JP2011093711A - バルブカバーを有するフラップトランスファーバルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バルブ閉鎖ビーム4、回転軸受およびシャフト11は気密なバルブハウジング14内でバルブカバー20上に配置され、シャフト11、回転軸受およびバルブ閉鎖ビーム4は、バルブカバー20を切り離して移動させることによって、バルブハウジング14から切り離し可能である。バルブハウジング14内で、シャフト軸に沿って、互いに所定距離離れて分散配置され、そしてバルブ閉鎖ビーム4およびシャフト11が取り付けられた少なくとも3つの軸受要素27によって、回転軸受が形成される。
【選択図】図1
Description
2 第1の長手方向軸(第1の開口部の)
3 第1の密閉面(第1の開口部の周りの)
4 バルブ閉鎖ビーム(細長い)
5 第2の長手方向軸(バルブ閉鎖ビームの)
6 前面(バルブ閉鎖ビームの)
7 後面(バルブ閉鎖ビームの)
8 閉鎖面
9 第2の密閉面(バルブ閉鎖ビームの)=Oリング
10 回転軸
11 シャフト
12 シャフト軸
13 駆動部
14 バルブハウジング(気密な)
15 第1の開口面
16 第2の開口面
17 第2の開口部
18 側壁(細長い)
19 横方向
20 バルブカバー
21 継手
22 第1のセクション(シャフトの)=第1の成形部
23 第2のセクション(駆動シャフトの)=第2の成形部
24 駆動シャフト(駆動部の)
25 駆動シャフト軸(駆動シャフトの)
27 軸受要素
28 第1の密閉面の平面
29 第1のアーム
30 第2のアーム
31 第1アーム軸
32 第2アーム軸
33 共通平面
34 第1の開口面に向き合う半分
35 第2の開口面に向き合う半分
36 開口部軸
37 サービス開口部
38 ねじ
39 ねじ孔
C 閉鎖位置
O 開放位置
Claims (15)
- 気密様式で、隔離可能である、半導体または基板処理プロセスチャンバ内への、半導体素子または基板の搬送のためのフラップトランスファーバルブであって、
・第1の長手方向軸(2)に沿って延びて、第1の密閉面(3)によってフレームの形に取り囲まれた、細長い、特に、スロット状の、第1の開口部(1)と、
・−前記第1の長手方向軸(2)に実質的に平行であって、第2の長手方向軸(5)に沿って延びており、そして、
−前面(6)に、前記第1の開口部(1)を閉鎖するための閉鎖面(6)と、前記第1の密閉面(3)に対応し、これと気密接触可能である第2の密閉面(9)と、を有する、
細長いバルブ閉鎖ビーム(4)と、
・前記バルブ閉鎖ビーム(4)の閉鎖面(8)が、前記第1の開口部(1)をカバーして閉鎖し、そして、
−前記第1の密閉面(3)と第2の密閉面(9)とが気密接触する閉鎖位置(C)と、
−前記バルブ閉鎖ビーム(4)が、前記第1の開口部(1)から離れるように回動させられて、前記第1の開口部(1)を開放する開放位置(O)と、
の間で、
前記第2の長手方向軸(5)に実質的に平行であって、回転軸(10)の周りに、特に、60°から105°の回動角度で、前記バルブ閉鎖ビーム(4)が回動可能である回転軸受と、
・前記第2の長手方向軸(5)に実質的に平行であって、シャフト軸(12)の周りに回転できるシャフト(11)であり、そして、シャフト軸(12)の周りの前記シャフト(11)の回転が、前記バルブ閉鎖ビーム(4)を前記回転軸(10)の周りに回動させるように、前記バルブ閉鎖ビーム(4)に、動作可能に接続されたシャフト(11)と、
・前記シャフト(11)を回転させて、開放位置Oと閉鎖位置Cとの間で、前記バルブ閉鎖ビーム(4)を動かすために、前記シャフト(11)に連結された少なくとも1つの駆動部(13)と、
を有し、
気密なバルブハウジング(14)は、
・前記バルブハウジング(14)の第1の開口面(15)の第1の開口部(1)と、
・前記バルブハウジング(14)の、第1の開口面(15)とは反対側にある第2の開口面(16)の、第1の開口面とは反対側にある第2の開口部(17)と、
を有し、
・前記バルブ閉鎖ビーム(4)、回転軸受およびシャフト(11)は、前記バルブハウジング(14)内に配置され、
・細長い側壁(18)上に、前記バルブハウジング(14)は、前記バルブハウジング(14)の残り部分に、気密様式で、連結されていて、前記第1の開口面(15)に平行な横方向(19)に移動可能であるバルブカバー(20)を有し、
