KR20220168226A - 로드포트모듈 - Google Patents

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Abstract

로드포트모듈에 대한 발명이 개시된다. 개시된 로드포트모듈은: 개방구를 갖는 프레임, 프레임의 일측에서 개방구에 대응되도록 구비되고 개방구 측으로 개방되거나 개폐되는 풉, 프레임의 타측에서 개방구 또는 풉의 개방측을 개폐하는 백도어, 백도어를 프레임에 대해 이동시키며 개방구를 개폐하는 개폐작동부, 및 백도어가 닫히는 시점에 백도어가 개방구 또는 풉의 개방측의 가장자리를 따라 전체에 걸쳐 밀착되도록 백도어를 자연적으로 미세 조정하는 미세조정부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

로드포트모듈{LOAD PORT MODULE}
본 발명은 로드포트모듈에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 개폐작동부에 의해 백도어가 풉의 개방측 또는 프레임의 개방구를 닫으면서, 미세조정부를 통해 백도어가 자연적으로 미세하게 움직이면서 풉의 개방측 가장자리 또는 프레임의 개방구의 가장자리를 따라 접하도록 하여, 백도어와 풉(FOUP:Front Opening Unified Pod)간 밀폐성을 높이고자 하는 로드포트모듈에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼는 증착 공정, 노광 공정, 식각 공정 및 세정 공정 등을 거치며 가공된다. 즉, 반도체는 웨이퍼에 다양한 처리 공정이 실시되며 제조된다.
최근에는 반도체 제조는 처리 공정의 효율성을 높이면서도, 반도체 제조의 수율을 높일 수 있는 방법들로 진행된다. 일례로, 웨이퍼에 미세한 회로를 패터닝 하여 고집적화 반도체를 생산하고 있다.
그런데, 미세한 회로의 패터닝 됨에 따라, 분자상 오염물질에 의한 회로 간 단락 발생이 쉽게 일어나고 있다. 이러한 회로의 단락 현상은 반도체 수율을 감소시키는 문제로 대두 되고 있다. 이에, 반도체의 수율을 최대화하기 위한, 각 공정에서 클린도를 높이는 장치의 연구 개발이 활발하게 진행되고 있다.
일례로, 로드포트모듈(LPM;Load Port Module)과 이송챔버(Transfer Module)를 연결하는 이에프이엠(EFEM: Equipment Front End Module) 내부를 질소로 충전한 후, 로드포트모듈(LPM)에 안착된 풉(FOUP;Front Opening Unified Pod)을 자연스럽게 질소 분위기로 조성하는 장치 등이 개발된 바 있다.
관련기술로는 대한민국 공개특허공보 제10-2017-0054427호(공개일자: 2017.05.17.)가 제안된 바 있다.
상기한 기술구성은 본 발명의 이해를 돕기 위한 배경기술로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 널리 알려진 종래기술을 의미하는 것은 아니다.
기존 이에프이엠(EFEM)에 채워진 질소 가스가 풉과 로드포트모듈 간 틈새로 새는[leak] 것을 방지하기 위해 로드포트모듈에 백도어를 구비하여 풉의 개방측을 밀폐하지만, 이동하면 움직인 후 풉의 개방측을 닫기 때문에, 백도어가 일부 틀어져서 가장자리 전체에 걸쳐 풉의 개방측과 밀착되지 않게 되는 문제점이 있다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위하여 안출된 것으로서, 개폐작동부에 의해 백도어가 풉의 개방측 또는 프레임의 개방구를 닫으면서, 미세조정부를 통해 백도어가 자연적으로 미세하게 움직이면서 풉의 개방측 가장자리 또는 프레임의 개방구의 가장자리를 따라 접하도록 하여, 백도어와 풉(FOUP:Front Opening Unified Pod)간 밀폐성을 높이고자 하는 로드포트모듈을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 로드포트모듈은: 개방구를 갖는 프레임; 상기 프레임의 일측에서 상기 개방구에 대응되도록 구비되고, 상기 개방구 측으로 개방되거나 개폐되는 풉; 상기 프레임의 타측에서 상기 개방구 또는 상기 풉의 개방측을 개폐하는 백도어; 상기 백도어를 상기 프레임에 대해 이동시키며 상기 개방구를 개폐하는 개폐작동부; 및 상기 백도어가 닫히는 시점에, 상기 백도어가 상기 개방구 또는 상기 풉의 개방측의 가장자리를 따라 전체에 걸쳐 밀착되도록, 상기 백도어를 자연적으로 미세 조정하는 미세조정부를 포함한다.
