JPH11354603A - 搬送装置およびそれを用いた半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】リフト等の付加設備を必要とせず、原点位置を
失うことなくキャリア７を含むアーム部１２を一括して
容易に交換が可能な、メンテナンス性，作業性に優れた
搬送装置および半導体製造装置を提供する。 【解決手段】蛙足型搬送装置において、原点位置で一対
の第１の腕４ａ，４ｂの相対位置を拘束するアーム拘束
ピン５を各々の第１の腕４ａ，４ｂに挿入する。次いで
一対の第１の腕４ａ，４ｂの一方と駆動軸８ａ，８ｂの
相対位置を拘束する原点拘束ピンを挿入し、一対の第１
の腕４ａ，４ｂと各々の駆動軸８ａ，８ｂを締結してい
る固定ネジを取り外す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は物体の搬送装置およ
びそれを用いた半導体製造装置に係わり、特に異種類の
雰囲気条件の処理室を複数連結するための搬送室を備え
た半導体製造装置に用いて好適な搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】サブミクロンオーダのパターンルールが
要求される半導体デバイスの製造装置には、スループッ
トの向上，プロセス装置の小型（少容量）化およびメン
テナンスの容易さが要求される。この理由は、半導体デ
バイスの量産および製造装置の小型化，メンテナンス性
を向上することによって、多大な維持管理費を要するク
リーンルームの占有面積の削減，製造装置の信頼性と稼
働率の向上，半導体デバイスのコスト低減に大きく貢献
できる点にある。

【０００３】このような背景から、特開平4−63414号に
記載のような搬送室を中心に気密シール可能な開閉ゲー
ト弁を介して洗浄，成膜，エッチング，アニールなど異
種類の複数の処理室を備え、大気から隔離した雰囲気下
で各種のプロセスを一貫して行うことによって半導体ウ
エハの汚染防止と、スループット向上を狙ったマルチプ
ロセス装置が提案されている。このマルチプロセス装置
用として、たとえば特開平6−15592号，特開平4−92446
号記載のようなアーム型や蛙足型といった搬送装置が開
発されてきた。

【０００４】これらの半導体製造装置のメンテナンスサ
イクルを制しているのは、主に搬送装置の動力伝達用の
ベルトまたは転がり軸受けである場合が多い。一般に真
空中に置かれる転がり軸受けの寿命は大気中で使用した
場合の寿命と比較して著しく短いものとなる。搬送装置
の回転部に使用されている転がり軸受けには、各腕の伸
縮によって変動するモーメント荷重が繰り返し作用する
ことから、その寿命はさらに短いものとなる。またベル
トは一般にタイミングベルトが使用されるが、その伸び
によるキャリア停止位置精度の著しい劣化、または切断
による動作不良などの諸問題を孕んでいる。これらの交
換作業には多くの時間と労力を必要とすることから、一
般に搬送装置のメンテナンスはキャリアを含むアーム部
全体を交換していた。従来の半導体製造装置の搬送装置
のメンテナンスは、搬送装置全体を搬送室上面からクレ
ーン，リフト等を用いて引き抜く構造となっていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】クレーン，リフトなど
を用いて搬送装置を上部に引き抜いた後、半導体製造装
置の外部まで搬送するメンテナンス方法では、クレーン
の摺動部および搬送装置の駆動源の動力ケーブルなどが
擦れ合い、重金属を含む塵埃が搬送室内を汚染する。ま
た半導体製造装置は一般に個別毎に筐体で囲まれること
から、半導体製造装置毎にクレーンなどが必要となり、
さらに搬送装置の移動空間を確保する必要があることか
ら、装置の大型化，複雑化，高額化の要因となってい
る。

【０００６】また半導体ウエハは直径が１２インチとな
り、それに伴い搬送装置も従来と比較して大型化，大重
量化が進んでいる。このような重量物を上部に引き抜く
作業は複数の作業者を要するとともに落下，衝突等の危
険性をも伴う。さらに再組み付け後は原点位置とアーム
の位置関係を拘束するものがないことから、再テイーチ
ングを行う必要があった。この場合搬送室ばかりでなく
処理室も大気にさらす必要があるなど、搬送装置のメン
テナンス作業には多大な時間を必要としていた。

