JP2011106672A - 回転軸受を有するフラップトランスファーバルブ - Google Patents
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- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims abstract description 79
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 70
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 56
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 54
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 13
- 210000002105 tongue Anatomy 0.000 claims description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 238000011161 development Methods 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229920002449 FKM Polymers 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/16—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
- F16K1/18—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
- F16K1/20—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member
- F16K1/2007—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member specially adapted operating means therefor
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/16—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
- F16K1/18—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
- F16K1/20—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member
- F16K1/2028—Details of bearings for the axis of rotation
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/16—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
- F16K1/18—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
- F16K1/20—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation arranged externally of valve member
- F16K1/2042—Special features or arrangements of the sealing
- F16K1/205—Special features or arrangements of the sealing the sealing being arranged on the valve member
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
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- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
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Abstract
【解決手段】バルブ閉鎖ビーム4は共通回転軸10の周りに回動できるように軸受け要素27に取り付けられている。回転軸10は第1の開口部1の側面において、第1の密閉面3の平面28上を延びている。バルブ閉鎖ビーム4は閉鎖位置と開放位置との間で、回転軸10の周りに約90度まで回動できる。閉鎖位置ではバルブ閉鎖ビーム4の閉鎖面8は、第1の開口部1をカバーして閉鎖する。開放位置ではバルブ閉鎖ビーム4は第1の開口部1から離れるように回動して、第1の開口部1を開放する。回転軸10は第1の開口面15に向き合う軸受け要素27の片側にあり、シャフト軸12は第2の開口面16に向き合う軸受け要素27の反対側にある。
【選択図】図4
Description
2 第1の長手方向軸(第1の開口部の)
3 第1の密閉面(第1の開口部の周りの)
4 バルブ閉鎖ビーム(細長い)
5 第2の長手方向軸(バルブ閉鎖ビームの)
6 前面(バルブ閉鎖ビームの)
7 後面(バルブ閉鎖ビームの)
8 閉鎖面
9 第2の密閉面(バルブ閉鎖ビームの)=Oリング
10 回転軸
11 シャフト
12 シャフト軸
13 駆動部
14 バルブハウジング(気密な)