상기 개폐작동부는, 상기 백도어의 외측에 구비되고, 상기 프레임의 축 방향을 따라 상하 이동되는 덮개; 상기 덮개에 고정되는 링크브라켓; 상기 링크브라켓에 축 방향을 따라 타측이 링크 연결되는 링크바; 상기 링크바의 축 방향에 대해 일측을 링크 연결하여, 타측을 기준으로 상기 링크바를 호 궤적을 따라 왕복 이동시키는 회동조작부재; 상기 링크바에 고정되어, 평면상 상기 링크바와 동일 궤적을 따라 왕복 이동되는 픽스바; 상기 픽스바의 축 방향을 따라 양측에 각각 고정되고, 상기 백도어 측으로 상기 픽스바에서 경사지게 연장되는 서포트바; 및 상기 서포트바 각각에 고정되어, 상기 백도어를 후측에서 지지한 채 결속함으로써, 상기 회동조작부재의 조작시 상기 백도어를 소정 회동시키면서 상기 개방구 또는 상기 풉의 개방측의 가장자리와 밀착 또는 이격 유도하는 커넥팅부재를 포함한다.
상기 미세조정부는, 상기 덮개에 고정 연결되는 버티컬빔에 구비되고, 상기 백도어에 연결되는 연결블록; 상기 버티컬빔에 고정되는 설치브라켓; 및 상기 설치브라켓에 대해 상기 연결블록이 자연적으로 사방향으로 소정 회동이 가능하도록 안내함으로써, 상기 백도어가 닫힘시 상기 개방구 또는 상기 풉의 개방측의 가장자리의 전체에 걸쳐 밀착되도록 하는 회동부를 포함한다.
상기 회동부는, 상기 연결블록에 원기둥 또는 원통 형상으로 연장되는 회동안내리브; 및 상기 설치브라켓에 고정되고, 상기 회동안내리브의 직경보다 소정 큰 직경으로 이루어지거나 또는 탄성 변형 가능하도록 구비된 채, 상기 회동안내리브를 축 삽입함으로써, 상기 설치브라켓에 대한 상기 백도어의 미세 조정이 가능하도록 하는 조인트링을 포함한다.
상기 회동부는, 상기 조인트링의 삽입홀에 축 삽입된 상기 회동안내리브의 축 방향 이탈을 방지하기 위해, 상기 삽입홀의 내측에 위치 고정된 채 상기 조인트링을 결속하는 결속플레이트를 포함한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 로드포트모듈은 종래 기술과 달리 개폐작동부에 의해 백도어가 풉의 개방측 또는 프레임의 개방구를 닫으면서, 미세조정부를 통해 백도어가 자연적으로 미세하게 움직이면서 풉의 개방측 가장자리 또는 프레임의 개방구의 가장자리를 따라 접하도록 하여, 백도어와 풉(FOUP:Front Opening Unified Pod)간 밀폐성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드포트모듈의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드포트모듈의 확대 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드포트모듈에서 백도어 유닛을 분리한 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 유닛의 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 유닛의 배면 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 유닛의 평단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 모듈의 배면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 모듈의 개폐작동부의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 모듈의 미세조정부의 분해 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세조정부의 전개도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 로드포트모듈의 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드포트모듈의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드포트모듈의 확대 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드포트모듈에서 백도어 유닛을 분리한 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 유닛의 분해 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 유닛의 배면 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 유닛의 평단면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 모듈의 배면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 모듈의 개폐작동부의 사시도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 백도어 모듈의 미세조정부의 분해 사시도이며, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세조정부의 전개도이다.