【０００７】本発明は、キャリアを含むアーム部と駆動
軸を原点の姿勢を保持、および再現可能な分離手段を有
する搬送装置およびそれを搭載した半導体製造装置を提
供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】搬送装置は円板と重力方
向上から必要に応じて気密シールを介して締結する。円
板には、搬送装置の原点時の位相と同一または任意の原
点位置から既知の位相に原点拘束ピンが挿入可能な穴を
設ける。搬送室の円板取り付け面には、半導体製造装置
としてスループットの面から最適な原点位置となる位相
に円板に設けた穴と合致する穴を設ける。円板と搬送室
は、この穴に原点拘束ピンを挿入した状態で、搬送室の
円板取り付け面である搬送装置の外下面に重力方向下か
ら必要に応じて気密シールを介して締結する。

【０００９】搬送装置が蛙足型搬送装置の場合、原点姿
勢で一対の第１の腕および駆動軸に一対の第１の腕の互
いの相対位置および一方の第１の腕と他方の駆動軸の位
相を拘束するアーム拘束ピンが挿入可能な穴を設ける。
キャリアを含むアーム部は、一対の第１の腕の穴にアー
ム拘束ピンを挿入し第１の腕の相対位置を拘束する。次
いで第１の腕と駆動軸に別の原点拘束ピンを挿入し、原
点位置にあることを確認後一対の第１の腕を互いに締結
し、各々の駆動軸からアーム拘束ピンを挿入したまま分
離する。

【００１０】再組み付けは、駆動軸の穴に原点拘束ピン
を挿入した状態で、アーム拘束ピンで相対位置を拘束さ
れた一対の第１の腕を原点拘束ピンを案内として駆動軸
との相対位置を拘束後、各々の第１の腕を各々の駆動軸
と締結する。または原点位置で一対の第１の腕および駆
動軸に一対の第１の腕と駆動軸の位相を拘束するアーム
拘束ピンが挿入可能な穴を設ける。アーム部は第１の腕
と駆動軸の穴にアーム拘束ピンを挿入し一対の第１の腕
と駆動軸の位相を拘束する。

【００１１】次いで一対の第１の腕を互いに締結し、各
々の一対の第１の腕をアーム拘束ピンを挿入した状態で
駆動軸から分離する。再組み付けは、一対の第１の腕
を、一対の第１の腕にアーム拘束ピンを挿入した状態で
駆動軸に設けてある穴に挿入することで一対の第１の腕
と駆動軸の位相を拘束しながら互いに締結する。

【００１２】搬送装置がアーム型搬送装置の場合、原点
姿勢で第１の腕と固定プーリおよび駆動軸に第１の腕と
固定プーリの互いの相対位置および第１の腕と固定プー
リの駆動軸の位相を拘束するアーム拘束ピンが挿入可能
な穴を設ける。キャリアを含むアーム部は、第１の腕お
よび固定プーリの穴にアーム拘束ピンを挿入し第１の腕
と固定プーリの相対位置を拘束する。次いで第１の腕と
固定プーリの駆動軸に別の原点拘束ピンを挿入し、原点
位置にあることを確認後、第１の腕および固定プーリを
締結し、アーム拘束ピンを挿入したまま分離する。

【００１３】再組み付けは、駆動軸の穴に原点拘束ピン
を挿入した状態で、アーム拘束ピンで相対位置を拘束し
た第１の腕と固定プーリを原点拘束ピン９を案内として
駆動軸との相対位置を拘束後、第１の腕および固定プー
リを各々の駆動軸と締結する。

【００１４】または、原点位置で第１の腕と固定プーリ
および固定プーリの駆動軸に、互いの位相を拘束するア
ーム拘束ピンが挿入可能な穴を設ける。キャリアを含む
アーム部は、第１の腕および固定プーリと駆動軸の穴に
アーム拘束ピンを挿入し、第１の腕と固定プーリおよび
駆動軸の相対位置を拘束する。第１の腕および固定プー
リを締結し、アーム拘束ピンを挿入したまま分離する。

