく、この場合は、従来の搬送
装置１０４からの変更点が少なくて済むという利点があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】当該出願に係る発明の特徴を最もよく表す図で
ある。

【図２】基板処理工程の設備例を示す平面図である。

【図３】搬送ロボット１０６を用いてカセットステージ
１０５の上にあるカセット１０２内の基板１１４を取り
出すときの説明図である。

【図４】従来技術１の搬送装置の概略平面図である。

【図５】従来技術２の搬送装置の概略平面図である。

【図６】従来技術２の搬送ロボット１０６の移転方法例
を示した搬送ロボット設置ステージ１０７の縦断側面図
である。

【図７】本発明の実施例１の搬送ロボット移転対応型搬
送装置４１を示す平面図である。

【図８】本発明の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１
から搬送ロボット１０６を移転する方法を示す説明図で
ある。

【図９】本発明の搬送ロボット設置ステージ７の概略側
面図である。

【図１０】本発明のカセットステージ５の移動機構を示
す側面図である。

【図１１】本発明の実施例２の搬送ロボット移転対応型
搬送装置４１を示す平面図である。

【図１２】本発明の実施例３の搬送ロボット移転対応型
搬送装置４１を示す平面図である。

【符号の説明】

５ カセットステージ ５ａ乃至５ｄ カセットステージ ７ 搬送ロボット設置ステージ １０ フレーム １１ ロボット搬入出装置／ハンドリフター １２ ハンドリフター１１の昇降フォーク部 １３ ハンドリフター１１の昇降ハンドル １４ キャスター １５ レベルアップアジャスター １６ レベルアップアジャスター１５のねじ部 ４１ （本発明に係る）搬送ロボット移転対応型搬送
装置 ５１ （本発明に係る）着脱自在型カセットステージ １００ クリーンルーム １０１ カセットストック場所 １０２ カセット １０３ 搬送台車 １０４ 搬送装置 １０５ （従来の）固定型カセットステージ １０６ 搬送ロボット １０７ 搬送ロボット設置ステージ １０８ 基板処理装置 １１０ ベース機構 １１１ 昇降機構 １１２ アーム機構 １１２ａ 第１のアーム １１２ｂ 第２のアーム １１３ ハンド部材 １１４ 基板 １１５ スライド機構付きクレーン Ｌ 搬送ロボット設置ステージ１０７の左側面 Ｒ 搬送ロボット設置ステージ１０７の右側面 ＯＰＥ 作業領域 ＯＵＴ 退避領域 ＴＲ ロボット搬入出口

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１３年５月１１日（２００１．５．１
１）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３７】なお、各着脱自在型カセットステージ５１
は、好ましくは、例えば、図１０に示すように、下部に
キャスター１４等の移動機構が備えられていて移動でき
るようになっている。また、レベルアップアジャスター
１５と呼ばれる固定具が備えられていて、移動した後
に、着脱自在型カセットステージ５１が移動しないよう
に固定することができる。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４１】（実施例３）以下に説明する実施例３は、
出願時の請求項１の発明の実施例である。図１２は、本
発明の実施例３の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１
を示す平面図である。図１２（ａ）に示すように、実施
例３は、搬送ロボット１０６が設置された搬送ロボット
設置ステージ７の一側面に、カセットステージ５が搬送
ロボット設置ステージ７に対して着脱自在に配置され、
搬送ロボット移転対応型搬送装置４１から移動できるよ
うになっている。この着脱自在型カセットステージ５１
は、搬送ロボット移転対応型搬送装置４１から分離させ
るまでもなく、図１２（ｂ）に示すように、搬送ロボッ
ト１０６が搬入出できる程度の空間をあけるためのスラ
イド機構で移動させてもよい。この実施例３は、実施例
１及び実施例２のように、搬送ロボット１０６が前方の
通路を塞がないので、搬送ロボットの交換作業中であっ
ても、カセットを搬送する搬送台車が通過することがで
きる。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F333 AA03 5F031 CA02 CA05 DA01 DA17 FA01 FA02 FA11 FA12 FA15 GA43 GA44 GA49 GA50 GA58 MA09 MA23 MA28 MA29 NA02

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を収納したカセットを搭載するカセ
   ットステージと、前記カセットと基板処理装置との間で
   基板を搬送する搬送ロボットと、前記搬送ロボットを設
   置する搬送ロボット設置ステージとを備えた搬送装置に
   おいて、基板を搬送する搬送ロボットと、搬送ロボット
   を設置する搬送ロボット設置ステージと、前記搬送ロボ
   ット設置ステージに隣接して着脱自在に配置された着脱
   自在型カセットステージとを備える搬送ロボット移転対
   応型搬送装置。
2. 【請求項２】 基板を収納したカセットを搭載する複数
   のカセットステージと、前記カセットと基板処理装置と
   の間で基板を搬送する搬送ロボットと、前記搬送ロボッ
   トを設置する搬送ロボット設置ステージとを備えた搬送
   装置において、基板を搬送する搬送ロボットと、搬送ロ
   ボットを設置する搬送ロボット設置ステージと、前記搬
   送ロボット設置ステージに隣接して着脱自在に配置され
   ると共に、他のカセットステージに対して着脱自在に配
   置された複数の着脱自在型カセットステージとを備える
   搬送ロボット移転対応型搬送装置。
3. 【請求項３】 基板を収納したカセットを搭載する複数
   のカセットステージと、前記カセットと基板処理装置と
   の間で基板を搬送する搬送ロボットと、前記搬送ロボッ
   トを設置する搬送ロボット設置ステージとを備えた搬送
   装置において、基板を搬送する搬送ロボットと、搬送ロ
   ボットを設置する搬送ロボット設置ステージと、前記複
   数のカセットステージの内の少なくとも１つのカセット
   ステージが前記搬送ロボット設置ステージに隣接して着
   脱自在に配置されると共に、少なくとも隣接する他のカ
   セットステージに対して着脱自在に配置された複数の着
   脱自在型カセットステージとを備える搬送ロボット移転
   対応型搬送装置。
4. 【請求項４】 出願時の請求項１又は出願時の請求項２
   又は出願時の請求項３に記載の着脱自在型カセットステ
   ージが、移動機構を備えている搬送ロボット移転対応型
   搬送装置。
5. 【請求項５】 基板を搬送する搬送ロボットと搬送ロボ
   ットが設置されている搬送ロボット設置ステージとカセ
   ットステージとが組み合わされた搬送装置から着脱自在
   型カセットステージを取り外す過程と、搬送ロボット設
   置ステージの側面から搬送ロボットを搬入出する過程と
   から成り、搬送ロボットを搬入出する過程にロボット搬
   入出装置を用いる搬送ロボット移転方法。
6. 【請求項６】 出願時の請求項５に記載の搬送ロボット
   を搬入出する過程が、ロボット搬入出装置によって搬送
   ロボットを持ち上げた後に略水平方向に移行し、その後
   所望の位置に搬送ロボットを下降させる過程により成る
   搬送ロボット移転方法。