・前記シャフト(11)は、回転できるように、前記バルブカバー(20)に取り付けられ、および、
・前記回転軸受、シャフト(11)およびバルブ閉鎖ビーム(4)は、バルブカバー(20)を切り離して横方向(19)に移動させることによって、前記シャフト(11)、回転軸受およびバルブ閉鎖ビーム(4)が前記バルブハウジング(14)から切り離し可能であるように、バルブカバー(20)上に配置される、フラップトランスファーバルブ。 - ・前記駆動部(13)は、前記バルブカバー(20)から切り離されるバルブハウジング(14)のセクション上に配置され、および、
・横方向(19)に取り外し可能である継手(21)は、前記シャフト(11)と駆動部(13)との間に配置され、バルブカバー(20)を移動させるために、前記シャフト(11)が駆動部(13)から切り離し可能であるように設計される、請求項1に記載のフラップトランスファーバルブ。 - ・前記継手(21)は、前記シャフト(11)の第1のセクション(22)と、前記駆動部(13)の駆動シャフト(24)の前記第1のセクション(22)に、インタロック様式で連結された第2のセクション(23)と、によって形成され、前記インタロックは、横方向(19)に、前記バルブカバー(20)を移動させることによって解放可能である、請求項2に記載のフラップトランスファーバルブ。
- ・前記シャフト軸(12)および前記駆動シャフト(24)の駆動シャフト軸(25)は、互いに平行に延びているか、または同一直線上にあり、
・前記シャフト(11)の第1のセクションは、前記シャフト(11)の一端部によって形成され、前記シャフト(11)の前記端部は、前記シャフト(11)が基本位置にあるときに、シャフト軸(12)に少なくとも所定程度直角に、また、横方向(19)に延びる第1の成形部(22)を有し、および、
・前記駆動シャフト(24)の第2のセクションは、前記駆動シャフト(24)の一端部によって形成され、前記駆動シャフト(24)の前記端部は、前記シャフト(11)が基本位置にあるときに、駆動シャフト軸(25)に少なくとも所定程度直角に、また、横方向(19)に延び、そして、インタロックを作り出すために、前記第1の成形部(22)に対応している、請求項3に記載のフラップトランスファーバルブ。 - 前記第1の成形部(22)および前記第2の成形部(23)は、前記シャフト(11)および前記駆動シャフト(24)の端部において、溝および舌片の形をしている、請求項4に記載のフラップトランスファーバルブ。
- 前記駆動シャフト(24)は、気密様式で前記バルブハウジング(14)を貫通しており、そして、前記駆動部(13)は、前記バルブハウジング(14)の外側に配置されている、請求項3〜5のいずれか1項に記載のフラップトランスファーバルブ。
- 前記駆動部(13)は、前記バルブハウジング(14)から、前記バルブカバー(20)と共に切り離し可能であるように、前記バルブカバー(20)に連結される、請求項1に記載のフラップトランスファーバルブ。
- ・前記バルブ閉鎖ビーム(4)は、アームと共に回転するように前記シャフト(11)に接続された少なくとも1つのアーム上に配置され、
・前記回転軸(10)およびシャフト軸(12)は、同一直線上にあり、および、
・前記バルブ閉鎖ビーム(4)の回転軸受は、前記回転可能なシャフト(11)と、前記少なくとも1つのアームと、によって形成される、請求項1〜7のいずれか1項に記載のフラップトランスファーバルブ。 - ・前記回転軸受は、前記バルブハウジング(14)内で、前記シャフト軸(12)と前記回転軸(10)とに沿って、互いに所定距離を置いて分散配置された、少なくとも3つの、特に、少なくとも5つの、軸受要素(27)によって形成され、
・前記バルブ閉鎖ビーム(4)は、共通回転軸(10)の周りに回動できるように、前記軸受要素(27)に取り付けられ、前記回転軸(10)は、前記第1の開口部(1)の側面において、特に、前記第1の密閉面(3)の平面(28)の近くを、−特に、実質的に平面(28)上を、延びており、
・前記シャフト(11)は、前記軸受要素(27)の少なくとも幾つかに取り付けられ、
・前記シャフト軸(12)は、前記回転軸(10)から所定距離を置いて、−前記第1の密閉面(3)の平面(28)に直角な方向に、延びており、
