JPH11190439A - 真空ゲート弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 隣接する１対の真空容器１，２間に弁箱７を
配設し、この弁箱７内に、弁板２１が支持される弁板支
持体１６を昇降可能に配置し、弁板支持体１６の昇降駆
動により弁板２１で弁箱７と真空容器１との連通口８を
開閉して両真空容器１，２同士を連通又は連通遮断する
真空ゲート弁６において、弁板２１の開閉駆動力を弁箱
７外側のシリンダ３９から導入する部分のシール性を向
上させ、そのシール部材の摩耗を抑制する。 【解決手段】 真空ゲート弁６の弁箱７にその外部から
シリンダ３９の伸縮作動により回転駆動される支持軸１
１，１１を貫通状に支持し、この支持軸１１，１１を弁
箱７内のアーム１２，１２及びリンク１３，１３を介し
て弁板支持体１６に連結し、この弁板支持体１６の前側
側面に前側の真空容器１と弁箱７との連通部を開閉する
弁板２１を支持し、支持軸１１，１１の回転により弁板
支持体１６を弁板２１と共に昇降させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、隣接する真空容器
同士の連通部を開閉して両真空容器間を連通状態又は連
通遮断状態に切り換えるための真空ゲート弁に関する技
術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種の真空ゲート弁とし
て、例えば実開昭６２―１９９５６７号や実開昭６４―
７７０号の各公報に示されるものが知られている。この
ものでは、隣接する１対の真空容器に連通する弁箱内に
弁板支持体を昇降可能に配置し、この弁板支持体の一方
の真空容器側の側面に、弁箱と一方の真空容器との間の
連通部を開閉する弁板を平行リンク機構を介して接離可
能に支持し、弁箱内の下部に、弁板支持体の下降時に弁
板に当接して弁板を支持体に対し閉じ方向に相対移動さ
せるストッパを設け、弁箱上壁外面に、該上壁を上下方
向に気密状に貫通するピストンロッドを有するシリンダ
を取り付けて、そのピストンロッドの下端部を弁箱内の
弁板支持部に連結し、シリンダの伸縮作動により弁板支
持体を弁箱内で昇降移動させて弁板を開閉させ、シリン
ダの収縮作動により弁板支持体を上昇させたときには、
その弁板支持体と共に弁板を上昇させて弁箱の真空容器
との連通部を開き、両真空容器同士を連通させる一方、
シリンダの伸長動作により弁板支持体を下降させたとき
には、その途中で、弁板支持体と共に下降する弁板をス
トッパに当接させて平行リンク機構により弁板支持体か
ら離隔させ、この離隔により弁板を弁箱と真空容器との
連通部の周りに押し付けて両真空容器同士の連通を遮断
するようになされている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のも
のでは、シリンダのピストンロッドが弁箱の上壁を貫通
して摺動するので、そのピストンロッドの摺動時に空気
が貫通部を経て弁箱内に浸入し易いという問題がある。
また、上記ピストンロッドの貫通部をシールするシール
部材の摩耗も大きく、長期間に亘り安定した真空封じを
行うことが困難である。

【０００４】本発明は斯かる点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、上記した弁板支持体を昇降等させるた
めの移動機構を改良することにより、その弁板の開閉駆
動力を弁箱外側のアクチュエータから導入する部分のシ
ール性を向上させ、そのシール部材の摩耗を抑制できる
ようにすることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成すべ
く、この発明では、弁箱にその外部から回転駆動される
支持軸を貫通状に配置して、この支持軸を弁箱内でアー
ム及びリンクを介して弁板支持体に連結し、支持軸の回
転により弁板支持体を弁板と共に移動させるようにし
た。

【０００６】具体的には、請求項１の発明の真空ゲート
弁は、隣接する１対の真空容器間に配設されて各真空容
器に連通する弁箱と、この弁箱内に回転可能にかつ弁箱
の壁部を気密状に貫通して支持された支持軸と、上記弁
箱内に配設され、上記支持軸に回転一体に取り付けられ
たアームと、このアームの先端部に内側リンクを介して
連結され、支持軸の回転により弁箱内で両真空容器の配
列方向と略直交する方向に沿って開弁位置及び閉弁位置
の間を移動する弁板支持体と、この弁板支持体の一方の
真空容器側の側面に平行リンク機構を介して接離可能に
支持され、弁箱と一方の真空容器との間の連通部を開閉
して両真空容器同士を連通又は連通遮断させる弁板と、
弁箱内に設けられ、弁板支持体の閉弁位置への移動時に
弁板に当接して該弁板を弁板支持体に対し弁板支持体か
ら離隔する閉じ方向に移動案内するストッパとを備えた
ことを特徴とする。

【０００７】また、請求項２の発明の真空ゲート弁は、
隣接する１対の真空容器間に配設されて該各真空容器に
連通する弁箱と、この弁箱内に回転可能にかつ弁箱の壁
部を気密状に貫通して支持された支持軸と、弁箱内に配
設され、上記支持軸に回転一体に取り付けられたアーム
と、このアームの先端部に内側リンクを介して連結さ
れ、支持軸の回転により弁箱内で両真空容器の配列方向
と略直交する方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を
移動する弁板支持体と、この弁板支持体の両真空容器側
の側面にそれぞれ平行リンク機構を介して接離可能に支
持され、弁箱と各真空容器との間の連通部を開閉して両
真空容器同士を連通又は連通遮断させる１対の弁板と、
弁箱内に設けられ、弁板支持体の閉弁位置への移動時に
各弁板に当接して該各弁板を弁板支持体に対し弁板支持
体から離隔する閉じ方向に移動案内する対なるストッパ
とを備えたことを特徴としている。

【０００８】これら請求項１又は２の発明では、支持軸
の回転駆動により該支持軸と一体のアームを回動させる
と、その先端に内側リンクを介して連結されている弁板
支持体が弁箱内で開弁位置及び閉弁位置の間を移動し、
弁板支持体を開弁位置に向けて移動させたときには、そ
の弁板支持体と共に弁板が同方向に移動して弁箱と真空
容器との間の連通部を開き、ゲート弁が開弁状態になっ
て両真空容器同士が連通する。一方、弁板支持体を閉弁
位置に向けて移動させたときには、その弁板支持体と共
に弁板が同方向に移動し、この弁板支持体の閉弁位置へ
の移動時に弁板がストッパに当接して平行リンク機構に
より弁板支持体から離隔し、この離隔動作により弁板が
弁箱の真空容器との連通部の周りに押し付けられてゲー
ト弁が閉弁状態になり、両真空容器同士の連通が遮断さ
れる。

【０００９】そのとき、上記支持軸は弁箱内に弁箱の壁
部を気密状に貫通して支持され、この支持軸の回転によ
り弁板の開閉駆動力（弁板支持体の駆動力）を弁箱内に
導入するので、従来のようにシリンダのピストンロッド
の摺動により駆動力を導入する構造に比べ、支持軸の貫
通部分から弁箱ないし真空容器の内部に持ち込まれる空
気を少なくできるばかりでなく、その貫通部分に設けら
れるシール部材の摩耗も抑制でき、よって真空容器内に
対する真空封じを長期間に亘り安定して確保することが
できる。

【００１０】特に、請求項２の発明では、弁板支持体の
両側面にそれぞれ弁板が平行リンク機構を介して接離可
能に支持され、この各弁板により弁箱と各真空容器との
間の連通部が開閉されるので、両真空容器同士を連通又
は連通遮断できるのみならず、弁箱と各真空容器とを連
通又は連通遮断することができる。また、両真空容器内
の圧力に差があっても、その影響を受けることなく、両
真空容器同士を安定して連通又は連通遮断することがで
きる。

【００１１】請求項３の発明では、上記弁板を弁板支持
体に接近させるように付勢する付勢手段を備えている。
こうすると、この付勢手段の付勢力により、弁板が常に
弁板支持体側に接近するように付勢されるので、真空ゲ
ート弁を、弁板支持体の開弁位置が上昇端位置となり、
閉弁位置が下降端位置となって弁板支持体が弁箱内で昇
降移動するように通常の縦向き姿勢で設置させる場合は
勿論のこと、逆に、弁板支持体の開弁位置が下降端位置
となり、閉弁位置が上昇端位置となって弁板支持体が弁
箱内で昇降移動するように倒立状態の縦向き姿勢で設置
させる場合や、弁板支持体の開弁位置が水平方向の一側
とされ、閉弁位置が同他側とされて弁板支持体が弁箱内
で水平移動するように横向き姿勢で設置される場合等の
いずれであっても、その弁板を弁板支持体に安定して接
近保持させることができ、弁板の弁箱内面との接触を確
実に防いで異物ダストの発生による真空空間の汚染を防
止することができる。

【００１２】請求項４の発明では、上記付勢手段は圧縮
ばねとする。この場合、付勢手段を引張ばね等で構成す
るのに比較して、応力が繰り返し働いても破損し難くな
り、弁板を弁板支持体に接近する方向に付勢する効果が
長期間に亘り安定して得られ、真空ゲート弁の耐久性、
信頼性を高めることができる。

【００１３】請求項５の発明では、弁板支持体をその移
動方向及び両真空容器の配列方向の双方と略直交する幅
方向に移動不能に規制しながら案内する案内手段を設け
る。このことで、ゲート弁が縦向き又は横向きのいずれ
の姿勢にあっても、また、弁板支持体が１つの支持軸の
回動により移動するように構成されていても、弁板支持
体が開弁位置及び閉弁位置の間で移動するときに幅方向
に移動するのを防止でき、弁板支持体が弁箱内面に直接
接触して異物ダストが発生するのを防ぐことができる。
また、この弁板支持体に対する規制案内により該弁板支
持体に連結されている弁板も弁箱に対して位置ずれせ
ず、その弁板を弁箱の同じ位置に押し付けて真空容器と
の間の連通部を閉じることができ、安定した閉弁状態が
得られる。

【００１４】請求項６の発明では、上記支持軸、アーム
及び内側リンクを、弁板支持体の移動方向及び両真空容
器の配列方向の双方と略直交する幅方向に沿って１対設
けて、両内側リンクは弁板支持体に対し上記幅方向に離
れた位置に連結する。そして、上記両支持軸が同期して
回転することにより、上記弁板支持体が移動するように
構成する。このことで、弁板支持体及び弁板を傾斜する
ことなく移動させることができる。

【００１５】請求項７の発明では、上記弁箱外の支持軸
に回転一体に取り付けられたレバーと、このレバーの先
端部に外側リンクを介して連結されかつ直線運動をする
出力部を有するリニアアクチュエータとを設ける。こう
すれば、リニアアクチュエータの出力部の直線運動を外
側リンク及びレバーによって支持軸の回転運動に変換す
ることができ、リニアアクチュエータを用いながら、上
記請求項１又は２の発明の効果を容易に得ることができ
る。

【００１６】請求項８の発明では、上記請求項７の真空
ゲート弁において、アームとレバーとは、支持軸の軸方
向から見て直交方向に延びていて、弁板支持体が開弁位
置近傍にあるときにアームが略幅方向に延びる状態にな
る一方、弁板支持体が閉弁位置近傍にあるときにレバー
が略幅方向に延びる状態になるように配置する。

【００１７】このことで、リニアアクチュエータの出力
部の移動速度が一定でも、弁板支持体が開弁位置及び閉
弁位置の各近傍にあるときの移動速度は、開弁位置及び
閉弁位置の中間位置にあるときよりも低くなり、弁板支
持体を開閉動作の開始時及び終了時に相対的に緩やかに
移動させて、その弁板及び弁板支持体の慣性による衝撃
を低減でき、よって弁板支持体の移動速度つまりゲート
弁の開閉速度の高速化を実現することができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】（実施形態１）図１〜図３は本発
明の実施形態１を示し、１は前側に位置する第１真空容
器、２は第１真空容器１の後側に隣接する第２真空容器
であって、各真空容器１，２はそれぞれ互いに対向配置
された略矩形状の開口３，４を有する。この両真空容器
１，２間には両真空容器１，２の内部空間同士を連通又
は連通遮断するための真空ゲート弁６が配設されてい
る。この真空ゲート弁６は、両真空容器１，２間に気密
状に挟まれた薄厚矩形状の弁箱７を備え、この弁箱７の
前壁（図２及び図３で左側壁）の下部には上記第１真空
容器１の開口３に対応する前側連通口８が、また後壁
（図２及び図３で右側壁）の下部には第２真空容器２の
開口４に対応する後側連通口９がそれぞれ開口されてお
り、この連通口８，９を介して弁箱７内が各真空容器
１，２と連通している。

【００１９】上記弁箱７内の上部には、左右方向（弁箱
７の幅方向）に所定間隔離れた位置を前後方向（図２及
び図３で左右方向）に互いに平行に延びる左右１対の支
持軸１１，１１がそれぞれ弁箱７の前後壁に形成した軸
孔７ａ，７ａを貫通して回転可能に支持され、この各支
持軸１１と各軸孔７ａとの間はシール部材（図示せず）
を内挿した軸受１０により気密状にシールされている。
上記左右の支持軸１１，１１において弁箱７内に位置す
る中間部にはそれぞれ２股状アーム１２，１２の基端部
が回転一体に取付固定され、この両アーム１２，１２の
先端部間にはアーム１２と略同じ長さの板状の左右内側
リンク１３，１３の一端部がそれぞれ前後方向の軸１
４，１４により揺動可能に支持されている。この内側リ
ンク１３，１３の他端部には、上記弁箱７下部の連通口
８，９よりも若干大きくかつ弁箱７内の後側（第２真空
容器２側）にオフセット配置した弁板支持体１６上端の
左右方向に離れた位置にある取付部１６ａ，１６ａがそ
れぞれ前後方向の軸１７，１７により揺動可能に連結さ
れている。つまり、弁板支持体１６は、左右の両アーム
１２，１２の先端部にそれぞれ内側リンク１３，１３を
介して吊下げ状態に連結されていて、左右の両支持軸１
１，１１が互いに逆方向に同期して回転することで、弁
箱７内で開弁位置である上昇端位置と閉弁位置である下
降端位置との間を昇降移動し、後述の如く左側（図１で
左側）の支持軸１１が図１で時計回り方向に、また右側
支持軸１１が図１で反時計回り方向にそれぞれ同期回転
したときに上昇するようになっている。

【００２０】上記弁板支持体１６の前後側面のうち、第
２真空容器２側（図２及び図３で右側）である後側面の
上下端部にはそれぞれ弁箱７の後壁内面上を転動可能な
複数の後側ローラ１８，１８，…が左右方向に並んだ状
態で水平方向のローラ軸１８ａにより支持されている。

【００２１】一方、弁板支持体１６の前側面（図２及び
図３で左側面）には弁板支持体１６と略同じ大きさ（弁
箱７下部の連通口８，９よりも若干大）の弁板２１が支
持されている。すなわち、弁板支持体１６の上下中間部
には上下１対を１組とした例えば４組の開口部１９，１
９，…がそれぞれ左右方向に並んだ状態で形成され、こ
の各開口部１９内には支持体側受け部材５８が嵌合固定
され、この支持体側受け部材５８にはリンク２４の後端
部が水平方向の軸心回りに揺動可能に軸支されている。
また、弁板２１の後側面には上記弁板支持体１６の各開
口部１９に略対応して凹部２２が形成され、この各凹部
２２内には弁板側受け部材５７が嵌合固定され、この弁
板側受け部材５７には上記各リンク２４の前端部が水平
方向の軸心回りに揺動可能に軸支されている。そして、
上記上下の対なるリンク２４，２４により平行リンク機
構２５が構成されており、この平行リンク機構２５を介
して弁板２１が弁板支持体１６の前側面（第１の真空容
器１側の側面）に接離可能に支持されている。

【００２２】上記弁板２１は、弁箱７と第１真空容器１
との間の連通部つまり弁箱７の前側連通口８を開閉して
第１及び第２真空容器１，２同士を連通又は連通遮断さ
せるもので、その前面外周部には弁箱７の前壁内面にお
ける連通口８周りに当接してシールするシール部材２３
が取付固定されている。

【００２３】さらに、上記弁箱７内の下部には前側寄り
に複数のストッパ２９，２９，…が左右方向に並んだ状
態で取り付けられている。この各ストッパ２９は、弁箱
７内の底面上に取付固定されたブロック状のもので、そ
の上部にはストッパローラ３１が左右方向の軸心をもっ
て回転可能に軸支されており、弁板支持体１６が下降端
位置近傍まで下降したときに各ストッパ２９上のストッ
パローラ３１が弁板２１の下面に当接してその下降移動
を停止させ、その後の弁板支持体１６の下降移動に伴
い、弁板２１を平行リンク機構２５によって弁板支持体
１６から離隔する前方向つまり閉じ方向に相対移動させ
るように案内する。

【００２４】上記各支持軸１１の前端部は弁箱７の前壁
外面よりも前側（弁箱７外）に延び、その前端部には、
前側（支持軸１１の軸方向）から見て弁箱７の左右中央
側に上記アーム１２と直角となるように延びる板状のレ
バー３４が基端部にて回転一体に取付固定されている。
このレバー３４の先端部にはレバー３４と略同じ長さの
１対の平行な板材からなる外側リンク３５の一端部が前
後方向の軸３６により揺動可能に支持されている。ま
た、弁箱７よりも前側の左右中央部には上下方向の軸線
を有するリニアアクチュエータとしてのシリンダ３９が
配置固定されている。このシリンダ３９は、シリンダボ
ディから上方に突出して直線運動をする出力部としての
ピストンロッド４０を有し、このピストンロッド４０の
上端部には左右方向に延びる板状の連結部４１が中央に
て移動一体に取付固定され、この連結部４１の両端部に
それぞれ上記外側リンク３５，３５の他端部が前後方向
の軸３７により揺動可能に連結されている。すなわち、
シリンダ３９のピストンロッド４０は各レバー３４の先
端部に外側リンク３５を介して連結されており、シリン
ダ３９の伸縮作動によりピストンロッド４０を昇降させ
て両支持軸１１，１１を同期して逆方向に回転させるこ
とにより、弁板支持体１６及び弁板２１を昇降させ、シ
リンダ３９を収縮作動させたときには、左側支持軸１１
を図１で時計回り方向に、また右側支持軸１１を図１で
反時計回り方向にそれぞれ回転させて弁板支持体１６及
び弁板２１を上昇させ、ゲート弁６を開弁状態とする一
方、シリンダ３９を伸長作動させたときには、左側支持
軸１１を図１で反時計回り方向に、また右側支持軸１１
を図１で時計回り方向にそれぞれ回転させて弁板支持体
１６及び弁板２１を下降させ、ゲート弁６を閉弁状態と
するようにしている。

【００２５】そして、上記アーム１２とレバー３４と
は、各支持軸１１の軸方向から見て直交方向に延びてい
て、弁板支持体１６が上昇端位置近傍にあるときにアー
ム１２が略水平状態になる一方、弁板支持体１６が下降
端位置近傍にあるときにレバー３４が略水平状態になる
ように配置されており、この配置構成により、図４に示
すように、弁板支持体１６が上昇端位置及び下降端位置
の各近傍にあるとき（弁板２１のストロークが開き位置
及び閉じ位置の各近傍にあるとき）の移動速度が、上下
中間位置にあるときよりも低くなるように設定されてい
る。

【００２６】次に、上記実施形態の作動について説明す
る。図１で実線及び図３に示す如き閉弁状態にあるゲー
ト弁６を開くときには、シリンダ３９の収縮作動により
ピストンロッド４０を下降移動させる。このことで、ピ
ストンロッド４０上端の連結部４１に外側リンク３５，
３５及びレバー３４，３４を介して連結されている両支
持軸１１，１１が同期して互いに逆方向に回転し、左側
支持軸１１は図１で時計回り方向に、また右側支持軸１
１は同反時計回り方向にそれぞれ回転する。この支持軸
１１，１１の回転駆動により該支持軸１１，１１と一体
のアーム１２，１２も回動し、その先端に内側リンク１
３，１３を介して連結されている弁板支持体１６が弁箱
７内を下降端位置（閉弁位置）から上昇する。この弁板
支持体１６の上昇により、弁箱７と第１真空容器１との
間の連通部つまり弁箱７の前側連通口８を気密状に閉じ
ていた弁板２１が平行リンク機構２５により引き上げら
れて、その前側連通口８が開かれ、シリンダ３９の収縮
ストロークエンド近傍で、図１で仮想線及び図２に示す
ように弁板支持体１６により弁板２１が下端部を弁箱７
の連通口８，９の上端位置に略一致させるように移動し
て、両真空容器１，２の内部空間同士が弁箱７内を介し
て連通状態となる。

【００２７】これに対し、上記開弁状態から逆にゲート
弁６を閉じるときには、シリンダ３９の伸長作動により
ピストンロッド４０を上昇させる。このことで、両支持
軸１１，１１が同期して互いに逆方向に回転し、左側支
持軸１１は図１で反時計回り方向に、また右側支持軸１
１は時計回り方向にそれぞれ回転する。この支持軸１
１，１１の回転駆動により該支持軸１１，１１と一体の
アーム１２，１２も回動して、その先端に内側リンク１
３，１３を介して連結されている弁板支持体１６が弁板
２１と共に弁箱７内を上昇端位置（開弁位置）から下降
する。そして、弁板支持体１６の下降端位置近傍で弁板
２１が各ストッパ２９のストッパローラ３１に当接する
と、弁板２１のそれ以上の下降移動が停止され、弁板支
持体１６のさらなる下降移動により弁板２１が今度は平
行リンク機構２５の各リンク２４の立上がり動作により
弁板支持体１６から離隔するようにストッパローラ３１
により前側に移動案内される。図１で実線及び図３に示
すように、上記シリンダ３９の伸長ストロークエンド近
傍で弁板支持体１６が下降端位置に達すると、弁板２１
は上下の後側ローラ１８，１８，…により後側面を移動
規制されている弁板支持体１６によりリンク２４，２
４，…を介して前側に押されて弁箱７と第１真空容器１
との間の連通部つまり弁箱７の前側連通口８の周りに気
密シール状態で押し付けられ、両真空容器１，２の内部
空間同士の連通が弁板２１によって遮断される。

【００２８】この実施形態においては、上記各支持軸１
１が弁箱７内の上部に弁箱７の前後壁の軸孔７ａ，７ａ
を気密状に貫通して支持され、この各支持軸１１の回転
により弁板２１の開閉駆動力を弁箱７外から内部に導入
するので、シリンダのピストンロッドの摺動により上記
駆動力を導入する場合に比べると、支持軸１１を貫通さ
せる軸孔７ａから弁箱７ないし各真空容器１，２の内部
に持ち込まれる空気を少なくすることができるととも
に、その支持軸１１と軸受１０との間に介在されるシー
ル部材の摩耗も低減することができ、よって真空容器
１，２内に対する真空封じを長期間に亘り安定して確保
することができる。

【００２９】また、上記各支持軸１１の弁箱７外の前端
部にレバー３４を回転一体に取り付け、このレバー３４
の先端部を外側リンク３５を介してシリンダ３９のピス
トンロッド４０の上端部に連結しているので、ピストン
ロッド４０が上下方向に直線運動するシリンダ３９を用
いながら、その伸縮作動に伴うピストンロッド４０の昇
降動作を外側リンク３５及びレバー３４によって支持軸
１１の回転運動に変換することができる。

【００３０】さらに、上記アーム１２とレバー３４と
が、各支持軸１１の軸方向から見て直交方向に延びてい
て、弁板支持体１６が上昇端位置近傍にあるときにアー
ム１２が、また下降端位置近傍にあるときにレバー３４
がそれぞれ略水平状態になるように配置され、弁板支持
体１６が上昇端位置及び下降端位置の近傍にあるときの
移動速度が上下中間位置にあるときよりも低くなるよう
に設定されているので（図４参照）、シリンダ３９によ
る弁板支持体１６の昇降速度つまりゲート弁６の開閉速
度を速くしても、その弁板支持体１６を開閉動作の開始
時及び終了時に相対的に低速で移動させて、弁板２１及
び弁板支持体１６の慣性による衝撃を低減することがで
きる。換言すれば、弁板２１及び弁板支持体１６の慣性
による衝撃の悪影響を招くことなくゲート弁６の開閉を
高速化することができる。

【００３１】また、上記支持軸１１、アーム１２及び内
側リンク１３がそれぞれ左右１対設けられて、その左右
の内側リンク１３，１３が弁板支持体１６の上端部に左
右方向に離れた取付部１６ａ，１６ａにて連結されてお
り、シリンダ３９の伸縮作動による左右支持軸１１，１
１の逆方向の同期回転により弁板支持体１６を弁箱７内
で昇降させるので、例えば上記支持軸１１、アーム１２
及び内側リンク１３をそれぞれ１つ設けた場合のように
弁板支持体１６及び弁板２１を鉛直面内で傾斜すること
なく昇降移動させることができる。

【００３２】（実施形態２）図５及び図６は本発明の実
施形態２を示し（尚、以下の実施形態では図１〜図３と
同じ部分については同じ符号を付してその詳細な説明は
省略する）、上記実施形態１では弁板支持体１６の前側
面に弁板２１を平行リンク機構２５によって支持してい
るのに対し、弁板支持体１６の前後両側面にそれぞれ弁
板２１Ｆ，２１Ｒを支持するようにしたものである。

【００３３】すなわち、この実施形態では、弁板支持体
１６は弁箱７の前後中央部に配置されている。この弁板
支持体１６の前側面には前側平行リンク機構２５Ｆを介
して前側弁板２１Ｆが、また後側面には後側平行リンク
機構２５Ｒを介して後側弁板２１Ｒがそれぞれ接離可能
に支持されている。上記前側平行リンク機構２５Ｆの各
リンク２４の後端部と、後側平行リンク機構２５Ｒにお
いて上記前側平行リンク機構２５Ｆのリンク２４に対応
するリンク２４の前端部とは同じ軸により弁板支持体１
６に支持されている。

【００３４】また、弁箱７内の下部の前側寄りには複数
の前側ストッパ２９Ｆ，２９Ｆ，…が、また後側寄りに
は同様に複数のストッパ２９Ｒ，２９Ｒ，…がそれぞれ
左右方向に並んだ状態で取り付けられており、弁板支持
体１６が下降端位置近傍まで下降したときに前後の各ス
トッパ２９Ｆ，２９Ｒのストッパローラ３１，３１がそ
れぞれ前後の弁板２１Ｆ，２１Ｒの下面に当接してその
下降移動を停止させ、各弁板２１Ｆ，２１Ｒが平行リン
ク機構２５Ｆ，２５Ｒによって弁板支持体１６から離隔
する閉じ方向に案内されるようになっている。

【００３５】尚、この実施形態では、弁板支持体１６の
前後両側面にそれぞれ弁板２１Ｆ，２１Ｒが支持され
て、それら両弁板２１Ｆ，２１Ｒを弁板支持体１６か
ら、従って互いに離隔するように平行リンク機構２５
Ｆ，２５Ｒによって移動させる構造であるために、上記
実施形態１の如き、弁板支持体１６の後面を弁箱７内の
側面に当接させるための後側ローラ１８は設けられてい
ない。その他の構成は上記実施形態１と同様である。

【００３６】したがって、この実施形態においては、ゲ
ート弁６を図５に示す如き開弁状態から閉じるときに、
シリンダ３９の伸長作動によりピストンロッド４０を上
昇させると、両支持軸１１，１１が同期して互いに逆方
向に回転し、この支持軸１１，１１の回転駆動により弁
板支持体１６が前後の弁板２１Ｆ，２１Ｒを従えて弁箱
７内を下降する。この弁板支持体１６が下降端位置近傍
に達すると、各弁板２１Ｆ，２１Ｒがそれぞれ対応する
ストッパ２９Ｆ，２９Ｒの各ストッパローラ３１に当接
して弁板２１Ｆ，２１Ｒのそれ以上の下降移動が規制さ
れ、弁板支持体１６のさらなる下降移動により各弁板２
１Ｆ，２１Ｒが各平行リンク機構２５Ｆ，２５Ｒのリン
ク２４，２４，…の立上がり動作により弁板支持体１６
から離隔するように案内されて移動する。そして、図６
に示すように、シリンダ３９の伸長ストロークエンド近
傍で弁板支持体１６が下降端位置に達すると、各弁板２
１Ｆ，２１Ｒは弁板支持体１６によりリンク２４，２
４，…を介して押されて、前側弁板２１Ｆにあっては弁
箱７と第１真空容器１との間の連通部つまり弁箱７の前
側連通口８の周りに、また後側弁板２１Ｒにあっては弁
箱７と第２真空容器２との間の連通部つまり弁箱７の後
側連通口９の周りにそれぞれ気密シール状態で押し付け
られ、両真空容器１，２の内部空間同士の連通が弁板２
１Ｆ，２１Ｒによって遮断される。

【００３７】このとき、弁板支持体１６の前後の両側面
にそれぞれ弁板２１Ｆ，２１Ｒが平行リンク機構２５
Ｆ，２５Ｒを介して接離可能に支持され、この弁板２１
Ｆ，２１Ｒにより弁箱７と各真空容器１，２との連通部
が開閉されるので、上記実施形態１と同様に両真空容器
１，２同士を連通又は連通遮断できることは勿論、弁箱
７自体と各真空容器１，２とを連通又は連通遮断するこ
ともできる。

【００３８】また、上記実施形態１の構造では、第１真
空容器１内の圧力が第２真空容器２内の圧力よりも相対
的に高いとき（例えば前者が大気圧で後者が真空圧）
に、閉じ状態にある弁板２１が両真空容器１，２間の圧
力差により押し戻されて真空遮断状態が不安定となり、
両真空容器１，２間の良好な真空遮断が阻害される虞れ
があるが、この実施形態２のように前後の両弁板２１
Ｆ，２１Ｒによりそれぞれ弁箱７の両真空容器１，２と
の間の連通部を閉じる構造とすると、上記の如く両真空
容器１，２間の圧力差により一方の弁板２１Ｆ（又は２
１Ｒ）が押し戻されて不安定な真空遮断状態になって
も、そのことに伴い、弁箱７内の圧力が圧力の高い側の
真空容器１（又は２）の内圧と同じになるだけで、この
弁箱７内の圧力によって他方の弁板２１Ｒ（又は２１
Ｆ）が弁箱７内の側面に押し付けられる方向に押される
こととなり、上記の如き両真空容器１，２間の良好な真
空遮断は阻害されない。つまり両真空容器１，２内の圧
力に差があっても、その影響を受けることなく両真空容
器１，２同士を安定して連通又は連通遮断することがで
きる。

【００３９】（実施形態３）図７は実施形態３を示し、
上記実施形態１ではシリンダ３９をピストンロッド４０
がシリンダボディから上方に突出するように配置してい
るが、このシリンダ３９をピストンロッド４０がシリン
ダボディから下方に突出するように配置したものであ
る。

【００４０】すなわち、この実施形態では、シリンダ３
９は弁箱７前側でそれよりも上方位置の左右中央部に配
置固定され、そのピストンロッド４０はシリンダボディ
から下方に突出し、このピストンロッド４０の下端部に
連結部４１が取付固定されている。

【００４１】そして、シリンダ３９の伸縮作動によりピ
ストンロッド４０を昇降させて弁板支持体１６及び弁板
２１を昇降させるのは上記実施形態１と同じであるが、
シリンダ３９を収縮作動させたときには、実施形態１と
は逆に、左側支持軸１１を図７で反時計回り方向に、ま
た右側支持軸１１を図７で時計回り方向にそれぞれ回転
させて弁板支持体１６及び弁板２１を上昇させ、ゲート
弁６を開弁状態とする一方、シリンダ３９を伸長作動さ
せたときには、左側支持軸１１を図７で時計回り方向
に、また右側支持軸１１を図７で反時計回り方向にそれ
ぞれ回転させて弁板支持体１６及び弁板２１を下降さ
せ、ゲート弁６を閉弁状態とする。つまり、シリンダ３
９の収縮作動による開弁状態では、左右のアーム１２及
び該アーム１２，１２の先端部に連結されている内側リ
ンク１３，１３は、上記実施形態１（実施形態１では反
左右中央側に移動して折り畳まれる）とは逆に左右中央
側（対向側）に移動して折り畳まれるようになってい
る。その他の構成は実施形態１と同じである。

【００４２】したがって、この実施形態においては、シ
リンダ３９が弁箱７前側の上方位置に配置されているの
で、上記実施形態１（又は実施形態２）の如き弁箱７前
側へのシリンダ３９の配置が困難な場合であっても、そ
のシリンダ３９を無理なく配置できる利点がある。

【００４３】（実施形態４）図８及び図９は本発明の実
施形態４を示し、弁板支持体１６の左右水平方向の移動
を規制する案内手段を設けるとともに、弁板２１を弁板
支持体１６に接近させるように付勢する付勢手段を設け
たものである。

【００４４】すなわち、この実施形態の構成は基本的に
上記実施形態１と同様であり、弁板支持体１６の前側に
１枚の弁板２１が平行リンク機構２５，２５，…を介し
て接離可能に支持されている（図１〜図３参照）。そし
て、図８に示すように（尚、図８では左右方向の一側の
みを示している）、弁板支持体１６の左右側部の上下端
部にはそれぞれ水平左右方向の軸心を持ったローラ軸４
３，４３，…が突出して取付固定され、この各ローラ軸
４３には、弁箱７の前後壁内面間の間隔よりも若干小さ
い外径を有しかつ弁箱７の連通口８，９の左右両側の前
後壁内面上を転動する前後ガイドローラ４４が回転可能
に支持されている。

【００４５】また、弁板支持体１６の左右側部の上下中
間部にはそれぞれ水平前後方向の軸心を持つローラ軸４
５，４５が取付固定され、この各ローラ軸４５に弁箱７
の左右側壁内面上を転動するサイドローラ４６が回転可
能に支持されており、これら前後ガイドローラ４４、サ
イドローラ４６及び後側ガイドローラ１８により弁板支
持体１６が弁箱７内で前後方向及び左右方向に殆ど位置
ずれすることなく昇降するようになっている。

【００４６】さらに、図９に示すように、弁板２１を弁
板支持体１６に接近させるように付勢する付勢手段とし
ての引張ばね４８が設けられている。すなわち、弁板支
持体１６には各平行リンク機構２５を構成する上下のリ
ンク２４，２４間の位置（尚、各リンク２４に対し左右
方向にずれた位置でもよい）に弁板支持体１６を貫通す
る開口部４９が形成され、この開口部４９下端部の弁板
支持体１６後面には支持体側ばね掛け部材５０が取付固
定され、この支持体側ばね掛け部材５０の上端部には開
口部４９内に臨むばね係合部５０ａが形成されている。
一方、弁板２１の後面において上記弁板支持体１６の開
口部４９に対応する部位には有底の凹部５１が形成さ
れ、この凹部５１上端部の弁板２１後面には弁板側ばね
掛け部材５２が取付固定され、この弁板側ばね掛け部材
５２の下端部には凹部５１内に臨むばね係合部５２ａが
形成されている。そして、上記支持体側ばね掛け部材５
０のばね係合部５０ａには引張ばね４８の下端部が係止
され、この引張ばね４８の上端部は弁板側ばね掛け部材
５２のばね係合部５２ａに係止されており、この引張ば
ね４８の収縮ばね力により弁板２１を後方向に引張付勢
して弁板支持体１６に接近させるようにしている。ま
た、上記引張ばね４８は鉛直面内に配置され、かつ、そ
の長さ方向が各平行リンク機構２５における各リンク２
４の揺動接線方向と略一致する（各リンク２４と略直角
になるように）ように設定されている。

【００４７】また、この実施形態では、上記各実施形態
とは異なり、ストッパローラ３１が弁板２１側に設けら
れている。すなわち、図８に示すように、弁板２１の前
側面における左右側部下端にはそれぞれ水平左右方向に
延びるローラ軸３１ａが取付固定され、この各ローラ軸
３１ａにストッパローラ３１が回転可能に支承されてい
る。また、上記弁箱７内の下部には上記各ストッパロー
ラ３１の真下位置にそれぞれストッパ２９が左右方向に
並んだ状態で取り付けられており、弁板支持体１６が下
降端位置近傍まで下降したときに弁板２１のストッパロ
ーラ３１をストッパ２９に当接させて弁板２１の下降移
動を停止させ、その後の弁板支持体１６の下降移動に伴
い、弁板２１を平行リンク機構２５，２５，…によって
弁板支持体１６から離隔する前方向つまり閉じ方向に相
対移動させるように案内する。尚、弁箱７の前壁内面に
おける左右側部の下端には、弁板２１が弁箱７の前側連
通口８を閉じた閉弁状態にあるときの各ストッパローラ
３１に対応して有底の凹部７ｂが形成されており、弁板
２１が前側連通口８を開いた状態では、ストッパローラ
３１は前側連通口８の左右両側の前壁内面上を転動する
が、閉じた状態では、ストッパローラ３１が弁箱７の凹
部７ｂ内にその底面から浮いた状態で落ち込むようにな
っている。

【００４８】その他の構成は上記実施形態１と同様であ
る。尚、図９中、２４ａは弁板側受け部材５７に各リン
ク２４の前端部を支持するためのリンク軸である。ま
た、支持体側受け部材５８は、弁板支持体１６の前側面
（弁板２１側の側面）の開口部１９周りに配置された第
１受け部材５９と、弁板支持体１６の後側面（弁板２１
と反対側の側面）の開口部１９周りに配置された第２受
け部材６０とからなり、第１受け部材５９に、各リンク
２４の後端部を支持するリンク軸２４ｂが設けられてい
る。

【００４９】したがって、この実施形態においては、弁
板２１と弁板支持体１６との間に引張ばね４８が架設さ
れ、この引張ばね４８の収縮ばね力により弁板２１が弁
板支持体１６に接近するように後方向に引張付勢されて
いるので、弁板支持体１６が上昇端位置（開弁位置）と
下降端位置（閉弁位置）との間で昇降移動する際、その
移動中は弁板２１が常に安定して弁板支持体１６に接近
するように保持される。このため、弁板２１が弁箱７内
前面と接触することはなく、その接触に伴って発生する
異物ダストによる真空空間の汚染を確実に防止すること
ができる。

【００５０】また、上記引張ばね４８は長さ方向が各平
行リンク機構２５の各リンク２４の揺動接線方向と略一
致するように設定されているので、引張ばね４８の伸縮
がスムーズに行われ、弁板２１を弁板支持体１６に接近
付勢する効果が安定して得られる。

【００５１】そして、このように弁板２１が引張ばね４
８によって弁板支持体１６側に常に引き寄せられている
と、例えば、上記真空ゲート弁６の天地（上下方向）を
逆にして、弁板支持体１６の開弁位置が下降端位置とな
り、閉弁位置が上昇端位置となって、弁板支持体１６が
弁箱７内で上昇したときに閉弁し、下降移動したときに
開弁するようにゲート弁６が倒立状態の縦向き姿勢で設
置される場合、或いは、弁板支持体１６の開弁位置が水
平左右方向の一側とされ、閉弁位置が同他側とされて弁
板支持体１６が弁箱７内で左右方向に水平移動するよう
にゲート弁６が横向き姿勢で設置される場合であって
も、その弁板２１を移動状態で弁板支持体１６に安定し
て接近保持させることができ、弁板２１の弁箱７内面と
の接触を確実に防いで真空空間の汚染を防止することが
できる。

【００５２】また、弁板支持体１６の左右側部にそれぞ
れサイドローラ４６，４６が軸支されているので、弁板
支持体１６が上昇端位置（開弁位置）及び下降端位置
（閉弁位置）の間で昇降する際に、左右のサイドローラ
４６，４６が弁箱７内の左右側面に当接転動しながら昇
降移動することとなる。このことから、弁板支持体１６
が弁箱７内で相対的に左右方向（幅方向）に移動するの
が規制され、弁板支持体１６が弁箱７内面に直接接触し
て異物ダストが発生するのを防ぐことができる。しか
も、この弁板支持体１６の規制案内により弁板２１も弁
箱７に対して左右方向に位置ずれしなくなる。その結
果、ゲート弁６の閉弁時、弁板２１を弁箱７の前壁内面
の同じ位置に押し付けて真空容器１との間の前側連通口
８を閉じることができ、安定した閉弁状態が得られる。

【００５３】さらに、このように弁板支持体１６の左右
側部にサイドローラ４６，４６が軸支されていると、ゲ
ート弁６が上記倒立状態の縦向き姿勢や横向き姿勢にあ
っても、弁板支持体１６が開弁位置及び閉弁位置の間で
移動するときに幅方向に移動するのが防止され、上記と
同様に、弁板支持体１６と弁箱７内面との直接接触によ
る異物ダスト発生の防止や、弁板２１の弁箱７に対する
位置規制による閉弁安定化を図ることができる。

【００５４】（実施形態５）図１０及び図１１は実施形
態５を示し、上記弁板２１を弁板支持体１６に接近させ
るように付勢するための引張ばね４８を圧縮ばねに代え
たものである。

【００５５】すなわち、この実施形態では、弁板支持体
１６の開口部４９上端には支持体側ばね受け部材６１が
取付固定され、この支持体側ばね受け部材６１は、前側
に突出して弁板２１後面の凹部５１内上部に嵌入可能な
突出部６１ａを有し、この突出部６１ａ下面にはばね係
合凹部６１ｂが形成されている。一方、上記弁板２１後
面の凹部５１下側には弁板側ばね受け部材６２が取付固
定され、この弁板側ばね受け部材６２は、後側に突出し
て弁板支持体１６の上記開口部４９内下部に嵌入可能な
突出部６２ａを有し、この突出部６２ａ上面にはばね係
合凹部６２ｂが形成されている。そして、上記弁板支持
体側ばね受け部材６１のばね係合凹部６１ｂには圧縮ば
ね６３（付勢手段）の上端部が係止され、この圧縮ばね
６３の下端部は弁板側ばね受け部材６２のばね係合凹部
６２ｂに係止されており、この圧縮ばね６３の伸長ばね
力により弁板２１を後方向に押圧付勢して弁板支持体１
６に接近させるようにしている。また、この圧縮ばね６
３も鉛直面内に配置され、かつその長さ方向が各平行リ
ンク機構２５の各リンク２４の揺動接線方向と略一致す
る（各リンク２４と略直角になるように）ように設定さ
れている。

【００５６】したがって、この実施形態においても、上
記実施形態４と同様に、圧縮ばね６３の伸長付勢力によ
り、弁板２１が常に弁板支持体１６側に接近するように
付勢されるので、真空ゲート弁６が通常の縦向き姿勢や
倒立状態の縦向き姿勢、或いは横向き姿勢のいずれの姿
勢で設置されても、その弁板２１を移動状態で弁板支持
体１６に安定して接近保持させることができ、弁板２１
の弁箱７内面との接触を確実に防いで真空ゲート弁６内
の真空空間の汚染を防止することができる。

【００５７】また、この実施形態では、弁板２１を弁板
支持体１６に接近付勢する付勢手段が圧縮ばね６３であ
るので、上記実施形態４（図９参照）のように引張ばね
４８を用いるのに比べ、繰返し応力が働いても破損し難
くなり、弁板２１に対する付勢効果が長期間に亘り安定
して得られ、真空ゲート弁６の耐久性及び信頼性を向上
させることができる。

【００５８】尚、上記実施形態２又は３において、実施
形態４（又は５）と同様にばね４８（又は６３）を設け
るとともに、実施形態４と同様にサイドローラ４６，４
６を取り付けるようにすることもできる。そうすると、
ゲート弁６の姿勢を変えて設置しても支障なく使用する
ことができる。

【００５９】また、上記各実施形態では、リニアアクチ
ュエータをシリンダ３９としているが、その他、直線運
動をする出力部を有するものであればよい。また、回転
型のアクチュエータにより支持軸１１を直接に回転駆動
するようにしてもよく、その場合にはレバー３４や外側
リンク３５は不要となる。さらに、上記各実施形態で
は、シリンダ３９から弁板支持体１６に至る駆動連絡系
を２つとしているが、３つ以上又は１つに増減変更する
こともできる。特に、駆動系を１つとする場合、弁板支
持体１６の左右側部にサイドローラ４６，４６を軸支す
ることは必須の構成であり、駆動系が１つであっても、
弁板支持体１６が開弁位置及び閉弁位置の間で移動する
ときに幅方向に移動するのが確実に防止され、弁板支持
体１６と弁箱７内面との直接接触による異物ダスト発生
の防止や、弁板２１の弁箱７に対する位置規制による閉
弁安定化を図ることができる。

【００６０】

【発明の効果】以上説明した如く、請求項１の発明で
は、隣接する１対の真空容器間に配設されて各真空容器
に連通する真空ゲート弁の弁箱にその外部から回転され
る支持軸を配置し、この支持軸をアーム及びリンクを介
して弁板支持体に連結し、この弁板支持体の一方の真空
容器側の側面にその真空容器と弁箱との間の連通部を開
閉する弁板を支持し、支持軸の回転により弁板支持体を
弁板と共に移動させるようにした。また、請求項２の発
明では、上記弁板支持体の両真空容器側の側面に真空容
器と弁箱との連通部を開閉する１対の弁板を支持した。
従って、これら発明によると、回転する支持軸により弁
板の開閉駆動力を弁箱内に導入でき、支持軸の貫通部分
から弁箱ないし真空容器の内部に持ち込まれる空気を少
なくできるとともに、そのシール部材の摩耗も抑制で
き、よって真空容器内に対する真空封じの長期間に亘る
安定確保を図ることができる。特に、請求項２の発明に
よれば、両真空容器同士を連通又は連通遮断できるのみ
ならず、弁箱と各真空容器とを連通又は連通遮断でき、
さらには両真空容器内の圧力差の影響を受けることなく
安定して両真空容器同士を連通又は連通遮断することが
できる。

【００６１】請求項３の発明によると、上記弁板を弁板
支持体に接近させるように付勢する付勢手段を設けたこ
とにより、真空ゲート弁の設置姿勢が通常の縦向き姿
勢、倒立状態の縦向き姿勢又は横向き姿勢のいずれであ
っても、その弁板を移動状態で弁板支持体に安定して接
近保持させることができ、弁板と弁箱内面との接触を防
いで真空空間の汚染防止を図ることができる。

【００６２】請求項４の発明によると、上記付勢手段を
圧縮ばねとしたことにより、弁板に対する付勢効果が長
期間に亘り安定して得られ、真空ゲート弁の耐久性及び
信頼性をの向上を図ることができる。

【００６３】請求項５の発明によれば、弁板支持体をそ
の移動方向及び両真空容器の配列方向の双方と略直交す
る幅方向に移動不能に規制しながら案内する案内手段を
設けたことにより、ゲート弁の設置姿勢、或いは弁板支
持体が１つの支持軸の回動により移動する構成に拘わら
ず、弁板支持体の幅方向の移動を規制でき、弁板支持体
と弁箱内面との接触による異物ダストの発生防止を図る
とともに、弁板を弁箱の常に同じ位置に押し付けて安定
した閉弁状態を得ることができる。

【００６４】請求項６の発明によると、支持軸、アーム
及び内側リンクをそれぞれ幅方向に１対設けて、両内側
リンクを弁板支持体の幅方向に離れた位置に連結し、両
支持軸を同期回転させて弁板支持体を移動させるように
したことにより、弁板支持体及び弁板を傾斜させずに移
動できる。

【００６５】請求項７の発明によると、弁箱外の支持軸
にレバーを回転一体に取り付け、このレバーの先端部に
外側リンクを介してリニアアクチュエータに連結したこ
とにより、リニアアクチュエータの出力部の直線運動を
外側リンク及びレバーによって支持軸の回転運動に容易
に変換でき、リニアアクチュエータを用いながら上記請
求項１又は２の発明の効果を得ることができる。

【００６６】請求項８の発明によると、アームとレバー
とを、支持軸の軸方向から見て直交方向に延びていて、
弁板支持体が開弁位置近傍にあるときにアームが略幅方
向に延びる状態になる一方、弁板支持体が閉弁位置近傍
にあるときにレバーが略幅方向に延びる状態になるよう
に配置したことにより、弁板支持体が開弁位置及び閉弁
位置の近傍にあるときの移動速度を中間位置にあるとき
よりも低くでき、開閉動作の開始時及び終了時の弁板及
び弁板支持体の慣性による衝撃を低減しながら、ゲート
弁の開閉速度を高くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係る真空ゲート弁の要部
を示す正面図である。

【図２】実施形態１に係るゲート弁の開弁状態を示す断
面図である。

【図３】実施形態１に係るゲート弁の閉弁状態を示す断
面図である。

【図４】レバーの開閉動作と弁板の昇降ストロークとの
関係を示す図である。

【図５】実施形態２を示す図２相当図である。

【図６】実施形態２を示す図３相当図である。

【図７】実施形態３を示す図１相当図である。

【図８】実施形態４のゲート弁における弁板支持体の左
右側部を拡大して示す正面図である。

【図９】実施形態４のゲート弁における平行リンク機構
を拡大して示す断面図である。

【図１０】実施形態５のゲート弁の開弁状態を示す要部
拡大断面図である。

【図１１】実施形態５のゲート弁の閉弁状態を示す図１
０相当図である。

【符号の説明】

１，２ 真空容器 ６ 真空ゲート弁 ７ 弁箱 ７ａ 軸孔 ８，９ 連通口 １０ 軸受 １１ 支持軸 １２ アーム １３ 内側リンク １６ 弁板支持体 １８ 後側ローラ ２１，２１Ｆ，２１Ｒ 弁板 ２４ リンク ２５，２５Ｆ，２５Ｒ 平行リンク機構 ２９，２９Ｆ，２９Ｒ ストッパ ３１ ストッパローラ ３４ レバー ３５ 外側リンク ３９ シリンダ（リニアアクチュエータ） ４０ ピストンロッド（出力部） ４４ ガイドローラ ４６ サイドローラ（案内手段） ４８ 引張ばね（付勢手段） ６３ 圧縮ばね（付勢手段）

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 隣接する１対の真空容器間に配設され、
   各真空容器と連通する弁箱と、 上記弁箱内に回転可能にかつ弁箱の壁部を気密状に貫通
   して支持された支持軸と、 上記弁箱内に配設され、上記支持軸に回転一体に取り付
   けられたアームと、 上記アームの先端部に内側リンクを介して連結され、支
   持軸の回転により弁箱内で両真空容器の配列方向と略直
   交する方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動す
   る弁板支持体と、 上記弁板支持体の一方の真空容器側の側面に平行リンク
   機構を介して接離可能に支持され、弁箱と一方の真空容
   器との間の連通部を開閉して両真空容器同士を連通又は
   連通遮断させる弁板と、 上記弁箱内に設けられ、弁板支持体の閉弁位置への移動
   時に弁板に当接して該弁板を弁板支持体に対し弁板支持
   体から離隔する閉じ方向に移動案内するストッパとを備
   えたことを特徴とする真空ゲート弁。
2. 【請求項２】 隣接する１対の真空容器間に配設され、
   各真空容器に連通する弁箱と、 上記弁箱内に回転可能にかつ弁箱の壁部を気密状に貫通
   して支持された支持軸と、 上記弁箱内に配設され、上記支持軸に回転一体に取り付
   けられたアームと、 上記アームの先端部に内側リンクを介して連結され、支
   持軸の回転により弁箱内で両真空容器の配列方向と略直
   交する方向に沿って開弁位置及び閉弁位置の間を移動す
   る弁板支持体と、 上記弁板支持体の両真空容器側の側面にそれぞれ平行リ
   ンク機構を介して接離可能に支持され、弁箱と各真空容
   器との間の連通部を開閉して両真空容器同士を連通又は
   連通遮断させる１対の弁板と、 上記弁箱内に設けられ、弁板支持体の閉弁位置への移動
   時に各弁板に当接して該各弁板を弁板支持体に対し弁板
   支持体から離隔する閉じ方向に移動案内する対なるスト
   ッパとを備えたことを特徴とする真空ゲート弁。
3. 【請求項３】 請求項１又は２の真空ゲート弁におい
   て、 弁板を弁板支持体に接近させるように付勢する付勢手段
   を備えたことを特徴とする真空ゲート弁。
4. 【請求項４】 請求項３の真空ゲート弁において、 付勢手段は、圧縮ばねであることを特徴とする真空ゲー
   ト弁。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかの真空ゲート弁
   において、 弁板支持体をその移動方向及び両真空容器の配列方向の
   双方と略直交する幅方向に移動不能に規制しながら案内
   する案内手段が設けられていることを特徴とする真空ゲ
   ート弁。
6. 【請求項６】 請求項１〜４のいずれかの真空ゲート弁
   において、 支持軸、アーム及び内側リンクは、弁板支持体の移動方
   向及び両真空容器の配列方向の双方と略直交する幅方向
   に沿って１対設けられていて、両内側リンクは弁板支持
   体に対し上記幅方向に離れた位置に連結されており、 上記両支持軸が同期して回転することにより、上記弁板
   支持体が移動するように構成されていることを特徴とす
   る真空ゲート弁。
7. 【請求項７】 請求項１〜３のいずれかの真空ゲート弁
   において、 弁箱外の支持軸に回転一体に取り付けられたレバーと、 上記レバーの先端部に外側リンクを介して連結されかつ
   直線運動をする出力部を有するリニアアクチュエータと
   を備えたことを特徴とする真空ゲート弁。
8. 【請求項８】 請求項７の真空ゲート弁において、 アームとレバーとは、支持軸の軸方向から見て直交方向
   に延びていて、弁板支持体が開弁位置近傍にあるときに
   アームが略幅方向に延びる状態になる一方、弁板支持体
   が閉弁位置近傍にあるときにレバーが略幅方向に延びる
   状態になるように配置されていることを特徴とする真空
   ゲート弁。