JP2015515591A

JP2015515591A - ゲートバルブ

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Publication number: JP2015515591A
Application number: JP2015504508A
Authority: JP
Inventors: ジ，シン−ヨン
Original assignee: プリシスカンパニー，リミテッド
Priority date: 2012-04-06
Filing date: 2013-04-08
Publication date: 2015-05-28
Anticipated expiration: 2033-04-08
Also published as: KR101376045B1; WO2013151401A1; KR20130113624A; JP6115627B2; US9765897B2; CN104321569B; CN104321569A; US20160305555A1

Abstract

本発明はゲートバルブに関するもので、バルブハウジング（１１０）で開口部（１１２）を閉鎖することができるバルブプレート（１２０）と；前記バルブプレート（１２０）に連結され、上下運動及び水平運動ができるバルブロッド（１３０）と；前記バルブハウジング（１１０）の外側に連結されるガイドハウジング（１４０）と；前記バルブロッド（１３０）に結合されて連結され、両側面にガイドローラー（１５１）が設置されるＬモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）（１５０）と；前記ガイドハウジング（１４０）の内部に設置されるカムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）（１６０）と；前記バルブロッド（１３０）の下側末端に設置される駆動ロッド結合ローラー（１７２）と；前記駆動ロッド結合ローラー（１７２）が挿入されて誘導され、下方に向かって閉鎖方向（Ｃ）側に傾斜するように形成された駆動ロッド傾斜溝（１７１）が形成されている駆動ロッド（１７０）と；前記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）（１５０）と前記駆動ロッド（１７０）との間に弾性力を提供するように設置される弾性提供手段（１７５）と；前記駆動ロッド（１７０）を上下に駆動する上下駆動手段（１８０）と；を含んで構成されることを特徴とするゲートバルブ（１００）に関するものである。【選択図】図６

Description

本発明はゲートバルブに関するもので、バルブハウジング１１０で開口部１１２の周りに形成されたバルブシート（Ｖａｌｖｅ−ｓｅａｔ）１１１に密着されて、内側から上記開口部１１２を閉鎖することができるバルブプレート１２０と；上記バルブプレート１２０に連結され、上記バルブハウジング１１０の内部がベローズ１３１を通じて外部と気密を保持し、突出されて上下運動及び水平運動ができるバルブロッド１３０と；上記バルブハウジング１１０の外側に連結されるガイドハウジング１４０と；上記ガイドハウジング１４０の内部に設置されて、上記バルブロッド１３０に結合されて連結され、両側面にガイドローラー１５１が設置されるＬモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０と；上記ガイドハウジング１４０の内部に設置され、上記バルブロッド１３０が貫通するバルブロッド通孔１６１が形成され、両側面には上記ガイドローラー１５１がそれぞれ挿入されて誘導され、下方に向かって閉鎖方向Ｃ側に傾斜するように形成された傾斜溝１６２がそれぞれ形成されているカムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０と；上記バルブロッド１３０の下側末端に設置される駆動ロッド結合ローラー１７２と；上記駆動ロッド結合ローラー１７２が挿入されて誘導され、下方に向かって閉鎖方向Ｃ側に傾斜するように形成された駆動ロッド傾斜溝１７１が形成されている駆動ロッド１７０と；上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０と上記駆動ロッド１７０との間に弾性力を提供するように設置される弾性提供手段１７５と；上記駆動ロッド１７０を上下に駆動する上下駆動手段１８０と；を含んで構成されることを特徴とするゲートバルブ１００に関するものである。

本発明は例えば集積回路（ＩＣ）またはその部品のような加工物をある真空処理室から他の真空処理室に移送させるための移送経路を開閉したり、または圧縮流体やガスなどの流体流動経路または排気流動経路を開閉するためのゲートバルブ（ｇａｔｅｖａｌｖｅ）に関するものである。

通常、例えば半導体ウエハーまたは液晶基板を処理するための装置において、半導体ウエハーまたは液晶基板は連通通路（ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｐａｓｓａｇｅｗａｙｓ）を通じて各処理室から挿入及び引き出される（ｗｉｔｈｄｒａｗａｌ）。このような連通通路にはこの通路を開閉するゲートバルブが設置される。