【００１５】再組み付けは、駆動軸の穴にアーム部に挿
入してある原点拘束ピンを挿入し、原点拘束ピンを案内
として駆動軸とアーム部の相対位置を拘束後、第１の腕
および固定プーリを各々の駆動軸と締結する。

【００１６】蛙足型搬送装置またはアーム型搬送装置の
アーム部は、以上の手段によって搬送室上部から搬送装
置の駆動部で分離することが可能である。搬送装置の重
量の多くは台を含む駆動源で占められており、アーム部
は半導体基板を高速で搬送する目的で軽量に制作されて
いる。従ってアーム部の引き抜き，再組み付け作業はリ
フトなどの機械を必要とせずに実現できる。

【００１７】台を含む駆動源の搬送室からの分離は、円
板を搬送室から取り外すことで、重力方向下側から分離
することが可能である。再組み付けは円板に設けた穴に
原点割り出しピンを挿入した状態で、原点割り出しピン
を案内として搬送室下部に締結する。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施例を示
している。図１は蛙足型搬送装置を半導体製造装置の搬
送室に使用した実施例であり、原点位置にある蛙足型搬
送装置の縦断面図を示している。なお、以下に示す図に
おいて、同一符号を用いた部材は、同等の機能を有する
部材であることを示している。

【００１９】搬送室１の上蓋２は、開閉可能な構造（図
示せず）となっており、処理室（図示せず）と導入室
（図示せず）が結合している。搬送室１内に図示する蛙
足型搬送装置を配し、駆動源１９ａ，１９ｂを同期して
駆動することによって、キャリア７に積載した半導体ウ
エハ（図示せず）を処理室へ搬送する。

【００２０】第１の腕４ａ，４ｂに、蛙足型搬送装置の
原点位置で合致するピン挿入用の穴３を設ける。このピ
ン挿入用の穴３にアーム拘束ピン５を挿入し、一対の第
１の腕４ａ，４ｂの相対位置を拘束する。蛙足型搬送装
置は、一対の第１の腕４ａ，４ｂと一対の第２の腕６
ａ，６ｂからなるリンク構造である。従って第１の腕４
ａ，４ｂの相対位置を規制することでキャリア７の直進
方向の姿勢を規制することが可能となる。

【００２１】次に同じく蛙足型搬送装置の原点位置で、
第１の腕４ａと駆動軸８ａに合致するピン挿入用の穴３
を設ける。このピン挿入用の穴３に原点拘束ピン９を挿
入することで、キャリア７の回転方向の姿勢を規制する
ことが可能である。第１の腕４ａ，４ｂを互いにアーム
固定ネジ１３で締結する。この状態で、第１の腕４ａ，
４ｂと駆動軸８ａ，８ｂを締結しているネジ１０を取り
外すことによって、キャリア７を含むアーム部１２を一
括して搬送空間側から取り出すことが可能となる。アー
ム部１２の重量は、１２インチウエハを搬送可能な搬送
装置の場合約１０キログラム前後である。十分一人の作
業でもリフト等を用いなくとも取り外すことが可能であ
る。

【００２２】アーム部１２の再組み付けの際は、以下の
手順を採る。駆動軸８ａのピン挿入用の穴３に原点拘束
ピン９を挿入する。メンテナンス後のアーム部１２、ま
たは新しいアーム部１２の第１の腕４ａ，４ｂに、アー
ム拘束ピン５を挿入する。この状態でアーム部１２を搬
送室１上側から原点拘束ピン９を案内として、駆動軸８
ａ，８ｂに挿入し蛙足型搬送装置の原点位置の姿勢とす
る。この後１０ネジを用いて駆動軸８ａ，８ｂと第１の
腕４ａ，４ｂを締結する。締結後アーム拘束ピン５と原
点拘束ピン９を取り外し、搬送室１の上蓋２を閉じるこ
とで、アーム部１２の交換は終了する。

