KR20030043394A - 반송 용기의 덮개 착탈 장치 - Google Patents

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Abstract

여러 제조자의 여러 가지 반송 용기에 대하여, 모두 덮개 부재를 개폐할 수 있어서 사용 조건(온도, 습도, 사용 조건)이 변화되어도 정상 동작할 수 있는 허용 변형 오차를 만족시켜, 어떠한 사용 조건이어도 반송 용기가 임의의 부재에 충돌하지 않고 착탈될 수 있다. 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기(200)의 개구부(202)의 덮개(203)를 고청정도로 유지된 룸의 개구부(12)의 문(13)에 결합시켜, 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 덮개(13)를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치로서, 덮개(13)의 위치 결정을 하는 위치 결정 핀(14a, 14b), 위치 결정 핀(14a, 14b)의 위치를 미세 조정하는 미세 조정 기구(20), 위치 결정 핀(14a, 14b)에 의해서 맞물린 덮개(13)의 위치를 유지하는 위치 유지 기구(40)를 갖추었다.

Description

반송 용기의 덮개 착탈 장치 {POD COVER REMOVING-INSTALLING APPARATUS}
본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 얇은 기판을 수용하여 반송하는 반송 용기를 클린 룸에 장착하여, 서로의 청정도를 유지한 채로 그 덮개를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 관한 것이다.
도 21은 종래의 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 일례를 도시한 도면이다.
종래의 반송 용기의 덮개 착탈 장치(100)는 고청정도의 공간(A)과 저청정도의 공간(B)을 구획하는 칸막이 판(101)과, 칸막이 판(101)에 형성되고 고청정도의 공간(A)과 저청정도의 공간(B)을 연통하는 개구부(102)와, 칸막이 판(101)의 개구부(102)를 개폐하는 도어(103)와, 도어(103)에 설치된 2개의 위치 결정 핀(104a, 104b) 및 2개의 T자 키(104c, 104d)를 갖고, 반송 용기(200)의 덮개(203)를 래치하는 래치 기구(104)와, 저청정도의 공간(B) 측에 설치되고 반송 용기(200)가 탑재되고 3개의 위치 결정 핀(105a, 105b, 105c) 및 하나의 잠금 키(105d)를 갖는테이블(105) 등을 구비하고 있다.
반송 용기(200)는 내부 공간(C)이 고청정도로 유지되고, 반도체 웨이퍼를 복수 개(예를 들면, 25개) 수용하는 용기이다.
이 반송 용기(200)는 용기 본체(201)와, 용기 본체(201)의 일면에 설치된 개구부(202)와, 개구부(202)를 개폐하고 위치 결정 핀(104a, 104b)이 결합하는 핀 구멍(204a, 204b) 및 T자 키(104c, 104d)가 맞물리는 키 구멍(204c, 204d)을 갖는 덮개(203)와, 테이블(105)의 위치 결정 핀(105a, 105b, 105c)이 결합하는 V자 단면의 홈(205a, 205b, 205c) 및 잠금 키(105d)가 맞물리는 키 구멍(205d)을 갖는 바닥면(205)을 구비하고 있다.
반송 용기(200)를 테이블(105)에 탑재하면, 3개의 위치 결정 핀(105a∼105c)이 V자 단면의 홈(205a∼205c)에 결합한다. 여기에서, 도시하지 않은 잠금 버튼을 스위치-온 하면, 잠금 키(105d)가 상승되고 경사져서 키 구멍(205d)에 맞물리는 동시에 테이블(105) 전체가 칸막이 판(101) 측으로 소정의 거리(약 30mm 정도) 이동하여, 반송 용기(200)가 칸막이 판(101)에 밀착된다. 칸막이 판(101)의 개구부(102) 및 반송 용기(200)의 개구부(202)의 외주에는 도시하지 않은 O링 등의 밀봉재가 설치되어 있어서 밀착에 의해 청정도를 유지할 수 있다.
반송 용기(200)는 테이블(105)의 이동에 의해 덮개(203)가 도어(103)에 밀착되어, 위치 결정 핀(104a, 104b)이 덮개(203)의 핀 구멍(204a, 204b)에 결합하고, T자 키(104c, 104d)가 키 구멍(204c, 204d)에 삽입된다. 그 후에, 도시하지 않은 로터리 액츄에이터 등에 의해 T자 키(104c, 104d)를 90도 회전시킴으로써,발톱(204e∼204h)이 끌려 들어가, 용기 본체(201)와 덮개(203)와의 잠금이 해제된다.
이어서, 도어(103)는 도시하지 않은 구동 기구에 의해 공간(A)의 내측으로 끌려들어오는(화살표 D1) 동시에 하강하여(화살표 D2), 반송 용기(200)의 내부 공간(C)과 칸막이 판(101)의 내부 공간(A)이 고청정도를 유지한 채로 연통된다.
전술한 종래의 기술에서는, 반송 용기(200)가 수지성형에 의해서 제작되어 있고, 성형 조건이나 온도 등에 따라 약간의 왜곡이 발생하기 때문에 위치 결정 핀(104a, 104b), 덮개(203)의 핀 구멍(204a, 204b)이나 키 구멍(204c, 204d) 등에 테이퍼 형상을 하게 하여 원활한 착탈 동작을 하도록 하고 있었다.
그러나 반송 용기(200)가 직경 300mm를 넘는 대구경 웨이퍼를 수용하는 경우에는, 허용 변형 오차(±0.5mm)를 확보하는 데에는 상당히 엄격한 기준이었다. 이로 인하여, 상기 동작이 안정적으로 유지되기 위해서는 매우 어려움이 수반될 것으로 예상되어 다음과 같은 대책이 고려된다.
(A) 제1 방법은 용기 본체(201)와 덮개(203)를 각각 정밀도가 양호하게 제작하여 한 대씩 조정하여 조립하는 일이다. 그러나 이 방법은 별도의 반송 용기를 사용하는 경우에는 재조정해야 한다는 문제가 있었다.
(B) 제2 방법은 용기 본체(201)를 약간 움직일 수 있도록 함으로써, 용기 본체(201)와 덮개(203)와의 어긋남을 흡수한다. 이 방법은 작은 변형에 대해서는 효과를 발휘하지만 큰 변형인 경우에는 비효율적이다. 예를 들면, 제조한지 얼마 안되었을 때에는 문제가 없다고 해도, 2∼3년 지나면 서서히 변형이 발생하여, 점점 상태가 악화될 가능성이 있다.