15 第1の開口面
16 第2の開口面
17 第2の開口部
18 側壁(細長い)
19 横方向
20 バルブカバー
21 継手
22 第1のセクション(シャフトの)=第1の成形部
23 第2のセクション(駆動シャフトの)=第2の成形部
24 駆動シャフト(駆動部の)
25 駆動シャフト軸(駆動シャフトの)
27 軸受要素
28 第1の密閉面の平面
29 第1のアーム
30 第2のアーム
31 第1アーム軸
32 第2アーム軸
33 共通平面
34 第1の開口面に向き合う半分
35 第2の開口面に向き合う半分
36 開口部軸
37 サービス開口部
38 ねじ
39 ねじ孔
C 閉鎖位置
O 開放位置
Claims (14)
- 気密様式で、隔離可能である、半導体または基板処理プロセスチャンバ内への、半導体素子または基板の搬送のためのフラップトランスファーバルブであって、
・第1の長手方向軸(2)に沿って延びて、第1の密閉面(3)によってフレームの形に取り囲まれた、細長い、特に、スロット状の、第1の開口部(1)と、
・−前記第1の長手方向軸(2)に実質的に平行であって、第2の長手方向軸(5)に沿って延びており、そして、
−前面(6)に、前記第1の開口部(1)を閉鎖するための閉鎖面(6)と、前記第1の密閉面(3)に対応し、これと気密接触可能である第2の密閉面(9)と、を有する、細長いバルブ閉鎖ビーム(4)と、
・前記バルブ閉鎖ビーム(4)の閉鎖面(8)が、前記第1の開口部(1)をカバーして閉鎖し、そして、
−前記第1の密閉面(3)と第2の密閉面(9)とが気密接触する閉鎖位置(C)と、
−前記バルブ閉鎖ビーム(4)が、前記第1の開口部(1)から離れるように回動させられて、前記第1の開口部(1)を開放する開放位置(O)と、
の間で、
前記第2の長手方向軸(5)に実質的に平行であって、回転軸(10)の周りに、特に、60°から105°の回動角度で、前記バルブ閉鎖ビーム(4)が回動可能である回転軸受と、
・前記第2の長手方向軸(5)に実質的に平行であって、シャフト軸(12)の周りに回転できるシャフト(11)であり、そして、シャフト軸(12)の周りの前記シャフト(11)の回転が、前記バルブ閉鎖ビーム(4)を前記回転軸(10)の周りに回動させるように、前記バルブ閉鎖ビーム(4)に、動作可能に接続されたシャフト(11)と、
・前記シャフト(11)を回転させて、開放位置(O)と閉鎖位置(C)との間で、前記バルブ閉鎖ビーム(4)を動かすために、前記シャフト(11)に連結された少なくとも1つの駆動部(13)と、
を有し、
・前記回転軸受は、前記バルブハウジング(14)内で、前記シャフト軸(12)と前記回転軸(10)とに沿って、互いに所定距離を置いて分散配置された、少なくとも3つの、−特に少なくとも5つの−、軸受要素(27)によって形成され、
・前記バルブ閉鎖ビーム(4)は、前記第1の開口部(1)の側面において、特に、前記第1の密閉面(3)の平面(28)の近くを、−特に、実質的に前記平面(28)上、を延びる前記回転軸(10)によって、共通回転軸(10)の周りに回動できるように、前記軸受要素(27)に取り付けられ、
・前記シャフト(11)は、前記軸受要素(27)の少なくとも幾つかに取り付けられ、
・前記シャフト軸(12)は、前記回転軸(10)から、所定距離を置いて前記第1の密閉面(3)の平面(28)に直角の方向に延びており、
・前記軸受要素(27)は、各々、共に回転するように、前記シャフト(11)上に配置された、少なくとも1つの、結合された第1のアーム(29)を有し、および、
・前記それぞれの第1のアーム(29)は、前記開放位置(O)と閉鎖位置(C)との間で、前記回転軸(10)の周りに前記バルブ閉鎖ビーム(4)を回動させるために、前記シャフト(11)の回転によって、そして、その結果の、前記シャフト軸(12)の周りの前記第1のアーム(29)の回動によって、前記バルブ閉鎖ビーム(4)の後面(7)に力を加えることができるように、直接または間接的に、前記第1のアームの自由端において前記バルブ閉鎖ビーム(4)の後面(7)に係合する、フラップトランスファーバルブ。 - ・前記第1のアーム(29)は、各々、前記回転軸(10)に平行して延びる第2アーム軸(32)の周りに回動できるように、前記バルブ閉鎖ビーム(4)の後面(7)に取り付けられた第2のアーム(30)に結合され、
・前記第1のアーム(29)および前記第2のアーム(30)は、各々、前記第2アーム軸(32)に、実質的に平行であって、第1アーム軸(31)の周りに連接されるように、これらのアームの自由端において、互いに接続され、および、
・前記シャフト(11)、第1のアーム(29)および第2のアーム(30)は、レバー駆動部を形成する、請求項1に記載のフラップトランスファーバルブ。 - ・前記第1のアーム(29)および第2のアーム(30)の長さ、および、前記共通シャフト軸(12)、共通第1アーム軸(31)および共通第2アーム軸(32)の間の距離は、前記シャフト軸(12)、第1アーム軸(31)および第2アーム軸(32)が、前記閉鎖位置(C)において、実質的に共通平面(33)上にあり、そして、前記第1のアーム(29)および第2のアーム(30)が、実質的に死点において位置合わせされると同様の値である、請求項2に記載のフラップトランスファーバルブ。
- ・前記第1のアーム(29)は、各々、前記シャフト(11)上の、前記軸受要素(27)の領域に配置される、請求項1〜3のいずれか1項に記載のフラップトランスファーバルブ。
- ・前記バルブ閉鎖ビーム(4)、回転軸受およびシャフト(11)は、バルブハウジング(14)内に配置され、