【００２３】以上の構成および手順を採ることによっ
て、アーム部１２の交換は搬送装置の原点位置を失うこ
となく実行できるので、交換後の再テイーチング作業を
省くことができる。従って搬送室１および処理室（図示
せず），導入室（図示せず）を大気にさらす必要性もな
い。

【００２４】一般にこの様な半導体製造装置では、処理
室内部は大気に暴露することで、処理室内部の酸化を伴
う化学的または塵埃などの物理的汚染を避けるためと、
真空雰囲気に排気するのに要する時間，煩雑な手順が必
要となるなどのことから、可能な限り真空雰囲気状態に
保持する。本実施例の構造，手順を採ることで、半導体
製造装置内部を汚染することなく、また搬送室１以外の
部屋を真空雰囲気に排気する必要もないので、迅速なア
ーム部１２の交換が可能である。

【００２５】また本実施例では、アーム拘束ピン５と原
点拘束ピン９を別にしているが、駆動軸８ａにアーム拘
束ピン５の挿入用の穴３を設け、アーム拘束ピン５を駆
動軸８ａまで届かせることで、原点拘束ピン９は不要と
なる。その際アーム拘束ピン５を挿入する位置は、キャ
リア７の直進方向と回転方向の原点位置とする必要があ
る。

【００２６】図２は本発明の別の実施例を示している。
図２はアーム型搬送装置を半導体製造装置の搬送室１に
使用した実施例であり、原点位置にあるアーム型搬送装
置の縦断面図を示している。

【００２７】搬送室１の上蓋２は、開閉可能な構造（図
示せず）となっており、処理室（図示せず）と導入室
（図示せず）が結合している半導体製造装置であり、構
成は第１の実施例と同様である。

【００２８】キャリア７がアーム型搬送装置の原点位置
にある時に、第１アーム１４と固定プーリ１５に合致す
る位置にピン挿入用の穴３を設ける。このピン挿入用の
穴３にアーム拘束ピン５を挿入し、第１アーム１４と固
定プーリ１５の相対位置を拘束する。アーム型搬送装置
は、キャリア７の直進方向の移動は、第１アーム１４に
対して固定プーリ１５を固定し、第１アーム１４のみを
駆動することで得られている。従って第１アーム１４と
固定プーリ１５の相対位置をアーム拘束ピン５で拘束す
ることで、キャリア７の直進方向の姿勢を規制すること
が可能である。

【００２９】次に同じくアーム型搬送装置の原点位置で
固定プーリ１５と駆動軸８ａに合致するピン挿入用の穴
３を設ける。アーム型搬送装置では、第１アーム１４と
固定プーリ１５を同期して駆動することで、キャリア７
の回転方向の移動が得られる。従ってこのピン挿入用の
穴３に原点拘束ピン９を挿入することでキャリア７の回
転方向の姿勢を規制することが可能となる。

【００３０】第１アーム１４の上部に固定プーリ１５と
駆動軸８ａを締結しているネジ１０が取り外せる程度の
穴１１を設けている。アーム拘束ピン５と原点拘束ピン
９を挿入した状態で、第１アーム１４と固定プーリ１５
をアーム固定ネジ１３で締結し、第１アーム１４および
固定プーリ１５と駆動軸８ａ，８ｂを締結しているネジ
１０を取り外すことによって、キャリア７を含むアーム
部１２をアーム型搬送装置の原点位置を保持した状態で
一括して搬送空間側から取り出すことが可能となる。ア
ーム部１２の重量は蛙足型搬送装置と同じ程度の約１０
キログラム前後であり、十分一人の作業でもリフト等を
用いなくとも取り外すことが可能である。

【００３１】アーム部１２の再組み付けの際は、以下の
手順を採る。駆動軸８ａのピン挿入用の穴３に原点拘束
ピン９を挿入する。メンテナンス後のアーム部１２、ま
たは新しいアーム部１２には、第１アーム１４と固定プ
ーリ１５の相対位置を拘束するアーム拘束ピン５を挿入
し、アーム部１２の姿勢をアーム型搬送装置の原点位置
にある時の姿勢に拘束する。この状態でアーム部１２を
搬送室１上側から原点拘束ピン９を案内として、駆動軸
８ａ，８ｂに挿入する。この後ネジ１０を穴１１から挿
入して駆動軸８ａ，８ｂと第１アーム１４および固定プ
ーリ１５を締結する。締結後、アーム固定ネジ１３およ
びアーム拘束ピン５と原点拘束ピン９を取り外し、搬送
室１上蓋２を閉じることで、アーム部１２の交換は終了
する。