본 발명의 목적은 SEMI 규격에 준하여 제작된 여러 제조자의 여러 가지 반송 용기에 대하여, 모두 덮개 부재를 개폐할 수 있고, 또한 그 여러 제조자의 여러 가지 반송 용기에 대하여 사용 조건(온도, 습도, 사용 조건)이 변화되어도 정상 동작할 수 있는 허용 변형 오차를 만족시켜, 어떠한 사용 조건이더라도 반송 용기가 어느 부재에도 충돌하지 않고 착탈할 수 있는 반송 용기의 덮개 착탈 장치를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제1 실시예의 개략을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제1 실시예를 나타내는 정면도이다.
도 3은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 미세 조정 기구를 도시한 도면(도 2의 III 부분 확대도)이다.
도 4는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 센터링 기구를 도시한 도면(도 2의 IV 부분 확대도)이다.
도 5는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 유지 기구를 도시한 도면(도 2의 V-V 단면도)이다.
도 6은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 편심 전달 기구를 도시한 도면으로서, (a)는 사시도, (b)는 도 2의 VI-VI 단면도이다.
도 7은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 고정 수단을 도시한 도면(도 2의 VII-VII 단면도)이다.
도 8은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제어 수단을 나타내는 블록도이다.
도 9는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 동작 예(덮개의 개방 동작 1)를 나타내는 플로차트이다.
도 10은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 동작 예(덮개의 개방 동작 2)를 나타내는 플로차트이다.
도 11은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 동작 예(덮개의 폐쇄 동작 1)를 나타내는 플로차트이다.
도 12는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 동작 예(덮개의 개방 동작 2)를 나타내는 플로차트이다.
도 13은 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제2 실시예의 주요부를 나타내는 정면도이다.
도 14는 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제2 실시예의 주요부를 도시한 도면으로서, (a)는 도 13의 A-A 단면도, (b)는 도 13의 B-B 단면도이다.
도 15는 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제2 실시예의 주요부를 도시한 도면으로서, (a)는 (b)의 화살표 E 방향으로 본 도면이고, (b)는 도 13의 C-C 단면도이다.
도 16은 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제2 실시예의 주요부를 도시한 도면으로서, 도 13의 D-D 단면도이다.
도 17은 제3 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 유지 기구를 도시한 도면이다.
도 18은 제4 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 부재를도시한 도면이다.
도 19는 제5 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 테이블 위치 결정 부재를 도시한 도면이다.
도 20은 제6 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 부재를 도시한 도면이다.
도 21은 종래의 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 일례를 도시한 도면이다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 제1 발명은 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하고, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 덮개 부재의 위치 결정을 하는 위치 결정 부재와, 상기 위치 결정 부재의 위치를 미세 조정하는 미세 조정 기구와, 상기 위치 결정 부재에 의해서 맞물린 상기 덮개 부재의 위치를 유지하는 위치 유지 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제2 발명은 제1 발명 기재의 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 도어 부재는 베이스 플레이트와 그 베이스 플레이트에 대하여 면 방향으로 이동 가능한 위치 맞춤 플레이트를 구비하고, 상기 위치 결정 부재는 상기 위치 맞춤 플레이트에 설치되고, 상기 미세 조정 기구는 상기 베이스 플레이트에 설치되어 상기 위치 맞춤 플레이트를 면 방향으로 이동 가능하게 지지하고, 상기 위치 유지 기구는 상기 베이스 플레이트에 설치되어 상기 위치 맞춤 플레이트의 위치를 유지하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제3 발명은 제2 발명 기재의 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 맞춤 플레이트를 중앙 위치로 복귀시키는 센터링 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제4 발명은 제2 발명 기재의 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 맞춤 플레이트에 설치되고, 그 축 주위로 회전하여 상기 덮개 부재에 맞물려 잠금 또는 해제하는 잠금 부재를 추가로 구비하고, 상기 베이스 플레이트 측에 설치되어 상기 잠금 부재를 회전 구동하는 잠금 부재 구동 수단과, 상기 베이스 플레이트와 상기 위치 맞춤 플레이트의 면 방향으로의 어긋남을 허용하여 상기 잠금 부재 구동 수단의 회전력을 상기 잠금 부재에 전달하는 편심 전달 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제5 발명은 제1 내지 제4 발명 중 어느 하나에 기재된 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 유지 기구는 상기 잠금 부재가 상기 덮개 부재를 잠그기 전에, 상기 위치 맞춤 플레이트의 지지를 해제하여 상기 잠금 부재가 상기 덮개 부재를 잠근 후에 상기 위치 맞춤 플레이트를 지지하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제6 발명은 제1 내지 제5 발명 중 어느 하나에 기재된 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 잠금 부재는 상기 덮개 부재가 상기 반송 용기의 개구부에 삽입되는 삽입 동작의 초기 단계에서 잠금을 해제하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제7 발명은 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하여 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 덮개 부재에 맞물려 잠그는 잠금 부재와 상기 잠금 부재를 상기 도어 부재 측에 잡아 당겨 상기 덮개 부재를 상기 도어 부재에 고정하는 덮개 고정 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제8 발명은 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하여 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 덮개 부재의 피결합부에 결합하여 위치 결정을 하는 위치 결정 부재와, 상기 위치 결정 부재의 외경을 변화시켜 상기 위치 결정 부재를 상기 덮개 부재의 피결합부에 위치 결정 고정시키는 위치 결정 고정 수단을 구비한 것 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제9 발명은 제8 발명 기재의 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 결정 고정 수단은 상기 위치 결정 부재의 외주에 설치되고 내부 압력의 증감에 의해 신축하는 신축 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제10 발명은 제8 발명 기재의 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 결정 고정 수단은 상기 위치 결정 부재에 형성되고 기계적인 힘에 의해 그 직경을 변화시키는 분할부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제11 발명은 제1 내지 제10 발명 중 어느 하나에 기재된 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 결정 부재는, 선단에 테이퍼를 가지는 외부 원통과, 상기 외부 원통에 대하여 축방향으로 이동 가능하게 설치되고, 선단에 상기 외부 원통의 테이퍼와 각도가 일치하는 테이퍼를 가져서 돌출 시에 상기 양 테이퍼가 연속하도록 배치된 내부 원통과 상기 내부 원통을 돌출방향으로 가압하는 가압 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제12 발명은 제1 내지 제11 발명 중 어느 하나에 기재된 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단과, 상기 반송 용기를 탑재하여 상기 위치 결정 부재와의 결합 위치까지 반송하는 반송 테이블과, 상기 반송 용기의 하면에 설치된 V자형 단면의 홈과 상기 반송 테이블 상에 설치되어 상기 V자형 단면의 홈에 맞물리는 연결 핀을 포함하고, 상기 반송 용기를 상기 반송 테이블에 고정하는 고정 수단을 구비하고, 상기 연결 자세 교정 수단은 상기 연결 핀과 V자형 단면의 홈과의 접촉 범위에 설치되고, 상기 반송 테이블의 반송 방향과 대략 직각인 고정면인 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
제13 발명은 제1 내지 제11 발명 중 어느 하나에 기재된 반송 용기의 덮개착탈 장치에 있어서, 상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단을 구비하고, 상기 연결 자세 교정 수단은 상기 도어 부재의 주변부에 설치되고 상기 반송 용기의 덮개 부재의 상부 및/또는 측부를 눌러 소정의 가동 범위 내에서 상기 반송 테이블의 반송 방향 및 이것과 수직 방향으로 이동 가능한 누름 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.
