TW201118025A - Assembly method of transfer mechanism and transfer chamber - Google Patents

Description

201118025 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明，係有關於搬運機構組合方法，特別是，係有 關於搬運大型搬運體之搬運機構的組合方法以及該搬運機 構所被收容之搬運室。 【先前技術】 通常，在製造太陽電池模組或者是FPD等之大型製 造物的工廠中，係於其之清淨室內，設置有使重量物作移 動之升降機機構、例如頂板升降機（專利文獻1、2)。 在清淨室內，係被設置有製造出製造物的製造系統。 製造系統，其構成係包含有：在大氣側與減壓側之間而進 行壓力變換之裝載鎖定室、和在減壓狀態下而對於搬運體 (例如由玻璃等所成之被處理基板）施加蝕刻或成膜等的 處理之處理室、以及被保持在減壓狀態下，並且被設置有 在裝載鎖定室與處理室之間而進行搬運體之搬運的搬運機 構之共通搬運室。被設置在共通搬運室內之搬運機構’係 爲大型且爲重量物。當將此種搬運機構設置在共通搬運室 內時，例如，係將搬運機構以分解爲各單元之狀態而搬入 至清淨室內，並在清淨室內進行組合。在此組合中’係使 用有被設置在清淨室內之升降機機構，例如頂板升降機。 [先前技術文獻] [專利文獻] -5- 201118025 [專利文獻1]曰本特開2005-235904號公報 [專利文獻2]日本特開2005-273945號公報 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] 然而，當在工廠內、例如在清淨室內而並未設置有升 降機機構的情況時，要將大型且爲重量物之搬運機構作組 合一事，係變得困難。 本發明，係爲有鑑於上述事態所進行者，其目的，係 在於提供一種：就算是在並未設置升降機機構之工廠中亦 能夠進行組合之搬運機構組合方法。 [用以解決課題之手段] 爲了解決上述課題，本發明之第1形態，係爲一種搬 運機構組合方法，該搬運機構，係包含將搬運體作保持之 拾取單元、和使前述拾取單元作滑動之滑動單元、和驅動 前述滑動單元之驅動單元，並將前述搬運體作搬運，該搬 運機構之組合方法，其特徵爲：在收容前述搬運機構之搬 運室的頂板部處，安裝將前述單元吊起之吊起機構，使用 此吊起機構，來將被搬入至前述搬運室之內部的前述單元 彼此在前述搬運室之內部作組合》 本發明之第2形態，係爲一種搬運室，其係將搬運機 構作收容，該搬運機構，係具備有將搬運體作保持之拾取 單元、和使前述拾取單元作滑動之滑動單元、和驅動前述 -6- 201118025 滑動單元之驅動單元，並將前述搬運體作搬運’該搬運室 ，其特徵爲：在被設置於前述搬運室之頂板的安裝部處’ 安裝有在前述單元之組合中所使用的可裝卸之吊起機構。 本發明之第3形態，係爲一種搬運機構組合方法’該 搬運機構，係包含將搬運體作保持之拾取單元、和使前述 拾取單元作滑動之滑動單元、和驅動前述滑動單元之驅動 單元’並將前述搬運體作搬運，該搬運機構之組合方法’ 其特徵爲，具備有：在收容前述搬運機構之搬運室的頂板 部’安裝將前述單元吊起的吊起機構之工程；和從前述搬 運室之外部而將移動用台車所做移動之軌道構件插入至前 述搬運室的內部之工程；和將前述驅動單元載置於前述移 動用台車上之工程；和使前述移動用台車移動，並將前述 驅動單元移動至前述搬運室內之驅動單元安裝部的上方處 之工程：和使用前述吊起機構而將前述驅動單元吊起，並 使前述驅動單元從前述移動用台車而分離之工程；和使前 述移動用台車從前述驅動單元安裝部而退避，之後，使前 述驅動單元下降至前述驅動單元安裝部處，並將前述驅動 單元安裝在前述驅動單元安裝部處之工程；和將前述滑動 單元載置於前述移動用台車上之工程；和使前述移動用台 車移動，並將前述滑動單元移動至前述驅動單元之滑動單 元安裝部的上方處之工程；和使用前述吊起機構而將前述 滑動單元吊起，並使前述滑動單元從前述移動用台車而分 離之工程；和使前述移動用台車從前述滑動單元安裝部而 退避’之後’使前述滑動單元下降至前述滑動單元安裝部 201118025 處，並將前述滑動單元安裝在前述滑動單元安裝部處 程；和從前述搬運室之頂板部而將前述吊起機構卸下 程；和在前述拾取單元上安裝使此拾取單元進行頂 j a ckup )的千斤頂之工程；和將被安裝有前述千斤頂 之前述拾取單元載置於前述移動用台車用上之工程； 前述移動用台車來使前述滑動單元移動至前述滑動單 具備的滑動基底處之工程；和使用前述千斤頂螺栓來 述拾取單元頂起，並使前述拾取單元從前述移動用台 分離之工程：和使前述移動用台車從前述滑動基底而 ，之後，使前述拾取單元下降至前述滑動基底處，並 述拾取單元安裝在前述滑動基底處之工程；和將前述 頂螺桿從前述拾取單元而卸下之工程；和將前述軌道 撤除之工程。 [發明之效果] 若依據本發明，則係能夠提供—種：就算是在並 置升降機機構之工廠中亦能夠進行組合之搬運機構組 法。 【實施方式】 以下，參考所添付之圖面，而針對本發明之實施 作說明。在此說明中，涵蓋所有之參考圖面，針對相 部分，係附加同樣的參考符號。 圖1，係爲對於能夠實施本發明之其中一種實施 之工 之工 起（ 螺栓 和以 元所 將前 車而 退避 將前 千斤 構件 未設 合方 形態 同之 形態 -8 - 201118025 的搬運機構組合方法之製造系統的其中一例作槪略性展示 之水平剖面圖，圖2係爲沿著圖1中之n - π線的剖面圖 。圖1以及圖2中所示之製造系統，作爲搬運體，係使用 在太陽電池模組或者是FPD之製造中所被使用之玻璃基 板，並爲對於此玻璃基板而施加蝕刻或是成膜的製造系統 〇 如圖1中所示一般，其中一種實施形態之製造系統1 ，其構成係包含有：在大氣側與減壓側之間而進行壓力變 換之裝載鎖定室2、和對於搬運體G (例如玻璃基板）施 加蝕刻或成膜等的處理之處理室3a以及3b、以及在處理 期間中，被保持在減壓狀態下，並且被設置有在裝載鎖定 室2與處理室3a以及3b相互之間而進行搬運體G之搬運 的搬運機構5之共通搬運室4。 於本例中，裝載鎖定室2、處理室3a以及3b、還有 共通搬運室4，係爲真空裝置，並分別具備有被構成爲氣 密並能夠將搬運體G置於特定之減壓狀態下的容器本體 21、31a、31b以及41。在容器本體21、31a、31b以及 41中，係被設置有使搬運體G作進出之開口部22a、22b 、32a > 32b、 42a、 42b 以及 42c° 裝載鎖定室2之容器本體21，係經由此容器本體21 之開口部22a、和將此開口部22a作開閉之閘閥6a ’而與 製造系統1之外部（亦即是大氣側）相通連。開口部22a ，係在處理前之搬運體G的裝載和完成處理之搬運體G 的卸載中而被使用。在大氣側處，係被配置有未圖示之搬 201118025 運體收容容器’該搬運體收容容器，係收容處理前或者是 完成處理之搬運體G。又，容器本體21，係經由此容器 本體21之開口部22a、和將此開口部22b作開閉之閘閥 6b、和容器本體41之開口部42a，而被與共通搬運室4 之容器本體41相通連。 處理室3a之容器本體31a，係經由此容器本體31a 之開口部32a、和將此開口部32a作開閉之閘閥6c、和容 器本體41之開口部42b，而被與共通搬運室4之容器本 體41相通連。同樣的，處理室3b之容器本體31b，係經 由此容器本體31b之開口部32b、和將此開口部32b作開 閉之閘閥6d、和容器本體41之開口部42 c，而被與共通 搬運室4之容器本體41相通連。 在本例中，共通搬運室4之容器本體41的平面形狀 ，係爲矩形狀。在矩形狀之四邊中’係於三邊處而設置有 開口部42a、42b、42c。在共通搬運室4之內部，係被設 置有搬運機構5。搬運機構5，係將搬運體G從裝載鎖定 室2而搬至處理室3a或是3b處、從處理室3a或是3b而 搬至處理室3b或是3&處、從處理室3a或是3b而搬運至 裝載鎖定室2處。因此，搬運機構5’係構成爲：除了使 搬運體G升降之升降動作、以及使搬運體G作旋轉之旋 轉動作外，亦能夠進行對於裝載鎖定室2、處理室3a、3b 之內部的進出退避動作。 具體而言’特別是如同圖2中所示一般，搬運機構5 ，其構成係包含有：將搬運體G作保持之拾取單元51、 -10 - 201118025 和使拾取單元51作滑動之滑動單元52'和驅動滑動單元 52之驅動單元53。 