JP2015113881A - 真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置 - Google Patents
真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015113881A JP2015113881A JP2013254972A JP2013254972A JP2015113881A JP 2015113881 A JP2015113881 A JP 2015113881A JP 2013254972 A JP2013254972 A JP 2013254972A JP 2013254972 A JP2013254972 A JP 2013254972A JP 2015113881 A JP2015113881 A JP 2015113881A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hinge hole
- opening
- valve
- auto
- vacuum cabin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
【解決手段】フレ−ム10は、台座11、2つの側枠12、及び縁部13から組成される中空フレーム体である。駆動気筒20は、台座11に設置され、能動的に伸縮する駆動軸21を有する一般的な従来の空気圧シリンダー或いは油圧シリンダーである。横棒30は、駆動軸21の端に設置され、駆動軸21の軸心に垂直になる。第一棒部材40は、一端が横棒30の端に枢設される。旋回棒部材50は、上端に三角形を呈し分布される第一ヒンジ穴51、第二ヒンジ穴52、及び第三ヒンジ穴53が設けられる。調整台60は、縁部13に連結され、第二ヒンジ穴52に枢設する。第二棒部材70は、旋回棒部材50の第三ヒンジ穴53に枢設される。
【選択図】図2
Description
以下、本発明の一実施形態を図1〜4に基づいて説明する。
本実施形態に係る真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置は、フレ−ム10、駆動気筒20、横棒30、第一棒部材40、旋回棒部材50、調整台60、第二棒部材70、滑動ブロック80、および、弁棒90を備える。
フレ−ム10は、台座11、2つの側枠12、及び縁部13から組成される中空フレーム体である。
駆動気筒20は、台座11に設置され、能動的に伸縮する駆動軸21を有する一般的な従来の空気圧シリンダー或いは油圧シリンダーである。
横棒30は、駆動軸21の端に設置され、駆動軸21の軸心に垂直になる。
第一棒部材40は、一端が横棒30の端に枢設される。
旋回棒部材50は、上端に三角形を呈し分布される第一ヒンジ穴51、第二ヒンジ穴52、及び第三ヒンジ穴53が設けられる。
調整台60は、縁部13に連結され、第二ヒンジ穴52に枢設する。
第二棒部材70は、旋回棒部材50の第三ヒンジ穴53に枢設される。
滑動ブロック80は、側枠12に滑動するように設置され、第二棒部材70の第三ヒンジ穴53に対応させる他端に枢設される。
弁棒90は、一端が滑動ブロック80に連結され、他端が真空キャビンのバルブ100に連結され、バルブ100と連動してオープン位置とロック位置との間で切り換える。
11・・・台座、
12・・・側枠、
13・・・縁部、
20・・・駆動気筒、
21・・・駆動軸、
30・・・横棒、
40・・・第一棒部材、
50・・・旋回棒部材、
51・・・第一ヒンジ穴、
52・・・第二ヒンジ穴、
53・・・第三ヒンジ穴、
60・・・調整台、
61・・・調整ねじ部、
70・・・第二棒部材、
80・・・滑動ブロック、
81・・・滑動部材、
90・・・弁棒、
100・・・バルブ、
101・・・ドアのフレ−ム、
102・・・板部、
103・・・滑動溝、
104・・・開口部、
A・・・直線、
B・・・軸心、
θ・・・刃先角。
Claims (10)
- バルブを開閉する開閉装置であって、
台座、2つの側枠、及び、縁部から構成される中空フレーム体のフレ−ムと、
前記台座に設置されると共に能動的に伸縮する駆動軸を有する駆動気筒と、
前記駆動軸の端部に設置される横棒と、
一端が前記横棒の端部に枢設される少なくとも1つの第一棒部材と、
上端に形成され三角形に分布される第一ヒンジ穴、第二ヒンジ穴、及び第三ヒンジ穴を有する少なくとも1つの旋回棒部材と、
前記縁部に連結され、前記第二ヒンジ穴に回転可能に設けられている少なくとも1つの調整台と、
一端が前記第三ヒンジ穴に回転可能に設けられている少なくとも1つの第二棒部材と、
前記側枠に滑動可能に設置され、前記第二棒部材の前記第三ヒンジ穴に対応する他端に回転可能に設けられている少なくとも1つの滑動ブロックと、
一端が前記滑動ブロックに連結され、他端が前記バルブに連結され、前記バルブと連動し、オープン位置とロック位置との切り換えを行う少なくとも1つの弁棒と、を備え、
前記第一棒部材は、前記第一ヒンジ穴および前記横棒の端部に回転可能に設けられていることを特徴とする真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置。 - 2つの前記側枠は、前記台座の両端に設けられ、
前記縁部は、側枠の台座に対応させる他端に設けられることを特徴とする、請求項1に記載のオートロック式真空キャビンのドアの開閉装置。 - 前記駆動気筒の前記駆動軸は、前記縁部の方向への延出動作を行い、前記台座の方向への縮退動作を行うことを特徴とする請求項2に記載の真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置。
- 前記弁棒が前記ロック位置に位置するとき、
前記第二ヒンジ穴及び前記第三ヒンジ穴を通る直線と、前記第二棒部材の軸心の前記第一棒部材側の縁部との間の角度である刃先角は、170度から190度であることを特徴とする請求項1に記載の真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置。 - 前記弁棒が前記ロック位置に位置するとき、
前記第二ヒンジ穴及び前記第三ヒンジ穴を通る直線と、前記第二棒部材の軸心とは、同一直線上に位置し、前記駆動気筒の軸心と平行になることを特徴とする請求項1に記載の真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置。 - 前記調整台と前記縁部との間に設けられている調整ねじ部をさらに備え、
前記調整ねじ部は、前記調整台と前記縁部との間の距離を調整することを特徴とする請求項1に記載の真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置。 - 前記調整ねじ部の軸心は、前記駆動軸の軸心と平行になることを特徴とする請求項6に記載の真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置。
- 前記滑動ブロックは、前記滑動部材より前記側枠に設置し、
前記滑動部材の軸心は、前記駆動軸の軸心と平行になることを特徴とする請求項1に記載の真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置。 - 前記滑動部材は、リニアレールであることを特徴とする請求項8に記載の真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置。
- 前記バルブは、ドアのフレ−ム及び板部を有し、
前記ドアのフレ−ムは、前記台座の前記駆動気筒とは反対側に連結され、前記駆動軸の軸心の方向と平行に形成されている滑動溝、及び、前記滑動溝に穿設されている開口部が内設されており、
前記弁棒は、前記板部に連結され、