このようなゲートバルブの実施例として非常に多様な実施例が提案されて来た。その中に、従来の発明としては特許文献１の大韓民国登録特許第１０−０３３８１６４号（発明の名称：「ゲートバルブ」）のような構成がある。

上記特許文献１のゲートバルブは、バルブボックスの中のバルブデスクを、バルブボックスの外に設置された操作手段によって、バルブボックスの外に気密的に突出されるバルブロッドを通じてバルブシートに接触または離間する位置に自在に移動させ、このバルブロッドの移動が終わる時に上記バルブロッドが傾斜運動して上記バルブデスクが上記バルブボックスの中のバルブシートに押されるようにしたゲートバルブであって、上記操作手段は、ピストンシリンダー装置のピストンロッドとバルブロッドとの間をローラー及びこのローラーをガイドする傾斜した長孔で連結するか、両者の間にその端部を回転自在に旋回する傾斜リンクで連結する構成を有することを特徴としている。

しかし、このような従来のゲートバルブは、図１ａに示すように、バルブデスクの作動経路が上下方向及び水平方向に対して緩やかな傾斜を描きながら作動するため、ゲートバルブの内部に設置された多様な構成要素と干渉が発生したり、機械的摩耗などによって発生される不純物が上記処理室内に混入される虞が多いという欠点があった。

このように傾斜を描く作動経路を有するゲートバルブの構成を改善して、図１ｂに示すように、閉鎖作動の時、まず上側方向に駆動された後、閉鎖位置に水平移動する駆動を可能にさせるために、特許文献２の大韓民国公開特許第１０−２０１１−００７３４７６号（発明の名称：「真空バルブ」）のような構成が提案された。

上記特許文献２の真空バルブは、バルブシートによって囲まれたバルブ開口部を有する壁と、真空バルブの真空領域に配置された少なくとも一つのバルブプレート（上記バルブプレートは開放位置から縦方向に向かって中間位置に移動され、また、その中間位置から縦方向に対して垂直する横方向に向かって閉鎖位置に移動されることができる）と、バルブプレートを有する少なくとも一つのバルブロッド（上記バルブロッドは真空バルブの真空領域の外に案内され、壁に対して縦方向（上記縦方向はバルブロッドの縦軸に対して平行である）に、また横方向に移動されることができる）と、真空バルブの真空領域の外部に配置された縦−ドライブ装置及び横−ドライブ装置（上記装置によってバルブロッドはバルブプレートを移動させるために縦方向、また横方向に移動されることができる）とを含むことを特徴とする。

しかし、このような特許文献２の真空バルブは、その作動経路は非常に效率的であるが、このような作動をするために、縦−ドライブ装置及び横−ドライブ装置が必要となるため、その構成が非常に複雑で、製造費用がたくさんかかるという問題点があった。また、正確な開閉作動のためには、上記縦−ドライブ装置及び横−ドライブ装置が作動順に従って正確なタイミングに互いに連携して作動されることが要求され、このような連携作動のための複雑な構成要素が必要となるという問題点があった。

本発明は上述した従来発明の問題点を解決して、一つの駆動手段のみを用いる簡単で信頼性のある構造でも、上記バルブプレートが開放位置から縦方向に向かって中間位置に移動した後、その中間位置から縦方向に対して垂直する横方向に向かって閉鎖位置に移動するようにする閉鎖作動や、その逆順の開放作動が可能になって、ゲートバルブの内部に設置された多様な構成要素と干渉が発生したり機械的摩耗などによって発生される不純物が上記処理室内に混入される問題を防止することができる效率的な作動が可能なバルブを提供することをその課題とする。