在滑動單元52處，係被安裝有滑動基底52a，拾取 單元51係被安裝在滑動基底52a上。滑動基底52a，係 藉由滑動基底驅動部52b，而在滑動單元52之長邊方向 上作前後滑動。藉由此，拾取單元51，係對於裝載鎖定 室2、處理室3a以及3b之內部而作進出退避。於圖3中 ，係對於拾取單元5 1之例如經由開口部42b而進出之狀 態的剖面圖作展示。滑動單元52，係藉由驅動單元53而 被作升降、旋轉。藉由此，滑動單元52，例如係在共通 搬運室4內而被作升降、旋轉。 本例之製造系統1，係構成爲一次將複數枚之搬運體 G在高度方向上作水平載置，並對於複數之搬運體G作處 理。因此，搬運機構5，係構成爲能夠一次搬運複數枚之 搬送體G。在本例中，拾取單元51，係具備有3段之支 持構件51a、51b、51c，而能夠一次搬運3枚的搬運體G 〇 接著，對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構組 合方法之其中一例作說明。 圖4A乃至圖40，係爲對於本發明之其中一種實施形 態的搬運機構組合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖 〇 於圖4A中’例如，係對於在清淨室內而設置了共通 搬運室4之容器本體41的時間點作展示。本例之共通搬 -11 - 201118025 運室4，係在容器本體41之底部，具備著被安裝有驅動 單元53之驅動單元安裝部43，並在容器本體41之頂板 部處，具備著能夠安裝吊起機構之吊起機構安裝部44。 驅動單元安裝部43，係被設置在容器本體41之底部的略 中央部處，吊起機構安裝部44，係被設置在容器本體41 之頂板部的略中央部處。又，在本例中，驅動單元安裝部 43，係具備有：將驅動單元53作插入之開口部43a、和 被設置在開口部43 a之周圍的驅動單元53之定位以及固 定用的孔部43b。又，吊起機構安裝部44，係具備有用以 將吊起機構作固定之固定用的孔部44a。 接著，如圖4B中所示一般，在吊起機構安裝部44處 ，安裝吊起機構7。本例之吊起機構7，係在孔部44 a處 使用螺桿7c來作固定，並具備有：延伸存在於水平方向 之軌道構件7a、和在軌道構件7a上而以能夠在軌道構件 7a上行走的方式來安裝了的吊鍊區塊7b。接著，將移動 用台車所進行移動之軌道構件8，從共通搬運室4之外部 而插入至共通搬運室4之內部。在本例中，係將軌道構件 8經由開口部42b而插入至共通搬運室4之內部。本例之 軌道構件8，係爲3個的構件所成。本例之3個的構件， 係爲被配置在共通搬運室4之外部並載置搬運機構之單元 的單元載置部8a、和被配置在共通搬運室4之內部的單 元支持部8b、以及橫跨開口部42b而將單元載置部8a與 單元支持部8b作連結之連結部8c。本例之單元載置部8a ，係於其之底部處而被安裝有腳輪81，並能夠作爲台車 -12- 201118025 來在清淨室內之地面上行走。例如，係亦可在載置了單元 的狀態下而行走。於圖5中，對於本例之軌道構件8的平 面圖作展示。 如圖5中所示一般，本例之軌道構件8，係包含有一 對之軌道82。一對之軌道82，係以在此一對之軌道82之 間而存在有驅動單元安裝部43的方式來作配置。進而， 於本例中’如圖6中所示一般，一對之軌道82的寬幅W0 ’係被設爲較拾取單元51之寬幅W1、滑動單元52之寬 幅W2以及驅動單元53之寬幅W3更廣。藉由此，而成爲 能夠介由一對之軌道82之間來進行驅動單元53對驅動單 元安裝部44的安裝、滑動單元52對驅動單元53所具備 的滑動單元安裝部53a之安裝、以及拾取單元51對滑動 單元52所具備的滑動基底52a之安裝。 接著’如圖4 C中所示一般，在軌道構件8、於本例 中，係爲單元載置部8a上，而載置驅動單元移動用台車 9a。接著，在驅動單元移動用台車9a上載置驅動單元53 。接下來，使驅動單元移動用台車9a沿著軌道構件8而 移動，並將驅動單元53 —直移動至共通搬運室4內之驅 動單元安裝部4 3的上方。於本例中，驅動單元5 3，係被 安裝有用以將驅動單元53吊起之吊起治具l〇a。吊起治 具10a，例如，係只要在被設置於驅動單元53處之定位 用孔處而例如使用螺桿來作安裝即可。 