도 1 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 로드포트모듈(100)은 프레임(110), 풉(120), 백도어(130), 개폐작동부(200) 및 미세조정부(300)를 포함한다.
특히, 본 발명에 따른 로드포트모듈(LPM;Load Port Module,100)은 반도체용 웨이퍼(10)의 처리 장치이다.
프레임(110)은 로드포트모듈(100)의 뼈대(지지대)를 형성하는 것으로서, 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다. 아울러, 프레임(110)은 양측으로 개방되는 개방구(112)를 통공한다.
그리고, 프레임(110)은 일측으로 스테이지(114)는 구비한다. 이때, 스테이지(114)는 프레임(110)에 일체로 제작될 수도 있고, 프레임(110)에 분리 가능하게 결합되어 연장될 수도 있다.
아울러, 스테이지(114)는 개방구(112)의 하측에 대응되도록 프레임(110)의 일측에 구비된다.
또한, 풉(FOUP:Front Opening Unified Pod,120)은 스테이지(114)에 접하여 지지되고, 내부에 웨이퍼(10)를 다수 층으로 적층하여 보관한다.
이때, 풉(120)은 프레임(110)의 개방구(112)에 대응되는 둘레면을 개방되게 형성될 수 있고, 개방측을 개페 가능하게 구비할 수 있다.
풉(120)은 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.
백도어(130)는 프레임(110)의 타측에 배치되고, 개방구(112) 또는 풉(120)의 개방측을 개폐하는 역할을 한다. 백도어(130)가 풉(120)의 개방측을 막은 후, 건조기체가 풉(120)의 내부로 공급됨으로써, 풉(120) 내부의 웨이퍼(10)는 건조 처리된다.
한편, 개폐작동부(200)는 백도어(130)를 프레임(110)에 대해 이동시키며 개방구(112)를 개폐하는 역할을 한다.
아울러, 미세조정부(300)는, 백도어(130)가 닫히는 시점에, 백도어(130)가 개방구(112) 또는 풉(120)의 개방측의 가장자리를 따라 전체에 걸쳐 밀착되도록, 백도어(130)를 자연적으로 미세 조정 가능하도록 구비된다.
상세히, 개폐작동부(200)는 덮개(210), 링크브라켓(220), 링크바(230), 회동조작부재(240), 픽스바(250), 서포트바(260), 커넥팅부재(270) 및 이동부(280)를 포함한다.
덮개(210)는 백도어(130)의 외측에 구비되고, 프레임(110)의 축 방향을 따라 상하 이동된다.
이때, 덮개(210)는 백도어(130)와 별개로 구비되어, 백도어(130)는 덮개(210)에 대해 입체방향(사방향)으로 움직임이 가능하게 된다.
아울러, 덮개(210)는 백도어(130)에 의해 외부로 노출되지 않는 내부에 링크브라켓(220), 링크바(230), 회동조작부재(240), 픽스바(250), 서포트바(260) 및 커넥팅부재(270)를 구비함에 따라 보호하는 역할을 한다.
물론, 백도어(130)와 덮개(210)는 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.
그리고, 링크브라켓(220)은 덮개(210)의 백도어(130)를 향하는 덮개(210)의 전측면에 고정된다. 이때, 링크브라켓(220)은 다양한 형상으로 적용 가능한데, 편의상 덮개(210) 측으로 개방되는 '디귿자'형상인 것으로 도시한다.
링크바(230)는 링크브라켓(220)에 축 방향을 따라 타측(상측)이 링크 연결된다. 그래서, 링크바(230)는 링크브라켓(220)에 링크 연결된 타측(상측)을 기준으로 일측(하측)이 호 궤적을 따라 양방향 회동 가능하게 된다. 링크바(230)는 다양한 형상으로 적용 가능하다.
