DE10341244A1 - Einrichtung zur Vakuumbeschichtung wenigstens einer Aufzeichnungsschicht auf mindestens ein optisches Aufzeichnungsmedium - Google Patents

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Gerhard Blasek
Steffen Griehl
Dietmar Koegler
Andre Matthes
Rolf Winkler
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Abstract

Die Erfindung betrifft Einrichtungen zur Vakuumbeschichtung wenigstens einer Aufzeichnungsschicht auf mindestens ein optisches Aufzeichnungsmedium, wobei sich auf Trägern jeweils mindestens ein Aufzeichnungsmedium und wenigstens eine Maske befinden. DOLLAR A Diese erlauben vorteilhafterweise eine kontinuierliche Beschichtung der Aufzeichnungsmedien. Dazu sind nach einer evakuierbaren Schleusenkammer oder zwischen zwei evakuierbaren Schleusenkammern mit je einem Torventil unmittelbar mehrere evakuierbare Kammern angeordnet. Die Innenräume der Schleusenkammern und der Kammern sind jeweils mit einer Vakuumpumpe verbunden. Zwischen den Innenräumen von Kammern befinden sich Einrichtungen zur Verminderung eines Gasaustausches. DOLLAR A Damit weisen die erfindungsgemäßen Einrichtungen vorteilhafterweise jeweils als Grundkonzept eine Durchlaufanlage auf, bei der die zu beschichtenden Aufzeichnungsmedien ununterbrochen an den ständig arbeitenden Beschichtungsquellen vorbeigeführt werden. DOLLAR A Die Einrichtung besteht vorteilhafterweise aus separaten, baugleichen und modular aufgebauten Kammern. Diese erfüllen technologisch bedingt unterschiedliche Aufgaben. Dazu gehören neben dem Beschichten das Aktivieren und das Kühlen der Aufzeichnungsmedien. Damit ist ein variabler Aufbau der Einrichtung gegeben.
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