接著，如圖4D中所示一般，使用吊起機構7，而將 驅動單元53與吊起治具l〇a —同吊起，並將驅動單元53 •13- 201118025 從驅動單元移動用台車9a分離。之後，使驅動單元移動 用台車9a從驅動單元安裝部43之上方而退避。 接著’如圖4E中所示一般，使用吊起機構7，而將 驅動單元53經由一對之軌道82間來一直下降至驅動單元 安裝部43處。 接著’如圖4F中所示一般，將吊起治具i〇a從驅動 單元53而卸下，並使用吊起機構7而將吊起治具i〇a吊 起。接下來，將驅動單元53例如使用螺桿43c來安裝在 驅動單元安裝部43之孔部43b處》 接著，如圖4G中所示一般，使驅動單元移動用台車 9a從軌道構件8上、例如從單元載置部8a上而卸下，並 代替此而將滑動單元移動用台車9b載置於軌道構件8上 、例如載置於單元載置部8a上。接著，在滑動單元移動 用台車9b上載置滑動單元52。接下來，使滑動單元移動 用台車9b沿著軌道構件8而移動，並將滑動單元52 —直 移動至被設置於驅動單元53處之滑動單元安裝部53a的 上方。於本例中，在滑動單元52處，係被安裝有用以將 滑動單元52吊起之吊起治具10b。吊起治具10b，例如， 係只要在驅動單元53處而例如使用螺桿來作安裝即可。 接著，如圖4Η中所示一般，使用吊起機構7，而將 滑動單元52吊起，並將滑動單元52從滑動單元移動用台 車9b分離。之後，使滑動單元移動用台車9b從滑動單元 安裝部53a之上方而退避。 接著，如圖41中所示一般，使用吊起機構7，而將 -14- 201118025 滑動單元52經由一對之軌道82間來一直下降至滑 安裝部5 3 a處。 接著，如圖4J中所示一般，將吊起治具l〇b 單元52而卸下，並使用吊起機構7而將吊起治具 起。之後，將滑動單元52安裝在滑動單元安裝部 〇 接著，如圖4K中所示一般，將吊起機構7從 運室4之頂板部所具備的吊起機構安裝部44處而 接著，使滑動單元移動用台車9b從軌道構件8上 從單元載置部8a上而卸下，並代替此而將拾取單 用台車9c載置於軌道構件8上、例如載置於單元 8a上。接著，在拾取單元51上，安裝用以將拾取. 作頂起之千斤頂螺桿1 2。於本例中，係將頂起治眉 裝在拾取單元51上’並經由頂起治具11來安裝千 桿1 2。頂起治具1 1，例如，係只要在拾取單元5 1 如使用螺桿來作安裝即可。接著，將被安裝了頂 11之拾取單元51載置於拾取單元移動用台車9c 本例中，係藉由將被安裝於拾取單元51處之頂起; 載置在拾取單元移動用台車9c上，而將拾取單元 於拾取單元移動用台車9c上。接下來，使拾取單 用台車9c沿著軌道構件8而移動，並將拾取單元 移動至被設置於滑動單元52處之滑動基底5 2a的J 接著，如圖4L中所示一般，使用千斤頂螺桿 將拾取單元5 1與頂起治具1 1 —同地頂起，並使頂 動單元 從滑動 1 0 b吊 5 3 a上 共通搬 卸下。 、例如 元移動 載置部 單元5 1 :11安 斤頂螺 處而例 起治具 上。於 台具1 1 51載置 元移動 5 1 -直 :方。 12，來 起治具

C -15- 201118025 11從拾取單元移動用台車9c而分離。之後， 移動用台車9c從滑動基底52a之上方而退避< 接著，如圖4M中所示一般，使用千斤頂 將拾取單元51經由一對之軌道82間來一直下 底5 2a處。接著，將拾取單元51安裝在滑動 〇 接著，如圖4N中所示一般，將頂起治具 單元51而卸下。接著，將拾取單元移動用台1 構件8上、例如從單元載置部8a上而卸下。 最後，如圖40中所示一般，藉由將軌道 ，搬運機構5之組合作業係結束，在共通搬運 ，係被設置有搬運機構5。 若是採用此種搬運機構組合方法，則係在 構5之共通搬運室4的內部、以及構成搬運機 (於本例中，係爲拾取單元5 1、滑動單元5 2 元53)處，而安裝用以使此些之單元移動的 於本例中，係爲吊起機構7以及千斤頂1 1 ) 有此種構成，能夠使用此些之移動機構，而將 共通搬運室4之內部作組合。因此，係能夠得 是在並未設置升降機機構之工廠中亦能夠進行 機構5之組合方法。 