JPH05271933A - １処理室から隣りの処理室へ基板を入れ、または出すための旋回スルースゲート - Google Patents
１処理室から隣りの処理室へ基板を入れ、または出すための旋回スルースゲートInfo
- Publication number
- JPH05271933A JPH05271933A JP5017344A JP1734493A JPH05271933A JP H05271933 A JPH05271933 A JP H05271933A JP 5017344 A JP5017344 A JP 5017344A JP 1734493 A JP1734493 A JP 1734493A JP H05271933 A JPH05271933 A JP H05271933A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- sluice gate
- shaft
- valve plate
- valve beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/16—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
- F16K1/18—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
- F16K1/20—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member
- F16K1/2007—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member specially adapted operating means therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/16—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
- F16K1/18—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
- F16K1/20—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member
- F16K1/2028—Details of bearings for the axis of rotation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Lift Valve (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 弁プレートの全長にわたって一様な閉鎖力な
いしは圧着力が生じ、保守および修理に際して圧力段お
よび駆動ユニットが問題なく交換可能であり、かつ弁ユ
ニット自体が剛性に、しかも軽量に構成された旋回スル
ースゲートを提供する。 【構成】 弁プレート２がこれに対してほぼ平行に延び
た弁ビーム１に少なくとも１つの弾性的に変形可能な中
間部材を介してヒンジ結合されており、弁ビームが２つ
の互いに直径方向で対向して位置したジャーナル１２，
１２ａを有しており、ジャーナルがモータ１０，１０ａ
の軸１８，１８ａと相対回動不能に連結されており、そ
の他の部分が室１５の外部に設けられたモータの軸が室
の壁１３，１３ａを耐圧式に貫通して案内されている。
いしは圧着力が生じ、保守および修理に際して圧力段お
よび駆動ユニットが問題なく交換可能であり、かつ弁ユ
ニット自体が剛性に、しかも軽量に構成された旋回スル
ースゲートを提供する。 【構成】 弁プレート２がこれに対してほぼ平行に延び
た弁ビーム１に少なくとも１つの弾性的に変形可能な中
間部材を介してヒンジ結合されており、弁ビームが２つ
の互いに直径方向で対向して位置したジャーナル１２，
１２ａを有しており、ジャーナルがモータ１０，１０ａ
の軸１８，１８ａと相対回動不能に連結されており、そ
の他の部分が室１５の外部に設けられたモータの軸が室
の壁１３，１３ａを耐圧式に貫通して案内されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、１処理室から隣りの処
理室へ、または大気圧の空間から低圧の室へ基板を入
れ、かつ（または）出すための旋回スルースゲート、特
に連続式真空被覆装置のためのスリットスルースゲート
であって、定置の支承部内に保持されたゲート状の弁プ
レートと、これと協働する閉鎖モータと、スルースゲー
ト開口を包んだフレーム状のシール部材とを備えた形式
のものに関する。