이하, 도면 등을 참조하면서 본 발명의 실시예를 들어 더욱 상세하게 설명한다.
(제1 실시예)
도 1 및 도 2는 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제1 실시예를 도시한 도면으로서, 도 1은 개략적으로 나타내는 사시도이고 도 2는 정면도이다.
이 반송 용기의 덮개 착탈 장치(10)는 칸막이 판(11), 개구부(12), 칸막이 판(11)의 개구부(12)를 개폐하는 도어(13), 2개의 위치 결정 핀(14a, 14b) 및 2개의 T자 키(14c, 14d)를 갖고, 반송 용기(200)의 덮개(203)를 개폐하는 래치 기구(14) 등을 구비하고 있다.
제1 실시예에서, 도어(13)는 베이스 플레이트(13A)와, 그 베이스 플레이트(13A)에 대하여 위치 맞춤을 할 수 있도록 면 방향으로 이동 가능한 위치 맞춤 플레이트(13B)를 구비하고 있다.
또 도어(13)의 내부에는 4개의 미세 조정 기구(20), 2개의 센터링 기구(30), 4개의 위치 유지 기구(40), 2개의 편심 전달 기구(50) 및 위치 결정 고정 수단(60) 등이 설치되어 있다.
도 3은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 미세 조정 기구를 도시한 도면(도 2의 III 부분 확대도)이다.
미세 조정 기구(20)는 위치 맞춤 플레이트(13B)를 면 방향으로 이동 가능하게 지지하여 위치 결정 핀(14a, 14b)의 위치를 미세 조정하는 기구이다. 이 미세 조정 기구(20)는 위치 맞춤 플레이트(13B)의 네 모서리에 설치되어 있고(도 1 참조), 나사부(21a)로 베이스 플레이트(13A)에 조여 고정하는 장착구(21), 장착구(21)의 풀림 방지용 암나사(22), 장착구(21)에 삽입되는 프리 베어링 등의 수용 부재(23) 및 그 수용 부재(23)에 회전가능하게 지지되는 볼(24), 대향 측 베이스 플레이트 프레임(13A-1)에 설치된 대향판(25), 대향판(25)에 설치된 수용 부재(26), 수용 부재(26)에 회전가능하게 지지되는 볼(27), 위치 맞춤 플레이트(13B) 측에 설치되고 홀(24)과 볼(27)의 사이에 이동 가능하게 끼인 가이드 판(28) 등을 구비하고 있다.
이 미세 조정 기구(20)는 위치 결정 핀(14a, 14b)이 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a, 204b)(도 21참조)에 결합하는 초기 상태에서 위치 결정 핀(14a, 14b) 선단의 테이퍼가 핀 구멍(204a, 204b)의 테이퍼를 따르는 동작에 따라 면 방향으로 소정량(예를 들면, 상하좌우로 3mm) 이동한다. 이 때 도어에 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a, 204b)의 위치에 다소의 오차가 있더라도 충돌하지 않고 용이하게 결합할 수 있다.
도 4는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 센터링 기구를 도시한 도면(도 2의 IV 부분 확대도)이다.
센터링 기구(30)는 위치 맞춤 플레이트(13B)를 중앙 위치에 복귀시키는(센터링하는) 기구이다. 이 센터링 기구(30)는 수평 방향(x 방향) 및 수직 방향(y 방향)용 2개의 시스템으로 이루어지는 기구가 있어, 누름판(31x, 31y), 누름판(31x, 31y)을 베이스 플레이트(13A)에 고정하는 고정구(32x, 32y), 누름판(31x, 31y)을 중앙 측으로 가압하는 코일 스프링(33x, 33y), 코일 스프링(33x, 33y)의 타단을 베이스 플레이트(13A)에 고정하는 고정구(34x, 34y), 누름판(31x, 31y)에 접촉하는 가이드편(guide piece)(35, 37), 가이드편(35, 37)을 위치 맞춤 플레이트(13B)와 베이스 플레이트(13A)에 고정하는 고정구(36, 38) 등을 구비하고 있다.
누름판(31X)은 가이드편(35, 37)이 X 방향으로 일직선이 되도록 정렬한다. 마찬가지로, 누름판(31Y)은 가이드편(35, 37)이 Y 방향으로 일직선이 되도록 정렬한다. 이상의 작용에 의해 위치 맞춤 플레이트(13B)의 센터링이 실현된다.
또, 도시가 생략되어 있지만, 도 2의 좌측 상방이나 우측 상방에 도시한 기구와 대칭의 기구가 설치되어 있다.
위치 맞춤 플레이트(13B)는 미세 조정 기구(20)에 따라 베이스 플레이트(13A)에 대하여 면 방향으로 이동 가능하기 때문에, 센터링 기구(30)를 설치함으로써 결합의 초기 상태에서는 위치 결정 핀(14a, 14b)이 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a, 204b)(도 21참조)에 항상 미리 설정된 중심 위치(오차가 없는 결합 위치)에 센터링할 수 있다.
도 5는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 유지 기구를 도시한 도면(도 2의 V-V 단면도)이다.
위치 유지 기구(40)는 반송 용기(200)의 덮개 부재(203)에 위치 결정 핀(14a, 14b)에 의해서 맞물린 위치 맞춤 플레이트(13B)의 위치를 유지하는 기구이다. 이 위치 유지 기구(40)는 베이스 플레이트 프레임(13A-1)에 설치된 고정판(41)과, 이 고정판(41)에 O링(42)을 사이에 두고 연결되고, 도시하지 않은 진공압원과 연결되는 노즐을 가지는 조인트(43)와, 조인트(43)에 설치되고 위치 맞춤 플레이트(13B)에 흡착 가능한 흡착 패드(44) 등을 구비하고 있다.