以上，雖係針對本發明而根據其中一種實 了說明，但是，本發明係不被上述之一種實施 ，在不脫離發明之趣旨的範圍內，係可作適當 使拾取單元 > 螺桿1 2，而 降至滑動基 基底52a上 1 1從拾取 良9c從軌道 構件8撤去 室4之內部 收容搬運機 構5之單元 以及驅動單 移動機構（ 。藉由具備 單元彼此在 到一種就算 組合之搬運 施形態來作 形態所限定 之變形。又 -16- 201118025 ’本發明之實施形態，亦並非僅有上述之其中一種實施形 育巨 。 例如’在上述其中一種實施形態中，作爲使單元移動 之移動機構，係使用了被安裝在共通搬運室4之內部的吊 起機構7、以及被安裝在單元處（於上述其中一種實施形 態中，係爲被安裝在拾取單元5 1處）的頂起治具1 1之雙 方，但是，亦可僅使用被安裝在共通搬運室4之內部的吊 起機構7、或者是僅使用被安裝在單元處之頂起治具11， 來將搬運機構5在共通搬運室4之內部作組合。 但是，如同上述其中一種實施形態中所示一般，當拾 取單元51係爲在高度方向上而具備有複數段之支持構件 51 a〜5 1c的情況時，由於共通搬運室4之頂板部與拾取單 元5 1間之最上段間的距離係變窄，因此，會有令使用有 吊起機構7之吊起成爲困難的情況。在此種情況中，只要 如同上述其中一種實施形態一般，在拾取單元51處安裝 頂起治具1 1，並使用頂起治具1 1來將拾取單元51作上 升下降即可。 又，在上述其中一種實施形態中，軌道構件8，係經 由被設置在共通搬運室處之使搬運體G作進出的開口部 42a，而被從共通搬運室4之外部來插入至共通搬運室4 之內部。 然而，例如，當共通搬運室4例如爲了進行維修而具 備有可開啓或者是可自由裝卸之側板的情況時，亦可設爲 將軌道構件8經由將側板作了開放的部分或者是將側板作 -17- 201118025 了卸下的部分來從共通搬運室4之外部而插入至共通搬運 室4之內部。 又，例如，當共通搬運室4係爲大型並被分割成了數 個區塊的情況時，亦可設爲經由在區塊結合前所產生的開 口來將軌道構件8從共通搬運室4之外部而插入至共通搬 運室4之內部。 也就是說，軌道構件8,只要是能夠從共通搬運室4 之外部而插入至共通搬運室4之內部的部分，則不論從何 處均能夠作插入。 又，在上述其中一種實施形態中，作爲移動用台車， 係對於每一單元而分別準備了驅動單元移動用台車9a、 滑動單元移動用台車9b、拾取單元移動用台車9c，但是 ，亦可設爲在各單元而爲共通。 又’在上述其中一種實施形態中，係將滑動單元52 與拾取單元51分別地搬入至共通搬運室4之內部，並在 共通搬運室4之內部而進行拾取單元51之對於滑動基底 5 2的組合。 但是，亦可設爲將拾取單元51預先安裝在滑動基底 52上’並將滑動單元52與拾取單元51 —同地搬入至共 通搬運室4之內部，再將滑動單元52安裝在滑動單元安 裝部53a上。 又’在上述其中一種實施形態中，雖係使用吊鍊區塊 7b來構成了吊起機構7,但是，亦可使用吊重器（hoist) 、絞車（winch)、升降機（crane)來構成之。 -18- 201118025 又’在上述其中一種實施形態中，作爲搬運體G，雖 係例示了在太陽電池或者是FPD之製造中所被使用的玻 璃基板’但是，搬運體係並不被限定於玻璃基板，而亦可 爲半導體晶圓等之其他的基板。 【圖式簡單說明】 [圖1 ]對於能夠實施本發明之其中一種實施形態的搬 運機構組合方法之製造系統的其中一例作槪略性展示之水 平剖面圖。 [圖2 ]沿著圖丨中之]][-Π線的剖面圖。 [圖3 ]對於拾取單元經由開口部而進出之狀態作展示 的剖面圖。 [圖4 A]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構 組合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [Η 4B]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構 組合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖4C]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構 