理室へ、または大気圧の空間から低圧の室へ基板を入
れ、かつ（または）出すための旋回スルースゲート、特
に連続式真空被覆装置のためのスリットスルースゲート
であって、定置の支承部内に保持されたゲート状の弁プ
レートと、これと協働する閉鎖モータと、スルースゲー
ト開口を包んだフレーム状のシール部材とを備えた形式
のものに関する。
【０００２】
【従来技術】ＤＥ−ＯＳ３９４１５０２によりローディ
ング・アンローディング室装置が知られており、これは
低圧室と、該低圧室内に設けられた、基板の取外し可能
な取付けに好適であるプレート状の基板ホルダを搬送す
るための搬送機構と、室を低圧に排気するための排出接
続部と、排気された室を大気圧に戻すための、ガス導入
のためのガス入口接続部とを備えている。
ング・アンローディング室装置が知られており、これは
低圧室と、該低圧室内に設けられた、基板の取外し可能
な取付けに好適であるプレート状の基板ホルダを搬送す
るための搬送機構と、室を低圧に排気するための排出接
続部と、排気された室を大気圧に戻すための、ガス導入
のためのガス入口接続部とを備えている。
【０００３】この公知の装置では低圧室の両側にスルー
スゲート弁が設けられており、この弁では弁プレートが
長い、平行６面体の形を有し、弁プレートは３つの支承
ブロックと固定的に結合されており、軸が支承ブロック
を貫通して案内されており、軸自体はまた旋回レバーと
結合されており、旋回レバーはラック駆動装置を介して
モータによって旋回可能である。弁プレートは定置の支
承部を中心にして可動なレバーに対して傾動可能に保持
されており、したがって弁プレートのシール面は低圧室
のケーシングにおけるシール面へ圧着可能であり、弁プ
レートはケーシングシール面の平面とある程度整列可能
である。
スゲート弁が設けられており、この弁では弁プレートが
長い、平行６面体の形を有し、弁プレートは３つの支承
ブロックと固定的に結合されており、軸が支承ブロック
を貫通して案内されており、軸自体はまた旋回レバーと
結合されており、旋回レバーはラック駆動装置を介して
モータによって旋回可能である。弁プレートは定置の支
承部を中心にして可動なレバーに対して傾動可能に保持
されており、したがって弁プレートのシール面は低圧室
のケーシングにおけるシール面へ圧着可能であり、弁プ
レートはケーシングシール面の平面とある程度整列可能
である。
【０００４】所で、特にスルースゲートプレートが極端
な幅／長さ比を有しており、かつスルースゲート弁の個
別部材が極端な堅固さ（したがって大きな重量）と高い
材料品質とを持たない場合にはシールプレートおよび駆
動軸は閉鎖状態の間にある程度屈曲するので、必要なシ
ールリングは不一様に荷重を受けるために公知の弁装置
ないしは公知のスルースゲート弁がシール性に関する最
大の要求に応答しないことが実地において示された。
な幅／長さ比を有しており、かつスルースゲート弁の個
別部材が極端な堅固さ（したがって大きな重量）と高い
材料品質とを持たない場合にはシールプレートおよび駆
動軸は閉鎖状態の間にある程度屈曲するので、必要なシ
ールリングは不一様に荷重を受けるために公知の弁装置
ないしは公知のスルースゲート弁がシール性に関する最
大の要求に応答しないことが実地において示された。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、弁プ
レートの全長にわたって一様な閉鎖力ないしは圧着力が
生じ、保守および修理に際して圧力段および駆動ユニッ
トが問題なく交換可能であり（しかも比較的嵩の大き
な、重量のある弁ユニットは真空室内に取付けたままで
あり）、かつ最後に弁ユニット自体ができる限り剛性
に、しかも同時に軽量に構成することができるように、
問題の形式の旋回スルースゲートを構成することであ
る。
レートの全長にわたって一様な閉鎖力ないしは圧着力が
生じ、保守および修理に際して圧力段および駆動ユニッ
トが問題なく交換可能であり（しかも比較的嵩の大き
な、重量のある弁ユニットは真空室内に取付けたままで
あり）、かつ最後に弁ユニット自体ができる限り剛性
に、しかも同時に軽量に構成することができるように、
問題の形式の旋回スルースゲートを構成することであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの本発明の手段は、弁プレートがこれに対してほぼ平
行に延びた弁ビームに少なくとも１つの弾性的に変形可
能な中間部材を介してヒンジ結合されており、弁ビーム
が２つの互いに直径方向で対向して位置したジャーナル
を有しており、ジャーナルがモータの軸と相対回動不能
に連結されており、その他の部分が室外に設けられたモ
ータの軸が室の壁を耐圧式に貫通して案内されているこ
