JP2011032024A - 搬送機構の組み立て方法および搬送室 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 82
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 44
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 36
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000002438 flame photometric detection Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
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- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/066—Transporting devices for sheet glass being suspended; Suspending devices, e.g. clamps, supporting tongs
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract
【解決手段】 搬送体を保持するピックユニットと、ピックユニットをスライドさせるスライドユニットと、スライドユニットを駆動させるドライブユニットと、を含む搬送体を搬送する搬送機構の組み立て方法であって、搬送機構が収容される搬送室4の天井部に、ユニットを吊り上げる吊り上げ機構7を取り付け、この吊り上げ機構7を用いて、搬送室の内部に搬入されたユニットどうしを搬送室4の内部で組み立てる。
【選択図】図4B
Description
前記移動用台車を、前記スライドユニット取り付け部から退避させた後、前記スライドユニットを前記スライドユニット取り付け部まで下げ、前記スライドユニットを前記スライドユニット取り付け部に取り付ける工程と、前記搬送室の天井部から、前記吊り上げ機構を取り外す工程と、前記ピックユニットに、このピックユニットをジャッキアップするジャッキを取り付ける工程と、前記移動用台車に、前記ジャッキボルトが取り付けられた前記ピックユニットを載せる工程と、前記移動用台車を、前記スライドユニットを前記スライドユニットに備えられたスライドベースまで移動させる工程と、前記ジャッキボルトを用いて前記ピックユニットをジャッキアップし、前記ピックユニットを前記移動用台車から離す工程と、前記移動用台車を、前記スライドベースから退避させた後、前記ピックユニットを前記スライドベースまで下げ、前記ピックユニットを前記スライドベースに取り付ける工程と、前記ピックユニットから、前記ジャッキボルトを取り外す工程と、前記レール部材を撤去する工程と、を備える。
Claims (9)
- 搬送体を保持するピックユニットと、前記ピックユニットをスライドさせるスライドユニットと、前記スライドユニットを駆動させるドライブユニットと、を含む前記搬送体を搬送する搬送機構の組み立て方法であって、
前記搬送機構が収容される搬送室の天井部に、前記ユニットを吊り上げる吊り上げ機構を取り付け、この吊り上げ機構を用いて、前記搬送室の内部に搬入された前記ユニットどうしを、前記搬送室の内部で組み立てることを特徴とする搬送機構の組み立て方法。 - 前記ユニットは、前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に装入されたレール部材および前記レール部材に沿って移動する移動用台車により前記搬送室の内部に搬入されることを特徴とする請求項1に記載の搬送機構の組み立て方法。
- 搬送体を保持するピックユニットと、前記ピックユニットをスライドさせるスライドユニットと、前記スライドユニットを駆動させるドライブユニットと、を含む前記搬送体を搬送する搬送機構が収容される搬送室であって、
前記搬送室の天井に設けた取り付け部に、前記ユニットの組み立てに用いる着脱可能な吊り上げ機構を取り付けたことを特徴とする搬送室。 - 搬送体を保持するピックユニットと、前記ピックユニットをスライドさせるスライドユニットと、前記スライドユニットを駆動させるドライブユニットと、を含む前記搬送体を搬送する搬送機構の組み立て方法であって、
前記搬送機構が収容される搬送室の天井部に、前記ユニットを吊り上げる吊り上げ機構を取り付ける工程と、
前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に、移動用台車が移動するレール部材を挿入する工程と、
前記移動用台車に、前記ドライブユニットを載せる工程と、
前記移動用台車を移動させ、前記ドライブユニットを前記搬送室内のドライブユニット取り付け部の上方まで移動させる工程と、
前記吊り上げ機構を用いて前記ドライブユニットを吊り上げ、前記ドライブユニットを前記移動用台車から離す工程と、
前記移動用台車を前記ドライブユニット取り付け部から退避させた後、前記ドライブユニットを前記ドライブユニット取り付け部まで下げ、前記ドライブユニットを前記ドライブユニット取り付け部に取り付ける工程と、
前記移動用台車に、前記スライドユニットを載せる工程と、
前記移動用台車を移動させ、前記スライドユニットを前記ドライブユニットのスライドユニット取り付け部の上方まで移動させる工程と、
前記吊り上げ機構を用いて前記スライドユニットを吊り上げ、前記スライドユニットを前記移動用台車から離す工程と、
前記移動用台車を、前記スライドユニット取り付け部から退避させた後、前記スライドユニットを前記スライドユニット取り付け部まで下げ、前記スライドユニットを前記スライドユニット取り付け部に取り付ける工程と、
前記搬送室の天井部から、前記吊り上げ機構を取り外す工程と、
前記ピックユニットに、このピックユニットをジャッキアップするジャッキを取り付ける工程と、
前記移動用台車に、前記ジャッキボルトが取り付けられた前記ピックユニットを載せる工程と、
前記移動用台車を、前記スライドユニットを前記スライドユニットに備えられたスライドベースまで移動させる工程と、
前記ジャッキボルトを用いて前記ピックユニットをジャッキアップし、前記ピックユニットを前記移動用台車から離す工程と、