組合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖4D]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構 組合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖4Ε]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構組 合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖4F]對於本發明之其中—種實施形態的搬運機構組 合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 -19- 201118025 [圖4G]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構 組合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖4H]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構 組合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖41]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構組 合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖4J]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構組 合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖4K]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構 組合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖4L]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構組 合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖4M]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構 組合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖4N]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構 組合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖。 [圖40]對於本發明之其中一種實施形態的搬運機構 組合方法之其中一例作槪略性展示的剖面圖》 [圖5]軌道構件之平面圖。 [圖6]軌道構件之平面圖。 【主要元件符號說明】 1 :製造系統 2 :裝載鎖定室 -20- 201118025 3 a、3 b :處理室 4 :共通搬運室 5 :搬運機構 6 a〜6 d :鬧閥 7 :吊起機構 8 :軌道構件 9a:驅動單元移動用台車 9b :滑動單元移動用台車 9c :拾取單元移動用台車 10a、10b:吊起治具 1 1 :頂起治具 1 2 :千斤頂螺桿 21、31a、31b、41:容器本體 22a ' 22b、 32a、 32b、 42a~42c:開口部 43 :吊起機構安裝部 44 :驅動單元安裝部 5 1 :拾取單元 51 a〜5 1c :支持構件 52 :滑動單元 52a :滑動基底 52b :滑動基底驅動部 5 3 :驅動單元 5 3 a :滑動單元安裝部 -21 -

Claims (1)