위치 맞춤 플레이트(13B)는 미세 조정 기구(20)에 따라 베이스 플레이트(13A)에 대하여 면 방향으로 이동 가능하기 때문에, 위치 유지 기구(40)를 설치함으로써 위치 결정 핀(14a, 14b)이 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a, 204b)(도 21 참조)에 결합한 위치를 유지할 수 있다. 이로 인하여 덮개(203)를 분리한 후에 다시 그 덮개(203)를 복귀시킬 때에도 분리하기 전의 위치를 유지하고 있기 때문에, 충돌하지 않고 덮개(203)를 닫을 수 있다.
도 6은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 편심 전달 기구를 도시한 도면으로서, 도 6(a)은 사시도이고 도 6(b)는 도 2의 VI-VI 단면도이다.
T자 키(14c)(14d)는 위치 맞춤 플레이트(13B)의 소정의 위치에 설치되고, 덮개(203)의 키 구멍(204c)(204d)에 결합하여 덮개(203)를 잠그는 부재이며, 잠금 부재 구동 기구(70)(도 2참조)에 의해서 구동된다. 이 잠금 부재 구동 기구(70)는 베이스 플레이트(13A) 측에 설치되고, T자 키(14c)(14d)를 축 주위에 정역회전시켜, 잠금 또는 해제 동작을 하는 기구이다.
위치 맞춤 플레이트(13B)는 가동을 위해 가벼운 쪽이 좋기 때문에, 잠금 부재 구동 기구(70) 등은 베이스 플레이트(13A)에 설치하는 것이 바람직하다. 이로 인하여, T자 키(14c)(14d)에 잠금 부재 구동 기구(70)로부터의 구동력을 전달하기 위해 편심 전달 기구(50)가 설치되어 있다.
이 편심 전달 기구(50)는 베이스 플레이트(13A)와 위치 맞춤 플레이트(13B)가 면 방향으로 어긋나는 것을 허용하여, 잠금 부재 구동 기구(70)의 회전력을 T자 키(잠금 부재)(14c)(14d)에 전달하는 기구이다.
이 편심 전달 기구(50)는 도 6에 도시한 바와 같이, 잠금 부재 구동 기구(70)에 연결되는 구동 레버(51), 구동 레버(51)에 회전가능하게 연결되는 회전 레버(52), 회전 레버(52)를 베이스 플레이트(13A)에 회전가능하게 지지하는 베어링부(54), 회전 레버(52)에 설치된 전달 롤러(53A, 53B), 전달 롤러(53A, 53B) 및 후술하는 전달 롤러(56A, 56B)가 삽입되고 직교하는 홈(55a, 55b)이 양면에 제공된 슬라이드 디스크(55), 전달 롤러(56A, 56B)가 설치되고 T자 키(14c)(14d)와 동축으로 설치된 회전판(57), 그리고 회전판(57) 및 T자 키(14c)(14d)의 축을 위치 맞춤 플레이트(13B)에 회전가능하게 지지하는 베어링 부(58) 등을 구비하고 있다.
이 편심 전달 기구(50)는 위치 맞춤 플레이트(13B)가 면 방향으로의 가동 범위 내에서 벗어난 경우에도 잠금 부재 구동 기구(70)의 회전력을 T자 키(14c)(14d)에 전달할 수 있다.
여기에서, 잠금 부재 구동 기구(70)는 도 2에 도시한 바와 같이, 모터(71), 모터(71)의 회전이 벨트(72)에 의해서 전달되는 구동 나사(73), 구동 나사(73)와 평행하게 배치된 슬라이드 축(74), 슬라이드 축(74)에 슬라이드 가능하게 지지되어구동 나사(73)로 구동되는 이동 블록(75), 그리고 이동 블록(75)에 고정되어 전달 레버(51)의 장공에 맞물리는 베어링(76) 등을 구비하고 있다.
베어링(76)이 (a)의 위치에 있을 때 회전 레버(52)는 (a)의 위치에 있다. 베어링(76)이 우측으로 이동하여 (b)의 위치에 오면 회전 레버(52)가 회전하기 때문에 그 만큼 전달 레버(51)가 2점쇄선의 위치까지 내려온다. 베어링(76)은 이동 블록(75)에 고정되어 있기 때문에 (b)의 위치에서도 수평 방향으로는 (a)와 같은 위치이다. 이로 인하여 전달 레버(51)와 베어링(76)의 맞물림 위치가 어긋나지만, 그 어긋남은 전달 레버(51)의 장공에 의해서 흡수된다.
도 7은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 고정 수단을 도시한 도면(도 2의 VII-VII 단면도)이다.
위치 고정 수단(60)은 위치 결정 핀(14a, 14b)이 반송 용기(200)의 핀 구멍(피결합부)(204a, 204b)에 맞물려 위치 결정을 했을 때 위치 결정 핀(14a, 14b)을 핀 구멍(204a, 204b)에 위치를 고정시키는 수단이다.
이 실시예의 위치 고정 수단(60)은 위치 결정 핀(14a)(14b)의 축 방향으로 설치된 유로(61)와, 이 유로(61)에 연통되고, 직경방향으로 설치된 유로(62)와 위치 결정 핀(14a)(14b)의 외주에 설치되고, 내부 압력의 증감에 의해 신축하는 네오프렌(neoprene) 등의 고무로 성형된 신축 부재(63), 유로(61)에 연통되는 배관(64), 그리고 배관(64)을 위치 결정 핀(14a)(14b)의 후단에 고정하는 고정구(65) 등을 구비하고 있다.
이 위치 고정 수단(60)은 배관(64)에 도시하지 않은 공압 회로나 진공압 회로를 접속하여, 위치 결정 핀(14a)(14b)의 유로(61, 62)의 내부 압력을 증감함으로써 신축 부재(63)가 신축하여 핀 구멍(204a, 204b)의 간극을 채우기 때문에 위치 결정 핀(14a)(14b)을 위치 고정할 수 있다.
도 8은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제어 수단을 나타내는 블록도, 도 9 내지 도 12는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 동작 예를 나타내는 플로차트이다.
제어 수단(80)은 각 가동부의 위치 등을 검출하는 각종 센서(81)와 각종 센서(81)로부터의 위치 검출 신호에 따라, 후술하는 각 구동부를 제어하는 제어 신호를 생성하는 컨트롤러(82)와, 컨트롤러(82)로부터의 제어 신호를 각 구동부에 맞춘 구동 신호로 변환하는 드라이버(83)와, 드라이버(83)로부터의 구동 신호에 따라 구동되는 구동부인, 위치 유지 기구(40)로의 공기압의 흐름을 제어하는 위치 유지용 밸브(84), 덮개 고정 수단(60)으로의 공기압의 흐름을 제어하는 덮개 고정용 밸브(85), 잠금 부재 구동 수단(70)의 덮개 잠금용 모터(71), 용기 이동 모터(86) 및 도어 이동 모터(87) 등을 구비하고 있다.
다음에, 도 9 및 도 10을 이용하여 덮개의 개방 동작을 설명한다.
먼저, 컨트롤러(82)는 위치 유지용 밸브(84)를 해제 측으로 구동하여 스텝 S(이하, 단순히 S로 표기함)(101), 해제를 센서로 확인하면(S102, YES), 용기 이동 모터(86)를 구동하여 반송 용기(200)를 전진시키고(S103), 반송 용기(200)가 결합위치에 온 것을 센서로 확인하면(S104, YES), 용기 이동 모터(86)를 정지한다.
이 상태에서는 위치 유지용 밸브(84)에 의해 위치 유지 기구(40)가 해제되어있기 때문에 위치 맞춤 플레이트(13B)는 프리(free)로 되어 있고, 또한 센터링 기구(30)에 의해 중앙 위치로 이동하고 있다. 그리고, 반송 용기(200)가 결합 위치에 오면 위치 결정 핀(14a, 14b)에 대하여 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a, 204b)이 허용 범위 내에서 벗어나 있어도, 위치 맞춤 플레이트(13B)가 미세 조정 기구(20)에 의해서 이동하기 때문에 반송 용기(200)의 덮개(203)와 도어(13)의 결합이 이루어진다.
다음에, 덮개 잠금용 모터(71)를 해제 측으로 구동하여(S105) T자 키(14c, 14d)를 회전시켜, 덮개(203)의 발톱(204e∼204h)을 끌어넣고 발톱(204e∼204h)이 끌어넣어진 것(해제)을 센서로 확인하면(S106, YES), 덮개 고정용 밸브(85)를 고정측으로 작동시켜(S107) 위치 결정 핀(14a, 14b)의 신축 부재(63)를 팽창시켜, 핀 구멍(204a, 204b)과의 고정을 센서로 확인한다(S108, YES).
이 때, S107의 동작의 최종 단계에서, 위치 결정 핀(14a, 14b)과 핀 구멍(204a, 204b)이 어긋나 있고 위치 맞춤 플레이트(13B)가 이동하고 있어도, 편심 전달 기구(50)가 있으므로 T자 키(14c, 14d)를 회전시킬 수 있다.
또, 위치 결정 핀(14a, 14b)의 신축 부재(63)를 팽창시켜 핀 구멍(204a, 204b)과 고정하기 때문에 정확한 위치 고정을 할 수 있다.
이어서, 도 10에 도시한 바와 같이, 위치 유지용 밸브(84)를 유지 측으로 구동하여(S109), 유지를 센서로 확인하면(S110, YES) 도어 이동 모터(87)를 구동하여 후퇴시키고(S111), 후퇴를 센서로 확인하면(S112, YES) 도어 이동 모터(87)를 다시 구동하여 하강시키고(S113), 하한 위치에 오면(S114, YES) 정지하여 처리를 종료한다.
이 상태에서는, 위치 유지용 밸브(84)를 유지 측으로 구동하여 위치 맞춤 플레이트(13B)의 위치를 유지하고 있기 때문에, 후술하는 덮개의 폐쇄 동작을 할 때에도 원래의 위치를 유지할 수 있어, 도어의 재결합 시에 반송 용기(200)의 개구부(202)에 충돌을 하지 않는다.
다음에, 도 11 및 도 12를 이용하여 덮개의 폐쇄 동작을 설명한다.
먼저, 컨트롤러(82)는 도 11에 도시한 바와 같이, 도어 이동 모터(87)를 구동하여 상승시키고(S201), 상한 위치에 오면(S202, YES) 정지하여 도어 이동 모터(87)를 다시 구동하여 전진시키고(S203), 반송 용기(200)와의 재결합의 초기를 센서로 확인하면(S204, YES) 위치 유지용 밸브(84)를 해제 측으로 구동한다(S205). 해제를 센서로 확인하면(S206, YES) 다시 도어 이동 모터(87)를 구동하여 전진시키고(S207), 재결합이 완료되면 도어 이동 모터(87)를 정지시키고 반송 용기(200)와의 재결합의 완료를 센서로 확인한다(S208).
다음에, 덮개 고정용 밸브(85)를 해제 측으로 작동시켜(S209) 위치 결정 핀(14a, 14b)의 신축 부재(63)를 수축시켜, 핀 구멍(204a, 204b)과의 해제를 센서로 확인한다(S210, YES). 그리고, 덮개 잠금용 모터(71)를 잠금 측으로 구동하여(S211) T자 키(14c, 14d)를 회전시켜서 덮개(203)의 발톱(204e∼204h)을 돌출시키고, 발톱(204e∼204h)이 돌출되어 잠근 것을 센서로 확인한다(S212, YES).
마지막으로, 용기 이동 모터(86)를 구동하여 반송 용기(200)를 후퇴시켜(S213) 반송 용기(200)가 후퇴한 것을 센서로 확인하면(S104, YES), 용기이동 모터(86)를 정지하여 덮개의 폐쇄 동작을 종료한다.
(제2 실시예)
도 13 내지 도 16은 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제2 실시예의 주요부를 도시한 도면으로, 도 13은 정면도, 도 14(a)는 도 13의 A-A 단면도, 도 14(b)는 도 13의 B-B 단면도, 도 15(a)는 도 15(b)의 화살표 E 방향으로 본 도면, 도 15(b)는 도 13의 C-C 단면도, 도 16은 도 13의 D-D 단면도이다.
제2 실시예의 덮개 착탈 장치는 제1 실시예의 구조 외에, 잠금 핀(13a, 13b)을 도어(13) 측으로 잡아당겨(도 13에서는 끌어내려) 덮개(203)를 도어(13)에 고정하는 덮개 고정 수단을 구비한 것이다.
도시하지 않은 구동 수단으로부터의 직선 운동이 도 13의 래크(312)에 전달되면, 이 래크(312)에 맞물리는 피니언 기어(311)를 회전시킨다. 이 피니언 기어(311)에는 원판(310)이 동축으로 나사 고정되어 있다.
이 원판(310)은 180° 회전가능하여, 최초 90°의 회전으로 T자 키(14c)(14d)를 회전시키고, 다음 90°의 회전으로 T자 키(14c)((14d))를 화살표 F 방향으로 끌어넣어 덮개(203)를 도어(13)에 고정한다(덮개 고정 수단).
원판(309)은 90° 회전가능하며, 베이스 플레이트(13A)에 나사 고정된 축(309a)에 회전가능하게 장착되어 있고, 그 하면에 형성된 홈과 원판(310)의 상면에 나사 고정된 회전체(베어링)에 의해 원판(310)으로부터의 회전이 전달되어 있다.
이 회전 원판(309)에는 도 14(a)에 도시한 바와 같이, 이동체(308) 및 베어링(307)을 통해 회전원판(306)이 연결되어 있다. 이동체(308) 및 베어링(307)은 회전 원판(309)과 회전 원판(306)이 도 13의 상하 방향 또는 좌우 및 전후 방향으로 어긋나 있더라도 그 회전을 허용하기 위한 것이다.
원판(305)은 원판(306)에 지주(320) 및 부시(321)(도 13 참조)를 통해 연결되고 스프링에 의해서 서로 가압되어 있기 때문에, 회전 원판(305, 306)은 일체로 회전한다.
T자 키(14c)(14d)는 지지대(302)에 축 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있고, 지지대(302)에는 밀어내림 판(303)이 연결되어 있다. 밀어내림 판(303)에는 베어링(304)이 설치되어 있으며, 베어링(304)은 원판(305)의 상면에서 구름접촉하고 있다. 원판(305)은 스프링(301)에 의해 밀어올림 방향으로 가압되어 있다. 원판(305)이 지지대(302)에 접촉함으로써, T자 키(14c)(14d)는 축 방향의 위치를 정확하게 결정할 수 있다.
T자 키(14c)(14d)는 원판(310)의 최초 90°의 회전에 의해 상기 기구를 통해 90° 회전함으로써, 잠금(또는 해제) 동작을 할 수 있다. 이 때, 이동체(308) 및 베어링(307)(편심 전달 기구)을 구비하고 있기 때문에, 회전 원판(309)과 회전 원판(306)이 도 13의 상하 방향 또는 좌우 및 전후 방향으로 어긋나 있더라도 그 회전을 전달할 수 있다.
한편, 도 13 및 도 15에 도시한 바와 같이, 롤러(318)는 베이스 플레이트(13A)에 설치된 브래킷(322)에 장착되어 있고 원판(310)의 하면에 접하여, 원판(310)이 하방으로 변형되는 것을 방지하고 있다.
도 16(b)에 도시한 바와 같이, 원판(310)은 그 상면에 홈(310a)이 형성되어 있다. 이 홈(310a)은 바닥면이 최고점(310b)과 최저점(310c) 사이에서 경사져 있다. 이 홈(310a)에는 베어링(313)이 삽입되어 이동한다. 베어링(313)은 브래킷(322)에 장착된 칼라(323)에 슬라이드 가능하게 설치된 지지체(324)의 하단에 장착되어 있다. 지지체(324)는 상부가 원통으로 되어 있고, 스프링(315)을 통해 지주(316)가 삽입되어 있다. 핀(314)은 지지체(324)에 설치되어 지지체(324)의 회전을 방지하는 핀이다. 핀(314)은 브래킷(322)에 설치된 장공에 결합하고 있기 때문에, 지지체(324)는 상하로 이동하더라도 회전하지 않는다.
기부(317)는, 밀어내림 판(303)에 나사 고정되어 있고, 그 하단이 지주(316)의 상단과 접하고 있다. 밀어내림 판(303)은 핀(319)에 의해 회전가능하게 지지되어 있고, 기부(317)가 받는 밀어 올리는 힘(화살표 G)에 의해 도 13의 반시계 방향으로 회전하여, 타단에 설치되어 있는 베어링(304)에 밀어 내리는 힘(화살표 F)을 전달한다.
즉, 밀어내림 판(303)은 원판(310)의 다음 번 90°의 회전에 의해 상기 기구를 통해 T자 키(14c)(14d)를 밀어 내려서 반송 용기(200)의 덮개(203)를 도어(13)에 고정할 수 있다.
제2 실시예에 의하면, 하나의 구동원에 의해 T자 핀(14c)(14d)의 회전 동작과, 덮개(203)를 도어(13)에 고정하는 T자 핀(14c)(14d)의 끌어넣는 동작을 할 수 있다. 또한, 베이스 플레이트(13A)와 위치 맞춤 플레이트(13B)의 어긋남을 허용하는 편심 전달 기구도 동시에 구비하고 있다.
(제3 실시예)
도 17은 제3 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 유지 기구를 도시한 도면이다.
이 위치 유지 기구(440)는 베이스 플레이트 프레임(도시하지 않음)에 설치된 고정판(441), 이 고정판(441)에 설치된 베이스 판(445), 베이스 판(445)에 O링(442)을 통해 연결되고 진공압원(451)과 연결되는 노즐을 가지는 본체(443), 본체(443)에 설치되고 위치 맞춤 플레이트(13B)에 시트(seat)(444a)로 흡착 가능한 흡착 패드(444)를 구비하고 있다.
이 실시예에서는, 추가로 흡착 패드(444)와 베이스 판(445) 사이에 공간(446)이 형성되어 있다. 베이스 판(445)에는 이 공간(446)을 공기압원(452)과 연통하는 노즐(447)이 설치되어 있다.
진공압원(451)은 솔레노이드 밸브(SV1) 및 솔레노이드 밸브(SV2)를 통해 본체(443)의 노즐에 연결되고, 공기압원(452)은 솔레노이드 밸브(SV3)를 통해 노즐(447)에 연결되어 있다.
솔레노이드 밸브(SV1)의 NC 포트는 진공압원(451)에 연통되고, NO 포트는 대기에 연통되며, C 포트는 솔레노이드 밸브(SV2)의 C 포트에 연통되어 있다. 솔레노이드 밸브(SV2)의 NC 포트는 노즐(443)에 연통되고, NO 포트는 솔레노이드 밸브(SV3)의 NC 포트에 연통되어 있다. 솔레노이드 밸브(SV3)의 C 포트는 공기압원(452)에 연통되고, NO 포트는 차단되어 있다.
진공압원(451)을 진공 흡인하여 공기압원(452)으로 고압 공기를 공급하고,도 17과 같이, 솔레노이드 밸브(SV1, SV2, SV3)가 NC 포트 측이면 흡착 패드(444)의 시트(444a)는 공간(446)을 가압함으로써 위치 맞춤 플레이트(13B) 측에 가압되는 동시에 시트(444a) 내측의 공간(448)은 부압이 되기 때문에 흡착 패드(444)의 밀착이 신속하게 행해진다.
한편, 솔레노이드 밸브(SV1)를 NO 포트 측으로 전환하여 먼저 공간(448)을 대기에 개방하고, 이어서 솔레노이드 밸브(SV2, SV3)를 NO 포트 측으로 전환하여 공간(446)을 대기에 개방하고, 또한 솔레노이드 밸브(SV1)를 NC 포트 측으로 전환하면 공간(446)이 흡인되어 흡착 패드(444)의 개방을 신속하게 행할 수 있다.
제3 실시예에 의하면, 위치 맞춤 플레이트(13B)의 밀착 및 개방을 신속하게 행할 수 있다는 효과가 있다. 또한, 개방의 경우에는 시트(444a)가 위치 맞춤 플레이트(13B)로부터 멀어지기 때문에 위치 맞춤 플레이트(13B)의 동작을 원활하게 행할 수 있다.
(제4 실시예)
도 18은 제4 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 부재를 도시한 도면이다.
도 18(c)는 종래의 방식이지만, 위치 결정 핀(14a)과 핀 구멍(204a)의 어긋남 δ0 = 1∼1.5mm 이상이 되면, 반송 용기(200) 측 핀 구멍(204a)의 테이퍼(204t)에도 의하지만, 위치 결정 핀(14a)는 핀 구멍(204a)에 원활하게 들어가지 않게 될 우려가 있다.
제4 실시예의 위치 결정 부재(500)는 외통(501)과 내통(502)을 구비하고 있다. 외통(501)은 원통형의 부재이며, 선단에 형성된 테이퍼(501a), 외측에 형성된 플랜지부(501b), 내측에 형성된 계단부(501c), 플랜지부(501b)의 후방에 설치된 나사부(501d) 등을 구비하고, 플랜지부(501b)에서 위치 맞춤 플레이트(13B)에 고정되어 있다.
내통(502)은 외통(501)의 내부에 삽입되는 원통형의 부재이며, 선단에 형성되고 외통(501)의 테이퍼(501a)와 같은 각도의 테이퍼(502a)와 후단의 외측에 형성된 플랜지부(502b)를 구비하고, 플랜지부(502b)가 계단부(501c)에 결합하여 돌출 위치를 소정의 길이로 규제하고 있다.
스프링(503)은 내통(502)의 내측에 삽입되어 있고 내통(502)을 돌출 방향으로 가압하고 있다. 캡 너트(504)는 외통(501)의 나사부(501d)에 삽입되어 외통(501)을 위치 맞춤 플레이트(13B)에 고정하는 동시에 스프링(503) 후단의 위치를 규제하고 있다.
도 18(a)에 도시한 바와 같이, 외통(501)과 내통(502)은 같은 각도로서 종래보다 예각이며, 또한 종래보다 긴 테이퍼(501a, 502a)를 구비하고 있기 때문에 어긋남이 δ1 = 3.0∼3.5mm 정도이어도 원활하게 연결할 수 있다.
또, 도 18(b)에 도시한 바와 같이, 연결 종료 후에 내통(502)이 스프링(503)의 가압력에 저항하여 후퇴하기 때문에, 종래의 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a)과 같은 깊이(L=11mm)일 수 있다.
(제5 실시예)
도 19는 제5 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 테이블의 위치 결정 부재를 도시한 도면이다.
테이블(15)(도 21의 테이블(105) 참조)의 위치 결정 핀(15a∼15c)은 도 19(b)에 나타낸 바와 같이 배치되어 있다. 이로 인해 테이블(15)이 화살표 M의 방향으로 전진하면 V자 홈(205c)은 진행 방향과 평행하기 때문에, 특히 여분의 힘은 발생하지 않지만 V자 홈(205a, 205c)은 반송 용기(200)를 화살표 N(N1)의 방향으로 밀어 올리고자 하는 힘이 발생한다.
그 결과로서, 도 19(d)에 도시한 바와 같이, 반송 용기(200)에는 위치 결정 핀(15c)을 중심으로 하여 화살표 P(P1)의 방향으로 회전력이 발생한다. 이로 인하여 반송 용기(200)는 선단 상부가 칸막이 판(11)으로부터 분리되어 밀봉 불량 등을 일으킬 가능성이 있었다.
제5 실시예의 반송 용기(600)는 그 하면에 형성된 V자 홈(605a)(605b, 605c)에 수직 고정면(605a-1)(605b-1, 605c-1)을 형성함으로써 위치 결정 핀(15a)(15b, 15c)의 수직 고정면(15a-1)(15b-1, 15c-1)과 접할 수 있으므로(결합 자세 교정 수단), 수평 방향의 힘으로 눌러도 반송 용기(600)를 밀어 올리는 힘이 발생하지 않는다.
(제6 실시예)
도 20은 제6 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 부재를 도시한 도면이다.
제5 실시예는 현재 이미 사용되고 있는 반송 용기(200)에 대해서는 대응할 수 없고, 변경을 하는 경우에도 유형의 수정 등을 하여야 했다. 이로 인하여 제6실시예에서는 반송 용기(200)의 연결 위치를 교정하는 결합 자세 교정 기구(700)가 설치되어 있다.
이 결합 위치 교정 기구(700)는 반송 용기(200)의 덮개 프레임(207)에 연결하는 도어 프레임(16)의 상부 및 측부에 형성되어 있으며 덮개 프레임(207)에 접하는 베어링 등의 회전체(701), 회전체(701)가 좌측단에 회전가능하게 설치되고 오른쪽 상단의 축(702a)에서 스스로 회전가능하게 지지된 가동판(702), 고정판(703)에 가동판(702)을 스프링(704)을 사이에 끼고 항상 회전체(701)가 덮개 프레임(207)을 가압하도록 연결하는 동시에 가동판(702)의 반시계 방향(화살표 Q)의 회전 위치를 규제하는 연결 부재(705), 고정판(703)에 설치되고 가동판(702)의 시계 방향(화살표 R)의 회전 위치를 규제하는 규제 부재(706) 등을 구비하고 있다.