・前記軸受要素(27)は、各々、共に回転するように前記シャフト(11)上に配置された、少なくとも1つの結合された第1のアーム(29)を有し、および、
・前記それぞれの第1のアーム(29)は、前記開放位置Oと閉鎖位置Cとの間で、前記回転軸(10)の周りに前記バルブ閉鎖ビーム(4)を回動させるために、前記シャフト(11)の回転によって、そして、その結果の、前記シャフト軸(12)の周りの前記第1のアーム(29)の回動によって、前記バルブ閉鎖ビーム(4)の後面(7)に力を加えることができるように、前記第1のアームの自由端において、直接または間接的に、前記バルブ閉鎖ビーム(4)の後面(7)に係合する、請求項1〜7のいずれか1項に記載のフラップトランスファーバルブ。 - ・前記第1のアーム(29)は、各々、前記回転軸(10)に平行して延びる第2アーム軸(32)の周りに回動できるように、前記バルブ閉鎖ビーム(4)の後面(7)に取り付けられた第2のアーム(30)に結合され、
・前記第1のアーム(29)および前記第2のアーム(30)は、各々、前記第2アーム軸(32)に実質的に平行であって、第1アーム軸(31)の周りに連接されるように、これらのアームの自由端において、互いに接続され、および、
・前記シャフト(11)、第1のアーム(29)および第2のアーム(30)は、レバー駆動部を形成する、請求項9に記載のフラップトランスファーバルブ。 - ・前記第1のアーム(29)および第2のアーム(30)の長さおよび前記共通シャフト軸(12)、共通第1アーム軸(31)および共通第2アーム軸(32)の間の距離は、前記シャフト軸(12)、第1アーム軸(31)および第2アーム軸(32)が、前記閉鎖位置(C)において、実質的に共通平面(33)上にあり、そして、前記第1のアーム(29)および第2のアーム(30)が、実質的に死点において位置合わせされると同様の値である、請求項10に記載のフラップトランスファーバルブ。
- ・前記第1のアーム(29)は、各々、前記シャフト(11)上の前記軸受要素(27)の領域に配置される、請求項9〜11のいずれか1項に記載のフラップトランスファーバルブ。
- ・前記バルブ閉鎖ビーム(4)、回転軸受およびシャフト(11)は、バルブハウジング(14)内に配置され、
・前記第1の開口部(1)は、前記バルブハウジング(14)の第1の開口面(15)に配置され、前記第1の開口部(1)の反対側にある第2の開口部(17)は、前記バルブハウジング(14)の、前記第1の開口面(15)とは反対側にある第2の開口面(16)に配置され、
・前記軸受要素(27)は、特に、取外し可能なバルブカバー(20)上において、前記開口面(15、16)間で実質的に直角に延びる該バルブハウジング(14)の細長い側壁(18)に取り付けられる、請求項9〜12のいずれか1項に記載のフラップトランスファーバルブ。 - ・前記軸受要素(27)は、各々、前記第1の開口面(15)と第2の開口面(16)との間で延びており、
・前記軸受要素(27)は、
−前記第1の開口面(15)に向き合う前記軸受要素の半分上で、特に、前記第1の開口面(15)に向き合う側壁の半分上で、および/または、前記バルブハウジング(14)の第1の開口面(16)上で、バルブハウジング(14)に固定され、
−前記第2の開口面(16)に向き合う半分上では、特に、第2の開口面(16)に向き合う側壁(18)の半分、には固定されず、前記側壁(18)に直角に、また前記側壁(18)から離れる方向に少なくとも所定程度動くことができ、
・前記回転軸(10)は、前記第1の開口面(15)に向き合う軸受要素(27)の前記半分(34)を貫通して延び、そして、前記シャフト軸(12)は、前記第2の開口面(16)に向き合う前記軸受要素(27)の前記半分(35)を貫通して延びる、請求項13に記載のフラップトランスファーバルブ。 - ・前記第1の開口面(15)に向き合う前記軸受要素(27)の前記半分(34)は、前記側壁(18)上に置かれ、そして、垂直方向に前記側壁(18)に固定されており、そして、
・前記第2の開口面(16)に向き合う前記軸受要素(27)の前記半分(35)は、前記側壁(18)上に置かれ、そして、前記側壁から離れるように垂直方向に固定されない、請求項14に記載のフラップトランスファーバルブ。
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