【００３２】本実施例では、アーム拘束ピン５と原点拘
束ピン９を別にしているが、駆動軸８ａに、第１アーム
１４および固定プーリ１５のピン挿入用の穴３と合致す
る位置にピン挿入用の穴３を設け、アーム拘束ピン５を
駆動軸８ａまで届かせることで、原点拘束ピン９は不要
となる。その際アーム拘束ピン５を挿入する位置は、キ
ャリア７の直進方向と回転方向の原点位置とする必要が
ある。以上の構成および手順を採ることによって、アー
ム部１２の交換は搬送装置の原点位置を失うことなく実
行でき、第１の実施例で述べてきた効果と同様の効果が
得られる。

【００３３】図３は本発明の別の実施例を示している。
本実施例は、アーム型搬送装置のメンテナンス後のキャ
リア７の直進方向の位置を、原点から既知の位置にする
実施例である。図３は、アーム型搬送装置の第１アーム
１４，第２アーム１６，キャリア７の回転中心が、一直
線上にある姿勢のアーム型搬送装置の縦断面図を示して
いる。

【００３４】第１アーム１４，第２アーム１６，キャリ
ア７の各々の回転中心が一直線上にある姿勢で、ピン挿
入用の穴３を、第１アーム１４と固定プーリ１５，第１
アーム１４と第２アーム１６，第２アーム１６とキャリ
ア７の各々の合致する位置に設ける。ベルト１７または
転がり軸受け１８等の消耗部品のメンテナンス終了後、
アーム部１２の姿勢を第１アーム１４と固定プーリ１
５，第２アーム１６と第１アーム１４，キャリア７と第
２アーム１６の各々のピン挿入用の穴３にアーム拘束ピ
ン５を挿入し、アーム部１２の姿勢が、各々の回転中心
が位置直線状にある姿勢に拘束する。

【００３５】この状態で、ベルト１７を巻き廻す位置を
調整する。一般にアーム型搬送装置において、キャリア
７の移動量は、原点位置に対するパルス数で制御してい
る。従ってアーム拘束ピン５によってアーム部１２の姿
勢が各々の回転中心が位置直線状になる原点位置からの
既知の位置に拘束されているので、ベルト１７の巻き廻
し位置調整後アーム拘束ピン５を取り外し、原点に復帰
するまでのパルス数分駆動することで、キャリア７の直
進方向の原点位置を再現することができる。

【００３６】本実施例の構成を採ることによって、アー
ム部１２の構成部品である転がり軸受け１８，ベルト１
７などの部品の交換作業後においても、キャリア７の原
点出しの作業が、特別な治具を必要とせずに非常に簡素
化，迅速化が実現できる。また本実施例と第２の実施例
を組み合わせた構成も可能であることは言うまでもな
い。

【００３７】この場合固定プーリ１５には原点拘束ピン
９の挿入用のピン挿入用の穴３の他に、第１アーム１
４，第２アーム１６，キャリア７の各々の回転中心が一
直線上になる位置に別のアーム拘束ピン５のピン挿入用
の穴３を設ける。本構成とすることでアーム部１２のメ
ンテナンス後のキャリア７の原点位置を本実施例および
第２の実施例で述べてきた手順を採ることによって、特
別な治具を必要とせずに容易に再現することができる。

【００３８】また以上述べてきた実施例のピン挿入用の
穴３は、通常の使用時に塵埃などの拡散を抑制するシー
ルまたは単にキャップ等で塞ぐことが望ましいが、本実
施例では、アーム部１２内部の真空排気を容易にする目
的で塞いでいない。