・前記第1の開口部(1)は、前記バルブハウジング(14)の第1の開口面(15)に配置され、そして、前記第1の開口部(1)の反対側にある第2の開口部(17)は、前記バルブハウジング(14)の、前記第1の開口面(15)の反対側にある、−特に、これと平行であって、第2の開口面(16)に配置され、および、
・前記軸受要素(27)は、特に、取外し可能なバルブカバー(20)上において、前記開口面(15、16)間で、実質的に直角に延びる前記バルブハウジング(14)の細長い側壁(18)に取り付けられる、請求項1〜4のいずれか1項に記載のフラップトランスファーバルブ。 - ・前記軸受要素(27)は、各々、前記バルブハウジング(14)内において、前記第1の開口面(15)と第2の開口面(16)との間で延びており、
・前記軸受要素(27)は、
−前記第1の開口面(15)に向き合う前記軸受要素の半分(34)上で、特に、前記第1の開口面(15)に向き合う側壁の半分上で、および/または、前記バルブハウジング(14)の第1の開口面(16)上で、前記バルブハウジング(14)に固定されており、および、
−前記第2の開口面(16)に向き合う半分(35)上で、特に第2の開口面(16)に向き合う側壁(18)の半分上では固定されず、前記側壁(18)に直角に、また、前記側壁(18)から離れる方向に、少なくとも所定程度動くことができ、
・前記回転軸(10)は、前記第1の開口面(15)に向き合う軸受要素(27)の半分(34)を貫通して延び、そして、前記シャフト軸(12)は、前記第2の開口面(16)に向き合う前記軸受要素(27)の半分(35)を貫通して延びる、請求項5に記載のフラップトランスファーバルブ。 - ・前記第1の開口面(15)に向き合う前記軸受要素(27)の前記半分(34)は、前記側壁(18)上に置かれ、そして、垂直方向に前記側壁(18)に固定されており、そして、
・前記第2の開口面(16)に向き合う前記軸受要素(27)の前記半分(35)は、前記側壁(18)上に置かれ、そして、前記側壁から離れるように垂直方向に固定されない、請求項6に記載のフラップトランスファーバルブ。 - バルブハウジング(14)、特に、気密なバルブハウジング(14)、を有しており、
・バルブハウジング(14)の第1の開口面(15)に第1の開口部(1)と、
・バルブハウジング(14)の、前記第1の開口面(15)の反対側にある第2の開口面(16)に第2の開口部(17)と、
を有し、
・前記バルブ閉鎖ビーム(4)、回転軸受およびシャフト(11)は、前記バルブハウジング(14)内に配置され、
・細長い側壁(18)上において、前記バルブハウジング(14)は、気密様式で、前記バルブハウジング(14)の残り部分に連結されて、前記第1の開口面(15)に平行な横方向(19)に移動可能であるバルブカバー(20)を有し、
・前記シャフト(11)は、回転できるように前記バルブカバー(20)に取り付けられ、および、
・前記回転軸受、シャフト(11)およびバルブ閉鎖ビーム(4)は、前記バルブカバー(20)を切り離して横方向(19)に移動させることによって、前記シャフト(11)、回転軸受およびバルブ閉鎖ビーム(4)が前記バブルハウジング(14)から切り離し可能であるように、前記バルブカバー(20)上に配置される、請求項1〜7のいずれか1項に記載のフラップトランスファーバルブ。 - ・前記駆動部(13)は、前記バルブカバー(20)から切り離されるバルブハウジング(14)のセクション上に配置され、および
・横方向(19)に取り外し可能である継手(21)は、前記シャフト(11)と駆動部(13)との間に配置され、バルブカバー(20)を移動させるために、前記シャフト(11)が駆動部(13)から切り離し可能であるように設計される、請求項8に記載のフラップトランスファーバルブ。 - ・前記継手(21)は前記シャフト(11)の第1のセクション(22)と、前記駆動部(13)の駆動シャフト(24)の、前記第1のセクション(22)にインタロック様式で連結された第2のセクション(23)と、によって形成され、前記インタロックは、横方向(19)に前記バルブカバー(20)を移動させることによって解放可能である、請求項9に記載のフラップトランスファーバルブ。
- ・前記シャフト軸(12)および前記駆動シャフト(24)の駆動シャフト軸(25)は、互いに平行に延びているか、または同一直線上にあり、
・前記シャフト(11)の第1のセクションは、前記シャフト(11)の一端部によって形成され、前記シャフト(11)の前記端部は、前記シャフト(11)が基本位置にあるときに、シャフト軸(12)に少なくとも所定程度直角に、また、横方向(19)に延びる第1の成形部(22)を有し、および、
・前記駆動シャフト(24)の第2のセクションは、前記駆動シャフト(24)の一端部によって形成され、前記駆動シャフト(24)の前記端部は、前記シャフト(11)が基本位置にあるときに、駆動シャフト軸(25)に少なくとも所定程度直角に、また、横方向(19)に延び、そして、インタロックを作り出すために、前記第1の成形部(22)に対応している、請求項10に記載のフラップトランスファーバルブ。 - 前記第1の成形部(22)および前記第2の成形部(23)は、前記シャフト(11)および前記駆動シャフト(24)の端部において、溝および舌片の形をしている、請求項11に記載のフラップトランスファーバルブ。
- 前記駆動シャフト(24)は、気密様式で、前記バルブハウジング(14)を貫通しており、そして、前記駆動部(13)は、前記バルブハウジング(14)の外側に配置されている、請求項10〜12のいずれか1項に記載のフラップトランスファーバルブ。