とである。
めの本発明の手段は、弁プレートがこれに対してほぼ平
行に延びた弁ビームに少なくとも１つの弾性的に変形可
能な中間部材を介してヒンジ結合されており、弁ビーム
が２つの互いに直径方向で対向して位置したジャーナル
を有しており、ジャーナルがモータの軸と相対回動不能
に連結されており、その他の部分が室外に設けられたモ
ータの軸が室の壁を耐圧式に貫通して案内されているこ
とである。
【０００７】
【発明の効果】弁の支承ケーシングと圧力段ケーシング
とは別体に形成されているので、保守ないしは修理の場
合に圧力段と駆動ユニットとを問題なく交換することが
でき、他方本来の、重い弁ユニットは真空室内に完全に
組付けられたままにしておくことができる。
とは別体に形成されているので、保守ないしは修理の場
合に圧力段と駆動ユニットとを問題なく交換することが
でき、他方本来の、重い弁ユニットは真空室内に完全に
組付けられたままにしておくことができる。
【０００８】弁ビームへ旋回モーメントが両側から、す
なわち対称的に導入されること、かつ弁プレートが弁ビ
ームに対して２つの軸線内で自在に運動可能であること
によってシールリングの全周にわたって十分に一様な圧
着が得られ、このことは特に製作誤差を補償する。
なわち対称的に導入されること、かつ弁プレートが弁ビ
ームに対して２つの軸線内で自在に運動可能であること
によってシールリングの全周にわたって十分に一様な圧
着が得られ、このことは特に製作誤差を補償する。
【０００９】
【実施例】本発明の対象物は弁プレート軸の代わりに曲
げ剛性の成形材を備えており、成形材は弁ビーム１とし
て表されている。弁ビーム１は２つのジャーナル１２，
１２ａを備え、ジャーナルは真空室３の内部に位置した
支承ケーシング１１，１１ａによって受容されているか
もしくはこの中に支承されている。
げ剛性の成形材を備えており、成形材は弁ビーム１とし
て表されている。弁ビーム１は２つのジャーナル１２，
１２ａを備え、ジャーナルは真空室３の内部に位置した
支承ケーシング１１，１１ａによって受容されているか
もしくはこの中に支承されている。
【００１０】スルースゲート開口１４をシールするシー
ルリング６のためのシールみぞがシールプレート７内に
形成されている。弁プレート２の厚さが減少せしめられ
るので、通路幅ないしはスリット幅Ｍの増大が得られ
る。
ルリング６のためのシールみぞがシールプレート７内に
形成されている。弁プレート２の厚さが減少せしめられ
るので、通路幅ないしはスリット幅Ｍの増大が得られ
る。
【００１１】ばね棒５，５ａを用いての弁プレート２の
弁ビーム１への固定はリンクのない、したがって摩擦の
ない、２つの軸線上で互いに運動可能である結合を形成
し、これによって弁作動時に生じる弁プレート２と弁ビ
ーム１との相対運動が相互の結合摩擦、ひいては摩滅粒
子を生ぜしめることが阻止される。
弁ビーム１への固定はリンクのない、したがって摩擦の
ない、２つの軸線上で互いに運動可能である結合を形成
し、これによって弁作動時に生じる弁プレート２と弁ビ
ーム１との相対運動が相互の結合摩擦、ひいては摩滅粒
子を生ぜしめることが阻止される。
【００１２】ばね棒５，５ａは弁プレート２および弁ビ
ーム１へ次のような形式で配置される、すなわちばね棒
はねじ２８によって弁ビーム１ないしは弁プレート２へ
固定された特別な締付け部材４，４ａ，４ｂ，…ないし
は２４，２４ａ，…を用いて適切なＶ字形にフライス加
工されたみぞ１６，１７内へ押圧されている。これらの
Ｖ−みぞ１６，１７ないしは２２，２３は、ばね棒５，
５ａの無負荷状態で弁プレート２が弁ビーム１に対して
所定の、平行ではない位置（角度α）を取り、そのため
に閉鎖過程で弁プレートシール面Ｄが外側のＯ−リング
６並びに内側のＯ−リングに同時に載置されるように構
成されている。上記の非平行位置はみぞ２２，２３の平
面Ｐに対する深さが等しくない（寸法量Ｘ）ことから得
られる（図４）。
ーム１へ次のような形式で配置される、すなわちばね棒
はねじ２８によって弁ビーム１ないしは弁プレート２へ
固定された特別な締付け部材４，４ａ，４ｂ，…ないし
は２４，２４ａ，…を用いて適切なＶ字形にフライス加
工されたみぞ１６，１７内へ押圧されている。これらの
Ｖ−みぞ１６，１７ないしは２２，２３は、ばね棒５，
５ａの無負荷状態で弁プレート２が弁ビーム１に対して
所定の、平行ではない位置（角度α）を取り、そのため
に閉鎖過程で弁プレートシール面Ｄが外側のＯ−リング
６並びに内側のＯ−リングに同時に載置されるように構
成されている。上記の非平行位置はみぞ２２，２３の平
面Ｐに対する深さが等しくない（寸法量Ｘ）ことから得
られる（図４）。
【００１３】閉鎖過程が更に進むと、弁プレート２は弁