1. 201118025 七、申請專利範圍： 1-一種搬運機構組合方法，該搬運機構，係包含將搬 運體作保持之拾取單元、和使前述拾取單元作滑動之滑動 單元、和驅動前述滑動單元之驅動單元，並將前述搬運體 作搬運， 該搬運機構之組合方法，其特徵爲： 在收容前述搬運機構之搬運室的頂板部處，安裝將前 述單元吊起之吊起機構，使用此吊起機構，來將被搬入至 前述搬運室之內部的前述單元彼此在前述搬運室之內部作 組合。 2. 如申請專利範圍第1項所記載之搬運機構組合方法 ’其中’前述單元，係藉由從前述搬運室之外部而被裝入 至前述搬運室之內部的軌道構件、以及沿著前述軌道構件 而移動之移動用台車，來搬入至前述搬運室之內部。 3. —種搬運室，係將搬運機構作收容，該搬運機構， 係包含將搬運體作保持之拾取單元、和使前述拾取單元作 滑動之滑動單元、和驅動前述滑動單元之驅動單元，並將 前述搬運體作搬運， 該搬運室，其特徵爲： 在被設置於前述搬運室之頂板的安裝部處，安裝有在 前述單元之組合中所使用的可裝卸之吊起機構。 4. —種搬運機構組合方法，該搬運機構，係包含將搬 運體作保持之拾取單元、和使前述拾取單元作滑動之滑動 單元、和驅動前述滑動單元之驅動單元，並將前述搬運體 -22- 201118025 作搬運， 該搬運機構之組合方法，其特徵爲，具備有： 在收容前述搬運機構之搬運室的頂板部，安裝將前述 單元吊起的吊起機構之工程；和 從前述搬運室之外部而將移動用台車所作移動之軌道 構件插入至前述搬運室的內部之工程；和 將前述驅動單元載置於前述移動用台車上之工程；和 使前述移動用台車移動，並將前述驅動單元移動至前 述搬運室內之驅動單元安裝部的上方處之工程；和 使用前述吊起機構而將前述驅動單元吊起，並使前述 驅動單元從前述移動用台車而分離之工程：和 使前述移動用台車從前述驅動單元安裝部而退避’之 後，使前述驅動單元下降至前述驅動單元安裝部處’並# 前述驅動單元安裝在前述驅動單元安裝部處之工程；和 將前述滑動單元載置於前述移動用台車上之工程：和 使前述移動用台車移動，並將前述滑動單元移動至@ 述驅動單元之滑動單元安裝部的上方處之工程；和 使用前述吊起機構而將前述滑動單元吊起，並使前述 滑動單元從前述移動用台車而分離之工程；和 使前述移動用台車從前述滑動單元安裝部而退避’之 後，使前述滑動單元下降至前述滑動單元安裝部處’ 前述滑動單元安裝在前述滑動單元安裝部處之工程；和 從前述搬運室之頂板部而將前述吊起機構卸下之工程 :和 -23- 201118025 在前述拾取單元上安裝使此拾取單元進行頂起（ j a c k u p )的千斤頂之工程；和 將被安裝有前述千斤頂螺栓之前述拾取單元載置於前 述移動用台車用上之工程；和 以前述移動用台車來使前述滑動單元移動至前述滑動 單元所具備的滑動基底處之工程；和 使用前述千斤頂螺栓來將前述拾取單元頂起，並使前 述拾取單元從前述移動用台車而分離之工程；和 使前述移動用台車從前述滑動基底而退避，之後，使 前述拾取單元下降至前述滑動基底處，並將前述拾取單元 安裝在前述滑動基底處之工程；和 將前述千斤頂螺桿從前述拾取單元而卸下之工程；和 將前述軌道構件撤除之工程。 5 .如申請專利範圍第4項所記載之搬運機構組合方法 ，其中，前述軌道構件，係從前述搬運室之外部，經由被 設置在前述搬運室處之將前述搬運體作搬運之搬運口而被 插入至前述搬運室之內部。 6. 如申請專利範圍第4項所記載之搬運機構組合方法 ，其中，前述搬運室，係具備有可開啓或者是可自由裝卸 之側板，前述軌道構件，係從前述搬運室之外部，經由將 前述側板作了開啓的部分或者是將前述側板作了卸下的部 分而被插入至前述搬運室之內部。 7. 如申請專利範圍第4項所記載之搬運機構組合方法 ，其中，前述搬運室，係被分割爲塊體，前述軌道構件， -24- 201118025 係從述搬運室之外部，經由在前述塊體結合前所產生的 開口而被插入至前述搬運室之內部。 8 ·如申請專利範圍第4項至第7項中之任一項所記載 之搬運機構組合方法，其中，前述軌道構件，係具備有一 對之軌道’以使前述驅動單元安裝部存在於前述一對之軌 道間的方式’來從前述搬運室之外部而將前述軌道構件插 入至前述搬運室之內部。 9 ·如申請專利範圍第4項至第7項中之任一項所記載 之搬運機構組合方法，其中，前述拾取單元，係在高度方 向上，而具備有複數段之將搬運體作支持的支持構件。 -25-