회동조작부재(240)는 덮개(210)에 고정되고, 링크바(230)의 축 방향에 대해 일측을 링크 연결하여, 타측을 기준으로 링크바(230)를 호 궤적을 따라 강제로 왕복 이동시키는 역할을 한다. 이때, 회동조작부재(240)는 다양하게 적용 가능하고, 편의상 실린더인 것으로 도시한다.
그리고, 픽스바(250)는 링크바(230)의 축 방향을 따라 일측 가장자리와 타측 가장자리 사이에 고정되게 연결된다. 그래서, 픽스바(250)는 평면상 링크바(230)와 동일 궤적을 따라 왕복 이동된다.
특히, 링크바(230)는 백도어(130)에 대해 수직 방향으로 배치되고, 픽스바(250)는 백도어(130)에 대해 수평 방향으로 배치된다. 물론, 링크바(230)의 중심축과 픽스바(250)의 중심축이 수직되게 배치될 수도 있고, 둔각 또는 예각으로 배치될 수도 있다.
아울러, 서포트바(260)는 픽스바(250)의 축 방향을 따라 양측에 각각 고정되고, 백도어(130) 측으로 픽스바(250)와 나란하게 또는 경사지게 연장된다. 이때, 서포트바(260)는 개수 및 형상에 한정되지 않는다.
커넥팅부재(270)는 서포트바(260) 각각에 고정되어, 백도어(130)를 후측에서 지지한 채 결속함으로써, 회동조작부재(240)의 조작시, 백도어(130)를 소정 회동시키면서 개방구(112) 또는 풉(120)의 개방측의 가장자리와 밀착 또는 이격 유도한다.
다시 말해서, 백도어(130)는 서포트바(260) 및 커넥팅부재(270)에 의해 원주 방향으로 회동되고, 풉(120)을 향하거나 반대되는 방향(전후방향)으로 틀어진다. 즉, 백도어(130)는 사방향으로 움직이게 된다.
한편, 이동부(280)는 덮개(210)를 이동시키는 역할을 한다. 편의상, 이동부(280)는 덮개(210)를 프레임(110)에 대해 상하 방향으로 이동시키도록 작동되는 것으로 한다.
이때, 백도어(130)는, 회동조작부재(240)에 작동으로 개방구(112) 또는 풉(120)의 개방측의 가장자리와 이격된 후, 프레임(110)의 하부 방향으로 이동된다.
이를 위해, 이동부(280)는 버티컬빔(282), 가이드레일(284) 및 이송부재(285)를 포함한다.
버티컬빔(282)은 상부를 덮개(210)에 고정 연결한다. 그래서, 덮개(210)와 버티컬빔(282) 및 백도어(130)는 프레임(110)의 축 방향을 따라 함께 왕복 이동된다.
가이드레일(284)은 버티컬빔(282)의 축 방향을 따라 양측에 배열되도록 프레임(110)에 구비된다.
아울러, 이송부재(285)는 버티컬빔(282)의 해당측 가장자리를 고정 연결하고, 대응되는 가이드레일(284)을 따라 왕복 이동 가능하게 된다. 이때, 이송부재(285)는 대응되는 가이드레일(284)을 따라 왕복 이동되는 LM가이드로 적용할 수 있다.
따라서, 덮개(210)와 백도어(130)는 이동부(280)에 의해 버티컬빔(282)과 함께 상부 방향으로 이동하며 프레임(110)의 개방구(112)에 대응되게 위치한다.
그리고, 회동조작부재(240)가 작동되며, 백도어(130)는 원주 방향으로 소정 회동되면서 전후 방향으로 움직이며 프레임(110)의 개방구(112) 또는 풉(120)의 개방측을 막는다.
한편, 미세조정부(300)는 연결블록(310), 설치브라켓(320) 및 회동부(330)를 포함한다.