ビーム１へのばね棒５，５ａの固定箇所とは無関係に直
線形に更に移動し、弁ビームは圧着過程の終結まで支承
軸線Ｄを中心にして旋回運動を行う（図３）。
ビーム１へのばね棒５，５ａの固定箇所とは無関係に直
線形に更に移動し、弁ビームは圧着過程の終結まで支承
軸線Ｄを中心にして旋回運動を行う（図３）。
【００１４】回転軸線Ｄからみてより遠方にあるばね棒
５は内側のものよりも大きな円弧を描き、したがってこ
のばね棒５の屈曲、したがってその圧着力も内側のばね
棒５ａよりは小さく、これは弁プレート２の外側のＯ−
リングへの圧着が同様に内側のＯ−リングへの圧着より
も小さいことをもたらす。これは、ばね棒の固定みぞ２
２，２２ａ…が旋回平面Ｐに対して所定量Ｘの所に配置
されており、したがって圧着力の合力が再び中央に、す
なわちＯ−リング６に対して対称的に作用することによ
って補正される。圧着力の補正のもう１つの方法は、ウ
エブ２０，２０ａ，…ないしはウエブ２１，２１ａ，…
内のみぞ対がそれぞれ互いに一列に整列せしめられてお
らず、回転軸線Ｄからの距離Ｙが僅かに異なっている
（例えば０．７ｍｍ）ことである。
５は内側のものよりも大きな円弧を描き、したがってこ
のばね棒５の屈曲、したがってその圧着力も内側のばね
棒５ａよりは小さく、これは弁プレート２の外側のＯ−
リングへの圧着が同様に内側のＯ−リングへの圧着より
も小さいことをもたらす。これは、ばね棒の固定みぞ２
２，２２ａ…が旋回平面Ｐに対して所定量Ｘの所に配置
されており、したがって圧着力の合力が再び中央に、す
なわちＯ−リング６に対して対称的に作用することによ
って補正される。圧着力の補正のもう１つの方法は、ウ
エブ２０，２０ａ，…ないしはウエブ２１，２１ａ，…
内のみぞ対がそれぞれ互いに一列に整列せしめられてお
らず、回転軸線Ｄからの距離Ｙが僅かに異なっている
（例えば０．７ｍｍ）ことである。
【００１５】弁プレート２の全長にわたってできる限り
一様な圧着力を得るためには弁操作に必要な回転モーメ
ントが弁ビーム１の両端を介して２つのニューマチック
回転駆動装置１０，１０ａを用いて対称的に導入され
る。この回転駆動装置の軸の延長部１８，１８ａが圧力
段９，９ａを貫通して真空室３内に突入している。した
がって圧力段９，９ａのシール部材１９，１９ａ，…が
軸１８，１８ａ上でシールするので、軸は曲げ応力を受
けない。軸の軸線が横にずれることによりシール作用が
損なわれることは起こり得ない。
一様な圧着力を得るためには弁操作に必要な回転モーメ
ントが弁ビーム１の両端を介して２つのニューマチック
回転駆動装置１０，１０ａを用いて対称的に導入され
る。この回転駆動装置の軸の延長部１８，１８ａが圧力
段９，９ａを貫通して真空室３内に突入している。した
がって圧力段９，９ａのシール部材１９，１９ａ，…が
軸１８，１８ａ上でシールするので、軸は曲げ応力を受
けない。軸の軸線が横にずれることによりシール作用が
損なわれることは起こり得ない。
【００１６】駆動ユニットの軸端がフォーク２７，２７
ａとして構成されており、フォークが回転駆動装置１
０，１０ａの取付けに際して弁ビーム１のジャーナル
（中空ピン）１２，１２ａ内に固定的に取付けられた横
キー８，８ａを介して移動する。横キー８，８ａはシー
ル面Ｄに対して垂直なので（理解し易いように示してあ
るシール面Ｄに対して平行ではなく）、弁ビーム１の屈
曲時にフォーク２０，２０ａの横キーに対するパス面へ
のエッジ圧を生ぜしめることなく、したがって軸１８，
１８ａの付加応力をもたらすこともない。
ａとして構成されており、フォークが回転駆動装置１
０，１０ａの取付けに際して弁ビーム１のジャーナル
（中空ピン）１２，１２ａ内に固定的に取付けられた横
キー８，８ａを介して移動する。横キー８，８ａはシー
ル面Ｄに対して垂直なので（理解し易いように示してあ
るシール面Ｄに対して平行ではなく）、弁ビーム１の屈
曲時にフォーク２０，２０ａの横キーに対するパス面へ
のエッジ圧を生ぜしめることなく、したがって軸１８，
１８ａの付加応力をもたらすこともない。
【００１７】弁の支承ケーシングと圧力段ケーシングと
は別体に形成されているので、保守ないしは修理の場合
に圧力段と駆動ユニットとを問題なく交換することがで
き、他方本来の、重い弁ユニットは真空室３内に完全に
組付けられたままにしておくことができる。
は別体に形成されているので、保守ないしは修理の場合
に圧力段と駆動ユニットとを問題なく交換することがで
き、他方本来の、重い弁ユニットは真空室３内に完全に
組付けられたままにしておくことができる。
【００１８】操作部材（弁ビーム１）へ旋回モーメント
が両側から、すなわち対称的に導入されること、かつ弁
プレート２が弁ビーム１に対して２つの軸線内で自在に