上記課題を達するために、本発明は、バルブハウジング１１０で開口部１１２の周りに形成されたバルブシート（Ｖａｌｖｅ−ｓｅａｔ）１１１に密着されて、内側から上記開口部１１２を閉鎖することができるバルブプレート１２０と；上記バルブプレート１２０に連結され、上記バルブハウジング１１０の内部がベローズ１３１を通じて外部と気密を保持し、突出されて上下運動及び水平運動ができるバルブロッド１３０と；上記バルブハウジング１１０の外側に連結されるガイドハウジング１４０と；上記ガイドハウジング１４０の内部に設置され、上記バルブロッド１３０に結合されて連結され、両側面にガイドローラー１５１が設置されるＬモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０と；上記ガイドハウジング１４０の内部に設置されて、上記バルブロッド１３０が貫通するバルブロッド通孔１６１が形成され、両側面には上記ガイドローラー１５１がそれぞれ挿入されて誘導され、下方に向かって閉鎖方向Ｃ側に傾斜するように形成された傾斜溝１６２がそれぞれ形成されているカムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０と；上記バルブロッド１３０の下側末端に設置される駆動ロッド結合ローラー１７２と；上記駆動ロッド結合ローラー１７２が挿入されて誘導され、下方に向かって閉鎖方向Ｃ側に傾斜するように形成された駆動ロッド傾斜溝１７１が形成されている駆動ロッド１７０と；上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０と上記駆動ロッド１７０との間に弾性力を提供するように設置される弾性提供手段１７５と；上記駆動ロッド１７０を上下に駆動する上下駆動手段１８０と；を含んで構成されることを特徴とする。

また、上記ガイドハウジング１４０の両側面の内側にそれぞれ設置されて、上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０が上下方向のみに作動するように誘導するカムブロックガイド１４１と；上記カムブロックガイド１４１の上側に位置するように上記ガイドハウジング１４０の一側または両側面の内側に設置されて、上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０が上下方向のみに作動されるように誘導するカムブロックガイドローラー１４３と；をさらに含んで構成されることを特徴とする。

また、上記ガイドハウジング１４０の内側両側面にそれぞれ形成され、上記ガイドローラー１５１がそれぞれ挿入されて誘導され、上下に形成された上下駆動区間溝１４６及び上記上下駆動区間溝１４６の上側に閉鎖方向ｃを向けて連続的に水平方向に形成された開閉駆動区間溝１４７で構成されるＬモーションガイド溝１４５と；その下面内側に上記駆動ロッド１７０の下側が結合され、上側は上記バルブロッド通孔１６１に結合され、その内周縁に沿って上記弾性提供手段１７５が設置されるようにする円筒状の連結具１７４と；をさらに含んで構成され、上記上下駆動手段１８０は、シリンダー１８１の内部に設置されて、空圧によって上下に駆動され、上側に上記駆動ブロック１６０に連結される駆動ロッド１８３が設置されているピストン１８２とをさらに含んで構成されることを特徴とする。

本発明によれば、一つの駆動手段のみを用いる簡単で信頼性のある構造でも、上記バルブプレートが開放位置から縦方向に向かって中間位置に移動した後、その中間位置から縦方向に対して垂直する横方向に向かって閉鎖位置に移動するようにする閉鎖作動や、その逆順の開放作動を可能にさせて、ゲートバルブの内部に設置された多様な構成要素と干渉が発生したり、機械的摩耗などによって発生される不純物が上記処理室内に混入される問題を防止することができる效率的な作動が可能であるという長所がある。

従来ゲートバルブの作動経路を比較して示す模式図である。本発明の一実施例によるゲートバルブの外形を示す正面図である。本発明の一実施例によるゲートバルブの外形と内部を示す側面投影図である。本発明の一実施例によるゲートバルブの外形と内部を示す正面投影図である。本発明の一実施例によるゲートバルブの各部分の側断面を示す側面断面図である。本発明の一実施例によるゲートバルブの主要構成要素の結合関係を示す分解斜視図である。本発明の一実施例によるゲートバルブの作動過程を示す作動過程図である。

以下では、添付された図面を参照して本発明の一実施例によるゲートバルブを詳しく説明する。まず、図面において、同じ構成要素または部品は同じ参照符号で示している事に留意すべきである。本発明を説明する際に、係わる公知機能若しくは構成に関する具体的な説明は本発明の要旨を明確にするために省略する。

本発明のゲートバルブは、図３及び図４に示すように、大体バルブプレート１２０、バルブロッド１３０、ガイドハウジング１４０、Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０、カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０、駆動ロッド１７０及び上下駆動手段１８０を含んで構成される。

まず、バルブプレート１２０について説明する。上記バルブプレートは、図５に示すように、バルブハウジング１１０で開口部１１２の周りに形成されたバルブシート（Ｖａｌｖｅ−ｓｅａｔ）１１１に密着され、内側から上記開口部１１２を閉鎖することができる機能を果たす。このようなバルブプレート１２０によって上記開口部１１２が開放または閉鎖されることによって、本発明のゲートバルブ１００の開放及び閉鎖作動が実現される。

次に、バルブロッド１３０について説明する。上記バルブロッド１３０は、図５に示すように、上記バルブプレート１２０に連結され、図３及び図４に示すように、上記バルブハウジング１１０の内部はベローズ１３１を通じて外部と気密を保持し、突出されて上下運動及び水平運動ができるように設置される。

一方、上記バルブロッド１３０の下側末端には、図５及び図６に示すように、駆動ロッド結合ローラー１７２が設置され、上記駆動ロッド１７０に形成された後述する駆動ロッド傾斜溝１７１に挿入されて、上記駆動ロッド１７０の作動に連動して上記バルブロッド１３０の下側が上側とともに上下作動及び水平作動ができるようにすることが好ましい。

次に、ガイドハウジング１４０について説明する。上記ガイドハウジング１４０は、図４及び図６に示すように、上記バルブハウジング１１０の外側に連結され、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０及び上記駆動ブロック１６０などの主要作動手段を内装して保護する機能を果たす。

次に、Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０について説明する。上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０は、図４及び図６に示すように、上記ガイドハウジング１４０の内部に設置され、上記バルブロッド１３０に結合されて連結される。上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０の両側面には、図４及び図６に示すように、ガイドローラー１５１が設置される。

次に、カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０について説明する。上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０は、図４及び図６に示すように、上記ガイドハウジング１４０の内部に設置されて、上記バルブロッド１３０が自在に貫通して上下及び水平方向に駆動されることができる大きさのバルブロッド通孔１６１が形成されている。上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０の両側面には、図５ａ及び図６に示すように、上記ガイドローラー１５１がそれぞれ挿入されて誘導され、下方に向かって閉鎖方向Ｃ側に傾斜するように形成された傾斜溝１６２がそれぞれ形成されている。

次に、駆動ロッド１７０について説明する。上記駆動ロッド１７０には、図５及び図６に示すように、上記駆動ロッド結合ローラー１７２が挿入されて誘導され、下方に向かって閉鎖方向Ｃ側に傾斜するように形成された駆動ロッド傾斜溝１７１が形成されている。また、上記駆動ロッド１７０は上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０の下側に結合されて、上記駆動ロッド１７０の作動に連動して上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０が作動するようになる。

一方、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０と上記駆動ロッド１７０との間には、図７に示すように、弾性力を提供するように弾性提供手段１７５が設置されるようにして、開放作動の時円滑に作動することができるようにすることが好ましい。即ち、開放作動の場合には、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０が開放方向ｏに再び水平移動する過程で上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０が下降作動をする。この場合、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０の下降作動を防止しないと、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０が水平方向に開放作動するのではなく、下側傾斜方向に作動して、誤作動や干渉が発生される虞がある。従って、上記弾性提供手段１７５によって上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０が水平方向に完全に開放作動されるまで上下移動を防止するようにして、円滑に作動できるようにすることが好ましい。この場合、上記弾性提供手段１７５は多様な実施例の中の一つを選択して具現することができ、その一実施例として図７に示すようにコイルスプリングを用いて構成することが可能である。

この場合、上記弾性提供手段１７５が上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０と上記駆動ロッド１７０との間に設置されながらも上記駆動ロッド１７０が上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０の下側に效率的に結合されるようにするためには、その下面内側に上記駆動ロッド１７０の下側が結合され、上側は上記バルブロッド通孔１６１に結合され、その内周縁に沿って上記弾性提供手段１７５が設置されるようにする円筒状の連結具１７４をさらに含んで構成されることが好ましい。この場合、上記円筒状の連結具１７４は別途の構成要素で製作されてから上記駆動ロッド１７０に結合されて構成されることができることは勿論、上記駆動ロッド１７０と一体に構成されるか、図６に示すように、後述するピストン１８２と一体に構成されるようにすることも可能である。

次に、上下駆動手段１８０について説明する。上記上下駆動手段１８０は、図４及び図５に示すように、上記駆動ロッド１７０を上下に駆動する機能を果たす。このような上記上下駆動手段１８０を具現する実施例としては多様な実施例が可能である。上記上下駆動手段１８０を具現する一実施例としては、図４及び図５に示すように、シリンダー１８１の内部に設置されて、空圧によって上下に駆動され、上側に上記駆動ロッド１７０に連結されるピストン１８２をさらに含んで構成されるようにすることが好ましい。この場合、上記シリンダー１８１は一般的に上記ガイドハウジング１４０の下側に結合されて設置されるようにして、本発明のゲートバルブ１００のメンテナンスのために分解及び結合が容易でありながらも一体に製作されるようにすることが好ましい。

一方、円滑な作動のためには、上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０が上下方向のみに作動するようにし、水平方向へは移動しないようにすることが好ましい。従って、上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０が上下方向のみに作動し、水平方向（開放／閉鎖方向）に移動することを防止するために、上記ガイドハウジング１４０の両側面の内側には、図４及び図５に示すように、上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０が上下方向のみに作動するように誘導するカムブロックガイド１４１がそれぞれ設置されるようにすることが好ましい。

また、上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０が上側に移動している状態で閉鎖作動をする場合、上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０が図７における開放方向ｏに表示した方向へ引っ張られる力を受けることができ、それにより、作動に負荷が発生したり円滑な作動に障害が発生する虞がある。従って、上記カムブロックガイド１４１の上側には上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０が上側に移動している場合、上下方向のみに作動するように誘導するカムブロックガイドローラー１４３が上記ガイドハウジング１４０の一側または両側面の内側にさらに設置されるようにして、負荷をたくさん受ける位置で上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０が上下方向のみに円滑に作動されるようにすることが好ましい。

一方、上記ガイドローラー１５１が上記傾斜溝１６２に挿入されて誘導される作動を補助するために、上記ガイドローラー１５１が、図４に示すように、上記ガイドハウジング１４０の両側内面の内側まで延長されるように設置されることができる。この場合には、上記ガイドハウジング１４０の内側両側面には、図５及び図６に示すように、上記ガイドローラー１５１がそれぞれ挿入されて誘導され、上下に形成された上下駆動区間溝１４６及び上記上下駆動区間溝１４６の上側に閉鎖方向ｃを向けて連続的に水平方向に形成された開閉駆動区間溝１４７とで構成されるＬモーションガイド溝１４５がそれぞれさらに形成されるようにして、上記ガイドローラー１５１が上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０はもちろん上記ガイドハウジング１４０によっても支持、誘導されて作動するようにすることが好ましい。

この場合、上記Ｌモーションブロックガイド溝１４５は全体的に「Ｌ」字状の上下を逆様にしたような形状、即ち「Γ」と類似する形状を有するようになる。

以下では、本発明の一実施例によるゲートバルブ１００の作動について説明する。
まず、上記ゲートバルブ１００の閉鎖過程について説明する。

図７ａに示すような開放状態で、上記上下駆動手段１８０が作動して、図７ｂに示すように、上記バルブプレート１２０が最大上昇位置まで上昇するまで上記バルブロッド１３０、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０、上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０及び上記駆動ロッド１７０が一緒に上昇する。

その後、図７ｃに示すように、上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０及び上記駆動ロッド１７０が一緒にさらに上昇すれば、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０の上記ガイドローラー１５１が上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０の上記傾斜溝１６２に沿って誘導されながら、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０及び上記バルブロッド１３０が閉鎖方向ｃに水平移動するようになる。

この場合、上記バルブロッド１３０の下側に設置された上記駆動ロッド結合ローラー１７２も上記駆動ロッド傾斜溝１７１に沿って誘導されながら、上記バルブロッド１３０の下側も閉鎖方向ｃに水平移動するようになる。

従って、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０に結合された上記バルブロッド１３０の中間部と、上記バルブロッド１３０の下側が一緒に閉鎖方向ｃに水平移動するようになるので、上記バルブロッド１３０は全体的に垂直方向に対して平行する状態を保持して閉鎖方向ｃに水平移動するようになり、上記バルブロッド１３０の上側に連結された上記バルブプレート１２０が上記開口部１１２を閉鎖して閉鎖作動が完了される。

一方、上記ゲートバルブ１００の開放過程は上述した上記ゲートバルブ１００の閉鎖過程と逆順に行われる。この場合、上記弾性提供手段１７５によって、図７ｂに示すように、上記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）１６０及び上記駆動ロッド１７０が所定距離だけ下降しても、上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０が水平方向に完全に開放作動するまでは上記弾性提供手段１７５が提供する弾性力によって上記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）１５０の上下移動を防止するので、円滑な開放作動が可能になる。

図面及び明細書に最適な実施例が開示された。ここで特定用語を用いたが、これは本発明を説明するための目的で用いられたものであって、意味の限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限するためのものではない。従って、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能であることを理解すべきである。また、本発明の真の技術的保護範囲は特許請求の範囲の技術的思想によって定められるべきである。

Claims

バルブハウジング（１１０）で開口部（１１２）の周りに形成されたバルブシート（Ｖａｌｖｅ−ｓｅａｔ）（１１１）に密着されて、内側から前記開口部（１１２）を閉鎖することができるバルブプレート（１２０）と；
前記バルブプレート（１２０）に連結され、前記バルブハウジング（１１０）の内部がベローズ（１３１）を通じて外部と気密を保持し、突出されて上下運動及び水平運動ができるバルブロッド（１３０）と；
前記バルブハウジング（１１０）の外側に連結されるガイドハウジング（１４０）と；
前記ガイドハウジング（１４０）の内部に設置され、前記バルブロッド（１３０）に結合されて連結され、両側面にガイドローラー（１５１）が設置されるＬモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）（１５０）と；
前記ガイドハウジング（１４０）の内部に設置されて、前記バルブロッド（１３０）が貫通するバルブロッド通孔（１６１）が形成され、両側面には前記ガイドローラー（１５１）がそれぞれ挿入されて誘導され、下方に向かって閉鎖方向（Ｃ）側に傾斜するように形成された傾斜溝（１６２）がそれぞれ形成されているカムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）（１６０）と；
前記バルブロッド（１３０）の下側末端に設置される駆動ロッド結合ローラー（１７２）と；
前記駆動ロッド結合ローラー（１７２）が挿入されて誘導され、下方に向かって閉鎖方向（Ｃ）側に傾斜するように形成された駆動ロッド傾斜溝（１７１）が形成され、前記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）（１６０）に結合される駆動ロッド（１７０）と；
前記Ｌモーションブロック（Ｌ−ＭｏｔｉｏｎＢｌｏｃｋ）（１５０）と前記駆動ロッド（１７０）との間に弾性力を提供するように設置される弾性提供手段（１７５）と；
前記駆動ロッド（１７０）を上下に駆動する上下駆動手段（１８０）と；を含んで構成されることを特徴とするゲートバルブ（１００）。
前記ガイドハウジング（１４０）の両側面の内側にそれぞれ設置されて前記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）（１６０）が上下方向のみに作動するように誘導するカムブロックガイド（１４１）と；
前記カムブロックガイド（１４１）の上側に位置するように前記ガイドハウジング（１４０）の一側または両側面の内側に設置されて、前記カムブロック（Ｃａｍ−Ｂｌｏｃｋ）（１６０）が上下方向のみに作動するように誘導するカムブロックガイドローラー（１４３）と；をさらに含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載のゲートバルブ（１００）。
前記ガイドハウジング（１４０）の内側両側面にそれぞれ形成されて前記ガイドローラー（１５１）がそれぞれ挿入されて誘導され、上下に形成された上下駆動区間溝（１４６）及び前記上下駆動区間溝（１４６）の上側に閉鎖方向（ｃ）を向けて連続的に水平方向に形成された開閉駆動区間溝（１４７）で構成されるＬモーションガイド溝（１４５）と；
その下面内側に前記駆動ロッド（１７０）の下側が結合され、上側は前記バルブロッド通孔（１６１）に結合され、その内周縁に沿って前記弾性提供手段（１７５）が設置されるようにする円筒状連結具（１７４）と；をさらに含んで構成され、
前記上下駆動手段（１８０）は、
シリンダー（１８１）の内部に設置されて空圧によって上下に駆動され、上側に前記駆動ロッド（１７０）に連結されるピストン（１８２）をさらに含んで構成されることを特徴とする請求項１または２に記載のゲートバルブ（１００）。