【００３９】図４は本発明の別の実施例を示している。
図４は、アーム型搬送装置において、アーム部１２を駆
動軸８ａ，８ｂから取り外した状態の搬送装置の縦断面
図を示している。アーム部１２の構成は上述してきた第
１の実施例，第２の実施例と同様の構成を採っている。
本実施例ではアーム型搬送装置を使用した実施例を示し
ている。

【００４０】アーム型搬送装置の駆動源１９ａ，１９ｂ
および磁性流体シール２０、駆動軸８ａ，８ｂは台２１
に保持されている。一般に搬送装置の重量の殆どは、こ
の台２１に保持されている駆動源１９ａ，１９ｂ、駆動
軸８ａ，８ｂ等で構成されている駆動部２２が占めてい
る。一般に駆動部２２の重量は、一概には言えないが重
力方向に対して鉛直方向に回転，直進、および重力方向
に移動可能な自由度を有する搬送装置の場合、アーム部
１２を除いて約８０キログラム前後となる。駆動部２２
は円板２３と気密シール２４を介して締結している。

【００４１】円板２３には搬送装置の原点の位相と同一
位相に原点割り出しピン２５挿入用の止まり穴３が開い
ている。搬送室１にも半導体製造装置の搬送原点位置
に、円板２３に設けた止まり穴３と合致する位置にピン
挿入用の穴３を開ける。円板２３に設けた止まり穴３に
原点割り出しピン２５を挿入し、円板２３を搬送室１下
部から搬送室１に設けたピン挿入用の穴３に原点割り出
しピン２５を挿入し、原点割り出しピン２５を案内とし
て駆動部２２および搬送室１の相対位相を拘束しながら
ネジ１０で締結することで、搬送装置と半導体製造装置
の搬送原点位置を合致させることが可能である。

【００４２】駆動部２２の取り付け，取り外しの際の上
下の移動は、次の手順で行う。円板２３の周囲に等配し
た３本の軸２６を搬送空間側から起立させる。軸２６の
外周はネジ構造となっており、ナット２７がかみ合わせ
てある。ナット２７はスラスト転がり軸受け２８を介し
て搬送室１内側底部に接している。３個所のナット２７
を徐々に各々の軸２６の上部に移動するように廻すこと
で、駆動部２２は徐々に重力によって搬送室１下部に下
りていく。この際ナット２７と搬送室１との摩擦による
摺動は、転がり軸受け２８で受けるため搬送室１を傷つ
けることなく、滑らかにナット２７を廻すことができ
る。ナット２７を回し、駆動部２２が搬送装置直下に置
かれたレール２９上まで降りた状態で、３本の軸を円板
２３からはずし、レール２９上を移動させて半導体製造
装置から引き抜くことができる。

【００４３】以上の構成を採ることによって、リフト等
の構造機械を必要とせずに駆動部２２を搬送室１下部か
ら取り外すことが可能となり、また半導体製造装置の搬
送原点位置を失うことなく再取り付けが可能となる。駆
動部２２が円板２３に重力方向上側から固定する構成で
あるため、アーム部１２（図示せず）と駆動部２２を結
合した状態でも、搬送室１の上部から搬送室１に固定す
ることが可能である。また円板２３と搬送室１を締結し
ているネジ１０は、搬送空間側から締結しており、取り
外し，取り付けの作業が容易である。

【００４４】また従来要していた搬送装置の移動空間を
上蓋２の上部に必要としないため、効率的に空間を使用
できることから、半導体製造装置の小型化，安価が実現
できる。さらに大重量物の吊架作業がなく、またネジ１
０類は搬送空間側から取り付け，取り外しができるた
め、作業の安全性が向上するとともに、作業時の搬送室
１の塵埃などによる汚染が少なくなる。

【００４５】なお、台２１および円板２３に搬送装置の
原点位置と同位相に原点割り出しピン２５挿入用の穴３
を設けることで原点位置の割り出しはさらに確実なもの
になる。なお、本実施例ではアーム型搬送装置について
説明してきたが、蛙足型搬送装置にも適用できることは
当然である。