運動可能であることによってシールリング６の全周にわ
たって十分に一様な圧着が達成され、このことは特に製
作誤差を補償する。
が両側から、すなわち対称的に導入されること、かつ弁
プレート２が弁ビーム１に対して２つの軸線内で自在に
運動可能であることによってシールリング６の全周にわ
たって十分に一様な圧着が達成され、このことは特に製
作誤差を補償する。
【図１】スルースゲート弁の縦断面図である。
【図２】図１によるスルースゲート弁のＡ−Ａ線に沿っ
た断面図である。
た断面図である。
【図３】図１によるスルースゲート弁のＢ−Ｂ線に沿っ
た断面図である。
た断面図である。
【図４】図３による図の拡大図である。
１ 弁ビーム ２ 弁プレート ３ 真空室 ４，４ａ，２４，２４ａ 締付け部材 ５，５ａ ばね棒 ６ シールリング ７ シールプレート ８，８ａ 横キー ９，９ａ 圧力段 １０，１０ａ 回転駆動装置 １１，１１ａ 支承ケーシング １２，１２ａ ジャーナル １３ 室壁 １４ スルースゲート開口 １５ 室 １６，１７，２２，２２ａ，２３，２３ａ みぞ １８，１８ａ 軸 １９，１９ａ シール部材 ２０，２０ａ，２１，２１ａ ウエブ ２５ 閉鎖面 ２６ 弁ビーム面 ２７，２７ａ 縦スリット ２８ ねじ
Claims (5)
- 【請求項１】 １処理室から隣りの処理室へ、または大
気圧空間から低圧の室内へ基板を入れ、かつ（または）
出すための旋回スルースゲートであって、定置の支承部
（１１，１１ａ）内に保持されたゲート状の弁プレート
（２）と、弁プレートと協働する閉鎖モータと、スルー
スゲート開口（１４）を囲んだフレーム状のシール部材
とを備えた形式のものにおいて、弁プレート（２）がこ
れに対してほぼ平行に延びた弁ビーム（１）に少なくと
も１つの弾性的に変形可能な中間部材（５，５ａ）を介
してヒンジ結合されており、弁ビーム（１）が２つの互
いに直径方向で対向して位置したジャーナル（１２，１
２ａ）を有しており、ジャーナルがモータ（１０，１０
ａ）の軸（１８，１８ａ）と相対回動不能に連結されて
おり、その他の部分が室（１５）の外部に設けられたモ
ータ（１０，１０ａ）の軸（１８，１８ａ）が室（３）
の壁（１３，１３ａ）を耐圧式に貫通して案内されてい
ることを特徴とする、１処理室から隣りの処理室へ基板
を入れ、かつ（または）出すための旋回スルースゲー
ト。 - 【請求項２】 弁ビーム（１）が全長にわたって分配さ
れて配置された複数のウエブ（２０，２０ａ，…）を有
しており、ウエブがそれぞれ締付け部材（２４，２４
ａ，…）を介して軸（１８，１８ａ）の回転軸線（Ｄ）
に対して平行に配置された、１対の弾性材料製のベル
ト、成形部材または棒（５，５ａ）に固定的に結合され
ており、互いに平行に延びた２つのばね棒（５，５ａ）
が、弁プレート（２）の弁ビーム（１）に面した側の、
相互間隔を置いて回転軸線（Ｄ）に対して横方向に延び
たウエブ（２１，２１ａ，…）内に形成されたみぞ（１
７，１７ａ，…ないしは１６，１６ａ，…）へ係合して
おり、２つのばね棒（５，５ａ）が締付け部材（４，４
ａ，…）を用いてこれらウエブ（２１，２１ａ，…）と
固定的に結合されている、請求項１記載の旋回スルース
ゲート。 - 【請求項３】 弁ビーム（１）のウエブ（２０，２０
ａ，…）内に形成されたノッチまたはみぞ（２２，２２
ａ，…ないしは２３，２３ａ，…）が弁ビーム（１）の
平面（Ｐ）に対して異なる深さ（寸法量Ｘ）に形成され
ており、これにより弁プレート（２）の閉鎖面（２５）
の平面が開放位置で弁ビーム（１）の作用平面（２６）
に対して僅かに傾いている（角度αないしは角度β）、
請求項２記載の旋回スルースゲート。 - 【請求項４】 弁ビーム（１）のジャーナル（１２，１
２ａ）が縦孔を有しており、縦孔内にモータ（１０，１
０ａ）の軸（１８，１８ａ）が係合しており、軸（１
８，１８ａ）の弁ビーム側の端部がそれぞれ縦スリット
（２７，２７ａ）を備えているかもしくはフォーク形に
構成されており、回転軸線（Ｄ）に対して横方向にジャ
ーナル（１２，１２ａ）内に各１つのキーまたは横キー
（８，８ａ）が貫通案内されており、かつ各モータ軸
（１８，１８ａ）が相対回動不能に弁ビーム（１）と連
結されている、請求項１から３までのいずれか１項記載
の旋回スルースゲート。 - 【請求項５】 相互間隔を置いて配置されたウエブ（２
０，２０ａ，…ないしは２１，２１ａ，…）内に設けら
れたノッチまたはみぞ（１６，１７，…ないしは２２，
２３，…）対が回転軸線（Ｄ）に対して異なる大きさの
距離（寸法量Ｙ）を有している、請求項１から４までの
いずれか１項記載の旋回スルースゲート。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4203473.6 | 1992-02-07 | ||