前記移動用台車を、前記スライドベースから退避させた後、前記ピックユニットを前記スライドベースまで下げ、前記ピックユニットを前記スライドベースに取り付ける工程と、
前記ピックユニットから、前記ジャッキボルトを取り外す工程と、
前記レール部材を撤去する工程と、
を備えることを特徴とする搬送機構の組み立て方法。 - 前記レール部材が、前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に、前記搬送室に設けられた前記搬送体を搬送する搬送口を介して挿入されることを特徴とする請求項4に記載の搬送機構の組み立て方法。
- 前記搬送室が開放可能、又は着脱自在な側板を有し、
前記レール部材が、前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に、前記側板を開放した部分、又は前記側板を取り外した部分を介して挿入されることを特徴とする請求項4に記載の搬送機構の組み立て方法。 - 前記搬送室がブロックに分割されており、
前記レール部材が、前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に、前記ブロック結合前に生じている開口を介して挿入されることを特徴とする請求項4に記載の搬送機構の組み立て方法。 - 前記レール部材が、一対のレールを有し、
前記ドライブユニット取り付け部が、前記一対のレール間に存在するように、前記搬送室の外部から前記搬送室の内部に、前記レール部材が挿入されることを特徴とする請求項4乃至請求項7いずれか一項に記載の搬送機構の組み立て方法。 - 前記ピックユニットが、搬送体を支持する支持部材を、高さ方向に複数段有していることを特徴とする請求項4乃至請求項8いずれか一項に記載の搬送機構の組み立て方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009178874A JP5419581B2 (ja) | 2009-07-31 | 2009-07-31 | 搬送機構の組み立て方法および搬送室 |
CN201010236456.XA CN101989562B (zh) | 2009-07-31 | 2010-07-22 | 输送机构的组装方法及输送室 |
EP10171215.6A EP2280410A3 (en) | 2009-07-31 | 2010-07-29 | Assembly method of transfer mechanism and transfer chamber |
TW099125426A TW201118025A (en) | 2009-07-31 | 2010-07-30 | Assembly method of transfer mechanism and transfer chamber |
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KR1020100073836A KR101211820B1 (ko) | 2009-07-31 | 2010-07-30 | 반송 기구의 조립 방법 및 반송실 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009178874A JP5419581B2 (ja) | 2009-07-31 | 2009-07-31 | 搬送機構の組み立て方法および搬送室 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011032024A true JP2011032024A (ja) | 2011-02-17 |
JP5419581B2 JP5419581B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=42556908
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009178874A Expired - Fee Related JP5419581B2 (ja) | 2009-07-31 | 2009-07-31 | 搬送機構の組み立て方法および搬送室 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8499430B2 (ja) |
EP (1) | EP2280410A3 (ja) |
JP (1) | JP5419581B2 (ja) |
KR (1) | KR101211820B1 (ja) |
CN (1) | CN101989562B (ja) |
TW (1) | TW201118025A (ja) |
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- 2010-07-29 EP EP10171215.6A patent/EP2280410A3/en not_active Withdrawn
- 2010-07-30 TW TW099125426A patent/TW201118025A/zh unknown
- 2010-07-30 KR KR1020100073836A patent/KR101211820B1/ko not_active IP Right Cessation
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CN101989562A (zh) | 2011-03-23 |
US20110027058A1 (en) | 2011-02-03 |
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JP5419581B2 (ja) | 2014-02-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120528 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130618 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131119 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |