JP2012501424A - Oリングを可動合わせ部へ結合する溝付きtsslドア - Google Patents
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- 230000013011 mating Effects 0.000 title description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 5
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 5
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 claims description 4
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 claims description 4
- 238000013022 venting Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 23
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 11
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/24—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with valve members that, on opening of the valve, are initially lifted from the seat and next are turned around an axis parallel to the seat
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
本明細書内で開示される実施形態は、概して、チャンバ内の開口を密閉するためのスリットバルブドアに関する。
基板をチャンバに導入するために、通常ドアが開けられ、基板は開口を通ってチャンバの内部容積内へ挿入される。その後、ドアは閉じられ、真空に引かれる。真空に引かれるとき、チャンバはそれ自体圧縮するかもしれず、それゆえ、開口はチャンバの動きによって縮まるかもしれない。チャンバが通気されると、チャンバは通常の状態に戻るかもしれない。
別の一実施形態では、ロードロックチャンバはロードロックチャンバ本体を含む。少なくとも1つの開口が、ロードロックチャンバ本体の表面を貫通して形成されてもよい。また、ロードロックチャンバは、スリットバルブドアを含んでもよい。スリットバルブドアは、第1本体、第2本体、及び第3本体を有するドア本体を含んでもよい。第2本体及び第3本体の夫々は、端部で第1本体と結合され、中央領域では第1本体から離れて配置されてもよい。また、スリットバルブドアは、第1本体と第2本体及び第3本体のうちの少なくとも1つとの間で結合される1以上のベローズと、スリットバルブドア及びチャンバ本体と結合されるスリットバルブドアアクチュエータとを含んでもよい。
Claims (15)
- スリットバルブドアであって、
第1本体と、
前記第1本体に端部で結合する第2本体とを含み、前記第2本体は前記第1本体から隔てられ、これによって前記第1本体と前記第2本体の間に第1スリットが存在し、
前記スリットバルブドアは、前記第1本体と前記第2本体の間で結合される第1ベアリングプレートと、
前記第1本体と前記第2本体の間、及び前記第1スリットの上で結合される第1ベローズと、
前記第1ベローズ、前記第1本体、及び前記第2本体に結合される第1クランプを更に含むスリットバルブドア。 - 前記第1本体に端部で結合する第3本体を含み、前記第3本体は前記第1本体から隔てられ、これによって前記第1本体と前記第3本体の間に第2スリットが存在し、
前記スリットバルブドアは、前記第1本体と前記第3本体の間で結合される第2ベアリングプレートと、
前記第1本体と前記第3本体の間、及び前記第2スリットの上で結合される第2ベローズと、
前記第2ベローズ、前記第1本体、及び前記第3本体に結合される第2クランプを更に含む請求項1記載のスリットバルブドア。 - 前記第1本体と前記第2本体の間、及び第3スリットの上で結合される第3ベローズを更に含み、前記第3スリットは、前記第1スリットに実質的に垂直であり、前記スリットバルブドアの上面に形成され、
前記スリットバルブドアは、前記第3ベローズ、前記第1本体、及び前記第2本体に結合される第3クランプを更に含む請求項2記載のスリットバルブドア。 - 前記第1本体と前記第3本体の間、及び第4スリットの上で結合される第4ベローズを更に含み、前記第4スリットは、前記第2スリットに実質的に垂直であり、前記スリットバルブドアの底面に形成され、
前記スリットバルブドアは、前記第4ベローズ、前記第1本体、及び前記第3本体に結合される第4クランプを更に含む請求項3記載のスリットバルブドア。 - 前記第1ベアリングプレート及び前記第2ベアリングプレートは、ポリエーテルエーテルケトンとポリテトラフルオロエチレンから成る群から選択される材料を夫々含み、前記第1本体は、内部に第1スリット及び第2スリットまで達する開口を有し、前記スリットバルブドアは、前記第1本体、前記第2本体、及び前記第3本体に結合されるOリングを更に含む請求項4記載のスリットバルブドア。
- ロードロックチャンバであって、
少なくとも1つの開口を有するロードロックチャンバ本体を含み、前記少なくとも1つの開口は、前記ロードロックチャンバ本体の第1面を貫通して形成され、
前記ロードロックチャンバは、スリットバルブドアを更に含み、
前記スリットバルブドアは、
第1本体と、第2本体及び第3本体のうちの1以上とを有するドア本体を含み、前記第2本体又は前記第3本体は、前記第1本体に端部で結合され、中央領域内の中央本体から離れて配置され、
前記スリットバルブドアは、前記第1本体と、前記第2本体及び前記第3本体のうちの少なくとも1以上との間でフレキシブルに結合される1以上のベローズを更に含み、
前記ロードロックチャンバは、前記スリットバルブドア及び前記チャンバ本体と結合されるスリットバルブドアアクチュエータを更に含むロードロックチャンバ。 - 前記スリットバルブドアは、前記ロードロックチャンバ本体に接触する第1位置及び前記ロードロックチャンバ本体から隔てられる第2位置から前記ロードロックチャンバ本体に対して前記スリットバルブドアを旋回させる軸周りに回転可能である請求項6記載のチャンバ。
- 前記スリットバルブドアに結合されるOリングを更に含む請求項6記載のチャンバ。
- 前記1以上のベローズは、前記第1本体と、前記1以上の第2本体及び第3本体との間で結合される2つのベローズを含み、これによって前記ロードロックチャンバ本体の、前記第1本体と、前記2つのベローズのうちの少なくとも1つと、前記1以上の第2本体及び第3本体のうちの少なくとも1つとの間でエアポケットが閉じ込められる請求項6記載のチャンバ。
- 前記第1本体と前記第2本体の間に配置される1以上のベアリングを更に含む請求項6記載のチャンバ。
- 前記1以上のベアリングは、ポリエーテルエーテルケトン及びポリテトラフルオロエチレンから成る群から選択される材料を含み、前記チャンバは、前記1以上のベローズ及び前記第1本体のうちの少なくとも1つに結合されるクランプを更に含む請求項10記載のチャンバ。
- 前記1以上のベローズ及び前記第1本体のうちの少なくとも1つに結合されるクランプを更に含む請求項6記載のチャンバ。
- チャンバを排気する方法であって、
スリットバルブドアとチャンバ本体の間でOリングを圧縮するステップを含み、前記スリットバルブドアは、第1部分及び第2部分を有し、
前記方法は、前記スリットバルブドアの前記第1部分を前記スリットバルブドアの前記第2部分に対して動かしながら、前記チャンバ本体内を真空に引くステップを更に含み、これによって前記チャンバ本体に対して前記Oリングが擦れるのを防ぐ方法。 - 前記スリットバルブドアの前記第1部分を前記スリットバルブドアの前記第2部分に対して動かしながら、前記チャンバ本体に通気するステップを更に含み、これによって前記チャンバ本体に対して前記Oリングが擦れるのを防ぎ、
前記方法は、前記チャンバ本体から離れるように前記スリットバルブドアを旋回させるステップを更に含み、これによって前記Oリングは、前記チャンバ本体から隔てられる請求項13記載の方法。 - 前記スリットバルブドアは、前記第2部分と前記第1部分の間で結合されるベローズを含み、前記スリットバルブドアは、前記第1部分と前記第2部分の間で結合されるベアリングを有し、前記第2部分は、前記ベアリングに沿って動く請求項14記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US9248008P | 2008-08-28 | 2008-08-28 | |
US61/092,480 | 2008-08-28 | ||
PCT/US2009/055206 WO2010025257A2 (en) | 2008-08-28 | 2009-08-27 | Slotted tssl door to couple o-ring with moving mating part |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012501424A true JP2012501424A (ja) | 2012-01-19 |
JP2012501424A5 JP2012501424A5 (ja) | 2012-10-11 |
JP5528452B2 JP5528452B2 (ja) | 2014-06-25 |
Family
ID=41722269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011525196A Active JP5528452B2 (ja) | 2008-08-28 | 2009-08-27 | Oリングを可動合わせ部へ結合する溝付きtsslドア |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8567756B2 (ja) |
JP (1) | JP5528452B2 (ja) |
KR (1) | KR101650320B1 (ja) |
CN (2) | CN102138033B (ja) |
TW (1) | TWI476338B (ja) |
WO (1) | WO2010025257A2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102138033B (zh) | 2008-08-28 | 2015-05-20 | 应用材料公司 | 具有移动适配部分的用以耦接o形环的狭缝化tssl阀门 |
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TW201823613A (zh) * | 2016-08-22 | 2018-07-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 具有可膨脹密封件之真空腔室 |
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CN102138033B (zh) | 2008-08-28 | 2015-05-20 | 应用材料公司 | 具有移动适配部分的用以耦接o形环的狭缝化tssl阀门 |
-
2009
- 2009-08-27 CN CN200980134015.4A patent/CN102138033B/zh active Active
- 2009-08-27 CN CN201410128270.0A patent/CN103939628B/zh active Active
- 2009-08-27 US US12/548,553 patent/US8567756B2/en active Active
- 2009-08-27 JP JP2011525196A patent/JP5528452B2/ja active Active
- 2009-08-27 WO PCT/US2009/055206 patent/WO2010025257A2/en active Application Filing
- 2009-08-27 KR KR1020117007165A patent/KR101650320B1/ko active IP Right Grant
- 2009-08-28 TW TW098129078A patent/TWI476338B/zh active
-
2013
- 2013-09-24 US US14/035,829 patent/US10453718B2/en active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102138033A (zh) | 2011-07-27 |
US20140023460A1 (en) | 2014-01-23 |
TW201017016A (en) | 2010-05-01 |
US10453718B2 (en) | 2019-10-22 |
TWI476338B (zh) | 2015-03-11 |
US8567756B2 (en) | 2013-10-29 |
JP5528452B2 (ja) | 2014-06-25 |
KR20110069033A (ko) | 2011-06-22 |
US20100050534A1 (en) | 2010-03-04 |
WO2010025257A2 (en) | 2010-03-04 |
CN103939628A (zh) | 2014-07-23 |
WO2010025257A3 (en) | 2010-05-20 |
CN102138033B (zh) | 2015-05-20 |
KR101650320B1 (ko) | 2016-08-23 |
CN103939628B (zh) | 2016-05-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120824 |
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|
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|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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