【００４６】以上説明してきた実施例では、原点位置で
アーム部１２，駆動部２２を取り付け，取り外すことを
明記してきたが、原点位置にこだわるものではなく、原
点位置から既知の位置でアーム部１２，駆動部２２を取
り付け，取り外す構成としてもなんら問題はない。その
際は本実施例と同等の効果が得られる。また以上述べて
きた構成は、既存の搬送装置にアーム拘束ピン５，原点
拘束ピン９挿入用のピン挿入用の穴３を追加工すること
で容易に実現できる。

【００４７】また、以上述べてきた実施例では搬送装置
として、キャリア７が単一のアーム型搬送装置，蛙足型
搬送装置に限定して説明してきたが、複数のキャリア７
を有するアーム型搬送装置または蛙足型搬送装置にも適
用することは容易であり、さらに、被搬送物として半導
体ウエハに限定されるものではなく、たとえば薄膜トラ
ンジスタを用いた液晶パネル生産ライン用の搬送装置と
しても使用できることは言うまでもない。さらに本実施
例では半導体製造装置に限定して説明してきたが、搬送
装置単体に適用できることは当然である。

【００４８】

【発明の効果】原点位置を失うことなく、アーム部１２
と駆動部２２を一括して分離可能な搬送装置を組み込ん
だ半導体製造装置は、リフト装置などの付加設備が不要
となり、また従来要していた搬送装置の移動空間を必要
としないため、効率的に空間を使用できることから、半
導体製造装置の小型化，安価が実現できる。さらに大重
量物の吊架作業がないことから、作業の安全性およびメ
ンテナンス性が向上するとともに、作業時の搬送室１の
塵埃などによる汚染が少なくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の搬送装置の縦断面図。