前記板部は、前記弁棒に連動され、前記滑動溝内を移動し、前記弁棒がロック位置に位置するとき、前記開口部を密封し、前記弁棒がオープン位置に位置するとき、前記開口部を開放することを特徴とする請求項1に記載の真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013254972A JP5767306B2 (ja) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | 真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013254972A JP5767306B2 (ja) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | 真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015113881A true JP2015113881A (ja) | 2015-06-22 |
JP5767306B2 JP5767306B2 (ja) | 2015-08-19 |
Family
ID=53527885
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013254972A Active JP5767306B2 (ja) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | 真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5767306B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220168226A (ko) * | 2021-06-15 | 2022-12-23 | 주식회사 테크엑스 | 로드포트모듈 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108916403B (zh) * | 2018-07-24 | 2020-01-07 | 北票真空设备有限公司 | 一种能够双向密封的大口径高真空挡板阀机构 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11190439A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-07-13 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 真空ゲート弁 |
JP2010526974A (ja) * | 2007-05-16 | 2010-08-05 | バット ホールディング アーゲー | バルブ |
JP2011106672A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-06-02 | Vat Holding Ag | 回転軸受を有するフラップトランスファーバルブ |
-
2013
- 2013-12-10 JP JP2013254972A patent/JP5767306B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11190439A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-07-13 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 真空ゲート弁 |
JP2010526974A (ja) * | 2007-05-16 | 2010-08-05 | バット ホールディング アーゲー | バルブ |
JP2011106672A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-06-02 | Vat Holding Ag | 回転軸受を有するフラップトランスファーバルブ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220168226A (ko) * | 2021-06-15 | 2022-12-23 | 주식회사 테크엑스 | 로드포트모듈 |
KR102506596B1 (ko) | 2021-06-15 | 2023-03-08 | 주식회사 테크엑스 | 로드포트모듈 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5767306B2 (ja) | 2015-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2878870B1 (en) | Self-lockable opening and closing mechanism for vacuum cabin door | |
JP5767306B2 (ja) | 真空キャビンのオートロック式ドアの開閉装置 | |
US7090192B2 (en) | Vacuum valve | |
US10352480B2 (en) | Bidirectional gate valve | |
WO2011137691A1 (zh) | 密封腔体阀板驱动机构 | |
KR101494307B1 (ko) | 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브 | |
TWI518235B (zh) | 自鎖式真空艙門啟閉裝置 | |
US9431280B2 (en) | Self-lockable opening and closing mechanism for vacuum cabin door | |
CN209381347U (zh) | 复合挤出机头 | |
KR101513371B1 (ko) | 진공 캐빈 도어용 자체-잠금 가능한 개폐 메카니즘 | |
CN106938776A (zh) | 一种真空腔室物料转送装置 | |
JP2007238242A (ja) | チャンバの扉開閉機構及びそれを備える真空装置 | |
WO2016011761A1 (zh) | 反应腔室的上盖开启机构及反应腔室 | |
AU2014210262B2 (en) | Slow-closing hinge for doors | |
TWM474792U (zh) | 自鎖式真空艙門啟閉裝置 | |
KR20180041515A (ko) | 진공챔버용 게이트밸브 | |
CN106088881B (zh) | 一种柜门的开合机构 | |
CN203413136U (zh) | 一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀 | |
JP2016160990A (ja) | リンク付きゲート弁 | |
JP2001165350A (ja) | ゲ−トバルブおよび弁体の取付機構 | |
TW201625865A (zh) | 連桿閘板閥 | |
CN104612488A (zh) | 自锁式真空舱门启闭装置 | |
BR202012021537U2 (pt) | Sistema de acionamento para obtenção de vedação hermética e acústica em esquadrias deslizantes | |
KR100596339B1 (ko) | 평판표시소자 제조장치 유지/보수용 개폐장치 | |
CN204004488U (zh) | 插板阀 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150526 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150618 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5767306 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |