JP5712104B2 - 真空用ゲートバルブ - Google Patents
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Description
特許文献3においては、引っ張りバネにより弁閉状態をロック可能にしたゲートバルブが開示されている。このゲートバルブは、ローラとカムとを弁閉状態で係止させた状態で、引っ張りバネでこの弁閉状態を保持させようとするものである。
特許文献4のゲートバルブにおいては、カム体に傾斜した形状のカム孔が形成され、シリンダを動作させてカム体を上昇させることで弁棒を傾動させて弁閉状態にし、この状態からシリンダでカム体を動作させてカムフォロワがカム孔に設けられたロック部に係合させ、これによりロック状態を維持しようとしている。
図1においては、本発明の真空用ゲートバルブの弁開状態を示しており、図2においては、真空用ゲートバルブの弁閉状態を示している。図において、本発明の真空用ゲートバルブは、弁箱1、ヨーク状の保持枠体2、復動式エアシリンダ5を有し、弁箱1の下部に保持枠体2が取付けられ、この保持枠体2の下部にエアシリンダ5が取付けられている。これらの内部には、弁体3、ステム4が設けられている。
なお、ピストンロッド11側に傾動用ローラ14、ステム4側にローラカム15をそれぞれ設けるようにしてもよい。
図6に示すように、ステムホルダ21は断面略矩形状に設けられ、このステムホルダ21の中央にステム4が高さ方向に位置決めされた状態で設けられる。ステムホルダ21の両側には凹状の摺動部31が形成され、この摺動部31が揺動リンク32に設けた凸状のガイド部33に摺動自在に嵌合している。ステムホルダ21は、この軸方向に長い摺動部31を軸方向に長いガイド部33に沿って上下動自在に摺動させることで、ステム4と一体に軸方向に移動可能になっている。
図1の弁開状態から図2の弁閉状態に真空用ゲートバルブを動作させる場合、第2給気口18からのエアの供給を停止しつつ第1給気口17からエアを供給し、このエアとゲートロック用スプリング12の弾発力でピストン10を往動作させる。これにより、図1の状態からピストンロッド11が上昇し、このピストンロッド11の上昇に伴ってガイド溝30にガイドローラ28が案内されながらローラカム15が上昇する。その際、枢軸40が上下に移動することがない。
2 保持枠体
3 弁体
4 ステム
5 エアシリンダ
6 弁
7 弁座シール面
9 流路
11 ピストンロッド
11a 先端部
12 ゲートロック用スプリング
13 傾動保持用スプリング
14 傾動用ローラ
15 ローラカム
20 ベース部材
21 ステムホルダ
21a 上端部
28 ガイドローラ
30 ガイド溝
31 摺動部
32 揺動リンク
32a 端部
33 ガイド部
34 ホルダストッパ
35 自在連結部材
40 枢軸
41 軸受
42 ストッパ
43 揺動角度孔
Claims (7)
- 弁の流路と直交する方向にステムを介して弁体が開閉作動し、流路を塞ぐ位置で前記弁体を流路方向の弁座シール面に揺動閉止する弁箱構造をもつ真空用ゲートバルブであって、前記弁箱に保持枠体を介在させてピストンロッドを有する複動式エアシリンダを設け、前記弁箱より突出させた前記ステムにステムホルダを設け、このステムホルダに形成した摺動部を前記保持枠体に枢着させた揺動リンクのガイド部に沿って上下動自在に摺動させると共に、前記ピストンロッドと前記ステムホルダとの間に両者を弾発させた傾動保持用スプリングを装着し、かつ、前記ピストンロッド側に設けたローラカムと前記揺動リンクに設けた傾動用ローラとを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、前記ローラカムを前記傾動用ローラに嵌合させた際に前記揺動リンクを揺動させ、この揺動リンクの揺動動作に伴って前記弁体を前記弁座シール面に揺動閉止するようにしたことを特徴とする真空用ゲートバルブ。
- 前記ピストンロッドを前記傾動保持用スプリングの荷重以上で弁閉状態を保持するためのゲートロック用スプリングを前記エアシリンダに内蔵した請求項1に記載の真空用ゲートバルブ。
- 前記揺動リンクの端部に設けた枢軸を前記保持枠体に軸受を介して揺動リンクを回転自在に設け、この揺動リンクの揺動に伴って前記ステムを揺動するようにした請求項1又は2に記載の真空用ゲートバルブ。
- 前記ピストンロッドの先端部に設けたベース部材に一対のガイドローラを設け、このガイドローラを前記保持枠体に形成した一対のガイド溝に沿ってベース部材を上下動可能に設けた請求項1乃至3の何れか1項に記載の真空用ゲートバルブ。
- 前記ベース部材と前記ステムホルダとの間に前記傾動保持用スプリングを装着し、かつ、前記ステムホルダと前記ベース部材の間に、自在リンク又はワイヤからなる自在連結部材を装着して前記ステムとピストンロッドとを揺動自在に連結した請求項1乃至4の何れか1項に記載の真空用ゲートバルブ。
- 前記揺動リンクの途中に取付けたストッパを前記保持枠体に形成した揺動角度孔に係合させた請求項1乃至5の何れか1項に記載の真空用ゲートバルブ。
- 前記ステムホルダの上端部を前記揺動リンクに設けたホルダストッパに係合させた請求項1乃至6の何れか1項に記載の真空用ゲートバルブ。
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