【図２】本発明の第２の実施例の搬送装置の縦断面図。

【図３】本発明の第３の実施例の搬送装置の縦断面図。

【図４】本発明の第４の実施例の搬送装置の縦断面図。

【符号の説明】

１…搬送室、２…上蓋、３…ピン挿入用穴、４ａ…第１
の腕、４ｂ…第１の腕、５…アーム拘束ピン、６ａ…第
２の腕、６ｂ…第２の腕、７…キャリア、８ａ…駆動
軸、８ｂ…駆動軸、９…原点拘束ピン、１０…ネジ、１
１…ネジ穴、１２…アーム部、１３…アーム固定ネジ、
１４…第１アーム、１５…固定プーリ、１６…第２アー
ム、１７…ベルト、１８…転がり軸受け、１９ａ…駆動
源、19ｂ…駆動源、２０…磁性流体シール、２１…台、
２２…駆動部、２３…円板、２４…気密シール、２５…
原点割り出しピン、２６…軸、２７…ナット、２８…転
がり軸受け、２９…レール、３０…半導体ウエハ、３１
…動プーリ、３２…ケーブル。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金子 豊 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 山岡 正作 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 藤戸 利昭 東京都青梅市新町六丁目16番地の２ 株式 会社日立製作所熱器ライティング事業部内 (72)発明者 恒川 助芳 東京都青梅市新町六丁目16番地の２ 株式 会社日立製作所熱器ライティング事業部内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被搬送物を積載する少なくとも一つ以上の
   キャリアと前記キャリアと結合する複数の回転自在な関
   節を有する複数の腕からなるアーム部と前記アーム部に
   動力を伝達する駆動軸と前記駆動軸を駆動する駆動部と
   前記駆動部を保持する台からなる駆動部と、前記被搬送
   物を重力方向に対して少なくとも鉛直方向に直進および
   回転移動させる搬送装置において、前記アーム部を前記
   駆動部に対して前記搬送装置の原点位置から所望の位置
   で前記駆動部と分離および結合可能な搬送装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の前記被搬送物が半導体基板
   であって、前記搬送装置と、少なくとも一つ以上の半導
   体基板に処理を施す処理室と、前記処理室に連結可能な
   搬送室を備えたことを特徴とする半導体製造装置。
3. 【請求項３】請求項１記載の搬送装置において、前記駆
   動部を請求項２記載の搬送室に対して前記半導体製造装
   置の搬送原点位置から所望の位置で前記搬送室と分離お
   よび結合可能としたことを特徴とする搬送装置。
4. 【請求項４】請求項１または３記載の搬送装置が、駆動
   源と前記駆動源と結合する複数の駆動軸と、前記駆動軸
   とその一端が結合し駆動可能な一対の第１の腕と、前記
   第１の腕のもう一方の他端に、前記第１の腕に対して回
   転自在な構成からなる少なくとも一対の第２の腕の一端
   に結合し、前記一対の第２の腕の他端に前記各々の第２
   の腕の開き角を同一にする関節と、前記各々の関節の回
   転中心軸に支持された少なくとも一つ以上の前記キャリ
   アを有する蛙足型搬送装置であって、前記搬送装置の原
   点位置から所望の位置で、前記一対の第１の腕の相対位
   置を拘束する任意に抜き差し可能なアーム拘束ピンと、
   前記第１の腕の一方または両方の前記第１の腕と前記駆
   動軸の相対位置を拘束する任意に抜き差し可能な原点拘
   束ピンと、前記一対の第１の腕を互いに結合可能な締結
   手段を有したことを特徴とする搬送装置。
5. 【請求項５】前記所望の位置で前記一対の第１の腕と前
   記駆動軸の相対位置を拘束する任意に抜き差し可能なア
   ーム拘束ピンと、前記一対の第１の腕を互いに結合可能
   な締結手段を有したことを特徴とする請求項４記載の搬
   送装置。
6. 【請求項６】請求項１または３記載の搬送装置が、駆動
   源と前記駆動源と結合する複数の駆動軸と前記一方の駆
   動軸とその一端が結合し駆動可能な第１の腕と、前記他
   方の少なくとも一つ以上の駆動軸に固定する少なくとも
   一つ以上の固定プーリと前記第１の腕に対して回転自在
   な転がり軸受けを介して支持し、前記固定プーリとベル
   トまたはワイヤによって結合する少なくとも一つ以上の
   第１の動プーリと、前記第１の動プーリと、前記第１の
   動プーリに固定する少なくとも一つ以上の第２の腕と、
   前記第２の腕に対して回転自在な転がり軸受けを介して
   支持し、前記第１の動プーリとベルトまたはワイヤによ
   って結合する少なくとも一つ以上の第２の動プーリと、
   前記第２の動プーリに固定し、被搬送物を積載する少な
   くとも一つ以上のキャリアからなるアーム型搬送装置で
   あって、前記搬送装置の原点位置から所望の位置で前記
   第１の腕と前記固定プーリの相対位置を拘束する任意に
   抜き差し可能なアーム拘束ピンと、前記第１の腕および
   または前記固定プーリと前記駆動軸の相対位置を拘束す
   る任意に抜き差し可能な原点拘束ピンと、前記第１の腕
   と前記固定プーリを結合する締結手段を有することを特
   徴とする搬送装置。
7. 【請求項７】前記所望の位置で前記第１の腕と前記固定
   プーリと前記駆動軸の相対位置を拘束する任意に抜き差
   し可能なアーム拘束ピンと、前記第１の腕と前記固定プ
   ーリを結合する締結手段を有することを特徴とする請求
   項６記載の搬送装置。
8. 【請求項８】搬送室の外下面と、円板または気密機能を
   有する円板と、前記半導体製造装置の搬送原点位置と搬
   送装置の原点位置の相対位置を拘束する任意に抜き差し
   可能な少なくとも一つ以上の原点割り出しピンを介して
   結合する請求項１，３，４，５，６および７のいずれか
   記載の搬送装置を用いたことを特徴とする半導体製造装
   置。
9. 【請求項９】請求項２記載の処理室は、所望のガスを使
   用し、半導体基板に所望のパターンを形成する処理室、
   およびまたは常温以外の温度雰囲気にて前記半導体基板
   の処理を行う処理室、およびまたは所望のパターンの自
   己成長処理を行う育成手段を有する処理室、およびまた
   は所望のパターンの除去加工処理を行う除去加工手段を
   有する処理室、およびまたは所望のパターンの堆積加工
   処理を行う堆積加工手段を有する処理室であることを特
   徴とする半導体製造装置。