- 前記駆動部(13)は、前記バルブハウジング(14)から前記バルブカバー(20)と共に切り離し可能であるように、前記バルブカバー(20)に連結される、請求項8に記載のフラップトランスファーバルブ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP09173836.9 | 2009-10-22 | ||
EP09173836.9A EP2315236B1 (de) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | Klappen-Transferventil |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011106672A true JP2011106672A (ja) | 2011-06-02 |
JP5706127B2 JP5706127B2 (ja) | 2015-04-22 |
Family
ID=41650101
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010237297A Active JP5706127B2 (ja) | 2009-10-22 | 2010-10-22 | 回転軸受を有するフラップトランスファーバルブ |
JP2010237296A Expired - Fee Related JP5769226B2 (ja) | 2009-10-22 | 2010-10-22 | バルブカバーを有するフラップトランスファーバルブ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010237296A Expired - Fee Related JP5769226B2 (ja) | 2009-10-22 | 2010-10-22 | バルブカバーを有するフラップトランスファーバルブ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8870158B2 (ja) |
EP (1) | EP2315236B1 (ja) |
JP (2) | JP5706127B2 (ja) |
KR (2) | KR101764688B1 (ja) |
CN (2) | CN102117734B (ja) |
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- 2010-10-22 CN CN201010609444.7A patent/CN102117734B/zh active Active
- 2010-10-22 CN CN201010609406.1A patent/CN102147017B/zh active Active
- 2010-10-22 JP JP2010237297A patent/JP5706127B2/ja active Active
- 2010-10-22 US US12/910,568 patent/US8870158B2/en active Active
- 2010-10-22 KR KR1020100103719A patent/KR101764688B1/ko active IP Right Grant
- 2010-10-22 JP JP2010237296A patent/JP5769226B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-10-22 US US12/910,531 patent/US8870157B2/en active Active
- 2010-10-22 KR KR1020100103718A patent/KR101764685B1/ko active IP Right Grant
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CN102147017A (zh) | 2011-08-10 |
KR20110044163A (ko) | 2011-04-28 |
CN102117734B (zh) | 2015-04-01 |
JP5706127B2 (ja) | 2015-04-22 |
US20110095220A1 (en) | 2011-04-28 |
KR20110044164A (ko) | 2011-04-28 |
JP2011093711A (ja) | 2011-05-12 |
EP2315236A1 (de) | 2011-04-27 |
EP2315236B1 (de) | 2014-05-14 |
KR101764688B1 (ko) | 2017-08-03 |
US8870158B2 (en) | 2014-10-28 |
JP5769226B2 (ja) | 2015-08-26 |
CN102147017B (zh) | 2014-10-08 |
US20110095219A1 (en) | 2011-04-28 |
KR101764685B1 (ko) | 2017-08-03 |
CN102117734A (zh) | 2011-07-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130927 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140624 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140701 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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