회전체(701)는 그 회전에 의해 테이블(15)의 이동 방향(화살표 M)으로 자유롭게 이동할 수 있는 동시에, 가동판(702)의 회전에 의해 이동 방향(화살표 M)과 직각 방향으로 자유롭게 이동할 수 있다. 그리고 회전체(701)는 스프링(704)에 의해 항상 반송 용기(200)를 누르도록 배치되어 있다. 또 회전체(701)는 가동판(702)을 사이에 두고 연결 부재(705)에 의한 최소 압출(push-out) 위치와 규제 부재(706)에 의한 최대 압출 위치로 가동 범위가 규제되어 있다.
따라서 반송 용기(200)는 결합 위치에 있어서, 상부 및 측부를 누를 수 있어 결합 자세를 허용 가능한 정규의 자세로 유지할 수 있다.
(변형예)
이상 설명한 실시예에 한정되지 않고, 여러 가지 변형이나 변경이 가능하고,이들 또한 본 발명의 동등한 범위 내이다.
예를 들면, 도 7에 나타낸 덮개 고정 수단은 신축 부재(63)를 이용한 것을 예로 들어 설명했지만, 위치 결정 핀(14a)(14b)에 분할부를 설치하고 위치 결정 핀(14a)(14b)의 직경을 기계적으로 변화시켜 핀 구멍과의 위치 고정을 하도록 할 수도 있다.
본 발명에 의해, 여러 제조자의 여러 가지 반송 용기에 대하여, 모두 덮개 부재를 개폐할 수 있고, 또한 그 여러 제조자의 여러 가지 반송 용기에 대하여 사용 조건(온도, 습도, 사용 조건)이 변화되어도 정상 동작할 수 있는 허용 변형 오차를 만족시켜, 어떠한 사용 조건이더라도 반송 용기가 어느 부재에도 충돌하지 않고 착탈할 수 있는 반송 용기의 덮개 착탈 장치가 제공된다.

Claims (13)

  1. 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하여, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서,
    상기 덮개 부재의 위치를 결정하는 위치 결정 부재,
    상기 위치 결정 부재의 위치를 미세 조정하는 미세 조정 기구, 그리고
    상기 위치 결정 부재에 의해서 맞물린 상기 덮개 부재의 위치를 유지하는 위치 유지 기구
    를 구비하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 도어 부재는 베이스 플레이트 및 그 베이스 플레이트에 대하여 면 방향으로 이동 가능한 위치 맞춤 플레이트를 구비하고,
    상기 위치 결정 부재는 상기 위치 맞춤 플레이트에 설치되고,
    상기 미세 조정 기구는 상기 베이스 플레이트에 설치되어 상기 위치 맞춤 플레이트를 면 방향으로 이동 가능하게 지지하고,
    상기 위치 유지 기구는 상기 베이스 플레이트에 설치되어 상기 위치 맞춤 플레이트의 위치를 유지하는
    반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 위치 맞춤 플레이트를 중앙 위치로 복귀시키는 센터링 기구를 구비하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 위치 맞춤 플레이트에 설치되어 그 축 주위로 회전하고 상기 덮개 부재에 맞물려 잠금 또는 해제하는 잠금 부재를 추가로 구비하고,
    상기 베이스 플레이트 측에 설치되어 상기 잠금 부재를 회전 구동하는 잠금 부재 구동 수단과, 상기 베이스 플레이트와 상기 위치 맞춤 플레이트의 면 방향으로의 어긋남을 허용하여 상기 잠금 부재 구동 수단의 회전력을 상기 잠금 부재에 전달하는 편심 전달 기구를 구비하는
    반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 위치 유지 기구는 상기 잠금 부재가 상기 덮개 부재를 잠그기 전에 상기 위치 맞춤 플레이트의 유지를 해제하고, 상기 잠금 부재가 상기 덮개 부재를 잠근 후에 상기 위치 맞춤 플레이트를 유지하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 잠금 부재는 상기 덮개 부재가 상기 반송 용기의 개구부에 삽입되는 삽입 동작의 초기 단계에서 잠금을 해제하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  7. 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하여, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서,
    상기 덮개 부재에 맞물려 잠그는 잠금 부재와, 상기 잠금 부재를 상기 도어 부재 측으로 잡아당겨 상기 덮개 부재를 상기 도어 부재에 고정하는 덮개 고정 수단을 구비하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  8. 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하여, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서,
    상기 덮개 부재의 피결합부에 결합하여 위치 결정을 하는 위치 결정 부재, 그리고
    상기 위치 결정 부재의 외경을 변화시켜 상기 위치 결정 부재를 상기 덮개 부재의 피결합부에 위치 고정시키는 위치 고정 수단
    을 구비하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 위치 고정 수단은 상기 위치 결정 부재의 외주에 설치되고 내부 압력의 증감에 의해 신축하는 신축 부재를 구비하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 위치 고정 수단은 상기 위치 결정 부재에 형성되고 기계적인 힘에 의해 그 직경을 변화시키는 분할부를 구비하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 위치 결정 부재는
    선단에 테이퍼를 가지는 외통,
    상기 외통에 대하여 축방향으로 이동 가능하게 설치되고 선단에 상기 외통의 테이퍼와 각도가 일치하는 테이퍼를 가지며 돌출 시에 상기 양 테이퍼가 연속하도록 배치된 내통, 그리고
    상기 내통을 돌출 방향으로 가압하는 가압 부재
    를 구비하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단,
    상기 반송 용기를 탑재하여 상기 위치 결정 부재와의 결합 위치까지 반송하는 반송 테이블, 그리고
    상기 반송 용기의 저면에 설치된 V자형 단면의 홈과 상기 반송 테이블 상에 설치되어 상기 V자형 단면의 홈에 결합하는 연결 핀을 포함하고 상기 반송 용기를 상기 반송 테이블에 고정하는 고정 수단
    을 구비하고,
    상기 연결 자세 교정 수단은 상기 연결 핀과 상기 V자형 단면의 홈의 접촉 범위에 설치되고 상기 반송 테이블의 반송 방향과 대략 직각인 고정면인
    반송 용기의 덮개 착탈 장치.
  13. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단을 구비하고,
    상기 연결 자세 교정 수단은 상기 도어 부재의 주변부에 설치되고 상기 반송 용기의 덮개 부재의 상부 및/또는 측부를 눌러 소정의 가동 범위 내에서 상기 반송 테이블의 반송 방향 및 이와 수직 방향으로 이동 가능한 누름 부재를 포함하는
    반송 용기의 덮개 착탈 장치.
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