연결블록(310)은 덮개(210)에 고정 연결되는 버티컬빔(282)에 구비되고, 백도어(130)에 연결된다. 즉, 버티컬빔(282)은 장착홀(283)을 통공하고, 연결블록(310)은 장착홀(283)에 수용된다. 그래서, 연결블록(310)은 버티컬빔(282)의 전측으로 노출된다.
그리고, 설치브라켓(320)은 버티컬빔(282)에 고정된다. 설치브라켓(320)은 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.
또한, 회동부(330)는 설치브라켓(320)에 대해 연결블록(310)이 자연적으로 사방향으로 소정 회동이 가능하도록 안내함으로써, 백도어(130)가 닫히면서 개방구(112) 또는 풉(120)의 개방측의 가장자리의 전체에 걸쳐 밀착되도록 한다.
더욱 상세히, 회동부(330)는 회동안내리브(331), 조인트링(332), 결속플레이트(333) 및 조인트패드(334)를 포함한다.
회동안내리브(331)는 연결블록(310)에 원기둥 또는 원통 형상으로 연장된다.
그리고, 조인트링(332)은 설치브라켓(320)에 고정된다. 특히, 조인트링(332)은 설치브라켓(320)의 설치홀(322)에 억지 삽입된다.
아울러, 조인트링(332)은 회동안내리브(331)의 직경보다 소정 큰 직경으로 이루어지거나 또는 탄성 변형 가능하도록 구비된 채, 회동안내리브(331)를 축 삽입한다. 이를 위해, 조인트링(332)은 삽입홀(335)을 통공한다.
따라서, 설치브라켓(320)에 대해 회동안내리브(331), 연결블록(310) 및 백도어(130)의 미세 조정이 가능하게 됨으로써, 백도어(130)는 가장자리 전체가 개방구(112) 또는 풉(120)의 개방측의 가장자리의 전체에 걸쳐 대체적으로 균일한 압력으로 밀착된다.
특히, 조인트링(332)이 설치브라켓(320)의 설치홀(322)에서 백도어(130)를 향하는 방향에 반대되는 타측 방향으로 이탈되는 것을 방지하기 위해, 고정브라켓(324)이 설치브라켓(320)의 타측에 분리 가능하게 결합되고, 버티컬빔(282)의 대향하는 내측면에 분리 가능하게 결합된다.
물론, 설치브라켓(320)은 설치홀(322)의 타측이 막히도록 형성될 수도 있다.
또한, 결속플레이트(333)는 조인트링(332)의 삽입홀(335)에 축 삽입된 회동안내리브(331)의 축 방향 이탈을 방지하기 위해, 삽입홀(335)의 내측에 위치 고정된 채 조인트링(332)을 결속한다.
즉, 결속플레이트(333)는 조인트링(332)의 삽입홀(335)에 억지 삽입되고, 결속볼트(336)에 의해 회동안내리브(331)의 단면과 분리 가능하게 결합된다.
이때, 조인트링(332)이 경질일 경우, 결속플레이트(333)는 조인트링(332)의 내부에서 전후 방향으로 자유롭게 움직일 수 있도록 구비된다.
아울러, 조인트링(332)이 연질일 경우, 결속플레이트(333)는 조인트링(332)의 내부에 억지 삽입되어 고정된 채 탄성 변형되는 조인트링(332)과 함께 움직임이 발생된다.
결속플레이트(333)는 다양한 형상으로 변형 가능하다.
그리고, 조인트패드(334)는 장착홀(283)을 통해 버티컬빔(282)의 외측으로 노출되는 연결블록(310)에 분리 가능하게 결합되고, 백도어(130)에 면접된 상태로 결합된다.