| DE4203473A DE4203473A1 (de) | 1992-02-07 | 1992-02-07 | Drehschleuse zum ein- und/oder ausbringen eines substrats aus der einen in eine benachbarte behandlungskammer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05271933A true JPH05271933A (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=6451125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5017344A Pending JPH05271933A (ja) | 1992-02-07 | 1993-02-04 | １処理室から隣りの処理室へ基板を入れ、または出すための旋回スルースゲート |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5205532A (ja) |
| EP (1) | EP0554522B1 (ja) |
| JP (1) | JPH05271933A (ja) |
| DE (2) | DE4203473A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011093711A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-12 | Vat Holding Ag | バルブカバーを有するフラップトランスファーバルブ |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5379984A (en) * | 1994-01-11 | 1995-01-10 | Intevac, Inc. | Gate valve for vacuum processing system |
| DE19500964A1 (de) | 1995-01-14 | 1996-07-18 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Beschichten |
| US6050446A (en) * | 1997-07-11 | 2000-04-18 | Applied Materials, Inc. | Pivoting lid assembly for a chamber |
| US6202669B1 (en) * | 1998-12-29 | 2001-03-20 | Honeywell International Inc. | Self-aligning valve |
| US6427969B1 (en) * | 2001-04-27 | 2002-08-06 | Helix Technology Inc. | Adjustable gate valve assembly for vacuum chamber |
| DE10247002B3 (de) * | 2002-10-09 | 2004-02-26 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Durchlauf-Beschichtungsanlage |
| KR100512740B1 (ko) * | 2003-06-19 | 2005-09-07 | 삼성전자주식회사 | 반응장치 |
| DE10341244A1 (de) * | 2003-09-03 | 2005-05-12 | Creavac Creative Vakuumbeschic | Einrichtung zur Vakuumbeschichtung wenigstens einer Aufzeichnungsschicht auf mindestens ein optisches Aufzeichnungsmedium |
| DE102004027752A1 (de) | 2004-06-08 | 2006-01-05 | Leybold Optics Gmbh | Schleusenvorrichtung |
| US7497414B2 (en) * | 2004-06-14 | 2009-03-03 | Applied Materials, Inc. | Curved slit valve door with flexible coupling |
| US7357371B2 (en) * | 2006-04-03 | 2008-04-15 | Daniel Industries, Inc. | Isolation valve seal |
| DE102007013637B4 (de) | 2007-03-19 | 2018-12-20 | Ewald Dörken Ag | Verfahren zum Beschichten von metallischen Werkstücken |
| EP2355132B1 (de) * | 2010-02-04 | 2014-05-21 | VAT Holding AG | Klappen-Transferventil mit schwenkbarem Ventilverschlussbalken |
| WO2012037984A1 (en) * | 2010-09-24 | 2012-03-29 | Applied Materials, Inc. | Gas separation device and method of operating thereof |
| US8459022B2 (en) * | 2011-02-17 | 2013-06-11 | Honeywell International Inc. | Wastegate plug |
| US9376930B2 (en) * | 2013-10-30 | 2016-06-28 | Hyundai Motor Company | Waste gate valve |
| CA3119053A1 (en) | 2018-11-08 | 2020-10-01 | S.P.M. Flow Control, Inc. | Clapper check valve with a valve seat seal member |
| JP2022543570A (ja) * | 2019-07-31 | 2022-10-13 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 分離バルブ |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR390165A (fr) * | 1908-05-12 | 1908-09-28 | Lucien Millet | Robinet de vapeur |
| US1656185A (en) * | 1924-12-20 | 1928-01-17 | Karl A Enz | Valve |
| US2247773A (en) * | 1939-02-15 | 1941-07-01 | Stephen M Dunn | Valve |
| US2522732A (en) * | 1946-02-06 | 1950-09-19 | Sprague Meter Company | Gas pressure regulator valve |
| US2767738A (en) * | 1950-12-27 | 1956-10-23 | Blaw Knox Co | Valve assembly for metallurgical furnaces or the like |
| US2939616A (en) * | 1958-01-21 | 1960-06-07 | Farrel Birmingham Co Inc | Door structure for rubber mixers and the like |
| US3727880A (en) * | 1970-12-22 | 1973-04-17 | Stock Equipment Co | Valve |
| US3972504A (en) * | 1974-12-02 | 1976-08-03 | Ametek, Inc. | Main steam isolation check valve |
| GB1570066A (en) * | 1976-12-16 | 1980-06-25 | Dobson C | Fluid tight locks |
| JP2714833B2 (ja) * | 1988-12-18 | 1998-02-16 | 日本真空技術株式会社 | 仕込・取出室 |
| EP0389820B1 (de) * | 1989-03-30 | 1993-06-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen eines Werkstücks in eine Vakuumkammer |
-
1992
- 1992-02-07 DE DE4203473A patent/DE4203473A1/de not_active Withdrawn
- 1992-06-02 US US07/892,288 patent/US5205532A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-11-06 DE DE59201151T patent/DE59201151D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-11-06 EP EP92119075A patent/EP0554522B1/de not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-02-04 JP JP5017344A patent/JPH05271933A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011093711A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-12 | Vat Holding Ag | バルブカバーを有するフラップトランスファーバルブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0554522B1 (de) | 1995-01-04 |
| EP0554522A2 (de) | 1993-08-11 |
| DE4203473A1 (de) | 1993-08-12 |
| EP0554522A3 (en) | 1993-10-27 |
| US5205532A (en) | 1993-04-27 |
| DE59201151D1 (de) | 1995-02-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05271933A (ja) | １処理室から隣りの処理室へ基板を入れ、または出すための旋回スルースゲート | |
| KR101540491B1 (ko) | 진공밸브 | |
| US8870157B2 (en) | Flap transfer valve with valve cover | |
| US8622368B2 (en) | Flap transfer valve with pivotable valve closure beam | |
| US8424843B2 (en) | Shuttle valve having two drives | |
| JP2002160134A (ja) | クランプ装置 | |
| KR101426081B1 (ko) | 진공 밸브 | |
| JP2005320622A (ja) | 交換可能メンテナンス弁 | |
| JP5038895B2 (ja) | ゲート装置 | |
| US5406088A (en) | Scan and tilt apparatus for an ion implanter | |
| US5205919A (en) | Cathode sputtering apparatus | |
| US20090189107A1 (en) | Valve device | |
| EP0467356B1 (en) | Treatment system having gate device for decompression chamber | |
| US20100050534A1 (en) | Slotted tssl door to couple o-ring with moving mating part | |
| EP0453867B1 (en) | Slit valve apparatus and method | |
| GB2170885A (en) | Vacuum processing apparatus | |
| US6405484B1 (en) | Sealing system in which there is relative sliding motion between a gate and a port | |
| JPH07127631A (ja) | 吸気幅可変型サクションローラ | |
| CN112575305B (zh) | 一种在线式镀膜均匀性调整机构 | |
| KR102682462B1 (ko) | 스로틀밸브 및 그를 가지는 기판처리장치 | |
| JPH05195206A (ja) | 真空容器の外壁の撓みを減少させるための装置 | |
| US20060102863A1 (en) | Vacuum closure with linear drive unit | |
| JP2024040984A (ja) | 質量分析装置 | |
| AU720722B2 (en) | A sealing system | |
| TW201601191A (zh) | 濺鍍材料於基板表面上之射頻濺鍍配置 |