이에 따라, 개방구(112) 또는 풉(120)의 개방측의 가장자리의 전체에 걸쳐 접하기 위한 백도어(130)의 움직임이, 상대적으로 접촉 면적이 넓은 조인트패드(334)를 통해 연결블록(310)의 움직임에 안정적으로 전달된다. 조인트패드(334)는 다양한 형상으로 적용 가능하다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10: 웨이퍼 100: 로드포트모듈
110: 프레임 114: 스테이지
120: 풉(FOUP) 130: 백도어
200: 개폐작동부 210: 덮개
220: 링크브라켓 230: 링크바
240: 회동조작부재 250: 픽스바
260: 서포트바 270: 커넥팅부재
280: 이동부 282: 버티컬빔
283: 장착홀 300: 미세조정부
310: 연결블록 320: 설치브라켓
322: 설치홀 324: 고정브라켓
330: 회동부 331: 회동안내리브
332: 조인트링 333: 결속플레이트
334: 조인트패드

Claims (5)

  1. 개방구를 갖는 프레임;
    상기 프레임의 일측에서 상기 개방구에 대응되도록 구비되고, 상기 개방구 측으로 개방되거나 개폐되는 풉;
    상기 프레임의 타측에서 상기 개방구 또는 상기 풉의 개방측을 개폐하는 백도어;
    상기 백도어를 상기 프레임에 대해 이동시키며 상기 개방구를 개폐하는 개폐작동부; 및
    상기 백도어가 닫히는 시점에, 상기 백도어가 상기 개방구 또는 상기 풉의 개방측의 가장자리를 따라 전체에 걸쳐 밀착되도록, 상기 백도어를 자연적으로 미세 조정하는 미세조정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트모듈.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 개폐작동부는,
    상기 백도어의 외측에 구비되고, 상기 프레임의 축 방향을 따라 상하 이동되는 덮개;
    상기 덮개에 고정되는 링크브라켓;
    상기 링크브라켓에 축 방향을 따라 타측이 링크 연결되는 링크바;
    상기 링크바의 축 방향에 대해 일측을 링크 연결하여, 타측을 기준으로 상기 링크바를 호 궤적을 따라 왕복 이동시키는 회동조작부재;
    상기 링크바에 고정되어, 평면상 상기 링크바와 동일 궤적을 따라 왕복 이동되는 픽스바;
    상기 픽스바의 축 방향을 따라 양측에 각각 고정되고, 상기 백도어 측으로 상기 픽스바에서 경사지게 연장되는 서포트바; 및
    상기 서포트바 각각에 고정되어, 상기 백도어를 후측에서 지지한 채 결속함으로써, 상기 회동조작부재의 조작시 상기 백도어를 소정 회동시키면서 상기 개방구 또는 상기 풉의 개방측의 가장자리와 밀착 또는 이격 유도하는 커넥팅부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트모듈.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 미세조정부는,
    상기 덮개에 고정 연결되는 버티컬빔에 구비되고, 상기 백도어에 연결되는 연결블록;
    상기 버티컬빔에 고정되는 설치브라켓; 및
    상기 설치브라켓에 대해 상기 연결블록이 자연적으로 사방향으로 소정 회동이 가능하도록 안내함으로써, 상기 백도어가 닫힘시 상기 개방구 또는 상기 풉의 개방측의 가장자리의 전체에 걸쳐 밀착되도록 하는 회동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트모듈.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 회동부는,
    상기 연결블록에 원기둥 또는 원통 형상으로 연장되는 회동안내리브; 및
    상기 설치브라켓에 고정되고, 상기 회동안내리브의 직경보다 소정 큰 직경으로 이루어지거나 또는 탄성 변형 가능하도록 구비된 채, 상기 회동안내리브를 축 삽입함으로써, 상기 설치브라켓에 대한 상기 백도어의 미세 조정이 가능하도록 하는 조인트링을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트모듈.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 회동부는, 상기 조인트링의 삽입홀에 축 삽입된 상기 회동안내리브의 축 방향 이탈을 방지하기 위해, 상기 삽입홀의 내측에 위치 고정된 채 상기 조인트링을 결속하는 결속플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트모듈.
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